DE112005002545T5 - Taktgenerator und Prüfvorrichtung - Google Patents

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DE112005002545T5
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Toshiyuki Negishi
Naoki Sato
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Advantest Corp
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/31917Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
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Abstract

Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstaktes, welcher aufweist:
eine Verzögerungsschaltung zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um einen gegebenen Verzögerungswert für jeden der Impulse; und
eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zum Hindurchlassen und Ausgeben nur als das Taktsignal auszugebender Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen.

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Taktgenerator zum erzeugen eines Taktsignals auf der Grundalge eines gegebenen Bezugstakts und auf eine Prüfvorrichtung, die den Taktgenerator enthält. Genauer gesagt, die Erfindung bezieht sich auf einen Taktgenerator, dessen Wärmeerzeugungswert stabilisiert ist.
  • Die vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung Nr. JP 2004-299321, die am 13. Oktober 2004 eingereicht wurde und deren Inhalt hier einbezogen wird.
  • Stand der Technik
  • Die Arbeitsgeschwindigkeit von elektronischen Vor richtungen wie LSI hat sich in letzter Zeit verbessert. Hierdurch wurde es notwendig, einen Hochgenauigkeitstakt in einer Prüfvorrichtung und dergleichen zum Prüfen derartiger elektronischer Vorrichtungen zu erzeugen. Herkömmlich war, um einen Takt mit einem gewünschten Muster zu erzeugen, eine Schaltung mit einem logischen Tor, das erwünschte Impulse aus Impulsen eines Bezugstakts durchlässt und eine Verzögerungsschaltung zum Modulieren der Phasen der jeweiligen Impulse bekannt.
  • Jedoch bewirkt eine derartige Schaltung das Problem, dass eine Anzahl von Impulsen und das Muster von Impulsen, die durch die Verzögerungsschaltung hindurchgehen sich entsprechend dem Muster der von dem logischen Tor ausgewählten Impulse verändern und as sich als eine Folge ein Wärmeerzeigungswert in der Verzögerungsschaltung verändert. Aufgrund dessen schwankt ein Verzögerungswert in der Verzögerungsschaltung, was Jitter in dem zu erzeugenden Takt bewirkt. Derartiges Jitter ist in dem Hochgenauigkeits-LSI und dergleichen nicht zulässig.
  • Dann ist eine Schaltung als eine Schaltung, die in der Lage ist, das vorgenannte Problem zu lösen, bekannt, die weiterhin eine Scheinverzögerungsschaltung enthält. Diese Schaltung hält einen Gesamtwärmeerzeugungswert in solchen Verzögerungsschaltungen konstant ungeachtet des Musters des zu erzeugenden Takts durch Eingabe von Impulsen, die nicht in die Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts eingegeben wurden, aus den Impulsen des gegebenen Bezugstakts in die Scheinverzögerungsschaltung.
  • Der Anmelderin der Erfindung ist gegenwärtig die Existenz eines relevanten Patentdokuments oder der gleichen nicht bekannt, so dass dessen Beschreibung hier weggelassen wird. Jedoch nimmt, da die herkömmliche Schaltung mit der Scheinverzögerungsschaltung, die mit der Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts identisch ist, versehen werden muss, um den Wärmeerzeugungswert konstant zu halten, wie vorstehend beschrieben ist, die Größe der Schaltung zu. Darüber hinaus besteht auch das Problem, während es erforderlich ist, die Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts in der Nähe der Scheinverzögerungsschaltung vorzusehen, um die Temperatur der Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts konstant zu halten, das ein Signal in der Scheinverzögerungsschaltung ein Signal in der Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts stört, was Jitter in dem zu erzeugenden Takt bewirkt. Beispielsweise wird die Phase der durch die Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts hindurchgehenden Impulse nahezu identisch mit der Phase der durch die Scheinverzögerungsschaltung hindurchgehenden Impulse und bewirkt eine Interferenz in Abhängigkeit von der Einstellung des Wertes der Verzögerung in der Verzögerungsschaltung zum Erzeugen des Takts.
