DE102006000402A1

DE102006000402A1 - Korrosionsbeständiges Element und Herstellungsverfahren dafür

Info

Publication number: DE102006000402A1
Application number: DE102006000402A
Authority: DE
Inventors: Akiyoshi Nagoya Hattori
Original assignee: NGK Insulators Ltd
Current assignee: NGK Insulators Ltd
Priority date: 2005-08-18
Filing date: 2006-08-17
Publication date: 2007-02-22
Anticipated expiration: 2026-08-18
Also published as: JP2007051031A; DE102006000402B4; TW200714569A; TWI333939B; US20070042203A1; JP4942963B2; US7354652B2

Abstract

Bei einem korrosionsbeständigen Element ist wenigstens ein Abschnitt von diesem, welcher einer korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus einem korrosionsbeständigen Material gebildet, welches Calciumoxid und Aluminiumoxid und Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen.

Description

Diese Anmeldung basiert auf und beansprucht die Priorität der am 18. August 2005 eingereichten Patentanmeldung Nr. 2005-237946, deren gesamter Inhalt hier durch Bezugnahme darauf eingeschlossen ist.
1. Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein korrosionsbeständiges Element und auf ein Herstellungsverfahren dafür.

2. Beschreibung des technischen Hintergrunds

Ein Herstellungsverfahren für eine Halbleitervorrichtung und ein Herstellungsverfahren für eine Flüssigkristallvorrichtung schließen häufig Vorgänge ein, die in einer korrosiven Umgebung durchgeführt werden. Dementsprechend werden mit Korrosionsfestigkeit ausgestattete korrosionsfeste Elemente in einem Herstellungsgerät für die Halbleitervorrichtung und in einem Herstellungsgerät für die Flüssigkristallvorrichtung eingesetzt. Z.B. werden ein korrosionsbeständiges Element aus Aluminiumnitrid, ein korrosionsbeständiges Element, bei dem eine Oberfläche des Aluminiumnitrids mit einer Aluminiumoxidschicht bedeckt ist, und dergleichen eingesetzt (siehe z.B. offengelegte japanische Patentveröffentlichung Nr. 2003-261396).

Allerdings ist in den letzten Jahren die korrosive Umgebung, in welcher solch ein korrosionsbeständiges Element eingesetzt wird, schwerwiegend geworden, und ein korrosionsbeständiges Element mit einer besseren Korrosionsbeständigkeit ist erforderlich gewesen. Z.B. ist ein korrosionsbeständiges Element erforderlich geworden, welches selbst einer Umgebung aus einem korrosiven Gas auf Halogenbasis, welches in ein Plasma umgewandelt worden ist, sowie einer korrosiven Hochtemperaturumgebung widerstehen kann.

Allerdings konnte ein herkömmliches korrosionsbeständiges Element der schwerwiegenden korrosiven Umgebung in den letzten Jahren nicht in ausreichender Weise widerstehen. Insbesondere in dem Fall, dass es der korrosiven Hochtemperaturumgebung ausgesetzt wird, wird ein herkömmliches korrosionsbeständiges Element korrodiert. Darüber hinaus wird bei dem korrosionsbeständigen Element, bei dem die Oberfläche des Aluminiumnitrids mit der Aluminiumoxidschicht bedeckt ist, dessen Korrosionsbeständigkeit durch die Beschichtung mit der Aluminiumoxidschicht mit einer großen Korrosionsbeständigkeit verbessert, aber man kann nicht sagen, dass die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements ausreichend ist.

In diesem Zusammenhang ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein korrosionsbeständiges Element, welches mit großer Korrosionsbeständigkeit ausgestattet ist, sowie ein Herstellungsverfahren dafür bereitzustellen.

Das korrosionsbeständige Element gemäß der vorliegenden Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens ein Abschnitt davon, der einer korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus einem korrosionsbeständigen Material besteht, das wenigstens eines von einem Oxid, welches Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen.

Das korrosionsbeständige Material mit der vorstehend beschriebenen Zusammensetzung weist eine überaus hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf. Daher kann das korrosionsbeständige Element, bei dem wenigstens der Abschnitt, welcher der korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus dem korrosionsbeständigen Material gebildet ist, mit der äußerst großen Korrosionsbeständigkeit ausgestattet werden. Bei dem korrosionsbeständigen Element muss nur wenigstens der Abschnitt davon, welcher der korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus dem vorstehend beschriebenen korrosionsbeständigen Material gebildet sein. Daher kann bei dem korrosionsbeständigen Element ein Teil davon aus dem vorstehend beschriebenen korrosionsbeständigen Material gebildet sein, oder das gesamte Element kann aus dem vorstehend beschriebenen korrosionsbeständigen Material gebildet sein.

Z.B. kann das Calciumaluminiumoxid wenigstens eines von Ca₁₂Al₁₄O₃₃ und Ca₃Al₂O₆ enthalten. Dadurch wird die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements weiter verbessert.

Es ist bevorzugt, dass das korrosionsbeständige Material Calcium in einem Anteil von 30 bis 80 Gew.-% und Aluminium in einem Anteil von 20 bis 70 Gew.-% enthält. Dadurch kann das korrosionsbeständige Material mit einer gleichmäßigen Zusammensetzung bei niedrigerer Temperatur hergestellt werden.

Das korrosionsbeständige Element kann einschließen: einen Grundkörper und eine korrosionsbeständige Schicht aus dem korrosionsbeständigen Material, welche auf dem Grundkörper ausgebildet ist. Dadurch kann die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements vergrößert werden, während die dem Grundkörper innewohnenden Eigenschaften ausgenutzt werden. Z.B. kann aufgrund der Tatsache, dass der Grundkörper einer mit einer großen thermischen Leitfähigkeit ist, das korrosionsbeständige Element einschließlich des Grundkörpers mit großer thermischer Leitfähigkeit und großer Korrosionsbeständigkeit versehen werden. Darüber hinaus kann aufgrund der Tatsache, dass der Grundkörper einer mit einer großen Festigkeit ist, das korrosionsbeständige Element einschließlich des Grundkörpers mit einer großen Festigkeit und großen Korrosionsbeständigkeit versehen werden.

