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TECHNISCHES
GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Messvorrichtung und
auf ein Prüfverfahren
zum Messen eines Eingangssignals, und auf eine Prüfvorrichtung,
die mit einer derartigen Messvorrichtung ausgestattet ist. Insbesondere
bezieht sich die vorliegende Erfindung auf eine Messvorrichtung,
die eine Schwankung eines Spannungspegels eines Eingangssignals
mit Bezug auf eine Bezugsspannung misst, wobei der Spannungspegel
des Eingangssignals mit Bezug auf die Bezugsspannung, die einen vorbestimmten
Spannungspegel hat, schwankt.
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STAND
DER TECHNIK
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In
den letzten Jahren besteht eine steigende Nachfrage nach "HVIC" (Integrierte Hochspannungsschaltung), die
ein Signal mit einer hohen Spannung ausgeben. Beispielsweise verwenden
Vorrichtung, die Motoren von elektrischen Automobilen steuern, derartige
HVIC.
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HVIC
sind Vorrichtungen, die ein Signal mit einer vorbestimmten Amplitude
mit Bezug auf beispielsweise etwa 0–2 kV ausgeben. Beim Prüfen einer
derartigen HVIC liefert eine Prüfvorrichtung
eine Bezugsspannung mit einer hohen Spannung von etwa 0–2 kV zu
einer HVIC. Zusätzlich
erfasst die Prüfvorrichtung
ein Datenmuster eines Ausgangssignals und beurteilt die Qualität einer
geprüften
Vorrichtung auf der Grundlage des Datenmusters.
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OFFENBARUNG
DER ERFINDUNG
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DURCH DIE
ERFINDUNG ZU LÖSENDE
PROBLEME
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Jedoch
schwankt ein Spannungspegel eines Ausgangssignals einer HVIC mit
Bezug auf eine hohe Spannung von beispielsweise etwa 2 kV. Angesichts
dessen wird eine Messvorrichtung mit einer hohen Spannungsfestigkeit
erforderlich, um ein derartiges Signal zu messen. Zusätzlich ist
es erwünscht,
wenn eine HVIC weiterhin ein Signal ausgibt, dessen Bezugsgröße Erdpotential
ist, das eine Prüfvorrichtung,
eine Messvorrichtung für
Signale hoher Spannung und eine Messvorrichtung für Signale
niedriger Spannung hat. Jedoch ist es aus Kostengesichtspunkten
nicht erwünscht,
Messschaltungen jeweils für
Signale hoher Spannung und Signale niedriger Spannung vorzusehen.
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Es
ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Messvorrichtung,
ein Messverfahren und eine Prüfvorrichtung
vorzusehen, die in der Lage sind, die vorgenannten Probleme zu lösen. Diese Aufgabe
wird gelöst
durch in den unabhängigen
Ansprüchen
beschriebene Merkmalskombinationen. Die abhängigen Ansprüche definieren
weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden
Erfindung.
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MITTEL ZUM
LÖSEN DER
PROBLEME
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Um
die vorgenannten Probleme zu lösen,
ist gemäß dem ersten
Aspekt der vorliegenden Erfindung eine Messvorrichtung zum Messen
einer Schwankung eines Spannungspegels eines Eingangssignals mit
Bezug auf eine Bezugsspannung vorgesehen, wobei der Spannungspegel
des Eingangssignals mit Bezug auf die Bezugsspannung mit einem vorbestimmten
hohen Spannungspegel schwankt. Die Messvorrichtung enthält: eine
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung zum Ermöglichen des Durchgangs einer
Hochfrequenzkomponente eines vorbestimmten ersten Bandes des Eingangssignals;
eine Bezugsspannungs-Teilerschaltung zum Teilen eines Spannungspegels
der Bezugsspannung mit einem vorbestimmten Spannungsteilungsverhältnis; eine
Signalspannungs-Teilerschaltung zum Teilen des Spannungspegels des
Eingangssignals mit dem Spannungsteilungsverhältnis; eine Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
zum Ermöglichen
des Durchgangs einer Niedrigfrequenzkomponente eines zweiten Bandes
eines Differenzsignals, das entsprechend einer Differenz zwischen
einem Spannungspegel der von der Bezugsspannungs-Teilerschaltung ausgegebenen
Bezugsspannung und einem Spannungspegel des von der Signalspannungs-Teilerschaltung
ausgegebenen Eingangssignals ist, wobei das zweite Band niedriger
als das erste Band ist; eine Zusammensetzschaltung zum Kombinieren
eines von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung ausgegebenen Signals
und eines von der Niederfrequenz-Durchgangsschaltung ausgegebenen
Signals; und eine Messschaltung zum Messen eines von der Zusammensetzschaltung
ausgegebenen Signals.
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Die
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung kann eine Differenzialwellenform
des Eingangssignals ausgeben, und die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
gibt eine Integralwellenform aus, die durch Integrieren einer Differenz
zwischen dem Spannungspegel der von der Bezugsspannungs-Teilerschaltung
ausgegebenen Bezugsspannung und dem Spannungspegel des von der Signalspannungs-Teilerschaltung
ausgegebenen Eingangssignals erhalten wurde.
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Die
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung kann enthalten: einen Puffer, der
einen Durchgang des Eingangssignals ermöglicht; und ein Hochpassfilter,
das den Durchgang einer Frequenzkomponente des ersten Bandes des
von dem Puffer ausgegebenen Eingangssignals ermöglicht. Die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
kann enthalten: eine Differenzschaltung, die das Differenzsignal,
das durch Verstärkung
der Differenz zwischen dem Spannungspegel der von der Bezugsspannungs-Teiler ausgegebenen
Bezugsspannung und dem Spannungspegel des von der Signalspannungs-Teilerschaltung
ausgegebenen Eingangssignals mit einem Verstärkungsfaktor entsprechend dem
Spannungsteilungsverhältnis
erhalten wurde, ausgibt.
