JP3594136B2 - Icテスタ及びdutカード - Google Patents
Icテスタ及びdutカード Download PDFInfo
- Publication number
- JP3594136B2 JP3594136B2 JP2001349786A JP2001349786A JP3594136B2 JP 3594136 B2 JP3594136 B2 JP 3594136B2 JP 2001349786 A JP2001349786 A JP 2001349786A JP 2001349786 A JP2001349786 A JP 2001349786A JP 3594136 B2 JP3594136 B2 JP 3594136B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- liquid crystal
- pin
- dut
- driver
- crystal driving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、映像駆動ドライバ、例えば、液晶ディスプレイを駆動する液晶駆動ドライバの試験に用いるICテスタ及びDUTカードに関し、各種制限を受けずに、試験時間の増加を抑えて、映像駆動ドライバの試験を行うことができるICテスタ及びDUTカードに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
映像駆動ドライバ、例えば、液晶ディスプレイを駆動する液晶駆動ドライバの試験は、ICテスタを用いて試験を行っている。ICテスタは、液晶駆動ドライバに試験信号(デジタル信号)を与え、この試験信号に基づいて、液晶駆動ドライバが出力する多階調(多段階)電圧と、期待値電圧とを比較し、液晶ドライバの良否の判定を行っている。このような装置は、例えば、特開平7−146335号公報等に記載されている。以下図4を用いて説明する。
【0003】
図4において、ウェハ1は、液晶駆動ドライバが複数形成されている。テストヘッド2は、複数のドライバ、コンパレータ、コンタクトピン等を搭載し、信号の授受を行い試験を行う。パフォーマンスボード(以下PFBと略す)3は、テストヘッド2のコンタクトピンと電気的に接続する。コンタクトリング4は、PFB3と電気的に接続する。プローブカード5は、コンタクトリング4と電気的に接続し、プローブにより、ウェハ1の液晶駆動ドライバと電気的に接続する。
【0004】
次に、具体的構成を図5に示す。図5において、液晶駆動ドライバ(以下DUTと略す)11はウェハ1に複数形成され、複数の出力ピンを有している。LCDPE(液晶駆動ドライバピンエレクトロニクス)21は試験部で、テストヘッド2に設けられ、コンタクトピン、コンパレータ等を有する。そして、LCDPE21は、DUT11の出力ピンごとに、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5を介して電気的に接続し、DUT11の出力ピンの多階調電圧を入力し、期待値電圧と比較し、良否の判定を行う。すなわち、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5により、DUT11とLCDPE21との信号経路が形成されている。
【0005】
このような装置の動作を以下に説明する。図示しないプローバにより、ウェハ1をプローブカード5のプローブに電気的に接続する。接続後、テストヘッド2から、試験信号がPFB3に出力される。そして、PFB3からコンタクトリング4を介してプローブカード5に試験信号が出力される。この試験信号をプローブカード5はプローブを介してDUT11に出力する。DUT11は、試験信号に基づいた多階調電圧の出力を行う。この出力をプローブカード5はプローブを介して入力され、コンタクトリング4を介してPFB3に出力する。そして、PFB3から、コンタクトピンを介して、テストヘッド2のLCDPE21へ、DUT11の出力が入力される。この結果、テストヘッド2のLCDPE21でDUT11の良否が判定される。再びプローバにより、DUT11の接続切替えが行われる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
近年、液晶ディスプレイの大型化及び画素数が増加傾向にあり、これにより、液晶駆動ドライバの出力ピン数も増加し、1000ピンの液晶駆動ドライバが現れようとしている。そこで、試験時間を増加させないために、テストヘッド2内のLCDPE21を増加させることが考えられるが、テストヘッド2の大きさには制限があり、通常は、512ピンまでしか搭載できない。
【0007】
また、テストヘッド2に1000ピン分のLCDPE21が搭載できたとしても、映像駆動ドライバとの信号経路を増加させなけらばならない。この結果、コンタクトピンは、バネの弾性力により、PFB3と電気的に接続しているため、信号経路が増加すれば、接続圧力も増加し、PFB3とテストヘッド2との電気的接続の固定が大変になってしまう。また、コンタクトリング4の信号経路を増加させれば、コンタクトリング4も大きくさせなければならない。そして、コンタクトリング4を大きくすれば、プローブカード5も大きくしなければならない。しかし、プローブカード5も大きさに制限があるので、プローブカード5、コンタクトリング4とも大きくすることができない。また、コンタクトリング4も、バネの弾性力により、PFB3、プローブカード5と電気的に接続しているので、接続圧力が増加し、電気的接続の固定が大変になってしまう。
【0008】
そこで、本発明の目的は、各種制限を受けずに、試験時間の増加を抑えて、映像駆動ドライバの試験を行うことができるICテスタ及びDUTカードを実現することにある。
【0009】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明は、
複数の出力ピンを有する液晶駆動ドライバを試験するICテスタにおいて、
第1、第2のピンエレクトロニクス、前記液晶駆動ドライバの出力の偶数、奇数ピンの1組ごとに設けられる液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスが設けられるテストヘッドと、
このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと、
このパフォーマンスボードに前記液晶駆動ドライバの出力ピンを切り替えて電気的に接続するDUTカードと
を有し、
前記DUTカードは、
前記液晶駆動ドライバの奇数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第1のスイッチと、
前記液晶駆動ドライバの偶数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第2のスイッチと、
前記第1のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの奇数ピンとの接続をオン/オフする第3のスイッチと、
前記第2のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの偶数ピンとの接続をオン/オフする第4のスイッチと
を備えたことを特徴とするものである。
【0010】
請求項2記載の本発明は、請求項1記載の本発明において、
パフォーマンスボードとDUTカードとの間に設けられ、パフォーマンスボードとDUTカードとを電気的に接続するコンタクトリングを設けたことを特徴とするものである。
【0011】
請求項3記載の本発明は、請求項1または2記載の本発明において、
DUTカードは、映像駆動ドライバと電気的に接続するプローブまたはソケットを設けたことを特徴とするものである。
【0013】
請求項4記載の本発明は、
第1、第2のピンエレクトロニクス、前記液晶駆動ドライバの出力の偶数、奇数ピンの1組ごとに設けられる液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスが設けられるテストヘッドと、
このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと
を具備し、前記パフォーマンスボードと電気的に接続し、複数の出力ピンを有する液晶駆動ドライバを試験するICテスタに用いられるDUTカードにおいて、
前記液晶駆動ドライバの奇数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第1のスイッチと、
前記液晶駆動ドライバの偶数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第2のスイッチと、
前記第1のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの奇数ピンとの接続をオン/オフする第3のスイッチと、
前記第2のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの偶数ピンとの接続をオン/オフする第4のスイッチと
を有することを特徴とするものである。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下図面を用いて本発明の実施の形態を説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。ここで、図4,5と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0015】
図1において、PE(ピンエレクトロニクス)22,23は、テストヘッド2内に設けられ、コンタクトピン、ドライバ、コンパレータ等を有する。切替部50は、プローブカード5に設けられ、複数のスイッチSW1〜SW4を有し、DUT11の奇数ピン111にLCDPE21、PE22を切り替えて接続し、DUT11の偶数ピン112にLCDPE21、PE23を切り替えて接続する。すなわち、切替部50は、DUT11の出力ピンを1/2ずつ選択を行う。スイッチSW1は、DUT11の奇数ピン111とLCDPE21との接続をオン/オフする。スイッチSW2は、DUT11の奇数ピン112とLCDPE21との接続をオン/オフする。スイッチSW3は、PE22とDUT11の奇数ピン111との接続をオン/オフする。スイッチSW4は、PE23とDUT11の偶数ピン112との接続をオン/オフする。
【0016】
次にLCDPE21の具体的構成を図2に示し説明する。図2において、マルチプレクサ211は、PFB3に電気的に接続すると共に、図示しないDC(直流)特性試験部に接続する。アッテネータ212は、マルチプレクサ211に接続し、信号の減衰を行う。コンパレータ213は、アッテネータ212の出力と比較電圧Vrefとを比較する。なお、コンパレータ213は通常ウィンドウコンパレータで比較電圧Vrefとして、ハイレベルとロウレベルの比較電圧が与えられる。カウンタ(アドレス発生部)214は、カウント値(アドレス)を出力する。期待値メモリ215は、カウンタ214のカウント値をアドレスとして、期待値を出力する。デジタルコンパレータ216は、コンパレータ213の出力と期待値メモリ215の期待値とを、ストローブのタイミングで比較し、パス/フェイルを出力する。フェイルメモリ217は、デジタルコンパレータ216がフェイルのとき、カウンタ214のカウント値を記憶する。
【0017】
ここで、DC特性試験部、電源は図示しない本体に設けられ、比較電圧Vref、ストローブ、制御信号は本体から与えられ、パス/フェイルは本体に与えられる。なお、PE22,23は、図2と同様な構成であるが、アッテネータ12がなく、ドライバを有する構成である。
【0018】
このような装置の動作を以下で説明する。切替部50は、スイッチSW1,SW3をオンし、スイッチSW2,SW4をオフする。そして、PE22が信号を出力する。そして、信号は、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW3,SW1、コンタクトリング4、PFB3と順番に流れ、LCDPE21に入力される。この信号により、LCDPE21は、マルチプレクサ211にDC特性試験部を選択させ、スイッチSW1,SW3の診断を行う。
【0019】
