JP2000147065A - 光源付きｌｓｉテスター - Google Patents
光源付きｌｓｉテスターInfo
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- JP2000147065A JP2000147065A JP10319095A JP31909598A JP2000147065A JP 2000147065 A JP2000147065 A JP 2000147065A JP 10319095 A JP10319095 A JP 10319095A JP 31909598 A JP31909598 A JP 31909598A JP 2000147065 A JP2000147065 A JP 2000147065A
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- JP
- Japan
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- light
- light source
- performance board
- shielding
- test head
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光源からの照射光に対して、外界からの光を
簡潔な構成により遮光することにより、測定性能が向上
され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスターを提供す
る。 【解決手段】 測定デバイスを照射する光源部と、テス
トヘッドと、パフォマンスボードとを具備する光源付き
ＬＳＩテスターにおいて、前記テストヘッドの中央部に
設けられた貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源部
と、前記パフォマンスボードに設けられ前記テストヘッ
ドの光源部から前記測定デバイスに投射される光を外部
の光から遮光する遮光筒とを具備したことを特徴とする
光源付きＬＳＩテスターである。
簡潔な構成により遮光することにより、測定性能が向上
され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスターを提供す
る。 【解決手段】 測定デバイスを照射する光源部と、テス
トヘッドと、パフォマンスボードとを具備する光源付き
ＬＳＩテスターにおいて、前記テストヘッドの中央部に
設けられた貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源部
と、前記パフォマンスボードに設けられ前記テストヘッ
ドの光源部から前記測定デバイスに投射される光を外部
の光から遮光する遮光筒とを具備したことを特徴とする
光源付きＬＳＩテスターである。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩテストシス
テムにおいて、検査測定時に光源（光）を必要とする測
定デバイスを検査する装置に関するものである。更に、
詳述すれば、光源からの照射光に対して、外界からの光
を簡潔な構成により遮光することにより、測定性能が向
上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスターに関す
るものである。
テムにおいて、検査測定時に光源（光）を必要とする測
定デバイスを検査する装置に関するものである。更に、
詳述すれば、光源からの照射光に対して、外界からの光
を簡潔な構成により遮光することにより、測定性能が向
上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスターに関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図８は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図、図７は図６の平面図である。
従来例の構成説明図、図７は図６の平面図である。
【０００３】図において、プローバ１には、測定デバイ
スＡが配置され、測定デバイスＡに対向してプローブカ
ード２、コンタクトリング３、パフォマンスボード４が
配置されている。
スＡが配置され、測定デバイスＡに対向してプローブカ
ード２、コンタクトリング３、パフォマンスボード４が
配置されている。
【０００４】光源部１１は、光源電源部１２がプローバ
１に隣接して配置され、光源電源部１２からアーム１３
