DE10311645A1

DE10311645A1 - Nanoskaliges Indium-Zinn-Mischoxidpulver

Info

Publication number: DE10311645A1
Application number: DE10311645A
Authority: DE
Inventors: Stipan Katusic; Michael Dr. Günther; Peter Kress; Andreas Dr. Gutsch; Friedrich Georg Dr. Schmidt; Thomas Dr. Haßkerl
Original assignee: Degussa GmbH
Current assignee: Evonik Operations GmbH
Priority date: 2003-03-14
Filing date: 2003-03-14
Publication date: 2004-09-23
Also published as: KR100649046B1; KR20050109994A; JP2006521268A; CN1761620A; JP4504353B2; EP1603836A2; TWI273092B; CN100488877C; US7374743B2; TW200427632A; WO2004080144A2; US20070003779A1; WO2004080144A3

Abstract

Mischoxidpulver, enthaltend Indium und Zinn, mit einem Anteil an Indiumoxid zwischen 90 und 98 Gew.-%, einer BET-Oberfläche von 40 bis 120 m·2·/g, welches in Form von Aggregaten mit einem mittleren Umfang von weniger als 500 nm vorliegt, zu mindestens 95% aus einer Indiumoxidphase besteht und einen Sauerstoffgehalt aufweist, der kleiner ist als der Gehalt, der theoretisch aus In¶2¶O¶3¶ und SnO¶2¶ resultiert. DOLLAR A Es wird hergestellt, indem man eine Lösung einer Indiumverbindung mit einer Lösung einer Zinnverbindung vermischt, dieses Lösungsgemisch zerstäubt, das zerstäubte Lösungsgemisch in einem Reaktor in einer ersten Zone pyrolysiert und in einer der Pyrolyse nachfolgenden zweiten Zone des Reaktors dem Pyrolysegemisch an einer oder mehreren Stellen reduzierende Gase in einer Menge zumischt, dass insgesamt in dieser zweiten Zone eine reduzierende Atmosphäre entsteht, und den erhaltenen Feststoff in einer weiteren dritten Zone, in der ebenfalls noch eine reduzierende Atmosphäre vorliegt, von den Abgasen abtrennt. DOLLAR A Es kann zur Herstellung von transparenten, elektrisch-leitfähigen Lacken und Beschichtungen eingesetzt werden.

Description

Gegenstand der Erfindung ist ein Indium-Zinn-Oxidpulver, dessen Herstellung und Verwendung.
Indium-Zinn-Oxidpulver werden in der Regel aus wässerigen Lösungen durch Reaktion von wasserlöslichen Salzen des Indiums und des Zinns in Gegenwart alkalischer Stoffe gewonnen.
Dabei entstehen zunächst Hydroxide, die in einem Folgeschritt kalziniert werden können. In DE-A-100 22 037 beschreibt beispielsweise die Kalzinierung dieser Hydroxide unter reduzierenden Bedingungen bei Temperaturen zwischen 200 und 400°C, bevorzugt 250°C, und Verweilzeiten zwischen 15 und 120 Minuten, bevorzugt 60 Minuten. In einem Ausführungsbeispiel von DE-A-100 22 037 zeigt ein so hergestelltes Indium-Zinn-Oxidpulver eine dunkelbraune Farbe.
Dieses Pulver kann zur Herstellung von IR-absorbierenden Zusammensetzungen geeignet sein. Für eine Verwendung in elektrisch-leitfähigen Lacken und Beschichtungen ist jedoch der Widerstand zu hoch. Ferner ist für viele Anwendungsbereiche von Indium-Zinn-Oxidpulvern eine braune Färbung unerwünscht.
EP-A-1 142 830 beschreibt die Herstellung nanoskaliger Oxide durch Pyrolyse von metallorganischen Precursoren. Beansprucht wird auch die Reaktion von Indium- und Zinnprecursoren unter diesen Bedingungen.
Das Dokument gibt jedoch keinerlei Hinweise, wie ein elektrisch leitfähiges Indium-Zinn-Oxid erhalten werden kann. Versuche haben gezeigt, dass mit dem in EP-A-1 142 830 beschriebenen Verfahren keine Indium-Zinn-Oxide mit guter elektrischer Leitfähigkeit erhalten werden können.
In EP-A-1 270 511 werden Indium-Zinn-Mischoxidpulver und dotierte Indium-Zinn-Mischoxidpulver beschrieben, welches durch Pyrolyse eines Indium- und eines Zinnsalzes erhalten werden. Die Röntgenstrukturanalyse der auf diese Art hergestellten Pulver, weist kubisches Indiumoxid und tetragonales Zinnoxid auf. Die Leitfähigkeit dieser Pulver ist für viele Anwendungen im Bereich elektrisch-leitfähiger Lacke und Beschichtungen zu gering.
Aufgabe der Erfindung ist es Indium-Zinn-Mischoxidpulver mit einer gegenüber dem Stand der Technik höheren elektrischen Leitfähigkeit bereitzustellen. Ferner sollen die Pulver in Anwendungen eine hohe Transparenz aufweisen und zu keine gelbliche oder bräunliche Färbung führen.
Die Aufgabe wird gelöst durch Mischoxidpulver, enthaltend Indium und Zinn, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass es

