JP2003149297A

JP2003149297A - Ｉｃテスタ及びｄｕｔカード

Info

Publication number: JP2003149297A
Application number: JP2001349786A
Authority: JP
Inventors: Kenji Uda; 憲司宇田; Nozomi Hasegawa; 望長谷川
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 2001-11-15
Filing date: 2001-11-15
Publication date: 2003-05-21
Anticipated expiration: 2021-11-15
Also published as: JP3594136B2

Abstract

(57)【要約】【課題】各種制限を受けずに、試験時間の増加を抑え
て、映像駆動ドライバの試験を行うことができるＩＣテ
スタ及びＤＵＴカードを実現することを目的にする。【解決手段】本発明は、複数の出力ピンを有する映像
駆動ドライバを試験するＩＣテスタに改良を加えたもの
である。本装置は、信号の授受を行い、試験を行うテス
トヘッドと、このテストヘッドと電気的に接続し、テス
トヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボードと、
このパフォーマンスボードに映像駆動ドライバの出力ピ
ンを切り替えて電気的に接続するＤＵＴカードとを有す
ることを特徴とする装置である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、映像駆動ドライ
バ、例えば、液晶ディスプレイを駆動する液晶駆動ドラ
イバの試験に用いるＩＣテスタ及びＤＵＴカードに関
し、各種制限を受けずに、試験時間の増加を抑えて、映
像駆動ドライバの試験を行うことができるＩＣテスタ及
びＤＵＴカードに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】映像駆動ドライバ、例えば、液晶ディス
プレイを駆動する液晶駆動ドライバの試験は、ＩＣテス
タを用いて試験を行っている。ＩＣテスタは、液晶駆動
ドライバに試験信号（デジタル信号）を与え、この試験
信号に基づいて、液晶駆動ドライバが出力する多階調
（多段階）電圧と、期待値電圧とを比較し、液晶ドライ
バの良否の判定を行っている。このような装置は、例え
ば、特開平７−１４６３３５号公報等に記載されてい
る。以下図４を用いて説明する。

【０００３】図４において、ウェハ１は、液晶駆動ドラ
イバが複数形成されている。テストヘッド２は、複数の
ドライバ、コンパレータ、コンタクトピン等を搭載し、
信号の授受を行い試験を行う。パフォーマンスボード
（以下ＰＦＢと略す）３は、テストヘッド２のコンタク
トピンと電気的に接続する。コンタクトリング４は、Ｐ
ＦＢ３と電気的に接続する。プローブカード５は、コン
タクトリング４と電気的に接続し、プローブにより、ウ
ェハ１の液晶駆動ドライバと電気的に接続する。

【０００４】次に、具体的構成を図５に示す。図５にお
いて、液晶駆動ドライバ（以下ＤＵＴと略す）１１はウ
ェハ１に複数形成され、複数の出力ピンを有している。
ＬＣＤＰＥ（液晶駆動ドライバピンエレクトロニクス）
２１は試験部で、テストヘッド２に設けられ、コンタク
トピン、コンパレータ等を有する。そして、ＬＣＤＰＥ
２１は、ＤＵＴ１１の出力ピンごとに、ＰＦＢ３、コン
タクトリング４、プローブカード５を介して電気的に接
続し、ＤＵＴ１１の出力ピンの多階調電圧を入力し、期
待値電圧と比較し、良否の判定を行う。すなわち、ＰＦ
Ｂ３、コンタクトリング４、プローブカード５により、
ＤＵＴ１１とＬＣＤＰＥ２１との信号経路が形成されて
いる。

【０００５】このような装置の動作を以下に説明する。
図示しないプローバにより、ウェハ１をプローブカード
５のプローブに電気的に接続する。接続後、テストヘッ
ド２から、試験信号がＰＦＢ３に出力される。そして、
ＰＦＢ３からコンタクトリング４を介してプローブカー
ド５に試験信号が出力される。この試験信号をプローブ
カード５はプローブを介してＤＵＴ１１に出力する。Ｄ
ＵＴ１１は、試験信号に基づいた多階調電圧の出力を行
う。この出力をプローブカード５はプローブを介して入
力され、コンタクトリング４を介してＰＦＢ３に出力す
る。そして、ＰＦＢ３から、コンタクトピンを介して、
テストヘッド２のＬＣＤＰＥ２１へ、ＤＵＴ１１の出力
が入力される。この結果、テストヘッド２のＬＣＤＰＥ
２１でＤＵＴ１１の良否が判定される。再びプローバに
より、ＤＵＴ１１の接続切替えが行われる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】近年、液晶ディスプレ
イの大型化及び画素数が増加傾向にあり、これにより、
液晶駆動ドライバの出力ピン数も増加し、１０００ピン
の液晶駆動ドライバが現れようとしている。そこで、試
験時間を増加させないために、テストヘッド２内のＬＣ
ＤＰＥ２１を増加させることが考えられるが、テストヘ
ッド２の大きさには制限があり、通常は、５１２ピンま
でしか搭載できない。