Es ist bevorzugt, dass die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 0,5 μm bis 20 μm beträgt. Dadurch kann eine ausreichende Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements gewährleistet werden, und eine durch einen Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht hervorgerufene Spannung kann verringert werden.

Es ist bevorzugt, dass die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) der Oberfläche des Grundkörpers, auf welcher die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet ist, 0,05 μm bis 2,0 μm beträgt. Dadurch kann eine Haftung zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht gewährleistet werden, und eine ausreichende Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements kann gewährleistet werden.

Es ist bevorzugt, dass der Grundkörper Aluminiumnitrid enthält. Dadurch können die thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Grundkörpers und der korrosionsbeständigen Schicht aneinander angenähert werden, und die Haftung zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht kann vergrößert werden. Da die thermische Leitfähigkeit von Aluminiumnitrid groß ist, kann zusätzlich das korrosionsbeständige Element einschließlich des Grundkörpers, welches das Aluminiumnitrid enthält, mit einer großen thermischen Leitfähigkeit und einer großen Korrosionsbeständigkeit versehen werden.

Das vorstehend beschriebene korrosionsbeständige Element kann für wenigstens eine von einer Herstellung einer Halbleitervorrichtung und einer Herstellung einer Flüssigkristallvorrichtung eingesetzt werden.

Ein Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen Elements gemäß der vorliegenden Erfindung schließt ein: Schmelzen eines Rohmaterials eines korrosionsbeständigen Materials, welches wenigstens eines von einem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen, und Abkühlen des Rohmaterials. Dadurch kann ein korrosionsbeständiges Element mit großer Korrosionsbeständigkeit bereitgestellt werden, welches aus dem korrosionsbeständigen Material mit hervorragender Korrosionsbeständigkeit besteht.

Es ist bevorzugt, dass das Rohmaterial bei 1500°C oder niedriger geschmolzen werden kann. Das Rohmaterial des korrosionsbeständigen Materials, welches die vorstehend beschriebene Zusammensetzung aufweist, kann bei einer niedrigen Temperatur von 1500°C oder niedriger geschmolzen werden. Dadurch kann die zur Herstellung des korrosionsbeständigen Elements erforderliche Energie verringert werden, und seine Herstellungskosten können in einem großen Ausmaß verringert werden. Darüber hinaus können in dem Fall der Ausbildung der korrosionsbeständigen Schicht auf dem Grundkörper solche Einflüsse wie etwa eine Verformung des Grundkörpers und eine Veränderung seiner Charakteristik, welche durch die darauf einwirkende Wärme bzw. Hitze hervorgerufen werden, verringert werden.

Darüber hinaus wird das vorstehend beschriebene Rohmaterial auf einem Grundkörper angebracht bzw. angehaftet und wird geschmolzen, was es möglich macht, ein korrosionsbeständiges Element bereitzustellen, bei dem die korrosionsbeständige Schicht auf dem Grundkörper ausgebildet ist.

(Korrosionsbeständiges Element)

Ein korrosionsbeständiges Element gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung besteht aus einem korrosionsbeständigen Material mit hervorragender Korrosionsbeständigkeit, bei dem wenigstens ein Abschnitt, der einer korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, eine spezielle Zusammensetzung aufweist.

Die korrosive Umgebung schließt z.B. eine Umgebung ein, in welcher ein korrosives Gas auf Halogenbasis, wie etwa ein Gas auf Fluorbasis und ein Gas auf Chlorbasis, vorliegt. Darüber hinaus schließt die korrosive Umgebung eine Umgebung mit einer höheren Korrosionseigenschaft ein, in welcher das korrosive Gas auf Halogenbasis in Plasma umgewandelt ist. Darüber hinaus schließt die korrosive Umgebung eine Umgebung mit einer viel höheren Korrosionseigenschaft ein, in welcher das korrosive Gas auf Halogenbasis und das Plasma aus diesem vorliegen, wobei die Umgebung bei einer hohen Temperatur gehalten wird.

Bei dem korrosionsbeständigen Element gemäß dieser Ausführungsform muss wenigstens der Abschnitt davon, welcher solch einer stark korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, nur wenigstens eines von einem Oxid, welches Calciumoxid (CaO) und Aluminiumoxid (Al₂O₃) enthält, und von einem Calciumaluminiumoxid (Ca_xAl_yO_z) enthalten, und muss nur aus einem korrosionsbeständigen Material bestehen, in welchem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen. Daher kann bei dem korrosionsbeständigen Element ein Teil davon aus dem korrosionsbeständigen Material bestehen, oder das gesamte Element kann aus dem korrosionsbeständigen Material bestehen.

Das korrosionsbeständige Material enthält wenigstens eines von dem Oxid, welches Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von dem Calciumaluminiumoxid. Speziell enthält das korrosionsbeständige Material wenigstens eines von sowohl Calciumoxid als auch Aluminiumoxid und von dem Calciumaluminiumoxid als eine Verbindung. Daher schließen Kombinationen für die in dem korrosionsbeständigen Material enthaltenen Oxide eine Kombination aus dem Calciumoxid und dem Aluminiumoxid als einem ersten Kombinationsbeispiel, das Calciumaluminiumoxid als einem zweiten Kombinationsbeispiel, eine Kombination aus dem Calciumaluminiumoxid und dem Calciumoxid als einem dritten Kombinationsbeispiel, eine Kombination aus dem Calciumaluminiumoxid und dem Aluminiumoxid als einer vierten Kombination und eine Kombination aus dem Calciumaluminiumoxid, dem Calciumoxid und dem Aluminiumoxid als einem letzten Kombinationsbeispiel ein.