  • Demgemäß ist es eine Aufgabe der Erfindung, einen Taktgenerator und eine Prüfvorrichtung vorzusehen, die in der Lage sind die vorgenannten Probleme zu lösen. Diese Aufgabe kann durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der Erfindung beschriebenen Merkmalen gelöst werden. Von diesen abhängige Ansprüche spezifizieren bevorzugt die Ausführungsbeispiele der Erfindung.
  • Mittel zum Lösen der Probleme
  • Um die vorgenannten Problem zu lösen ist gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung ein Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts vorgesehen, mit einer Verzögerungsschaltung zum ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um einen Verzögerungswert, der für jeden der Impulse gegeben ist, und einer Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zum Hindurchlassen und ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden Impulse aus dem von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen.
  • Der Taktgenerator kann weiterhin eine Verzögerungssteuerschaltung enthalten für die Aufnahme von Verzögerungseinstelldaten zum Steuern eines Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung entsprechend dem von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impuls und zum Steuern des Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten.
  • Die Verzögerungsschaltung kann mehrere in Kaskade verbundene Verzögerungselemente haben, die Verzögerungssteuerschaltung kann mehrere Verzögerungseingstell-Flipflops haben, die entsprechend den mehreren Verzögerungselementen vorgesehen sind, und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops kann die Verzögerungseinstelldaten entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen Impuls aufnehmen und kann den Verzögerungswert des entsprechenden Verzögerungselements auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten steuern. Der Taktgenerator kann weiterhin ein Impulsauswahl-Flipflop zum Zuführen eines Impulsauswahlsignals enthalten, das spezifiziert, ob der Impuls zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung hindurchzulassen ist, entsprechend dem von dem Verzögerungselement in der letzten Stufe ausgegebenen Impuls.
  • Der Taktgenerator kann weiterhin eine Impulsauswahl-Steuerschaltung enthalten, die ein Impulsauswahlsignal empfängt, das einen logischen Wert H anzeigt für den Durchgang des Impulses in der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung und einen logischen Wert L anzeigt, für den Durchgang keines Impulses synchron mit dem Impuls des Bezugstakts der zu der Verzögerungsschaltung gegeben wird, um das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zu führen, die Impulsauswahl-Steuerschaltung kann mehrere Impulsauswahl-Flipflops haben, die in Kaskade geschaltet sind und entsprechend den mehreren Verzögerungselementen vorgesehen sind, um aufeinander folgend das Impulsauswahlsignal aufzunehmen und auszugeben entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen Impuls, und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops kann nicht neu die Verzögerungseinstelldaten aufnehmen, während das entsprechende Impulsauswahl-Flipflop den logischen Wert L ausgibt.
  • Der Taktgenerator kann weiterhin eine Temperaturkompensations-Auswahlschaltung enthalten für die Steuerung, ob alle Impulse des Bezugstakts in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind oder nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind.
  • Die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung kann ein auf den logischen Wert H fixiertes Signal als das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl-Steuerschaltung führen, wenn nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind.
  • Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung vorgesehen, mit einer Mustererzeugungsschaltung zum Erzeugen eines zu der elektronischen Vorrichtung zu führenden Prüfmusters, einem Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals zur Steuerung des Takts zum zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts, einer Wellenform-Formungsvorrichtung zum Zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung entsprechend dem Taktsignal und einer Beurteilungsvorrichtung zum Beurteilen, ob die elektronische Vorrichtung fehlerfrei ist auf der Grundlage eines von der elektronischen Vorrichtung ausgegebenen Ausgangsignals, wobei die Takterzeugungsschaltung eine Verzögerungsschaltung zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um einen Verzögerungswert, der für jeden Impuls gegeben ist, und eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zum Hindurchlassen und Ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen aufweist.
  • Es ist festzustellen, dass die vorstehend beschriebene Zusammenfassung der Erfindung nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Erfindung beschreibt. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein.
  • Wirkung der Erfindung
  • Gemäß der Erfindung kann das Taktsignal mit einem gewünschten Muster mit weniger Jitter erzeugt werden.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt.
  • 2 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration eines Taktgenerators zeigt.
  • 3 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation des Taktgenerators zeigt.
  • 4 ist ein Diagramm, das eine andere beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators zeigt.
