JP4933733B2 - 信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法 - Google Patents

信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法 Download PDF

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Description

本発明は、信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法に関する。特に本発明は、信号を伝送する信号伝送システム、信号を外部へ送出する信号出力回路基板及び信号出力方法、並びに信号を外部から受信する信号受信回路基板及び信号受信方法に関する。
一般に、ケーブルや基盤上の信号配線等の伝送線路を用いて高速な信号を伝送する場合、伝送線路の周波数特性によって、低周波信号に比べて高周波信号がより大きく減衰する。このことは、半導体デバイスの試験装置や計測システム等において大きな問題となっている。そこで、従来、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させるピーキング回路を信号の伝送線路上に設けることにより、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差異を軽減するという方法が用いられている。
現時点で先行技術文献の存在を認識していないので、先行技術文献に関する記載を省略する。
しかしながら、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させるべく用いられるピーキング回路のインピーダンスは、伝送される信号の周波数が高くなるに従って変化するので、伝送線路においてインピーダンスの整合を取ることは困難である。
近年、半導体デバイスの試験装置や計測システム等の信号伝送システムにおいて、より高い周波数の信号を伝送する必要性が高まっている。しかし、前述したような、ピーキング回路が伝送線路に設けられている信号伝送システムにおいては、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差は軽減されるものの、周波数が高くなるに従ってインピーダンスの不整合が顕著になることにより、信号の損失が増大し、大きな問題となっている。
そこで本発明は、上記の課題を解決することができる信号伝送システム、信号出力回路基板、信号受信回路基板、信号出力方法、及び信号受信方法を提供することを目的とする。この目的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。
上記課題を解決するために、本発明の第1の形態においては、信号伝送システムであって、信号を出力するドライバと、信号を伝送する伝送線路と、伝送線路中に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる挿入型減衰器と、伝送線路と基準電位との間に接続され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる付加型減衰器とを備え、ドライバ、挿入型減衰器、および付加型減衰器によって作られる合成インピーダンスは、伝送線路のインピーダンスに等しい。
当該信号伝送システムは、基準電位として、信号の中心レベルを任意に可変できる基準電位供給部を更に備えてもよい。挿入型減衰器は、伝送線路上におけるドライバの近傍に設けられ、付加型減衰器は、ドライバと挿入型減衰器との間に設けられていてもよい。当該信号伝送システムは、伝送線路を伝送された信号を受信する受信部を更に備え、挿入型減衰器は、伝送線路上における受信部の近傍に設けられ、付加型減衰器は、受信部と挿入型減衰器との間に設けられていてもよい。当該信号伝送システムは、基準電位として、受信部における終端電圧を任意に可変できる基準電位供給部を更に備えてもよい。
当該信号伝送システムは、伝送線路を伝送された信号を受信する受信部を更に備え、挿入型減衰器は、伝送線路上における受信部の近傍に更に設けられ、付加型減衰器は、受信部と挿入型減衰器との間に更に設けられていてもよい。ドライバは、半導体デバイスを試験する試験装置における、試験信号を駆動するピンカードに設けられており、受信部は、半導体デバイスに接触する接触端子が設けられたパフォーマンスボードに設けられていてもよい。受信部は、半導体デバイスであってもよい。