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Die
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung kann weiterhin ein Tiefpassfilter
enthalten, das den Durchgang einer Frequenzkomponente des zweiten Bandes
des von der Differenzschaltung ausgegebenen Differenzsignals ermöglicht.
Das zweite Band kann im Wesentlichen angrenzend an eine Niedrigfrequenzseite
des ersten Bandes sein.
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Eine
Grenzfrequenz des ersten Bandes kann im Wesentlichen gleich einer
Grenzfrequenz des zweiten Bandes sein. Ein Roll-off-Faktor des ersten Bandes
kann im Wesentlichen gleich einem Roll-off-Faktor des zweiten Bandes
sein. Eine Amplitudenverstärkung
der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung kann im Wesentlichen gleich
einer Amplitudenverstärkung
der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
sein.
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Gemäß dem zweiten
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer
geprüften
Vorrichtung vorgesehen, welche Prüfvorrichtung enthält: eine
Bezugspannungs-Zuführungsschaltung
zum Zuführen
einer Bezugsspannung zu der geprüften
Vorrichtung, wobei die Bezugsspannung eine Bezugsgröße eines
Spannungspegels eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen
Ausgangssignals definiert; eine Messvorrichtung zum Messen des Ausgangssignals;
und eine Beurteilungsschaltung zum Beurteilen der Qualität der geprüften Vorrichtung
auf der Grundlage des von der Messvorrichtung gemessenen Ausgangssignals, wobei
die Messvorrichtung enthält:
eine Hochfrequenz-Durchgangsschaltung zum Ermöglichen des Durchgangs einer
Hochfrequenzkomponente eines vorbestimmten ersten Bandes des Ausgangssignals; eine
Bezugsspannungs-Teilerschaltung
zum Teilen eines Spannungspegels der Bezugsspannung mit einem vorbestimmten
Spannungsteilungsverhältnis; eine
Signalspannungs-Teilerschaltung zum Teilen des Spannungspegels des
Ausgangssignals mit dem Spannungsteilungsverhältnis; eine Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
zum Ermöglichen
des Durchgangs einer Niedrigfrequenzkomponente eines zweiten Bandes
eines Differenzsignals, das entsprechend einer Differenz zwischen
einem Spannungspegel der von der Bezugsspannungs-Teilerschaltung ausgegebenen
Bezugsspannung und einem Spannungspegel des von der Signalspannungs-Teilerschaltung
ausgegebenen Ausgangssignals ist, wobei das zweite Band niedriger
als das erste Band ist; eine Zusammensetzschaltung zum Kombinieren
eines von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung
ausgegebenen Signals und eines von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung
ausgegebenen Signals; und eine Messschaltung zum Messen eines von der
Zusammensetzschaltung ausgegebenen Signals.
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Die
geprüfte
Schaltung kann enthalten: eine Niedrigspannungs-Treiberschaltung
zum Ausgeben eines ersten Ausgangssignals, dessen Bezugsgröße ein vorbestimmter
Spannungspegel ist; und eine Hochspannungs-Treiberschaltung zum Ausgeben eines
zweiten Ausgangssignals, dessen Bezugsgröße die Bezugsspannung mit einem
höheren
Spannungspegel als einem Bezugsspannungspegel des ersten Ausgangssignals
ist, und die Messvorrichtung kann das zweite Ausgangssignal messen.
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Gemäß dem dritten
Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Messverfahren zum Messen
einer Schwankung eines Spannungspegels eines Eingangssignals mit
Bezug auf eine Bezugsspannung vorgesehen, wobei der Spannungspegel
des Eingangssignals mit Bezug auf die Bezugsspannung mit einem vorbestimmten
Spannungspegel schwankt, welches Messverfahren enthält: einen
Hochfrequenz-Durchlassschritt zum Ermöglichen des Durchgangs einer
Hochfrequenzkomponente eines vorbestimmten ersten Bandes des Eingangssignals;
einen Bezugsspannungs-Teilungsschritt zum Teilen eines Spannungspegels
der Bezugsspannung mit einem vorbestimmten Spannungsteilungsverhältnis; einen Signalspannungs-Teilungsschritt
zum Teilen des Spannungspegels des Eingangssignals mit dem Spannungsteilungsverhält nis; einen
Niedrigfrequenz-Durchlassschritt zum Ermöglichen des Durchgangs einer
Niedrigfrequenzkomponente eines zweiten Bandes eines Differenzsignals,
das entsprechend einer Differenz zwischen einem Spannungspegel der
in dem Bezugsspannungs-Teilungsschritt ausgegebenen Bezugsspannung
und einem Spannungspegel des in dem Signalspannungs-Teilungsschritt
ausgegebenen Eingangssignals ist, wobei das zweite Band niedriger
als das erste Band ist; einen Zusammensetzschritt zum Kombinieren
eines in dem Hochfrequenz-Durchlassschritt
erzeugten Signals und eines in dem Niedrigfrequenz-Durchlassschritt erzeugten
Signals; und einen Messschritt zum Messen eines in dem Zusammensetzschritt
erzeugten Signals.
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Die
Zusammenfassung der Erfindung beschreibt nicht notwendigerweise
alle erforderlichen Merkmale der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende
Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorstehend beschriebenen
Merkmale sein.
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KURZBESCHREIBUNG
DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für eine
Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 hinsichtlich
eines Ausführungsbeispiels
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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2 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für eine
Konfiguration einer Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und
eine Stiftelektronikschaltung 20 zeigt.
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3 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für eine
Operation der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 zeigt.
