JP2000137058A - 光源付きｌｓｉテスター - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 テストヘッドと光源が一体化された構成によ
り、測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬＳ
Ｉテスターを提供する。 【解決手段】 測定デバイスを照射する光源部とテスト
ヘッドとパフォマンスボードとを具備する光源付きＬＳ
Ｉテスターにおいて、前記パフォマンスボードに対向し
て設けられたテストヘッドと、このテストヘッドの中央
部に設けられた貫通孔と、このテストヘッドの前記貫通
孔に設けられた光源部とを具備したことを特徴とする光
源付きＬＳＩテスターである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩテストシス
テムにおいて、検査測定時に光源（光）を必要とする測
定デバイスを検査する装置に関するものである。更に、
詳述すれば、テストヘッドと光源が一体化された構成に
より、測定性能が向上され、小型化が容易な光源付きＬ
ＳＩテスターに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図、図４は図３の平面図である。

【０００３】図において、プローバ１には、測定デバイ
スＡが配置され、測定デバイスＡに対向してプローブカ
ード２、コンタクトリング３、パフォマンスボード４が
配置されている。

【０００４】光源部１１は、光源電源部１２がプローバ
１に隣接して配置され、光源電源部１２からアーム１３
を介して光源本体部１４が、パフォマンスボード４に対
向して配置されている。

【０００５】テストヘッド２１は、プローバ１に隣接し
て配置され、パフォマンスボード４とは信号ケーブル２
２を介して接続されている。台車２３は、テストヘッド
２１を乗せる台である。

【０００６】以上の構成において、光源本体部１４から
測定デバイスＡに光が照射されて、測定デバイスＡのテ
ストが行われる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな、検査測定時に光源を必要とする測定デバイスを測
定するテストシステムの装置においては、 （１）.測定デバイスＡに直接光を当てて測定しなけれ
ばならないため、光源が優先され、プローバ１の上部を
占有し、テストヘッド２１からの測定ラインは、信号ケ
ーブル２２により配線接続しなければならない。

【０００８】そのためテストヘッド２１とパフォマンス
ボード４との、測定長（回路長）が長くなり、日進月歩
で性能が向上されていく測定デバイスＡに対して、非常
に不利な状態となり、装置の性能の向上が図れなくな
る。

【０００９】（２）.プローバ１（またはハンドラ）、
光源電源部１２、テストヘッド２１が、すべて個別に存
在するので、測定デバイスＡの測定コストに直接関係す
る「床面積」を多く占有してしまう。

【００１０】（３）.光源が、測定デバイスＡの上部を
占有してしまう事により、テストヘッド２１の取付方法
が、通常のテストシステムと異なってしまう。このため
に、 従来の同形状のテストシステムと本システムとのプロ
ーバ１への取付方法が異なるため、部品ユニットの組み
合せ数が増加し、全体の管理工数が増加する。

【００１１】テストシステムのテストヘッド形状２１
及び電気的測定内容が同一のシステムにもかかわらず、
測定デバイスＡが光源を必要とするか否かの違いによ
り、同一のシステムで測定する事が出来ない。

【００１２】本発明は、上記の課題を解決するものであ
る。本発明の目的は、テストヘッドと光源が一体化され
た構成により、測定性能が向上され、小型化が容易な光
源付きＬＳＩテスターを提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、測定デバイスを照射する光源部
とテストヘッドとパフォマンスボードとを具備する光源
付きＬＳＩテスターにおいて、前記パフォマンスボード
に対向して設けられたテストヘッドと、このテストヘッ
ドの中央部に設けられた貫通孔と、このテストヘッドの
前記貫通孔に設けられた光源部とを具備したことを特徴
とする光源付きＬＳＩテスターを構成したものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図2は図1の平面図である。図において、図３と同一記号
の構成は同一機能を表す。以下、図３と相違部分のみ説
明する。

【００１５】中央部に貫通孔３２が設けられたテストヘ
ッド３１は、パフォマンスボード４に対向して設けられ
ている。光源部３３は、このテストヘッド３１の貫通孔
３２に設けられている。