次に、切替部50は、スイッチSW1,SW3をオフし、スイッチSW2,SW4をオンする。そして、PE23が信号を出力する。そして、信号は、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW4,SW2、コンタクトリング4、PFB3と順番に流れ、LCDPE21に入力される。この信号により、LCDPE21は、マルチプレクサ211にDC特性試験部を選択させ、スイッチSW2,SW4の診断を行う。
【0020】
図示しないプローバにより、DUT11をプローブカード5のプローブに電気的に接続させる。接続後、切替部50は、スイッチSW1をオンし、スイッチSW2〜SW4をオフする。テストヘッド2のLCDPE21は、マルチプレクサ211にDC特性試験部を選択させ、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW1を介して、DUT11の奇数ピン111におけるDC特性試験を行う。
【0021】
次に、切替部50は、スイッチSW2をオンし、スイッチSW1,SW3,SW4をオフする。テストヘッド2のLCDPE21は、マルチプレクサ211にDC特性試験部を選択させ、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW2を介して、DUT11の偶数ピン112におけるDC特性試験を行う。
【0022】
次に、切替部50は、スイッチSW1をオンし、スイッチSW2〜SW4をオフする。テストヘッド6から、試験信号がPFB3に出力される。そして、PFB3から、コンタクトリング4を介して、プローブカード5に試験信号が出力される。この試験信号を、プローブカード5はDUT11に出力する。DUT11は、試験信号に基づいた多階調電圧の出力を行う。DUT11の奇数ピン111の出力をプローブカード5は入力し、スイッチSW1、コンタクトリング4を介して、PFB3に出力する。そして、PFB3からLCDPE21へ、DUT11の出力は入力される。
【0023】
DUT11の奇数ピン111の出力は、マルチプレクサ211を介して、アッテネータ212で減衰され、コンパレータ213により比較電圧Vrefと比較される。このとき、比較電圧Vrefは、DUTが出力する多階調電圧に従って変化する。カウンタ214が、カウント値を出力し、このカウント値をアドレスとして、期待値メモリ215は期待値を出力する。そして、デジタルコンパレータ216は、コンパレータ213の出力と期待値メモリ215の期待値とを、ストローブのタイミングで比較し、パス/フェイルを出力する。フェイルのとき、フェイルメモリ217は、カウンタ217のカウント値を記憶する。
【0024】
次に、切替部50は、スイッチSW2をオンし、スイッチSW1,SW3,SW4をオフする。DUT11の偶数ピン112の出力をプローブカード5は入力し、スイッチSW2、コンタクトリング4を介して、PFB3に出力する。そして、PFB3からLCDPE21へ、DUT11の出力は入力される。
【0025】
DUT11の偶数ピン112の出力は、マルチプレクサ211を介して、アッテネータ212で減衰され、コンパレータ213により比較電圧Vrefと比較される。このとき、比較電圧Vrefは、DUTが出力する多階調電圧に従って変化する。カウンタ214が、カウント値を出力し、このカウント値をアドレスとして、期待値メモリ215は期待値を出力する。そして、デジタルコンパレータ216は、コンパレータ213の出力と期待値メモリ215の期待値とを、ストローブのタイミングで比較し、パス/フェイルを出力する。フェイルのとき、フェイルメモリ217は、カウンタ217のカウント値を記憶する。
【0026】
そして、切替部50は、スイッチSW1,SW2をオフし、スイッチSW3,SW4をオンする。PE22が試験信号をPFB3に出力する。PFB3から、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW3を介して、DUT11の奇数ピン111に出力される。一方、PE23は、PFB3、コンタクトリング4、プローブカード5のスイッチSW4を介して、DUT11の偶数ピン112の出力を測定し、ピン間ショートの測定を行う。
【0027】
この結果、DUT11の良否が判定される。再び、プローバにより、DUT11の接続切替えが行われる。
【0028】
このように、プローブカード5の切替部50により、DUT11の出力ピン111,112を切り替えるので、テストヘッド2のLCDPE21の数を増やすことなく、DUT11の試験時間の増加を抑えて試験を行うことができる。また、DUT11からの信号経路数が増加しないので、コンタクトリング4を大きくしなくてもよい。また、DUT11からの信号経路数が増加しないので、PFB3とテストヘッド2との接続、コンタクトリング4とPFB3、プローブカード5との接続が容易に行える。
【0029】
また、LCDPE21の他の具体的構成を図3に示す。ここで、図2と同一のものは同一符号を付し説明を省略する。
【0030】
図3において、減算器218、アンプ219が、アッテネータ212の代わりに設けられる。減算器218は、マルチプレクサ211の出力と期待値電圧Vの差電圧を出力する。アンプ219は、減算器218からの差電圧を増幅し、コンパレータ213に出力する。ここで、期待値電圧Vは本体から与えられている。
【0031】
このような装置の動作を以下で説明する。なお、LCDPE21の内部動作以外は、図2に示す装置と同一なので説明を省略する。DUT11の出力は、マルチプレクサ211を介して、減算器218に入力され、減算器218で期待値電圧Vとの差電圧が出力される。この差電圧はアンプ219で増幅される。そして、コンパレータ213は、アンプ219の出力と比較電圧Vrefと比較する。このとき、期待値電圧Vは、DUT11が出力する多階調電圧に従って変化し、比較電圧Vrefは一定である。カウンタ214が、カウント値を出力し、このカウント値をアドレスとして、期待値メモリ215は期待値を出力する。そして、デジタルコンパレータ216は、コンパレータ213の出力と期待値メモリ215の期待値とを、ストローブのタイミングで比較し、パス/フェイルを出力する。フェイルのとき、フェイルメモリ217は、カウンタ217のカウント値を記憶する。