  • Beste Art der Ausführung der Erfindung
  • Die Erfindung wird nun auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen, die in den Ausführungsbeispielen beschreiben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
  • 1 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung zeigt. Die Prüfvorrichtung 100 ist eine Vorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung 200 wie einer Halbleiterschaltung und enthält einen Mustergenerator 10, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 12, eine Beurteilungsvorrichtung 14 und einen Taktgenerator 20.
  • Der Mustergenerator 10 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen der elektronischen Vorrichtung 200. Das Prüfmuster ist ein digitales Signal, das beispielsweise durch ein Muster von 1/0 dargestellt wird. Die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 erzeugt ein in die elektronische Vorrichtung 200 einzugebendes Eingangssignal auf der Grundlage des Prüfmusters. Beispielsweise erzeugt die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 das Eingangssignal mit einem Spannungswert entsprechend dem Prüfmuster zu dem gegebenen Takt.
  • Der Taktgenerator 20 erzeugt einen Zeittakt mit einem gewünschten Muster und führt ihn zu der Wellenform-Formungsvorrichtung 12. Die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 erzeugt eine Spannung entsprechend dem Prüfmuster entsprechend dem Impuls des Zeittakts. Die Beurteilungsvorrichtung 14 vergleicht ein von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenes Signal mit einem gegebenen Signal für einen erwarteten Wert, um zu beurteilen, ob die elektronische Vorrichtung 2000 fehlerfrei ist. Der Mustergenerator 10 kann das Signal für den erwarteten Wert auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugen.
  • 2 ist ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators 20 zeigt. Der Taktgenerator 20 ist eine Schaltung zum Erzeugen eines Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts und hat eine Verzögerungsschaltung 23, eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28, einen Impulsgenerator 22, eine Verzögerungssteuerschaltung 35, ein Impulsauswahl-Flipflop 32, ein Flipflop 30 und ein Flipflop 34. Der Taktgenerator 20 empfängt auch einen Bezugstakt mit einer vorbestimmten Frequenz sowie ein Impulsauswahlsignal und Verzögerungseinstelldaten entsprechend einem Muster des auszugebendne Taktsig nals.
  • Der Impulsgenerator 22 empfängt den Bezugstakt und gibt ihn aus durch Modulieren einer Impulsbreite des Bezugstakts auf eine vorbestimmte Impulsbreite. Die Verzögerungsschaltung 23 gibt den von dem Impulsgenerator 22 ausgegebenen Bezugstakt aus durch Verzögern jedes Impulses durch einen für jeden Impuls gegebenen Verzögerungswert. Das heißt, die Verzögerungsschaltung 23 steuert die Phase jedes Impulses entsprechend den gegebenen Verzögerungseinstelldaten.
  • Die Verzögerungsschaltung 23 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat mehrere in Kaskade verbundene Verzögerungselemente 24 und 26. Ein Maximalwert der Verzögerung in dem Verzögerungselement 26 ist beispielsweise nahezu gleich der Verzögerungsauflösung in dem Verzögerungselement 24 und die Verzögerungsschaltung 23 steuert die Phase jedes Impulses durch eine Summe der Verzögerungswerte der Verzögerungselemente 24 und 26.
  • Die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 lässt nur als das Taktsignal auszugebende Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen Impulsen durch und gibt diese aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 eine UND-schaltung und gibt eine UND-verknüpfung des von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen Impulses und eines von dem Impulsauswahl-Flipflop 32 zugeführten Impulsauswahlsignals aus. Das Impulsauswahlsignal stellt Maskendaten dar, die zu der Zeit des auszugebenden Impulses 1 anzeigen und zu der Zeit, zu der keine Impulse ausgegeben werden, 0 anzeigen. Eine derartige Konfiguration ermöglicht, dass ein Wärmeerzeugungswert der Verzögerungs schaltung 23 konstant gehalten wird und ein Taktsignal mit weniger Jitter erzeugt wird bei einer Schaltung geringer Größe ungeachtet des Musters des auszugebenden Taktsignals. Das Flipflop 30 empfängt das Impulsauswahlsignal und gibt es synchron mit dem Bezugstakt zu dem Impulsauswahl-Flipflop 32 aus. Das heißt, das Flipflop 30 empfängt das Impulsauswahlsignal über seinen Dateneingangsanschluss und empfängt den Bezugstakt über seinen Takteingangsanschluss. Das Impulsauswahlsignal ist ein Signal, das anzeigt, ob jeder Impuls des Bezugstakts als das Taktsignal auszugeben ist, und wird synchron mit dem entsprechenden Impuls zu dem Flipflop 30 gegeben.