Die in dem korrosionsbeständigen Material enthaltenen Seltenerdelemente sind auf weniger als 5 Gew.-% eingestellt. Wenn Seltenerdelement in dem korrosionsbeständigen Material enthalten ist, steigt im Allgemeinen der Schmelzpunkt des korrosionsbeständigen Materials an. Bei einer Verringerung des Gehalts an Seltenerdelement sinkt daher der Schmelzpunkt des korrosionsbeständigen Materials ab, was unter dem Gesichtspunkt der Eigenschaften des korrosionsbeständigen Materials und der Herstellbarkeit des korrosionsbeständigen Elements einen Vorteil ergibt. Z.B. gibt es in dem Fall, dass der Grundkörper aus Aluminiumnitrid (AlN) besteht, dann, wenn die Schmelztemperatur so hoch wie 1500°C oder höher liegt, die Besorgnis, dass eine Veränderung des Volumenwiderstands, eine Verschlechterung der gleichmäßigen Heizleistung und eine Kriechverformung in dem Grundkörper auftreten können. Darüber hinaus tritt bei einem Anstieg der Schmelztemperatur eine durch einen Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der korrosionsbeständigen Schicht und dem Grundkörper hervorgerufene Spannung auf. Daher gibt es die Besorgnis, dass sich die Haftung der korrosionsbeständigen Schicht verschlechtert und bei der korrosionsbeständigen Schicht ein Abblättern, eine Rissbildung und dergleichen auftritt. Allerdings ist in einigen Fällen Y₂O₃ oder dergleichen, welches im Allgemeinen als Sinterhilfsstoff zu dem AlN und dergleichen des Grundkörpers zugegeben ist, bis zu einem gewissen Maß in das korrosionsbeständige Material hineindiffundiert und ist in dem korrosionsbeständigen Material enthalten. Dementsprechend ist das in dem korrosionsbeständigen Material enthaltene Seltenerdelement auf weniger als 5 Gew.-% eingestellt. Es ist mehr bevorzugt, dass das korrosionsbeständige Material im Wesentlichen überhaupt kein Seltenerdelement enthält.

Wie vorstehend beschrieben, weist das korrosionsbeständige Material eine spezielle Zusammensetzung auf, welche wenigstens eines von dem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von dem Calciumaluminiumoxid enthält und in dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen, was es möglich macht, dass dieses eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit aufweist.

In dem Fall, dass Calciumaluminiumoxid (Ca_xAl_yO_z) enthalten ist, kann das korrosionsbeständige Material z.B. wenigstens eine Verbindung von Ca₁₂Al₁₄O₃₃ (x = 12, y = 14, z = 33) und Ca₃Al₂O₆ (x = 3, y = 2, z = 6) als das betrachtete Calciumaluminiumoxid enthalten. Speziell kann das korrosionsbeständige Material für das Calciumaluminiumoxid nur Ca₁₂Al₁₄O₃₃ enthalten, kann nur Ca₃Al₂O₆ enthalten, kann sowohl Ca₁₂Al₁₄O₃₃ als auch Ca₃Al₂O₆ enthalten oder kann des Weiteren zusätzlich dazu ein Calciumaluminiumoxid enthalten, welches eine andere Zusammensetzung als Ca₁₂Al₁₄O₃₃ und Ca₃Al₂O₆ aufweist. Dadurch kann die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Materials weiter verbessert werden.

Wenn das korrosionsbeständige Material wenigstens eines von dem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von dem Calciumaluminiumoxid enthält und wenn die Seltenerdelemente darin weniger als 5 Gew.-% ausmachen, dann kann das korrosionsbeständige Material andere Elemente und Verbindungen enthalten.

Um den Schmelzpunkt des korrosionsbeständigen Materials abzusenken und um den Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zu dem Grundkörper zu verringern, kann das korrosionsbeständige Material z.B. ein Oxid wie etwa ein Alkalimetalloxid, ein Erdalkalimetalloxid und eine glasbildende Substanz enthalten. Die glasbildende Substanz kann z.B. Siliciumoxid (SiO₂), Boroxid (B₂O₃), Phosphoroxid (P₂O₃) und dergleichen einschließen. Es ist allerdings bevorzugt, dass Siliciumoxid (SiO₂) in dem korrosionsbeständigen Material zu 10 Gew.-% oder weniger enthalten ist, um die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Materials beizubehalten.

Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass die Gesamtmenge der Oxide, die von dem Oxid verschieden sind, welches wenigstens eines von Calcium und Aluminium enthält, wobei das Oxid in dem korrosionsbeständigen Material enthalten ist, weniger als 20 Gew.-% beträgt. Dadurch kann die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Materials weiter verbessert werden. Es ist mehr bevorzugt, dass die Gesamtmenge der Oxide 10 Gew.-% oder weniger beträgt. Es ist unter dem Gesichtspunkt der Korrosionsbeständigkeit noch mehr bevorzugt, dass das korrosionsbeständige Material keine Oxide enthält, die von dem Oxid verschieden sind, welches wenigstens eines von Calcium und Aluminium enthält.

Bezüglich der verbleibenden Komponenten ausschließlich Sauerstoff ist es bevorzugt, dass das korrosionsbeständige Material Calcium in einem Anteil von 30 bis 80 Gew.-% und Aluminium in einem Anteil von 20 bis 70 Gew.-% enthält (die Gesamtmenge von beiden beträgt 100 Gew.-% oder weniger). Durch solch einen kompoundierten Anteil des Calciums und des Aluminiums kann das korrosionsbeständige Material mit einer gleichmäßigen Zusammensetzung bei niedrigerer Temperatur hergestellt werden. Bezüglich der verbleibenden Komponenten ausschließlich Sauerstoff ist es mehr bevorzugt, dass das korrosionsbeständige Material Calcium in einem Anteil von 45 bis 70 Gew.-% und Aluminium in einem Anteil von 30 bis 55 Gew.-% enthält (die Gesamtmenge von beiden beträgt 100 Gew.-% oder weniger).