を介して光源本体部１４が、パフォマンスボード４に対
向して配置されている。
１に隣接して配置され、光源電源部１２からアーム１３
を介して光源本体部１４が、パフォマンスボード４に対
向して配置されている。
【０００５】テストヘッド２１は、プローバ１に隣接し
て配置され、パフォマンスボード４とは信号ケーブル２
２を介して接続されている。台車２３は、テストヘッド
２１をプローバ１近くに保持するためのものである。
て配置され、パフォマンスボード４とは信号ケーブル２
２を介して接続されている。台車２３は、テストヘッド
２１をプローバ１近くに保持するためのものである。
【０００６】遮光部３１は、光源本体部１４とプローバ
１との間に設けられ、光源本体部１４とパフォマンスボ
ード４と測定デバイスＡとを外部の光から遮光する。こ
の場合は、たとえば、黒色の布からなる遮光幕あるい
は、箱状の遮光カバーが使用されている。
１との間に設けられ、光源本体部１４とパフォマンスボ
ード４と測定デバイスＡとを外部の光から遮光する。こ
の場合は、たとえば、黒色の布からなる遮光幕あるい
は、箱状の遮光カバーが使用されている。
【０００７】以上の構成において、光源本体部１４から
測定デバイスＡに光が照射されて、測定デバイスＡのテ
ストが行われる。
測定デバイスＡに光が照射されて、測定デバイスＡのテ
ストが行われる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな、検査測定時に光源を必要とする測定デバイスを測
定するテストシステムの装置においては、.測定デバイ
スＡに直接光を当てて測定しなければならないため、光
源が優先され、プローバ１の上部を占有し、テストヘッ
ド２１からの測定ラインは、信号ケーブル２２により配
線接続しなければならない。
うな、検査測定時に光源を必要とする測定デバイスを測
定するテストシステムの装置においては、.測定デバイ
スＡに直接光を当てて測定しなければならないため、光
源が優先され、プローバ１の上部を占有し、テストヘッ
ド２１からの測定ラインは、信号ケーブル２２により配
線接続しなければならない。
【０００９】この信号ケーブル２２の配線接続は確保し
ながら、光源から.測定デバイスＡへの照射光を外部光
から遮光するために、遮光部３１として、光源から遮光
幕（黒色の布）や、専用の遮光カバーを取付け、パフォ
ーマンスボード４、測定デバイスＡの遮光を行ってい
た。これでは、信号ケーブル２２を通さなければならな
いので、構造が複雑になる。
ながら、光源から.測定デバイスＡへの照射光を外部光
から遮光するために、遮光部３１として、光源から遮光
幕（黒色の布）や、専用の遮光カバーを取付け、パフォ
ーマンスボード４、測定デバイスＡの遮光を行ってい
た。これでは、信号ケーブル２２を通さなければならな
いので、構造が複雑になる。
【００１０】本発明は、上記の課題を解決するものであ
る。本発明の目的は、光源からの照射光に対して、外界
からの光を簡潔な構成により遮光することにより、測定
性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスタ
ーを提供することにある。
る。本発明の目的は、光源からの照射光に対して、外界
からの光を簡潔な構成により遮光することにより、測定
性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテスタ
ーを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、 （１）測定デバイスを照射する光源部と、テストヘッド
と、パフォマンスボードとを具備する光源付きＬＳＩテ
スターにおいて、前記テストヘッドの中央部に設けられ
た貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源部と、前記パ
フォマンスボードに設けられ前記テストヘッドの光源部
から前記測定デバイスに投射される光を外部の光から遮
光する遮光筒とを具備したことを特徴とする光源付きＬ
ＳＩテスター。 （２）測定デバイスを照射する光源部と、テストヘッド
と、パフォマンスボードと、このパフォマンスボードに
対向して設けられたコンタクトリングとを具備する光源
付きＬＳＩテスターにおいて、前記テストヘッドの中央
部に設けられた貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源
部と、前記テストヘッドに取付けられたパフォマンスボ
ードと、このパフォマンスボードに途中が取付けられ一
方が前記貫通孔内に配置され他方が前記コンタクトリン
