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Technisches
Gebiet
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Taktgenerator zum erzeugen
eines Taktsignals auf der Grundalge eines gegebenen Bezugstakts und
auf eine Prüfvorrichtung,
die den Taktgenerator enthält.
Genauer gesagt, die Erfindung bezieht sich auf einen Taktgenerator,
dessen Wärmeerzeugungswert
stabilisiert ist.
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Die
vorliegende Anmeldung beansprucht die Priorität der japanischen Patentanmeldung
Nr. JP 2004-299321, die am 13. Oktober 2004 eingereicht wurde und
deren Inhalt hier einbezogen wird.
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Stand der
Technik
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Die
Arbeitsgeschwindigkeit von elektronischen Vor richtungen wie LSI
hat sich in letzter Zeit verbessert. Hierdurch wurde es notwendig,
einen Hochgenauigkeitstakt in einer Prüfvorrichtung und dergleichen
zum Prüfen
derartiger elektronischer Vorrichtungen zu erzeugen. Herkömmlich war,
um einen Takt mit einem gewünschten
Muster zu erzeugen, eine Schaltung mit einem logischen Tor, das
erwünschte
Impulse aus Impulsen eines Bezugstakts durchlässt und eine Verzögerungsschaltung
zum Modulieren der Phasen der jeweiligen Impulse bekannt.
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Jedoch
bewirkt eine derartige Schaltung das Problem, dass eine Anzahl von
Impulsen und das Muster von Impulsen, die durch die Verzögerungsschaltung
hindurchgehen sich entsprechend dem Muster der von dem logischen
Tor ausgewählten
Impulse verändern
und as sich als eine Folge ein Wärmeerzeigungswert
in der Verzögerungsschaltung verändert. Aufgrund
dessen schwankt ein Verzögerungswert
in der Verzögerungsschaltung,
was Jitter in dem zu erzeugenden Takt bewirkt. Derartiges Jitter ist
in dem Hochgenauigkeits-LSI und dergleichen nicht zulässig.
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Dann
ist eine Schaltung als eine Schaltung, die in der Lage ist, das
vorgenannte Problem zu lösen,
bekannt, die weiterhin eine Scheinverzögerungsschaltung enthält. Diese
Schaltung hält
einen Gesamtwärmeerzeugungswert
in solchen Verzögerungsschaltungen
konstant ungeachtet des Musters des zu erzeugenden Takts durch Eingabe
von Impulsen, die nicht in die Verzögerungsschaltung zum Erzeugen
des Takts eingegeben wurden, aus den Impulsen des gegebenen Bezugstakts
in die Scheinverzögerungsschaltung.
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Der
Anmelderin der Erfindung ist gegenwärtig die Existenz eines relevanten
Patentdokuments oder der gleichen nicht bekannt, so dass dessen Beschreibung
hier weggelassen wird. Jedoch nimmt, da die herkömmliche Schaltung mit der Scheinverzögerungsschaltung,
die mit der Verzögerungsschaltung zum
Erzeugen des Takts identisch ist, versehen werden muss, um den Wärmeerzeugungswert
konstant zu halten, wie vorstehend beschrieben ist, die Größe der Schaltung
zu. Darüber
hinaus besteht auch das Problem, während es erforderlich ist,
die Verzögerungsschaltung
zum Erzeugen des Takts in der Nähe der
Scheinverzögerungsschaltung
vorzusehen, um die Temperatur der Verzögerungsschaltung zum Erzeugen
des Takts konstant zu halten, das ein Signal in der Scheinverzögerungsschaltung
ein Signal in der Verzögerungsschaltung
zum Erzeugen des Takts stört,
was Jitter in dem zu erzeugenden Takt bewirkt. Beispielsweise wird
die Phase der durch die Verzögerungsschaltung
zum Erzeugen des Takts hindurchgehenden Impulse nahezu identisch
mit der Phase der durch die Scheinverzögerungsschaltung hindurchgehenden
Impulse und bewirkt eine Interferenz in Abhängigkeit von der Einstellung
des Wertes der Verzögerung
in der Verzögerungsschaltung
zum Erzeugen des Takts.