当該信号伝送システムは、伝送線路において、挿入型減衰器をバイパスさせるバイパススイッチを更に備えてもよい。低周波信号の減衰が異なる複数の挿入型減衰器が並列に設けられており、当該信号伝送システムは、複数の挿入型減衰器の中の、一部の挿入型減衰器を選択する挿入型減衰器選択スイッチを更に備えてもよい。当該信号伝送システムは、伝送線路から付加型減衰器を切り離す切り離しスイッチを更に備えてもよい。低周波信号の減衰が異なる複数の付加型減衰器が直列に設けられており、当該信号伝送システムは、複数の付加型減衰器の中の、一部の付加型減衰器を選択し、他の付加型減衰器をバイパスする付加型減衰器選択スイッチを更に備えてもよい。
また、本発明の第2の形態においては、信号を外部へ送出する信号出力回路基板であって、信号を出力するドライバと、信号を外部へ送出するコネクタと、ドライバとコネクタとの間に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる挿入型減衰器と、挿入型減衰器をバイパスさせるバイパススイッチと、信号を受け取る信号受信回路基板がコネクタを介して当該信号出力回路基板に接続された場合に、ドライバから信号受信回路基板までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定部と、減衰レベルが基準値よりも小さかった場合にバイパススイッチを導通状態にするスイッチ制御部とを備える。
ドライバとコネクタとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の挿入型減衰器が並列に設けられており、当該信号出力回路基板は、複数の挿入型減衰器の中の、一部の挿入型減衰器を選択する挿入型減衰器選択スイッチを更に備え、スイッチ制御部は、測定部によって測定された減衰レベルに基づいて、挿入型減衰器選択スイッチに、複数の挿入型減衰器の中の、一部の挿入型減衰器を選択させてもよい。
また、本発明の第3の形態においては、信号を外部から受信する信号受信回路基板であって、信号を外部から受け取るコネクタと、信号を、コネクタを介して受信するレシーバと、コネクタからレシーバへ信号を伝送する信号配線と、信号配線と基準電位とを接続し、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる付加型減衰器と、付加型減衰器を切り離す切り離しスイッチと、信号を送出する信号出力回路基板が、コネクタを介して当該信号受信回路基板に接続された場合に、信号出力回路基板からレシーバまでの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定部と、減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に、切り離しスイッチによって付加型減衰器を切り離すスイッチ制御部とを備える。
コネクタとレシーバとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の付加型減衰器が直列に設けられており、当該信号受信回路基板は、複数の付加型減衰器の中の、一部の付加型減衰器を選択し、他の付加型減衰器をバイパスする付加型減衰器選択スイッチを更に備え、スイッチ制御部は、測定部によって測定された減衰レベルに基づいて、付加型減衰器選択スイッチに、複数の付加型減衰器の中の、一部の付加型減衰器を選択させてもよい。
また、本発明の第4の形態においては、信号を外部へ送出する信号出力回路基板を用いる信号出力方法であって、ドライバが、信号を出力する出力ステップと、コネクタが、信号を外部へ送出する送出ステップと、ドライバとコネクタとの間に直列に挿入された挿入型減衰器が、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる減衰ステップと、バイパススイッチが、挿入型減衰器をバイパスさせるバイパスステップと、信号を受け取る信号受信回路基板がコネクタを介して信号出力回路基板に接続された場合に、ドライバから信号受信回路基板までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定ステップと、減衰レベルが基準値よりも小さかった場合にバイパススイッチを導通状態にするスイッチ制御ステップとを備える。
信号出力回路基板において、ドライバとコネクタとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の挿入型減衰器が並列に設けられており、当該信号出力方法は、挿入型減衰器選択スイッチが、複数の挿入型減衰器の中の、一部の挿入型減衰器を選択する選択ステップを更に備え、スイッチ制御ステップは、測定ステップにおいて測定された減衰レベルに基づいて、挿入型減衰器選択スイッチに、複数の挿入型減衰器の中の、一部の挿入型減衰器を選択させてもよい。