グ内に配置されて前記光源部から測定デバイスに投射さ
れる光を外部の光から遮光する遮光筒とを具備したこと
を特徴とする光源付きＬＳＩテスター。 （３）前記遮光筒が前記パフォマンスボードへの取り付
け個所で前記貫通孔内に配置される第1の遮光筒と前記
コンタクトリング内に配置される第2の遮光筒とに分割
されそれぞれの一端が前記パフォマンスボードへ取付け
られた事を特徴とする（２）記載の光源付きＬＳＩテス
ター。を構成したものである。
るために、本発明では、 （１）測定デバイスを照射する光源部と、テストヘッド
と、パフォマンスボードとを具備する光源付きＬＳＩテ
スターにおいて、前記テストヘッドの中央部に設けられ
た貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源部と、前記パ
フォマンスボードに設けられ前記テストヘッドの光源部
から前記測定デバイスに投射される光を外部の光から遮
光する遮光筒とを具備したことを特徴とする光源付きＬ
ＳＩテスター。 （２）測定デバイスを照射する光源部と、テストヘッド
と、パフォマンスボードと、このパフォマンスボードに
対向して設けられたコンタクトリングとを具備する光源
付きＬＳＩテスターにおいて、前記テストヘッドの中央
部に設けられた貫通孔と、この貫通孔に設けられた光源
部と、前記テストヘッドに取付けられたパフォマンスボ
ードと、このパフォマンスボードに途中が取付けられ一
方が前記貫通孔内に配置され他方が前記コンタクトリン
グ内に配置されて前記光源部から測定デバイスに投射さ
れる光を外部の光から遮光する遮光筒とを具備したこと
を特徴とする光源付きＬＳＩテスター。 （３）前記遮光筒が前記パフォマンスボードへの取り付
け個所で前記貫通孔内に配置される第1の遮光筒と前記
コンタクトリング内に配置される第2の遮光筒とに分割
されそれぞれの一端が前記パフォマンスボードへ取付け
られた事を特徴とする（２）記載の光源付きＬＳＩテス
ター。を構成したものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の平面図、図３は図１の要部詳細図、図４は図
３の要部詳細図、図５は図４の平面図、図６は図４の組
立て斜視図である。図において、図８と同一記号の構成
は同一機能を表す。以下、図８と相違部分のみ説明す
る。
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の平面図、図３は図１の要部詳細図、図４は図
３の要部詳細図、図５は図４の平面図、図６は図４の組
立て斜視図である。図において、図８と同一記号の構成
は同一機能を表す。以下、図８と相違部分のみ説明す
る。
【００１３】中央部に貫通孔４２が設けられたテストヘ
ッド４１は、パフォマンスボード４に対向して設けられ
ている。光源部４３は、このテストヘッド４１の貫通孔
４２に設けられている。
ッド４１は、パフォマンスボード４に対向して設けられ
ている。光源部４３は、このテストヘッド４１の貫通孔
４２に設けられている。
【００１４】なお、図１に示す如く、テストヘッド４１
をプローバ１に取付けるには、従来から良く採用るされ
ているヒンジ５１による取り付け方式が採用されてい
る。矢印Ｂは、テストヘッド４１のスイング行程を示
す。Ｃ位置は測定時の配置位置を示し、Ｄ位置は測定時
以外の配置位置を示す。
をプローバ１に取付けるには、従来から良く採用るされ
ているヒンジ５１による取り付け方式が採用されてい
る。矢印Ｂは、テストヘッド４１のスイング行程を示
す。Ｃ位置は測定時の配置位置を示し、Ｄ位置は測定時
以外の配置位置を示す。
【００１５】遮光筒６１は、図３，図４，図５，図６に
示す如く、パフォマンスボード４に途中が取付けられ、
一方が、貫通孔４２内に配置され、他方が、コンタクト
リング３内に配置されて、光源部４３から測定デバイス
Aに投射される光を、外部の光から遮光する。
示す如く、パフォマンスボード４に途中が取付けられ、
一方が、貫通孔４２内に配置され、他方が、コンタクト
リング３内に配置されて、光源部４３から測定デバイス
Aに投射される光を、外部の光から遮光する。
【００１６】この場合は、図４，図５，図６に示す如
く、遮光筒６１が、パフォマンスボード４への取り付け
個所で、貫通孔４２内に配置される第1の遮光筒６１１
と、コンタクトリング３内に配置される第2の遮光筒６
１２とに分割され、それぞれの一端がパフォマンスボー
ド４へ取付けられている。
く、遮光筒６１が、パフォマンスボード４への取り付け
個所で、貫通孔４２内に配置される第1の遮光筒６１１
