KR100712090B1 - 반도체 집적회로 및 테스트 시스템 - Google Patents
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Abstract
전류 논리신호를 이용한 시험을 용이하게 행하는 반도체 집적회로 및 테스트 시스템을 실현하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 전류 논리신호를 출력하는 복수의 신호핀을 가지는 반도체 집적회로 및 테스트 시스템에 개량을 가한 것이다. 반도체 집적회로는, 전류 논리신호를 출력하는 복수의 신호핀과, 시험시, I/V 변환기와 전기적으로 접속되는 시험핀과, 상기 복수의 신호핀 중에서 1개의 신호핀을 선택하여, 상기 한개의 신호핀을 상기 시험핀에 접속하는 선택부와, 상기 선택부를 제어하기 위한 선택신호가 입력되는 선택핀을 구비한다. 또, 테스트 시스템은, 해당 반도체 집적회로와, 시험 시, 상기 반도체 집적회로의 시험핀에 접속되고, 상기 시험핀에서 출력된 전류 논리신호를 전압 논리신호로 변환하는 I/V 변환기와, 상기 I/V 변환기에서 출력된 전압 논리신호가 입력되는 IC 테스터를 구비한다.
전류 논리신호, 전압 논리신호, V/I 변환기, I/V 변환기, 신호핀.
Description
도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 테스트 시스템을 나타내는 구성도이다.
도 2는 종래의 테스트 시스템을 나타내는 구성도이다.
[부호의 설명]
1, 10 IC 테스터
2 V/I 변환기
4, 40 반도체 집적회로
41, 42 신호핀
46 시험핀
47 선택핀
48 멀티플렉서
5 I/V 변환기
본 발명은 전류 논리신호를 이용한 시험을 용이하게 행하는 반도체 집적회로 및 테스트 시스템에 관한 것이다.
IC 테스터는, 예컨대, 아래의 특허문헌 1에 나타내는 바와 같이, 반도체 집적회로에 시험신호를 공급하고, 반도체 집적회로의 출력에 의거하여 양부의 판정을 행하고 있다. 그리고, 반도체 집적회로의 로직회로는, 일반적으로, 전압 입력 및 전압 출력이기 때문에, IC 테스터도 전압으로 값이 붙여진 신호에 의해 시험을 행하고 있다. 그러나, 최근, 반도체 집적회로의 고속화에 따라, 노이즈의 영향을 방지하기 위해, 로직신호로 전류신호를 이용하게 되었다. 이와 같은 시험을 행하는 경우를 도 2를 참조하여 설명한다.
[특허문헌 1] 특개 2002-292500호 공보
도 2에서 나타내는 바와 같이, IC 테스터(1)에는 복수의 핀 일렉트로닉스(pin-electronic)(11)가 설치되어 있다. 각 핀 일렉트로닉스(11)에는, 드라이버, 컴퍼레이터, 직류 측정부 등이 설치되어 있다. 스위치(SW1~SW3)는 일단이 IC 테스터(1)의 핀 일렉트로닉스(11)에 접속된다. 스위치(SW1)의 타단에는, V/I 변환기(2)의 입력단자가 접속된다. 스위치(SW2)의 타단에는, I/V 변환기(3)의 출력단자가 접속된다. V/I 변환기(2)의 출력단자에는, 스위치(SW4)의 일단이 접속된다. I/V 변환기(3)의 입력단자에는, 스위치(SW5)의 일단이 접속된다. 스위치(SW6)의 일단에는, 스위치(SW3)의 타단이 접속된다.
