DE19839133A1 - Netzwerkanalysatormessverfahren für Bauelemente mit hohem Dynamikbereich - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Netzwerkanalysa­ toren und insbesondere auf Netzwerkanalysatoren mit hoher Meßgeschwindigkeit.

Die Meßgeschwindigkeit wurde ein immer wichtigeres Verhal­ tensmerkmal für moderne Netzwerkanalysatoren. Eine hohe Meß­ geschwindigkeit kann in einer Herstellungsumgebung wün­ schenswert sein, derart, daß ein Benutzer eines Netzwerkana­ lysators Meßempfindlichkeit opfern möchte, wenn er bestimmte Bauelementparameter charakterisieren möchte, wie z. B. den Vorwärts- oder den Rückwärts-Transmissionsparameter, wenn eine entsprechende Zunahme der Meßgeschwindigkeit erreicht werden kann. Alternativ könnte der Benutzer den Wunsch ha­ ben, weniger als den vollen Satz von Charakterisierungspara­ metern, die für ein getestetes Bauelement (DUT; DUT = Device Under Test) gemessen werden, zu extrahieren, wenn eine ent­ sprechende Zunahme der Meßgeschwindigkeit realisiert werden könnte. In bestimmten Meßanwendungen kann die Charakterisie­ rung bestimmter Bauelementparameter, wie z. B. den Rück­ wärtstransmissions-Streuparameter S12, nicht notwendig sein, um das Verhalten des DUT zu verifizieren. Aufgrund von Meß­ fehlern, die bei kommerziell verfügbaren Netzwerkanalysato­ ren inhärent vorhanden sind, baut die Charakterisierung des Vorwärtstransmissionsparameters eines DUT nicht nur auf der Messung der Vorwärtstransmissionscharakteristik des DUT, sondern auch auf Messungen der Rückwärtstransmissionscharak­ teristika und des Vorwärts- und des Rückwärtsreflexionscha­ rakteristika des DUT. Somit kann selbst bei Meßanwendungen, bei denen nur der Vorwärtstransmissionsparameter eines Bauelements gesucht wird, die Meßgeschwindigkeit durch ein­ faches Weglassen der Messungen des Rückwärtstransmissions­ parameters und der Reflexionsparameter des DUT nicht erhöht werden. Die Meßgeschwindigkeit wird besonders beeinträch­ tigt, wenn das DUT eine hohe Dämpfung oder einen hohen Dyna­ mikbereich hat, wodurch Signale mit niedrigem Pegel an dem Netzwerkanalysator erzeugt werden.

Gegenwärtig verfügbare Meßverfahren verwenden ohne Rücksicht auf die Anwendung eine schmale ZF-Bandbreite in dem Netz­ werkanalysator, wenn die Vorwärts- und die Rückwärts-Trans­ missions- und -Reflexionscharakteristika eines DUT mit hohem Dynamikbereich gemessen werden, um die Meßempfindlichkeit zu verbessern. Da die schmale ZF-Bandbreite die Meßansprechzeit des Netzwerkanalysators verringert, wird die Meßgeschwindig­ keit als Ergebnis dieser vom Bauelement unabhängigen Verwen­ dung der schmalen ZF-Bandbreite übermäßig begrenzt, um den vollen Satz von Transmissions- und Reflexions-Parametern des DUT zu messen.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Meßverfahren für einen Netzwerkanalysator zu schaffen, durch das die Meßgeschwindigkeit für Bauelemente mit hohem Dyna­ mikbereich erhöht wird.

Diese Aufgabe wird durch ein Meßverfahren für einen Netz­ werkanalysator gemäß Anspruch 1 oder Anspruch 8 gelöst.

Die vorliegende Erfindung ist besonders dann von Vorteil, wenn der volle Satz von Bauelementparametern nicht erwünscht ist, oder wenn die Meßempfindlichkeit bei der Charakterisie­ rung zumindest eines Bauelementparameters geopfert werden kann.