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Demgemäß ist es
eine Aufgabe der Erfindung, einen Taktgenerator und eine Prüfvorrichtung vorzusehen,
die in der Lage sind die vorgenannten Probleme zu lösen. Diese
Aufgabe kann durch die Kombination von in den unabhängigen Ansprüchen der
Erfindung beschriebenen Merkmalen gelöst werden. Von diesen abhängige Ansprüche spezifizieren bevorzugt
die Ausführungsbeispiele
der Erfindung.
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Mittel zum
Lösen der
Probleme
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Um
die vorgenannten Problem zu lösen
ist gemäß einem ersten
Aspekt der Erfindung ein Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals
auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts vorgesehen, mit einer
Verzögerungsschaltung
zum ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um
einen Verzögerungswert,
der für
jeden der Impulse gegeben ist, und einer Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung
zum Hindurchlassen und ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden
Impulse aus dem von der Verzögerungsschaltung
ausgegebenen Impulsen.
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Der
Taktgenerator kann weiterhin eine Verzögerungssteuerschaltung enthalten
für die
Aufnahme von Verzögerungseinstelldaten
zum Steuern eines Verzögerungswertes
in der Verzögerungsschaltung
entsprechend dem von der Verzögerungsschaltung
ausgegebenen Impuls und zum Steuern des Verzögerungswertes in der Verzögerungsschaltung auf
der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten.
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Die
Verzögerungsschaltung
kann mehrere in Kaskade verbundene Verzögerungselemente haben, die
Verzögerungssteuerschaltung
kann mehrere Verzögerungseingstell-Flipflops
haben, die entsprechend den mehreren Verzögerungselementen vorgesehen
sind, und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops
kann die Verzögerungseinstelldaten
entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen
Impuls aufnehmen und kann den Verzögerungswert des entsprechenden
Verzögerungselements
auf der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten steuern.
Der Taktgenerator kann weiterhin ein Impulsauswahl-Flipflop zum Zuführen eines
Impulsauswahlsignals enthalten, das spezifiziert, ob der Impuls
zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung hindurchzulassen ist,
entsprechend dem von dem Verzögerungselement
in der letzten Stufe ausgegebenen Impuls.
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Der
Taktgenerator kann weiterhin eine Impulsauswahl-Steuerschaltung enthalten, die ein Impulsauswahlsignal
empfängt,
das einen logischen Wert H anzeigt für den Durchgang des Impulses
in der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung und einen logischen
Wert L anzeigt, für
den Durchgang keines Impulses synchron mit dem Impuls des Bezugstakts
der zu der Verzögerungsschaltung
gegeben wird, um das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung
zu führen,
die Impulsauswahl-Steuerschaltung kann mehrere Impulsauswahl-Flipflops
haben, die in Kaskade geschaltet sind und entsprechend den mehreren
Verzögerungselementen
vorgesehen sind, um aufeinander folgend das Impulsauswahlsignal
aufzunehmen und auszugeben entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement
ausgegebenen Impuls, und jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops kann nicht neu
die Verzögerungseinstelldaten
aufnehmen, während
das entsprechende Impulsauswahl-Flipflop den logischen Wert L ausgibt.
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Der
Taktgenerator kann weiterhin eine Temperaturkompensations-Auswahlschaltung
enthalten für
die Steuerung, ob alle Impulse des Bezugstakts in die Verzögerungsschaltung
einzugeben sind oder nur als das Taktsignal auszugebende Impulse
in die Verzögerungsschaltung
einzugeben sind.
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Die
Temperaturkompensations-Auswahlschaltung kann ein auf den logischen
Wert H fixiertes Signal als das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl-Steuerschaltung führen, wenn
nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung
einzugeben sind.
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Gemäß einem
zweiten Aspekt der Erfindung ist eine Prüfvorrichtung zum Prüfen einer
elektronischen Vorrichtung vorgesehen, mit einer Mustererzeugungsschaltung
zum Erzeugen eines zu der elektronischen Vorrichtung zu führenden
Prüfmusters,
einem Taktgenerator zum Erzeugen eines Taktsignals zur Steuerung
des Takts zum zuführen
des Prüfmusters
zu der elektronischen Vorrichtung auf der Grundlage eines gegebenen
Bezugstakts, einer Wellenform-Formungsvorrichtung zum Zuführen des
Prüfmusters
zu der elektronischen Vorrichtung entsprechend dem Taktsignal und
einer Beurteilungsvorrichtung zum Beurteilen, ob die elektronische
Vorrichtung fehlerfrei ist auf der Grundlage eines von der elektronischen
Vorrichtung ausgegebenen Ausgangsignals, wobei die Takterzeugungsschaltung
eine Verzögerungsschaltung
zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch Verzögern um
einen Verzögerungswert,
der für
jeden Impuls gegeben ist, und eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung
zum Hindurchlassen und Ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden
Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung
ausgegebenen Impulsen aufweist.
