JP4277134B2 - 酸化アルミニウム被覆窒化アルミニウムの製造方法 - Google Patents
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- 窒化アルミニウムからなる素材、又は焼結助剤を使用して窒化アルミニウム粉末を焼結した窒化アルミニウムの焼結体からなる素材を、酸素ガスを実質的に含有しない雰囲気に保持して1100℃以上の温度に昇温する工程と、その後、雰囲気を酸化性雰囲気にして1100℃以上の温度で前記素材と酸素ガス又は酸素含有ガスとを接触させて前記素材の表面に酸化膜を形成する工程と、を有することを特徴とする酸化アルミニウム被覆窒化アルミニウムの製造方法。
- 前記昇温工程は、前記窒化アルミニウムからなる素材、又は焼結助剤を使用して窒化アルミニウム粉末を焼結した窒化アルミニウムの焼結体からなる素材を不活性ガス雰囲気中で1100℃以上に昇温する工程を有することを特徴とする請求項1に記載の酸化アルミニウム被覆窒化アルミニウムの製造方法。
- 前記酸化膜は、1100乃至1200℃の温度で形成することを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化アルミニウム被覆窒化アルミニウムの製造方法。
- 前記不活性ガス雰囲気は、窒素ガス雰囲気であることを特徴とする請求項2に記載の酸化アルミニウム被覆窒化アルミニウムの製造方法。
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