Gemäß den bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung variieren Meßverfahren selektiv die ZF-Bandbreite eines Netzwerkanalysators, um die Meßgeschwindigkeit für Bauelemente mit hohem Dynamikbereich zu erhöhen. Eine erhöh­ te Meßgeschwindigkeit wird realisiert, wenn weniger als der volle Satz von Vorwärts- und Rückwärts-Transmissions- und -Reflexionsparametern für ein getestetes Bauelement (DUT) gesucht wird, oder wenn Meßempfindlichkeit für einen oder mehrere der Bauelementparameter geopfert wird. Für DUTs mit hohem Dynamikbereich haben Rauschbeiträge auf den Rückwärts­ transmissionsparameter einen vernachlässigbaren Effekt auf die Meßgenauigkeit des Vorwärtstransmissionsparameters des DUT. Gemäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung umfaßt ein Meßverfahren die Schritte des Einstellens der Bandbreite des ZF-Filters für jeden ent­ sprechenden Meßdurchlauf des Netzwerkanalysators gemäß dem Teilsatz von Bauelementparametern, die gesucht werden. Die Vorwärtstransmissions- und die Vorwärtsreflexions-Charak­ teristika des getesteten Bauelements werden unter Verwendung einer ersten ZF-Bandbreite gemessen, während die Rückwärts­ transmissions- und die Rückwärtsreflexions-Charakteristika des Bauelements unter Verwendung einer zweiten ZF-Bandbreite gemessen werden. Wenn eine hohe Meßempfindlichkeit des Vor­ wärtstransmissionsparameters, wie z. B. des Streuparameters S21 des Bauelements mit hohem Dynamikbereich, gesucht wird, wird die erste ZF-Bandbreite ausgewählt, um kleiner als die zweite ZF-Bandbreite zu sein. Wenn eine hohe Empfindlichkeit des Rückwärtstransmissionsparameters, wie z. B. des Streupa­ rameters S12 des Bauelements, gesucht wird, wird die zweite ZF-Bandbreite schmäler als die erste ZF-Bandbreite ausge­ wählt. Wenn die erste ZF-Bandbreite und die zweite ZF-Band­ breite sehr stark unterschiedlich sind, wird eine etwa zweifache Steigerung der Meßgeschwindigkeit allein aus der Auswahl der zwei unterschiedlichen ZF-Bandbreiten erreicht.

Gemäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor­ liegenden Erfindung wird ein getrennter Meßdurchlauf oder ein getrenntes Meßwobbeln für den Vorwärtstransmissionspara­ meter, den Rückwärtstransmissionsparameter, den Vorwärtsre­ flexionsparameter und den Rückwärtsreflexionsparameter ver­ wendet. Das Meßverfahren liefert eine getrennte Auswahl der ZF-Bandbreite für jeden der vier getrennten Meßdurchläufe eines Netzwerkanalysators. Typischerweise haben der Vor­ wärtsreflexionsparameter und der Rückwärtsreflexionsparame­ ter eine hohe Amplitude, und dieselben werden unter Verwen­ dung einer relativ breiten ZF-Bandbreite gemessen. Wenn eine schmale ZF-Bandbreite für die Messung nur des Vorwärts- oder des Rückwärtstransmissionsparameters ausgewählt wird, wird eine etwa vierfache Steigerung der Meßgeschwindigkeit allein durch Auswählen der schmalen ZF-Bandbreite für nur eine der vier getrennten DUT-Messungen realisiert.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden nachfolgend bezugnehmend auf die beiliegenden Zeich­ nungen detaillierter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 einen Netzwerkanalysator zur Verwendung mit dem Meßverfahren gemäß den bevorzugten Ausführungsbei­ spielen der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 ein Flußdiagramm des Netzwerkanalysatormeßverfah­ rens gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung; und

Fig. 3 ein Flußdiagramm des Netzwerkanalysatormeßverfah­ rens gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungs­ beispiel der vorliegenden Erfindung.