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4 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für ein
erstes Band für
eine Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 und
ein zweites Band für
eine Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 zeigt.
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5 ist
ein Diagramm, das ein anderes Beispiel für eine Konfiguration der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und
der Stiftelektronikschaltung 20 zeigt.
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BESTE ART
DER AUSFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
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Die
Erfindung wird nun auf der Grundlage der bevorzugten Ausführungsbeispiele
beschrieben, die den Bereich der vorliegenden Erfindung nicht beschränken, sondern
die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen,
die in dem Ausführungsbeispiel
beschrieben werden, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
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1 ist
ein Diagramm, dass ein Beispiel für eine Konfiguration einer
Prüfvorrichtung 100 betreffend
ein Ausführungsbeispiel
der vorliegenden Erfindung zeigt. Die Prüfvorrichtung 100 prüft eine
geprüfte
Vorrichtung 200 wie eine Halbleiterschaltung, wobei die
geprüfte
Vorrichtung 200 arbeitet, indem ihr eine Bezugsspannung
mit einem vorbestimmten hohen Spannungspegel zugeführt wird.
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Die
geprüfte
Vorrichtung 200 ist beispielsweise eine Vorrichtung, die
ein erstes Ausgangssignal mit einer Wellenform, deren Bezugsgröße beispielsweise
Erdpotential ist, und ein zweites Ausgangssignal mit einer Wellenform,
dessen Bezugsgröße eine
hohe Spannung von beispielsweise 0 bis 2 kV ist, ausgibt. Die geprüfte Vorrichtung 200 enthält eine
Leistungsquellen-Überwachungsschaltung 202, eine
logische Hochspannungsschaltung 204, eine Pegelverschiebungsschaltung 206,
eine Hochspannungs-Treiberschaltung 208, eine Pegelverschiebungsschaltung 214,
eine logische Niedrigspannungsschaltung 216, eine Pegelverschiebungsschaltung 218,
eine Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 und mehrere
Eingabe-/Ausgabestifte 226 bis 238.
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Die
Eingabe-/Ausgabestifte 234 und 230 werden mit
einer Spannung beliefert, die auf einer ersten Bezugsspannung basiert.
Bei dem vorliegenden Beispiel ist die erste Bezugsspannung das Erdpotential.
Der Eingabe-/Ausgabestift 234 wird mit dem Erdpotential
beliefert und der Eingabe-/Ausgabestift 230n wird mit einer
Spannung beliefert, die eine vorbestimmte Potentialdifferenz mit
Bezug auf das Erdpotential hat.
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Die
Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 hat Transistoren 222 und 224 und
gib ein erstes Ausgangssignal über
den Eingabe-/Ausgabestift 238 aus. Der Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 wird
eine den Eingabe-/Ausgabestiften 234 und 230 zuzuführende Spannung
gegeben, und sie gibt das erste Ausgangssignal mit einer Amplitude
gemäß einer
Spannungspegeldifferenz der Spannung aus. Beispielsweise wird der
Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 eine dem Eingabe-/Ausgabestift 230 zuzuführende Spannung
als ein Spannungspegel in dem Fall gegeben, in welchem das erste
Ausgangssignal ein logisches H anzeigt, und wird eine dem Eingabe-/Ausgabestift 234 zuzuführende Spannung als
ein Spannungspegel in dem Fall gegeben, in welchem das erste Ausgangssignal
ein logisches L anzeigt.
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Ein
Prüfmuster
wird an dem Eingabe-/Ausgabestift 232 eingegeben. Eine
logische Niedrigspannungsschaltung 216 steuert auf der
Grundlage des Prüfmusters
eine an Gateanschlüssen
der Transistoren 222 und 224 einzugebende Gatespannung. Demgemäß gibt die
Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 ein erstes Ausgangssignal
aus, das gemäß dem Prüfmuster
ist. Die Pegelverschiebungsschaltung 218 verschiebt eine
Gatespannung, die die logische Niedrigspannungsschaltung 216 ausgibt,
auf einen Spannungspegel, der gemäß den Charakteristiken der
Transistoren 222 und 224 ist.
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Den
Eingabe-/Ausgabestiften 226 und 228 wird eine
Spannung gegeben, die auf der zweiten Bezugsspannung basiert, eine
vorbestimmte Spannungspegeldifferenz mit Bezug auf das erste Bezugssignal
hat und einen Spannungspegel hat, der höher als die erste Bezugsspannung
ist. Bei dem vorliegenden Beispiel wird die zweite Bezugsspannung von
etwa 0 bis 2 kV zu dem Eingabe-/Ausgabestift 228 geführt. Zusätzlich wird
eine Spannung mit einer vorbestimmten Spannungspegeldifferenz mit
Bezug auf die zweite Bezugsspannung zu dem Eingabe-/Ausgabestift 226 geführt.
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Die
Hochspannungs-Treiberschaltung 208 hat Transistoren 210 und 212 und
gibt ein zweites Ausgangssignal über
den Eingabe-/Ausgabestift 236 aus. Der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 wird eine
den Eingabe-/Ausgabestiften 226 und 228 zuzuführende Spannung
gegeben, und sie gibt das zweite Ausgangssignal mit einer Amplitude
gemäß einer Spannungspegeldifferenz
der Spannung aus.
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Die
logische Hochspannungsschaltung 204 steuert auf der Grundlage
des in die geprüfte
Vorrichtung 200 eingegebenen Prüfmusters eine an Gateanschlüssen der Transistoren 210 und 212 einzugebende
Gatespannung. Demgemäß gibt die
Hochspannungs-Treiberschaltung 208 ein zweites Ausgangssignal
aus, das in Übereinstimmung
mit dem Prüfmuster
ist.