Das teilweise aus dem korrosionsbeständigen Material gebildete korrosionsbeständige Element kann einen Grundkörper und eine korrosionsbeständige Schicht aus dem korrosionsbeständigen Material einschließen, welche auf einer Oberfläche des Grundkörpers ausgebildet ist. Dadurch kann die Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements durch das korrosionsbeständige Material verbessert werden, während die dem Grundkörper innewohnenden Charakteristika ausgenutzt werden. Z.B. kann aufgrund der Tatsache, dass der Grundkörper einer mit einer großen thermischen Leitfähigkeit ist, das korrosionsbeständige Element einschließlich des Grundkörpers mit einer großen thermischen Leitfähigkeit und einer großen Korrosionsbeständigkeit versehen werden. Darüber hinaus kann aufgrund der Tatsache, dass der Grundkörper einer mit einer großen Festigkeit ist, das korrosionsbeständige Element einschließlich des Grundkörpers mit einer großen Festigkeit und einer großen Korrosionsbeständigkeit versehen werden.

Das Material des Grundkörpers ist nicht beschränkt. Der Grundkörper muss nur dazu in der Lage sein, die korrosionsbeständige Schicht zu tragen, und muss mit einer Hitzefestigkeit versehen sein, um einem Erhitzen zu widerstehend, wenn die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet wird. Es ist bevorzugt, dass der Grundkörper einen thermischen Ausdehnungskoeffizienten aufweist, welcher annähernd gleich zu jenem der korrosionsbeständigen Schicht ist. Es ist bevorzugt, dass der Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht 6,0 × 10^–6/K oder weniger beträgt.

Wenn es z.B. erwünscht ist, die thermische Leitfähigkeit des Grundkörpers zu erhöhen, kann der Grundkörper darüber hinaus Aluminiumnitrid, Siliciumcarbid und dergleichen enthalten.

Insbesondere ist es bevorzugt, dass der Grundkörper Aluminiumnitrid enthält. Dadurch können die thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Grundkörpers und der korrosionsbeständigen Schicht aneinander angenähert werden, und die Haftung zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht kann verbessert werden. Da die thermische Leitfähigkeit des Aluminiumnitrids groß ist, kann das korrosionsbeständige Element zusätzlich mit einer großen thermischen Leitfähigkeit und großen Korrosionsbeständigkeit versehen werden. In dem Fall, dass für den Grundkörper ein gesinterter Körper aus Aluminiumnitrid eingesetzt wird, beträgt die Reinheit des gesinterten Körpers aus Aluminiumnitrid bevorzugt z.B. 85 Gew.-% oder mehr und mehr bevorzugt 90 Gew.-% oder mehr.

Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) (JIS B0601) der Oberfläche des Grundkörpers, auf welcher die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet ist, 0,05 μm bis 2,0 μm beträgt. Die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) der Oberfläche ist auf 0,05 μm oder mehr eingestellt, was es möglich macht, die Haftung zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht zu gewährleisten. Die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) ist auf 2,0 μm oder weniger eingestellt, was es möglich macht, eine ausreichende Korrosionsbeständigkeit des korrosionsbeständigen Elements zu gewährleisten. Es ist mehr bevorzugt, dass die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) 0,1 μm bis 1,2 μm beträgt.

Darüber hinaus ist es bevorzugt, dass die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 0,5 μm bis 20 μm beträgt. Die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht ist auf 0,5 μm oder mehr eingestellt, was es möglich macht, eine ausreichende Korrosionsbeständigkeit der korrosionsbeständigen Schicht zu gewährleisten. Die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht ist auf 20 μm oder weniger eingestellt, was es möglich macht, eine durch den Unterschied im thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen dem Grundkörper und der korrosionsbeständigen Schicht hervorgerufene Spannung zu verringern. Daher kann z.B. verhindert werden, dass sich die korrosionsbeständige Schicht von dem Grundkörper ablöst und zu einer Quelle für Teilchen wird, wie in dem Fall, in dem die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 20 μm übersteigt. Es ist mehr bevorzugt, dass die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 1 bis 10 μm beträgt.

Das vorstehend beschriebene korrosionsbeständige Element kann für verschiedene Zwecke wie etwa die Herstellung einer Halbleitervorrichtung und die Herstellung einer Flüssigkristallvorrichtung verwendet werden, bei denen eine Korrosionsbeständigkeit erforderlich ist. Z.B. kann das korrosionsbeständige Element für eine elektrostatische Haltevorrichtung und einen Suszeptor, die jeweils ein Substrat wie etwa einen Halbleiterwafer und ein Flüssigkristallsubstrat halten, einen Heizer, welcher das Substrat hält und erhitzt und des Weiteren einen Ring und einen Ausrichtungsschieber eingesetzt werden. In dem Fall, dass das korrosionsbeständige Element für die elektrostatische Haltevorrichtung oder den Suszeptor eingesetzt wird, schließt das korrosionsbeständige Element Elektroden ein. In dem Fall, dass das korrosionsbeständige Element für den Heizer eingesetzt wird, schließt das korrosionsbeständige Element einen Widerstandsheizkörper ein.

Wenn das korrosionsbeständige Element ein korrosionsbeständiges Element ist, bei dem die korrosionsbeständige Schicht auf einem Grundkörper ausgebildet ist, der Aluminiumnitrid enthält, ist das korrosionsbeständige Element insbesondere mit einer großen Korrosionsbeständigkeit und großen thermischen Leitfähigkeit versehen. Dementsprechend wird in dem Fall, dass das korrosionsbeständige Element für die elektrostatische Haltevorrichtung, den Suszeptor, den Heizer oder dergleichen eingesetzt wird, nicht nur das korrosionsbeständige Element nicht korrodiert, sondern zudem kann eine gleichmäßige Temperatur des Substrats beibehalten werden.

(Herstellungsverfahren)

Das vorstehend beschriebene korrosionsbeständige Element kann durch Schmelzen, Abkühlen und Verfestigen eines Rohmaterials des korrosionsbeständigen Materials hergestellt werden, welches wenigstens eines von dem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von dem Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen.

