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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Kathode, die bei hohen Temperaturen
betrieben werden kann, und ein Verfahren zu ihrer Herstellung. Insbesondere
betrifft die vorliegende Erfindung eine Kathode, die bei Temperaturen,
die höher
als die Betriebstemperatur imprägnierter
Kathoden sind (z. B. mindestens 1 400°C), betrieben werden kann und
die umweltverträgliches
Material umfaßt,
und ein Verfahren zu ihrer Herstellung.
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Herkömmlicherweise
wird eine in 15(a) und (b) gezeigte Kathode
als mittlere bis große
Elektronenröhre,
z. B. als Röhre
für große Stromversorgungsanlagen,
eingesetzt. Mittlerweile wird die in 15(a) gezeigte
Kathode auch allgemein für
eine Lampe einer Hochleistungsentladungsröhre, z. B. für eine Lampe,
die als Lichtquelle für
Photolithographie-Vorrichtungen dient, eingesetzt. Diese Kathode, die
auch bei einer Temperatur von mindestens 1 400°C betrieben werden kann, bei
der imprägnierte Kathoden
nicht einsetzbar sind, umfaßt
eine Wolfram-Kathode 21, die (etwa 2 Gew.-%) Thoriumoxid (ThO2) (nachfolgend als thorierte Kathode bezeichnet)
enthält
und mit einer Elektrode 20 verbunden ist. Seit kurzem werden
schrittweise imprägnierte
Kathoden für
mittlere bis große
Elektronenröhren
eingesetzt, da Verbesserungen bezüglich des im Inneren der Röhre erreichbaren
Vakuums und Änderungen
in der Röhrengestaltung,
die auf Umweltschutzanforderungen beruhen, vorgenommen wurden. Thorierte Kathoden
sind jedoch die einzigen praktisch einsetzbaren Kathoden für Lampen
von Hochleistungsentladungsröhren
und sie können
nicht einfach durch imprägnierte
Kathoden ersetzt werden.
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In
der thorierten Kathode wird bei etwa 1 500 bis 1 800°C ThO2 im Wolfram W durch das Wolfram oder durch
Kohlenstoff C auf der Oberfläche
der Kathode deoxidiert und eine monoatomare Th-W-Schicht wird auf
der Kathodenoberfläche
gebildet. Dadurch kann eine Austrittsarbeit von etwa 2,7 eV erreicht
werden und unter einem Vakuum von 10–5 Pa
bei 2 000°C
kann eine Elektronen-Emissionscharakteristik von etwa 10 A/cm2 erreicht werden. Das bedeutet, daß die Elektronen-Emissionscharakteristik
im Vergleich zu Wolfram-Kathoden (die eine Austrittsarbeit von etwa
4,5 eV aufweisen) etwa um den Faktor 1 000 verbessert ist. Da jedoch
das in der thorierten Kathode enthaltene ThO2 ein
radioaktives Material ist, erfordert es eine streng kontrollierte
Handhabung. Darüber
hinaus bestehen Gefahren für
die Gesundheit und die Umwelt. Mit dem gegenwärtig steigenden Umweltbewußtsein wachsen
auch die Bestrebungen, den Einsatz von Thorium, hauptsächlich bei
dessen Lieferanten, d. h. den europäischen Ländern, zu beschränken oder
zu unterbinden, so daß in
Zukunft mit Problemen hinsichtlich einer kontinuierlichen Versorgung
zu rechnen ist.
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Außer der
thorierten Kathode und der Wolfram-Kathode gibt es Kathoden, die
den in 16 gezeigten Aufbau aufweisen.
Sie werden als Quelle für Elektronenstrahlen
hoher Intensität
in Elektronenstrahl-Photographievorrichtungen von Elektronenmikroskopen
oder bei der Herstellung von Ultra-LSI's eingesetzt.
Diese Kathode kann bei hohen Temperaturen betrieben werden und ist
aus einer Kathode 22 aus Lanthanborid (LaB6),
die mit Elektroden 20 verbunden ist, aufgebaut. Die Kathode
weist eine metallische elektrische Leitfähigkeit und eine relativ geringe
Austrittsarbeit (2,68 eV) auf. Eine Elektronen-Emissionscharakteristik
von etwa 20 bis 100 A/cm2 kann unter einem
Vakuum von 10–5 Pa
bei einer Betriebstemperatur von 1 600°C erreicht werden. Außerdem weist
die Kathode eine relativ hohe Widerstandsfähigkeit gegenüber Ionenbeschuß auf und
die ursprüngliche
Elektronen-Emissionscharakteristik kann auch nach Kontakt mit der
Atmosphäre
leicht wieder hergestellt werden. Weil jedoch LaB6 eine
monokristalline Struktur aufweist, ist es notwendig, die geeignete
(100)- oder (210)-Kristallfläche auszuwählen, um
eine ausreichende Elektronen-Emissionscharakteristik
zu erreichen. Außerdem
beträgt
die Lebensdauer von LaB6 nur 500 bis 2 000
Stunden, da Probleme hinsichtlich der Stabilität der LaB6-Zusammensetzung
noch nicht überwunden
werden konnten. D. h., obwohl LaB6 bei weitem
stabiler als andere Boride von Seltenerdmetallen (wie YB6 und GdB6) ist, existieren
viele Berichte über
Probleme hinsichtlich der Stabilität der Oberflächenzusammensetzung
bei hohen Temperaturen. Somit ist LaB6 mit
den Nachteilen einer schwierigen Handhabung aufgrund der monokristallinen
Struktur und einer kurzen Lebensdauer aufgrund der geringen Stabilität der Verbindung
verbunden.
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Ein
weiteres jedoch untergeordnetes Beispiel ist die in 17 gezeigte
mit Zirkonium überzogene
Wolfram-Kathode 23 (monokristalline (100)-Fläche). Sie
wird teilweise für
Elektronenstrahl-Photolithographievorrichtungen bei der Herstellung
von Ultra-LSI's
eingesetzt. In der mit Zirkonium überzogenen Wolfram-Kathode
wird Zirkoniumhydrid im Vakuum thermisch zersetzt und das Zirkonium
wird auf der Oberfläche
des Wolframs adsorbiert. Durch nachfolgende Einführung von Sauerstoff bildet
sich auf der Oberfläche
eine Zr-O-W-Schicht 24 mit elektrischem Dipolmoment. Dadurch
wird die Austrittsarbeit auf etwa 2,4 eV verringert und eine hervorragende
Charakteristik kann erreicht werden. Weiterhin wurde über die
Entwicklung von ähnlich aufgebauten
Kathoden mit einer Ti-O-W-Schicht (monokristalline (100)-Fläche) berichtet.
Es wird angegeben, daß die
Betriebstemperatur etwa 1 500°C und
die Lebensdauer 5 000 Stunden beträgt, wobei ein Vakuum von mindestens
10–7 Pa
erforderlich ist. Es existieren jedoch viele Probleme z. B. hinsichtlich der
Auswahl der Kristallfläche
des Wolfram-Einkristalls und der praktischen Reproduzierbarkeit.