【０００７】また、テストヘッド２に１０００ピン分の
ＬＣＤＰＥ２１が搭載できたとしても、映像駆動ドライ
バとの信号経路を増加させなけらばならない。この結
果、コンタクトピンは、バネの弾性力により、ＰＦＢ３
と電気的に接続しているため、信号経路が増加すれば、
接続圧力も増加し、ＰＦＢ３とテストヘッド２との電気
的接続の固定が大変になってしまう。また、コンタクト
リング４の信号経路を増加させれば、コンタクトリング
４も大きくさせなければならない。そして、コンタクト
リング４を大きくすれば、プローブカード５も大きくし
なければならない。しかし、プローブカード５も大きさ
に制限があるので、プローブカード５、コンタクトリン
グ４とも大きくすることができない。また、コンタクト
リング４も、バネの弾性力により、ＰＦＢ３、プローブ
カード５と電気的に接続しているので、接続圧力が増加
し、電気的接続の固定が大変になってしまう。

【０００８】そこで、本発明の目的は、各種制限を受け
ずに、試験時間の増加を抑えて、映像駆動ドライバの試
験を行うことができるＩＣテスタ及びＤＵＴカードを実
現することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の本発明
は、複数の出力ピンを有する映像駆動ドライバを試験す
るＩＣテスタにおいて、信号の授受を行い、試験を行う
テストヘッドと、このテストヘッドと電気的に接続し、
テストヘッドと信号の授受を行うパフォーマンスボード
と、このパフォーマンスボードに前記映像駆動ドライバ
の出力ピンを切り替えて電気的に接続するＤＵＴカード
とを有することを特徴とするものである。

【００１０】請求項２記載の本発明は、請求項１記載の
本発明において、パフォーマンスボードとＤＵＴカード
との間に設けられ、パフォーマンスボードとＤＵＴカー
ドとを電気的に接続するコンタクトリングを設けたこと
を特徴とするものである。

【００１１】請求項３記載の本発明は、請求項１または
２記載の本発明において、ＤＵＴカードは、映像駆動ド
ライバと電気的に接続するプローブまたはソケットを設
けたことを特徴とするものである。

【００１２】請求項４記載の本発明は、請求項１〜３の
いずれかに記載の本発明において、映像駆動ドライバは
液晶駆動ドライバであることを特徴とするものである。

【００１３】請求項５記載の本発明は、信号の授受を行
い、試験を行うテストヘッドと、このテストヘッドと電
気的に接続し、テストヘッドと信号の授受を行うパフォ
ーマンスボードとを具備し、前記パフォーマンスボード
と電気的に接続し、複数の出力ピンを有する映像駆動ド
ライバを試験するＩＣテスタに用いられるＤＵＴカード
において、前記パフォーマンスボードに前記映像駆動ド
ライバの出力ピンを切り替えて電気的に接続する切替部
を有することを特徴とするものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明の実施の
形態を説明する。図１は本発明の一実施例を示した構成
図である。ここで、図４，５と同一のものは同一符号を
付し説明を省略する。

【００１５】図１において、ＰＥ（ピンエレクトロニク
ス）２２，２３は、テストヘッド２内に設けられ、コン
タクトピン、ドライバ、コンパレータ等を有する。切替
部５０は、プローブカード５に設けられ、複数のスイッ
チＳＷ１〜ＳＷ４を有し、ＤＵＴ１１の奇数ピン１１１
にＬＣＤＰＥ２１、ＰＥ２２を切り替えて接続し、ＤＵ
Ｔ１１の偶数ピン１１２にＬＣＤＰＥ２１、ＰＥ２３を
切り替えて接続する。すなわち、切替部５０は、ＤＵＴ
１１の出力ピンを１／２ずつ選択を行う。スイッチＳＷ
１は、ＤＵＴ１１の奇数ピン１１１とＬＣＤＰＥ２１と
の接続をオン／オフする。スイッチＳＷ２は、ＤＵＴ１
１の奇数ピン１１２とＬＣＤＰＥ２１との接続をオン／
オフする。スイッチＳＷ３は、ＰＥ２２とＤＵＴ１１の
奇数ピン１１１との接続をオン／オフする。スイッチＳ
Ｗ４は、ＰＥ２３とＤＵＴ１１の偶数ピン１１２との接
続をオン／オフする。