Fig. 1 zeigt einen Netzwerkanalysator 20 zur Verwendung mit den Meßverfahren gemäß den bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung. Eine Quelle 22 liefert Anre­ gungssignale 21, 23 zu dem zu testenden Bauelement (DUT). Empfänger R1-R4 messen Antwortsignale des DUT auf die Er­ regungssignale 21, 23, die durch die Quelle 22 geliefert werden, wobei jedes der Antwortsignale auf eine feste Zwi­ schenfrequenz (ZF) umgewandelt wird. Zwischenfrequenz-(ZF-)Filter F1-F4 schaffen ein Filtern für die gemessenen Ant­ wortsignale bei der festen ZF. Die Bandbreite jedes ZF-Fil­ ters F1-F4 ist über ein Bandbreitensteuersignal wählbar. Die gefilterten Signale an den Knoten N1-N4 werden einer Erfassungs/Verarbeitungs-Einheit 24 übergeben. Typischerwei­ se hängen Vorwärtsreflexionsparameter, wie z. B. der Streu­ parameter (S-Parameter) S11, hauptsächlich von dem Verhält­ nis des an dem Knoten N1 vorhandenen Signals zu dem Signal, das an dem Knoten N2 vorhanden ist, ab. Der Rückwärtsrefle­ xionsparameter, wie z. B. der S-Parameter S22, hängt haupt­ sächlich von dem Verhältnis des an dem Knoten N3 vorhandenen Signals zu dem Signal an dem Knoten N4 ab. Der Vorwärts­ transmissionsparameter, wie z. B. der S-Parameter S21, hängt hauptsächlich von dem Verhältnis der Signale ab, die an den Knoten N3 und N1 vorhanden sind. Der Rückwärtstransmissions­ parameter, wie z. B. der S-Parameter S12, hängt hauptsäch­ lich von dem Verhältnis der Signale ab, die an den Knoten N2 und N4 vorhanden sind.

Aufgrund von Fehlanpassungsfehlern E1 bis E4 innerhalb des Netzwerkanalysators 20 hängt jeder der S-Parameter von den gemessenen S-Parametern S11m, S21m, S12m und S22m ab. So wird beispielsweise die Extraktion eines erwünschten S-Para­ meters, wie z. B. des Vorwärtstransmissions-S-Parameters S21, aus der gemessenen Vorwärtstransmissionscharakteristik S21m, der gemessenen Vorwärtsreflexionscharakteristik S11m, der gemessenen Rückwärtsreflexionscharakteristik S22m, der gemessenen Rückwärtstransmissionscharakteristik S12m und aus einer Korrektur durch Kalibrationsfehlerausdrücke E1-E4 in der Erfassungs/Verarbeitungseinheit 24 gemäß folgender Be­ ziehung erhalten:

S21 = S21m (1+S22m.E1)/((1+S11m.E2) (1+S22.E3) - (S21m.S12m.E4)) (1)

Gleichung (1) zeigt, daß der S-Parameter S21 von allen vier gemessenen S-Parametern und nicht nur von dem gemessenen Vorwärtstransmissions-S-Parameter S21m abhängt. Somit werden selbst bei Meßumgebungen, bei denen nur der S-Parameter S21 gesucht wird, die gemessenen S-Parameter S22m, S11m, S12m ebenfalls erfaßt, um den S-Parameter S21 zu extrahieren, und um die Vorwärtstransmissionscharakteristika des DUT genau darzustellen.

Wenn das DUT eine hohe Dämpfung oder einen hohen Dynamikbe­ reich hat, betrifft das Messen des Vorwärtstransmissions-S-Parameters S21m und des Rückwärtstransmissions-S-Parameters S12m typischerweise das Verarbeiten von Signalen mit niedri­ gen Pegeln in dem Netzwerkanalysator 20. Wenn die gemessenen S-Parameter S21m und S12m beide Signale mit niedrigem Pegel haben, ist das Produkt S21m.S12m in Gleichung (1) klein, weshalb das Produkt einen vernachlässigbaren Effekt auf den Vorwärtstransmissions-S-Parameter S21 hat. Ein hinzugefügtes Rauschen aufgrund einer niedrigen Empfindlichkeit in der Messung des gemessenen S-Parameters S12m hat eine kleine Auswirkung auf den S-Parameter S21 bei Meßfrequenzen, wo das Produkt S21m.S12m klein ist, da der Effekt des hinzugefüg­ ten Rauschens durch das Produkt reduziert wird. Bei Meßfre­ quenzen, wo die Signalpegel hoch sind, ist das Signal-zu- Rauschen-Verhältnis (SNR; SNR = Signal-To-Noise Ratio) der gemessenen S-Parameter S21m und S12m groß, und es wird bei diesen Messungen keine hohe Meßempfindlichkeit nötig sein. Somit wird für DUTs mit einem hohen Dynamikbereich die Band­ breite des ZF-Filters F2 eingestellt, um relativ breit zu sein, wenn der Rückwärtstransmissions-S-Parameter S12m ge­ messen wird. Im Gegensatz zu dem gemessenen S-Parameter S12m, der einen Sekundäreffekt auf den S-Parameter S21 hat, hat der gemessene S-Parameter S21m einen Primäreffekt auf den Vorwärtstransmissions-S-Parameter S21. Somit wird für das ZF-Filter F4 eine relativ schmale Bandbreite ausgewählt, um hohe Meßempfindlichkeit und ein hohes Signal/Rausch-Verhältnis (SNR) für den gemessenen S-Parameter S21 zu er­ reichen. Typischerweise betreffen der Vorwärts- und der Rückwärtsreflexionsparameter S11m und S22m das Messen von Signalen mit hoher Amplitude, weshalb keine hohe Meßempfind­ lichkeit notwendig ist, um eine hohe Meßgenauigkeit zu er­ reichen. Daher können für die ZF-Filter F1 und F4 relativ breite ZF-Bandbreiten ausgewählt werden. Im allgemeinen kön­ nen die Bauelementparameter, die keine hohe Meßempfindlich­ keit erfordern, unter Verwendung von breiten Bandbreiten für die entsprechenden ZF-Filter gemessen werden, um die Meßge­ schwindigkeit des Netzwerkanalysators 20 zu steigern.