また、本発明の第5の形態においては、信号を外部から受信する信号受信回路基板を用いる信号受信方法であって、コネクタが、信号を外部から受け取る受け取りステップと、レシーバが、信号を、コネクタを介して受信する受信ステップと、信号配線が、コネクタからレシーバへ信号を伝送する伝送ステップと、信号配線と基準電位とを接続する付加型減衰器が、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる減衰ステップと、切り離しスイッチが、付加型減衰器を切り離す切り離しステップと、信号を送出する信号出力回路基板が、コネクタを介して信号受信回路基板に接続された場合に、信号出力回路基板からレシーバまでの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定ステップと、減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に、切り離しスイッチによって付加型減衰器を切り離すスイッチ制御ステップとを備える。
信号受信回路基板において、コネクタとレシーバとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の付加型減衰器が直列に設けられており、当該信号受信方法は、付加型減衰器選択スイッチが、複数の付加型減衰器の中の、一部の付加型減衰器を選択し、他の付加型減衰器をバイパスする選択ステップを更に備え、スイッチ制御ステップは、測定ステップにおいて測定された減衰レベルに基づいて、付加型減衰器選択スイッチに、複数の付加型減衰器の中の、一部の付加型減衰器を選択させてもよい。
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。
本発明によれば、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を軽減しながらも、伝送線路におけるインピーダンスの整合を取ることができる。
以下、発明の実施の形態を通じて本発明を説明するが、以下の実施形態は特許請求の範囲にかかる発明を限定するものではなく、また実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。
図1は、本発明の第1の実施形態に係る信号伝送システム10の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム10は、半導体デバイスを試験する試験装置において、DUT(Device Under Test:被試験デバイス)156に供給する試験信号を伝送する。信号伝送システム10は、DUT156が有する複数の端子のそれぞれに対して設けられたピンカード100、並びにピンカード100に伝送線路140及び伝送線路142を介して接続するパフォーマンスボード150を備える。伝送線路140及び伝送線路142は、例えば、ピンカード100及びパフォーマンスボード150を接続するケーブルと、ピンカード100及びパフォーマンスボード150のそれぞれにおける基板上の信号配線との少なくとも一方を含んでいてよい。
本発明の第1の実施形態に係る信号伝送システム10は、信号を伝送する伝送線路140及び伝送線路142が長い場合や、高い周波数の信号を伝送する場合など、高周波信号が低周波信号よりも大きく減衰する場合において、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を軽減すると共に、伝送線路140及び伝送線路142においてインピーダンスの整合を取ることにより、伝送する信号の損失を補正することを目的とする。
ピンカード100は、波形成形部102、ドライバ104、付加型減衰器106、挿入型減衰器108、挿入型減衰器110、付加型減衰器112、コンパレータ114、及び論理比較部116を有し、DUT156に供給する試験信号を駆動すると共に、DUT156が試験信号に対応して出力する出力信号を期待値と比較する。波形成形部102は、DUT156に供給する試験信号の波形を成形してドライバ104に出力する。ドライバ104は、波形成形部102から受け取った試験信号を、伝送線路140を介してパフォーマンスボード150に出力する。付加型減衰器106は、伝送線路140と基準電位との間に接続され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、高周波信号及び低周波信号とは、試験信号における高周波成分及び低周波成分であってもよい。また、付加型減衰器106は、ドライバ104と挿入型減衰器108との間に設けられていてよい。なお、付加型減衰器106は、伝送される試験信号の周波数によって、異なるインピーダンスを示す。具体的には、付加型減衰器106は、試験信号の周波数が高くなる程、より高いインピーダンスを示す。挿入型減衰器108は、伝送線路140中に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、挿入型減衰器108は、伝送線路140上におけるドライバ104の近傍に設けられていてよい。なお、挿入型減衰器108は、伝送される試験信号の周波数によって、異なるインピーダンスを示す。具体的には、挿入型減衰器108は、付加型減衰器106とは異なり、試験信号の周波数が高くなる程、より低いインピーダンスを示す。