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Es
ist festzustellen, dass die vorstehend beschriebene Zusammenfassung
der Erfindung nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale
der Erfindung beschreibt. Die Erfindung kann auch eine Unterkombination
der vorbeschriebenen Merkmale sein.
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Wirkung der
Erfindung
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Gemäß der Erfindung
kann das Taktsignal mit einem gewünschten Muster mit weniger
Jitter erzeugt werden.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung
gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung zeigt.
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2 ist
ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration eines Taktgenerators
zeigt.
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3 ist
ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation des Taktgenerators
zeigt.
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4 ist
ein Diagramm, das eine andere beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators
zeigt.
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Beste Art
der Ausführung
der Erfindung
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Die
Erfindung wird nun auf der Grundlage bevorzugter Ausführungsbeispiele
beschrieben, die den Bereich der Erfindung nicht beschränken, sondern
die Erfindung veranschaulichen sollen. Alle Merkmale und deren Kombinationen,
die in den Ausführungsbeispielen
beschreiben sind, sind nicht notwendigerweise wesentlich für die Erfindung.
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1 ist
ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration einer Prüfvorrichtung 100 gemäß einem
Ausführungsbeispiel
der Erfindung zeigt. Die Prüfvorrichtung 100 ist
eine Vorrichtung zum Prüfen einer
elektronischen Vorrichtung 200 wie einer Halbleiterschaltung
und enthält
einen Mustergenerator 10, eine Wellenform-Formungsvorrichtung 12,
eine Beurteilungsvorrichtung 14 und einen Taktgenerator 20.
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Der
Mustergenerator 10 erzeugt ein Prüfmuster zum Prüfen der
elektronischen Vorrichtung 200. Das Prüfmuster ist ein digitales Signal,
das beispielsweise durch ein Muster von 1/0 dargestellt wird. Die
Wellenform-Formungsvorrichtung 12 erzeugt ein in die elektronische
Vorrichtung 200 einzugebendes Eingangssignal auf der Grundlage
des Prüfmusters. Beispielsweise
erzeugt die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 das Eingangssignal
mit einem Spannungswert entsprechend dem Prüfmuster zu dem gegebenen Takt.
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Der
Taktgenerator 20 erzeugt einen Zeittakt mit einem gewünschten
Muster und führt
ihn zu der Wellenform-Formungsvorrichtung 12.
Die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 erzeugt
eine Spannung entsprechend dem Prüfmuster entsprechend dem Impuls
des Zeittakts. Die Beurteilungsvorrichtung 14 vergleicht
ein von der elektronischen Vorrichtung 200 ausgegebenes
Signal mit einem gegebenen Signal für einen erwarteten Wert, um
zu beurteilen, ob die elektronische Vorrichtung 2000 fehlerfrei ist.
Der Mustergenerator 10 kann das Signal für den erwarteten
Wert auf der Grundlage des Prüfmusters erzeugen.
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2 ist
ein Diagramm, das eine beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators 20 zeigt.
Der Taktgenerator 20 ist eine Schaltung zum Erzeugen eines
Taktsignals auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstakts und hat
eine Verzögerungsschaltung 23,
eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28, einen Impulsgenerator 22,
eine Verzögerungssteuerschaltung 35,
ein Impulsauswahl-Flipflop 32, ein Flipflop 30 und
ein Flipflop 34. Der Taktgenerator 20 empfängt auch
einen Bezugstakt mit einer vorbestimmten Frequenz sowie ein Impulsauswahlsignal
und Verzögerungseinstelldaten
entsprechend einem Muster des auszugebendne Taktsig nals.