【００１６】次にＬＣＤＰＥ２１の具体的構成を図２に
示し説明する。図２において、マルチプレクサ２１１
は、ＰＦＢ３に電気的に接続すると共に、図示しないＤ
Ｃ（直流）特性試験部に接続する。アッテネータ２１２
は、マルチプレクサ２１１に接続し、信号の減衰を行
う。コンパレータ２１３は、アッテネータ２１２の出力
と比較電圧Ｖｒｅｆとを比較する。なお、コンパレータ
２１３は通常ウィンドウコンパレータで比較電圧Ｖｒｅ
ｆとして、ハイレベルとロウレベルの比較電圧が与えら
れる。カウンタ（アドレス発生部）２１４は、カウント
値（アドレス）を出力する。期待値メモリ２１５は、カ
ウンタ２１４のカウント値をアドレスとして、期待値を
出力する。デジタルコンパレータ２１６は、コンパレー
タ２１３の出力と期待値メモリ２１５の期待値とを、ス
トローブのタイミングで比較し、パス／フェイルを出力
する。フェイルメモリ２１７は、デジタルコンパレータ
２１６がフェイルのとき、カウンタ２１４のカウント値
を記憶する。

【００１７】ここで、ＤＣ特性試験部、電源は図示しな
い本体に設けられ、比較電圧Ｖｒｅｆ、ストローブ、制
御信号は本体から与えられ、パス／フェイルは本体に与
えられる。なお、ＰＥ２２，２３は、図２と同様な構成
であるが、アッテネータ１２がなく、ドライバを有する
構成である。

【００１８】このような装置の動作を以下で説明する。
切替部５０は、スイッチＳＷ１，ＳＷ３をオンし、スイ
ッチＳＷ２，ＳＷ４をオフする。そして、ＰＥ２２が信
号を出力する。そして、信号は、ＰＦＢ３、コンタクト
リング４、プローブカード５のスイッチＳＷ３，ＳＷ
１、コンタクトリング４、ＰＦＢ３と順番に流れ、ＬＣ
ＤＰＥ２１に入力される。この信号により、ＬＣＤＰＥ
２１は、マルチプレクサ２１１にＤＣ特性試験部を選択
させ、スイッチＳＷ１，ＳＷ３の診断を行う。

【００１９】次に、切替部５０は、スイッチＳＷ１，Ｓ
Ｗ３をオフし、スイッチＳＷ２，ＳＷ４をオンする。そ
して、ＰＥ２３が信号を出力する。そして、信号は、Ｐ
ＦＢ３、コンタクトリング４、プローブカード５のスイ
ッチＳＷ４，ＳＷ２、コンタクトリング４、ＰＦＢ３と
順番に流れ、ＬＣＤＰＥ２１に入力される。この信号に
より、ＬＣＤＰＥ２１は、マルチプレクサ２１１にＤＣ
特性試験部を選択させ、スイッチＳＷ２，ＳＷ４の診断
を行う。

【００２０】図示しないプローバにより、ＤＵＴ１１を
プローブカード５のプローブに電気的に接続させる。接
続後、切替部５０は、スイッチＳＷ１をオンし、スイッ
チＳＷ２〜ＳＷ４をオフする。テストヘッド２のＬＣＤ
ＰＥ２１は、マルチプレクサ２１１にＤＣ特性試験部を
選択させ、ＰＦＢ３、コンタクトリング４、プローブカ
ード５のスイッチＳＷ１を介して、ＤＵＴ１１の奇数ピ
ン１１１におけるＤＣ特性試験を行う。

【００２１】次に、切替部５０は、スイッチＳＷ２をオ
ンし、スイッチＳＷ１，ＳＷ３，ＳＷ４をオフする。テ
ストヘッド２のＬＣＤＰＥ２１は、マルチプレクサ２１
１にＤＣ特性試験部を選択させ、ＰＦＢ３、コンタクト
リング４、プローブカード５のスイッチＳＷ２を介し
て、ＤＵＴ１１の偶数ピン１１２におけるＤＣ特性試験
を行う。