– einen Anteil an Indium, gerechnet als In₂O₃, zwischen 90 und 98 Gew.-%, bevorzugt zwischen 90 und 95 Gew.-% aufweist,
– eine BET-Oberfläche von 40 bis 120 m²/g aufweist,
– in Form von Aggregaten mit einem mittleren Umfang von weniger als 500 nm vorliegt,
– in der Röntgenbeugungsanalyse nur eine Phase von kubischem Indiumoxid zeigt,
– einen Sauerstoffgehalt aufweist, der kleiner ist, als der Gehalt, der theoretisch aus In₂O₃ und SnO₂ resultiert.

Der Anteil an Indium, gerechnet als In₂O₃, liegt im erfindungsgemäßen Mischoxidpulver zwischen 90 und 98 Gew.-%. Bei Werten von kleiner 90 Gew.-% oder größer 98 Gew.-% wird eine verringerte elektrische Leitfähigkeit erhalten. In einer bevorzugten Ausführungsform liegt der Gehalt an Indium zwischen 92 und 95 Gew.-% und in einer besonders bevorzugten Ausführungsform zwischen 93 und 94 Gew.-%.
Die BET-Oberfläche wird bestimmt nach DIN 66131. Sie liegt im erfindungsgemäßen Mischoxidpulver zwischen 40 und 120 m²/g. Oberflächen von mehr als 120 m²/g sind technisch schwierig herstellbar. Mischoxidpulver mit spezifischen Oberflächen von weniger als 40 m²/g führen in Anwendungen zu niedriger Transmission und/oder unerwünschten gelblich oder bräunlichen Verfärbungen. In einer besonderen Ausführungsform kann das Mischoxidpulver eine BET-Oberfläche zwischen 60 und 100 m²/g aufweisen, wobei Werte zwischen 70 und 90 m²/g hinsichtlich der erzielbaren elektrischen Leitfähigkeit besonders bevorzugt sein können.
Das erfindungsgemäße Mischoxidpulver liegt in Form von Aggregaten von Primärpartikeln vor. Um eine möglichst hohe Transparenz zu erhalten weisen die Aggregate einen mittleren Umfang von weniger als 500 nm auf. Bevorzugterweise kann die Aggregatgröße Werte von weniger als 300 nm aufweisen.
Die Röntgenbeugungsanalyse des erfindungsgemäßen Pulvers zeigt nur eine einzige Phase, nämlich die von kubischem Indiumoxid. Eine Zinnoxidphase ist nicht nachzuweisen.
Der Sauerstoffgehalt des erfindungsgemäßen Mischoxidpulvers ist kleiner als der Gehalt, der theoretisch aus In₂O₃ und SnO₂ resultiert. Geht man beispielsweise von einem Mischoxidpulver mit einer Zusammensetzung 95 Gew.-% In₂O₃ und 5 Gew.-% SnO₂ ergibt sich ein theoretischer Sauerstoffgehalt von 17,40 Gew.-%.
Innerhalb der angegebenen Grenzen für den Anteil an Indium, gerechnet als In₂O₃, von 90 bis 98 Gew.-% liegt der theoretische Sauerstoffgehalt zwischen 17,51 Gew.-% und 17,33 Gew.-%.
Das erfindungsgemäße Pulver weist nun einen Sauerstoffanteil auf der unterhalb des theoretischen Wertes liegt. Die erfindungsgemäßen Mischoxidpulver zeigen dann in Anwendungen eine besonders gute Transparenz und eine vom Sauerstoffgehalt abhängige Farbe.
In einer bevorzugten Ausführungsform kann der Sauerstoffgehalt 0,5 bis 1 Gew.-% unterhalb des theoretischen Wertes liegen.
Das erfindungsgemäße Mischoxidpulver kann mit bis zu 3 Gew.-%, besonders bevorzugt 0,01 bis 1 Gew.-%, bezogen auf In₂O₃, mindestens eines Dotierstoffes in Form eines Metalles und/oder eines Oxides dotiert sein.
Geeignete Dotierstoffe sind die Oxide und/oder die elementaren Metalle aus der Gruppe Aluminium, Antimon, Cadmium, Calcium, Cer, Eisen, Gold, Iridium, Kalium, Kobalt, Kupfer, Magnesium, Natrium, Nickel, Mangan, Palladium, Platin, Osmium, Rhodium, Ruthenium, Tantal, Titan, Silber, Silicium, Vanadium, Yttrium, Wolfram, Zink und Zirkon. Besonders bevorzugt kann eine Dotierung mit Kalium, Platin oder Gold sein.
In einer besonderen Ausführungsform der Erfindung weist das Mischoxidpulver CIE-L*a*b*-Werte von L = +40 bis +55; a = –6,2 bis –8,5; b = –1 bis –12 auf. CIE-L*a*b* beschreibt einen Farbraum in dem Farben durch drei Koordinaten eindeutig beschrieben werden.
In einer weiteren Ausführungsform kann das erfindungsgemäße Mischoxidpulver einen spezifischen Widerstand von weniger als 400 Ohm·cm bei einer Pressdichte von 0,6 g·cm³ aufweisen. Besonders bevorzugt können Werte zwischen 100 und 150 Ohm·cm bei einer Pressdichte von 0,6 g·cm³ sein.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung des erfindungsgemäßen Mischoxidpulvers, welches dadurch gekennzeichnet ist, dass man