  • Das Impulsauswahl-Flipflop 32 führt das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 entsprechend dem von dem letzten Verzögerungselement in der Verzögerungsschaltung 23, das heißt dem Verzögerungselement 26 angegebenen Impuls. Das heißt, das Impulsauswahl-Flipflop 32 empfängt das Impulsauswahlsignal über seinen Dateneingansanschluss und empfängt von dem Verzögerungselement 26 ausgegebene Signal über seinen Takteingangsanschluss.
  • Eine derartige Konfiguration ermöglicht, dass die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung steuert, ob jeder Impuls des Bezugstakts durchzulassen ist oder nicht, ungeachtet des Wertes der Verzögerung in der Verzögerungsschaltung 23.
  • Der Taktgenerator 20 kann weiterhin ein Verzögerungselement, dessen Verzögerungswert auf einen vorbestimmten Wert festgelegt ist, zwischen der Verzögerungsschaltung 23 und der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 enthalten, so dass das von dem Impulsauswahl-Flipflop 32 ausgegebene Impulsauswahlsignal eine ausreichende Einstellzeit zu den von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen Impulsen hat.
  • Das Flipflop 34 empfängt die Verzögerungseinstelldaten und gibt sie synchron mit dem Bezugstakt zu der Verzögerungssteuerschaltung 35 aus. Das heißt, das Flipflop 34 empfängt die Verzögerungseinstelldaten über seinen Dateneingangsanschluss und empfängt den Bezugstakt über seinen Takteingangsanschluss. Die Verzögerungseinstelldaten sind Daten, die einen Verzögerungswert für jeden Impuls des Bezugstaktes spezifizieren und synchron mit dem vorhergehenden Impuls des entsprechenden Impulses zu dem Flipflop 34 geführt werden. Die Verzögerungssteuerschaltung 35 nimmt die Verzögerungseinstelldaten zum Steuern des Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung 23 entsprechend dem von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen Impuls auf und steuert den Verzögerungswert in der Verzögerungsschaltung 23 auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten. Die Verzögerungssteuerschaltung 35 hat mehrere Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38, die entsprechend den mehreren Verzögerungselementen 24 und 26 bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel vorgesehen sind.
  • Jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38 enthält die Verzögerungseinstelldaten entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement 24 oder 26 ausgegebenen Impuls und steuert den Verzögerungswert des entsprechenden Verzögerungselementes 24 oder 26 auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten. Das heißt, jedesmal, wenn das Verzögerungselement 24 oder 26 einen Impuls ausgibt, stellt das Verzögerungseinstell-Flipflop 36 oder 38 den Verzögerungswert zum Verzögern des nächsten Im pulses in jedem Verzögerungselement 24 oder 26 ein. Eine derartige Operation ermöglicht, dass der Verzögerungswert für jeden Impuls genau eingestellt wird.
  • Weiterhin ist der maximale Verzögerungswert in dem Verzögerungselement 26 nahezu gleich der Verzögerungsauflösung in dem Verzögerungselement 24, wie vorstehend beschrieben ist. Dann steuert, wenn das Verzögerungselement 24 eine grobe Verzögerung erzeugt und das Verzögerungselement 26 eine genaue Verzögerung erzeugt, das Verzögerungseinstell-Flipflop 36 entsprechend dem Verzögerungselement 24 den Verzögerungswert in dem Verzögerungselement 24 auf der Grundlage von höheren bits von von dem Verzögerungseinstell-Flipflop 34 ausgegebenen Daten und das Verzögerungseinstell-Flipflop 38 entsprechend dem Verzögerungselement 26 steuert den Verzögerungswert in dem Verzögerungselement 26 auf der Grundlage von niedrigeren bits der von dem Verzögerungseinstell-Flipflop 34 ausgegebenen Daten. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel empfängt jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38 die Verzögerungseinstelldaten über seinen Dateneingangsanschluss und empfängt das von dem entsprechenden Verzögerungselement 24 oder 26 ausgegebene Signal über seinen Takteingangsanschluss.
