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[Gebiet der Erfindung]
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Prüfkarten Trägerelement zur Messung elektrischer
Eigenschaften eines Halbleiterbauteiles, wie eines LSI-Chips.
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[Beschreibung des Standes
der Technik]
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Wie
in 4 gezeigt, umfasst
ein Prüfkarten Trägerelement üblicherweise
ein Hauptträgerelement
mit einer ersten Hauptfläche 1a', welche mit
einer Messeinrichtung zur Prüfung
eines Halbleiterelements verbundene erste Verbindungselektroden 3' aufweist, und
eine zweite Hauptfläche 1b' mit zweiten
Verbindungselektroden 4',
welche über
Verdrahtungen mit den ersten Verbindungselektroden elektrisch verbunden
sind, ein Unterträgerelement 2' mit einer zweiten
Hauptfläche 2b', welche mit
Kontakten, die in Kontakt mit einem geprüften Objekt (Halbleiterelement)
in Kontakt kommen, verbundene vierte Verbindungselektroden 6' aufweist, und
mit einer ersten Hauptfläche 2a', welche über Verdrahtungen
mit den vierten Verbindungselektroden 4' elektrisch verbundene dritte Verbindungselektroden 5' aufweist, und abgeknickte
Verbindungspins 9',
deren eines Ende ein zwischen dem Hauptträgerelement 1' und dem Unterträgerelement 2' angeordnetes
Zwischenträgerelement 7' mit den zweiten
Verbindungselektroden 4' des
Hauptträgerelements 1' verbindet,
und deren anderes Ende mit den dritten Verbindungselektroden 5' des Unterträgerelements 2' verbindet.
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[Nachteile des Standes
der Technik und der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe]
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Gemäß dieser
Art eines Prüfkarten
Trägerelements
sind jedoch zumindest zwei Punkte elektrischer Kontakte wie ein
Punkt zwischen der zweiten Hauptfläche des Hauptträgerelements 1' und einem Ende
des Verbindungspins 9' und
ein Punkt zwischen der ersten Hauptfläche des Unterträgerelements 2' und dem anderen
Ende des Verbindungspins 9',
in der Struktur des Verbindungspins 9', welcher als leitfähige Komponente
die gegenüberliegenden
Elektroden verbindet, dient, und dem Stützträgerelement 7', welches den
Verbindungspin 9' trägt, wenn
der Verbindungspin 9' an
einem Ende an die zweiten Verbindungselektroden 4' des Hauptträgerelements 1' verbindet und
das andere Ende an die dritten Verbindungselektroden 5' des Unterträgerelements 2' verbindet.
In dieser Zusammenstellung ist es schwierig für die Spitzen, in geeigneter
Weise miteinander in Kontakt zu kommen, so dass die Stabilität des elektrischen
Kontaktes verringert und ein Kontaktwiderstand erzeugt wird. Im
Ergebnis besteht ein Problem, dass ein Leitungsdefekt insgesamt
möglicherweise
vorkommen kann. Zusätzlich,
da die gebogenen Verbindungspins 9' durch das Unterstützungsträgerelement 7' in einer Weise
gehalten wird, dass ihre Längen
vergrößert werden,
sind deren Richtungen, Abwinklungen und dergleichen nicht gleichförmig, die
Endpositionen der Verbindungspins 9' sind ungenau und viele Leitungsdefekte
werden erzeugt.
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Beispielsweise,
wenn der Abstand zwischen dem Hauptträgerelement 1' und dem Unterträgerelement 2' zu groß ist, wird
kein ausreichender Kontaktdruck zwischen beiden Enden des abgewinkelten und
dünnen
Verbindungspins und der respektiven zweiten Verbindungselektrode 4' des Hauptträgerelements 1' und der dritten
Verbindungselektrode 5' des Unterträgerelements 2' erzeugt, so
dass Kontaktwiderstand erzeugt wird. Im Ergebnis werden deren Kontakte
instabil, was einen Leitfähigkeitsdefekt
verursacht.
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Wenn
dagegen der Abstand zwischen dem Hauptträgerelement 1' und dem Unterträgerelement 2' zu kurz ist,
werden beide Enden des abgewinkelten und dünnen Verbindungspins 9' stark gebogen und
seine Endpositionen werden instabil und können außerhalb des Bereiches des Kontaktes
mit der zweiten Verbindungselektrode 4' des Hauptträgerelements 1', oder des Bereichs
des Kontaktes mit der dritten Verbindungselektrode des Unterträgerelements 2' geraten. Folglich
kann ein zufriedenstellender Kontakt auch in diesem Fall nicht zur
Verfügung gestellt
werden, was den Leitungsdefekt verursacht.