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Der
Impulsgenerator 22 empfängt
den Bezugstakt und gibt ihn aus durch Modulieren einer Impulsbreite
des Bezugstakts auf eine vorbestimmte Impulsbreite. Die Verzögerungsschaltung 23 gibt
den von dem Impulsgenerator 22 ausgegebenen Bezugstakt
aus durch Verzögern
jedes Impulses durch einen für
jeden Impuls gegebenen Verzögerungswert. Das
heißt,
die Verzögerungsschaltung 23 steuert
die Phase jedes Impulses entsprechend den gegebenen Verzögerungseinstelldaten.
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Die
Verzögerungsschaltung 23 nach
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
hat mehrere in Kaskade verbundene Verzögerungselemente 24 und 26.
Ein Maximalwert der Verzögerung
in dem Verzögerungselement 26 ist
beispielsweise nahezu gleich der Verzögerungsauflösung in dem Verzögerungselement 24 und
die Verzögerungsschaltung 23 steuert die
Phase jedes Impulses durch eine Summe der Verzögerungswerte der Verzögerungselemente 24 und 26.
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Die
Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 lässt nur
als das Taktsignal auszugebende Impulse aus den von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen
Impulsen durch und gibt diese aus. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 eine UND-schaltung
und gibt eine UND-verknüpfung
des von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen Impulses
und eines von dem Impulsauswahl-Flipflop 32 zugeführten Impulsauswahlsignals
aus. Das Impulsauswahlsignal stellt Maskendaten dar, die zu der Zeit
des auszugebenden Impulses 1 anzeigen und zu der Zeit,
zu der keine Impulse ausgegeben werden, 0 anzeigen. Eine derartige
Konfiguration ermöglicht, dass
ein Wärmeerzeugungswert
der Verzögerungs schaltung 23 konstant
gehalten wird und ein Taktsignal mit weniger Jitter erzeugt wird
bei einer Schaltung geringer Größe ungeachtet
des Musters des auszugebenden Taktsignals. Das Flipflop 30 empfängt das Impulsauswahlsignal
und gibt es synchron mit dem Bezugstakt zu dem Impulsauswahl-Flipflop 32 aus. Das
heißt,
das Flipflop 30 empfängt
das Impulsauswahlsignal über
seinen Dateneingangsanschluss und empfängt den Bezugstakt über seinen
Takteingangsanschluss. Das Impulsauswahlsignal ist ein Signal, das
anzeigt, ob jeder Impuls des Bezugstakts als das Taktsignal auszugeben
ist, und wird synchron mit dem entsprechenden Impuls zu dem Flipflop 30 gegeben.
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Das
Impulsauswahl-Flipflop 32 führt das Impulsauswahlsignal
zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 entsprechend
dem von dem letzten Verzögerungselement
in der Verzögerungsschaltung 23,
das heißt
dem Verzögerungselement 26 angegebenen
Impuls. Das heißt,
das Impulsauswahl-Flipflop 32 empfängt das Impulsauswahlsignal über seinen
Dateneingansanschluss und empfängt von
dem Verzögerungselement 26 ausgegebene
Signal über
seinen Takteingangsanschluss.
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Eine
derartige Konfiguration ermöglicht, dass
die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung steuert, ob jeder Impuls
des Bezugstakts durchzulassen ist oder nicht, ungeachtet des Wertes
der Verzögerung
in der Verzögerungsschaltung 23.
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Der
Taktgenerator 20 kann weiterhin ein Verzögerungselement,
dessen Verzögerungswert
auf einen vorbestimmten Wert festgelegt ist, zwischen der Verzögerungsschaltung 23 und
der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 enthalten,
so dass das von dem Impulsauswahl-Flipflop 32 ausgegebene Impulsauswahlsignal
eine ausreichende Einstellzeit zu den von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen
Impulsen hat.
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Das
Flipflop 34 empfängt
die Verzögerungseinstelldaten
und gibt sie synchron mit dem Bezugstakt zu der Verzögerungssteuerschaltung 35 aus. Das
heißt,
das Flipflop 34 empfängt
die Verzögerungseinstelldaten über seinen
Dateneingangsanschluss und empfängt
den Bezugstakt über
seinen Takteingangsanschluss. Die Verzögerungseinstelldaten sind Daten,
die einen Verzögerungswert
für jeden
Impuls des Bezugstaktes spezifizieren und synchron mit dem vorhergehenden
Impuls des entsprechenden Impulses zu dem Flipflop 34 geführt werden.