Zuerst wird das Rohmaterial hergestellt. Für das Rohmaterial können Verbindungen eingesetzt werden, welche Calciumoxid, Aluminiumoxid und Calciumaluminiumoxid erzeugen, d.h. eine Quelle für das Calciumoxid, eine Quelle für das Aluminiumoxid, eine Quelle für das Calciumaluminiumoxid und dergleichen. Alternativ können Calciumoxid, Aluminiumoxid und Calciumaluminiumoxid direkt eingesetzt werden.

Z.B. werden eine Calciumverbindung wie etwa Calciumoxid, Calciumcarbid (CaCO₃) und Calciumhydroxid (Ca(OH)₂) und eine Aluminiumverbindung wie etwa Aluminiumoxid und Aluminiumhydroxid (Al(OH)₃) abgewogen und miteinander vermengt, und dadurch wird das Rohmaterial hergestellt. Eine Mischung aus der Calciumverbindung und der Aluminiumverbindung wird zur Quelle für das Calciumaluminiumoxid. Darüber hinaus dient die Calciumverbindung zudem als Quelle für das Calciumoxid, und die Aluminiumverbindung dient zudem als Quelle für das Aluminiumoxid.

Bezüglich dieser Verbindungen ist es bevorzugt, das Rohmaterial des korrosionsbeständigen Materials zu erhalten, indem das Calcium und das Aluminium so abgewogen und miteinander vermengt werden, dass die Massenanteile des Calciums und des Aluminiums in dem Rohmaterial 30 bis 80 Gew.-% bzw. 20 bis 70 Gew.-% betragen können. Dadurch kann ein korrosionsbeständiges Material mit einer gleichmäßigen Zusammensetzung bei einer niedrigeren Temperatur hergestellt werden.

Darüber hinaus können gemäß den Anforderungen die Verbindungen, welche die vermengbaren Oxide wie etwa das Alkalimetalloxid, das Erdalkalimetalloxid und die glaserzeugende Substanz erzeugen, ebenfalls abgewogen und vermengt werden. Für die Verbindungen, welche die Oxide wie etwa das Alkalimetalloxid, das Erdalkalimetalloxid und die glaserzeugende Substanz erzeugen, können Hydroxide, Oxide und dergleichen jener Elemente eingesetzt werden, die in dem Alkalimetall, dem Erdalkalimetall und der glaserzeugenden Substanz enthalten sind.

Im Falle der Herstellung eines korrosionsbeständigen Elements, bei dem die korrosionsbeständige Schicht auf dem Grundkörper ausgebildet ist, wird z.B. das Rohmaterial auf dem Grundkörper angebracht, gefolgt von Schmelzen und Abkühlen. Das Rohmaterial muss nur auf einem Abschnitt des Grundkörpers anhaften, für den es erwünscht ist, dass auf ihm die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet wird. Obwohl das vorstehend beschriebene Rohmaterial direkt eingesetzt werden kann, ist es in diesem Fall bevorzugt, eines einzusetzen, welches durch Schmelzen des Rohmaterials gefolgt von Homogenisieren erhalten ist. Speziell wird das Rohmaterial einmal aufgeschmolzen und abgekühlt, gefolgt von einer Pulverisation, und das so erhaltene Pulver wird zubereitet. Es ist bevorzugt, dass das so durch solch ein Verfahren wie vorstehend beschrieben zu einem Pulver pulverisierte Rohmaterial auf dem Grundkörper angebracht wird. Dadurch kann eine gleichmäßigere korrosionsbeständige Schicht ausgebildet werden. Es ist bevorzugt, dass der mittlere Teilchendurchmesser des Rohmaterials in Pulverform 10 bis 50 μm beträgt. Für das Rohmaterial kann z.B. eines eingesetzt werden, welches bei 1400°C bis 1600°C aufgeschmolzen wurde.

Um das Rohmaterial auf dem Grundkörper anzubringen, wird z.B. eine Lösung, in welcher das Rohmaterial mit einem Lösungsmittel vermengt ist, oder eine Paste, in welcher das Rohmaterial mit einem Bindemittel vermengt ist, hergestellt. Als Nächstes kann das Rohmaterial auf den Grundkörper auf solch eine Weise aufgebracht werden, dass die Lösung oder die Paste auf den Grundkörper durch Pinseln aufgebracht wird, dass die Lösung oder die Paste auf den Grundkörper unter Verwendung einer Sprühvorrichtung und dergleichen aufgesprüht wird, dass der Grundkörper in die Lösung oder die Paste eingetaucht wird, gefolgt von einem Herausziehen (Eintauchen), oder dass die Paste durch Siebdruck und dergleichen auf den Grundkörper aufgedruckt wird. Für das Bindemittel kann Polyvinylalkohol (PVA) und dergleichen eingesetzt werden.

Alternativ wird der Grundkörper in eine Modell- bzw. Pressform eingebracht, das Rohmaterial wird in Pulverform auf den Grundkörper aufgefüllt und das Rohmaterial kann dadurch auf dem Grundkörper angebracht werden. Alternativ wird das Rohmaterial thermisch auf den Grundkörper gesprüht, und das Rohmaterial kann dadurch auf dem Grundkörper angebracht werden. In diesem Fall ist es bevorzugt, das Rohmaterial thermisch aufzusprühen, welches durch einmaliges Aufschmelzen in ein Pulver umgewandelt wurde.

Es ist bevorzugt, die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) (JIS B0601) der Oberfläche des Grundkörpers, auf dem die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet wird, vorausgehend auf 0,05 μm bis 2,0 μm einzustellen. Es ist mehr bevorzugt, die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) vorausgehend auf 0,1 μm bis 1,2 μm einzustellen. Z.B. wird die Oberfläche des Grundkörpers unter Einsatz eines Oberflächenschleifers, einer Hochgeschwindigkeits-Läppmaschine und dergleichen mechanisch bearbeitet, was es möglich macht, die durchschnittliche Oberflächenrauheit in dem vorstehend angegebenen Bereich einzustellen.