– eine Lösung einer Indiumverbindung mit einer Lösung eines Zinnverbindung vermischt, gegebenenfalls eine Lösung einer Verbindung mindestens einer Dotierungskomponente hinzufügt,
– dieses Lösungsgemisch zerstäubt,
– das zerstäubte Lösungsgemisch in einem Reaktor in einer ersten Zone pyrolysiert
– und in einer der Pyrolyse nachfolgenden zweiten Zone des Reaktors dem Pyrolysegemisch an einer oder mehreren Stellen reduzierende Gase in einer Menge zumischt, so dass insgesamt in dieser zweiten Zone eine reduzierende Atmosphäre entsteht,
– und den erhaltenen Feststoff in einer weiteren dritten Zone, in der ebenfalls noch eine reduzierende Atmosphäre vorliegt, von den Abgasen abtrennt.

Unter Lösung im Sinne der Erfindung ist eine solche zu verstehen, bei der die flüssige Phase wässerig, wässerig/organische oder organische Lösung ist. Als bevorzugte organische Lösungsmittel können Alkohole wie Methanol, Ethanol, n-Propanol, iso-Propanol, n-Butanol oder iso-Butanol oder tert.-Butanol eingesetzt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren erlaubt den Einsatz der drei genannten Varianten. Dadurch ist es möglich eine große Anzahl von Indium- und Zinnverbindungen, gegebenenfalls Dotierstoffe, einzusetzen.
Geeignete Indium und Zinnverbindungen können metallorganische Verbindungen mit Alkylresten, wie beispielsweise Methyl, Ethyl, n-Propyl, iso-Propyl, n- Butyl, iso-Butyl oder tert.-Butyl, oder die entsprechenden Alkoxyvarianten sein.
Weiterhin können Salze des Indiums oder des Zinns, gegebenenfalls auch die eines Dotierstoffes, in Form der Halogenide oder Nitrate eingesetzt werden.
Besonders ökonomisch ist der Einsatz von Indiumchlorid und Zinnchlorid.
Als Dotierstoff im Sinne der Erfindung gilt der zur Dotierung eingesetzte Stoff, beispielsweise ein Salz. Die Dotierungskomponente ist das aus dem Dotierstoff durch Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens hervorgegangene, im Mischoxidpulver vorliegende Metall- oder Metalloxid.
Das Zerstäuben der Lösungen kann beispielsweise sowohl durch Ultraschallvernebelung als auch durch eine Zweistoffdüse erfolgen.
Unter Pyrolyse im Sinne der Erfindung ist die Überführung der Indium- und Zinnverbindungen und gegebenenfalls der Dotierstoffe in Mischoxide zu verstehen. Die Pyrolyse erfolgt in einer Flamme, die ein Sauerstoff enthaltendes Gas, gewöhnlich Luft, und ein Brenngas enthält. Brenngase können beispielsweise Wasserstoff, Methan, Ethan, Propan, Butan, Erdgas sein.
Die Verweilzeit kann in der ersten Zone bevorzugt zwischen 0,8 und 1,5 Sekunden und besonders bevorzugt zwischen 1 und 1,2 Sekunden liegen.
Das Pyrolysegemisch umfasst neben den Mischoxiden auch die gasförmigen Reaktionsprodukte und nicht abreagierte gasförmige Einsatzstoffe. Gasförmige Reaktionsprodukte können beispielsweise Kohlendioxid oder Chlorwasserstoff sein.
Das Pyrolysegemisch wird gemäß der Erfindung mit einem reduzierenden Gas vermischt. Dies kann beispielsweise Formiergas, Wasserstoff, Kohlenmonoxid, Ammoniak oder Mischungen der vorgenannten Gase sein, wobei Formiergas besonders bevorzugt sein kann. Ein solches reduzierendes Gas wird gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren in einer solchen Menge zum Pyrolysegemisch gegeben, dass eine reduzierende Atmosphäre entsteht.