Die Verzögerungssteuerschaltung 35 nimmt
die Verzögerungseinstelldaten
zum Steuern des Verzögerungswertes
in der Verzögerungsschaltung 23 entsprechend
dem von der Verzögerungsschaltung 23 ausgegebenen
Impuls auf und steuert den Verzögerungswert
in der Verzögerungsschaltung 23 auf
der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten. Die Verzögerungssteuerschaltung 35 hat mehrere
Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38, die
entsprechend den mehreren Verzögerungselementen 24 und 26 bei
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
vorgesehen sind.
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Jedes
der Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38 enthält die Verzögerungseinstelldaten
entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement 24 oder 26 ausgegebenen
Impuls und steuert den Verzögerungswert
des entsprechenden Verzögerungselementes 24 oder 26 auf
der Grundlage der aufgenommenen Verzögerungseinstelldaten. Das heißt, jedesmal,
wenn das Verzögerungselement 24 oder 26 einen
Impuls ausgibt, stellt das Verzögerungseinstell-Flipflop 36 oder 38 den
Verzögerungswert
zum Verzögern
des nächsten
Im pulses in jedem Verzögerungselement 24 oder 26 ein.
Eine derartige Operation ermöglicht,
dass der Verzögerungswert
für jeden
Impuls genau eingestellt wird.
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Weiterhin
ist der maximale Verzögerungswert
in dem Verzögerungselement 26 nahezu
gleich der Verzögerungsauflösung in
dem Verzögerungselement 24,
wie vorstehend beschrieben ist. Dann steuert, wenn das Verzögerungselement 24 eine
grobe Verzögerung
erzeugt und das Verzögerungselement 26 eine
genaue Verzögerung
erzeugt, das Verzögerungseinstell-Flipflop 36 entsprechend
dem Verzögerungselement 24 den
Verzögerungswert
in dem Verzögerungselement 24 auf
der Grundlage von höheren
bits von von dem Verzögerungseinstell-Flipflop 34 ausgegebenen
Daten und das Verzögerungseinstell-Flipflop 38 entsprechend
dem Verzögerungselement 26 steuert
den Verzögerungswert
in dem Verzögerungselement 26 auf
der Grundlage von niedrigeren bits der von dem Verzögerungseinstell-Flipflop 34 ausgegebenen
Daten. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
empfängt
jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 36 und 38 die
Verzögerungseinstelldaten über seinen
Dateneingangsanschluss und empfängt
das von dem entsprechenden Verzögerungselement 24 oder 26 ausgegebene
Signal über
seinen Takteingangsanschluss.
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Weiterhin
kann, obgleich der Fall, in welchem der zu dem Taktgenerator 20 geführte Bezugstakt
eine konstante Periode hat, bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
erläutert
wurde, kann der Taktgenerator 20 ein Ausgangssignal mit
einem gewünschten
Muster aus einem Eingangssignal mit einem gewünschten Muster erzeugen.
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3 ist
ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation des Taktgenerators 20 zeigt. Der
Bezugstakt mit einer konstanten Periode wie in 3 gezeigt
wird zu der Verzögerungsschaltung 23 geführt. Die
Verzögerungsschaltung 23 verzögert jeden
Impuls des Bezugstakts um den für
jeden Impuls gegebenen Verzögerungswert.
Zu dieser Zeit werden die Verzögerungseinstelldaten,
die der Bedingung genügen,
dass die jeweiligen Impulse des verzögerten Bezugstakts nicht in
enger Nähe
zueinander sind, zu der Verzögerungsschaltung 23 geführt.
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Dann
gibt die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung die UND-Verknüpfung der
Impulsauswahldaten, die anzeigen, ob jeder Impuls auszugeben ist oder
nicht, und des von der Verzögerungsschaltung 23 verzögerten Bezugstakts
aus, um ein Taktsignal mit einem gewünschten Muster wie in 3 gezeigt zu
erzeugen, aus.