【００１６】なお、図１に示す如く、テストヘッド３１
をプローバ１に取付けるには、従来から良く採用るされ
ているヒンジ４１による取り付け方式が採用されてい
る。矢印Ｂは、テストヘッド３１のスイング行程を示
す。Ｃ位置は測定時の配置位置を示し、Ｄ位置は測定時
以外の配置位置を示す。

【００１７】以上の構成において、テストヘッド３１の
貫通孔３２に、光源部３３が取付けられる。テストヘッ
ド３１は、パフォマンスボード４に対向して配置され
る。そして、光源部３３から測定デバイスＡに光が照射
されて、測定デバイスＡのテストが行われる。

【００１８】この結果、 （１）テストヘッド３１の貫通孔３２に、光源部３３が
取付けられ、テストヘッド３１は、パフォマンスボード
４に対向して配置されるようにされたので、光源部分を
確保しながら、光源部分がなかった従来装置と同様に、
テストヘッド３１をパフォマンスボード４に近ずけるこ
とが出来る。

【００１９】従って、図３従来例の如き、信号ケーブル
２２が不要となり、テストヘッド３１とパフォマンスボ
ード４との、測定長（回路長）が短く出来、装置の性能
の向上が図れる光源付きＬＳＩテスターが得られる。

【００２０】（２）光源部３３がテストヘッド３１に取
付けられ、テストヘッド３１がパフォマンスボード４に
対向して配置されたので、測定デバイスＡの測定コスト
に直接関係する「床面積」の削減が出来る光源付きＬＳ
Ｉテスターが得られる。

【００２１】（３）光源部３３を取付けるか、取り外す
かにより、光源を必要とする光源付きＬＳＩテスター
と、光源を必要としないＬＳＩテスターとに対応できる
ので、汎用性が向上された光源付きＬＳＩテスターが得
られる。

【００２２】なお、前述の実施例においては、中央部に
貫通孔３２が設けられたテストヘッド３１について説明
したが、テストヘッド３１の中央部にスコープホールが
あれば、これを利用しても良いことは、勿論である。要
するに、貫通孔３２が利用出来れば良い。

【００２３】また、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。 （１）テストヘッドの貫通孔に、光源部が取付けられ、
テストヘッドは、パフォマンスボードに対向して配置さ
れるようにされたので、光源部分を確保しながら、光源
部分がなかった従来装置と同様に、テストヘッドをパフ
ォマンスボードに近ずけることが出来る。

【００２５】従って、従来例の如き、信号ケーブルが不
要となり、テストヘッドとパフォマンスボードとの、測
定長（回路長）が短く出来、装置の性能の向上が図れる
光源付きＬＳＩテスターが得られる。

【００２６】（２）光源部がテストヘッドに取付けら
れ、テストヘッドがパフォマンスボードに対向して配置
されたので、測定デバイスの測定コストに直接関係する
「床面積」の削減が出来る光源付きＬＳＩテスターが得
られる。

【００２７】（３）光源部を取付けるか、取り外すかに
より、光源を必要とする光源付きＬＳＩテスターと、光
源を必要としないＬＳＩテスターとに対応できるので、
汎用性が向上された光源付きＬＳＩテスターが得られ
る。

【００２８】従って、本発明によれば、テストヘッドと
光源が一体化された構成により、測定性能が向上され、
小型化が容易な光源付きＬＳＩテスターを実現すること
が出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１の平面図である。

【図３】従来より一般に使用されている従来例の要部構
成説明図である。

【図４】図３の平面図である。

【符号の説明】

１ プローバ ２ プローブカード ３ コンタクトリング ４ パフォマンスボード ３１ テストヘッド ３２ 貫通孔 ３３ 光源部 ４１ ヒンジ Ａ 測定デバイス

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定デバイスを照射する光源部とテストヘ
   ッドとパフォマンスボードとを具備する光源付きＬＳＩ
   テスターにおいて、 前記パフォマンスボードに対向して設けられたテストヘ
   ッドと、 このテストヘッドの中央部分に設けられた貫通孔と、 このテストヘッドの前記貫通孔に設けられた光源部とを
   具備したことを特徴とする光源付きＬＳＩテスター。