  • Weiterhin kann, obgleich der Fall, in welchem der zu dem Taktgenerator 20 geführte Bezugstakt eine konstante Periode hat, bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel erläutert wurde, kann der Taktgenerator 20 ein Ausgangssignal mit einem gewünschten Muster aus einem Eingangssignal mit einem gewünschten Muster erzeugen.
  • 3 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation des Taktgenerators 20 zeigt. Der Bezugstakt mit einer konstanten Periode wie in 3 gezeigt wird zu der Verzögerungsschaltung 23 geführt. Die Verzögerungsschaltung 23 verzögert jeden Impuls des Bezugstakts um den für jeden Impuls gegebenen Verzögerungswert. Zu dieser Zeit werden die Verzögerungseinstelldaten, die der Bedingung genügen, dass die jeweiligen Impulse des verzögerten Bezugstakts nicht in enger Nähe zueinander sind, zu der Verzögerungsschaltung 23 geführt.
  • Dann gibt die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung die UND-Verknüpfung der Impulsauswahldaten, die anzeigen, ob jeder Impuls auszugeben ist oder nicht, und des von der Verzögerungsschaltung 23 verzögerten Bezugstakts aus, um ein Taktsignal mit einem gewünschten Muster wie in 3 gezeigt zu erzeugen, aus.
  • Da der Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel den Wärmeerzeugungswert nahezu konstant halten kann, wie vorstehend beschrieben ist, kann das Jitter verringert werden. Weiterhin kann, da der Taktgenerator 20 keine Scheinverzögerungsschaltung zum Konstanthalten des Wärmeerzeugungswertes benötigt, die durch die Impulsübertragung durch die Scheinverzögerungsschaltung bewirkte Interferenz eliminiert werden und das Taktsignal kann genau erzeugt werden. 4 ist ein Diagramm, das eine andere beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators 20 zeigt. Der Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat eine Verzögerungsschaltung 41, eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48, einen Impulsgenerator 40, eine Verzögerungssteuerschaltung 67, eine Impulsauswahl-Steuerschaltung 59, ein Flipflop 58, ein Flipflop 66, eine Temperaturkompen sations-Auswahlschaltung 54, eine Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 und eine ODER-Schaltung 56. Ihre Konfiguration wird zuerst erläutert.
  • Der Impulsgenerator 40, die Verzögerungsschaltung 41, die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48, die Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 und die Verzögerungssteuerschaltung 67 haben dieselben Funktion und Konfigurationen wie der Impulsgenerator 22, die Verzögerungsschaltung 23, die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28, das Impulsauswahl-flipflop 32 und die Verzögerungssteuerschaltung 35, die in Verbindung mit 2 erläutert wurden.
  • Der Impulsgenerator 40 moduliert eine Impulsbreite eines gegebenen Signals in eine vorbestimmte Impulsbreite und gibt es zu der Verzögerungsschaltung 41 aus. Die Verzögerungsschaltung 41 hat dieselbe Funktion und Konfiguration wie die in Verbindung mit 2 erläuterte Verzögerungsschaltung 23. Die Verzögerungsschaltung 41 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat mehrere in Kaskade geschaltete Verzögerungselemente 42, 44 und 46. Ähnlich wie bei der Verzögerungsschaltung 23 kann eine maximaler Verzögerungswert des Verzögerungselements 44 nahezu gleich einer Verzögerungsauflösung des Verzögerungselements 42 sein, und ein maximaler Verzögerungswert das Verzögerungselements 46 kann nahezu gleich einer Verzögerungsauflösung des Verzögerungselements 44 sein.
  • Die Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 empfängt ein Impulsauswahlsignal, das einen logischen Wert h für den Durchgang eines Impulses des Bezugstakts in der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 und einen logischen Wert L anzeigt, wenn kein Impuls synchron mit dem Impuls des Bezugstakts hindurchgeht und führt das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48. In gleicher Weise wie bei der in Verbindung mit 2 erläuterten Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 gibt die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 eine UND-Verknüpfung des von der Verzögerungsschaltung 41 ausgegebenen Signals und des von der Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 empfangenen Impulsauswahlsignals aus.