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Das
Prüfmuster
kann über
den Eingabe-/Ausgabestift 232, die logische Niedrigspannungsschaltung 216 und
die Pegelverschiebungsschaltung 214 zu der logischen Hochspannungsschaltung 204 gegeben
werden. In diesem Fall verschiebt die Pegelverschiebungsschaltung 214 einen Spannungspegel
des Prüfmusters
gemäß der Spannungspegeldifferenz
zwischen der ersten Bezugsspannung und der zweiten Bezugsspannung.
Das Prüfmuster
kann auch über
einen unterschiedlichen Pfad mit Bezug auf die logische Niedrigspannungsschaltung 216 zu
der logischen Hochspannungsschaltung 204 gegeben werden.
Die Pegelverschiebungsschaltung 206 verschiebt die von
der logischen Hochspannungsschaltung 204 ausgegebene Gatespannung
auf einen Spannungspegel, der in Übereinstimmung mit den Charakteristiken
der Transistoren 210 und 212 ist.
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Die
Prüfvorrichtung 100 enthält eine
Universalleistungsquelle 10, eine Bezugsspannungs-Zuführungsschaltung 12,
eine Mustererzeugungsschaltung 18, eine Messvorrichtung 90,
eine Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 23 und eine Beurteilungsschaltung 24.
Die Universalleistungsquelle 10 erzeugt eine Leistungszuführung zum
Betreiben der Prüfvorrichtung 100.
Bei dem vorliegenden Beispiel arbeite die Universalleistungsquelle 10 als
eine Niedrigspannungs-Zuführungsschaltung
zum Erzeugen einer Spannung, deren Bezugsgröße die erste Bezugsspannung
ist, und zum Zuführen
der erzeugten Spannung zu dem Eingabe-/Ausgabestift 230. Obgleich
der Eingabe-/Ausgabestift 234 bei dem vorliegenden Beispiel
mit Erdpotential verbunden ist, ist es alternativ möglich, dass
die Universalleistungsquelle 10 eine erste Bezugsspannung
mit einem vorbestimmten Spannungswert zu dem Eingabe-/Ausgabestift 234 liefert.
Gemäß einer
derartigen Konfiguration kann eine Leistungsquellenspannung zu der Niedrigspannungs-Treiberschaltung 220 der
geprüften
Vorrichtung 200 geliefert werden.
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Die
Bezugsspannungs-Zuführungsschaltung 12 erzeugt
eine Spannung, die auf der zweiten Bezugsspannung basiert, und legt
die erzeugte Spannung an den Eingabe-/Ausgabestiften 226 und 228 an.
Beispielsweise legt die Bezugsspannungs-Zuführungsschaltung 12 eine
Spannung von etwa 0 bis 2 kV an den Eingabe-/Ausgabestift 228 an
und legt an den Eingabe-/Ausgabestift 226 eine Spannung
von etwa 15 V an, deren Bezugswert die zu dem Eingabe-/Ausgabestift 228 zu
liefernde Spannung ist.
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Die
Bezugsspannungs-Zuführungsschaltung 12 enthält eine
Hochspannungs-Leistungsquelle 16 und eine schwimmende Leistungsquelle 14.
Die Hochspannungs-Leistungsquelle 16 erzeugt
die zweite Bezugsspannung und liefert die zweite Bezugsspannung
zu dem Eingabe-/Ausgabestift 228. Die schwimmende Leistungsquelle 14 erzeugt
eine Spannung, deren Bezugswert die von der Hochspannungs-Leistungsquelle 1 ausgegebene
zweite Bezugsspannung ist, und liefert die erzeugte Spannung zu
dem Eingabe-/Ausgabestift 226. Gemäß einer derartigen Konfiguration
kann eine Leistungszuführungsspannung
mit einem hohen Spannungspegel zu der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 der
geprüften
Vorrichtung 200 geliefert werden.
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Eine
Stiftelektronikschaltung 20 enthält mehrere logische Stifte
entsprechend den mehreren Eingabe-/Aus gabestiften 226 bis 238 der
geprüften
Vorrichtung 200. Jeder logische Stift ist elektrisch mit
einem entsprechenden der Eingabe-/Ausgabestifte 226 bis 238 verbunden.
Die Übertragung
von Signalen, Leistung oder dergleichen zwischen der Prüfvorrichtung 100 und
der geprüften
Vorrichtung 200 wird über
jeden logischen Stift der Stiftelektronikschaltung 20 durchgeführt. Es
ist festzustellen, dass, obgleich 1 mehrere
Stiftelektronikschaltungen 20 illustriert die voneinander
getrennt sind, jeder logische Stift der Stiftelektronikschaltungen 20 auf
demselben Substrat vorgesehen sein kann.
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Die
Mustererzeugungsschaltung 18 erzeugt ein Prüfmuster
und gibt das Prüfmuster
in die geprüfte
Vorrichtung 200 ein. Um das Prüfmuster zu erzeugen, kann die
Mustererzeugungsschaltung 18 ein vorher gegebenes Prüfprogramm
zugrunde legen.
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Die
Messvorrichtung 90 misst ein zweites Ausgangssignal, das
von der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 ausgegeben wird.
Beispielsweise misst die Messvorrichtung 90 eine Schwankung
eines Spannungspegels des zweiten Ausgangssignals mit Bezug auf
die zweite Bezugsspannung. die Messvorrichtung 90 enthält eine
Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und eine Stiftelektronikschaltung 20.
Die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 23 sind
jeweils zwischen der geprüften Vorrichtung 200 und
einer entsprechenden Stiftelektronikschaltung 20 vorgesehen.
Die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 empfängt ein zweites
Ausgangssignal, das die Hochspannungs-Treiberschaltung 208 ausgibt,
und verarbeitet das Ausgangssignal gemäß den Charakteristiken der Stiftelektronikschaltung 20.