と、コンタクトリング３内に配置される第2の遮光筒６
１２とに分割され、それぞれの一端がパフォマンスボー
ド４へ取付けられている。
【００１７】以上の構成において、テストヘッド４１の
貫通孔４２に、光源部４３が取付けられる。テストヘッ
ド４１は、パフォマンスボード４に対向して配置され
る。遮光筒６１をパフォーマンスボード４に取付ける。
貫通孔４２に、光源部４３が取付けられる。テストヘッ
ド４１は、パフォマンスボード４に対向して配置され
る。遮光筒６１をパフォーマンスボード４に取付ける。
【００１８】この場合は、第１の遮光筒６１１をテスト
ヘッド４１側に、第２の遮光筒６１２をコンタクトリン
グ３側に取付ける。そして、光源部４３から測定デバイ
スＡに光が照射され、遮光筒６１により、外部からの光
を遮光するすると共に、テストヘッド４１の貫通孔４２
の内部の光源による光の乱反射を防止する。
ヘッド４１側に、第２の遮光筒６１２をコンタクトリン
グ３側に取付ける。そして、光源部４３から測定デバイ
スＡに光が照射され、遮光筒６１により、外部からの光
を遮光するすると共に、テストヘッド４１の貫通孔４２
の内部の光源による光の乱反射を防止する。
【００１９】この結果、本発明の請求項１によれば、次
のような効果がある。 （１）パフォマンスボード４に設けられ、テストヘッド
４１の光源部４３から、測定デバイスＡに投射される光
を外部の光から遮光する遮光筒６１が設けられた。
のような効果がある。 （１）パフォマンスボード４に設けられ、テストヘッド
４１の光源部４３から、測定デバイスＡに投射される光
を外部の光から遮光する遮光筒６１が設けられた。
【００２０】従って、光源からの照射光に対して、外界
からの光を簡潔な構成により遮光するようにしたので、
測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテ
スターが得られる。
からの光を簡潔な構成により遮光するようにしたので、
測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテ
スターが得られる。
【００２１】（２）パフォマンスボード４に遮光筒６１
が取付けられるようにしたので、改めて、新規設計をす
ることなく、光源部分がなかった従来装置に、光源４３
と遮光筒６１とを取付けることにより、容易に、光源付
きＬＳＩテスターが得る事が出来る。
が取付けられるようにしたので、改めて、新規設計をす
ることなく、光源部分がなかった従来装置に、光源４３
と遮光筒６１とを取付けることにより、容易に、光源付
きＬＳＩテスターが得る事が出来る。
【００２２】（３）パフォマンスボード４に遮光筒６１
を取付けるようにしたので、光源部分がなかった従来装
置に、光源４３と遮光筒６１とを取付けることにより、
容易に、光源付きＬＳＩテスターに改造することが出来
る。
を取付けるようにしたので、光源部分がなかった従来装
置に、光源４３と遮光筒６１とを取付けることにより、
容易に、光源付きＬＳＩテスターに改造することが出来
る。
【００２３】（４）遮光筒６１の一方が、テストヘッド
４１の貫通孔４２内に配置されたので、貫通孔４２内の
乱反射による性能低下をなくすことが出来る光源付きＬ
ＳＩテスターが得られる。テストヘッドの内部は、通
常、コストダウンのため塗装等を行っておらず、金属色
のままが普通であるからである。
４１の貫通孔４２内に配置されたので、貫通孔４２内の
乱反射による性能低下をなくすことが出来る光源付きＬ
ＳＩテスターが得られる。テストヘッドの内部は、通
常、コストダウンのため塗装等を行っておらず、金属色
のままが普通であるからである。
【００２４】（５）遮光筒６１がパフォマンスボード４
への取り付け個所で、貫通孔４２内に配置される第1の
遮光筒６１１と、コンタクトリング３内に配置される第
2の遮光筒６１２とに分割され、それぞれの一端が、パ
フォマンスボード４へ取付けられたので、組み立て易
く、作り易い光源付きＬＳＩテスターが得られる。
への取り付け個所で、貫通孔４２内に配置される第1の
遮光筒６１１と、コンタクトリング３内に配置される第
2の遮光筒６１２とに分割され、それぞれの一端が、パ
フォマンスボード４へ取付けられたので、組み立て易
く、作り易い光源付きＬＳＩテスターが得られる。
【００２５】図７は本発明の他の実施例の要部構成説明
図である。本実施例においては、パフォマンスボード４
が、テストヘッド４１側でなく、プローバ１側に取り付
けられたもので、遮光筒７１がパフォマンスボード４に
取り付けられている。
図である。本実施例においては、パフォマンスボード４