  • Die Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 hat mehrere Impulsauswahl-Flipflops 60, 62 und 64, die in Kaskade geschaltet sind und entsprechend den mehreren Verzögerungselementen 42, 44 und 46 vorgesehen sind. Jedes der Impulsauswahl-Flipflops 60, 62 und 64 nimmt aufeinander folgend das Impulsauswahlsignal auf und gibt es zu dem nächsten Schritt entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen Impuls aus. Eine derartige Konfiguration ermöglicht die Übertragung des entsprechend dem Verzögerungswert jedes der Verzögerungselemente 42, 44 und 46 zu verzögernden Impulsauswahlsignals und ermöglicht, dass die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 das Taktsignal genau erzeugt.
  • Die Verzögerungssteuerschaltung 67 hat auch dieselbe Funktion und Konfiguration wie die in Verbindung mit 2 erläuterte Verzögerungssteuerschaltung 35. Die Verzögerungssteuerschaltung 67 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat mehrere Verzögerugnseinstell-Flipflops 68, 70 und 72, die den mehreren Verzögerungselementen 42, 44 und 46 vorgesehen sind. Das heißt, die mehreren Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 sind auch entsprechend den mehreren Impulsauswahl-F1ipflops 60, 62 und 64 vorgesehen.
  • Das Flipflop 66 empfängt auch die Verzögerungseinstelldaten über seinen Dateneingangsanschluss, empfängt das Impulsauswahlsignal über seinen Freigabeanschluss und empfängt den Bezugstakt über seinen Takteingangsanschluss. Das heißt, das Flipflop 66 nimmt die Verzögerungseinstelldaten auf, und gibt sie in die Verzögerungssteuerschaltung 67 entsprechend dem Impuls des als das Taktsignal auszugebenden Bezugstakts ein.
  • Jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 nimmt nicht neu die Verzögerungseinstelldaten auf, während das entsprechende Impulsauswahl-Flipflop 60, 62 oder 64 den logischen Wert L ausgibt. Das heißt, jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 empfängt die Verzögerungseinstelldaten über seinen Dateneingangsanschluss, empfängt das von dem entsprechenden Verzögerungselement 42, 44 oder 46 ausgegebene Signal über seinen Takteingangsanschluss und empfängt das von dem entsprechenden Impulsauswahl-Flipflop 60, 62 oder 64 ausgegebene Signal über seinen Freigabeanschluss. Das heißt, jedes Verzögerungseinstell-Flipflop verzögert den nicht in der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 ausgegebenen Impuls um den selben verzögerungswert wie den des vorhergehenden Impulses. Eine derartige Konfiguration ermöglicht, dass das Taktsignal einfach erzeugt wird, da es nicht notwendig ist, die Nähebedingung als das Taktsignal ausgegebenen Impulses und der danach nicht als das Taktsignal ausgegebenen Impulse zu berücksichtigen Die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 steuert, ob alle Impulse des Bezugstaktes in die Verzögerungsschaltung 41 einzugeben sind oder nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung 41 einzugeben sind. Das heißt, die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 wählt aus, ob das Taktsignal zu erzeugen ist, während der Wärmeerzeugungswert in dem Taktgenerator nahezu konstant gehalten wird, oder das Taktsignal ohne Steuerung des Wärmeerzeugungswertes zu erzeugen ist.