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Des
Weiteren besteht stets Übergangswiderstand
wegen der dünnen
Linie des Verbindungspins 9',
was den Leitungsdefekt unabhängig
vom Abstand zwischen dem Hauptträgerelement 1' und dem Unterträgerelement 2' erzeugt. Des
Weiteren tritt der Leitungsdefekt wahrscheinlich bei Vibration oder Stoß aufgrund
der dünnen
Linie auf.
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[Zusammenfassung der Erfindung]
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Die
vorliegende Erfindung wurde gemacht, um die Probleme eines konventionellen
Prüfkarten Trägerelements
zu lösen,
und es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Prüfkarten
Trägerelement
zur Verfügung
zu stellen, bei dem das Vorkommen eines Kontaktdefektes zwischen
einem Hauptträgerelement
und einem Unterträgerelement
verhindert ist, Stabilität
des elektrischen Kontaktes hoch ist und hohe Zuverlässigkeit
gewährleistet
wird.
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Zur
Lösung
der vorstehenden Probleme umfasst ein Prüfkarten Trägerelement gemäß der vorliegenden
Erfindung ein mit einer Messeinrichtung zur Prüfung eines Halbleiterelements
verbundenes Hauptträgerelement,
ein Unterträgerelement,
auf welchem ein mit dem Halbleiterelement verbundener Kontakt montiert
ist, und eine beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente,
wobei das Hauptträgerelement
und das Unterträgerelement
miteinander verbunden sind zum Zwecke der Fixierung, und Elektroden,
welche auf einer dem Unterträgerelement
gegenüberliegenden
Oberfläche
des Hauptträgerelements
angeordnet sind, und Elektroden, welche auf einer dem Hauptträgerelement
gegenüberliegenden
Oberfläche
des Unterträgerelements
angeordnet sind, elektrisch verbunden sind.
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Andererseits
umfasst ein Prüfkarten
Trägerelement
gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Lösung
der vorstehenden Probleme ein mit einer Messeinrichtung zur Prüfung eines
Halbleiterelements verbundenes Hauptträgerelement, ein Unterträgerelement,
auf welchem ein mit dem Halbleiterelement verbundener Kontakt montiert
ist, und eine beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente,
wobei Elektroden, welche auf einer dem Unterträgerelement gegenüberliegenden
Oberfläche
des Hauptträgerelements
angeordnet sind, und Elektroden, welche auf einer dem Hauptträgerelement
gegenüberliegenden
Oberfläche
des Unterträgerelements
angeordnet sind, elektrisch mittels eines leitfähigen Materials verbunden sind.
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Deweiteren
umfasst ein Prüfkarten
Trägerelement
gemäß der vorliegenden
Erfindung zur Lösung
der vorstehenden Probleme ein mit einer Messeinrichtung zur Prüfung eines
Halbleiterelements verbundenes Hauptträgerelement, ein Unterträgerelement,
auf welchem ein mit dem Halbleiterelement verbundener Kontakt montiert
ist, und eine beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente,
wobei das Hauptträgerelement
und das Unterträgerelement durch
ein elektrisch isolierendes Klebemittel miteinander zum Zwecke der
Fixierung verbunden sind.
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Weiterhin
ist gemäß dem Prüfkarten
Trägerelement
gemäß der vorliegenden
Erfindung das Hauptträgerelement
in der Form eines Kreises oder einer Elipse und das Unterträgerelement
in der Form eines Kreises, einer Elipse oder eines Quadrates.
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Weiterhin
sind gemäß dem Prüfkarten
Trägerelement
gemäß der vorliegenden
Erfindung eine Vielzahl von Fassungslöchern auf der Seite des Unterträgerelements,
die dem Hauptträgerelement
nicht gegenüber
liegt, angebracht und können
Fassungsanschlüsse
eines geprüften
Objektes in die Fassungslöcher
des Unterträgerelements
eingeführt werden.