Als Nächstes wird das Rohmaterial in dem Zustand, in dem es auf dem Grundkörper anhaftet, erhitzt und geschmolzen. Die Schmelztemperatur ist nicht beschränkt, solange sie gleich zu oder höher als die Temperatur ist, bei der das Rohmaterial schmilzt; allerdings ist es bevorzugt, die Schmelztemperatur auf 1500°C oder niedriger einzustellen. Das Rohmaterial des korrosionsbeständigen Materials, welches die vorstehend beschriebene Zusammensetzung aufweist, kann bei der niedrigen Temperatur von 1500°C oder niedriger geschmolzen werden. Dadurch kann die zur Herstellung des korrosionsbeständigen Elements erforderliche Energie verringert werden, und seine Herstellungskosten können in einem großen Ausmaß verringert werden. Darüber hinaus können solche Einflüsse wie etwa eine Verformung des Grundkörpers und eine Veränderung seiner Charakteristik, welche durch die darauf angewendete bzw. einwirkende Hitze hervorgerufen werden, verringert werden. Es ist mehr bevorzugt, dass die Schmelztemperatur 1400°C bis 1500°C beträgt.

Das Schmelzen des Rohmaterials kann z.B. in einer Inertgasatmosphäre aus Stickstoffgas, Argongas und dergleichen sowie in einer Atmosphäre mit verringertem Druck durchgeführt werden. Die Schmelzdauer kann z.B. auf 0,1 Stunde bis 2,0 Stunden eingestellt werden. Darüber hinaus ist es bevorzugt, die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs bis zur Schmelztemperatur auf 0,5 bis 10,0°C/min einzustellen. Wenn die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs weniger als 0,5°C/min beträgt, gibt es die Möglichkeit, dass das Rohmaterial kristallisiert, was seinen Schmelzpunkt anhebt, so dass sich die Schmelztemperatur erhöht. Die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs ist auf 10,0°C/min oder weniger eingestellt, was es möglich macht, einen Bruch des korrosionsbeständigen Elements zu verhindern.

Das Rohmaterial wird wie vorstehend beschrieben geschmolzen, gefolgt von Abkühlen, was es möglich macht, ein korrosionsbeständiges Element zu erhalten, bei dem die korrosionsbeständige Schicht auf dem Grundkörper ausgebildet ist. Es ist bevorzugt, die Geschwindigkeit der Temperaturabnahme auf Raumtemperatur auf 1 bis 10°C/min einzustellen. Wenn die Geschwindigkeit der Temperaturabnahme weniger als 1°C/min oder weniger beträgt, dauert dies zu lange und ist nicht wirtschaftlich. Die Geschwindigkeit der Temperaturabnahme ist auf 10°C/min oder weniger eingestellt, was es möglich macht, ein Auftreten eines Risses zu verhindern.

Indessen wird im Falle der Herstellung eines vollständig aus dem korrosionsbeständigen Material bestehenden korrosionsbeständigen Elements das Rohmaterial geschmolzen und in die Modellform gegossen, gefolgt von Abkühlen, was es möglich macht, ein korrosionsbeständiges Element mit einer festgelegten Gestalt zu erhalten. Alternativ kann das Rohmaterial in Pulverform in die Modellform eingefüllt, erhitzt und geschmolzen werden, gefolgt von Abkühlen. In diesem Fall können das Rohmaterial in Pulverform und das Bindemittel wie etwa der Polyvinylalkohol (PVA) zudem miteinander vermengt werden, und eine so erhaltene Mischung kann ebenfalls in die Modellform eingefüllt werden.

Zudem können in dem vorstehend beschriebenen Fall der Herstellung des korrosionsbeständigen Elements, welches vollständig aus dem korrosionsbeständigen Material gebildet ist, die Schmelz- und Abkühlbedingungen für das Rohmaterial, d.h. die Schmelztemperatur, die Atmosphäre, die Schmelzdauer, die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs, die Geschwindigkeit der Temperaturabnahme und dergleichen, ähnlich zu jenen in dem vorstehend beschriebenen Fall des Ausbildens der korrosionsbeständigen Schicht auf dem Grundkörper eingestellt werden.

Wie vorstehend beschrieben kann gemäß dem korrosionsbeständigen Element und seinem Herstellungsverfahren gemäß dieser Ausführungsform wenigstens ein Abschnitt davon, welcher der korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus dem korrosionsbeständigen Material gebildet sein, welches die spezielle Zusammensetzung aufweist und eine überaus hervorragende Korrosionsbeständigkeit hat. Daher kann ein korrosionsbeständiges Element bereitgestellt werden, welches mit einer äußerst großen Korrosionsbeständigkeit versehen ist.

Dementsprechend kann ein korrosionsbeständiges Element bereitgestellt werden, welches selbst einer schwerwiegenden Umgebung wie etwa der Umgebung, bei der ein korrosives Gas auf Halogenbasis in ein Plasma umgewandelt ist, und der Umgebung, bei der das korrosive Gas auf Halogenbasis in ein Plasma umgewandelt ist, wobei die Umgebung des Weiteren bei einer hohen Temperatur gehalten wird, widerstehen. Daher kann das korrosionsbeständige Element gemäß dieser Ausführungsform in ausreichender Weise selbst einem Vorgang (z.B. einem Reinigungsvorgang) unter solch einer korrosiven Hochtemperaturumgebung widerstehen, in welcher ein herkömmliches korrosionsbeständiges Element aus Aluminiumnitrid korrodiert wird und sich ein Teil davon ablöst, so dass er Teilchen ausbildet.