パフォーマンスボード150は、挿入型減衰器152、付加型減衰器154、DUT156、付加型減衰器158、及び挿入型減衰器160を有する。また、パフォーマンスボード150には、DUT156に接触する接触端子が設けられており、パフォーマンスボード150は、ドライバ104が出力した試験信号を受信し、受信した信号を、当該接触端子を介してDUT156に供給する。更に、パフォーマンスボード150は、DUT156が出力した出力信号を、当該接触端子を介して受け取り、受け取った信号をコンパレータ114に送信する。なお、DUT156は、本発明における受信部の一例である。挿入型減衰器152は、伝送線路140中に直列に挿入され、高周波信号を低周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、挿入型減衰器152は、伝送線路140上における受信部156の近傍に設けられていてよい。なお、挿入型減衰器152は、試験信号の周波数が高くなる程、より低いインピーダンスを示す。付加型減衰器154は、伝送線路140と基準電位との間に接続され、高周波信号を低周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、付加型減衰器154は、受信部156と挿入型減衰器152との間に設けられていてよい。なお、付加型減衰器154は、挿入型減衰器152とは異なり、試験信号の周波数が高くなる程、より高いインピーダンスを示す。受信部156は、ドライバ104により出力され、伝送線路140を伝送された試験信号を受信する。そして、受信部156は、パフォーマンスボード150に設けられた接触端子を介して、DUT156に試験信号を供給する。
以上に説明した信号伝送システム10において、ドライバ104、付加型減衰器106、及び挿入型減衰器108によって作られる合成インピーダンスは、伝送線路140のインピーダンス、例えば50Ωに等しい、また、挿入型減衰器152、付加型減衰器154、及びDUT156によって作られる合成インピーダンスは、伝送線路140のインピーダンスに等しい。
以上においては、DUT156に供給される試験信号が伝送される場合について説明したが、次に、DUT156の出力信号が伝送される場合について説明する。DUT156は、試験信号に対応して発生した出力信号を、伝送線路142を介してコンパレータ114に出力する。付加型減衰器158は、伝送線路142と基準電位との間に接続され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、付加型減衰器158は、DUT156と挿入型減衰器160との間に設けられていてよい。なお、付加型減衰器158は、出力信号の周波数が高くなる程、より高いインピーダンスを示す。挿入型減衰器160は、伝送線路142中に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、挿入型減衰器160は、伝送線路142上におけるDUT156の近傍に設けられていてよい。なお、挿入型減衰器160は、付加型減衰器158とは異なり、出力信号の周波数が高くなる程、より低いインピーダンスを示す。
挿入型減衰器110は、伝送線路142中に直列に挿入され、高周波信号を低周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、挿入型減衰器110は、伝送線路142上におけるコンパレータ114の近傍に設けられていてよい。なお、挿入型減衰器110は、出力信号の周波数が高くなる程、より低いインピーダンスを示す。付加型減衰器112は、伝送線路142と基準電位との間に接続され、高周波信号を低周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、付加型減衰器112は、コンパレータ114と挿入型減衰器110との間に設けられていてよい。なお、付加型減衰器112は、挿入型減衰器110とは異なり、出力信号の周波数が高くなる程、より高いインピーダンスを示す。コンパレータ114は、DUT156により出力され、伝送線路142を伝送された出力信号を受信する。そして、コンパレータ114は、受信した出力信号を基準電圧と比較し、比較結果を論理比較部116に出力する。論理比較部116は、コンパレータ114から受け取った、出力信号と基準電圧との比較結果が、予め定められた基準値と一致している場合に、DUT156を良品と判定する。
以上に説明した信号伝送システム10において、DUT156、付加型減衰器158、及び挿入型減衰器160によって作られる合成インピーダンスは、伝送線路142のインピーダンスに等しい。また、挿入型減衰器110、付加型減衰器112、及びコンパレータ114によって作られる合成インピーダンスは、伝送線路142のインピーダンスに等しい。