반도체 집적회로(이하「DUT」이라 함)(4)는, 예컨대, 캐스케이드 접속된 액정구동 드라이버이다. DUT(4)는 복수의 신호핀(41,42), 복수의 스위치(43,44), 논 리회로(45)를 가지고, 다계조 전압을 출력한다. 신호핀(41,42)에는, 스위치(SW4~SW6)의 타단이 접속되어 있다. 신호핀(41)이 입력측의 경우 신호핀(42)이 출력측이 되고, 신호핀(41)이 출력측의 경우 신호핀(42)이 입력측이 된다. 스위치(43,44)의 일단에는 신호핀(41,42)이 접속된다. 논리회로(45)에는, 스위치(43,44)의 타단이 접속된다. 논리회로(45)는 전류에 의해 값이 붙여진 논리신호에 의거하여 동작하고, 캐스케이드 접속되는 액정구동 드라이버의 경우, 표시데이터가 입력되고, 캐스케이드 접속되는 액정구동 드라이버에, 드라이버 자신의 데이터를 제외하고, 표시데이터를 출력한다.
상기 설명한 테스트 시스템의 동작을 이하에서 설명한다. 우선, IC 테스터(1)는, 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(SW3,SW6)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW1,SW2,SW4,SW5)를 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(1)는, 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(43) 또는 스위치(44) 중 어느 하나를 온으로 한다. 이 상태에서, 핀 일렉트로닉스(11)에 설치된 도시하지 않은 직류 측정부는 DUT(4)의 직류 특성시험을 행한다.
다음에, IC 테스터(1)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 신호핀(41)측의 스위치(SW1,SW4)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW2,SW3,SW5,SW6)를 오프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(SW2,SW5)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW1,SW3,SW4,SW6)를 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(1)는 도시하지 않은 DUT(4)의 핀에 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 입력하고, 신호핀(41)측의 스위치(43)를 온으로 하고, 스위치(44)를 오프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(43)를 오프로 하고, 스위치(44)를 온으로 한다. 즉, IC 테스터(1)는 신호핀(41)측을 입력측으로 설정하고, 신호핀(42)측을 출력측으로 설정한다.
그리고, IC 테스터(1)는 신호핀(41)측의 핀 일렉트로닉스(11)로부터 전압에 의해 값이 붙여진 전압 논리신호를 출력한다. 해당 전압 논리신호는 스위치(SW1)를 통하여, V/I 변환기(2)에 입력된다. V/I 변환기(2)는 전압 논리신호를 전류에 의해 값이 붙여진 전류 논리신호로 변환하고, 스위치(SW4), 신호핀(41), 스위치(43)를 통하여, 해당 전류 논리신호를 논리회로(45)에 출력한다. 논리회로(45)는 입력된 신호에 의거하여 스위치(44), 신호핀(42), 스위치(SW5)를 통하여, I/V 변환기(3)에 전류 논리신호를 출력한다. I/V 변환기(3)는 전류 논리신호를 전압 논리신호로 변환하고, 스위치(SW2)를 통하여, 해당 전압 논리신호를 핀 일렉트로닉스(11)에 출력한다. IC 테스터(1)는 입력된 전압 논리신호와 기대치를 비교하고, 양부의 판정을 행한다.
다음에, IC 테스터(1)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 신호핀(41)측의 스위치(SW2,SW5)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW1,SW3,SW4,SW6)를 오프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(SW1,SW4)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW2,SW3,SW5,SW6)을 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(1)는 도시하지 않은 DUT(4)의 핀에, 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 입력하고, 신호핀(41)측의 스위치(43)를 오프로 하고, 스위치(44)를 온으로 하 는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(43)를 온으로 하고, 스위치(44)를 오프로 한다. 즉, IC 테스터(1)는 신호핀(41)측을 출력측으로 설정하고, 신호핀(42)측을 입력측으로 설정한다.
그리고, IC 테스터(1)는 신호핀(42)측의 핀 일렉트로닉스(11)로부터 전압 논리신호를 출력한다. 해당 전압 논리신호는 스위치(SW1)를 통하여, V/I 변환기(2)에 입력된다. V/I 변환기(2)는 전압 논리신호를 전류 논리신호로 변환하고, 스위치(SW4), 신호핀(42), 스위치(43)를 통하여, 해당 전류 논리신호를 논리회로(45)에 출력한다. 논리회로(45)는 입력된 신호에 의거하여, 스위치(44), 신호핀(41), 스위치(SW5)를 통하여, I/V 벼환기(3)에 전류 논리신호를 출력한다. I/V 변환기(3)는 전류 논리신호를 전압 논리신호로 변환하고, 스위치(SW2)를 통하여, 해당 전압 논리신호를 핀 일렉트로닉스(11)에 출력한다. IC 테스터(1)는 입력된 전압 논리신호와 기대치를 비교하여, 양부의 판정을 행한다.