Fig. 2 zeigt ein Flußdiagramm des Netzwerkanalysatormeßver­ fahrens 100 gemäß einem ersten bevorzugten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung. In einem Schritt 102 des Meßverfahrens 100 wird eine erste Bandbreite für jeden ZF-Filter F1, F2 und F4 und eine zweite ZF-Bandbreite für jeden ZF-Filter F1, F3 und F4 ausgewählt. Die erste ZF-Bandbreite jedes ZF-Filters F1, F2 und F4 kann gleich oder ungleich zueinander ausgewählt werden. Auf ähnliche Art und Weise kann die zweite ZF-Bandbreite jedes ZF-Filters F1, F3 und F4 gleich oder ungleich zueinander ausgewählt werden. Für den speziellen Netzwerkanalysator 20, der in Fig. 1 gezeigt ist, sind die ZF-Filter F1, F2 und F4 die ZF-Filter, die den Mes­ sungen des Vorwärtstransmissions- und des Vorwärtsreflexi­ onsparameters des DUT entsprechen, während die ZF-Filter F1, F3 und F4 die ZF-Filter sind, die den Messungen des Rück­ wärtstransmissions- und des Rückwärtsreflexionsparameters entsprechen. Abhängig von der speziellen Hardwarekonfigura­ tion des Netzwerkanalysators 20, der mit den bevorzugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung verwendet wird, kann eine verringerte oder erhöhte Anzahl von ZF-Fil­ tern jedem Meßparameter entsprechen.

In einem Schritt 104 des Meßverfahrens 100 werden die ZF-Filter F1, F2 und F4 jeweils auf ihre erste ZF-Bandbreite oder ihre ersten ZF-Bandbreiten eingestellt. In einem Schritt 106 des Meßverfahrens 100 werden der Vorwärtstrans­ missionsparameter S21m und der Vorwärtsreflexionsparameter S11m gleichzeitig gemessen. Diese Messungen werden bei einer einzigen Frequenz -der Quelle 22 erfaßt. Alternativ werden die Messungen innerhalb eines Frequenzwobbeldurchgangs der Quelle über einem vordefinierten Frequenzbereich erfaßt. In einem Schritt 108 des Meßverfahrens 100 werden die ZF-Filter F1, F3 und F4 auf ihre zweiten ZF-Bandbreiten bzw. auf ihre zweite ZF-Bandbreite eingestellt. In einem Schritt 110 des Meßverfahrens 100 werden der Rückwärtstransmissionsparameter S12m und der Rückwärtsreflexionsparameter S22m gleichzeitig gemessen. Diese Messungen werden bei einer einzigen Frequenz der Quelle 22 erfaßt. Alternativ werden die Messungen inner­ halb eines Frequenzwobbeldurchgangs der Quelle über einem vorbestimmten Frequenzbereich erfaßt. Wenn der Vorwärts­ transmissionsparameter S21 gesucht wird, wird die erste ZF-Bandbreite eingestellt, um bezüglich der zweiten ZF-Band­ breite schmal zu sein. Wenn der Rückwärtstransmissionspara­ meter S12 gesucht wird, wird die erste ZF-Bandbreite einge­ stellt, um bezüglich der zweiten ZF-Bandbreite breit zu sein. Sobald die gemessenen S-Parameter S21m, S22m, S12m und S11m erfaßt sind, wird der erwünschte S-Parameter, wie z. B. S21, aus den gemessenen S-Parametern extrahiert und bezüg­ lich der Fehlerterme E1-E4 des Netzwerkanalysators 20 in einem Schritt 112 des Meßverfahrens 100 korrigiert. Glei­ chung (1) liefert ein Beispiel für eine Einrichtung zum Kor­ rigieren bezüglich von Fehlertermen E1-E4 und zum Extra­ hieren des erwünschten S-Parameters S21 aus den gemessenen S-Parametern S21m, S22m, S12m und S11m. Die Fehlerterme E1-E4 werden unter Verwendung bekannter Kalibrationstechniken, wie sie beispielsweise von Cannon in dem U.S.-Patent Nr. 4,816,767 gelehrt werden, abgeleitet. Typischerweise wird der extrahierte S-Parameter oder Bauelementekoeffizient für das Beispiel S21 zu einer Anzeige oder einem anderen Ausga­ begerät (nicht gezeigt) ausgegeben. Wenn die erste ZF-Band­ breite und die zweite ZF-Bandbreite stark verschieden sind, wird eine etwa zweifache Steigerung der Meßgeschwindigkeit als Ergebnis der Auswahl einer breiten ZF-Bandbreite für die Hälfte der Anzahl der Messungen des Netzwerkanalysators 20 realisiert.