【００２２】次に、切替部５０は、スイッチＳＷ１をオ
ンし、スイッチＳＷ２〜ＳＷ４をオフする。テストヘッ
ド６から、試験信号がＰＦＢ３に出力される。そして、
ＰＦＢ３から、コンタクトリング４を介して、プローブ
カード５に試験信号が出力される。この試験信号を、プ
ローブカード５はＤＵＴ１１に出力する。ＤＵＴ１１
は、試験信号に基づいた多階調電圧の出力を行う。ＤＵ
Ｔ１１の奇数ピン１１１の出力をプローブカード５は入
力し、スイッチＳＷ１、コンタクトリング４を介して、
ＰＦＢ３に出力する。そして、ＰＦＢ３からＬＣＤＰＥ
２１へ、ＤＵＴ１１の出力は入力される。

【００２３】ＤＵＴ１１の奇数ピン１１１の出力は、マ
ルチプレクサ２１１を介して、アッテネータ２１２で減
衰され、コンパレータ２１３により比較電圧Ｖｒｅｆと
比較される。このとき、比較電圧Ｖｒｅｆは、ＤＵＴが
出力する多階調電圧に従って変化する。カウンタ２１４
が、カウント値を出力し、このカウント値をアドレスと
して、期待値メモリ２１５は期待値を出力する。そし
て、デジタルコンパレータ２１６は、コンパレータ２１
３の出力と期待値メモリ２１５の期待値とを、ストロー
ブのタイミングで比較し、パス／フェイルを出力する。
フェイルのとき、フェイルメモリ２１７は、カウンタ２
１７のカウント値を記憶する。

【００２４】次に、切替部５０は、スイッチＳＷ２をオ
ンし、スイッチＳＷ１，ＳＷ３，ＳＷ４をオフする。Ｄ
ＵＴ１１の偶数ピン１１２の出力をプローブカード５は
入力し、スイッチＳＷ２、コンタクトリング４を介し
て、ＰＦＢ３に出力する。そして、ＰＦＢ３からＬＣＤ
ＰＥ２１へ、ＤＵＴ１１の出力は入力される。

【００２５】ＤＵＴ１１の偶数ピン１１２の出力は、マ
ルチプレクサ２１１を介して、アッテネータ２１２で減
衰され、コンパレータ２１３により比較電圧Ｖｒｅｆと
比較される。このとき、比較電圧Ｖｒｅｆは、ＤＵＴが
出力する多階調電圧に従って変化する。カウンタ２１４
が、カウント値を出力し、このカウント値をアドレスと
して、期待値メモリ２１５は期待値を出力する。そし
て、デジタルコンパレータ２１６は、コンパレータ２１
３の出力と期待値メモリ２１５の期待値とを、ストロー
ブのタイミングで比較し、パス／フェイルを出力する。
フェイルのとき、フェイルメモリ２１７は、カウンタ２
１７のカウント値を記憶する。

【００２６】そして、切替部５０は、スイッチＳＷ１，
ＳＷ２をオフし、スイッチＳＷ３，ＳＷ４をオンする。
ＰＥ２２が試験信号をＰＦＢ３に出力する。ＰＦＢ３か
ら、コンタクトリング４、プローブカード５のスイッチ
ＳＷ３を介して、ＤＵＴ１１の奇数ピン１１１に出力さ
れる。一方、ＰＥ２３は、ＰＦＢ３、コンタクトリング
４、プローブカード５のスイッチＳＷ４を介して、ＤＵ
Ｔ１１の偶数ピン１１２の出力を測定し、ピン間ショー
トの測定を行う。

【００２７】この結果、ＤＵＴ１１の良否が判定され
る。再び、プローバにより、ＤＵＴ１１の接続切替えが
行われる。

【００２８】このように、プローブカード５の切替部５
０により、ＤＵＴ１１の出力ピン１１１，１１２を切り
替えるので、テストヘッド２のＬＣＤＰＥ２１の数を増
やすことなく、ＤＵＴ１１の試験時間の増加を抑えて試
験を行うことができる。また、ＤＵＴ１１からの信号経
路数が増加しないので、コンタクトリング４を大きくし
なくてもよい。また、ＤＵＴ１１からの信号経路数が増
加しないので、ＰＦＢ３とテストヘッド２との接続、コ
ンタクトリング４とＰＦＢ３、プローブカード５との接
続が容易に行える。

【００２９】また、ＬＣＤＰＥ２１の他の具体的構成を
図３に示す。ここで、図２と同一のものは同一符号を付
し説明を省略する。

【００３０】図３において、減算器２１８、アンプ２１
９が、アッテネータ２１２の代わりに設けられる。減算
器２１８は、マルチプレクサ２１１の出力と期待値電圧
Ｖの差電圧を出力する。アンプ２１９は、減算器２１８
からの差電圧を増幅し、コンパレータ２１３に出力す
る。ここで、期待値電圧Ｖは本体から与えられている。

