DE102004035150A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Halbleiterbauelementprüfung - Google Patents
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Abstract
Eine Halbleiterbauelementprüfvorrichtung der Erfindung beinhaltet einen Hauptkörper (201) und eine Stapeleinrichtung (210) zum Stapeln von Bauelementen vor und nach einer Prüfung. Die Stapeleinrichtung beinhaltet wenigstens eine Benutzermagazinzufuhreinrichtung (214), der vorab eine Funktion zum Stapeln ungeprüfter Bauelemente zugewiesen wird, und wenigstens eine Benutzermagazinsendeeinrichtung (214'), der vorab eine Funktion zum Stapeln geprüfter Bauelemente zugewiesen wird, wobei die Benutzermagazinfunktionen während des Stapelvorgangs austauschbar sind.
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