Beispielsweise verschiebt die Hochspannungs- Verarbeitungsschaltung 22 den
Signalpegel des Ausgangssignals auf einen Signalpegel, der in Übereinstimmung
mit der Spannungsfestigkeit eines entsprechenden logischen Stifts
der Stiftelektronikschaltung 20 ist. Demgemäß kann,
selbst ohne eine Stiftelektronikschaltung 20 mit einer
hohen Spannungsfestigkeit, die Prüfvorrichtung 100 Daten
eines Ausgangssignals mit einer hohen Spannung erfassen. Die Konfiguration
und die Arbeitsweise der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 werden
nachfolgend mit Bezug auf die Zeichnungen von 2 bis 5 im
Einzelnen beschrieben.
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Die
Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 23 empfängt ein
von der Mustererzeugungsschaltung 18 erzeugtes Prüfmuster
und verarbeitet das Prüfmuster
gemäß den Charakteristiken
der logischen Hochspannungsschaltung 204. Beispielsweise
kann die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 23 einen
Spannungspegel des Prüfmusters
gemäß der Spannungspegeldifferenz
zwischen der ersten Bezugsspannung und der zweiten Bezugsspannung verschieben,
so wie die Pegelverschiebungsschaltung 214.
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Die
Beurteilungsschaltung 24 beurteilt die Qualität der geprüften Vorrichtung 200 auf
der Grundlage eines von der geprüften
Vorrichtung 200 ausgegebenen Ausgangssignals. Beispielsweise
kann die Beurteilungsschaltung 24 die Qualität der geprüften Vorrichtung 200 auf
der Grundlage einer Beurteilung, ob das Datenmuster des von der
Niedrigspannungs-Treiberschaltung 222 und/oder von der
Hochspannungs-Treiberschaltung 208 ausgegebenen Ausgangssignals
mit dem Datenmuster eines gegebenen Signals für den erwarteten Wert übereinstimmt,
beurteilen. In diesem Fall kann die Mustererzeugungsschaltung 18 das
Signal für
den erwarteten Wert gemäß einem
Prüfprogramm
erzeugen.
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Die
Beurteilungsschaltung 24 kann auch beurteilen, ob die von
der Hochspannungs-Leistungsquelle 16 ausgegebene zweite
Bezugsspannung innerhalb eines vorbestimmten erwarteten Spannungsbereichs
liegt. Die Beurteilungsschaltung 24 kann die Qualität der geprüften Vorrichtung 200 auf
der Grundlage eines Ausgangssignals beurteilen, unter der Bedingung,
dass der Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung innerhalb des
erwarteten Spannungsbereichs liegt. Bei einer derartigen Konfiguration kann
die Prüfvorrichtung 100 mit
vorteilhafter Genauigkeit die Qualität der geprüften Vorrichtung 200,
die mit einer hohen Spannung betrieben wird, beurteilen.
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Die
Beurteilungsschaltung 24 kann einen Spannungspegel der
zweiten Bezugsspannung in einen zwischen der Hochspannungs-Leistungsquelle 16 und
dem Eingabe/Ausgabestifte 228 vorgesehenen Übertragungspfad
erfassen. Es ist wünschenswert,
dass die Beurteilungsschaltung 24 einen Spannungspegel
einer zweiten Bezugsspannung von einem Eingangsanschluss (Eingabe/Ausgabestift 228) der
geprüften
Vorrichtung 200, an dem die zweite Bezugsspannung eingegeben
wird, erfasst.
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Die
Leistungsquellen-Überwachungsschaltung 202 überwacht
zu den Eingabe-/Ausgabestiften 226 und 228 zu
liefernde Spannungen, und wenn die Spannungen nicht in einem vorbestimmten
Spannungsbereich liegen, kann die Leistungsquellen-Überwachungsschaltung 202 den
Betrieb der logischen Hochspannungsschaltung 204 anhalten.
Zusätzlich
kann die Leistungsquellen-Überwachungsschaltung 202 überwachen,
ob die Differenz zwischen den zu den Eingabe-/Ausgabestiften 226 und 228 zu
liefernden Spannungen innerhalb eines vorbestimmten Spannungsbereichs
liegt.
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2 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für eine
Konfiguration der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und
der Stiftelektronikschaltung 20 zeigt. Die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 enthält eine
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60, eine Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70,
eine Signalspannungs-Teilerschaltung 26, eine Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 und eine
Zusammensetzschaltung 80.
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Die
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ermöglicht den Durchgang einer
Hochfrequenzkomponente eines vorbestimmten ersten Bandes eines von
einer Hochspannungs-Treiberschaltung 208 ausgegebenen Ausgangssignals.
Die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 kann eine Differenzwellenform
des Ausgangssignals ausgeben. Zusätzlich kann die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 den
Durchgang einer Wechselstromkomponente des Ausgangssignals ermöglichen.
Die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 nach dem vorliegenden
Beispiel kann einen Puffer 62, Widerstände 64, 66, 78 und
ein Hochpassfilter 68 haben.
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Der
Puffer 62 empfängt
ein Ausgangssignal von der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 über den
Eingabe/Ausgabestift 236. Der Puffer 62 ermöglicht den
Durchgang des Ausgangssignals nach Verstärkung der Amplitude des Ausgangssignals
mittels einer Verstärkung,
die entsprechend einem Widerstandsverhältnis zwischen den Widerständen 64 und 66 ist.