本発明の第1の実施形態に係る信号伝送システム10によれば、周波数が高くなるに従ってインピーダンスが減少する挿入型減衰器と、周波数が高くなるに従ってインピーダンスが増加する付加型減衰器とを、同一の伝送線路に設けることにより、伝送線路が長い場合や、高い周波数の信号を伝送する場合において、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を軽減すると共に、伝送線路140及び伝送線路142においてインピーダンスの整合を取ることができる。例えば、本図に示したように、半導体デバイスを試験する試験装置において、高い周波数の信号を用いて半導体デバイスを試験する場合に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を軽減すると共に、信号伝送におけるインピーダンスの整合を取ることにより、品質の高い試験信号を半導体デバイスに供給したり、品質の高い出力信号に基づいて半導体デバイスの良否を判定したりすることができる。
また、ドライバ104、付加型減衰器106、及び挿入型減衰器108のそれぞれを互いに近傍に設けることにより、それぞれの間における信号の損失を低減することができる。また、挿入型減衰器152、付加型減衰器154、及びDUT156のそれぞれ、DUT156、付加型減衰器158、及び挿入型減衰器160のそれぞれ、並びに、挿入型減衰器110、付加型減衰器112、及びコンパレータ114のそれぞれにおいても同様に、互いに近傍に設けることにより、それぞれの間における信号の損失を低減することができる。これにより、伝送線路140及び伝送線路142におけるインピーダンスを、高い精度で整合させることができる。
なお、信号伝送システム10の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、信号伝送システム10は、付加型減衰器106及び挿入型減衰器108の組と、挿入型減衰器152及び付加型減衰器154の組と、付加型減衰器158及び挿入型減衰器160の組と、挿入型減衰器110及び付加型減衰器112の組とのうち、少なくとも一部の組を備えていなくともよい。つまり、信号伝送システム10は、試験信号を伝送する伝送線路140及び出力信号を伝送する伝送線路142のそれぞれにおいて、ピンカード100及びパフォーマンスボード150の少なくとも一方に、挿入型減衰器及び付加型減衰器の組を備えていなくともよい。但し、ピンカード100及びパフォーマンスボード150のそれぞれに挿入型減衰器及び付加型減衰器の組を備えている場合は、何れか一方のみに挿入型減衰器及び付加型減衰器の組を備えている場合に比べて、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を、より軽減することができる。
また、本図においては、挿入型減衰器及び付加型減衰器の組のそれぞれにおける、挿入型減衰器及び付加型減衰器の配置について、それぞれの付加型減衰器を、ドライバ104、DUT156、またはコンパレータ114のより近傍に設けるとして説明した。これにより、伝送線路140及び伝送線路142における信号の反射を低減することができる。しかし、挿入型減衰器及び付加型減衰器の配置は、本図に示した配置とは逆であってもよい。具体的には、挿入型減衰器108は、ドライバ104と付加型減衰器106との間に設けられていてもよい。但し、この場合においても、ドライバ104、付加型減衰器106、及び挿入型減衰器108のそれぞれは、互いに近傍に設けられていることが好ましい。同様にして、挿入型減衰器152及び付加型減衰器154の組と、付加型減衰器158及び挿入型減衰器160の組と、挿入型減衰器110及び付加型減衰器112の組とのそれぞれにおいても同様に、本図に示した配置とは逆の配置でピンカード100またはパフォーマンスボード150に設けられていてよい。
図2は、本発明の第1の実施形態における第1の変形例に係る信号伝送システム15の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム15は、ピンカード130、並びにピンカード130に伝送線路140及び伝送線路142を介して接続するパフォーマンスボード180を備える。なお、本図に示した部材のうち、図1に示した信号伝送システム10が備える部材と同一の符号を付した部材は、図1に示した信号伝送システム10が備える対応する部材と略同一の機能及び構成を有するので、説明を省略する。
ピンカード130は、図1に示したピンカード100が有する部材に加えて、付加型減衰器106が接続される基準電位として、試験信号の中心レベルを任意に可変できる基準電位供給部120を更に有する。また、ピンカード130は、付加型減衰器112が接続される基準電位として、コンパレータ114における終端電圧を任意に可変できる基準電位供給部122を更に有する。これにより、付加型減衰器106、挿入型減衰器108、挿入型減衰器110、及び付加型減衰器112を用いる場合であっても、伝送する信号のDCレベルを容易に制御することができる。