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Da
der Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
den Wärmeerzeugungswert
nahezu konstant halten kann, wie vorstehend beschrieben ist, kann
das Jitter verringert werden. Weiterhin kann, da der Taktgenerator 20 keine Scheinverzögerungsschaltung
zum Konstanthalten des Wärmeerzeugungswertes
benötigt,
die durch die Impulsübertragung
durch die Scheinverzögerungsschaltung
bewirkte Interferenz eliminiert werden und das Taktsignal kann genau
erzeugt werden. 4 ist ein Diagramm, das eine
andere beispielhafte Konfiguration des Taktgenerators 20 zeigt.
Der Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel hat
eine Verzögerungsschaltung 41,
eine Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48, einen Impulsgenerator 40,
eine Verzögerungssteuerschaltung 67,
eine Impulsauswahl-Steuerschaltung 59, ein Flipflop 58, ein
Flipflop 66, eine Temperaturkompen sations-Auswahlschaltung 54,
eine Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 und eine ODER-Schaltung 56.
Ihre Konfiguration wird zuerst erläutert.
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Der
Impulsgenerator 40, die Verzögerungsschaltung 41,
die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48, die Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 und
die Verzögerungssteuerschaltung 67 haben
dieselben Funktion und Konfigurationen wie der Impulsgenerator 22,
die Verzögerungsschaltung 23,
die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28, das Impulsauswahl-flipflop 32 und
die Verzögerungssteuerschaltung 35,
die in Verbindung mit 2 erläutert wurden.
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Der
Impulsgenerator 40 moduliert eine Impulsbreite eines gegebenen
Signals in eine vorbestimmte Impulsbreite und gibt es zu der Verzögerungsschaltung 41 aus.
Die Verzögerungsschaltung 41 hat
dieselbe Funktion und Konfiguration wie die in Verbindung mit 2 erläuterte Verzögerungsschaltung 23.
Die Verzögerungsschaltung 41 nach
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
hat mehrere in Kaskade geschaltete Verzögerungselemente 42, 44 und 46. Ähnlich wie
bei der Verzögerungsschaltung 23 kann
eine maximaler Verzögerungswert
des Verzögerungselements 44 nahezu
gleich einer Verzögerungsauflösung des
Verzögerungselements 42 sein, und
ein maximaler Verzögerungswert
das Verzögerungselements 46 kann
nahezu gleich einer Verzögerungsauflösung des
Verzögerungselements 44 sein.
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Die
Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 empfängt ein Impulsauswahlsignal,
das einen logischen Wert h für
den Durchgang eines Impulses des Bezugstakts in der Impulsauswahl-
und -ausgabeschaltung 48 und einen logischen Wert L anzeigt, wenn
kein Impuls synchron mit dem Impuls des Bezugstakts hindurchgeht
und führt
das Impulsauswahlsignal zu der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48.
In gleicher Weise wie bei der in Verbindung mit 2 erläuterten
Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 28 gibt die Impulsauswahl-
und -ausgabeschaltung 48 eine UND-Verknüpfung des von der Verzögerungsschaltung 41 ausgegebenen
Signals und des von der Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 empfangenen
Impulsauswahlsignals aus.
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Die
Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 hat mehrere Impulsauswahl-Flipflops 60, 62 und 64,
die in Kaskade geschaltet sind und entsprechend den mehreren Verzögerungselementen 42, 44 und 46 vorgesehen
sind. Jedes der Impulsauswahl-Flipflops 60, 62 und 64 nimmt
aufeinander folgend das Impulsauswahlsignal auf und gibt es zu dem
nächsten Schritt
entsprechend dem von dem entsprechenden Verzögerungselement ausgegebenen
Impuls aus. Eine derartige Konfiguration ermöglicht die Übertragung des entsprechend
dem Verzögerungswert
jedes der Verzögerungselemente 42, 44 und 46 zu
verzögernden
Impulsauswahlsignals und ermöglicht, dass
die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 das Taktsignal
genau erzeugt.
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Die
Verzögerungssteuerschaltung 67 hat auch
dieselbe Funktion und Konfiguration wie die in Verbindung mit 2 erläuterte Verzögerungssteuerschaltung 35.
Die Verzögerungssteuerschaltung 67 nach
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
hat mehrere Verzögerugnseinstell-Flipflops 68, 70 und 72,
die den mehreren Verzögerungselementen 42, 44 und 46 vorgesehen
sind. Das heißt,
die mehreren Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 sind auch
entsprechend den mehreren Impulsauswahl-F1ipflops 60, 62 und 64 vorgesehen.