이와 같이, IC 테스터(1)는 전압 논리신호의 입출력에 의해 시험을 행하기 때문에, 전류 논리신호에 의해 동작하는 DUT(4)를 시험하기 위해서는, V/I 변환기(2) 및 I/V 변환기(3)가 필요해진다. 그러나, 전류 논리신호는 그 레벨이 미소 또 고주파이기 때문에, 충분한 특성을 확보하기 위해서는, V/I 변환기(2) 및 I/V 변환기(3)를 DUT(4)의 가까이에 있는 프로브 카드나 DUT 보드 상에 설치할 필요가 있다. 여기서, 프로브 카드란, 웨이퍼 모양의 DUT(4)를 프로브에 의해 접속하는 프린트 기판이고, DUT 보드란 패키지로 된 DUT(4)를 소켓에 의해 접속하는 프린트 기판이다.
그러나, 프로브 카드나 DUT 보드의 면적에는 한계가 있다. 전체의 신호핀(41,42)에 대하여 V/I 변환기(2) 및 I/V 변한기(3)를 설치하기 위해서는, 이들 변환기를 탑재한 기판을 2층으로, 3층으로 하지 않으면 안되고, 또, 다수의 케이블이나 커넥터 등도 개재하기 때문에, 보수성이 극히 곤란하게 된다. 또, I/V 변환기(3)는 회로규모가 크므로, 출력측의 스큐의 변동이 크게 되버린다. 이 때문에, 전류 논리회로를 이용한 시험을 용이하게 행할 수 없다.
본 발명의 목적은, 전류 논리신호를 이용한 시험을 용이하게 행하는 반도체 집적회로 및 테스트 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명은, 전류 논리신호를 출력하는 복수의 신호핀과, 시험 시, I/V 변환기와 전기적으로 접속되는 시험핀과, 상기 복수의 신호핀 중에서 1개의 신호핀을 선택하여, 상기 한개의 신호핀을 상기 시험핀에 접속하는 선택부와, 상기 선택부를 제어하기 위한 선택신호가 입력되는 선택핀을 구비한 반도체 집적회로를 제공한다.
또, 본 발명은, 전류 논리신호를 출력하는 복수의 신호핀을 가지고, 상기 복수의 신호핀 중에서 한개의 신호핀을 선택하여, 상기 1개의 신호핀을 시험핀에 접속하는 반도체 집적회로와, 시험 시, 상기 반도체 집적회로의 상기 시험핀에 접속되고, 상기 시험핀에서 출력된 전류 논리신호를 전압 논리신호로 변환하는 I/V 변환기와, 상기 I/V 변환기에서 출력된 전압 논리신호가 입력되는 IC 테스터를 구비한 테스트 시스템을 제공한다.
해당 테스트 시스템은, 상기 IC 테스터에서 출력된 전압 논리신호를 전류 논리신호로 변환하고, 해당 전류 논리신호를 상기 반도체 집적회로에 출력하는 V/I 변환기를 구비한다.
또, 해당 테스트 시스템에서는, 반도체 집적회로는 액정구성 드라이버이다.
본 발명을 도면을 이용하여 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시형태에 관한 테스트 시스템을 나타낸 구성도이다. 도 1에서, 도 2에서 나타낸 구성요소와 동일한 것은 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.