Unter einer reduzierenden Atmosphäre im Sinne der Erfindung ist eine solche zu verstehen, bei der der lambda-Wert kleiner als 1 ist.
Bei Verwendung von Wasserstoff, Luft und Formiergas (80:20 N₂/H₂) wird der lambda-Wert beispielsweise in den reduzierenden Zonen II und III gemäß folgender Formel bestimmt 0,21·(Luft + Zerstäuberluft)/0,5·(Wasserstoff + 0,2·Formiergas),jeweils bezogen auf die eingespeiste Gasmenge pro Zeiteinheit.
Für die Zone I, in der die Pyrolyse, stattfindet ist der lambda-Wert größer als 1. Bei Verwendung von Wasserstoff und Luft wird der lambda-Wert in Zone I gemäß folgender Formel bestimmt: 0,21·(Luft+Zerstäuberluft)/0,5·Wasserstoff
In einer bevorzugten Ausführungsform kann die Summe der Verweilzeiten in der zweiten und dritten Zone zwischen 15 Sekunden und 15 Minuten betragen.
Durch Änderung der Verweilzeiten in den drei Zonen können die physikalisch-chemischen Eigenschaften der erfindungsgemäßen Pulver mit beeinflusst werden. Beispielsweise kann eine Verlängerung der Verweilzeit in der zweiten und/oder dritten Zone die Farbe des Pulvers bestimmen. Eine Veränderung der Verweilzeit in der ersten Zone kann beispielsweise die BET-Oberfläche beeinflussen.
1 zeigt einen schematischen Aufbau zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens. I, II und III bezeichnen die drei Reaktionszonen. Weiterhin gilt: 1 = zerstäubte Lösung aus Indium- und Zinnverbindung, gegebenenfalls zusätzlicher Dotierstoff oder Dotierstoffe; 2 = Sauerstoff enthaltendes Gas, bevorzugt Luft; 3 = Brenngas, bevorzugt Wasserstoff; 4 = reduzierendes Gas; 5 = Abgas; 6 = erfindungsgemäßes Pulver.
Ein weiterer Gegenstand der Erfindung ist die Verwendung des erfindungsgemäßen Mischoxidpulvers zur Herstellung von transparenten, elektrisch-leitfähigen Lacken und Beschichtungen, von Solarzellen, UV-Absorbern und in der Medizintechnik.
Beispiele
Die BET-Oberfläche wird nach DIN 66131 bestimmt.
Der mittlere Aggregatumfang wird durch Auswertung von TEM-Aufnahmen bestimmt. Die TEM-Aufnahmen werden mit einem Hitachi TEM-Gerät, Typ H-75000-2 erhalten und mittels CCD-Kamera des TEM-Gerätes und anschliessender Bildanalyse ausgewertet.
Der spezifische elektrische Widerstand der Pulver wird bei Raumtemperatur und 40% relativer Feuchte in Abhängigkeit von der Pressdichte gemessen. Dazu wird die Probe zwischen zwei bewegliche Elektroden gebracht und nach dem Anlegen eines Gleichstromes der Stromfluß ermittelt. Dann wird die Dichte des Pulvers durch Verringerung des Elektrodenabstandes schrittweise erhöht und der Widerstand erneut gemessen. Die Messung erfolgt nach DIN IEC 93. Der minimale spezifische Widerstand wird bei einer stoffabhängigen maximalen Pressdichte erhalten.
Der Sauerstoffgehalt der Pulver wird mit einem Gerät Element Determinator NOA5003, Fa. Rose Mount, bestimmt.
Die L*a*b*-Werte werden gemessen mit einem Gerät Microcolor 2, TYP-Nr. NMG 141, Dr. Bruno Lange.
Beispiel 1:
Eine wässerige Lösung enthaltend 88,9 g/l Indium(III)chlorid und 8,4 g/l Zinn(IV)chlorid werden mittels Druckluft und einer Düse (Durchmesser 0,8 mm) mit einer Förderrate von 1500 ml/h in das Reaktionsrohr zerstäubt. Hier brennt eine Knallgasflamme aus 5 m³/h Wasserstoff und 15 m³/h Luft. Die Temperatur 0,5 m unterhalb der Flamme beträgt 750 °C. 2,5 m unterhalb der Flamme werden 10 m³/h Formiergas zugeführt, die Temperatur beträgt oberhalb der Zugabestelle ca. 450°C. Das Reaktionsgemisch durchläuft eine Verweilzeitstrecke von 2 m Länge in 14 sec.. Anschliessend wird der Feststoff mittels eines Filters von den gasförmigen Stoffen abgetrennt und über einen Zeitraum von 15 Minuten bei einer Temperatur von 250 °C unter fortdauernder Zuführung von Formiergas behandelt.
Die Beispiele 2 bis 6 werden entsprechend Beispiel 1 durchgeführt. Die Beispiele 4 bis 6 enthalten zusätzlich eine Dotierungskomponente, die in der wässrigen Lösung enthaltend Indium(III)chlorid und Zinn(IV)chlorid der Pyrolyse zugeführt wird. Die Einsatzmengen sind in Tabelle 1 wiedergegeben.
Die Beispiele 7 bis 9 stellen Vergleichsbeispiele dar. Die Beispiele 7 und 8 werden analog Beispiel 1 durchgeführt, wobei kein Formiergas zugeführt wird. Die Einsatzmengen und sind in Tabelle 1 wiedergegeben.
Beispiel 9:
140 g Indium(III)chlorid (0,63 mol, wasserfrei), 18 g Zinn(IV)chlorid·5 H₂O werden in 1400 ml Wasser gegeben und gerührt. Nachdem eine klare Lösung entstanden ist, wird diese auf 50°C erwärmt und unter heftigem Rühren 105 ml Ammoniumhydroxidlösung (25%) zugetropft. Die Suspension wird bei 50°C weitere 24 Stunden gerührt. Zur vollständigen Fällung werden dem Gemisch danach noch 280 ml Ammoniumhydroxidlösung hinzugefügt. Es bildete sich ein weißer Niederschlag, der abzentrifugiert wird. Das Pulver wird anschliessend im Vakuum bei 190°C so lange getrocknet, bis eine leichte Gelbfärbung des Pulvers festzustellen war. Das getrocknete Pulver wird anschliessend fein gemörsert bei 250°C und für 60 Minuten unter Formiergasatmosphäre gehalten.
Die physikalisch-chemischen Daten der Pulver aus den Beispielen 1 bis 9 ist in Tabelle 2 wiedergegeben.
Die erfindungsgemäßen Pulver der Beispiele 1 bis 6 zeigen im Röntgenbeugungsdiagramm nur das Signal von kubischem Indiumoxid, in den TEM-Aufnahmen eine Aggregatstruktur, weisen eine BET-Oberfläche zwischen 45 und 80 m²/g und einen Sauerstoffgehalt zwischen 16 und 17% auf.
Der Einfluss der Verfahrensbedingungen werden besonders deutlich bei dem erfindungsgemäßen Pulver aus Beispiel 1 und dem Pulver aus dem Vergleichsbeispiel 7. Während beispielsweise die Zusammensetzung, die BET-Oberfläche, die Röntgenbeugungsanalyse gleiche Werte liefern, weist das erfindungsgemäße Pulver eine andere Farbe, blau anstelle von gelb in Beispiel 7, und einen wesentlich geringeren elektrischen Widerstand auf.
Das durch Fällung erhaltene Pulver aus Beispiel 9 zeigt in der Röntgenbeugungsanalyse die Signale von kubischen Indiumoxid und tetragonalem Zinkoxid. Der spezifische Widerstand bei 0,6 g/cm³ Pressdichte ist wesentlich höher als bei den erfindungsgemäßen Pulvern aus den Beispielen 1 bis 6.
2 zeigt eine TEM-Aufnahme des Mischoxidpulvers mit seiner aggregierten Struktur aus Beispiel 1.
3a zeigt eine XRD-Aufnahme des erfindungsgemäßen Pulvers aus Beispiel 1, 3b zeigt eine XRD-Aufnahme des Pulvers aus Beispiel 8 (Vergleichsbeispiel). In 3a sind zusätzlich die Signale von Indiumoxid zum Vergleich mitaufgenommen, in 3b die von Indiumoxid und Zinnoxid. Die intensivsten Zinnoxid-Signale sind mit x gekennzeichnet.