Fig. 3 zeigt ein Flußdiagramm des Netzwerkanalysatormeßver­ fahrens 200 gemäß einem zweiten bevorzugten Ausführungsbei­ spiel der vorliegenden Erfindung. Bei einer Vielzahl von Netzwerkanalysatormeßanwendungen kann es wünschenswert sein, sowohl den Vorwärtstransmissionsparameter als auch den Rück­ wärtstransmissionsparameter und den Vorwärtsreflexionspara­ meter und den Rückwärtsreflexionsparameter unter Verwendung einer getrennten Messung durch den Netzwerkanalysator 20 zu charakterisieren. Um beispielsweise das Signalgegensprechen zu reduzieren und die Signaltrennung zwischen der Transmis­ sions- und der Reflexions-Messung eines DUT mit hohem Dyna­ mikbereich innerhalb des Netzwerkanalysators 20 zu erhöhen, können die Transmissionsmessungen und die Reflexionsmessun­ gen unter Verwendung getrennter Meßwobbeldurchgänge oder unter Verwendung getrennter Einzelfrequenz-Schrittmessungen des Netzwerkanalysators 20 durchgeführt werden. Das Meßver­ fahren von Fig. 3 liefert eine getrennte Auswahl der Band­ breite jedes ZF-Filters F1-F4 entsprechend jedem der vier getrennten Meßwobbeldurchgänge oder Frequenzschrittmessun­ gen, die verwendet werden, um gemessene Charakteristika des DUT zu erfassen.

In einem Schritt 202 des Meßverfahrens 200 wird eine erste Bandbreite für die ZF-Filter F2 und F4 ausgewählt, wird eine zweite ZF-Bandbreite für die ZF-Filter F1 und F2 ausgewählt, wird eine dritte ZF-Bandbreite für die ZF-Filter F1 und F3 ausgewählt, und wird eine vierte ZF-Bandbreite für die ZF-Filter F3 und F4 ausgewählt. Die ZF-Filter F2 und F4 sind die ZF-Filter innerhalb des Netzwerkanalysators 20, die der Messung des Vorwärtstransmissionsparameters S21m des DUT entsprechen. Die ZF-Filter F1 und F2 sind die ZF-Filter in­ nerhalb des Netzwerkanalysators 20, die einer Messung des Vorwärtsreflexionsparameters S11m des DUT entsprechen. Die ZF-Filter F1 und F3 sind die ZF-Filter innerhalb des Netz­ werkanalysators 20, die einer Messung des Rückwärtstransmis­ sionsparameters S12m des DUT entsprechen. Die ZF-Filter F3 und F4 sind die ZF-Filter innerhalb des Netzwerkanalysators 20, die der Messung des Rückwärtsreflexionsparameters S22m des DUT entsprechen.