が、テストヘッド４１側でなく、プローバ１側に取り付
けられたもので、遮光筒７１がパフォマンスボード４に
取り付けられている。
【００２６】なお、前述の実施例においては、中央部に
貫通孔３２が設けられたテストヘッド３１について説明
したが、テストヘッド３１の中央部にスコープホールが
あれば、これを利用しても良いことは、勿論である。要
するに、貫通孔３２が利用出来れば良い。
貫通孔３２が設けられたテストヘッド３１について説明
したが、テストヘッド３１の中央部にスコープホールが
あれば、これを利用しても良いことは、勿論である。要
するに、貫通孔３２が利用出来れば良い。
【００２７】また、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。 （１）パフォマンスボードに設けられ、テストヘッドの
光源部から、測定デバイスに投射される光を外部の光か
ら遮光する遮光筒が設けられた。
によれば、次のような効果がある。 （１）パフォマンスボードに設けられ、テストヘッドの
光源部から、測定デバイスに投射される光を外部の光か
ら遮光する遮光筒が設けられた。
【００２９】従って、光源からの照射光に対して、外界
からの光を簡潔な構成により遮光するようにしたので、
測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテ
スターが得られる。
からの光を簡潔な構成により遮光するようにしたので、
測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳＩテ
スターが得られる。
【００３０】（２）パフォマンスボードに遮光筒が取付
けられるようにしたので、改めて、新規設計をすること
なく、光源部分がなかった従来装置に、光源と遮光筒と
を取付けることにより、容易に、光源付きＬＳＩテスタ
ーが得る事が出来る。
けられるようにしたので、改めて、新規設計をすること
なく、光源部分がなかった従来装置に、光源と遮光筒と
を取付けることにより、容易に、光源付きＬＳＩテスタ
ーが得る事が出来る。
【００３１】（３）パフォマンスボードに遮光筒を取付
けるようにしたので、光源部分がなかった従来装置に、
光源と遮光筒とを取付けることにより、容易に、光源付
きＬＳＩテスターに改造することが出来る。
けるようにしたので、光源部分がなかった従来装置に、
光源と遮光筒とを取付けることにより、容易に、光源付
きＬＳＩテスターに改造することが出来る。
【００３２】本発明の請求項２によれば、次のような効
果がある。遮光筒の一方が、テストヘッドの貫通孔内に
配置されたので、貫通孔内の乱反射による性能低下をな
くすことが出来る光源付きＬＳＩテスターが得られる。
テストヘッドの内部は、通常、コストダウンのため塗装
等を行っておらず、金属色のままが普通であるからであ
る。
果がある。遮光筒の一方が、テストヘッドの貫通孔内に
配置されたので、貫通孔内の乱反射による性能低下をな
くすことが出来る光源付きＬＳＩテスターが得られる。
テストヘッドの内部は、通常、コストダウンのため塗装
等を行っておらず、金属色のままが普通であるからであ
る。
【００３３】本発明の請求項３によれば、次のような効
果がある。遮光筒がパフォマンスボードへの取り付け個
所で貫通孔内に配置される第1の遮光筒と、コンタクト
リング内に配置される第2の遮光筒とに分割され、それ
ぞれの一端がパフォマンスボードへ取付けられたので、
組み立て易く、作り易い光源付きＬＳＩテスターが得ら
れる。
果がある。遮光筒がパフォマンスボードへの取り付け個
所で貫通孔内に配置される第1の遮光筒と、コンタクト
リング内に配置される第2の遮光筒とに分割され、それ
ぞれの一端がパフォマンスボードへ取付けられたので、
組み立て易く、作り易い光源付きＬＳＩテスターが得ら
れる。
【００３４】従って、本発明によれば、光源からの照射
光に対して、外界からの光を簡潔な構成により遮光する
ことにより、測定性能が向上され、小型化が容易な光源
付きＬＳＩテスターを実現することが出来る。
光に対して、外界からの光を簡潔な構成により遮光する
ことにより、測定性能が向上され、小型化が容易な光源
付きＬＳＩテスターを実現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図１の要部詳細図である。
【図４】図３の要部詳細図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６】図４の組立て斜視図である。