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[Beschreibung der bevorzugten
Ausführungsbeispiele]
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Folgend
wird eine Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
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1 ist
eine schematische Ansicht, welche eine Querschnittstruktur gemäß der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, 2 ist eine schematische
Ansicht, welche eine Querschnittstruktur gemäß einer anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt, 3 ist eine
erklärende
Ansicht, welche eine andere Ausführungsform
eines Trägerelements
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt, und 4 ist eine schematische Ansicht,
welche eine Querschittstruktur eines konventionellen Prüfkarten
Trägerelements
zeigt.
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Wie
in der 1 gezeigt umfasst ein Prüfkarten Trägerelement A ein Hauptträgerelement 1 mit
einer Vielzahl erster Verbindungselektroden, welche elektrisch mit
einer Messeinrichtung zur Prüfung
eines Halbleiterelementes nicht gezeigt), wie ein Tester, verbunden
sind, ein Unterträgerelement 2 mit
einer Vielzahl vierter Verbindungselektroden 6, welche elektrisch
mit einem getesteten Objekt (Halbleiterelement, nicht gezeigt) verbunden
sind. Das Hauptträgerelement 1 und
das Unterträgerelement 2 sind
miteinander elektrisch verbunden über leitfähige Materialien 10,
welche als leitfähige
Komponenten dienen.
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Wie
in 1 gezeigt, weist das Hauptträgerelement 1 eine
Vielzahl von ersten Verbindungselektroden 3, welche elektrisch
mit den Elektroden der Messvorrichtung (nicht gezeigt) auf der ersten
Hauptfläche 1a verbunden
sind, und eine Vielzahl von zweiten Verbindungselektroden 4 auf
einer zweiten Hauptfläche 1b,
welche elektrisch mit dem Unterträgerelement 2, wie
folgend beschrieben werden wird, verbunden sind, auf. Die ersten
Verbindungselektroden 3 und die zweiten Verbindungselektroden 4 sind über Verdrahtungen
in dem Hauptträgerelement 1 elektrisch
verbunden.
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Auf
dem Hauptträgerelement 1 sind
erste Verbindungselektroden 3 so arrangiert, dass ein Elektrodenabstand
von einem engen Abstand zwischen benachbarten zweiten Verbindungselektroden 4 auf
der zweiten Hauptfläche 1b zu
einem weiten Abstand zwischen benachbarten ersten Verbindungselektroden 3 auf
der ersten Hauptfläche 1a konvertiert
wird zur elektrischen Verbindung an die Elektroden der Messvorrichtung
(nicht gezeigt).
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Das
Hauptträgerelement 1 ist
in der Form eines Kreises oder einer Ellipse, wobei ein Abstand
jedes Verdrahtungsweges der Vielzahl erster Verbindungselektroden 3 auf
der ersten Hauptfläche 1a konstant
gehalten werden kann, um Variationen im Widerstand zu vermeiden.
Obwohl dieses Hauptträgerelement 1 in
der Form eines Kreises oder einer Ellipse in diesem Ausführungsbeispiel
ist, kann die Form nahe bei einem Kreis oder einer Ellipse sein. Beispielsweise
kann es in der Form eines Polygons, wie ein Oktagon, sein.
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Wie
in 1 gezeigt, umfasst das Unterträgerelement 2 eine
Vielzahl von dritten Verbindungselektroden 5 auf der ersten
Hauptfläche 2a,
welche der zweiten Hauptfläche 1b des
Hauptträgerelements 1 gegenüberliegt,
und die Vielzahl vierter Verbindungselektroden 6, welche
elektrisch mit dem getesteten Objekt (nicht gezeigt) verbunden sind,
auf einer zweiten Hauptfläche 2b.
Die dritten Verbindungselektroden 5 und die vierten Verbindungselektroden 6 sind über Durchgangslöcher 8 mit
einer elektrisch leitfähigen
Beschichtung verbunden.
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Das
Unterträgerelement 2 umfasst
eine Vielzahl von aus elektrisch leitfähigen Beschichtungen geformten
Durchgangslöchern 8,
welche das Unterträgerelement 2 penetrieren.
Ein oberes Ende des Durchgangslochs 8 ist elektrisch verbunden
mit der dritten Verbindungselektrode 5 des Unterträgerelements 2 und
ein unteres Ende hiervon ist elektrisch verbunden mit der vierten
Verbindungselektrode 6 des Unterträgerelements 2.
