DE10118139A1 - Ereignungsgestütztes Prüfsystem mit Pinkalibrierdatenspeicherung in einem leistungsunabhängigen Speicher - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft ein ereignisgestütztes Prüfsystem, das eine kostengünstige, fehlerfreie, sichere und einfache Art der Verwaltung von Kalibrierdaten für alle darin verwendeten Pin-Karten bietet. Das Prüfsystem weist eine große Anzahl von Prüfkanälen zum Prüfen eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) durch Zuführung von Prüfmustern zu Bauteilpins des Bauteilprüfling DUT durch die Prüfkanäle und Bewertung der Ausgangssignale des Bauteilsprüflings DUT auf. Das Prüfsystem enthält eine Vielzahl von Pin-Karten, die jeweils eine Vielzahl von Pin-Einheiten enthalten und so einen Teil der Prüfkanäle bilden, einen leistungsunabhängigen Speicher innerhalb einer jeden Pin-Karte, der zur Speicherung von Kalibrierdaten für die Kompensation von bei den in der entsprechenden Pin-Karte montierten Pin-Einheiten auftretenden Fehlerfaktoren dient, und einen Mikroprozessor in einer jeden Pin-Karte, der zur Verwaltung der Kalibrierdaten und zur Durchführung des Kalibriervorgangs für alle Pin-Einheiten der entsprechenden Pin-Karte dient, wobei jede Pin-Einheit als ein ereignisgestütztes Prüfgerät gestaltet ist, in dem ein Prüfmuster oder ein Strobe-Signal direkt auf der Grundlage von in einem Ereignisspeicher gespeicherten Ereignisdaten erzeugt wird, welche jegliche Veränderung gegenüber einem vorhergehenden Ereignis unter Bezugnahme auf eine Zeitdifferenz zu diesem vorhergehenden Ereignis angeben.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüf­ system zum Prüfen von Halbleiterbauteilen, wie etwa in­ tegrierten Schaltungen, und insbesondere ein ereignis­ gestütztes Halbleiterprüfsystem, bei dem für jede Pin- Einheit eine Speicherung von Kalibrierdaten für ver­ schiedene, die Prüfgenauigkeit beeinflussende Parameter in einem in einer Pin-Karte angeordneten leistungsunab­ hängigen Speicher erfolgt.

Beim Prüfen von Halbleiterbauteilen, beispielsweise von integrierten und hochintegrierten Schaltungen durch ein Halbleiterprüfsystem, wie etwa ein Prüfgerät für inte­ grierte Schaltungen, werden einem zu prüfenden inte­ grierten Halbleiterschaltungsbauteil von einem Prüfge­ rät für integrierte Schaltungen an dessen entsprechen­ den Prüfgerätpins erzeugte Prüfsignale bzw. Prüfmuster mit bestimmten Prüfzeitsteuerungen zugeführt. Das Prüf­ gerät für integrierte Schaltungen empfängt vom inte­ grierten Schaltungsbauteilprüfling in Antwort auf die Prüfsignale erzeugte Ausgangssignale. Die Ausgangssi­ gnale werden mit Hilfe von Strobe-Signalen mit bestimm­ ten Zeitsteuerungen abgetastet bzw. abgefragt, um sie mit SOLL-Ausgangsdaten zu vergleichen und so zu bestim­ men, ob das integrierte Schaltungsbauteil korrekt funk­ tioniert.

Die Prüfsignale werden dem Bauteilprüfling durch Pin- Ansteuerungen zugeführt, die die gewünschte Amplitude, Impedanz und Steigungsraten der Prüfsignale erzeugen. Die Antwort-Ausgangssignale vom Bauteilprüfling werden durch analoge Komparatoren mit der jeweiligen Zeit­ steuerung der Strobe-Signale abgetastet, um sie mit festgelegten Schwellenspannungen zu vergleichen. Sowohl die Pin-Ansteuerung als auch die analogen Komparatoren sind üblicherweise in einem als Pin-Elektronik bezeich­ neten Block montiert. Da in der Pin-Elektronik die Prüf- und Antwortsignale als analoge Werte vorliegen und zudem Gleichstrom-Spannungen sowie der jeweilige Gleichstrom für die Gleichstrom-Parametermessung vor­ handen sind, müssen die in der Pin-Elektronik vorkom­ menden Parameter zur Gewährleistung einer genauen Mes­ sung kalibriert werden. Die vorliegenden Erfindung be­ zieht sich auf eine Technologie zur Speicherung ent­ sprechender Kalibrierdaten im Halbleiterprüfsystem.

Herkömmlicherweise wird die jeweilige Zeitsteuerung für die Prüfsignale und Strobe-Signal relativ zu einer Prüfgerätgeschwindigkeit oder einem Prüfgerätzyklus des Halbleiterprüfsystems angegeben. Ein entsprechendes Prüfsystem wird gelegentlich als zyklusgestütztes Prüf­ system bezeichnet. Bei einem anderen Prüfsystemtyp, dem sogenannten ereignisgestützten Prüfsystem, werden die gewünschten Prüf- und Strobe-Signale mit Hilfe von von einem Ereignisspeicher gelieferten Ereignisdaten direkt für jeden Pin erzeugt. Die vorliegende Erfindung läßt sich in vorteilhafter Weise beim ereignisgestützten Prüfsystem einsetzen; sie kann jedoch auch für das her­ kömmliche zyklusgestützte Halbleiterprüfystem mit einem auf die einzelnen Pins ausgelegten Aufbau Verwendung finden.

Bei einem ereignisgestützten Prüfsystem wird auf das Auftreten von Ereignissen Bezug genommen, wobei es sich bei den Ereignissen um jegliche Änderungen im Logikzu­ stand von zum Prüfen eines Halbleiterbauteilprüflings zu verwendenden Signalen handelt. Derartige Änderungen beziehen sich beispielsweise auf ein Ansteigen bzw. Ab­ fallen von Flanken der Prüfsignale oder Zeitsteuerungs­ flanken von Strobe-Signalen. Die jeweilige Zeitsteue­ rung der Ereignisse wird dabei unter Bezugnahme auf eine Zeitlänge ab einem Referenzzeitpunkt angegeben. Bei einem solchen Referenzzeitpunkt handelt es sich üb­ licherweise um eine Steuerzeit des vorhergehenden Er­ eignisses. Stattdessen kann es sich bei einem solchen Referenzzeitpunkt aber auch um eine konstante Startzeit handeln, die allen Ereignissen gemeinsam ist.

Da bei einem ereignisgestützten Prüfsystem die in einem Zeitsteuerungsspeicher (Ereignisspeicher) vorhandenen Zeitsteuerungsdaten keine komplexen Informationen über Wellenform, Vektor, Verzögerung etc. für jeden einzel­ nen Prüfzyklus enthalten müssen, läßt sich die Be­ schreibung der Zeitsteuerungsdaten erheblich vereinfa­ chen. Beim ereignisgestützten Halbleiterprüfsystem wer­ den, wie bereits erwähnt, üblicherweise die in einem Ereignisspeicher gespeicherten Zeitsteuerungsdaten (Ereignisdaten) für jedes Ereignis als ein zeitlicher Abstand zwischen dem gegenwärtigen Ereignis und dem zu­ letzt erfolgten Ereignis wiedergegeben. Üblicherweise ist ein solcher zeitlicher Abstand zwischen aufeinan­ derfolgenden Ereignissen (Deltazeit) - anders als ein zeitlicher Abstand zu einem konstanten Startzeitpunkt (Absolutzeit) - nur gering, so daß der Umfang der im Speicher vorhandenen Daten ebenfalls gering sein kann, was zu einer Reduzierung der Speicherkapazität führt.

Wie bereits erwähnt, müssen die Pin-Elektronikschaltun­ gen im Halbleiterprüfsystem zur Erzielung einer genauen Messung der Bauteilparameter einer Kalibrierung unter­ zogen werden. Zu den verschiedenen Typen von Kalibrier­ daten, die in einem Halbleiterprüfsystem unter Umstän­ den benötigt werden, gehören beispielsweise Daten zur (1) Kompensation von Referenzsteuerspannungen, (2) Kom­ pensation von Referenzvergleichsspannungen (Schwellenspannungen), (3) Kompensation der Steuer­ stromlast, (4) Kompensation von mit den Prüfpins ver­ bundenen parametrischen (Gleichstromspannung- und Gleichstrom-)Meßschaltungen, (5) Kompensation von für die Auslösung von Vergleichen verwendeten Zeitsteue­ rungs-Strobe-Signalen und (6) Kompensation von für die Steuerung von Prüfpin-Testimpulsen (Prüfsignalen) ver­ wendeten Zeitsteuerungs-Auslösern. Es gibt noch weitere Fehlerfaktoren, die die Genauigkeit und die Auflösung des Prüfergebnisses ebenfalls beeinflussen. Diese ande­ ren Fehlerfaktoren betreffen Signalausbreitungs-Verzö­ gerungszeiten eines Performance-Boards und einer zwi­ schen den Pin-Karten und dem Bauteilprüfling angeordne­ ten Pin-Halterung.

Es besteht daher ein Bedarf nach einer wirksamen Art der Kalibrierdaten-Aufbewahrung im Prüfsystem, die eine Kompensation verschiedener Parameter entweder in einem bestimmten Zeitintervall oder jedesmal beim Zuschalten der Versorgungsspannung ermöglicht.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zu­ grunde, ein Halbleiterprüfystem vorzusehen, das eine Vielzahl von Pin-Karten umfaßt, wobei Kalibrierdaten in einer Pin-Karte gespeichert sind und jede Pin-Karte eine Vielzahl von Pin-Einheiten umfaßt und wobei jede Pin-Einheit als ereignisgestütztes Prüfgerät gestaltet ist.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein Halbleiterprüfsystem anzugeben, bei dem jede eine Vielzahl von Pin-Einheiten umfassende Pin-Karte einen leistungsunabhängigen Speicher zur Speicherung der Kalibrierdaten verschiedener, bei den Pin-Einheiten der Pin-Karte auftretender Parameter enthält.

Zudem besteht eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem vor­ zusehen, bei dem jede eine Vielzahl von Pin-Einheiten umfassende Pin-Karte einen leistungsunabhängigen Spei­ cher zur Speicherung der Kalibrierdaten verschiedener, bei den Pin-Einheiten auftretender Parameter sowie eine Zentraleinheit zur Durchführung eines Kalibriervorgangs an der Pin-Karte umfaßt.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem zu beschreiben, das eine kostengünstige, fehlerfreie, si­ chere und einfache Art der Kalibrierdaten-Verwaltung für alle im Halbleiterprüfsystem verwendeten Pin-Karten aufweist.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterprüf­ system zur Prüfung eines Elektronikbauteilprüflings (DUT) durch Erzeugung von Ereignissen mit unterschied­ licher Zeitsteuerung für die Zuführung eines Prüfsi­ gnals zum Bauteilprüfling DUT und durch Bewertung eines Ausgangssignals vom Bauteilprüfling DUT mit einer Zeit­ steuerung eines Strobe-Signals. Die jeweilige Zeit­ steuerung der Ereignisse läßt sich durch eine Verände­ rung der Zeitsteuerungsdaten im Ereignisspeicher belie­ big verändern.

Gemäß der vorliegenden Erfindung umfaßt das Halbleiter­ prüfsystem eine große Anzahl von Prüfkanälen zum Prüfen eines Halbleiterbauteilprüflings (DUT) durch Zuführung von Prüfmustern zu Bauteilpins des Bauteilprüflings DUT durch die Prüfkanäle und Überprüfung der Antwort-Aus­ gangssignale vom Bauteilprüfling DUT. Das Prüfsystem enthält eine Vielzahl von Pin-Karten, die jeweils eine Vielzahl von Pin-Einheiten umfassen und so einen Teil der Prüfkanäle bilden, jeweils einen leistungsunabhän­ gigen Speicher innerhalb einer jeden Pin-Karte, der zur Speicherung von Kalibrierdaten für die Kompensation von bei den in der entsprechenden Pin-Karte montierten Pin- Einheiten auftretenden Fehlerfaktoren dient, und je­ weils einen Mikroprozessor in einer jeden Pin-Karte, der zur Verwaltung der Kalibrierdaten und zur Durchfüh­ rung des Kalibriervorgangs für alle Pin-Einheiten der entsprechenden Pin-Karte dient, wobei jede Pin-Einheit als ein ereignisgestütztes Prüfgerät gestaltet ist, in dem ein Prüfmuster oder ein Strobe-Signal direkt auf der Grundlage von in einem Ereignisspeicher gespeicher­ ten Ereignisdaten erzeugt wird, welche jegliche Verän­ derung gegenüber einem vorhergehenden Ereignis unter Bezugnahme auf eine Zeitdifferenz zu diesem vorherge­ henden Ereignis angeben.

Die Kalibrierdaten umfassen Daten zur Kompensation von Fehlerfaktoren für Parameter, die in der entsprechenden Pin-Karte beim Prüfen des Bauteilprüflings vorkommen. So beinhalten die Kalibrierdaten beispielsweise Daten zur Kompensation von Fehlerfaktoren, die etwa Steuer­ zeiten und Referenzspannungen der Prüfmuster, Steuer­ zeiten der Strobe-Signale und Referenzvergleichsspan­ nungen betreffen.

Bei einem weiteren Aspekt umfaßt das erfindungsgemäße Halbleiterprüfsystem zusätzlich ein dem Bauteilprüfling DUT speziell angepaßtes Performance-Board, auf dem der Bauteilprüfling DUT gehaltert wird und das Signalwege zur Übertragung von Signalen zu und vom Bauteilprüfling DUT aufweist, sowie eine Pin-Halterung zur Verbindung der Vielzahl von im Prüfsystem vorgesehenen Pin-Karten mit dem Performance-Board. Bei einer solchen Anordnung umfassen die Kalibrierdaten vorzugsweise Daten zur Kom­ pensation von Fehlerfaktoren, die Steuerzeiten und Re­ ferenzspannungen von Prüfmustern, Steuerzeiten von Strobe-Signalen, Referenzvergleichsspannungen sowie Si­ gnalausbreitungs-Verzögerungen im Performance-Board und der Pin-Halterung betreffen.

Beim erfindungsgemäßen Halbleiterprüfsystem enthält jede Pin-Karte einen leistungsunabhängigen Speicher, der Kalibrierdaten zur Kompensation der Fehlerfaktoren aller Pin-Einheiten der Pin-Karte speichert. Die Tatsa­ che, daß der Speicher zur Speicherung der Kalibrierda­ ten der Pin-Karte dauerhaft zur Verfügung steht, ver­ einfacht die Verwaltung der Kalibrierdaten durch einen Hersteller oder Benutzer des Prüfsystems, beispiels­ weise bei einem Bestandsermittlungsvorgang, einem Pin- Karten-Austausch, einer Aktualisierung der Kalibrierda­ ten usw. Da die Pin-Karte einen lokalen Mikroprozessor enthält, vereinfacht sich auch ein Kalibriervorgang, der eine Datenzuordnung für die Pin-Einheiten der Pin- Karte beinhaltet. Zudem bietet das ereignisgestützte Prüfsystem gemäß der vorliegenden Erfindung eine ko­ stengünstige, fehlerfreie, sichere und einfache Art der Kalibrierdaten-Verwaltung aller Pin-Karten.

Im folgenden wird die Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 ein schematisches Blockschaltbild ei­ nes grundlegenden Aufbaus eines erfin­ dungsgemäßen ereignisgestützten Halb­ leiterprüfsystems;

Fig. 2 ein Blockschaltbild zur genaueren Dar­ stellung einer die in Fig. 1 gezeigte Pin-Elektronik betreffenden Struktur, bei der Steuerereignisse (Prüfsignal) und Abtastereignisse (Strobe-Signal) vom Ereignisgenerator vorkommen;

Fig. 3 ein Schemadiagramm eines Beispiels für die äußere Erscheinung eines ereignis­ gestützten Prüfsystems, bei dem zwi­ schen dem Bauteilprüfling und den Pin- Karten ein Performance-Board und eine Pin-Halterung vorgesehen sind;

Fig. 4 ein schematisches Blockschaltbild zur Darstellung eines grundlegenden Kon­ zepts der vorliegenden Erfindung, wo­ bei die Kalibrierdaten in einem in je­ der Pin-Karte des Prüfsystems vorgese­ henen leistungsunabhängigen Speicher gespeichert werden;

Fig. 5 ein schematisches Blockschaltbild zur Darstellung eines weiteren Ansatzes zur Speicherung der Kalibrierdaten im Prüfsystem, wobei ein von den Pin-Kar­ ten getrennt vorgesehenes, externes Speicherbauteil die Kalibrierdaten speichert;

Fig. 6 ein Blockschaltbild eines Beispiels für den Aufbau des ereignisgestützten Halbleiterprüfsystems, das eine Viel­ zahl von Pin-Karten umfaßt, wobei jede Pin-Karte eine Vielzahl von Pin-Ein­ heiten bzw. ereignisgestützten Prüfge­ räten enthält;

Fig. 7 ein schematisches Blockdiagramm zur Darstellung eines Beispiels für ein Konzept bei einem anderen erfindungs­ gemäßen Ausführungsbeispiel, bei dem zu den Kalibrierdaten Daten zur Kom­ pensation von in einem Performance- Board und einer Pin-Halterung auftre­ tenden Ausbreitungs-Verzögerungszeiten gehören; und

Fig. 8 ein Beispiel für ein in "C"-Program- miersprache geschriebenes Programm, das einen Kalibriervorgang zu dem Zeitpunkt auslöst, an dem die Versor­ gungsspannung zugeschaltet wird.

Im folgenden wird das bevorzugte Ausführungsbeispiel detailliert beschrieben.

Das schematische Blockschaltbild gemäß Fig. 1 zeigt ein Beispiel für einen grundlegenden Aufbau eines Halblei­ terprüfsystems, bei dem es sich vorzugsweise um ein er­ eignisgestütztes Prüfsystem handelt. Das ereignisge­ stützte Prüfsystem umfaßt einen Hauptrechner 12 und eine Bus-Schnittstelle 13, die beide mit einem System­ bus (Pin-Bus) 14 verbunden sind, einen internen Bus 15, eine Adreß-Steuerlogik 18, einen Fehlerspeicher 17, einen aus einem Ereignis-Zählspeicher 20 und einem Er­ eignis-Feinabstimmungsspeicher 21 bestehenden Ereignis­ speicher, eine Ereignissummier- und Skalierlogik 22, einen Ereignisgenerator 24 und eine Pin-Elektronik (Pin-Ansteuerung und Komparator) 26. Das ereignisge­ stützte Prüfsystem dient zur Bewertung eines Halblei­ terbauteilprüflings (DUT) 28, bei dem es sich üblicher­ weise um eine integrierte Speicherschaltung, etwa einen Direktzugriffsspeicher (RAM), einen Festwertspeicher (ROM), einem Flash-Speicher oder eine integrierte Lo­ gikschaltung, beispielsweise einen Mikroprozessor oder einen digitalen Signalprozessor, oder um einen inte­ grierten Systemchip handelt und der mit der Pin-Elek­ tronik 26 verbunden ist.

Als Hauptrechner 12 dient beispielsweise ein mit einem UNIX-, Window-NT- oder Linux-Betriebssystem ausgestat­ teter Arbeitsplatz. Der Hauptrechner 12 fungiert als eine Benutzerschnittstelle, die es einem Benutzer er­ möglicht, am Hauptrechner Befehle für die Start- und Endoperation der Prüfung einzugeben, ein Prüfprogramm und andere Prüfbedingungen zu laden oder Prüfergebnis­ analysen durchzuführen. Der Hauptrechner 12 ist über den Systembus 14 und die Busschnittstelle 13 mit einem Hardware-Prüfsystem verbunden. Zudem ist der Hauptrech­ ner 12 noch vorzugsweise zum Absenden bzw. Empfangen von Prüfinformationen von anderen Prüfsystemen oder Rechnernetzen mit einem. Datenübertragungsnetzwerk ver­ bunden, was jedoch in der Zeichnung nicht dargestellt ist.

Bei dem internen Bus 15 handelt es sich um einen Bus im Hardware-Prüfsystem, der üblicherweise mit den meisten Funktionsblöcken, wie etwa der Adreß-Steuerlogik 18, dem Fehlerspeicher 17, der Ereignissummier- und Ska­ lierlogik 22 und dem Ereignisgenerator 24 verbunden ist. Als Adreß-Steuerlogik 18 wird beispielsweise ein nur dem Hardware-Prüfsystem zur Verfügung stehender Prüfgerätprozessor verwendet, auf den der Benutzer kei­ nen Zugriff hat. Die Prüfgerät-Zentraleinheit 18 lie­ fert auf der Grundlage der vom Hauptrechner 12 vorgege­ benen Bedingungen bzw. des Prüfprogramms entsprechende Befehle an andere Funktionsblöcke des Prüfsystems. Der Fehlerspeicher 17 speichert Prüfergebnisse, beispiels­ weise Fehlerinformationen über den Bauteilprüfling DUT 28, an den durch die Adreß-Steuerlogik 18 vorgegebenen Adressen ab. Die im Fehlerspeicher 17 gespeicherten In­ formationen werden in der Phase der Fehleranalyse des Bauteilprüflings verwendet.

Die Adreß-Steuerlogik (Adreßfolge-Steuereinheit) 18 liefert dem Ereignis-Zählspeicher 20 und dem Ereignis- Feinabstimmungsspeicher 21 Adreßdaten. Bei einem tatsächlich vorhandenen Prüfsystem ist eine Vielzahl von aus einem Ereignis-Zählspeicher und einem Ereignis- Feinabstimmungsspeicher bestehenden Bauteilgruppen vor­ gesehen, von denen jede einem Prüfpin des Prüfsystems entsprechen kann. Der Ereignis-Zählspeicher und der Er­ eignis-Feinabstimmungsspeicher speichern die Zeitsteue­ rungsdaten für jedes Ereignis der Prüfsignale und Strobe-Signale. Im Ereignis-Zählspeicher 20 werden da­ bei die Zeitsteuerungsdaten gespeichert, die einem ganzzahligen Vielfachen des Referenztakts entsprechen (ganzzahliger Datenteil), während im Ereignis-Feinab­ stimmungsspeicher 21 Zeitsteuerungsdaten gespeichert sind, welche einen Bruchteil des Referenztakts wieder­ geben (Bruch-Datenteil). Bei dem erfindungsgemäßen Bei­ spiel werden die Zeitsteuerungsdaten für jedes Ereignis durch einen Zeitdifferenz (Verzögerungszeit bzw. Delta­ zeit) zum vorhergehenden Ereignis ausgedrückt.

Die Ereignissummier- und Skalierlogik 22 dient zur Er­ zeugung von Daten, die eine Gesamtzeitsteuerung der einzelnen Ereignisse auf der Grundlage der vom Ereig­ nis-Zählspeicher 20 und dem Ereignis-Feinabstimmungs­ speicher 21 kommenden Delta-Zeitsteuerungsdaten wieder­ geben. Im wesentlichen werden derartige Gesamtzeit­ steuerungsdaten durch Summierung des ganzzahligen Da­ tenteils und des Bruch-Datenteils erzeugt. Im Verlauf der Summierung der Zeitsteuerungsdaten wird in der Er­ eignissummier- und Skalierlogik 22 im übrigen auch eine Ubertrag-Operation der Bruchteildaten (d. h. eine Ver­ schiebung zum ganzzahligen Datenteil) vorgenommen. Zu­ dem läßt sich eine Modifizierung der Gesamtzeitsteue­ rung erzielen, indem während des Prozesses zur Erzeu­ gung der Gesamtzeitsteuerung Zeitsteuerungsdaten mit Hilfe eines Skalierfaktors entsprechend modifiziert werden.

Der Ereignisgenerator 24 dient dazu, die Ereignisse auf der Grundlage der von der Ereignissummier- und Skalier­ logik 22 gelieferten Gesamtzeitsteuerungsdaten tatsäch­ lich zu erzeugen. Die auf diese Weise erzeugten Ereig­ nisse (Prüfsignale und Strobe-Signale) werden dem Bau­ teilprüfling DUT 28 durch die Pin-Elektronik 26 zuge­ führt. Die Pin-Elektronik 26 besteht im wesentlichen aus einer großen Anzahl von Baueinheiten, die jeweils eine Pin-Ansteuerung und einen Komparator sowie Um­ schalter enthalten und so der Herstellung von Eingabe- und Ausgabebeziehungen zum Bauteilprüfling DUT 28 die­ nen.

Das Blockschaltbild gemäß Fig. 2 zeigt eine detaillier­ tere Darstellung des Aufbaus einer eine Pin-Ansteuerung 35 und einen analogen Komparator 36 umfassenden Pin- Elektronik 26. Der Ereignisgenerator 24 erzeugt Steuer- Ereignisse, die durch die Pin-Ansteuerung 35 einem Ein­ gangspin des Bauteilprüflings DUT 28 als ein Prüfsignal (Prüfmuster) zugeführt werden. Zudem erzeugt der Ereig­ nisgenerator 24 ein Abtast-Ereignis, das zum Abtasten eines Ausgangssignals des Bauteilprüflings DUT 28 dem analogen Komparator 36 als Strobe-Signal zugeführt wird. Das Ausgangssignal des analogen Komparators 36 wird durch einen Musterkomparator 38 mit den SOLL-Daten vom Ereignisgenerator 24 verglichen. Falls es zu keiner Übereinstimmung zwischen beiden kommt, wird ein Fehler­ signal an den in Fig. 1 gezeigten Fehlerspeicher 17 ge­ sandt.

Die Pin-Elektronik 26 enthält zusätzlich noch eine Schaltungsanordnung zur Durchführung einer Gleichstrom- Parameterprüfung, was in der Zeichnung jedoch nicht dargestellt ist. Die Gleichstrom-Parameterprüfung um­ faßt eine Messung eines Gleichstroms, der in einem be­ stimmten Bauteilpin fließt, während an diesen Pin eine Referenz-Gleichstromspannung anliegt, bzw. die Messung einer Gleichstromspannung an einem bestimmten Bauteil­ pin, während diesem Pin ein Referenz-Gleichstrom zuge­ führt wird. Die Pin-Elektronik 26 kann zudem eine Schaltungsanordnung zur Veränderung von an den Bauteil­ prüfling angelegten Versorgungsspannungen und zur Ver­ änderung von Anschlußwiderständen für Bauteilpins um­ fassen.

Da bei der Pin-Elektronik 26, wie erwähnt, verschiedene analoge Parameter eine Rolle spielen und diese Parame­ ter sich je nach den im Prüfsystem eingesetzten Bautei­ len, der jeweiligen physikalischen Anordnung und dem jeweiligen Layout im Prüfsystem sowie bei Temperaturän­ derungen und generell im Laufe der Zeit verändern, ist es notwendig, diese Parameter zu kalibrieren, um die Gewinnung genauer Prüfergebnisse für den Halbleiterbau­ teilprüfling sicherzustellen.

Im folgenden wird nochmals ein Beispiel für verschie­ dene Arten von Kalibrierdaten angegeben, die unter Um­ ständen in einem Halbleiterprüfsystem benötigt werden, wobei es sich um Daten zur (1) Kompensation von Refe­ renzsteuerspannungen, (2) Kompensation von Referenzver­ gleichsspannungen (Schwellenspannungen), (3) Kompensa­ tion der Steuerstromlast, (4) Kompensation von mit den Prüfpins verbundenen parametrischen (Gleichstromspannungs- und Gleichstrom-)Meßschaltungen, (5) Kompensation von für die Auslösung von Vergleichen verwendeten Zeitsteuerungs-Strobesignalen und (6) Kom­ pensation von für die Steuerung von Prüfpin-Testimpul­ sen (Prüfsignalen) verwendeten Zeitsteuerungs-Auslösern handelt.

Bei einem tatsächlich vorhandenen Prüfsystem wird das Prüfsignal dem Bauteilprüfling im übrigen durch ein Performance-Board und eine Pin-Halterung (Performance- Board-Anschlußeinheit) zugeführt. Das Schemadiagramm gemäß Fig. 3 zeigt ein Beispiel für die äußere Erschei­ nung eines ereignisgestützten Prüfsystems, bei dem zwi­ schen dem Bauteilprüfling und der (auf einer Pin-Karte montierten) Pin-Elektronik ein Performance-Board und eine Pin-Halterung vorgesehen sind. Im Performance- Board und der Pin-Halterung auftretende Signalausberei­ tungs-Verzögerungen beeinflussen ebenfalls die Genauig­ keit und die Auflösung bei der Halbleiterbauteilprü­ fung.

Bei dem in Fig. 3 gezeigten Beispiel wird ein Halblei­ terbauteilprüfling (DUT) 28 auf einem Performance-Board 48 plaziert, das dem Typ des Bauteilprüflings speziell angepaßt ist. In einem Zentralprozessor 44 ist eine Vielzahl von Pin-Karten installiert. Das Performance- Board und die (nicht dargestellten) Pin-Karten stehen über eine als Schnittstelle dienende Pin-Halterung (Performance-Board-Anschlußeinheit) 47 miteinander in Verbindung. Üblicherweise handelt es sich bei der Pin- Halterung 47 um einem mechanischen Block, der eine große Anzahl von der elektrischen Verbindung der Pin- Karten mit dem Performance-Board 48 dienenden flexiblen Anschlußstiften, beispielsweise Pogo-Pins, aufweist.

Wie bereits erwähnt, muß zur genauen Messung der Halb­ leiterbauteilparameter eine Kalibrierung des Halblei­ terprüfsystems im Hinblick auf verschiedene Parameter vorgenommen werden. Dabei werden Kalibrierdaten vom Hersteller ermittelt und in einem Speicherbauteil als Hersteller-Kalibrierdaten gespeichert. Die im Speicher­ bauteil vorhandenen Kalibrierdaten können durch einen Benutzer zu Anwender-Kalibrierdaten modifiziert oder ergänzt werden. Auf der Grundlage der Kalibrierdaten werden in verschiedenen Parametern auftretende Fehler mit einem bestimmten Zeitintervall oder jedesmal beim Zuschalten der Versorgungsspannung kompensiert.

Das Schemadiagramm gemäß Fig. 4 zeigt das grundlegende Konzept der vorliegenden Erfindung zur Speicherung der Kalibrierdaten im Prüfsystem. Bei der vorliegenden Er­ findung umfaßt jede Pin-Karte 43 einen Speicher 75 zur Speicherung der Kalibrierdaten. Bei dem Speicher 75 handelt es sich um einen leistungsunabhängigen Spei­ cher, beispielsweise einen Flash-Speicher, wodurch die Daten auch dann nicht verlorengehen, wenn die Versor­ gungsspannung abgeschaltet wird. Der leistungsunabhän­ gige Speicher 75 speichert alle Kalibrierdaten für die zur selben Pin-Karte 43 gehörenden Pin-Einheiten 66. Ein derartiger leistungsunabhängiger Speicher kann in unterschiedlicher Weise, etwa als selbständiger Spei­ cher oder als Teil eines anderen Speicherbauteils, aus­ gebildet sein.

Bevor unter Bezugnahme auf Fig. 4 näher auf Einzelheiten der vorliegenden Erfindung eingegangen wird, wird im folgenden ein früherer Ansatz der Erfinder erläutert. Das entsprechende Beispiel läßt sich dem Blockschalt­ bild gemäß Fig. 5 entnehmen, wobei die Kalibrierdaten für alle Pin-Karten - und somit für alle Pin-Einheiten des Prüfsystems - in einem externen Speicherbauteil 77 gespeichert sind. Das in Fig. 5 gezeigte Beispiel be­ trifft im übrigen interne Kenntnisse bzw. Firmengeheim­ nisse der Anmelderin der vorliegenden Anmeldung, die im folgenden von den Erfindern bewertet werden. Das Bei­ spiel gemäß Fig. 5 ist also der Öffentlichkeit nicht zu­ gänglich und stellt somit keinen Stand der Technik zur vorliegenden Erfindung dar.

Das externe Speicherbauteil 77 speichert Hersteller- und Anwender-Kalibrierdaten für alle Pin-Einheiten der Pin-Karten. Beim Speicherbauteil 77 handelt es sich beispielsweise um eine Diskette oder Kompaktspeicher­ platte, die getrennt von den Pin-Karten vorgesehen und zum Auslesen der Kalibrierdaten in einen Hauptrechner einer Prüfgerät-Steuereinheit eingeschoben wird. Die Kalibrierdaten für die einzelnen Pin-Einheiten werden durch eine beispielsweise im Hauptrechner bereitge­ stellte Übersichtsdatei 78 zugeordnet.

Die Erfinder der vorliegenden Erfindung sind der An­ sicht, daß der in Fig. 5 gezeigte Aufbau unter Verwen­ dung des von den Pin-Karten getrennt vorgesehenen ex­ ternen Speichers 77 im Prüfsystem aus den folgenden Gründen Nachteile aufweist:
Bei der Pin-Karten-Bestandsermittlung, der Installation in einem Prüfsystem und einer Systemwartung ist ein en­ ger Gleichlauf der zu kalibrierenden Werte und der Ka­ librierdaten nötig. Die Trennung erhöht die Gesamther­ stellungs- und Wartungskosten. Zudem erhöht sich auch der Umfang der Software, weil eine komplexere System­ aufbau-Software benötigt wird, um eine Zuordnung der externen Kalibrierdaten zu den anvisierten Pin-Karten vorzunehmen. Darüber hinaus kommt es bei einer externen Anordnung der Kalibrierdaten gegenüber den Pin-Karten zu den folgenden Nachteilen:

• 1. Das Prüfsystem muß die Kalibrierdaten in der exter­ nen Speichereinheit lokalisieren und sie von dort auslesen und die Pin-Karte konfigurieren.
• 2. Falls die externe Speichereinheit beschädigt wird, kann es zu einem Verlust von Kalibrierdaten für alle Pin-Karten kommen, was eine vollkommen neue Herstel­ ler-Kalibrierung aller Pins im Prüfsystem nötig macht, wobei es sich um einen langwierigen Prozeß handeln kann, der den Transport und das Anschließen spezieller Kalibrierausrüstung erfordert.
• 3. Wird eine Pin-Karte in ein neues Prüfsystem ver­ setzt, so müssen die Kalibrierdaten kopiert und dem Karten-Steckplatz des neuen Systems zugeordnet wer­ den.
• 4. Zur Installation einer neuen Pin-Karte am Prüfsystem ist es nötig, die Pin-Karten-Kalibrierdateien zusam­ men mit der Pin-Karte weiterzugeben und eine Aktua­ lisierung der Kalibrier-Zuordnung sowie der Dateien des die Pin-Karte aufnehmenden Prüfsystems vorzuneh­ men.
• 5. Werden mehrere Pin-Karten zu Wartungszwecken aus dem Prüfsystem entfernt, so muß sorgfältig darauf geach­ tet werden, daß die Pin-Karten wieder in genau die­ selben Steckplätze plaziert werden, aus denen sie ursprünglich entnommen wurden.

Bei der in Fig. 4 gezeigten erfindungsgemäßen Ausführung werden die Kalibrierdaten jeweils in dem in jeder Pin- Karte 43 vorgesehenen Kalibrierspeicher 75 gespeichert. Beim Kalibrierspeicher 75 handelt es sich um einen lei­ stungsunabhängigen Speicher, der die Daten auch dann bewahrt, wenn die Zuführspannung abgeschaltet wird. Jede Pin-Karte enthält einen Mikroprozessor, der den Kalibrierspeicher lesen und ein (nicht dargestelltes) Pin-Einheits-Register schreiben kann. Die erfindungsge­ mäße Speicherung der Kalibrierdaten in einem leistungs­ unabhängigen Speicher der zugehörigen Pin-Karte bietet die folgenden Vorteile:

• 1. Durch das Vorsehen von Karten-Kalibrierdaten an ei­ ner bestimmten Stelle auf der Pin-Leiterplatte läßt sich die Leiterplatte auf einfache Weise in die Hardware-Anordnung aufnehmen.
• 2. Es ist möglich, jeder Leiterplatte ihre Original- Hersteller-Kalibrierdaten mitzugeben, ohne daß hier­ für gesondert entsprechende Dateien installiert wer­ den müßten.
• 3. Eine gesonderte Aufbewahrung von speziellen Zuord­ nungsdatei-Informationen über Pin-Karten-Steckplätze durch die Benutzer ist nicht nötig. Dies erfolgt vielmehr automatisch durch die Daten, die in dem auf jeder Karte vorhandenen leistungsunabhängigen Spei­ cher gespeichert sind.
• 4. Benutzer müssen keine speziellen Pin-Karten-Kali­ brierdatei-Informationen aufbewahren, da dies auto­ matisch durch die im leistungsunabhängigen, auf je­ der Karte vorhandenen Speicher gespeicherten Daten erfolgt.
• 5. Die Prüfsystem-Zuverlässigkeit erhöht sich, weil we­ niger Informationen systemextern aufbewahrt werden müssen und hier eine direkte, enge Kopplung der Ka­ librierdaten an ihre zugehörige Pin-Karte erfolgt.
• 6. Das Prüfsystem kann den leistungsunabhängigen Spei­ cher leicht mit Hilfe neuer Kalibrierdaten aktuali­ sieren, um mit der Zeit auftretende Bauteil-Wertän­ derungen zu kompensieren.
• 7. Ein Kalibrierspeichersystem speichert die Kalibrier­ daten in effektiver Weise lokal auf derjenigen Prüf­ system-Pin-Karte, bei der eine Kompensation vorzu­ nehmen ist.
• 8. Ein leistungsunabhängiges Speichersystem speichert die Kalibrierdaten, die dann von einer Zentralein­ heit zur Verwendung bei der Messung und Testimpuls- Erzeugung für einen Bauteilprüfling aufgerufen wer­ den können.

Das Blockschaltbild gemäß Fig. 6 zeigt einen grundlegen­ den Aufbau des ereignisgestützten erfindungsgemäßen Halbleiterprüfsystems. Das Prüfsystem umfaßt eine Viel­ zahl von Pin-Karten 43. Außerdem enthält jede Pin-Karte eine Vielzahl von Pin-Einheiten (ereignisgestützten Prüfgeräten) 66, die einer Vielzahl von Prüfgerätpins entspricht, wobei beispielsweise 32 Pin-Einheiten für 32 Prüfgerätpins vorgesehen sind. Bei dem in Fig. 6 gezeig­ ten Prüfsystem wird die Vielzahl an Ereignis-Pin-Karten 43 durch eine Prüfgerät-Steuereinheit, bei der es sich um einen Hauptrechner des Prüfsystems handelt, über einen Systembus (Pin-Bus) 14 gesteuert.

Wie sich Fig. 6 entnehmen läßt, führen die Pin-Karten 43 dem Bauteilprüfling 28 Prüfmuster (Prüfsignale) zu und bewerten durch die Prüfmuster ausgelöste Antwortaus­ gangssignale vom Bauteilprüfling. Zwischen den Pin-Kar­ ten 43 und dem Bauteilprüfling 28 sind im Prüfsystem die Pin-Halterung 47 und das Performance-Board 48 ange­ ordnet, wie dies in der bereits beschriebenen Fig. 3 ge­ zeigt ist.

Jede Pin-Karte 43 umfaßt beispielsweise Pin-Einheiten 66 ₁ bis 66 ₃₂ für 32 Prüfgerätpins, eine Schnittstelle 53, einen Hauptrechner 67 und einen Speicher 75. Jede Pin-Einheit 66 entspricht dabei jeweils einem Prüfge­ rätpin des ereignisgestützten Halbleiterprüfsystems, wobei die Pin-Einheiten derselben Prüfgerät-Leiter­ platte dieselbe interne Struktur aufweisen. Beim vor­ liegenden Beispiel umfaßt die Pin-Einheit 66 einen Er­ eignisspeicher 60, eine Ereignisausführeinheit (Ereignissummierung, Skalierung und Ereigniserzeugung) 47, eine Pin-Elektronik (Pin-Ansteuerung und Kompara­ tor) 26 und einen Prüfergebnisspeicher (Fehlerspeicher) 57. Der Speicher 75 speichert, wie erwähnt, die Kali­ brierdaten sowie andere Daten.

Der Ereignisspeicher 60 speichert Ereignisdaten zur Er­ zeugung eines Prüfmusters. Die Ereigniserzeugungsein­ heit 47 erzeugt das Prüfmuster auf der Grundlage der vom Ereignisspeicher 60 gelieferten Ereignisdaten. Das Prüfmuster wird dem Bauteilprüfling durch die Pin-Elek­ tronik 26 zugeführt. Ein Ausgangssignal des Bauteil­ prüflings wird durch den Komparator in der Pin-Elektro­ nik 26 mit einem SOLL-Signal verglichen und das Ergeb­ nis des Vergleichs im Prüfergebnisspeicher 57 gespei­ chert.

Wie in Fig. 6 durch die gestrichelte Linie dargestellt ist, sind der Bauteilprüfling 28 und die Pin-Elektronik 26 durch die als Schnittstelle dienende Pin-Halterung 47 und das Performance-Board 48 miteinander verbunden.

Die von der Pin-Elektronik (Pin-Ansteuerungen) 26 zum Bauteilprüfling 28 gelangenden Prüfsignale können durch die Signalausbreitungs-Verzögerungszeit in der Pin-Hal­ terung 47 und dem Performance-Board 48 beeinflußt wer­ den. In entsprechender Weise kann das vom Bauteilprüf­ ling 28 zur Pin-Elektronik (Komparator) 26 gelangende Ausgangssignal durch die Signalausbreitungs-Verzöge­ rungszeit in der Pin-Halterung 47 und dem Performance- Board 48 beeinflußt werden.

Das schematische Blockdiagramm gemäß Fig. 7 zeigt daher ein anderes Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfin­ dung, bei dem die Kalibrierdaten Daten zur Kompensation von im Performance-Board und der Pin-Halterung 47 auf­ tretenden Ausbreitungs-Verzögerungszeiten umfassen. Zwar beziehen sich die Informationen über die Ausbrei­ tungs-Verzögerungszeit in der Pin-Halterung 47 und dem Performance-Board 48 nicht direkt auf die Pin-Karte 43; sie stehen allerdings in Relation zur Gesamtlänge des Signalpfads der Pin-Einheit, weshalb es nützlich ist, im leistungsunabhängigen Speicher 75 der Pin-Karte 43 Kalibrierdaten zu speichern, die (1) Kalibrierdaten für die spezifische Ausbreitungs-Verzögerungszeit des Per­ formance-Boards und (2) Kalibrierdaten über die Aus­ breitungs-Verzögerungszeit zwischen Pin-Karte und Pin- Halterung umfassen.

Fig. 8 zeigt ein Beispiel für ein in "C"-Programmier­ sprache geschriebenes Programm zur Initiierung eines Kalibrierprozesses beim Zuschalten der Versorgungsspan­ nung im Prüfsystem. Bei diesem "C"-Sprachen-Beispiel wird der leistungsunabh_MEMORY" angesprochen, während die Pin-Einheiten mit dem Namen "PIN_UNIT" adressiert werden. Wird am Prüfsystem eine Spannung angelegt, so führt die in der Pin-Karte eingebettete Zentraleinheit die Einschalt-Funktionen durch, um sich selbst zu in­ itialisieren, und startet den Kalibriervorgang. Die Be­ schreibung in Fig. 8 dient nur als ein Beispiel und es gibt im Rahmen der vorliegenden Erfindung auch noch viele andere Möglichkeiten zur Durchführung der Kali­ brierung.

Das Halbleiterprüfsystem gemäß der vorliegenden Erfin­ dung ist so gestaltet, daß in jeder Pin-Karte ein lei­ stungsunabhängiger Speicher vorgesehen ist, der zur Kompensierung der Fehlerfaktoren in allen Pin-Einheiten der Pin-Karte Kalibrierdaten speichert. Da der die Ka­ librierdaten speichernde Speicher der Pin-Karte dauer­ haft zugeordnet ist, vereinfacht sich die Verwaltung der Kalibrierdaten durch einen Hersteller bzw. einen Benutzer beispielsweise bei einem Bestandsermittlungs­ vorgang, einem Pin-Karten-Austausch, einer Aktualisie­ rung der Kalibrierdaten etc. Da die Pin-Karte einen lo­ kalen Mikroprozessor enthält, wird auch ein Kalibrier­ vorgang vereinfacht, der eine Zuordnung von Daten für die Pin-Einheiten der Pin-Karte beinhaltet. Zudem bie­ tet das ereignisgestützte Prüfsystem gemäß der vorlie­ genden Erfindung eine kostengünstige, fehlerfreie, si­ chere und einfache Art der Kalibrierdaten-Verwaltung für alle Pin-Karten.

In der obigen Beschreibung sowie der Zeichnung ist zwar nur ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel spezifisch dar­ gestellt; im Hinblick auf die obigen Ausführungen und im Rahmen der beigefügten Ansprüche sind jedoch selbst­ verständlich ohne Abweichung vom Grundgedanken und dem beabsichtigten Schutzbereich der Erfindung viele Modi­ fikationen und Abwandlungen der vorliegenden Erfindung möglich.

Claims (7)

1. Halbleiterprüfsystem zum Prüfen eines Halbleiterbau­ teilprüflings (DUT), wobei das Halbleiterprüfsystem eine große Anzahl von Prüfkanälen umfaßt, zur Prü­ fung den Bauteilpins des Bauteilprüflings DUT durch die Prüfkanäle Prüfmuster zuführt und Antwortaus­ gangssignale des Bauteilprüflings DUT beurteilt und die folgenden Bestandteile enthält:

• - eine Vielzahl von Pin-Karten, die jeweils eine Vielzahl von Pin-Einheiten umfassen und so einen Teil der Prüfkanäle bilden;
• - einen leistungsunabhängigen Speicher innerhalb einer jeden Pin-Karte, der zur Speicherung von Kalibrierdaten für die Kompensation von bei den in der entsprechenden Pin-Karte montierten Pin- Einheiten auftretenden Fehlerfaktoren dient; und
• - einen Mikroprozessor in einer jeden Pin-Karte, der zur Verwaltung der Kalibrierdaten und zur Durchführung des Kalibriervorgangs für alle Pin- Einheiten der entsprechenden Pin-Karte dient;
• - wobei jede Pin-Einheit als ein ereignisgestütz­ tes Prüfgerät gestaltet ist, in dem ein Prüfmu­ ster oder ein Strobe-Signal direkt auf der Grundlage von in einem Ereignisspeicher gespei­ cherten Ereignisdaten erzeugt wird, welche jeg­ liche Veränderung gegenüber einem vorhergehenden Ereignis unter Bezugnahme auf eine Zeitdifferenz zu diesem vorhergehenden Ereignis angeben.

2. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Ka­ librierdaten Daten zur Kompensation von Fehlerfakto­ ren für Parameter umfassen, welche in der entspre­ chenden Pin-Karte beim Prüfen des Bauteilprüflings Verwendung finden.

3. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, wobei die Ka­ librierdaten Daten zur Kompensation von Fehlerfakto­ ren enthalten, die Steuerzeiten und Referenzspannun­ gen von Prüfmustern, Steuerzeiten von Strobe-Signa­ len und Referenzvergleichsspannungen betreffen.

4. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, zusätzlich enthaltend

• - ein dem Bauteilprüfling speziell angepaßtes Per­ formance-Board, auf dem der Bauteilprüfling DUT gehaltert wird und das Signalwege zur Übertra­ gung von Signalen zu und vom Bauteilprüfling DUT aufweist; sowie
• - eine zwischen dem Performance-Board und einem Hauptrechner des Prüfsystems vorgesehene Pin- Halterung zur Verbindung der Vielzahl von im Prüfsystem vorgesehenen Pin-Karten mit dem Per­ formance-Board.

5. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 4, wobei die Ka­ librierdaten Daten zur Kompensation von Fehlerfakto­ ren umfassen, die Steuerzeiten und Referenzspannun­ gen von Prüfmustern, Steuerzeiten von Strobe-Signa­ len, Referenzvergleichsspannungen sowie Signalaus­ breitungs-Verzögerungen im Performance-Board und der Pin-Halterung betreffen.

6. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 1, wobei jede Pin-Einheit die folgenden Bestandteile enthält:

• - einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Zeit­ steuerungsdaten jedes Ereignisses, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereig­ nisses durch eine Verzögerungszeit ab einem die­ sem Ereignis unmittelbar vorausgehenden Ereignis unter Verwendung einer bestimmten Anzahl von Da­ tenbits ausgedrückt werden; und
• - eine Adreßfolge-Steuereinheit zur Erzeugung von Adreßdaten und zur Zuführung der Adreßdaten an den Ereignisspeicher;
• - Mittel zur Erzeugung eines Prüfmusters auf der Grundlage der Zeitsteuerungsdaten vom Ereignis­ speicher; und
• - eine Pin-Ansteuerungs-/Komparatoreinheit zur Übertragung des Prüfmusters an einen entspre­ chenden Pin des Bauteilprüflings DUT und zum Empfang eines Antwort-Ausgangssignals vom Bau­ teilprüfling DUT.

7. Halbleiterprüfsystem nach Anspruch 6, wobei die Zeitsteuerungsdaten im Ereignisspeicher aus Ereig­ nis-Zähldaten, die ein ganzzahliges Vielfaches eines Referenztaktintervalls (ganzzahliger Datenteil) dar­ stellen, sowie Ereignis-Feinabstimmungsdaten gebil­ det werden, die einem Bruchteil des Referenztaktin­ tervalls (Bruch-Datenteil) wiedergeben.