【図７】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図８】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。
成説明図である。
【図９】図８の平面図である。
１ プローバ ２ プローブカード ３ コンタクトリング ４ パフォマンスボード ４１ テストヘッド ４２ 貫通孔 ４３ 光源部 ５１ ヒンジ ６１ 遮光筒 ６１１ 第1の遮光筒 ６１２ 第2の遮光筒 ７１ 遮光筒 Ａ 測定デバイス
Claims (3)
- 【請求項１】測定デバイスを照射する光源部と、テスト
ヘッドと、パフォマンスボードとを具備する光源付きＬ
ＳＩテスターにおいて、 前記テストヘッドの中央部に設けられた貫通孔と、 この貫通孔に設けられた光源部と、 前記パフォマンスボードに設けられ前記テストヘッドの
光源部から前記測定デバイスに投射される光を外部の光
から遮光する遮光筒とを具備したことを特徴とする光源
付きＬＳＩテスター。 - 【請求項２】測定デバイスを照射する光源部と、テスト
ヘッドと、パフォマンスボードと、このパフォマンスボ
ードに対向して設けられたコンタクトリングとを具備す
る光源付きＬＳＩテスターにおいて、 前記テストヘッドの中央部に設けられた貫通孔と、 この貫通孔に設けられた光源部と、 前記テストヘッドに取付けられたパフォマンスボード
と、 このパフォマンスボードに途中が取付けられ一方が前記
貫通孔内に配置され他方が前記コンタクトリング内に配
置されて前記光源部から測定デバイスに投射される光を
外部の光から遮光する遮光筒とを具備したことを特徴と
する光源付きＬＳＩテスター。 - 【請求項３】前記遮光筒が前記パフォマンスボードへの
取り付け個所で前記貫通孔内に配置される第1の遮光筒
と前記コンタクトリング内に配置される第2の遮光筒と
に分割されそれぞれの一端が前記パフォマンスボードへ
取付けられた事を特徴とする請求項２記載の光源付きＬ
ＳＩテスター。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10319095A JP2000147065A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光源付きｌｓｉテスター |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10319095A JP2000147065A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光源付きｌｓｉテスター |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000147065A true JP2000147065A (ja) | 2000-05-26 |
Family
ID=18106431
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10319095A Pending JP2000147065A (ja) | 1998-11-10 | 1998-11-10 | 光源付きｌｓｉテスター |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000147065A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003149297A (ja) * | 2001-11-15 | 2003-05-21 | Yokogawa Electric Corp | Ｉｃテスタ及びｄｕｔカード |
| US7154261B2 (en) | 2003-10-27 | 2006-12-26 | Wintest Corporation | Tester device, inspection device, and interconnection board receiving unit for the tester device and inspection device |
| JP2006349522A (ja) * | 2005-06-16 | 2006-12-28 | Fujifilm Holdings Corp | 固体撮像素子の検査方法及びその装置 |
-
1998
- 1998-11-10 JP JP10319095A patent/JP2000147065A/ja active Pending
Cited By (3)
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