In einem Schritt 204 des Meßverfahrens 200 werden die ZF-Filter F2 und F4 auf die erste ZF-Bandbreite eingestellt, während in einem Schritt 206 der Vorwärtstransmissionspara­ meter S21m unter Verwendung der ersten ZF-Bandbreite gemes­ sen wird. In einem Schritt 208 des Meßverfahrens 200 werden die ZF-Filter F1 und F2 auf die zweite ZF-Bandbreite einge­ stellt, während in einem Schritt 210 der Vorwärtsreflexions­ parameter S11m unter Verwendung der zweiten ZF-Bandbreite gemessen wird. In einem Schritt 212 des Meßverfahrens 200 werden die ZF-Filter F1 und F3 auf die dritte ZF-Bandbreite eingestellt, während in einem Schritt 214 der Rückwärts­ transmissionsparameter S12m unter Verwendung der dritten ZF-Bandbreite gemessen wird. In einem Schritt 216 des Meß­ verfahrens 200 werden die ZF-Filter F3 und F4 auf die vierte ZF-Bandbreite eingestellt, und in einem Schritt 218 wird der Rückwärtsreflexionsparameter S22m unter Verwendung der vier­ ten ZF-Bandbreite gemessen. Sobald die gemessenen S-Parame­ ter S21m, S22m, S12m und S11m erfaßt sind, wird der er­ wünschte S-Parameter oder der erwünschte Bauelementkoeffi­ zient, wie z. B. S21, aus den gemessenen S-Parametern in ei­ nem Schritt 220 des Meßverfahrens 200 extrahiert. Der Bau­ elementkoeffizient wird aus den gemessenen S-Parametern S21m, S11m, S12m und S22m extrahiert und nach Fehlertermen E1-E4 des Netzwerkanalysators 20 korrigiert. Typischerwei­ se wird der extrahierte S-Parameter, beispielsweise S21, auf eine Anzeige oder ein anderes Ausgabegerät (nicht gezeigt) ausgegeben.

Typischerweise betreffen der Vorwärts- und der Rückwärtsre­ flexionsparameter S11m und S22m das Messen von Signalen mit hoher Amplitude, weshalb keine hohe Meßempfindlichkeit er­ forderlich sein dürfte. Daher können relativ breite ZF-Band­ breiten für die ZF-Filter F1-F4 des Netzwerkanalysators 20 entsprechend der Messung dieser Reflexionsparameter ausge­ wählt werden. Wenn der Vorwärtstransmissionsparameter S21 gesucht wird, wird die zweite ZF-Bandbreite bezüglich der dritten ZF-Bandbreite schmal eingestellt. Wenn der Rück­ wärtstransmissionsparameter S12 gesucht wird, wird die dritte ZF-Bandbreite bezüglich der zweiten ZF-Bandbreite schmal eingestellt. Wenn eine schmale ZF-Bandbreite für die Messung von nur einem der Vorwärts- oder Rückwärts-Trans­ missionsparameter ausgewählt ist, wird eine etwa vierfache Steigerung der Meßgeschwindigkeit als Ergebnis der Auswahl der schmalen ZF-Bandbreite für nur eine der vier getrennten Messungen realisiert.

Die Netzwerkanalysatormeßverfahren 100, 200 gemäß den bevor­ zugten Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung wer­ den auf eine Vielzahl von verschiedenen Wegen implementiert. Die Meßverfahren 100, 200 werden typischerweise unter Ver­ wendung einer Firmware oder einer Software implementiert, um eine Steuerung 26 zu programmieren (in Fig. 1 gezeigt). Die Steuerung 26 kann ein Mikroprozessor innerhalb des Netzwerk­ analysators 20 sein, oder alternativ ein Mikroprozessor oder ein Computer außerhalb des Netzwerkanalysators 26. Wenn die Steuerung 26 extern ist, werden die Meßverfahren 100, 200 über ein lokales Netz (LAN, LAN = Local Area Network), einen Hewlett-Packard-Schnittstellenbus (HPIB, HPIB = Hewlett- Packard Interface Bus), eine VXI-Schnittstelle oder einen anderen Typ einer Schnittstelle zwischen der Steuerung 26 und dem Netzwerkanalysator 20 ausgeführt.

Obwohl die Meßverfahren 100, 200 für DUTs mit zwei Toren dargestellt worden sind, sind die Verfahren ohne weiteres auch auf Bauelementen mit einer beliebigen Anzahl von Toren durch Bereitstellen einer Einstellung der Bandbreite der ZF-Filter innerhalb des Netzwerkanalysators gemäß den Bau­ elementparametern, die gesucht werden, anwendbar.