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Das
Flipflop 66 empfängt
auch die Verzögerungseinstelldaten über seinen
Dateneingangsanschluss, empfängt
das Impulsauswahlsignal über seinen
Freigabeanschluss und empfängt
den Bezugstakt über
seinen Takteingangsanschluss. Das heißt, das Flipflop 66 nimmt
die Verzögerungseinstelldaten auf,
und gibt sie in die Verzögerungssteuerschaltung 67 entsprechend
dem Impuls des als das Taktsignal auszugebenden Bezugstakts ein.
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Jedes
der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 nimmt
nicht neu die Verzögerungseinstelldaten
auf, während
das entsprechende Impulsauswahl-Flipflop 60, 62 oder 64 den
logischen Wert L ausgibt. Das heißt, jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 empfängt die
Verzögerungseinstelldaten über seinen
Dateneingangsanschluss, empfängt
das von dem entsprechenden Verzögerungselement 42, 44 oder 46 ausgegebene
Signal über
seinen Takteingangsanschluss und empfängt das von dem entsprechenden
Impulsauswahl-Flipflop 60, 62 oder 64 ausgegebene
Signal über
seinen Freigabeanschluss. Das heißt, jedes Verzögerungseinstell-Flipflop
verzögert
den nicht in der Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 ausgegebenen
Impuls um den selben verzögerungswert wie
den des vorhergehenden Impulses. Eine derartige Konfiguration ermöglicht,
dass das Taktsignal einfach erzeugt wird, da es nicht notwendig
ist, die Nähebedingung
als das Taktsignal ausgegebenen Impulses und der danach nicht als
das Taktsignal ausgegebenen Impulse zu berücksichtigen Die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 steuert, ob
alle Impulse des Bezugstaktes in die Verzögerungsschaltung 41 einzugeben
sind oder nur als das Taktsignal auszugebende Impulse in die Verzögerungsschaltung 41 einzugeben
sind. Das heißt,
die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 wählt aus,
ob das Taktsignal zu erzeugen ist, während der Wärmeerzeugungswert in dem Taktgenerator
nahezu konstant gehalten wird, oder das Taktsignal ohne Steuerung
des Wärmeerzeugungswertes zu
erzeugen ist.
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Während ein
Fall auftritt, in welchem ein hochgenaues Taktsignal erforderlich
ist oder ein Taktsignal mit niedrigem Leistungsverbrauch erforderlich ist
in Abhängigkeit
von der Verwendung des Taktsignals ermöglicht eine derartige Steuerung
die Auswahl der Erzeugung des hochgenauen Taktsignals durch Steuern
des Wärmeerzeugungswertes
in der Verzögerungsschaltung 41 oder
der Erzeugung des Taktsignals mit niedrigem Leistungsverbrauch.
Die Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 empfängt das
vorstehend in 2 beschriebene Impulsauswahlsignal,
das auf den logischen Wert H festgelegte Signal und ein Temperaturkompenstions-Auswahlsignal
(HOCLK INH) das anzeigt, ob die Temperatur in der Verzögerungsschaltung 41 zu steuern
ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist das Temperaturkompensations-Auswahlsignal ein Signal, das einen
logischen Wert L anzeigt, wenn die Temperatursteuerung durchgeführt wird und
einen logischen Wert H, wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird.
Dann gibt die Temperaturkompenstions-Auswahlschaltung 54 das auf
den logischen Wert H festgelegte Signal aus, wenn das Temperaturkompensations-Auswahlsignal
das Signal ist, das anzeigt, dass die Temperatursteuerung durchgeführt wird,
und gibt das Impulsauswahlsignal aus, wenn das Temperaturkompensations-Auswahlsignal
das Signal ist, das anzeigt, dass keine Temperatursteuerung durchgeführt wird.
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Die
Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 gibt die UND-Verknüpfung des
gegebenen Bezugstaktes und des von der Temperaturkompensations-Auswahlschaltung 54 ausgegebenen
Signals über
den Impulsgenerator 40 zu der Verzögerungsschaltung 41 aus.
Das heißt,
wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird werden nur die als
das Taktsignal auszugebenden Impulse in die Verzögerungsschaltung 41 eingegeben,
und alle Impulse des Bezugstaktes werden wie vorstehend beschrieben eingegeben,
wenn die Temperatursteuerung durchzuführen ist.