  • Während ein Fall auftritt, in welchem ein hochgenaues Taktsignal erforderlich ist oder ein Taktsignal mit niedrigem Leistungsverbrauch erforderlich ist in Abhängigkeit von der Verwendung des Taktsignals ermöglicht eine derartige Steuerung die Auswahl der Erzeugung des hochgenauen Taktsignals durch Steuern des Wärmeerzeugungswertes in der Verzögerungsschaltung 41 oder der Erzeugung des Taktsignals mit niedrigem Leistungsverbrauch. Die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 empfängt das vorstehend in 2 beschriebene Impulsauswahlsignal, das auf den logischen Wert H festgelegte Signal und ein Temperaturkompenstions-Auswahlsignal (HOCLK INH) das anzeigt, ob die Temperatur in der Verzögerungsschaltung 41 zu steuern ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist das Temperaturkompensations-Auswahlsignal ein Signal, das einen logischen Wert L anzeigt, wenn die Temperatursteuerung durchgeführt wird und einen logischen Wert H, wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird. Dann gibt die Temperaturkompenstions-Auswahlschaltung 54 das auf den logischen Wert H festgelegte Signal aus, wenn das Temperaturkompensations-Auswahlsignal das Signal ist, das anzeigt, dass die Temperatursteuerung durchgeführt wird, und gibt das Impulsauswahlsignal aus, wenn das Temperaturkompensations-Auswahlsignal das Signal ist, das anzeigt, dass keine Temperatursteuerung durchgeführt wird.
  • Die Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 gibt die UND-Verknüpfung des gegebenen Bezugstaktes und des von der Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 ausgegebenen Signals über den Impulsgenerator 40 zu der Verzögerungsschaltung 41 aus. Das heißt, wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird werden nur die als das Taktsignal auszugebenden Impulse in die Verzögerungsschaltung 41 eingegeben, und alle Impulse des Bezugstaktes werden wie vorstehend beschrieben eingegeben, wenn die Temperatursteuerung durchzuführen ist.
  • Die ODER-Schaltung 56 führt die ODER-Verknüpfung des Impulsauswahlsignals und des Temperaturkompensations-Auswahlsignals zu dem Flipflop 58. Das heißt, das Impulsauswahlsignal wird zu dem Flipflop 58 geführt, wenn die Temperatursteuerung durchgeführt wird. Zu dieser Zeit arbeiten das Flipflop 58 und die Impulsauswahlsteuerschaltung 59 wie vorstehend beschrieben wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird, führt die Temperaturkompensationsauswahlschaltung 54 das auf den logischen Wert H festgelegte Signal zu der Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 als das Impulsauswahlsignal über die ODER-Schaltung 56 und das Flipflop 58. Die Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 gibt das auf den logischen Wert H festgelegte Signal unter einer derartigen Steuerung aus, so dass die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 das von der Verzögerungsschaltung 41 ausgegebene Signal so wie es ist durchlässt. Daher können die bereits in der Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 ausgewählten Impuls hindurch gelassen werden.
  • Das auf den logischen Wert H festgelegte Signal wird an dem Freigabeanschluss jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 eingegeben, um neue Verzögerungseinstelldaten jedes Mal aufzunehmen, wenn das entsprechende Verzögerungselement 42, 44 oder 46 den Impuls ausgibt, um den Verzögerungswert des ent sprechenden Verzögerungselementes zu steuern. Daher kann die Phase des als das Taktsignal auszugebenden Impulses ohne Fehler gesteuert werden.
  • Der Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann eine Vorrichtung mit einem Betriebsmodus des Erzeugens des Taktsignals mit weniger Jitter und einem Betriebsmodus des Erzeugens des Taktsignals mit niedrigem Leistungsverbrauch mit einer kleinen Schaltungskonfiguration realisieren.
  • Weiterhin kann die Prüfvorrichtung 100 mehrere Konfigurationen des vorgeschriebenen Taktgenerators 20 haben. In diesem Fall erzeugt jeder der Taktgeneratoren 20 ein Taktsignal mit einem unterschiedlichen Muster. Dann kann die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 mehrere Eingangssignale mit verschiedenen Mustern erzeugen, kann mehrere Schaltungen für die Eingabe zu jedem Stift der elektronischen Vorrichtung 200 haben und kann einen Multiplexer für die Auswahl, welches Taktsignal für welche Schaltung zu verwenden ist haben.
  • Obgleich die Erfindung im Wege der beispielhaften Ausführungsbeispiele beschrieben wurde, ist festzustellen, dass der Fachmann viele Änderungen und Substitutionen durchführen kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen. Es ist aus der Definition der angefügten Ansprüche offensichtlich, dass die Ausführungsbeispiele mit derartigen Modifikationen ebenfalls zu dem Bereich der Erfindung gehören.
  • Gewerbliche Anwendbarkeit
  • Wie aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, kann gemäß der Erfindung das Taktsignal mit einem gewünschten Muster mit weniger Jitter erzeugt werden.