Claims (12)

1. Meßverfahren (100) für einen Netzwerkanalysator (20) mit zumindest einem ersten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Vorwärtstransmissionsparametern und Vor­ wärtsreflexionsparametern eines zu testenden Bauele­ ments und mit zumindest einem zweiten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Rückwärtstransmissionspara­ metern und Rückwärtsreflexionsparametern des zu te­ stenden Bauelements, wobei das Meßverfahren folgende Schritte aufweist:
Auswählen (102) einer ersten vordefinierten Bandbreite für das zumindest eine erste einstellbare ZF-Filter;
Auswählen (102) einer zweiten vordefinierten Bandbrei­ te für das zumindest eine zweite einstellbare ZF-Fil­ ter;
Einstellen (104) der Bandbreite des zumindest einen ersten einstellbaren ZF-Filters auf die erste vordefi­ nierte Bandbreite;
Messen (106) der Vorwärtstransmissionsparameter und der Vorwärtsreflexionsparameter des zu testenden Bau­ elements;
Einstellen (108) der Bandbreite des zumindest einen zweiten einstellbaren ZF-Filters auf die zweite vorde­ finierte Bandbreite;
Messen (110) der Rückwärtstransmissionsparameter und der Rückwärtsreflexionsparameter des zu testenden Bau­ elements; und
Extrahieren (112) zumindest eines Koeffizienten aus der Gruppe, die einen Vorwärtstransmissionskoeffizien­ ten, einen Vorwärtsreflexionskoeffizienten, einen Rückwärtstransmissionskoeffizienten und einen Rück­ wärtsreflexionskoeffizienten des zu testenden Bauele­ ments umfaßt, aus den gemessenen Vorwärtstransmissi­ onsparametern, den gemessenen Vorwärtsreflexionspa­ rametern, den gemessenen Rückwärtstransmissionspara­ metern und den gemessenen Rückwärtsreflexionsparame­ tern.

2. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1, bei dem die erste vordefinierte Bandbreite kleiner als die zweite vorde­ finierte Bandbreite ist, wenn entweder der Vorwärts­ transmissionskoeffizient oder der Vorwärtsreflexions­ koeffizient oder beide extrahiert werden.

3. Verfahren (100) gemäß Anspruch 1, bei dem die erste vordefinierte Bandbreite größer als die zweite vorde­ finierte Bandbreite ist, wenn entweder der Rückwärts­ transmissionskoeffizient oder der Rückwärtsreflexions­ koeffizient oder beide extrahiert werden.

4. Verfahren (100) gemäß einem der vorhergehenden Ansprü­ che, bei dem der Schritt des Messens der Vorwärts­ transmissionsparameter und der Vorwärtsreflexionspara­ meter das Messen der Vorwärtstransmissionsparameter und der Vorwärtsreflexionsparameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt.

5. Verfahren (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Schritt des Messens (106) der Vorwärtstrans­ missionsparameter und der Vorwärtsreflexionsparameter das Messen der Vorwärtstransmissionsparameter und der Vorwärtsreflexionsparameter über einem vordefinierten Frequenzbereich umfaßt.

6. Verfahren (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, bei dem der Schritt des Messens (108) der Rückwärts­ transmissionsparameter und der Rückwärtsreflexi­ onsparameter das Messen der Rückwärtstransmissionspa­ rameter und der Rückwärtsreflexionsparameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt.

7. Verfahren (100) gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, bei dem der Schritt des Messens (108) der Rückwärtstrans­ missionsparameter und der Rückwärtsreflexionsparameter das Messen der Rückwärtstransmissionsparameter und der Rückwärtsreflexionsparameter über einem vordefinierten Frequenzbereich umfaßt.