【0032】
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、プローブを有するプローブカード5による構成を示したが、液晶駆動ドライバがパッケージの場合は、プローブで試験する場合と、ソケットで試験する場合とがある。従って、プローブカード5の代わりに、ソケットを有するDUTボードにしてもよい。つまり、プローブまたはソケットを有するDUTカードであればよい。
【0033】
また、映像駆動ドライバとして、液晶駆動ドライバの他に、プラズマディスプレイを駆動するPDPドライバ、EL(Electroluminescence)ディスプレイを駆動するELドライバ等がある。
【0034】
そして、コンタクトリング4により、PFB3とプローブカード5とを電気的に接続する構成を示したがケーブル、コネクタ等でもよい。
【0035】
また、プローブカード5は、スイッチSW1〜SW4だけでなく、アンプやA/Dコンバータなどが入る場合もある。
【0036】
【発明の効果】
本発明によれば、DUTカードにより、映像駆動ドライバの出力ピンを切り替えるので、各種制限を受けることなく、試験時間の増加を抑えて、映像駆動ドライバの試験を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示した構成図である。
【図2】LCDPE21の具体的構成を示した図である。
【図3】LCDPE21の具体的構成を示した図である。
【図4】ICテスタの概略構成を示した図である。
【図5】従来のICテスタの構成を示した図である。
【符号の説明】
1 ウェハ
11 液晶駆動ドライバ
2 テストヘッド
3 パフォーマンスボード
4 コンタクトリング
5 プローブカード
50 切替部
Claims (4)
- 複数の出力ピンを有する液晶駆動ドライバを試験するICテスタにおいて、
第1、第2のピンエレクトロニクス、前記液晶駆動ドライバの出力の偶数、奇数ピンの1組ごとに設けられる液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスが設けられるテストヘッドと、
このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと、
このパフォーマンスボードに前記液晶駆動ドライバの出力ピンを切り替えて電気的に接続するDUTカードと
を有し、
前記DUTカードは、
前記液晶駆動ドライバの奇数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第1のスイッチと、
前記液晶駆動ドライバの偶数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第2のスイッチと、
前記第1のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの奇数ピンとの接続をオン/オフする第3のスイッチと、
前記第2のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの偶数ピンとの接続をオン/オフする第4のスイッチと
を備えたことを特徴とするICテスタ。 - パフォーマンスボードとDUTカードとの間に設けられ、パフォーマンスボードとDUTカードとを電気的に接続するコンタクトリングを設けたことを特徴とする請求項1記載のICテスタ。
- DUTカードは、液晶駆動ドライバと電気的に接続するプローブまたはソケットを設けたことを特徴とする請求項1または2記載のICテスタ。
- 第1、第2のピンエレクトロニクス、前記液晶駆動ドライバの出力の偶数、奇数ピンの1組ごとに設けられる液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスが設けられるテストヘッドと、
このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと
を具備し、前記パフォーマンスボードと電気的に接続し、複数の出力ピンを有する液晶駆動ドライバを試験するICテスタに用いられるDUTカードにおいて、
前記液晶駆動ドライバの奇数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第1のスイッチと、
前記液晶駆動ドライバの偶数ピンと前記液晶駆動ドライバピンエレクトロニクスとの接続をオン/オフする第2のスイッチと、
前記第1のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの奇数ピンとの接続をオン/オフする第3のスイッチと、
前記第2のピンエレクトロニクスと前記液晶駆動ドライバの偶数ピンとの接続をオン/オフする第4のスイッチと
を有することを特徴とするDUTカード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001349786A JP3594136B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Icテスタ及びdutカード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001349786A JP3594136B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Icテスタ及びdutカード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003149297A JP2003149297A (ja) | 2003-05-21 |
JP3594136B2 true JP3594136B2 (ja) | 2004-11-24 |
Family