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Wie
in 2 gezeigt, kann das Unterträgerelement 2 ein erstes
Unterträgerelement 21 und
ein zweites Unterträgerelement 22 aufweisen,
in welches ein Durchgangsloch 218 für das erste Unterträgerelement
und ein Durchgangsloch 228 für das zweite Unterträgerelement
so arrangiert sind, dass sie gegeneinander verschoben sind, und
das Durchgangsloch 218 und das Durchgangsloch 228 können mittels
einer sechsten Verbindungselektrode 23 elektrisch verbunden
sein.
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Folglich,
da das Unterträgerelement 2 zwei Schichten
umfasst und die Positionen der beiden Durchgangslöcher 218 und 228 in
dem Unterträgerelement 2 verschoben
sind, ist der Elektrodenabstand zweimal in dem Unterträgerelement 2 konvertiert, wenn
der Elektrodenabstand von dem Abstand zwischen den ersten Verbindungselektroden 3 auf
dem Hauptträgerelement 1 zu
dem Abstand zwischen den vierten Verbindungselektroden 6 des
Unterträgerelements 2 konvertiert
wird. In diesem Fall, im Ergebnis, kann die Konzentration der Verdrahtungen
in dem Hauptträgerelement 1 in
das Unterträgerelement 2 verteilt
werden, verglichen mit dem Fall, dass der Elektrodenabstand direkt
von dem Hauptträgerelement 1 über ein
(Anm. d. Ü.:
Zahlwort) Durchgangsloch konvertiert wird, so dass der Verdrahtungsumfang
in dem Hauptträgerelement 1 reduziert
werden kann. Des Weiteren, obwohl das Unterträgerelement 2 in 2 das
erste Unterträgerelement 21 und
das zweite Unterträgerelement 22 umfasst,
kann es drei Schichten oder mehr umfassen.
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Obwohl
das Unterträgerelement 2 auch
in der Form eines Kreises oder einer Ellipse ist, kann es auch in
Form eines Rechteckes entlang der Konfiguration des getesteten Objekts
(nicht gezeigt) sein, wie in 3 gezeigt.
Alternativ kann es in der Form eines Würfels, eines Dreiecks, eines
Pentagons, eines Quadrats oder dergleichen sein, solange es der
Konfiguration des getesteten Objektes (nicht gezeigt) folgt.
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Das
Unterträgerelement 2 kann
mittels einer Schichtungsmethode geformt sein, in welcher isolierende
Schichten auf ein isolierendes Substrat laminiert sind, um ein Leitermuster
zu bilden, und Leiterschichten aufgebaut sind als Multilayer durch
Verbindung zwischen den Schichten.
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Wie
in 1 gezeigt, sind die zweiten Verbindungselektroden 4 auf
der zweiten Hauptfläche 1b des
Hauptträgerelements 1 und
die dritten Verbindungselektroden 5 auf der ersten Hauptfläche 2a des Unterträgerelements 2 mittels
leitfähiger
Materialien 10, welche ein Lot oder ein leitfähiges Harz
umfassen, elektrisch verbunden. Durch Verwendung des leitfähigen Materials 10 kann
Kontaktwiderstand und Leitungswiderstand auf ein vernachlässigbares
Niveau reduziert werden, so dass die Stabilität des elektrischen Kontaktes
zwischen dem Hauptträgerelement 1 und
dem Unterträgerelement 2 beachtlich verbessert
ist.
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Neben
den leitfähigen
Materialien 10 als leitfähiger Komponente ist ein Klebemittel 11 aus
einem isolierenden Harzbauteil zwischen der zweiten Hauptfläche 1b des
Hauptträgerelements 1 und
der ersten Hauptfläche 2a des
Unterträgerelements 2 eingerichtet,
um ein anderes Teil als die Elektroden zu isolieren bei elektrischer
und stabiler Verbindung des Hauptträgerelements 1 und
des Unterträgerelements 2.
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Da
die zweite Hauptfläche 1b des
Hauptträgerelements 1 und
die erste Hauptfläche 2a des
Unterträgerelements 2 stabil
verbunden sind durch das Klebemittel 11, welches zwischen
ihnen angebracht ist, ist die relative Position zwischen dem Hauptträgerelement 1 und
dem Unterträgerelement 2 stabil
gehalten und die Stabilität
des elektrischen Kontaktes zwischen den zweiten Verbindungselektroden 4 des Hauptträgerelements 1 und
den dritten Verbindungselektroden 5 des Unterträgerelements 2 können beachtlich
durch das leitfähige
Material 10 verbessert werden. Im Ergebnis ist die mechanische
Stärke
als Prüfkarte,
welche beides integriert, verbessert und die Haltbarkeit bei Gelegenheit
des wiederholten Benutzens kann beachtlich verbessert werden.