Als Nächstes wird die vorliegende Erfindung noch viel detaillierter durch Heranziehen von Beispielen beschrieben; allerdings ist die vorliegende Erfindung keinesfalls auf die nachstehend beschriebenen Beispiele beschränkt.
[Beispiel 1]
5 Gew.-% Yttriumoxid wurden als Sinterhilfsstoff zu 95 Gew.-% Aluminiumnitridpulver zugegeben, und sie wurden zusammen unter Verwendung einer Kugelmühle vermengt. Bindemittel wurde zu dem so erhaltenen vermengten Pulver zugegeben, und eine Aufschlämmung wurde hergestellt. Die Aufschlämmung wurde durch ein Sprühgranulierverfahren granuliert. Das so granulierte Pulver wurde durch ein Formungsverfahren mit einem Gießkopf zu einer flachen Gestalt geformt. Der so erhaltene plattenartige Körper wurde bei 1860°C für 6 Stunden in Stickstoffgas unter Einsatz eines Heißpressverfahrens gesintert. Der so erhaltene gesinterte Aluminiumnitridkörper wurde unter Einsatz eines Oberflächenschleifers mechanisch bearbeitet. Auf solch eine Weise wurde ein Grundkörper aus einem gesinterten Aluminiumnitridkörper hergestellt, bei dem die Größe 15 mm², die Dicke 1 mm und die durchschnittliche Oberflächenrauheit (Ra) der Oberfläche 0,8 betrug.
Als Nächstes wurden bezüglich des Rohmaterials des korrosionsbeständigen Materials Calciumcarbonat und Aluminiumhydroxid so abgewogen und miteinander vermengt, dass der Gewichtsprozentsatz des in Calciumoxid umgewandelten Calciumcarbonats 45 Gew.-% betrug und der Gewichtsprozentsatz des in Aluminiumoxid umgewandelten Aluminiumhydroxids 46 Gew.-% betrug, und das Rohmaterial wurde so hergestellt. Das hergestellte Rohmaterial wurde bei 1450°C aufgeschmolzen und abgekühlt. Danach wurde das Rohmaterial pulverisiert, und ein Rohmaterial in Pulverform wurde so hergestellt. Das hergestellte Rohmaterial in Pulverform und Polyvinylalkohol (PVA) wurden miteinander vermengt, und eine Paste wurde hergestellt. Die Paste wurde durch Siebdrucken so auf den Grundkörper aufgedruckt, dass ihre Dicke 10 μm betrug, und das Rohmaterial wurde auf der gesamten Oberfläche des Grundkörpers angebracht, wodurch der Grundkörper vollständig beschichtet wurde. Die auf den Grundkörper aufgebrachte Paste (welche das Rohmaterial enthielt) wurde für 10 Stunden in der Atmosphäre bei 500°C erhitzt und wurde somit entfettet.
Dann wurde das so bearbeitete Rohmaterial bei der Schmelztemperatur von 1450°C für 2 Stunden in Stickstoffgas gehalten und wurde geschmolzen. Die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs war auf 3,3°C/min eingestellt. Nach dem Aufschmelzen (nachdem es für 2 Stunden gehalten wurde) wurde das Rohmaterial mit einer Geschwindigkeit der Temperaturabnahme von 3,3°C/min auf Raumtemperatur abgekühlt. Auf solch eine Weise wurde eine korrosionsbeständige Schicht mit einer Dicke von 5 μm auf dem Grundkörper aus dem gesinterten Aluminiumnitridkörper ausgebildet, und ein vollständig mit der korrosionsbeständigen Schicht bedecktes korrosionsbeständiges Element wurde hergestellt.
[Beispiel 2]
Bezüglich des Rohmaterials des korrosionsbeständigen Materials wurden Calciumcarbonat und Aluminiumhydroxid so abgewogen und miteinander vermengt, dass der Gewichtsprozentsatz des in Calciumoxid umgewandelten Calciumcarbonats 51 Gew.-% und der Gewichtsprozentsatz des in Aluminiumoxid umgewandelten Aluminiumhydroxids 49 Gew.-% betrug, und das Rohmaterial wurde so hergestellt. Das so hergestellte Rohmaterial wurde für 2 Stunden in Stickstoffgas bei der Schmelztemperatur von 1500°C gehalten und wurde so geschmolzen. Die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs war auf 5°C/min eingestellt. Dann wurde das geschmolzene Rohmaterial in eine aus einem feuerfesten Material bestehende Gießform gegossen und wurde mit einer Geschwindigkeit der Temperaturabnahme von 5°C/min auf Raumtemperatur abgekühlt. Auf solche eine Weise wurde ein vollständig aus dem korrosionsbeständigen Material bestehendes korrosionsbeständiges Element hergestellt, dessen Größe 15 mm² und dessen Dicke 1 mm betrug.
[Beispiel 3]
Bezüglich des Rohmaterials des korrosionsbeständigen Materials wurden Calciumcarbonat und Aluminiumhydroxid so abgewogen und miteinander vermengt, dass der Gewichtsprozentsatz des in Calciumoxid umgewandelten Calciumcarbonats 54 Gew.-% und der Gewichtsprozentsatz des in Aluminiumoxid umgewandelten Aluminiumhydroxids 46 Gew.-% betrug, und das Rohmaterial in Pulverform wurde so hergestellt. Das Rohmaterial und Polyvinylalkohol wurden miteinander vermengt, und die so erhaltene Mischung wurde in eine Gipsform gefüllt. Die Gipsform wurde in einen elektrischen Ofen gesetzt und bei der Schmelztemperatur von 1500°C für 2 Stunden gehalten, und das Rohmaterial wurde so aufgeschmolzen. Die Atmosphäre in dem elektrischen Ofen war auf die (normale) Atmosphäre eingestellt. Die Geschwindigkeit des Temperaturanstiegs war auf 5°C/min eingestellt. Nach dem Aufschmelzen wurde das Rohmaterial mit einer Geschwindigkeit der Temperaturabnahme von 5°C/min auf Raumtemperatur abgekühlt. Auf solch eine Weise wurde ein vollständig aus dem korrosionsbeständigen Material bestehendes korrosionsbeständiges Element hergestellt, dessen Größe 15 mm² und dessen Dicke 1 mm betrug.
[Vergleichsbeispiele 1 und 2]
Zum Vergleich wurden ein gesinterter Aluminiumnitridkörper (Vergleichsbeispiel 1) und ein gesinterter Aluminiumoxidkörper (Vergleichsbeispiel 2) hergestellt, die beide eine Größe von 15 mm² und eine Dicke von 1 mm aufwiesen.
[Bewertung]
NF₃-Gas von 0,1 Torr wurde in ein Reaktionsgefäß eingeleitet und wurde angeregt, um in ein Plasma umgewandelt zu werden. Die korrosionsbeständigen Elemente der Beispiele 1 bis 3, der gesinterte Aluminiumnitridkörper des Vergleichsbeispiels 1 und der gesinterte Aluminiumnitridkörper des Vergleichsbeispiels 2 wurden in das Reaktionsgefäß gegeben. Dann wurde das Innere des Reaktionsgefäßes auf 550°C erhitzt und für 5 Stunden gehalten, und ein Test bezüglich der Korrosionsbeständigkeit wurde durchgeführt. Die Gewichte der vorstehend beschriebenen korrosionsbeständigen Elemente wurden vor und nach dem Test auf Korrosionsbeständigkeit gemessen, und es wurde der Verlust eines jeden der Gewichte (mg/cm²) aufgrund der Korrosion erhalten. Dann wurde der Gewichtsverlust für Aluminiumnitrid als 1,0 genommen, und ein Verhältnis des Gewichtsverlusts eines jeden korrosionsbeständigen Elements bezogen auf den Gewichtsverlust von Aluminiumnitrid wurde erhalten.
Darüber hinaus wurden die Kristallphasen der korrosionsbeständigen Schicht des Beispiels 1 und der korrosionsbeständigen Elemente der Beispiele 2 und 3 durch ein Analyseverfahren mittels Röntgenbeugung analysiert, und der Calciumgehalt, der Aluminiumgehalt und der Seltenerdelementgehalt eines jeden von ihnen wurde durch energiedispersive Spektroskopie (EDS: JED-2200, hergestellt von JEOL Ltd.) analysiert. Somit wurde die Zusammensetzung eines jeden analysiert. Die Analyseergebnisse sind in Tabelle 1 gezeigt. Tabelle 1