Claims

Mischoxidpulver, enthaltend Indium und Zinn, dadurch gekennzeichnet dass es – einen Anteil an Indium, gerechnet als In₂O₃, zwischen 90 und 98 Gew.-% aufweist, – eine BET-Oberfläche von 40 bis 120 m²/g aufweist, – in Form von Aggregaten mit einem mittleren Umfang von weniger als 500 nm vorliegt, – in der Röntgenbeugungsanalyse nur eine Phase von kubischem Indiumoxid zeigt, – einen Sauerstoffgehalt aufweist, der kleiner ist, als der Gehalt, der theoretisch aus In₂O₃ und SnO₂ resultiert.
Indium-Zinn-Oxidpulver nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es mit bis zu 3 Gew.-%, bezogen auf In₂O₃, mindestens eines Dotierstoffes in Form eines Metalles und/oder eines Oxides dotiert ist.
Indium-Zinn-Oxidpulver nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass es CIE-L*a*b*-Werte von L = +40 bis +55; a = –6,2 bis –8,5; b = –1 bis –12 aufweist.
Indium-Zinn-Oxidpulver nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass es einen spezifischen Widerstand von weniger als 400 Ohm·cm bei einer Pressdichte von 0,6 g·cm^–3 aufweist.
Verfahren zur Herstellung des Indium-Zinn-Oxidpulvers gemäß den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass – man eine Lösung einer Indiumverbindung mit einer Lösung einer Zinnverbindung vermischt, gegebenenfalls eine Lösung eines Verbindung mindestens einer Dotierungskomponente hinzufügt, – dieses Lösungsgemisch zerstäubt, – das zerstäubte Lösungsgemisch in einem Reaktor in einer ersten Zone pyrolysiert – und in einer der Pyrolyse nachfolgenden zweiten Zone des Reaktors, dem Pyrolysegemisch, an einer oder mehreren Stellen reduzierende Gase in einer Menge zumischt, dass insgesamt in dieser zweiten Zone eine reduzierende Atmosphäre entsteht, – und den erhaltenen Feststoff in einer weiteren, dritten Zone, in der ebenfalls noch eine reduzierende Atmosphäre vorliegt, von den Abgasen abtrennt.
Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Lösungen wässerig oder wässerig/organisch oder organisch sind.
Verfahren nach den Ansprüchen 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Indium- und Zinnverbindungen, gegebenenfalls die Dotierstoffe metallorganische Verbindungen oder Salze sind.
Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass als reduzierende Gase Formiergas, Kohlenmonoxid, Wasserstoff, Ammoniak oder Mischungen dieser Gase eingesetzt werden.
Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Verweilzeit in der ersten Zone zwischen 0,8 und 1,5 Sekunden beträgt.
Verfahren nach den Ansprüchen 5 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Summe der Verweilzeit in der zweiten und dritten Zone zwischen 15 Sekunden und 15 Minuten beträgt.
Verwendung des Indium-Zinn-Oxidpulvers nach den Ansprüchen 1 bis 4 zur Herstellung von transparenten, elektrisch-leitfähigen Lacken und Beschichtungen, Solarzellen, UV-Absorbern und in der Medizintechnik.