8. Meßverfahren (200) für einen Netzwerkanalysator (20) mit zumindest einem ersten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Vorwärtstransmissionsparametern, mit zumin­ dest einem zweiten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Vorwärtsreflexionsparametern, mit zumindest einem dritten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Rück­ wärtstransmissionsparametern und mit zumindest einem vierten einstellbaren ZF-Filter zum Messen von Rück­ wärtsreflexionsparametern eines zu testenden Bauele­ ments, wobei das Meßverfahren folgende Schritte auf­ weist:
Auswählen (202) einer ersten vordefinierten Bandbreite für das zumindest eine erste einstellbare ZF-Filter;
Auswählen (202) einer zweiten vordefinierten Bandbrei­ te für das zumindest eine zweite einstellbare ZF-Fil­ ter;
Auswählen (202) einer dritten vordefinierten Bandbrei­ te für das zumindest eine dritte einstellbare ZF-Fil­ ter;
Auswählen (202) einer vierten vordefinierten Bandbrei­ te für das zumindest eine vierte einstellbare ZF-Fil­ ter;
Einstellen (204) der Bandbreite des zumindest einen ersten einstellbaren ZF-Filters auf die erste vordefi­ nierte Bandbreite;
Messen (206) der Vorwärtstransmissionsparameter des zu testenden Bauelements;
Einstellen (208) der Bandbreite des zumindest einen zweiten einstellbaren ZF-Filters auf die zweite vorde­ finierte Bandbreite;
Messen (210) der Vorwärtsreflexionsparameter des zu testenden Bauelements;
Einstellen (212) der Bandbreite des zumindest einen dritten einstellbaren ZF-Filters auf die dritte vorde­ finierte Bandbreite;
Messen (214) der Rückwärtstransmissionsparameter des zu testenden Bauelements;
Einstellen (216) der Bandbreite des zumindest einen vierten einstellbaren ZF-Filters auf die vierte vor­ definierte Bandbreite;
Messen (218) der Rückwärtsreflexionsparameter des zu testenden Bauelements;
Extrahieren (220) zumindest eines Koeffizienten aus der Gruppe, die aus einem Vorwärtstransmissionskoef­ fizienten, einem Vorwärtsreflexionskoeffizienten, ei­ nem Rückwärtstransmissionskoeffizienten und einem Rückwärtsreflexionskoeffizienten des zu testenden Bau­ elements besteht, aus den gemessenen Vorwärtstransmis­ sionsparametern, den gemessenen Vorwärtsreflexionspa­ rametern, den gemessenen Rückwärtstransmissionspara­ metern und den gemessenen Rückwärtsreflexionsparame­ tern.

9. Verfahren (200) gemäß Anspruch 8, bei dem die vierte vordefinierte Bandbreite schmäler als zumindest eine der Bandbreiten ist, die die erste vordefinierte Band­ breite, die zweite vordefinierte Bandbreite und die dritte vordefinierte Bandbreite umfassen, wenn der Vorwärtstransmissionskoeffizient extrahiert wird.

10. Verfahren (200) gemäß Anspruch 8, bei dem die dritte vordefinierte Bandbreite schmäler als zumindest eine der Bandbreiten ist, die die erste vordefinierte Bandbreite, die zweite vordefinierte Bandbreite und die vierte vordefinierte Bandbreite umfassen, wenn der Rückwärtstransmissionskoeffizient extrahiert wird.

11. Verfahren (200) gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, bei dem der Schritt des Messens (206) der Vorwärts­ transmissionsparameter das Messen der Vorwärtstrans­ missionsparameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt, bei dem der Schritt des Messens (210) der Vorwärtsre­ flexionsparameter das Messen der Vorwärtsreflexions­ parameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt, bei dem der Schritt des Messens (214) der Rückwärtstransmissi­ onsparameter das Messen der Rückwärtstransmissionspa­ rameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt, und bei dem der Schritt des Messens (218) der Rückwärtsre­ flexionsparameter das Messen der Rückwärtsreflexions­ parameter bei einer einzigen Frequenz umfaßt.

12. Verfahren (200) gemäß einem der Ansprüche 8 bis 10, bei dem der Schritt des Messens (206) der Vorwärts­ transmissionsparameter das Messen der Vorwärtstrans­ missionsparameter über einem vorbestimmten Frequenz­ bereich umfaßt, bei dem der Schritt des Messens (210) der Vorwärtsreflexionsparameter das Messen der Vor­ wärtsreflexionsparameter über einem vorbestimmten Fre­ quenzbereich umfaßt, bei dem der Schritt des Messens (214) der Rückwärtstransmissionsparameter das Messen der Rückwärtstransmissionsparameter über einem vorde­ finierten Frequenzbereich umfaßt, und bei dem der Schritt des Messens (218) der Rückwärtsreflexionspara­ meter das Messen der Rückwärtsreflexionsparameter über einem vordefinierten Frequenzbereich umfaßt.