도 1에서 나타내는 바와 같이, 본 실시형태의 IC 테스터(10)는, 복수의 핀 일렉트로닉스(11a,11b,11c,11d)를 가진다. 각 핀 일렉트로닉스에는, 드라이버, 컴퍼레이터, 직류 측정부 등이 설치된다. 스위치(SW1,SW3)는 일단이 IC 테스터(10)의 핀 일렉트로닉스(11a,11b)에 접속된다. 스위치(SW1)의 타단에는 V/I 변환기(2)의 입력단자가 접속된다. V/I 변환기(2)의 출력단자에는 스위치(SW4)의 일단이 접속된다. 스위치(SW6)의 일단에는 스위치(SW3)의 타단이 접속된다. 스위치(SW7,SW8)의 일단에는 핀 일렉트로닉스(11c)가 접속된다. I/V 변환기(5)는 도 2에서 나타내는 I/V 변환기(3) 대신에 설치되어 있다. I/V 변환기(5)의 출력단자는 스위치(SW7)의 타단이 접속되고, I/V 변환기(5)의 입력단자는 스위치(SW9)의 일단에 접속된다. 스위치(SW10)의 일단은 스위치(SW8)의 타단에 접속된다. 본 실시형태의 반도체 집적회로(이하「DUT」라고 함)(40)는 신호핀(41,42), 시험핀(46), 선택핀(47), 멀티플렉서(48) 및 논리회로(45)를 구비한다. 시험 시에, 시험핀(46)은 스위치(SW9,SW10)의 각 단부에 접속된다. 선택핀(47)은 핀 일렉트로닉스(11d)에 접속되어 있다. 멀 티플렉서(48)는 선택부이고, 선택핀(47)으로부터 입력된 선택신호에 따라, 신호핀(41,42) 중에서 1개의 신호핀을 선택하고, 해당 선택된 신호핀을 시험핀(46)에 접속한다.
도 1에 나타낸 테스트 시스템의 동작을 이하에서 설명한다. 우선, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(SW3,SW6)를 온으로 하고, 그 외의 스위치(SW1,SW4)를 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(43)를 온으로 하고, 스위치(44)를 오프로 한다. 이 상태에서, 핀 일렉트로닉스(11a,11b)에 설치된 도시하지 않은 전류 측정부는 DUT(40)의 직류 특성시험을 행한다.
다음에, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(SW8,SW10)를 온으로 하고, 스위치(SW7,SW9)를 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(43)를 오프로 하고, 스위치(44)를 온으로 한다. 또, IC 테스터(10)는 핀 일렉트로닉스(11d)로부터 선택신호를 출력하고, 해당 선택신호는 선택핀(47)을 통하여 멀티플렉서(48)로 입력된다. 멀티플렉서(48)가 신호핀(41,42) 중에서 1개의 신호핀을 순차 선택하고, 해당 신호핀을 시험핀(46)에 접속하면, 핀 일렉트로닉스(11c)에 설치된 도시하지 않은 전류 측정부는 DUT(40)의 직류 특성시험을 행한다.
다음에, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 신호핀(41)측의 스위치(SW1,SW4)를 온으로 하고, 스위치(SW3,SW6)를 오 프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(SW1,SW3,SW4,SW6)를 오프로 한다. 또, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 스위치(SW7,SW9)를 온으로 하는 동시에, 스위치(SW8,SW10)을 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 DUT(40)의 핀에 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 입력하고, 신호핀(41)측의 스위치(43)를 온으로 하고, 스위치(44)를 오프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(43)를 오프로 하고, 스위치(44)를 온으로 한다. 즉, IC 테스터(10)는 신호핀(41)측을 입력측으로 설정하고, 신호핀(42)측을 출력측으로 설정한다.