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3 zeigt
eine andere Ausführungsform des
Trägerelements,
in welchem ein rechteckiges Unterträgerelement 2 auf einer
zweiten Hauptfläche 1b des
kreisförmigen
Hauptträgerelements 1 angeordnet
ist, Elektroden (nicht gezeigt) zwischen dem Hauptträgerelement 1 und
dem Unterträgerelement 2 verdrahtet
sind, eine Vielzahl von Fassungslöchern 12 in dem Unterträgerelement 2 eingerichtet
sind, das Hauptträgerelement 1 und
das Unterträgerelement 2 mit
einem leitfähigen
Material elektrisch verbunden sind, das Hauptträgerelement 1 und das
Unterträgerelement 2 durch
ein Klebemittel 11, welches ein zwischen diesen angebrachtes
isolierendes Harzmaterial neben dem leitfähigen Material 10 umfasst,
verbunden, und Fassungsanschlüsse
(nicht gezeigt) eines getesteten Objekts (nicht gezeigt) in die
Fassungslöcher 12 des
Unterträgerelements 2 eingeführt werden
können,
so dass es an getesteten Objekten, welche verschiedene Formen haben,
angebracht werden kann.
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Obwohl
die vorstehenden Ausführungsbeispiele
als repräsentative
Beispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben sind, ist die vorliegende
Erfindung nicht limitiert auf die vorstehenden Ausführungsformen,
und verschiedenste Modifikationen können implementiert werden innerhalb
eines Bereiches, welcher die geforderten Bedingungen gemäß der vorliegenden
Erfindung erfüllt,
die Aufgabe der vorliegenden Erfindung löst und die folgenden Effekte
liefert.
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Wie
es klar wird aus der vorstehenden Beschreibung umfasst das Prüfkarten
Trägerelement der
vorliegenden Erfindung das mit einer Messeinrichtung zur Prüfung des
Haltleiterelements verbundene Hauptträgerelement, das Unterträgerelement, auf
welchem der mit dem Halbleiterelement verbundene Kontakt montiert
ist, und die beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente, in welcher,
da es dergestalt ausgebildet ist; dass das Hauptträgerelement
und das Unterträgerelement
miteinander verbunden sind zum Zwecke der Fixierung, und Elektroden,
welche auf der dem Unterträgerelement
gegenüberliegenden
Oberfläche
des Hauptträgerelements angeordnet
sind, und Elektroden, welche auf der dem Hauptträgerelement gegenüberliegenden
Oberfläche
des Unterträgerelements
angeordnet sind, elektrisch verbunden sind, exzellente Effekte erwartet werden
können
dahingehend, dass die Stabilität
des elektrischen Kontaktes hoch ist, elektrischer Kontakt zwischen
dem Hauptträgerelement
und dem Unterträgerelement
verhindert ist und hohe Zuverlässigkeit erzielt
wird.
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Zusätzlich umfasst
das Prüfkarten
Trägerelement
der vorliegenden Erfindung das mit der Messeinrichtung zur Prüfung des
Halbleiterelements verbundene Hauptträgerelement, das Unterträgerelement,
auf welchem der mit dem Halbleiterelement verbundene Kontakt montiert
ist, und die beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente, in welcher,
da es dergestalt ausgebildet ist, dass die Elektroden, welche auf
der dem Unterträgerelement
gegenüberliegenden
Oberfläche
des Hauptträgerelements
angeordnet sind, und die Elektroden, welche auf der dem Hauptträgerelement gegenüberliegenden
Oberfläche
des Unterträgerelements
angeordnet sind, elektrisch mittels des leitfähigen Materials verbunden sind,
Kontaktwiderstand und Leitungswiderstand auf ein vernachlässigbares
Niveau reduziert werden kann, Stabilität des elektrischen Kontaktes beachtlich
erhöht
werden kann, schlechte Leitung zwischen den Trägerelementen verhindert werden kann
und hohe Zuverlässigkeit
erhalten werden kann.
