DE1027815B - Geraet fuer Mikroskopie mit Hilfe von Korpuskularstrahlen - Google Patents

Geraet fuer Mikroskopie mit Hilfe von Korpuskularstrahlen

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DE1027815B
DE1027815B DEN10299A DEN0010299A DE1027815B DE 1027815 B DE1027815 B DE 1027815B DE N10299 A DEN10299 A DE N10299A DE N0010299 A DEN0010299 A DE N0010299A DE 1027815 B DE1027815 B DE 1027815B
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vacuum
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Pending
Application number
DEN10299A
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German (de)
English (en)
Inventor
Adrianus Jacobus Jozef Franken
Adrianus Verhoeff
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Koninklijke Philips NV
Original Assignee
Philips Gloeilampenfabrieken NV
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Publication date
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    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support

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US2845540A (en) 1958-07-29
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