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Das
Hochpassfilter 68 ermöglicht
den Durchgang einer Frequenzkomponente eines ersten Bandes eines
von dem Puffer 62 ausgegebenen Ausgangssignals. Beispielswei se
kann das Hochpassfilter 68 einen zwischen dem Puffer 62 und
dem Widerstand 78 vorgesehenen Kondensator enthalten, und es
kann einen zwischen dem Puffer 62 und dem Widerstand 78 vorgesehenen
Transformator enthalten. Der Widerstand 78 ist zwischen
dem Hochpassfilter 68 und der Zusammensetzschaltung 80 vorgesehen und überträgt ein von
dem Hochpassfilter 68 ausgegebenes Signal zu der Zusammensetzschaltung 80. Es
ist bevorzugt, dass der Puffer 62 ein Puffer ist, der mit
hoher Geschwindigkeit arbeitet. Beispielsweise ist ein Signaldurchlassband
in dem Puffer 62 vorzugsweise ein Band, das das vorgenannte
erste Band enthält.
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Die
Signalspannungs-Teilerschaltung 26 führt eine Spannungsteilung bei
einem Spannungspegel eines Ausgangssignals der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 mit
einem vorbestimmten Spannungsteilungsverhältnis durch und gibt das Ergebnis
aus. Die Signalspannungs-Teilerschaltung 26 bei
dem vorliegenden Beispiel hat 26 ei dem vorliegenden Beispiel
hat Widerstände 28 und 30,
die in Reihe zwischen den Eingabe-/Ausgabestift 236 und Erdpotential
geschaltet sind, und führt
eine Spannungsteilung bei dem Ausgangssignal gemäß einem Widerstandsverhältnis zwischen
den Widerständen 28 und 30 durch.
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Die
Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 führt eine Spannungsteilung bei
dem Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung mit im Wesentlichen
demselben Spannungsteilungsverhältnis
wie dem von der Signalspannungs-Teilungsschaltung 26 verwendeten
durch und gibt das Ergebnis aus. Die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 bei
dem vorliegenden Beispiel hat Widerstände 34 und 36,
die in Reihe zwischen der Hochspannungs-Leistungsquelle 16 und
Erdpotential geschaltet sind, und führt eine Spannungsteilung bei
der zweiten Bezugs spannung entsprechend einem Widerstandsverhältnis zwischen
den Widerständen 34 und 36 durch.
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Die
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ermöglicht den
Durchgang einer Niedrigfrequenzkomponente eines zweiten Bandes eines
Differenzsignals, das gemäß einer
Differenz zwischen einem Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung,
der einer Spannungsteilung durch die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 unterzogen
wurde, und einem Spannungspegel eines Ausgangssignals, der einer
Spannungsteilung durch die Signalspannungs-Teilerschaltung 26 unterzogen
wurde, ist. Das zweite Band, dessen Durchgang die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ermöglicht,
ist niedriger als das erste Band, dessen Durchgang die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ermöglicht. Die
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 kann eine integrale
Wellenform ausgeben, die sich aus der Integration des Differenzsignals
ergibt. Darüber
hinaus kann die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 den
Durchgang einer Gleichstromkomponente des Differenzsignals ermöglichen.
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Die
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 bei dem vorliegenden
Beispiel hat eine Differenzschaltung 72 und ein Tiefpassfilter 74.
Die Differenzschaltung 72 gibt ein Differenzsignal aus,
das durch Verstärken
einer Differenz zwischen dem Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung,
der sich aus der Spannungsteilung durch die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 ergibt,
und dem Spannungspegel des Ausgangssignals, das sich aus der Spannungsteilung
durch die Signalspannungs-Teilerschaltung 26 ergibt,
mit einem vorbestimmten Verstärkungsfaktor
erhalten wurde.
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Hier
ist es wünschenswert,
dass der Verstärkungsfak tor
für die
Differenzschaltung 72 bestimmt ist auf der Grundlage des
Spannungsteilungsverhältnisses
für die
Signalspannungs-Teilerschaltung 26 und die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32.
Beispielsweise kann der Verstärkungsfaktor
für die
Differenzschaltung 72 eine reziproke Zahl des Spannungsteilungsverhältnisses
für die
Signalspannungs-Teilerschaltung 26 und die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 sein.
Beispielsweise kann, wenn die Signalspannungs-Teilerschaltung 26 ein Ausgangssignal
durch Teilen der Spannung hiervon auf 1/200 ausgibt, der Verstärkungsfaktor
der Differenzschaltung 72 gleich 200 sein.
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Gemäß einer
derartigen Konfiguration kann eine Amplitudenkomponente des Signals
mit einer hohen Spannung durch Verwendung einer Schaltung mit geringer
Spannungsfestigkeit erfasst werden. Weiterhin kann die Differenzschaltung 72 ein
so genannter Messverstärker
sein. Messverstärker
haben eine hohe Eingangsimpedanz und sind so geeignet zum Messen
winziger Signale.
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Das
Tiefpassfilter 74 ermöglicht
den Durchgang einer Frequenzkomponente des vorgenannten zweiten
Bandes, das zu einem von der Differenzschaltung 72 ausgegebenen
Differenzsignal gehört. Darüber hinaus
braucht, wenn das Signaldurchlassband für die Differenzschaltung 72 das
zweite Band ist, die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 nicht
mit einem Tiefpassfilter 74 ausgestattet zu sein. Der Widerstand 76 ist
zwischen dem Tiefpassfilter 74 und der Zusammensetzschaltung 80 vorgesehen und überträgt ein von
dem Tiefpassfilter 74 ausgegebenes Signal zu der Zusammensetzschaltung 80.
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Die
Zusammensetzschaltung 80 kombiniert ein von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ausgegebenes
Sig nal und ein von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenes
Signal. Beispielsweise kann die Zusammensetzschaltung 80 ein
Verbindungspunkt sein, der elektrisch ein Ausgangsende der Hochfrequenzschaltung 60 mit
einem Ausgangsende der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 verbindet.