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Zusätzlich umfasst
das Prüfkarten
Trägerelement
der vorliegenden Erfindung das mit der Messeinrichtung zur Prüfung des
Halbleiterelements verbundene Hauptträgerelement, das Unterträgerelement,
auf welchem der mit dem Halbleiterelement verbundene Kontakt montiert
ist, und die beides elektrisch verbindende leitfähige Komponente, in welcher,
da es dergestalt ausgebildet ist, dass das Hauptträgerelement
und das Unterträgerelement durch
das elektrisch isolierende Klebemittel miteinander zum Zwecke der
Fixierung verbunden sind, ein Positionsverhältnis zwischen dem Hauptträgerelement
und dem Unterträgerelement
stabil gehalten wird, Stabilität
des elektrischen Kontakts zwischen dem Hauptträgerelement und dem Unterträgerelement
durch das leitfähige
Material verbessert werden kann, und hohe Zuverlässigkeit zur Verfügung gestellt
werden kann. Des Weiteren ist die mechanische Stärke der Prüfkarte, welche beides integriert,
verbessert und die Haltbarkeit bei der Gelegenheit wiederholter
Verwendung kann beachtlich erhöht
werden.
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Daneben
kann gemäß dem Prüfkarten
Trägerelement
der vorliegenden Erfindung, da das Unterträgerelement in der Form eines
Kreises, einer Ellipse oder eines Quadrates zum Zwecke der Anpassung
der Konfiguration des getesteten Objektes, und das Hauptträgerelement
in der Form eines Kreises oder einer Ellipse zum Ausgleich der Verdrahtungslängen zur
Messeinrichtung ist, ein Abstand des Verdrahtungsweges konstant
gehalten werden, Veränderungen
im Widerstand verhindert werden und genauere Testoperationen ausgeführt werden.
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Daneben
kann gemäß dem Prüfkarten
Trägerelement
der vorliegenden Erfindung, da es dergestalt ausgebildet ist, dass
die Vielzahl von Fassungslöchern
auf der Seite des Unterträgerelements
angebracht sind und Fassungsanschlüsse eines geprüften Objektes
in die Fassungslöcher
eingeführt
werden können,
es angewendet werden auf getestete Objekte, welche verschiedene
Formen aufweisen.
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[Figuren zu Ausführungsformen
der Erfindung]
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[1]
Diese Figur zeigt eine schematische Ansicht, welche eine Querschnittstruktur
gemäß der Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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[2]
Diese Figur zeigt eine schematische Ansicht, welche eine Querschnittstruktur
gemäß einer
anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung zeigt.
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[3 ]
Diese Figur ist eine erklärende
Ansicht, welche eine andere Ausführungsform
eines Trägerelements
gemäß der vorliegenden
Erfindung zeigt.
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[4]
Diese Figur ist eine schematische Ansicht, welche eine Querschnittstruktur
eines konventionellen Prüfkarten
Trägerelements
zeigt.
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Anm.
des Übersetzers:
folgend die Übersetzungen
der sachlichen Inhalte Figuren:
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1
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2
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3
-
4
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Anm.
des Übersetzers:
folgend die Übersetzungen
der Beschriftung der 2, oben beginnend
Erste
Abstandskonversion I
Zweite Abstandskonversion II
Dritte
Abstandskonversion III
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- A
- Prüfkarte
- 1,1'
- Hauptträgerelement
- 1a,1a'
- erste
Hauptfläche
- 1b,1b'
- zweite
Hauptfläche
- 2,2'
- Unterträgerelement
- 2a,2a'
- erste
Hauptfläche
- 2b,2b'
- zweite
Hauptfläche
- 3,3'
- erste
Verbindungselektrode
- 4,4'
- zweite
Verbindungselektrode
- 5,5'
- dritte
Verbindungselektrode
- 6,6'
- vierte
Verbindungselektrode
- 7'
- Zwischenträgerelement
- 8
- Durchgangsloch
- 9,9'
- Verbindungspin
- 10
- leitfähiges Material
- 11
- Klebemittel
- 12
- Fassungslöcher
- 21
- erstes
Unterträgerelement
- 22
- zweites
Unterträgerelement
- 23
- sechste
Verbindugselektrode
- 218
- Durchgangsloch
- 228
- Durchgangsloch