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Zusammenfassend
ist der Einsatz einer thorierten Kathode, die bei hohen Temperaturen
betrieben werden kann, mit Problemen bezüglich Umwelt und Gesundheit
verbunden, da sie radioaktive Materialien enthält. Außerdem ist eine kontinuierliche
Versorgung mit dem Material fraglich. Imprägnierte Kathoden können im
allgemeinen nicht betrieben werden, wenn die Temperatur mindestens
1 400°C
beträgt.
LaB6-Kathoden oder mit Zirkonium überzogene Wolfram-Kathoden
(monokristalline (100)-Fläche) sind
durch eine schwierige Handhabung, z. B. hinsichtlich der Flächenausrichtung,
und mangelnde Stabilität
gekennzeichnet.
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Aus
US 6 051 165 A ist
eine Kathode bekannt, die eine polykristalline oder eine polykristalline poröse Substanz
umfasst, bestehend aus:
- – einem hochschmelzenden Metallmaterial
und ein Emittermaterial, das in der genannten polykristallinen Substanz
oder polykristallinen porösen
Substanz dispergiert ist,
- – wobei
das genannte Emittermaterial mindestens ein Oxid umfasst aus der
Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid
und Titanoxid und
- – in
einer Menge von 0,1 bis 30 Gew.-% in der Kathode dispergiert ist.
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US 4 215 180 betrifft oxidbeschichtete
Kathoden für
Elektronenröhren,
insbesondere oxidbeschichtete Kathoden, die als ein Basismetall
eine Legierung enthalten, die mindestens ein hochschmelzendes Metall,
wie etwa W, Mo, Re, Ta oder dergleichen umfasst. Weiter wird eine
oxidbeschichtete Kathode für
Elektronenröhren
offenbart, worin die Legierung, aus der die Basismetallplatte hergestellt
ist, ferner ein oder mehrere reduzierende Elemente enthält, die
aus der Gruppe ausgewählt
sind, die aus Zirkon, Aluminium, Magnesium, Silizium, Titan, Uran, Chrom,
Niob und Natrium besteht.
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EP 0 635 860 A betrifft
ein Verfahren zur Herstellung einer termionischen Kathodenstruktur,
die den Schritt zum Bereitstellen eines Wolframbasiskörpers mit
einer Osmiumbeschichtung umfasst.
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US 5 122 707 offenbart eine
Kathode zur Verwendung in Elektronenröhren, die ein Basismetall aus
Nickel als eine Hauptkomponente umfasst und die eine Oberfläche besitzt,
worauf eine poröse
Elektronenemissionsschicht ausgebildet ist, in dem eine Lösung hergestellt
wird, worin Nitrocellulose unter Verwendung eines organischen Lösungsmittels
aufgelöst
wird; das Oxid des Erdalkalimetalls und Scandiumoxid in die Lösung gemischt
wird, um eine Suspension bereitzustellen; und die Komponenten der Suspension
zur Einstellung der Teilchengröße pulverisiert
werden.
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DE 38 07 324 A1 offenbart
ein Kathodenmaterial für
Elektronenröhren,
das ein hochschmelzendes Basismaterial umfasst, das aus den Metallen
W, Mo oder deren Mischung, und der aktivierenden Substanz Lantanoxid,
das in der hoch dispergierten Form als Oxid in einer Menge von 2–20 Gew.-%
des Basismaterials vorhanden ist.
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FR 2 683 090 A1 offenbart
eine Kathode, die ein poröses
Basismaterial und ein Emittermaterial offenbart, worin das Basismetall
Wolfram sein kann.
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EP 0 327 074 A offenbart
eine Kathode zur Verwendung in Elektronenröhren, die ein Basismaterial
aus Nickel als eine Hauptkomponente umfasst, und die eine Oberfläche besitzt,
worauf eine poröse Elektronenemissionsschicht,
die Skandiumoxid umfasst, gebildet ist.
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Die
Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Kathode,
die einfach zu handhaben und ungefährlich ist und gleichzeitig
einen stabilen Aufbau aufweist und auch bei hohen Temperatur von mindestens
1 400°C
durch eine hervorragende Elektronen-Emissionscharakteristik gekennzeichnet
ist, und ein Verfahren zur ihrer Herstellung zur Verfügung zu
stellen.
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Die
erfindungsgemäße Kathode
umfaßt
eine polykristalline Substanz oder eine polykristalline poröse Substanz
aus hochschmelzendem Metall und ein Emittermaterial, das in der
polykristallinen Substanz oder der polykristallinen porösen Substanz
dispergiert ist, wobei das Emittermaterial mindestens ein Oxid,
ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid, umfaßt
und in einer Menge von 0,1 bis 30 Gew.-%, bezogen auf die Kathode,
dispergiert ist, worin das genannte Emittermaterial mindestens ein Oxid,
ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid, umfasst und in einer Menge von 0,1 bis 30
Gew.-% in der genannten Kathode dispergiert ist, dadurch gekennzeichnet,
dass eine Wolframcarbid-Schicht oder eine Molybdäncarbid-Schicht auf mindestens
einer elektronenemittierenden Oberfläche der genannten polykristallinen
Substanz oder der genannten polykristallinen porösen Substanz gebildet ist,
worin eine Wolframcarbid-Schicht oder eine Molybdäncarbid-Schicht
auf mindestens aller einer elektronenemittierenden Oberfläche der
genannten polykristallinen Substanz oder der genannten polykristallinen
porösen
Substanz gebildet ist.
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Durch
diesen Aufbau wird bei hohen Betriebstemperaturen auf der Oberfläche des
hochschmelzenden Metalls, z. B. Wolfram (W) oder Molybdän (Mo),
aus dem Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid und/oder
Titanoxid eine monoatomare Schicht (z. B. eine Hf-W-Schicht in Abwesenheit
von Sauerstoff oder eine Hf-O-W-Schicht in Gegenwart von Sauerstoff)
gebildet. Die monoatomare Schicht ist bei hohen Temperaturen relativ
stabil, verringert die Austrittsarbeit und dient als Kathode, die
in der Lage ist, eine hervorragende Elektronenemission zu erzeugen.
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Das
hochschmelzende Metallmaterial ist bevorzugt eine Legierung, die
durch Zugabe von 0,01 bis 1 Gew.-% Hf, Zr oder Ti zu Wolfram oder
Molybdän
erhalten wird. Diese zugefügten
Elemente wirken als Reduktionsmittel, die die Reduktionswirkung der
hochschmelzenden Metallelemente weiter verbessern.
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Es
ist bevorzugt, eine Metallschicht aus mindestens einem Metall, ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus Iridium (Ir), Ruthenium (Ru), Osmium (Os)
und Rhenium (Re), zumindest auf einer Elektronen-Emissionsoberfläche der
polykristallinen Substanz oder der polykristallinen porösen Substanz
anzuordnen. Dadurch wird die Austrittsarbeit weiter verringert.
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Dadurch
dass eine Wolframcarbid-Schicht oder eine Molybdäncarbid-Schicht zumindest auf
einer Elektronen-Emissionsoberfläche der
polykristallinen Substanz oder der polykristallinen porösen Substanz
angeordnet ist, wird die Austrittsarbeit weiter verringert.
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Bevorzugt
sind die Kristallkörner
der polykristallinen Substanz oder der polykristallinen porösen Substanz
faserförmig
in gleicher Richtung angeordnet. Dadurch wird die Zähigkeit
verbessert und die Bearbeitung vereinfacht. Weiterhin wird bei einem solchen
hochdichten Aufbau, wenn eine Carbonisierung stattfindet, eine Carbidschicht
nur auf der äußersten
Oberfläche
gebildet.
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In
einer anderen Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung wird bevorzugt eine Verbindungsschicht
aus mindestens einer Verbindung, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hafniumwolframat, Zirkoniumwolframat, Lanthanwolframat, Cerwolframat
und Titanwolframat auf einer Elektronen-Emissionsoberfläche angeordnet. Bei diesem Aufbau
zerfällt
z. B. Hafniumwolframat bei den Betriebsbedingungen der Kathode (hohe
Temperatur und Vakuum) zu Wolfram und Hafniumoxid. Das so erhaltene
Wolfram und das so erhaltene Hafniumoxid weisen eine hervorragende
Homogenität
auf und die Reduktionswirkung des Wolframs ist gleichmäßig, wodurch
vorteilhafterweise zu einer langen Lebensdauer der Kathode beigetragen
wird.
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Das
Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Kathode ist ein Verfahren,
in dem ein Emittermaterial in einer polykristallinen Substanz oder
in einer polykristallinen porösen
Substanz aus einem hochschmelzenden Metallmaterial dispergiert wird,
und ein erfindungsgemäßes Verfahren
umfaßt den
Einsatz mindestens einer pulverförmigen
Verbindung, ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hafniumwolframat, Zirkoniumwolframat,
Lanthanwolframat, Cerwolframat und Titanwolframat als mindestens
einem Bestandteil des Emittermaterials. Dadurch können das
Wolfram und der oxidische Emitter gleichmäßig dispergiert werden und
das Emittermaterial kann gleichförmig
reduziert werden.
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Ein
anderes Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Kathode
umfaßt
das Mischen eines pulverförmigen
Oxids eines hochschmelzenden Metallmaterials mit einem pulverförmigen Oxid
mindestens eines Metalls, ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hf, Zr, La, Ce und Ti, in Wasser oder in
einem organischen Lösungsmittel
und anschließend
das Calcinieren und gegebenenfalls das Sintern der Mischung. Auf
diese Weise wird das Oxid des hochschmelzenden Metalls reduziert
und es ist möglich,
ein Emittermaterial, das mindestens ein Oxid, ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid enthält,
im hochschmelzenden Metallmaterial zu dispergieren.
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Ein
anderes Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Kathode
umfaßt
das Mischen einer Lösung,
die durch Auflösen
eines Nitrats mindestens eines Metalls, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hf, Zr, La, Ce und Ti, in Wasser oder in einem organischen Lösungsmittel
erhalten wird, mit dem pulverförmigen
Oxid des hochschmelzenden Metallmaterials und anschließend das
Calcinieren der Mischung. Dadurch wird das Oxid des hochschmelzenden
Metalls reduziert und das Nitrat wird zersetzt. Somit ist es möglich, ein
Emittermaterial, das mindestens ein Oxid, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid und Titanoxid
enthält,
im hochschmelzenden Metallmaterial zu dispergieren.
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Ein
anderes Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Kathode
umfaßt
das Tränken
eines porösen
hochschmelzenden Metallmaterials mit einer Lösung, die durch Auflösen eines
Alkoxids mindestens eines Metalles, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hf, Zr, La, Ce und Ti, in einem organischen Lösungsmittel
erhalten wurde, unter verringertem Druck und das anschließende Calcinieren
der Mischung. Dadurch wird das Alkoxid zersetzt und es ist möglich, das
Emittermaterial, das mindestens ein Oxid, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid und Titanoxid
enthält,
im porösen
hochschmelzenden Metallmaterial zu dispergieren.
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Ein
anderes Verfahren zur Herstellung der erfindungsgemäßen Kathode
umfaßt
das Beschichten eines Pulvers des hochschmelzenden Metalls mit einem
Alkoxid mindestens eines Metalles, ausgewählt aus der Gruppe bestehend
aus Hf, Zr, La, Ce und Ti, und anschließend das Calcinieren der Mischung.
Dadurch wird das Alkoxid in ein Oxid zersetzt und ein hochschmelzendes
Metallpulver, das mit dem Oxid beschichtet ist, wird gebildet. Im
Ergebnis ist es möglich,
ein Emittermaterial, das mindestens ein Oxid, ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid enthält,
im hochschmelzenden Metallmaterial zu dispergieren.
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Es
ist bevorzugt, das feste Material, das durch Beschichtung des Pulvers
aus hochschmelzendem Metall mit dem Oxid gebildet wurde, im Calcinierungsschritt
zu pulverisieren, mit weiterem Pulver des hochschmelzenden Metalls
zu mischen und anschließend
die Mischung zu sintern. Dadurch kann die mechanische Festigkeit
der geformten Artikel verbessert werden.
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Bevorzugt
wird der Calcinierungs- und der Sinterschritt des Herstellungsverfahrens
bei einer Temperatur durchgeführt,
bei der das Emittermaterial nicht deoxidiert wird. Dadurch ist es
möglich,
die unnötige
Verdampfung des Emittermaterials, z. B. des Hafniumoxids, zu hemmen
und das Endprodukt zu bilden.
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Bevorzugt
umfaßt
jedes der oben genannten Verfahren weiterhin einen Schritt des Streckens
des hochschmelzenden Metallmaterials, in dem das Emittermaterial
dispergiert ist, durch Ausziehen (z. B. Gesenkschmieden) unter Wasserstoff.
Dadurch können
die Kristallkörner
des hochschmelzenden Metalls faserförmig in gleicher Richtung angeordnet werden und
somit wird die Zähigkeit
verbessert und eine hervorragende Verarbeitbarkeit erreicht.
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Erfindungsgemäß wird eine
Wolframcarbid-Schicht oder eine Molybdäncarbid-Schicht zumindest auf
der Elektronen-Emissionsoberfläche der Kathode
gebildet, nachdem die faserförmige
Struktur erzeugt wurde. Dadurch wird ein vorteilhafter Aufbau erhalten,
da die Carbonisierung insbesondere nur auf der äußersten Oberfläche, jedoch
nicht im Inneren stattfindet.
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1 ist eine Ansicht einer Kathode gemäß Ausführungsform
1 der vorliegenden Erfindung.
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2 ist
ein Flußdiagramm,
das ein Verfahren zur Herstellung der in 1 gezeigten
Kathode darstellt.
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3 ist
ein Flußdiagramm,
das ein anderes Verfahren zur Herstellung der in 1 gezeigten
Kathode darstellt.
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4 ist
ein Schnittbild einer Kathode gemäß Ausführungsform 2 der vorliegenden
Erfindung.
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5 ist
ein Flußdiagramm,
das ein Verfahren zur Herstellung der in 4 gezeigten
Kathode darstellt.
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6 ist
ein Schnittbild einer Kathode gemäß Ausführungsform 3 der vorliegenden
Erfindung.
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7 ist
ein Flußdiagramm,
das ein Verfahren zur Herstellung der in 6 gezeigten
Kathode darstellt.
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8 ist ein Schnittbild einer Kathode gemäß Ausführungsform
4 der vorliegenden Erfindung.
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9 ist
eine Darstellung eines Beispiels für einen Sputter-Schritt für die in 8 gezeigte Kathode.
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10 ist
ein Schnittbild einer Kathode gemäß Ausführungsform 5 der vorliegenden
Erfindung.
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11 ist
eine Darstellung eines Beispiels für einen Carbonisierungsschritt
für die
in 10 gezeigte Kathode.
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12 ist
eine vergrößerte Ansicht
der Oberfläche
der in 10 gezeigten Kathode.
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13 ist
ein Schnittbild einer Kathode gemäß Ausführungsform 6 der vorliegenden
Erfindung.
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14 ist
eine Ansicht einer Kathode gemäß Ausführungsform
7 der vorliegenden Erfindung.
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15 ist eine Ansicht einer herkömmlichen thorierten
Kathode.
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16 ist
ein Schnittbild, das eine herkömmliche
LaB6-Kathode
für eine
Elektronenstrahlquelle hoher Intensität zeigt.
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17 ist
eine Ansicht, die eine herkömmliche
mit Zirkonium überzogene
Wolfram-Kathode, die für
Elektronenstrahl-Photographievorrichtungen
zur Herstellung von Ultra-LSI's
eingesetzt wird, zeigt.
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Die
erfindungsgemäße Kathode
für den Hochtemperaturbetrieb
und das Verfahren zu ihrer Herstellung werden nachfolgend unter
Bezugnahme auf die Zeichnungen erklärt.
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Ausführungsform
1 (Referenz)
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Eine
erfindungsgemäße Ausführungsform einer
Kathode für
den Hochtemperaturbetrieb ist in 1(a) und
(b) gezeigt. 1(a) und (b) sind Querschnitte
einer Kathode für
eine Röntgenröhre bzw.
für die
Lampe einer Hochleistungsentladungsröhre. Bevorzugt umfaßt die Kathode
eine polykristalline Substanz oder eine poröse polykristalline Substanz 1 aus einem
hochschmelzenden Metallmaterial, z. B. Wolfram, und ein Emittermaterial 2 umfassend
mindestens ein Oxid, ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid, das in einer Menge von 0,1 bis 30 Gew.-%
bezogen auf die Kathode, in der polykristallinen Substanz oder der
porösen
polykristallinen Substanz dispergiert ist. Alternativ wird zum oben
genannten Emittermaterial 2 mindestens ein Metall, ausgewählt aus
der Gruppe bestehend aus Hafnium, Zirkonium, Lanthan, Cer und Titan,
gegeben. 4 bezeichnet eine Kathodenumhüllung, 5 eine Heizung und 20 eine
Elektrode. 1 zeigt den Fall, in dem das
Dispergieren des Emittermaterials 2 in der polykristallinen
Substanz 1, die das hochschmelzende Metallmaterial umfaßt, durch
Mischen des hochschmelzenden Metallmaterialpulvers mit Emittermaterialpulver
durchgeführt
wird.
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Das
in der vorliegenden Erfindung eingesetzte hochschmelzende Metallmaterial
weist einen Schmelzpunkt von mindestens 2 500°C auf. Beispiele unter dem Gesichtspunkt
einer optimalen Reduktionswirkung, einer hohen Zugfestigkeit und
eines geringen Dampfdruckes sind Wolfram (W) und Molybdän (Mo).
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Das
Emittermaterial 2 wird in der polykristallinen Substanz
oder der porösen
polykristallinen Substanz 1, die das hochschmelzende Metallmaterial
umfaßt,
dispergiert. Das Emittermaterial 2, das mindestens ein
Oxid, ausgewählt
aus der Gruppe bestehend aus Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid,
Ceroxid und Titanoxid, umfaßt,
wird in einer Menge von 0,1 bis 30 Gew.-%, bevorzugt 1 bis 4 Gew.-%, bezogen
auf die Kathode, mit einer polykristallinen Substanz oder in einer
Menge von 0,1 bis 30 Gew.-%, bevorzugt 20 Gew.-%, bezogen auf die
Kathode, mit einer porösen
polykristallinen Substanz gemischt. Wenn die Menge des oben genannten Oxids
weniger als 0,1 Gew.-% beträgt,
kann aufgrund der instabilen Bildung einer monoatomaren Schicht auf
der Kathodenoberfläche
keine ausreichende Emissionscharakteristik erreicht werden. Wenn
sie mehr als 30 Gew.-% beträgt,
verringert sich die mechanische Festigkeit oder eine große Menge
des verdampften Emitters verunreinigt die Röhre. Unter den oben genannten
Oxiden sind Hafniumoxid und Zirkoniumoxid unter dem Gesichtspunkt
der Realisierung einer auch bei höchsten Temperaturen betriebsfähigen Kathode
aufgrund ihres geringen Dampfdruckes bevorzugt.
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In
einer bevorzugt Kathode ist mindestens ein Metall, ausgewählt aus
der Gruppe bestehen aus Hafnium (Hf), Zirkonium (Zr), Lanthan (La),
Cer (Ce) und Titan (Ti) zusätzlich
in das Emittermaterial eingemischt. Unter dem Gesichtspunkt einer
starken Reduktionswirkung und eines geringen Dampfdruckes sind unter
diesen Hf und Zr bevorzugt. Die Menge beträgt bevorzugt 0,01 bis 1 Gew.-%
und besonders bevorzugt 0,1 bis 1 Gew.-%. Wenn die zum Emittermaterial 2 zugefügte Menge
weniger als 0,01 Gew.-% beträgt,
ist die Wirkung der Verbesserung der Emission vernachlässigbar.
Wenn sie mehr als 1 Gew.-% beträgt,
kann das Ausmaß der
Emitterverdampfung ansteigen.
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Außerdem wird
bevorzugt eine Legierung, die etwa 0,01 bis 1 Gew.-% Hf, Zr oder
Ti enthält,
als Reduktionsmittel zum hochschmelzenden Metallmaterial zugefügt, da auf
diese Weise die Reduktionswirkung weiter verbessert werden kann.
Wenn die Menge weniger als 0,01 Gew.-% beträgt, kann die Reduktionswirkung
nicht signifikant verbessert werden. Wenn sie mehr als 1 Gew.-%
beträgt,
ist die Legierung schwierig herzustellen. Unter dem Gesichtspunkt
einer starken Reduktionswirkung und eines geringen Dampfdruckes
sind Hf und Zr als Reduktionsmittel besonders bevorzugt.
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Um
die erfindungsgemäße Kathode
herzustellen, wird Wolframoxid-Pulver WO3 mit
Hafniumoxid-Pulver HfO2 in Alkohol gemischt
und die Mischung wird getrocknet (S1), wie im Flußdiagramm
in 2 beispielhaft gezeigt ist. Der Alkohol verringert die
Oberflächenenergie
der Körner
und verhindert die Kohäsion
der Körner
untereinander, so daß ein homogenes
Mischen ermöglicht
wird. Anstelle von Alkohol kann auch ein anderes organisches Lösungsmittel
oder Wasser eingesetzt werden. Ein organisches Lösungsmittel ist jedoch besonders bevorzugt,
da es leicht trocknet. Während
des Mischungsverfahrens werden die zu mischenden Substanzen über die
gesamte Zeit in gleicher Menge zugefügt, z. B. auf die Weise, daß zu Beginn
Wolframoxid-Pulver und Hafniumoxid-Pulver miteinander in gleichen Mengen
gemischt werden und dann Wolframoxid-Pulver in gleicher Menge wie
die Mischung zugefügt
wird. Dadurch kann eine homogene Mischung erhalten werden und die
Reproduzierbarkeit der Kathode kann verbessert werden, auch wenn
die Menge des Hafniumoxids nur 1 Gew.-% beträgt.
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Anschließend wird
das Calcinierungsverfahren in einem Wasserstoffofen bei etwa 800°C für etwa 10
min durchgeführt,
um das Wolframoxid zu reduzieren. Dann wird ein gemischtes Pulver
aus feinem Wolfram-Pulver und feinem Hafniumoxid-Pulver, das eine Teilchengröße von 0,1
bis 1 μm
aufweist, hergestellt (S2). Nachdem das gemischte Pulver ausreichend
in Alkohol gemischt wurde (S3), wird das Pulver unter Einsatz einer
Düse in
Tablettenform gepreßt
(S4) und eine Kathode der gewünschten Form
wird durch CIP (kaltes isostatisches Pressen) hergestellt (S5).
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Abschließend wird
die Kathode einer thermischen Behandlung in einem Wasserstoffofen
bei mindestens 1 800°C
unterzogen (S6). Die thermische Behandlung wird durchgeführt, um
das Wolfram zu sintern (Restrukturierung der Korngrenzen) und die mechanische
Festigkeit zu verbessern, bevorzugt wird die thermische Behandlung
bei einer Temperatur durchgeführt,
bei der das Emittermaterial nicht reduziert und die Kathode nicht
aktiviert wird. D. h. in einer Ausführungsform, in der Hafniumoxid
eingesetzt wird, wird die Behandlung bei 2 200°C für 20 min durchgeführt. Somit
ist es möglich,
unnötige
Verdampfung von Hafniumoxid zu unterbinden und die Endprodukte zu
bilden. Die Bildung und der Einschluß von Hf in diesem Verfahren
verursacht keine Probleme.
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In
der in 2 gezeigten Ausführungsform kann anstelle von
Wolframoxid WO3 auch Molybdänoxid eingesetzt
werden. Auch wenn Wolfram-Pulver oder Molybdän-Pulver, zu denen jeweils
Hf, Zr oder Ti zugefügt
wurde, eingesetzt wird, ist es möglich
eine Kathode zu erhalten, in der das Emittermaterial in einer Wolfram-Legierung
oder Molybdän-Legierung, die
Hf, Zr oder Ti enthält,
dispergiert ist.
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Alternativ
kann das oben genannte Verfahren zur Herstellung einer Kathode durch
Mischen von Wolframoxid-Pulver mit einem Emittermaterial auch durch
die in 3 gezeigten Schritte durchgeführt werden. In diesem Fall
wird als erstes eine Lösung hergestellt,
in der Hafniumnitrat (Hf(NO3)2)
in Alkohol gelöst
ist (S11). Auch in diesen Fall kann anstelle von Alkohol ein anderes
organisches Lösungsmittel
oder Wasser eingesetzt werden. Wolframoxid-Pulver (WO3)
wird zur Lösung
zugefügt
und die Mischung wird ausreichend gemischt und getrocknet (S12).
Als nächster
Schritt wird das Calcinieren in einem Wasserstoffofen bei 800°C für etwa 10
min durchgeführt (S13).
Hierbei wird das Wolframoxid reduziert und das Hafniumnitrat thermisch
zersetzt, so daß ein
gemischtes Pulver aus feinem Wolfram-Pulver und feinem Hafniumoxid-Pulver
erhalten wird. Anschließend
wird erneut ein ausreichendes Mischen in Alkohol durchgeführt (S14).
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Dann
wird das gemischte Pulver in Tabletten gepreßt (S15) und CIP (kaltes isostatisches
Pressen) unterworfen (S16), um eine Kathode der gewünschten
Form herzustellen. Abschließend
wird die Kathode durch thermische Behandlung in einem Wasserstoffofen
bei mindestens 1 800°C
für etwa
20 min erhalten (S17). Wie im oben genannten Verfahren wird die
thermische Behandlung bevorzugt bei einer Temperatur durchgeführt, bei
der das Emittermaterial nicht reduziert und die Kathode nicht aktiviert
wird. Dadurch ist es möglich,
eine unnötige
Verdampfung von Hafniumoxid zu hemmen und die Endprodukte zu bilden.
Mit diesem Verfahren ist es möglich, eine Kathode
zu erhalten, in der das Emittermaterial besonders homogen dispergiert
ist.
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Die
Bildung und das Einfügen
von Hf verursacht auch in diesem Verfahren keine Probleme. Anstelle
von Wolframoxid (WO3) kann auch Molybdänoxid eingesetzt
werden. Ebenso ist es möglich,
durch Einsatz von Wolfram-Pulver oder Molybdän-Pulver, zu denen jeweils
Hf, Zr oder Ti zugefügt
wurde, eine Kathode zu erhalten, in der das Emittermaterial in einer
Wolfram-Legierung
oder Molybdän-Legierung, die
Hf, Zr oder Ti enthält,
dispergiert ist.
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Die
so erhaltene erfindungsgemäße Kathode wird
in eine Elektronenröhre
oder Entladungsröhrenlampe
eingebracht, indem die Kathode mit einer Heizung 5 und
Elektroden 20, wie in 1(a) und
(b) gezeigt, verbunden wird. Zur Inbetriebnahme wird die Kathode
durch einmaligen Stromfluß durch
die Heizung 5 bei etwa 2 400°C aktiviert und dann stellt
sich die Temperatur der Kathode auf etwa 2 400°C ein. Dadurch wird das Hafniumoxid
durch das Wolfram reduziert, so daß eine monoatomare Schicht 3 aus Hafnium
oder über
Sauerstoff gebundenem Hafnium, d. h. Hafniumoxid, (Hf-W-Schicht
oder Hf-O-W-Schicht)
auf der Kathodenoberfläche
gebildet wird, wodurch die Austrittsarbeit verringert werden kann.
Im Ergebnis wird mit der erfindungsgemäßen Kathode eine Elektronen-Emissionscharakteristik
von etwa 0,5 A/cm2 bei 1 800°C erreicht.
Im Fall einer Entladungsröhrenlampe
wird z. B. unter Xenongas durch induzierende Hochspannungsimpulse
als Entladungsauslöser
eine Glimmentladung hervorgerufen, die unverzüglich in eine Bogenentladung übergeht.
Der Übergang
hängt von
der Plasmadichte ab, die durch den Gasdruck der Atmosphäre und der
an die Kathode angelegten Stärke
des elektrischen Feldes bestimmt wird, und ein automatischer Übergang wird
in der Entladungsröhrenlampe
eingestellt. Wie in der Kathode zum Zeitpunkt der Bogenentladung
wird eine monoatomare Schicht auf der Kathodenoberfläche gebildet, Elektronen
werden emittiert und die Bogenentladung wird aufrecht erhalten wie
im oben genannten Fall.
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Ausführungsform
2 (Referenz)
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4 zeigt
eine andere Ausführungsform der
vorliegenden Erfindung, in der das Emittermaterial 2 im
hochschmelzenden Metallmaterial dispergiert wird, indem die Poren
der porösen
kristallinen Substanz 1 des hochschmelzenden Metallmaterials
mit dem Emittermaterial 2 getränkt werden. In diesem Fall
dringt Hafniumoxid in die Poren des porösen Wolfram-Materials (Wolfram-Matrix)
ein. Um diese erfindungsgemäße Kathode
herzustellen, wird polykristallines poröses Wolfram gebildet, indem
Wolfram-Pulver, das einen Teilchendurchmesser von z. B. etwa 0,1
bis 50 μm
aufweist, in die gewünschte
Kathodenform gebracht wird und bei etwa 1 800 bis etwa 2 400°C gesintert
wird.
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Anschließend wird
an eine Hafniumalkoxid-Lösung
ein verringerter Druck angelegt, so daß ein Vakuum von 6,7 × 103 Pa resultiert. Unter verringertem Druck
wird das poröse
Wolfram in die Alkoxid-Lösung
getaucht, in der das Alkoxid in einem organischen Lösungsmittel
gelöst
vorliegt. Durch Aufhebung des verringerten Druckes wird das poröse Wolfram
mit der Alkoxid-Lösung
getränkt
(S21). Anschließend
wird durch Trocknen (S22) und Calcinieren in einem Ofen bei 1 000°C für etwa 20
min (S24) in den Hohlräumen
der porösen
Substanz Hafniumoxid gebildet. Anschließend werden beginnend mit Schritt
S21 die nachfolgenden Imprägnierungs-, Trocknungs-
und Calcinierungsschritte etwa 10-mal wiederholt, so daß das Emittermaterial
ausreichend in die Poren gelangt und eine Kathode, die den in 4 gezeigten
Aufbau aufweist, erhalten werden kann. In diesem Imprägnierungsverfahren
ist es nicht notwendig, das Emittermaterial einem Sinterschritt bei
einer Temperatur von 2 000°C
zu unterziehen. Daher wird das Emittermaterial kaum beeinträchtigt und
ist hinsichtlich der Reproduzierbarkeit vorteilhaft.
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Die
Bildung und Einbindung von Hf während des
Verfahrens verursacht auch in diesem Fall keine Probleme. Anstelle
von Wolframoxid kann auch Molybdänoxid
eingesetzt werden. Ebenso ist es möglich, durch Einsatz von Wolfram-Pulver
oder Molybdän-Pulver,
zu denen jeweils Hf, Zr oder Ti zugefügt wurde, eine Kathode zu erhalten,
in der das Emittermaterial in einer Wolfram-Legierung oder einer
Molybdän-Legierung,
die Hf, Zr oder Ti enthält,
dispergiert ist.
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Ausführungsform
3 (Referenz)
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6 stellt
einen Querschnitt dar, der eine andere Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung zeigt. In dieser Ausführungsform
wird eine Kathode gebildet, indem das Emittermaterial 2,
z. B. Hafniumoxid, mit dem die Korngrenzen des hochschmelzenden
Metallpulvers, das z. B. Wolfram-Pulver umfaßt, beschichtet sind, dispergiert
und gesintert wird. 7 zeigt ein Flußdiagramm
der Herstellung dieser erfindungsgemäßen Kathode. Zu Beginn wird
Wolfram-Pulver, das eine Teilchengröße von 0,1 bis 1 μm aufweist,
zu einer Alkoxid-Lösung
gegeben und mit ihr vermischt (S31). Die Mischung wird getrocknet (S32),
in einem Wasserstoffofen bei 1 000°C für etwa 20 min calciniert (S33)
und pulverisiert (S34), um ein Wolfram-Pulver zu erhalten, dessen
Korngrenzen mit Hafniumoxid beschichtet sind. Dann wird zusätzliches
Wolfram-Pulver dazugegeben (S35) und die Mischung wurde mittels
Pressen durch eine Düse
(S36) und CIP (S37) geformt. Anschließend wird durch Sintern in
einem Wasserstoffofen bei 2 200°C
für etwa 20
min (S38) die in 6 gezeigte Kathode erhalten.
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In
der oben genannten Ausführungsform wird
in Schritt S35 neues zusätzliches
Wolfram-Pulver zum Wolfram-Pulver, dessen Korngrenzen mit Hafniumoxid
beschichtet wurden, gefügt.
Es ist bevorzugt, auf diese Weise frisches zusätzliches Wolfram-Pulver einzumischen,
da die mechanische Festigkeit der geformten Artikel auf diesem Weg
verbessert werden kann. An den Calcinierungsschritt S33 kann sich
jedoch auch direkt das Pressen des Pulvers durch eine Düse (S36)
anschließen
(unter Auslassung der Schritte S34 und S35). Auch in diesem Fall
ist es möglich,
eine Kathode zu erhalten, in der die Korngrenzen des hochschmelzenden
Metallpulvers mit dem Emittermaterial 2, z. B. Hafniumoxid, überzogen
sind.
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Ausführungsform
4 (Referenz)
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Mit
den oben genannten Ausführungsformen können Kathoden
erhalten werden, die eine hervorragende Elektronen-Emissionscharakteristik
aufweisen. Die Austrittsarbeit kann jedoch weiter verringert werden
und die Eigenschaften der Kathoden können verbessert werden, indem
eine Metallschicht aus Iridium (Ir), Ruthenium (Ru), Osmium (Os)
oder Rhenium (Re) oder eine Wolframcarbid-Schicht (W2C)
oder eine Molybdäncarbid-Schicht
(Mo2C) auf mindestens einer Elektronen-emittierenden
Oberfläche
der in 1, 4 und 6 gezeigten
Kathoden gebildet wird. Die Dicke der Metallschicht beträgt bevorzugt 0,01
bis 0,5 μm.
Wenn sie geringer als 0,01 μm
ist, ist es schwierig eine Schicht abzuscheiden bzw. die Dicke der
Schicht zu beeinflussen. Wenn sie größer als 0,5 μm ist, wird
keine weitere Verbesserung der Kathode erreicht. Die Dicke der Carbid-Schicht
beträgt bevorzugt
höchstens
20% der Kathodendicke. Wenn die Dicke der Carbid-Schicht mehr als 20% der Kathodendicke
beträgt,
kann sich die mechanische Festigkeit der Kathode verringern.
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8(a) und (b) zeigen eine Ausführungsform, in der eine Ir-Schicht 6 auf
der Kathodenoberfläche
abgeschieden ist. Die Kathode ist mit den gleichen Elementen wie
die in 1 gezeigte Ausführungsform
verbunden. Die Ir-Schicht wird z. B. unter Einsatz einer Sputtervorrichtung 10,
die in 9 gezeigt ist, gebildet. Zuerst wird eine Kathode 8 in
eine Sputtervorrichtung 10 eingeführt. Unter einer Argonatmosphäre von etwa
8,0 × 10–1 Pa
wird zwischen einem Target 9, das Ir umfaßt, und
der geerdeten Kathode 8 eine Hochfrequenzleistung von 250
W erzeugt. Eine Ir-Schicht 6 mit einer Dicke von 300 nm wird
hergestellt, indem für
etwa 30 min gesputtert wird. Die Abscheidung der Ir-Schicht 6 bewirkt
eine Verringerung der Austrittsarbeit um etwa 0,5 eV im Vergleich
zum in 1 gezeigten Kathodenaufbau und
verbessert die Elektronen-Emissionscharakteristik. In 8 sind die gleichen Elemente wie in 1 identisch numeriert, auf eine erneute
Erläuterung wird
daher verzichtet. In 9 bedeutet 9 eine Turbo-Molekularpumpe
zur Vakuumerzeugung und 12 bedeutet eine Umlaufpumpe.
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Obwohl
in der in 8 gezeigten Ausführungsform
eine Ir-Schicht 6 auf der Kathodenoberfläche abgeschieden
ist, kann auch eine Schicht aus Ru, Os oder Re anstelle der Ir-Schicht
gebildet werden. Eine solche Schicht verringert die Austrittsarbeit und
verbessert die Elektronen-Emissionscharakteristik
in gleicher Weise wie die Ir-Schicht. Die Metallschicht aus Ir oder
den anderen genannten Elementen kann auch durch Hydrolyse und Calcinieren
eines Metallalkoxids sowie durch ein Sputterverfahren gebildet werden.
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Ausführungsform
5
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10 zeigt
eine Ausführungsform,
in der eine Wolframcarbid-Schicht (W2C) 7 auf
der Kathodenoberfläche
gebildet ist. Die Kathode ist mit den gleichen Elementen wie die
in 1(a) gezeigte Ausführungsform
verbunden. Die W2C-Schicht wird z. B. gebildet, indem die
Kathode 8 an eine vorgegebene Position innerhalb eines
Carbonisierungsofens mit einer Vakuumkammer 14 plaziert
wird und die folgenden Schritte durchgeführt werden. Als erstes wird
die Vakuumkammer evakuiert, so daß der Innendruck höchstens
133 × 10–7 Pa
beträgt.
Dann wird aus einer Heptan-Stahlflasche 17 durch
ein Gaseinlaßventil 15 schrittweise
Heptan in die Vakuumkammer eingeführt, da der Sättigungsdampfdruck
von Heptan bei Raumtemperatur etwa 6,7 × 103 Pa
beträgt.
In diesem Fall wird das Hauptventil 16 in geeigneter Weise abgedichtet,
um den Innendruck der Vakuumkammer stabil auf 133 × 5 × 10–4 Pa
einzustellen.
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Anschließend wird
durch Heizen der Kathode 8 auf 2 200°C unter Einsatz der Heizung 13 des Carbonisierungsofens
eine W2C-Carbid-Schicht 7 mit einer
Dicke von etwa 15 μm
in etwa fünf
Minuten erhalten (siehe 10). Wie
in 12 vergrößert dargestellt,
bildet W2C säulenförmige Kristalle. Daher werden
sehr kleine Risse auf der Oberfläche
gebildet. Dadurch wird die Oberfläche der Kathode vergrößert, so
daß es
für das
Hafniumoxid 2 einfacher ist, in das Innere zu diffundieren.
Wenn der Heptan-Druck im Inneren der Vakuumkammer mindestens 133 × 10–3 Pa
beträgt,
wird eine gemischte Carbid-Schicht aus WC und W2C
gebildet, und die in 12 gezeigten säulenförmigen Strukturen
können nicht
erhalten werden. An den WC-Korngrenzen wachsen größere Kristalle
und es ist schwierig, eine vergrößerte Kathodenoberfläche, wie
in in 12 gezeigt, zu erreichen. Außerdem bewirkt
eine übermäßige Carbonisierung
einen Anstieg der Austrittsarbeit.
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Für die Bildung
der Carbid-Schicht ist es bevorzugt, die Temperatur auf 2 100°C bis 2 450°C einzustellen.
Wenn die Temperatur weniger als 2 100°C beträgt, erfordert die Bildung der
Carbid-Schicht viel Zeit. Weiterhin wird amorpher Kohlenstoff auf
der Kathodenoberfläche
abgeschieden, in einigen Teilen steigt die Kohlenstoff-Konzentration
und WC wird gebildet. Wenn die Temperatur mehr als 2 450°C beträgt, setzt
aufgrund der eutektischen Temperatur von W und W2C
der Schmelzvorgang ein.
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In
der gleichen Weise wie in der in 1(a) gezeigten
Ausführungsform
wird die Kathode in der Elektronenröhre angeordnet und dann wird
die Kathode durch Aufheizen auf etwa 2 400°C aktiviert und die Kathodenoberfläche wird
gereinigt. Währenddessen
wird das Hafniumoxid teilweise reduziert, so daß die Bildung einer monoatomaren
Schicht vervollständigt
wird. Die Rolle des W2C besteht hierbei
darin, die Reduktion des Hafniumoxids bei geringen Temperaturen
zu ermöglichen.
Da die Reduktion verglichen mit dem Fall, in dem kein W2C
gebildet wird, bei der Betriebstemperatur von 1 800°C beschleunigt
wird, wird die Elektronen-Emissionscharakteristik
verbessert. Anders gesagt wird Hafniumoxid nicht nur durch Wolfram
sondern auch durch Kohlenstoff reduziert und daher wird eine größere Menge
an Hafnium, das die monoatomare Schicht bildet, zur Verfügung gestellt.
Im Hinblick auf die Lebensdauer wird die Kathode bevorzugt bei einer
Betriebstemperatur von 1 800°C
eingesetzt. Aufgrund der Bildung einer W2C-Schicht
auf der Kathodenoberfläche
kann die Elektronen-Emissionscharakteristik
von 0,3 A/cm2 auf mindestens 5 A/cm2 bei 1 800°C gesteigert werden. Diese Carbonisierung
bewirkt außerdem
eine Hemmung der Verdampfung des Emittermaterials.
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Obwohl
in dieser Ausführungsform
eine Wolframcarbid-Schicht auf der Kathodenoberfläche gebildet
wird, kann die Elektronen-Emissionscharakteristik auch verbessert
werden, indem eine Molybdäncarbid-Schicht
anstelle der Wolframcarbid-Schicht
gebildet wird.
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Ausführungsform
6
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13 ist
ein Querschnitt einer Kathode gemäß einer weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. Die Abbildung zeigt einen Zustand, in dem
die Korngrenzen des Wolframs dadurch faserförmig ausgebildet sind, daß das polykristalline
poröse
Wolfram, das aufgrund des Pulverpressen und des Sinterns als Masse
anfällt,
bei 1 500 bis 1 800°C unter
Einsatz entsprechend geformter Werkzeuge gestreckt, z. B. gesenkgeschmiedet,
wird. Durch diese Korngrenzenstruktur wird die Zähigkeit verbessert und die
Verarbeitung wird einfacher. Aufgrund des hochdichten Aufbaus wird
außerdem
die Carbid-Schicht idealerweise nur auf der äußersten Oberfläche, nicht
jedoch im Inneren gebildet, wenn die Kathode carbonisiert wird.
In der Praxis wird die polykristalline Wolfram-Masse durch Gesenkschmieden in
Stäbe geformt
und diese Wolfram-Stäbe
werden anschließend
zu der in 1(a) und (b) gezeigten Kathode
verarbeitet. Es ist möglich,
in dieser Ausführungsform
anstelle von Wolfram Molybdän
einzusetzen.
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Ausführungsform
7 (Referenz)
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14 ist
die Abbildung einer Kathode gemäß einer
weiteren Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung. In dieser Ausführungsform wird Hafniumwolframat-Pulver
als Emittermaterial eingesetzt und das Hafniumwolframat-Pulver 18 wird
auf die Heizung 19 aufgebracht. 20 bezeichnet
die Elektroden. Wenn durch die Heizung 19 im Vakuum Strom fließt, so daß die Kathode
in Betrieb gesetzt wird, zersetzt sich das Hafniumwolframat 18 thermisch
in Wolfram und Hafniumoxid. Hafniumoxid bildet eine monoatomare
Schicht auf der Oberfläche
des Wolframs und, wie in den oben genannten Ausführungsformen erklärt, kann
eine hervorragende Elektronen-Emissionscharakteristik erreicht werden.
Da das Wolfram und das Hafniumoxid aus einer Verbindung gebildet
werden, ist ihre Verteilung im atomaren Bereich homogen und die
Elektronen-Emissionscharakteristik ist stabil. Da weiterhin die
Kathode durch Aufbringen eines Pulvers gebildet werden kann, eignet sich
diese Ausführungsform
für Kathoden, in
denen Elektronen aus einer Oberfläche komplizierter Form emittiert
werden müssen.
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Die
vorliegende Erfindung wurde durch die verschiedenen Ausführungsformen
beschrieben, sie ist jedoch nicht auf diese Ausführungsformen beschränkt und
kann in vielfältiger
Weise modifiziert werden. Anstelle von Hafniumoxid, das in den oben genannten
Ausführungsformen
als Emittermaterial eingesetzt wird, können z. B. ein oder mehrere
Oxide, ausgewählt
aus Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid und Titanoxid, oder Materialien,
die durch Mischen eines oder mehrerer Metalle, ausgewählt aus
Hafnium, Zirkonium, Lanthan, Cer und Titan, mit diesen Emittermaterialien
erhalten werden, als Emittermaterialien eingesetzt werden.
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Weiterhin
können
als Ausgangsmaterial für die
oben genannten Emittermaterialien Hafniumwolframat, Zirkoniumwolframat,
Lanthanwolframt, Cerwolframat oder Titanwolframat mit Wolfram gemischt werden,
um eine Kathode herzustellen. In diesem Fall werden die Wolframate
unter den Betriebsbedingungen der Kathode (hohe Temperatur und Vakuum) in
Wolfram und Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid oder
Titanoxid zersetzt. D. h., wenn zur Bildung des Emittermaterials
eine Wolframat-Verbindung eingesetzt wird, verläuft die Reduktion des Emittermaterials
aufgrund einer verbesserten Homogenität im Wolfram gleichförmig, so
daß eine längere Lebensdauer
erzielt wird, obwohl der Betriebsmechanismus der gleiche wie in
der oben genannten Kathode ist.
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Weiterhin
kann das hochschmelzende Metall eine Legierung sein, die durch Zugabe
von 0,01 bis 1 Gew.-% Hafnium, Zirkonium oder Titan zu Wolfram oder
Molybdän
erhalten wird. Wenn auf diese Weise Additive eingeführt werden,
kann die Reduktionsfähigkeit
in Verbindung mit Wolfram verbessert werden und dadurch kann das
Emittermaterial bereits bei geringeren Temperaturen reduziert werden,
so daß eine monoatomare
Schicht gebildet wird.
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Obwohl
die Kathoden in den oben genannten Ausführungsformen als Tabletten
geformt werden, können
sie selbstverständlich
auch in eine lineare oder verschiedene andere Formen gebracht werden.
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Wie
oben beschrieben, kann durch die vorliegende Erfindung eine Kathode
erhalten werden, die bei hohen Temperaturen von mindestens 1 400°C, bei denen
eine imprägnierte
Kathode nicht betrieben werden kann, einsetzbar ist und die eine
besonders hervorragende Elektronen-Emissionscharakteristik aufweist.
Da weiterhin Hafniumoxid, Zirkoniumoxid, Lanthanoxid, Ceroxid und
Titanoxid, die als Emittermaterial eingesetzt werden, einen geringen
Dampfdruck und eine ausreichende Elektronen-Emissionscharakteristik aufweisen, ist
es möglich,
eine Kathode herzustellen, die nicht durch Verdampfung bei hohen
Temperaturen gekennzeichnet ist und die verbesserte Eigenschaften
aufweist.
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Gemäß dem erfindungsgemäßen Verfahren werden
das hochschmelzende Metallmaterial und das Emittermaterial homogen
dispergiert, daher verläuft
die Reduktion des Emittermaterials gleichförmig. Weiterhin wird durch
das Strecken, z. B. das Gesenkschmieden, die Verarbeitung erleichtert
und somit kann nach der Carbonisierung ein idealer Aufbau erhalten
werden.