Demgemäß werden eine
Wellenform eines von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ausgegebenen
Signals und eine Wellenform eines von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenen
Signals miteinander addiert.
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Darüber hinaus
arbeitet die Stiftelektronikschaltung 20 als eine Messschaltung,
die ein von der Zusammensetzschaltung 80 ausgegebenes Signal misst.
Die Stiftelektronikschaltung 20 hat mehrere logische Stifte,
wobei jeder logische Stift einen Komparator 42 und einen
Treiber 44 hat. Den Komparator 42 wird ein vorbestimmter
Schwellenwert gegeben, und er vergleicht einen Spannungspegel eines
von der Zusammensetzschaltung 80 ausgegebenen Signals mit
dem Schwellenwert. Der Komparator 42 gibt das Vergleichsergebnis
aus. Gemäß einer
derartigen Konfiguration wandelt der Komparator 42 ein
eingegebenes Signal in ein binäres
Signal um.
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Eine
Bezugsspannung eines von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ausgegebenen Signals
ist das Erdpotential. Zusätzlich
basiert ein von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenes
Signal auf einer Differenz zwischen einem Ausgangssignal und der
zweiten Bezugsspannung. Folglich ist eine Bezugsspannung eines von der
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenen Signals
ebenfalls das Erdpotential.
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Zusätzlich ist
ein von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ausgegebenes
Signal beispielsweise eine Differenzwellenform eines Ausgangssignals,
und ein von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenes
Signal ist beispielsweise eine integrale Wellenform eines Ausgangssignals.
Demgemäß kann durch
Kombinieren dieser Signale eine Amplitudenkomponente eines Ausgangssignals
herausgezogen werden.
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Zusätzlich kann
die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 mit hoher Geschwindigkeit
betrieben werden, sie kann jedoch nicht den Durchgang einer Gleichstromkomponente
ermöglichen.
Im Gegensatz hierzu kann die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 nicht
mit hoher Geschwindigkeit arbeiten, kann jedoch den Durchgang einer
Gleichstromkomponente ermöglichen.
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Mit
anderen Worten, mit einer von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 oder
der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ist
es schwierig, die Amplitudenwellenform eines Ausgangssignals zu erfassen.
Demgegenüber
kombiniert bei dem vorliegenden Beispiel die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 die
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 und die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 und
kombiniert die Ausgangssignale dieser Schaltungen, wodurch die Erfassung
einer Niedrigfrequenzkomponente und einer Hochfrequenzkomponente
eines Ausgangssignals ermöglicht
wird und weiterhin die Erfassung einer Amplitudenwellenform ermöglicht wird.
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3 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für die
Arbeitsweise der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 zeigt.
Wie in 3 gezeigt ist, wird ein Ausgangssignal mit einer
zweiten Bezugsspannung von 2 kV und einer Amplitude von 15 V bei
dem vorliegenden Beispiel in die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 eingegeben.
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Wie
vorstehend beschrieben ist, ermöglicht die
Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 den Durchgang einer
Hochfrequenzkomponente des Ausgangssignals und sie gibt eine Differenzwellenform
des Ausgangssignals aus. Zusätzlich
ermöglicht die
Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 den Durchgang einer
Niedrigfrequenzkomponente des Ausgangssignals, und sie gibt eine
integrale Wellenform der Amplitudenkomponente des Ausgangssignals
aus. Während
dieses Vorgangs sind die Bezugsspannungen von von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 und
der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenen
Signalen gleich dem Erdpotential.
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Dann
kombiniert die Zusammensetzschaltung 80 ein von der Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 ausgegebenes
Signal und ein von der Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ausgegebenes Signal.
Indem eine derartige Verarbeitung durchgeführt wird, kann eine Amplitudenkomponente
eines Ausgangssignals mit einer hohen Spannung mit vorteilhafter
Reaktionsfähigkeit
erfasst werden.
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4 ist
ein Diagramm, das ein Beispiel für ein
erstes Band für
die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 und ein zweites
Band für
die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 zeigt.
Es ist bevorzugt, dass das zweite Band im Wesentlichen angrenzend
an eine Niedrigfrequenzseite des ersten Bandes angeordnet ist. Beispielsweise
ist das zweite Band ein Band in einem Bereich der Frequenz null bis
zu einer vorbestimmten Grenzfrequenz "fc".
Zusätzlich
ist die Grenzfrequenz der Niedrigfrequenzseite des ersten Bandes
im Wesentlichen gleich der Grenzfrequenz der Hochfrequenzseite des
zweiten Bandes. Hierdurch wird es möglich, den Durchgang der Frequenzkomponente
eines Ausgangssignals ohne Entweichen zu ermöglichen.
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Darüber hinaus
ist es bevorzugt, dass der Roll-off-Faktor der Niedrigfrequenzseite des
ersten Bandes im Wesentlichen gleich dem Roll-off-Faktor der Hochfrequenzseite
des zweiten Bandes ist. Darüber
hinaus ist es bevorzugt, dass die Amplitudenverstärkung für die Hochfrequenz-Durchgangsschaltung 60 im
Wesentlichen gleich der Amplitudenverstärkung für die Niedrigfrequenz-Durchgangsschaltung 70 ist.
Demgemäß kann die
Verzerrung von Wellenformen, die mit der Kombination von Wellenformen
verbunden ist, verringert werden.
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5 ist
ein Diagramm, das ein anderes Beispiel für eine Konfiguration der Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 und
der Stiftelektronikschaltung 20 zeigt. Die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 bei
dem vorliegenden Beispiel ist weiterhin mit einem Schalter 40 zusätzlich zu
der Konfiguration der in Verbindung mit 2 beschriebenen Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 ausgestattet.