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Die
ODER-Schaltung 56 führt
die ODER-Verknüpfung
des Impulsauswahlsignals und des Temperaturkompensations-Auswahlsignals zu dem
Flipflop 58. Das heißt,
das Impulsauswahlsignal wird zu dem Flipflop 58 geführt, wenn
die Temperatursteuerung durchgeführt
wird. Zu dieser Zeit arbeiten das Flipflop 58 und die Impulsauswahlsteuerschaltung 59 wie
vorstehend beschrieben wenn keine Temperatursteuerung durchgeführt wird,
führt die Temperaturkompensationsauswahlschaltung 54 das auf
den logischen Wert H festgelegte Signal zu der Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 als
das Impulsauswahlsignal über
die ODER-Schaltung 56 und das Flipflop 58. Die
Impulsauswahl-Steuerschaltung 59 gibt das auf den logischen
Wert H festgelegte Signal unter einer derartigen Steuerung aus,
so dass die Impulsauswahl- und -ausgabeschaltung 48 das
von der Verzögerungsschaltung 41 ausgegebene
Signal so wie es ist durchlässt.
Daher können
die bereits in der Impulsauswahl- und -eingabeschaltung 50 ausgewählten Impuls
hindurch gelassen werden.
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Das
auf den logischen Wert H festgelegte Signal wird an dem Freigabeanschluss
jedes der Verzögerungseinstell-Flipflops 68, 70 und 72 eingegeben,
um neue Verzögerungseinstelldaten
jedes Mal aufzunehmen, wenn das entsprechende Verzögerungselement 42, 44 oder 46 den
Impuls ausgibt, um den Verzögerungswert
des ent sprechenden Verzögerungselementes
zu steuern. Daher kann die Phase des als das Taktsignal auszugebenden
Impulses ohne Fehler gesteuert werden.
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Der
Taktgenerator 20 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
kann eine Vorrichtung mit einem Betriebsmodus des Erzeugens des
Taktsignals mit weniger Jitter und einem Betriebsmodus des Erzeugens
des Taktsignals mit niedrigem Leistungsverbrauch mit einer kleinen
Schaltungskonfiguration realisieren.
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Weiterhin
kann die Prüfvorrichtung 100 mehrere
Konfigurationen des vorgeschriebenen Taktgenerators 20 haben.
In diesem Fall erzeugt jeder der Taktgeneratoren 20 ein
Taktsignal mit einem unterschiedlichen Muster. Dann kann die Wellenform-Formungsvorrichtung 12 mehrere
Eingangssignale mit verschiedenen Mustern erzeugen, kann mehrere Schaltungen
für die
Eingabe zu jedem Stift der elektronischen Vorrichtung 200 haben
und kann einen Multiplexer für
die Auswahl, welches Taktsignal für welche Schaltung zu verwenden
ist haben.
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Obgleich
die Erfindung im Wege der beispielhaften Ausführungsbeispiele beschrieben
wurde, ist festzustellen, dass der Fachmann viele Änderungen und
Substitutionen durchführen
kann, ohne den Geist und den Bereich der Erfindung zu verlassen.
Es ist aus der Definition der angefügten Ansprüche offensichtlich, dass die
Ausführungsbeispiele
mit derartigen Modifikationen ebenfalls zu dem Bereich der Erfindung
gehören.
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Gewerbliche
Anwendbarkeit
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Wie
aus der vorstehenden Beschreibung ersichtlich ist, kann gemäß der Erfindung
das Taktsignal mit einem gewünschten
Muster mit weniger Jitter erzeugt werden.
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ZUSAMMENFASSUNG:
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Es
ist ein Taktgenerator (20) zum Erzeugen eines Taktsignals
auf der Grundlage eines gegebenen Bezugstaktes vorgesehen, mit einer
Verzögerungsschaltung
(23) zum Ausgeben jedes Impulses des Bezugstakts durch
Verzögern
um einen für
jeden der Impulse gegebenen Verzögerungswert
und einer Impulsauswahl- und ausgabeschaltung 28 zum Hindurchlassen
und Ausgeben nur der als das Taktsignal auszugebenden Impulse aus
den von der Verzögerungsschaltung
ausgegebenen Impulsen.