  • ZUSAMMENFASSUNG:
  • Es ist ein Taktgenerator (20) zum Erzeugen eines Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstaktes vorgesehen, mit einer Verzögerungsschaltung (23) zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um einen für jeden der Impulse gegebenen Verzögerungswert und einer Impulsauswahl- und ausgabeschaltung 28 zum Hindurchlassen und Ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen.

Claims (8)

  1. Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstaktes, welcher aufweist: eine Verzögerungsschaltung zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um einen gegebenen Verzögerungswert für jeden der Impulse; und eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zum Hindurchlassen und Ausgeben nur als das Taktsignal auszugebender Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen.
  2. Taktgenerator nach Anspruch 1, weiterhin aufweisend eine Verzögerungssteuerschaltung zur Aufnahme von Verzögerungseinstelldaten zum Steuern eines Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung entsprechend dem von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impuls und zum Steuern des Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten.
  3. Taktgenerator nach Anspruch 2, bei dem die Verzögerungsschaltung mehrere in Kaskade geschaltete Verzögerungselemente hat; die Verzögerungssteuerschaltung mehrere Verzögerungseinstell-Flipflops hat, die entsprechend den mehreren Verzögerungselementen vorgesehen sind; und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops die Verzögerungseinstelldaten entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen Impuls aufnimmt und den Verzögerungswert des entsprechenden Verzögerungselementes auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten steuert.
  4. Taktgenerator nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend ein Impulsauswahl-Flipflop zum Zuführen eines Impulsauswahlsignals, das spezifiziert, ob der Impuls zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung hindurchzulassen ist entsprechend dem von dem Verzögerungselement in der letzten Stufe ausgegebenen Impuls.
  5. Taktgenerator nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend eine Impulsauswahl-Steuerschaltung, die ein Impulsauswahlsignal empfängt, das einen logischen Wert H für das Durchlassen des Impulses in dem Impulsauswahl- und -ausgabeabschnitt anzeigt und einen logischen Wert L anzeigt, wenn kein Impuls durchgelassen wird, synchron mit dem Impuls des zu der Verzögerungsschaltung gegebenen Bezugstakt, um das Impulsauswählsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zu führen, welche Impulsauswahl-Steuerschaltung mehrere Impulsauswahl-Flipflops hat, die in Kaskade geschaltet und entsprechend den mehreren Verzögerungselementen vorgesehen sind, zum aufeinanderfolgenden Aufnehmen und Ausgeben des Impulsauswahlsignals entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen Impuls; und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops nicht neu die Verzögerungseinstelldaten aufnimmt, während das entsprechende Impulsauswahl-Flipflop den logischen Wert L ausgibt.
  6. Taktgenerator nach Anspruch 5, weiterhin aufweisend eine Temperaturkompensations-Auswahlschaltung zum Steuern, ob alle Impulse des Bezugstaktes in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind oder nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind.
  7. Taktgenerator nach Anspruch 6, bei dem die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung ein auf den logischen Wert H festgelegtes Signal als das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl-Steuerschaltung führt, wenn nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung einzugeben sind.
  8. Prüfvorrichtung zum Prüfen einer elektronischen Vorrichtung, welche aufweist: Eine Mustererzeugungsschaltung eines zu der elektronischen Vorrichtung zu führenden Prüfmusters; einen Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals zum Steuern des Taktes für die Zuführung des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts; eine Wellenform-Formungsvorrichtung zum Zuführen des Prüfmusters zu der elektronischen Vorrichtung entsprechend dem Taktsignal; und eine Beurteilungsvorrichtung zum Beurteilen, ob die elektronische Vorrichtung fehlerfrei ist auf der Grundalge eines von der elektronischen Vorrichtung ausgegebenen Ausgangssignals, wobei die Takterzeugungsschaltung eine Verzögerungsschaltung zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstaktes durch Verzögern um einen für jeden Impuls gegebenen Verzögerungswert hat; und eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung zum Hindurchlassen und Ausgeben nur von als das Taktsignal auszugebenden Impulsen aus den von der Verzögerungsschaltung ausgegebenen Impulsen.
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