*1: Verhältnis des Gewichtsverlusts bezogen auf den Gewichtsverlust von Aluminiumnitrid (der Gewichtsverlust von Aluminiumnitrid wird als 1,0 genommen)

Sowohl die korrosionsbeständige Schicht des Beispiels 1 als auch die korrosionsbeständigen Elemente der Beispiele 2 und 3 enthielten Calciumaluminiumoxid, bei dem der Gehalt an Seltenerdelement weniger als 5 Gew.-% betrug. Darüber hinaus war ein jedes Verhältnis des Gewichtsverlusts der Beispiele 1 bis 3 auf 1/5 jenes des gesinterten Aluminiumnitridkörpers des Vergleichsbeispiels 1 beschränkt und betrug selbst im Vergleich mit dem Verhältnis des Gewichtsverlusts des gesinterten Aluminiumnitridkörpers des Vergleichsbeispiels 2 1/3. Wie vorstehend beschrieben war sowohl bei der korrosionsbeständigen Schicht des Beispiels 1 als auch bei den korrosionsbeständigen Elementen der Beispiele 2 und 3 ihre Korrosion äußert gering. Daher war es möglich zu bestätigen, dass die korrosionsbeständigen Elemente der Beispiele 1 bis 3 eine so große Korrosionsbeständigkeit aufwiesen, dass sie selbst in einer Plasmaumgebung mit hoher Temperatur aus einem korrosiven Gas auf Halogenbasis beständig waren.
Bei einem korrosionsbeständigen Element ist wenigstens ein Abschnitt von diesem, welcher einer korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus einem korrosionsbeständigen Material gebildet, welches Calciumoxid und Aluminiumoxid und Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen.

Claims

Korrosionsbeständiges Element, bei dem wenigstens ein Abschnitt von diesem, der einer korrosiven Umgebung ausgesetzt ist, aus einem korrosionsbeständigen Material besteht, welches wenigstens eines von einem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 1, wobei das Calciumaluminiumoxid wenigstens eines von Ca₁₂Al₁₄O₃₃ und Ca₃Al₂O₆ enthält.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 1, wobei das korrosionsbeständige Material Calcium in einem Anteil von 30 bis 80 Gew.-% und Aluminium in einem Anteil von 20 bis 70 Gew.-% enthält.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 1 mit: einem Grundkörper und einer korrosionsbeständigen Schicht aus dem korrosionsbeständigen Material, wobei die korrosionsbeständige Schicht auf dem Grundkörper ausgebildet ist.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 4, wobei die Dicke der korrosionsbeständigen Schicht 0,5 μm bis 20 μm beträgt.
Korrosionsbeständiges Element nach einem der Ansprüche 4 und 5, wobei die durchschnittliche Oberflächenrauheit der Oberfläche des Grundkörpers, auf welcher die korrosionsbeständige Schicht ausgebildet ist, 0,05 μm bis 2,0 μm beträgt.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 4, wobei der Grundkörper Aluminiumnitrid enthält.
Korrosionsbeständiges Element nach Anspruch 1, wobei das korrosionsbeständige Element für wenigstens eine von einer Herstellung einer Halbleitervorrichtung und einer Herstellung einer Flüssigkristallvorrichtung eingesetzt wird.
Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen Elements, umfassend: Schmelzen eines Rohmaterials eines korrosionsbeständigen Materials, welches wenigstens eines von einem Oxid, das Calciumoxid und Aluminiumoxid enthält, und von Calciumaluminiumoxid enthält und bei dem die Seltenerdelemente weniger als 5 Gew.-% ausmachen, und Abkühlen des Rohmaterials.
Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen Elements nach Anspruch 9, wobei das Rohmaterial des korrosionsbeständigen Materials bei 1500°C oder niedriger geschmolzen wird.
Verfahren zur Herstellung eines korrosionsbeständigen Elements nach Anspruch 9, wobei das Rohmaterial auf einem Grundkörper angebracht und geschmolzen wird.