ID=19162404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001349786A Expired - Fee Related JP3594136B2 (ja) | 2001-11-15 | 2001-11-15 | Icテスタ及びdutカード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3594136B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1763678B1 (en) | 2004-07-07 | 2009-08-26 | Verigy (Singapore) Pte. Ltd. | Evaluation of an output signal of a device under test |
JP5003955B2 (ja) * | 2007-11-21 | 2012-08-22 | 横河電機株式会社 | Icテスタ |
WO2010054669A1 (en) | 2008-11-11 | 2010-05-20 | Verigy (Singapore) Pte.Ltd. | Re-configurable test circuit, method for operating an automated test equipment, apparatus, method and computer program for setting up an automated test equipment |
JP2012063198A (ja) * | 2010-09-15 | 2012-03-29 | Yokogawa Electric Corp | 半導体装置、半導体テスタおよび半導体テストシステム |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06151532A (ja) * | 1992-11-13 | 1994-05-31 | Tokyo Electron Yamanashi Kk | プローブ装置 |
JPH1048289A (ja) * | 1996-08-01 | 1998-02-20 | Seiko Epson Corp | 半導体集積回路テストシステム |
JP2000147065A (ja) * | 1998-11-10 | 2000-05-26 | Yokogawa Electric Corp | 光源付きlsiテスター |
JP3191791B2 (ja) * | 1999-01-14 | 2001-07-23 | 日本電気株式会社 | プローブカード |
-
2001
- 2001-11-15 JP JP2001349786A patent/JP3594136B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003149297A (ja) | 2003-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4290370B2 (ja) | ディスプレイを駆動する駆動デバイス及び駆動デバイスを含むディスプレイ装置 | |
US8026889B2 (en) | Drive circuit of display device and method of testing the same | |
TW200816341A (en) | Semiconductor device, semiconductor device testing method, and probe card | |
US10818208B2 (en) | Source driver | |
KR19990030341A (ko) | 반도체 검사회로 및 반도체 회로의 검사방법 | |
JP4978779B2 (ja) | 半導体集積回路の試験方法及びicテスタ | |
JP3594136B2 (ja) | Icテスタ及びdutカード | |
KR100712090B1 (ko) | 반도체 집적회로 및 테스트 시스템 | |
JPH1184420A (ja) | 液晶表示装置、アレイ基板の検査方法およびアレイ基板用テスタ | |
US20060158208A1 (en) | Prober tester | |
JP2012233966A (ja) | 表示装置の駆動回路及びそのテスト制御方法 | |
JP3531161B2 (ja) | 映像駆動ドライバの試験装置 | |
JP2000009808A (ja) | 半導体装置および液晶駆動装置 | |
JP4120880B2 (ja) | 半導体試験装置のテストヘッド | |
JP2002005999A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP4061533B2 (ja) | Icテスタ | |
JP2004361111A (ja) | 半導体試験装置および半導体集積回路の試験方法 | |
JP4813909B2 (ja) | 集積回路およびそのテスト方法 | |
JP5003955B2 (ja) | Icテスタ | |
JP2007225489A (ja) | Icテスタ | |
JP2004095802A (ja) | 半導体試験装置 | |
JP2011075334A (ja) | 半導体集積回路及びそのテスト方法 | |
JP2000121703A (ja) | 半導体モジュールの電気的特性試験方法及びその装置 | |
JP3594137B2 (ja) | Icテスタ | |
JP2005337801A (ja) | 液晶駆動ドライバの試験装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040514 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040518 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040716 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040812 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040825 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |