DE69828877T2 - Testsystem für integrierte schaltkreise mit wenigstens einem quasi-autonomen testinstrument - Google Patents

Testsystem für integrierte schaltkreise mit wenigstens einem quasi-autonomen testinstrument Download PDF

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Description

  • Hintergrund der Erfindung
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Testvorrichturg für integrierte Schaltkreise mit mindestens einem quasi-autonomen Testinstrument.
  • Sakamoto P. et al: High Speed Sampling Capability for a VLSI Mixed Signal Tester, Proceedings of the International Test Conference, US New York, IEEE 1993, Seiten 918 bis 927 offenbart ein Meßsystem für abgetastete Daten mit hoher Bandbreite zur Integration in einer Testvorrichtung für digitale Hochgeschwindigkeits-Komponenten mit einer großen Anzahl an Kontaktstiften. Das System umfasst eine Hochgeschwindigkeits-Abtastvorrichtung, die zwei Speicherblöcke aufweist, wovon der eine zum Speichern der Zeit dient, bei der jede Abtastung erfolgt, und der andere zum Speichern von Daten dient, die sich auf die werte der durchgeführten Abtastungen beziehen.
  • Eine Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise wird verwendet, um vorherzusagen, wie sich ein integrierter Schaltkreis im Betrieb verhalten wird. Eine typische Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise enthält einen Testkopf mit mehreren Testmodulen, von denen jedes einen Signalanschluss hat. Jedes Testvorrichtungs-Modul enthält eine Kontaktstift-Elektronikschaltung, die das Modul selektiv in einer von mehreren Betriebsarten betreibt, bei denen es sich üblicherweise um Ansteuerung Hoch, Ansteuerung Tief, Vergleich Hoch und Vergleich Tief handelt. In der Ansteuerungs-Hoch-Betriebsart legt die Schaltung z.B. ein logisches Hoch-Signal an den Signalanschluss, während in der Vergleich-Tief-Betriebsart die Schaltung die Spannung an dem Signalanschluss mit einem tiefen Schwellenwert vergleicht. Um einen Test durchzuführen, wird der Testkopf mit den Signalanschlüssen der Testvorrichtungs-Module in Kontakt mit jeweiligen Kontaktflächen einer Lastplatine positioniert. Die Lastplatine liefert eine parallele elektrische Schnittstelle zwischen den Signalanschlüssen der Testvorrichtungs-Module und den Signal-Kontaktstiften der zu prüfenden Vorrichtung (DUT, Device Under Test). Die Lastplatine kann Verbindungen zu mehreren Vorrichtungen unterstützen, um das gleichzeitige Testen mehrerer Vorrichtungen zu ermöglichen.
  • Die Testvorrichtung enthält eine Stromversorgung für die zu prüfende Vorrichtung (DPS, Device Power Supply) mit Kraft/Rückstell-Anschlüssen, die durch die Lastplatine mit jeweiligen Stromversorgungs-Kontaktstiften der DUT verbunden sind, um der DUT einen Betriebsstrom zuzuführen. Es wird ein Test in einer Abfolge von Zyklen durchgeführt, und für jeden Zyklus des Tests wird jedes Testvorrichtungs-Modul in eine ausgewählte Betriebsart seiner vorbestimmten Betriebsarten gebracht. Auf diese Weise wird die DUT durch eine Sequenz von inneren Zuständen gefahren, und man beobachtet die Eigenschaften der Ausgabe der DUT in jedem Zustand. Im Falle einer komplex aufgebauten DUT kann es mehrere tausende Festzyklen geben, weshalb das Testen lange dauern kann.
  • Bei zwei Gesichtspunkten des Testens einer integrierten Schaltungsvorrichtung handelt es sich um Funktionstesten und Ruhestromtesten. Der Zweck des Funktionstestens besteht darin, dass bestimmt wird, ob die DUT die erwartete Ausgabe in jedem Zustand erzeugt. Der Zweck des Ruhestromtestens besteht darin, dass man Anomalien des Stromverbrauchs erfasst, indem man den von der DUT im stationären Zustand gezogenen Strom misst, wenn keine Änderungen des Zustands auftreten.
  • 4 zeigt in vereinfachter Blockform eine herkömmliche Topologie für eine Testvorrichtung 10 für integrierte Schaltkreise zum Testen einer integrierten Schaltkreisvorrichtung 14. Die Testvorrichtung arbeitet unter der Steuerung eines Servers bzw. Hauptrechners 16 und enthält mehrere Strommessungs-DPS 18, die jeweils Kraft-/Rückstell-Anschlüsse haben, die mit Stromversorgungs-Kontaktstiften der DUT 14 verbunden sind. Jede DPS enthält einen Stromversorgungs-Verstärker 22, der Gleichspannungsleistung bei einer Spannung liefert, die von einem analogen Steuerungssignal abhängig ist, das über einen Digital-/Analog-Wandler (DAC) 24 zugeführt wird. Der Ausgang des Verstärkers 22 ist mit dem Kraftanschluss der DPS durch einen Stromfühler-Widerstand 26 angeschlossen, und ein Differenzverstärker 28 liefert ein Ausgangssignal, das von dem Strom abhängt, der durch den Stromfühler-Widerstand 26 fließt. Das analoge Ausgangssignal des Differenzverstärkers 28 wird durch einen Analog-/Digital-Wandler (ADC) 30, der unter der Steuerung eine Abtast-Steuerungsvorrichtung 32 arbeitet, in digitale Form umgewandelt. Das digitale Ausgangssignal des ADC wird dem Server über einen Bus 34 zugeführt.
  • Die Testvorrichtung hat eine mehrere Testvorrichtungs-Module 40, die jeweils eine Kontaktstift-Elektronikschaltung 46 enthalten, die mit einem Signal-Kontaktstift 42 der DUT 14 verbunden ist. Die Kontaktstift-Elektronikschaltung lässt sich in einer von mehreren Betriebsarten selektiv betreiben. Jedes Testvorrichtungs-Modul 40 enthält auch einen lokalen Vektorspeicher 44 zum Speichern einer Abfolge von Befehlen, wovon jeder eine der Betriebsarten der Kontaktstift-Elektronikschaltung 46 definieren kann.
  • Die Testvorrichtung enthält auch eine Ablauf-Steuerungsvorrichtung (Sequenzierer) 48 mit einem ihr zugeordneten Anweisungs-Vektorspeicher 50. Bei einem Funktionstest inkrementiert der Server die Ablauf-Steuerungsvorrichtung durch eine Sequenz von Testzyklen, und in jedem Testzyklus liest die Ablauf-Steuerungsvorrichtung eine Anweisung von dem Anweisungs-Vektorspeicher und gibt einen Befehl auf den Bus 34. Die Testvorrichtungs-Module lesen den Befehl von dem Bus und verwenden ihn, um auf den lokalen Vektorspeicher zuzugreifen. Die aus dem Vektorspeicher gelesenen Daten werden verwendet, um das Testvorrichtungs-Modul in die geeignete Betriebsart, z.B. Ansteuerung Tief oder Vergleich Hoch, für den Zyklus des Tests zu bringen.
  • Bei einem Ruhestromtest enthalten die in den Vektorspeicher 50 geladenen Anweisungen eine Anweisung zum Messen des durch eine oder mehrere DPS zugeführten Stroms in einem oder mehreren Zielzuständen der Vorrichtung. Um eine Ruhestrommessung durchzuführen, sensibilisiert die Ablauf-Steuerungsvorrichtung 48 die DUT für einen gewünschten Zielzustand, indem die Sequenz von Zuständen, die zum Erreichen des Zielzustands notwendig sind, schrittweise durchlaufen wird. Wenn sich die DUT in dem Zielzustand befindet, sendet die Ablauf-Steuerungsvorrichtung ein Triggersignal an den Server 16 aus, und der Server leitet die Strommessung ein. Der Server programmiert die DPS durch Zuführen von Befehlen, die sich z.B. auf den zu messenden Strombereich und die zu verwendende Anzahl an Abtastungen in dem Messstrom beziehen. Der Differenzverstärker 28 und der ADC 30 messen die Spannung an dem Stromfühler-Widerstand 26, und er ADC gibt digitale Datenwerte auf den Bus 34. Der Server liest die Datenwerte, und wenn ausreichende Datenwerte gelesen worden sind, führt der Server der Ablauf-Steuerungsvorrichtung ein Fertig-Signal zu, um anzuzeigen, dass der Strommessungstest abgeschlossen wurde. Die Ablauf-Steuerungsvorrichtung nimmt dann ihren Betrieb wieder auf.
  • Wenn es mehrere DPS gibt, programmiert der Server die verschiedenen DPS sequenziell. Da der Server ein Mehrprogrammbetrieb-Rechner ist, können andere Server-Operationen gegenüber dem Programmieren der DPS Vorrang haben, was dazu führt, dass das Programmieren der DPF nicht wiederholbar ist und es nicht möglich ist, von einem Test zu einem anderen vorherzusagen, wann eine gegebene DPS ihre Messung bezüglich einer anderen DPS macht.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Gemäss einem ersten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise bereitgestellt zum Testen einer integrierten Schaltungsvorrichtung (zu prüfende Vorrichtung, DUT) mit einer Vielzahl von Signal-Kontaktstiften, wobei die Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise ausgestattet ist mit: einer Vielzahl von Testvorrichtungs-Modulen, die jeweils einen Signalanschluss zur Verbindung mit einem Signal-Kontaktstift der DUT haben; einem Mittel zum Zuführen eines Taktsignals; einem guasiautonomen Testinstrument zum Durchführen einer Erfassungsaufgabe, wobei das Testinstrument eine Zustandsmaschine, einen Befehlsstapel zum Speichern von Befehlen, welche Parameter der Erfassungsaufgabe spezifizieren, eine Erfassungsvorrichtung mit mindestens einem Anschluss für die Verbindung mit einem Kontaktstift der DUT zum Erfassen eines Wertes einer Variablen von der DUT in Übereinstimmung mit den definierten Parametern der Erfassungsaufgabe sowie einen Erfassungsspeicher zum vorübergehenden Speichern erfasster Werte und zum Zugänglichmachen der erfassten Werte nach dem Test aufweist; und mit einem Ablauf-Steuerungsmittel, das mit den Testvorrichtungs-Modulen betriebsmäßig gekoppelt ist, um zu bewirken, dass die Module einen Test durchführen, und mit dem quasi-autonomen Testinstrument betriebsmäßig gekoppelt ist, um dem Testinstrument ein Triggersignal zuzuführen; und wobei die Zustandsmaschine auf das Triggersignal reagiert, um die Durchführung der Erfassungsaufgabe einzuleiten, indem ein Befehl von dem Befehlsstapel gelesen wird, und die Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den Parametern durchzuführen, die in dem Befehl unter der Steuerung des Taktsignals spezifiziert sind; dadurch gekennzeichnet, dass das quasi-autonome Testinstrument eine Strommessungs-Stromversorgung ist, die einen Stromversorgungs-Verstärker enthält, und dass die Erfassungsvorrichtung eine Strommessungs-Vorrichtung zum Messen eines Stroms ist, der einem Stromversorgungs-Kontaktstift der DUT durch den Stromversorgungs-Verstärker zugeführt wird.
  • Gemäss einem zweiten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise bereitgestellt zum Testen einer integrierten Schaltungsvorrichtung (DUT) mit einer Vielzahl von Signal-Kontaktstiften, wobei die Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise ausgestattet ist mit einer Vielzahl von Testvorrichtungs-Modulen, die jeweils einen Signalanschluss für die Verbindung mit einem Signal-Kontaktstift der DUT haben, einen Mittel zum Zuführen eines Taktsignals, einen ersten und einen zweiten quasi-autonomen Testinstrument zum Durchführen einer ersten bzw. einer zweiten Erfassungsaufgabe, wobei jedes Instrument eine Zustandsmaschine, einen Befehlsstapel zum Speichern von Befehlen, welche Parameter der Erfassungsaufgabe spezifizieren, eine Erfassungsvorrichtung mit mindestens einem Anschluss für die Verbindung mit einem Kontaktstift der DUT zum Erfassen eines Wertes einer Variablen von der DUT in Übereinstimmung mit den definierten Parametern der Erfassungsaufgabe, und einen Erfassungsspeicher zum vorübergehenden Speichern der erfassten werte und Zugänglichmachen der erfassten werte nach dem Test enthält; und mit einem Ablauf-Steuerungsmittel, das mit den Testvorrichtungs-Modulen betriebsmäßig verbunden ist, um zu bewirken, dass die Module einen Test durchführen, und mit dem ersten und dem zweiten quasi-autonomen Testinstrument betriebsmäßig verbunden sind, um ein erstes und ein zweites Triggersignal dem ersten bzw. dem zweiten Testinstrument zuzuführen; und wobei die Zustandsmaschine des ersten Testinstruments auf das erste Triggersignal reagiert, um die Durchführung der ersten Erfassungsaufgabe einzuleiten, indem ein Befehl aus dem Befehlsstapel gelesen wird, um die Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den Parametern durchzuführen, die in dem Befehl unter der Steuerung des Taktsignals spezifiziert werden; und wobei die Zustandsmaschine des zweiten Testinstruments auf das zweite Triggersignal reagiert, um die Durchführung der zweiten Erfassungsaufgabe einzuleiten, indem ein Befehl aus dem Befehlsstapel gelesen wird, und zum Durchführen der Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den Parametern, die in dem Befehl unter der Steuerung des Taktsignals spezifiziert sind.
  • Gemäss einem dritten Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Testen einer integrierten Schaltungsvorrichtung (DUT) mit einer Vielzahl von Signal-Kontaktstiften bereitgestellt, wobei das Verfahren Schritte aufweist zum Wechselwirken mit der DUT durch mindestens einen der Signal-Kontaktstifte, um die DUT schrittweise durch eine Sequenz von Zuständen hindurchzuführen; Ausgeben eines Trig gersignals, nachdem ein vorausgewählter Zustand erreicht ist; als Reaktion auf das Triggersignal Einleiten des Durchführens einer Erfassungsaufgabe unter der Steuerung eines Taktsignals durch Lesen eines Befehls, der die Parameter der Erfassungsaufgabe spezifiziert, aus einem Befehlsstapel; Durchführen der Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den in dem Befehl spezifizierten Parametern unter der Steuerung eines Taktsignals, wodurch Werte einer mit der DUT in Beziehung stehenden Variablen gemessen werden; vorübergehendes Speichern der Werte in einem lokalen Speicher; Fortsetzen des schrittweisen Durchlaufens der Sequenz von Zuständen; und nach dem Abschließen der Sequenz Lesen der Inhalte des lokalen Speichers; dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsaufgabe das Messen von Strom ist, welcher dem Stromversorgungs-Kontaktstift der DUT zugeführt wird.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnung
  • Um das Verständnis der Erfindung zu fördern und darzulegen, wie diese durchgeführt werden kann, wird nun beispielhaft auf die begleitende Zeichnung Bezug genommen, wobei:
  • 1 ein Blockdiagramm einer erfindungsgemäßen Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise ist;
  • 2 ein ausführlicheres Blockdiagramm einer Strommessvorrichtungs-Stromversorgung ist, die in der in 1 gezeigten Testvorrichtung verwendet wird;
  • 3 eine ähnliche Ansicht einer abgewandelten Form der in 2 gezeigten Vorrichtungs-Stromversorgung ist; und
  • 4 ein Blockdiagramm einer dem Stand der Technik entsprechenden Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise ist.
  • Bei den verschiedenen Figuren der Zeichnung bezeichnen gleiche Bezugsziffern entsprechende Elemente.
  • Ausführliche Beschreibung
  • Die in 1 und 2 gezeigte Testvorrichtung umfasst mehrere Strommessvorrichtungs-Stromversorgungen 52, wovon jede ein quasi-autonomes Testinstrument bildet und eine Zustandsmaschine 54 enthält, um den Betrieb des Instruments als Reaktion auf ein Haupt-Taktsignal CLK zu steuern, das jeder DPS zugeführt wird. Jede DPS 52 enthält einen Stromversorgungs-Verstärker 56, dessen Ausgangsanschluss durch eine Strommessvorrichtung 58 mit dem Kraftanschluss der DPS verbunden ist. Der Stromversorgungs-Verstärker liefert eine Spannung, die von einem digitalen Signal abhängt, das einem DAC 60 durch den Server 16 zugeführt wird, und kann selektiv in einer Hochstrom-Betriebsart oder in einer Tiefstrom-Betriebsart betrieben werden. Die Hochstrom-Betriebsart wird zum Funktionstesten der DUT verwendet, während die Tiefstrom-Betriebsart zum Ruhestromtesten verwendet wird, da in der Tiefstrom-Betriebsart weniger Stromrauschen erzeugt wird.
  • Die Strommessungs-Vorrichtung 58 umfasst einen Stromfühler-Widerstand 62 und einen Differenzverstärker 64, der ein Ausgangssignal liefert, das für den durch die DUT gezogenen Strom repräsentativ ist.
  • Das analoge Ausgangssignal des Verstärkers 64 wird durch einen ADC 66 digitalisiert, der das Analogsignal als Reaktion auf Abtastimpulse, die von einer Abtast-Steuerungsvorrichtung 68 geliefert werden, abtastet, und die Abtastwerte quantisiert. Das digitale Ausgangssignal des ADC 66 wird in einen Erfassungsspeicher 76 geladen.
  • Jede DPS 52 enthält auch einen Befehlsstapel 78, der bei jeder Adresse Befehlswerte für verschiedene Parameter speichert, die dem Betrieb des Testinstruments zugeordnet sind. Diese Parameter enthalten z.B. die Startverzögerung und die Anzahl der Abtastungen. Die Parameter können auch den Strompegel und die Filter-Zeitkonstante enthalten.
  • Der der Ablauf-Steuerungsvorrichtung 48 zugeordnete Vektorspeicher 80 speichert nicht nur die Anweisungen für die Bereitstellung an die Testvorrichtungs-Module 40 über den Bus 34, sondern führt auch eine Triggerung durch, die den DPS 52 über einen Triggerbus 82 zugeführt werden kann, um einen Ruhestrom-Messbetrieb einzuleiten. Jede Triggerung ist ein Drei-Bit-Wort, das einen von bis zu acht Triggerbefehlen identifizieren kann. Jede Zustandsmaschine kann programmiert werden, um auf jede beliebige Kombination von Triggerbefehlen zu reagieren. Die Zustandsmaschine 54 jeder DPS liest kontinuierlich den Triggerbus, und wenn eine Zustandsmaschine einen Triggerbefehl erfasst, auf den sie reagiert, leitet sie eine Sequenz von Aktionen unter der Steuerung des Haupt-Taktsignals CLK ein.
  • Beim Erfassen eines Triggerbefehls, auf den sie reagiert, liest die Zustandsmaschine 54 eine Adresse von einem Adressenregister 84 und verwendet diese Adresse, um den Inhalt eines Speicherorts in den Befehlsstapel 78 einzulesen. Der Inhalt des Speicherorts definiert alle Parameter, die notwendig sind, um die gewünschte Ruhestrommessung durchzuführen. Die Zustandsmaschine führt die Anzahl der Abtastungen dem Abtast- Impulsgenerator 68 zu. Die Zustandsmaschine kann den Verstärker 56 automatisch zu seiner Tiefstrom-Betriebsart für eine Ruhestrommessung umschalten. Alternativ kann der aus dem Befehlsstapel gelesene Befehl die Tiefstrom-Betriebsart spezifizieren und dem Verstärker 56 zugeführt werden. Die Startverzögerung wird der Zustandsmaschine 52 zugeführt, um die Startzeit der Abtastung nach dem Empfang der Triggerung zu steuern. Auf diese Weise wird die DPS zur Durchführung einer Strommessung eingestellt.
  • Die Startverzögerung reicht aus, um zu ermöglichen, dass sich der Ruhestrom beruhigt, und um Zeit bereitzustellen, um die DPS für die Durchführung der Ruhestrommessung einzustellen. Wenn die spezifizierte Startverzögerung vorüber ist, ist daher die DPS bereit, um die Strommessung durchzuführen, und die Zustandsmaschine 54 führt der Ablauf-Steuerungsvorrichtung 68 ein Startsignal zu. Die Ablauf-Steuerungsvorrichtung führt der ADC 66 Abtastimpulse zu, um das analoge Ausgangssignal des Differenzverstärkers abzutasten. Die Abtastungen werden quantisiert, und die sich ergebenden digitalen Werte werden in den Erfassungsspeicher 76 geladen.
  • Wenn die spezifizierte Anzahl der Abtastungen durchgeführt worden ist, führt die Zustandsmaschine der Ablauf-Steuerungsvorrichtung 48 ein Fertig-Signal zu, und die Ablauf-Steuerungsvorrichtung nimmt ihre Durchquerung des Vektorspeichers wieder auf. Die Zustandsmaschine inkrementiert auch die in dem Register 84 gespeicherte Adresse, so dass beim Empfang des nächsten Triggersignals die Zustandsmaschine den nächsten Befehlssatz aus dem Befehlsstapel ausliest.
  • Am Ende des Tests liest der Host-Rechner alle Daten aus dem Erfassungsspeicher 78 aus und verarbeitet die Daten, um einen Testbericht bereitzustellen.
  • Aus dem vorhergehenden erkennt man, dass die Strommessungs-Vorrichtung 58 für die Messung unabhängig von der relativen Priorität der Operationen eingestellt wird, die durch den Server durchgeführt werden müssen, woraus sich ergibt, dass die für das Einstellen benötigte Zeit wiederholbar ist. Alle Strommessungen werden wiederholt durchgeführt, da die Strommessungs-Vorrichtung unter der Steuerung eines Haupttaktes arbeitet und nicht von der Verfügbarkeit von Server-Ressourcen abhängt. Für den Fall, dass das Triggersignal eine Gruppe von DPS definiert, werden die unterschiedlichen DPS in der Gruppe synchron eingestellt und arbeiten synchron und wiederholt.
  • Zusätzlich zur Messung des Ruhestroms kann es nützlich sein, einen dynamischen Strom zu messen, das heißt den durch die DUT gezogenen Strom, wenn man sie eine Sequenz von Zuständen durchlaufen lässt. Der dynamische Strom ist im allgemeinen wesentlich größer als der Ruhestrom und ändert sich mit einer wesentlich höheren Frequenz als der Ruhestrom. Die in 3 gezeigte Strommessungs-DPS kann sowohl für die Messung des Ruhestroms als auch des dynamischen Stroms verwendet werden.
  • In der in 3 gezeigten DPS ist die Empfindlichkeit der Strommessungs-Vorrichtung 58 einstellbar. Dies ermöglicht die Messung eines kleinen Stroms mit hoher Genauigkeit und ermöglicht auch die Messung eines hohen Stroms, obwohl die Genauigkeit geringer ist. Die hohe Empfindlichkeits-Einstellung wird normalerweise für Ruhestrommessungen verwendet, während die Tiefe Empfindlichkeits-Einstellung normalerweise für Mes sungen des dynamischen Stroms verwendet wird. Eine einstellbare Empfindlichkeit kann erreicht werden, indem man mehrere Stromfühler-Widerstände und Schalter bereitstellt, um auszuwählen, welcher Widerstand wirksam ist, und/oder durch Einstellen der Verstärkung des Differenzverstärkers 64.
  • Weil der dynamische Strom sich mit einer hohen Frequenz verändern kann, ist außerdem auch die Geschwindigkeit veränderlich, mit der der Abtastimpuls-Generator die Abtastimpulse erzeugt. Die Abtastgeschwindigkeit, die für eine spezielle Messung des dynamischen Stroms ausgewählt wird, hängt von der erwarteten Frequenz des Ausgabesignals des Verstärkers 64 ab. Um einen Alias-Effekt aufgrund der Abtastung mit einer Geschwindigkeit unterhalb der Nyquist-Grenze zu verhindern, wird das Ausgangssignal des Verstärkers 64 dem ADC durch ein programmierbares Tiefpassfilter 74 zugeführt, das eine einstellbare Grenzfrequenz fc hat. Die Grenzfrequenz ist etwas geringer als die halbe Abtastgeschwindigkeit bzw. Abtastrate. Die umgewandelten digitalen Abtastwerte werden gemittelt, um das Rauschen zu verringern und die Messgenauigkeit zu erhöhen.
  • In der in 3 gezeigten DPS enthalten die bei jedem Ort des Befehlsstapels gespeicherten Befehlswerte nicht nur die Startverzögerung und die Anzahl der Abtastungen, sondern auch die Empfindlichkeit, die Abtastgeschwindigkeit bzw. Abtastrate, die Grenzfrequenz und den Strompegel. Wenn die Zustandsmaschine den Inhalt eines Speicherorts in dem Befehlsstapel liest, führt sie den Empfindlichkeitswert der Strommessungs-Vorrichtung 58 zu, die durch Einstellen ihrer Empfindlichkeit auf den spezifizierten Wert reagiert, und sie führt die Grenzfrequenz dem Filter 74, die Abtastgeschwindigkeit dem Abtastimpuls-Generator und den Strompegel dem Stromversorgungs-Verstärker zu.
  • Im Falle der Messung eines dynamischen Stroms führt die Ablauf-Steuerungsvorrichtung die DUT durch eine Schleife von Mustern hindurch, und die Triggerung wird entweder in der Schleife durchgeführt oder bevor man in die Schleife eintritt. Die Startverzögerung wird ausgewählt, um zu gewährleisten, dass die Strommessungs-Vorrichtung zur Durchführung der Messungen bereit ist, wenn die DUT in dem gewünschten Zustand bezüglich der Schleife ist, das heißt in der Schleife und möglichst auch kurz vor dem Eintreten in die Schleife.
  • Wenn die DUT durch eine Sequenz von Mustern hindurchgeführt wird, ist der durch die DUT gezogene Strom im allgemeinen viel höher als der Ruhestrom, wie oben erklärt wurde. Um den notwendigen hohen Strom zuzuführen, wird der Stromversorgungs-Verstärker in seine Hochstrom-Betriebsart umgeschaltet. Weil der Strom hoch ist, wird die Empfindlichkeit der Strommessungs-Vorrichtung auf einen tieferen wert eingestellt als er normalerweise bei einer Ruhestrommessung verwendet würde. Neben der hohen Frequenz des dynamischen Stroms ist darüber hinaus die Filter-Grenzfrequenz im allgemeinen für eine Messung des dynamischen Stroms soviel tiefer als für eine Ruhestrommessung. Die Abtastgeschwindigkeit bzw. Abtastrate wird auf der Grundlage der Grenzfrequenz des Filters 74 ausgewählt.
  • Eine Ruhestrommessung kann unter Verwendung der in 3 gezeigten DPS im wesentlichen auf dieselbe Art und Weise durchgeführt werden wie dies anhand von 2 beschrieben wurde. Der Strompegel wird auf den tiefen Pegel eingesellt, die Emp findlichkeit wird auf den hohen Wert eingestellt, und die Abtastgeschwindigkeit und Grenzfrequenz sind tief.
  • Es können andere quasi-autonome Testinstrumente zum Durchführen anderer Tests verwendet werden. So kann z.B. ein digitales Wellenform-Aufzeichnungsgerät, das mit einem Signal-Kontaktstift der DUT verbunden ist, zum Digitalisieren und Speichern eines an dem Kontaktstift der DUT vorhandenen Signals auch als quasi-autonomes Testinstrument konfiguriert werden, wobei die in dem Befehlsstapel gespeicherten Parameter die Abtastgeschwindigkeit, den Quantisierungsbereich, die Anzahl der Abtastungen und die Filter-Grenzfrequenz enthalten können. In jedem Fall enthält das Testinstrument eine Zustandsmaschine, die auf ein Triggersignal reagiert, indem sie Befehle aus einem Befehlsspeicher liest, das Instrument auf der Grundlage der Befehle einstellt, um den Test durchzuführen, das Testergebnis vorübergehend in einem lokalen Erfassungsspeicher speichert und ein Fertig-Signal an die Ablauf-Steuerungsvorrichtung abgibt, wenn der Test abgeschlossen ist. Da alle Testinstrumente dasselbe Haupt-Taktsignal empfangen, arbeiten sie alle synchron. Auch die Testvorrichtungs-Module empfangen dasselbe Haupt-Taktsignal und arbeiten synchron.
  • Selbstverständlich ist die Erfindung nicht auf das spezielle Ausführungsbeispiel beschränkt, das hier beschrieben wurde, sondern es können Abwandlungen durchgeführt werden, ohne dass man den Bereich der in den beigefügten Ansprüchen definierten Erfindung verlässt.

Claims (13)

  1. Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise zum Testen einer integrierten Schaltungsvorrichtung (DUT) (14) mit einer Vielzahl von Signal-Kontaktstiften (42), wobei die Testvorrichtung für integrierte Schaltkreise ausgestattet ist mit: einer Vielzahl von Testvorrichtungs-Modulen (40), die jeweils einen Signalanschluss zur Verbindung mit einem Signal-Kontaktstift der DUT haben, einem Mittel zum Zuführen eines Taktsignals, einem quasi-autonomen Testinstrument zum Durchführen einer Erfassungsaufgabe, wobei das Testinstrument eine Zustandsmaschine (54), einen Befehlsstapel (78) zum Speichern von Befehlen, welche Parameter der Erfassungsaufgabe spezifizieren, eine Erfassungsvorrichtung (58, 66, 74) mit mindestens einem Anschluss für die Verbindung mit einem Kontaktstift der DUT zum Erfassen eines Wertes einer Variablen von der DUT in Übereinstimmung mit den definierten Parametern der Erfassungsaufgabe sowie einen Erfassungsspeicher (76) zum vorübergehenden Speichern erfasster Werte und zum Zugänglichmachen der erfassten Werte nach dem Test aufweist, und mit einem Ablauf-Steuerungsmittel (48), das mit den Testvorrichtungs-Modulen betriebsmäßig gekoppelt ist, um zu bewirken, dass die Module einen Test durchführen, und das mit dem quasi-autonomen Testinstrument betriebsmäßig gekoppelt ist, um dem Testinstrument ein Triggersignal zuzuführen, und wobei die Zustandsmaschine auf das Triggersignal reagiert, um die Durchführung der Erfassungsaufgabe einzuleiten, indem ein Befehl von dem Befehlsstapel gelesen wird, und um die Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den Parametern, die in dem Befehl spezifiziert sind, unter der Steuerung des Taktsignals durchzuführen, dadurch gekennzeichnet, dass das quasi-autonome Testinstrument eine Strommessungs-Stromversorgung ist, die einen Stromversorgungs-Verstärker (56) enthält, und dass die Erfassungsvorrichtung eine Strommessungs-Vorrichtung (66, 74) zum Messen eines Stroms ist, der einem Stromversorgungs-Kontaktstift der DUT durch den Stromversorgungs-Verstärker zugeführt wird.
  2. Testvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsvorrichtung ein Stromfühler-Widerstandsmittel (62) und ein Digitalisierungsmittel (66) zum Fühlen und Digitalisieren eines Spannungsabfalls an dem Stromfühler-Widerstandsmittel enthält.
  3. Testvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass das Digitalisierungsmittel einen Differenzverstärker (64) und einen Analog-/Digital-Wandler (66) enthält.
  4. Testvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die durch den Befehlsstapel gespeicherten Befehle die Abtastgeschwindigkeit bzw. Abtastrate der Digitalisierungsvorrichtung spezifizieren.
  5. Testvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass sie außerdem ein Tiefpassfilter (74) aufweist, das zwischen dem Differenzverstärker (64) und dem Analog-/Digital-Wandler (66) geschaltet ist, und dass die durch den Befehlsstapel gespeicherten Befehle die Grenzfrequenz des Tiefpassfilters spezifizieren.
  6. Testvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die durch den Befehlsstapel ge speicherten Befehle die Empfindlichkeit der Strommessungs-Vorrichtung spezifizieren.
  7. Testvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die durch den Befehlsstapel gespeicherten Befehle eine Startverzögerung spezifizieren, und dass die Zustandsmaschine auf die Startverzögerung reagiert, um die Erfassung von Werten zu verzögern, bis die Startverzögerung vorbei ist.
  8. Testvorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, welche ein zweites quasi-autonomes Testinstrument zum Durchführen einer zweiten Erfassungsaufgabe aufweist, wobei das zweite Testinstrument eine Zustandsmaschine, einen Befehlsstapel zum Speichern von Befehlen, welche Parameter der zweiten Erfassungsaufgabe spezifizieren, eine Erfassungsvorrichtung mit mindestens einem Anschluss für die Verbindung mit einem Kontaktstift der DUT zum Erfassen eines Wertes einer Variablen von der DUT in Übereinstimmung mit den definierten Parametern der zweiten Erfassungsaufgabe und einem Erfassungsspeicher zum vorübergehenden Speichern der erfassten Werte und Zugänglichmachen der erfassten Werte nach dem Test enthält; und wobei das Ablauf-Steuerungsmittel mit dem zweiten Testinstrument betriebsmäßig verbunden ist, um ein Triggersignal dem zweiten Testinstrument zuzuführen, und die Zustandsmaschine des zweiten Testinstruments auf ein durch das zweite Testinstrument empfangenes Triggersignal reagiert, um die Durchführung der zweiten Erfassungsaufgabe einzuleiten, indem ein Befehl aus dem Befehlsstapel des zweiten Testinstruments gelesen wird, und Durchführen der zweiten Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den in dem Befehl spezifizierten Parametern unter Steuerung des Taktsignals.
  9. Testvorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass das erste und das zweite Testinstrument auf das erste bzw. das zweite Triggersignal gesondert reagieren und beide auf ein drittes Triggersignal reagieren.
  10. Testvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass sie eine Vielzahl quasi-autonomer Testinstrumente aufweist zum Durchführen jeweiliger Erfassungsaufgaben und jeweils mit einer Zustandsmaschine, einem Befehlsstapel, einer Erfassungsvorrichtung und einem Erfassungsspeicher, und wobei jedes Instrument auf einen gemeinsamen Haupttakt reagiert, wodurch die Instrumente synchron arbeiten.
  11. Verfahren zum Testen einer integrierten Schaltungsvorrichtung (DUT) mit einer Vielzahl von Signal-Kontaktstiften (42), wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: Zuführen von Strom zu einem Stromversorgungs-Kontaktstift der DUT, Wechselwirken mit der DUT durch mindestens einen der Signal-Kontaktstifte, um die DUT schrittweise durch eine Sequenz von Zuständen hindurchzuführen, Ausgeben eines Triggersignals, nachdem ein vorausgewählter Stand erreicht ist, als Reaktion auf das Triggersignal Einleiten des Durchführens einer Erfassungsaufgabe unter der Steuerung eines Taktsignals durch Lesen eines Befehls, der die Parameter der Erfassungsaufgabe spezifiziert, aus einem Befehlsstapel, Durchführen der Erfassungsaufgabe in Übereinstimmung mit den in dem Befehl spezifizierten Parametern unter der Steuerung eines Taktsignals, wodurch Werte einer mit der DUT in Beziehung stehenden Variablen gemessen werden, vorübergehendes Speichern der Werte in einem lokalen Speicher, Fortsetzen des schrittweisen Durchlaufens der Sequenz von Zuständen, und nach dem Abschließen der Sequenz Lesen der Inhalte des lokalen Speichers, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsaufgabe das Messen von Strom ist, welcher dem Stromversorgungs-Kontaktstift der DUT zugeführt wird.
  12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsaufgabe das Messen eines Ruhestroms der DUT ist.
  13. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Erfassungsaufgabe das Messen eines dynamischen Stroms der DUT ist.
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