【００３１】このような装置の動作を以下で説明する。
なお、ＬＣＤＰＥ２１の内部動作以外は、図２に示す装
置と同一なので説明を省略する。ＤＵＴ１１の出力は、
マルチプレクサ２１１を介して、減算器２１８に入力さ
れ、減算器２１８で期待値電圧Ｖとの差電圧が出力され
る。この差電圧はアンプ２１９で増幅される。そして、
コンパレータ２１３は、アンプ２１９の出力と比較電圧
Ｖｒｅｆと比較する。このとき、期待値電圧Ｖは、ＤＵ
Ｔ１１が出力する多階調電圧に従って変化し、比較電圧
Ｖｒｅｆは一定である。カウンタ２１４が、カウント値
を出力し、このカウント値をアドレスとして、期待値メ
モリ２１５は期待値を出力する。そして、デジタルコン
パレータ２１６は、コンパレータ２１３の出力と期待値
メモリ２１５の期待値とを、ストローブのタイミングで
比較し、パス／フェイルを出力する。フェイルのとき、
フェイルメモリ２１７は、カウンタ２１７のカウント値
を記憶する。

【００３２】なお、本発明はこれに限定されるものでは
なく、プローブを有するプローブカード５による構成を
示したが、液晶駆動ドライバがパッケージの場合は、プ
ローブで試験する場合と、ソケットで試験する場合とが
ある。従って、プローブカード５の代わりに、ソケット
を有するＤＵＴボードにしてもよい。つまり、プローブ
またはソケットを有するＤＵＴカードであればよい。

【００３３】また、映像駆動ドライバとして、液晶駆動
ドライバの他に、プラズマディスプレイを駆動するＰＤ
Ｐドライバ、ＥＬ（Electroluminescence）ディスプレ
イを駆動するＥＬドライバ等がある。

【００３４】そして、コンタクトリング４により、ＰＦ
Ｂ３とプローブカード５とを電気的に接続する構成を示
したがケーブル、コネクタ等でもよい。

【００３５】また、プローブカード５は、スイッチＳＷ
１〜ＳＷ４だけでなく、アンプやＡ／Ｄコンバータなど
が入る場合もある。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、ＤＵＴカードにより、
映像駆動ドライバの出力ピンを切り替えるので、各種制
限を受けることなく、試験時間の増加を抑えて、映像駆
動ドライバの試験を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示した構成図である。

【図２】ＬＣＤＰＥ２１の具体的構成を示した図であ
る。

【図３】ＬＣＤＰＥ２１の具体的構成を示した図であ
る。

【図４】ＩＣテスタの概略構成を示した図である。

【図５】従来のＩＣテスタの構成を示した図である。

【符号の説明】

１ウェハ１１液晶駆動ドライバ２テストヘッド３パフォーマンスボード４コンタクトリング５プローブカード５０切替部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数の出力ピンを有する映像駆動ドライ
バを試験するＩＣテスタにおいて、信号の授受を行い、試験を行うテストヘッドと、このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信
号の授受を行うパフォーマンスボードと、このパフォーマンスボードに前記映像駆動ドライバの出
力ピンを切り替えて電気的に接続するＤＵＴカードとを
有することを特徴とするＩＣテスタ。
【請求項２】パフォーマンスボードとＤＵＴカードと
の間に設けられ、パフォーマンスボードとＤＵＴカード
とを電気的に接続するコンタクトリングを設けたことを
特徴とする請求項１記載のＩＣテスタ。
【請求項３】ＤＵＴカードは、映像駆動ドライバと電
気的に接続するプローブまたはソケットを設けたことを
特徴とする請求項１または２記載のＩＣテスタ。
【請求項４】映像駆動ドライバは液晶駆動ドライバで
あることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の
ＩＣテスタ。
【請求項５】信号の授受を行い、試験を行うテストヘ
ッドと、このテストヘッドと電気的に接続し、テストヘッドと信
号の授受を行うパフォーマンスボードとを具備し、前記
パフォーマンスボードと電気的に接続し、複数の出力ピ
ンを有する映像駆動ドライバを試験するＩＣテスタに用
いられるＤＵＴカードにおいて、前記パフォーマンスボードに前記映像駆動ドライバの出
力ピンを切り替えて電気的に接続する切替部を有するこ
とを特徴とするＤＵＴカード。