그리고, IC 테스터(10)는 신호핀(41)측의 핀 일렉트로닉스(11a)로부터 전압 논리신호를 출력한다. 해당 전압 논리신호는, 스위치(SW1)를 통하여 V/I 변환기(2)에 입력된다. V/I 변환기(2)는 전압 논리신호를 전류 논리신호로 변환하고, 스위치(SW4), 신호핀(41), 스위치(43)를 통하여, 해당 전류 논리신호를 논리회로(45)에 출력한다. 논리회로(45)는 입력된 신호에 의거하여, 전류 논리신호를 출력한다. 또, IC 테스터(10)는 핀 일렉트로닉스(11d)로부터 선택신호를 출력하고, 해당 선택신호는 선택핀(47)을 통하여 멀티플렉서(48)에 입력된다. 해당 선택신호가 입력되면 멀티플렉서(48)는 신호핀(42) 중에서 하나의 신호핀을 순차선택하고, 해당 신호핀을 시험핀(46)에 접속한다. 그 결과, 논리회로(45)로부터 출력된 전류 논리신호는 스위치(44), 멀티플렉서(48), 시험핀(46), 스위치(SW9)를 통하여, I/V 변환기(5)에 입력된다. I/V 변환기(5)는 입력된 전류 논리신호를 전압 논리신호로 벼환하고, 해당 전압 논리신호를 스위치(SW7)를 통하여 핀 일렉트로닉스(11c)에 출력한다. IC 테스터(10)는 핀 일렉트로닉스(11c)에 입력된 전압 논리신호와 기대치를 비교하여, 양부의 판정을 행한다.
다음에, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 출력하고, 신호핀(41)측의 스위치(SW1,SW3,SW4,SW6)를 오프로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(SW1,SW4)를 온으로 하고, 스위치(SW3,SW6)를 오프로 한다. 그리고, IC 테스터(10)는 도시하지 않은 DUT(40)의 핀에, 도시하지 않은 핀 일렉트로닉스로부터 제어신호를 입력하고, 신호핀(41)측의 스위치(43)를 오프로 하고, 스위치(44)를 온으로 하는 동시에, 신호핀(42)측의 스위치(43)를 온으로 하고, 스위치(44)를 오프로 한다. 즉, IC 테스터(10)는 신호핀(41)측을 출력측으로 설정하고, 신호핀(42)측을 입력측으로 설정한다.
그리고, IC 테스터(10)는 신호핀(42)측의 핀 일렉트로닉스(11b)로부터 전압 논리신호를 출력한다. 해당 전압 논리신호는 스위치(SW1)를 통하여 V/I 변환기(2)에 입력된다. V/I 변환기(2)는 전압 논리신호를 전류 논리신호로 변환하고, 스위치(SW4), 신호핀(42), 스위치(43)를 통하여, 해당 전류 논리신호를 논리회로(45)에 출력한다. 논리회로(45)는 입력된 신호에 의거하여, 전류 논리신호를 출력한다. 또, IC 테스터(10)는 핀 일렉트로닉스(11d)로부터 선택신호를 출력하고, 해당 선택신호는 선택핀(47)을 통하여 멀티플렉서(48)에 입력된다. 해당 선택신호가 입력되면 멀티플렉서(48)는 신호핀(41) 중에서 1개의 신호핀을 순차선택하고, 해당 신호핀을 시험핀(46)에 접속한다. 그 결과, 논리회로(45)로부터 출력된 전류 논리신호는 스위치(44), 멀티플렉서(48), 시험핀(46), 스위치(SW9)를 통하여, I/V 변환기(5)에 입력된다. I/V 변환기(5)는 입력된 전류 논리신호를 전압 논리신호로 변환하고, 해당 전압 논리신호를 스위치(SW7)를 통하여 핀 일렉트로닉스(11c)에 출력한다. IC 테스터(10)는 핀 일렉트로닉스(11c)에 입력된 전압 논리신호와 기대치를 비교하여, 양부의 판정을 행한다.
이와 같이, 본 실시형태에서는, 멀티플렉서(48)가 출력측의 신호핀(41,42) 중에서 1개의 신호핀을 순차선택하여, 논리회로(45)로부터 출력된 전류 논리신호를 I/V 변환기(5)에 입력하므로, 큰 회로규모의 I/V 변환기의 수를 종래와 비교하여 감소할 수 있다. 따라서, I/V 변환기(2,5)를 DUT(40)의 근방에 실장할 수 있으므로, 보수성이 개선된다. 또, 출력측의 스큐의 변동을 억제할 수 있다. 그 결과, 전류 논리신호를 이용한 시험을 용이하게 행할 수 있다.
또, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태에서는 1개의 I/V 변환기(5)가 설치되어 있지만, 2개 이상의 I/V 변환기(5)가 설치되어 있어도 된다. 단, 이 경우, DUT(40)가 2개 이상의 멀티플렉서(48)를 가질 필요가 있다.
또, DUT(40)가 액정구동 드라이버의 경우를 나타냈지만, 전류 논리신호에 의해 동작하는 논리회로의 시험의 경우에 적용할 수 있다.
또, 입출력을 행하는 신호핀(41,42)의 경우를 나타냈지만, 입력핀과 출력핀이 별개로 구성되어 있어도 된다. 그리고, 복수의 출력핀 중, 1개의 출력핀을 시험핀으로 이용하여도 된다.
또, 스위치(SW8,SW10)를 설치하고, 출력측의 직류 특성시험의 패스를 설치했 지만, 스위치(SW3,SW6)의 패스에 의해 출력측의 직류 특성시험을 행하고, 스위치(SW8,SW10)를 설치하지 않아도 된다.
상기 반도체 집적회로 및 상기 테스트 시스템에 의하면, 선택부가 선택한 신호핀에 접속된 시험핀으로부터 I/V 변환기에 전류 논리신호를 출력하므로, 큰 회로규모의 I/V 변환기의 수를 종래와 비교하여 감소할 수 있다. 따라서, I/V 변환기를 반도체 집적회로의 근방에 실장할 수 있기 때문에, 보수성이 개선된다. 또, 출력측의 스큐의 변동을 억제할 수 있다. 그 결과, 전류 논리신호를 이용한 시험을 용이하게 행할 수 있다.
Claims (4)
- 전류 논리신호를 복수의 신호핀을 통해서 출력하는 논리회로와,시험 시, I/V 변환기와 전기적으로 접속되는 시험핀과,선택 신호가 입력되는 선택핀과,상기 선택핀으로부터 상기 선택 신호가 입력되면, 상기 복수의 신호핀 중에서 1개의 신호핀을 선택하여, 선택된 신호핀을 상기 시험핀에 접속하는 선택부를 구비하고,상기 선택부에 의해 선택되는 신호핀으로부터 출력되는 상기 전류논리신호는, 상기 선택부 및 상기 신호핀을 통해서 출력되는 것을 특징으로 하는 반도체 집적회로.
- 입력된 제1의 전류 논리신호에 기초하여, 제2의 전류 논리신호를 복수의 신호핀을 통하여 출력하는 논리회로를 가지고, 선택핀으로부터 입력된 선택신호에 따라, 상기 복수의 신호핀 중에서 1개의 신호핀을 선택하여, 이러한 선택된 신호핀을 시험핀에 접속하여, 선택된 신호핀으로부터 출력된 상기 제2의 전류 논리신호를 상기 시험핀을 통해서 출력하는 반도체 집적회로와,시험 시, 상기 반도체 집적회로의 상기 시험핀에 접속되고, 상기 시험핀으로부터 출력된 상기 제2의 전류 논리신호를 제1의 전압 논리신호로 변환하는 I/V 변환기와,상기 반도체 집적회로의 상기 선택핀에 상기 선택 신호를 출력하여, 상기 I/V 변환기로부터 출력된 상기 제1의 전압 논리신호가 입력되는 IC 테스터를 구비한 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
- 제 2 항에 있어서,상기 IC 테스터로부터 출력된 제2의 전압 논리신호를 상기 제1의 전류 논리신호로 변환하고, 해당 제1의 전류 논리신호를 상기 반도체 집적회로에 출력하는 V/I 변환기를 구비하고,상기 제1의 전류 논리신호는 상기 반도체 집적회로의 상기 논리회로에 입력되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 반도체 집적회로는, 액정구동 드라이버인 것을 특징으로 하는 테스트 시스템.
Applications Claiming Priority (2)
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