Die anderen Bestandteile haben im Wesentlichen dieselbe Funktion
und Konfiguration wie diejenigen der Bestandteile, denen in 2 dieselben
Bezugszahlen zugewiesen sind.
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Der
Schalter 40 schaltet für
die Eingabe in die Stiftelektronikschaltung 20 zwischen
einem von der Zusammensetzschaltung 80 ausgegebenen Ausgangssignal
und einer zweiten Bezugsspannung, die sich aus der Spannungsteilung
durch die Bezugsspannungs-Zuführungsschaltung 12 ergibt.
Demgemäß ist es
möglich,
ein zu messendes Signal (d.h. entweder das Ausgangs signal oder das
zweite Bezugssignal) auszuwählen
und das ausgewählte
Signal in die Stiftelektronikschaltung 20 einzugeben.
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Die
Prüfvorrichtung 100 beurteilt
die Qualität der
geprüften
Vorrichtung 200 auf der Grundlage einer Beurteilung, ob
das Datenmuster eines von der Zusammensetzschaltung 80 ausgegebenen
Signals mit dem Datenmuster eines gegebenen Signals für den erwarteten
Wert übereinstimmt.
Wenn jedoch die zweite Bezugsspannung nicht innerhalb eines vorbestimmten
Bezugsspannungsbereichs liegt, besteht die Möglichkeit der Fehlbeurteilung
der Qualität
der geprüften
Vorrichtung 200. Um diesem Problem zu begegnen, ist die
Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 nach dem vorliegenden
Beispiel weiterhin mit dem Schalter 40 ausgestattet, wodurch
dem Komparator 42 ermöglicht
wird, den Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung zu erfassen.
Weiterhin kann, da die durch Spannungsteilung durch die Bezugsspannungs-Teilerschaltung 32 erhaltene zweite
Bezugsspannung in den Komparator 42 eingegeben wird, der
Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung unter Verwendung des Komparators 42,
der die Amplitudenkomponente eines Ausgangssignals erfasst, gemessen
werden.
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Die
Stiftelektronikschaltung 20 ist weiterhin mit einer Steuerschaltung 46 zusätzlich zu
der Konfiguration der in Verbindung mit 2 beschriebenen Stiftelektronikschaltung 20 versehen.
die anderen Bestandteile haben im Wesentlichen dieselbe Funktion
und Konfiguration wie diejenigen der in 2 mit denselben
Bezugszahlen versehenen Bestandteile.
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Die
Steuerschaltung 46 steuert einen dem Komparator 42 zuzuführenden
Schwellenwert. Wenn der Komparator 42 den Spannungspegel
der zweiten Bezugsspannung misst, ändert die Steuerschaltung 46 aufeinander
folgend den dem Komparator 42 zuzuführenden Schwellenwert. Der
Komparator 42 vergleicht auch jeden Schwellenwert mit dem
Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung. Gemäß dem Ergebnis des von dem
Komparator 42 für
jeden Schwellenwert durchgeführten
Vergleichs kann der Spannungspegel der zweiten Bezugsspannung gemessen
werden.
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Die
Messung der zweiten Bezugsspannung kann vor der Prüfung der
geprüften
Vorrichtung 200 durchgeführt werden. Beispielsweise
kann die Prüfvorrichtung 100 die
geprüfte
Vorrichtung 200 prüfen, wenn
die zweite Bezugsspannung innerhalb eines vorbestimmten Bezugsspannungsbereichs
liegt.
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Weiterhin
kann die Messung der zweiten Bezugsspannung während der Prüfung der
geprüften Vorrichtung 200 durchgeführt werden.
In einem derartigen Fall kann die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 die
sich aus der Spannungsteilung ergebende zweite Bezugsspannung an
einem logischen Stift eingeben, der verschieden von dem mit der
Zusammensetzschaltung 80 verbundenen logischen Stift der
Stiftelektronikschaltung 20 ist. In diesem Fall braucht
die Hochspannungs-Verarbeitungsschaltung 22 nicht
mit einem Schalter 40 ausgestattet zu sein.
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Zusätzlich kann
der Schalter 40 auf der Grundlage eines zu der Mustererzeugungsschaltung 18 gegebenen
Prüfprogramms
arbeiten. Beispielsweise kann der Schalter 40 auf der Grundlage
des Prüfprogramms
einen Zeitpunkterfassen, zu dem ein Ausgangssignal von der Hochspannungs-Treiberschaltung 208 nicht
mit einem Signal für
den erwarteten Wert verglichen wird, und bewirken, dass die zweite
Bezugsspannung zu dem erfassten Zeitpunkt in den Komparator 42 eingegeben
wird. Der Schalter 40 kann entsprechend einem Signal für den erwarteten
Wert, dass die Mustererzeugungsschaltung 18 auf der Grundlage
des Prüfprogramms
ausgibt, arbeiten. Beispielsweise kann der Schalter 40 die
zweite Bezugsspannung in den Komparator 42 eingeben, wenn
die Mustererzeugungsschaltung 18 ein Signal für den erwarteten
Wert nicht ausgibt. Alternativ kann der Schalter 40 die
zweite Bezugsspannung in den Komparator 42 eingeben, wenn
das Signal für
den erwarteten Wert den Wert null anzeigt.
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Wie
sich aus der vorstehenden Beschreibung ergibt, ermöglicht die
vorliegende Erfindung die Messung eines Signals, dessen Spannungspegel
mit Bezug auf eine hohe Spannung schwankt, mit vorteilhafter Genauigkeit
zu messen, und eine geprüfte
Vorrichtung, die mit einer hohen Spannung als einer Bezugsgröße betrieben
wird, mit vorteilhafter Genauigkeit zu prüfen.