一方、パフォーマンスボード180は、図1に示したパフォーマンスボード150が有する部材に加えて、付加型減衰器154が接続される基準電位として、DUT156における終端電圧を任意に可変できる基準電位供給部170を更に有する。また、パフォーマンスボード180は、付加型減衰器158が接続される基準電位として、出力信号の中心レベルを任意に可変できる基準電位供給部172を更に有する。これにより、挿入型減衰器152、付加型減衰器154、付加型減衰器158、及び挿入型減衰器160を用いる場合であっても、伝送する信号のDCレベルを容易に制御することができる。
図3は、本発明の第1の実施形態における第2の変形例に係る信号伝送システム20の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム20は、半導体デバイスを試験する試験装置において、DUT264に供給する試験信号を伝送する。信号伝送システム20は、DUT264が有する複数の端子のそれぞれに対して設けられたピンカード200、並びにピンカード200に伝送線路240及び伝送線路242を介して接続するパフォーマンスボード250を備える。信号伝送システム20は、図1に示した信号伝送システム10とは異なり、ピンカード200及びパフォーマンスボード250のそれぞれにおいて、複数の挿入型減衰器及び複数の付加型減衰器を備えており、伝送する信号の周波数等に応じて、任意の挿入型減衰器及び付加型減衰器を組み合わせて用いることにより、高い精度で信号の損失を補正する。なお、伝送線路240及び伝送線路242は、例えば、ピンカード200及びパフォーマンスボード250を接続するケーブルと、ピンカード200及びパフォーマンスボード250のそれぞれにおける基板上の信号配線との少なくとも一方を含んでいてよい。
ピンカード200は、波形成形部202、ドライバ204、切り離しスイッチ206、複数の付加型減衰器(208a、208b、・・・208c。以降208と表記)、付加型減衰器選択スイッチ210、挿入型減衰器選択スイッチ212、複数の挿入型減衰器(214a、214b、・・・214c。以降214と表記)、バイパススイッチ216、挿入型減衰器選択スイッチ218、複数の挿入型減衰器(220a、220b、・・・220c。以降220と表記)、バイパススイッチ222、切り離しスイッチ224、複数の付加型減衰器(226a、226b、・・・226c。以降226と表記)、付加型減衰器選択スイッチ228、コンパレータ230、及び論理比較部232を有する。波形成形部202は、DUT264に供給する試験信号の波形を成形してドライバ204に出力する。ドライバ204は、波形成形部202から受け取った試験信号を、伝送線路240を介してパフォーマンスボード250に出力する。切り離しスイッチ206は、伝送線路240からすべての付加型減衰器208を切り離すか否かを切り替える。複数の付加型減衰器208は、伝送線路240と基準電位との間に直列に設けられている。なお、それぞれの付加型減衰器208は、図1に示した付加型減衰器106と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの付加型減衰器208において、低周波信号の減衰は異なる。ここで、減衰とは、例えば、減衰レベルや減衰の帯域であってよい。つまり、それぞれの付加型減衰器208において、減衰の時定数が異なっていてよい。付加型減衰器選択スイッチ210は、複数の付加型減衰器208の中の、一部の付加型減衰器208を選択する。具体的には、付加型減衰器選択スイッチ210は、当該一部の付加型減衰器208を除く、他の付加型減衰器208をバイパスする。
挿入型減衰器選択スイッチ212は、複数の挿入型減衰器214の中の、一部の挿入型減衰器214を選択する。具体的には、挿入型減衰器選択スイッチ212は、当該一部の挿入型減衰器214を除く、他の挿入型減衰器214に通じる伝送路を開放する。複数の挿入型減衰器214のそれぞれは、伝送線路240中に並列に設けられている。なお、それぞれの挿入型減衰器214は、図1に示した挿入型減衰器108と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの挿入型減衰器214において、低周波信号の減衰は異なる。バイパススイッチ216は、伝送線路240において、すべての挿入型減衰器214をバイパスさせるか否かを切り替える。
パフォーマンスボード250は、挿入型減衰器選択スイッチ252、複数の挿入型減衰器(254a、254b、・・・254c。以降254と表記)、バイパススイッチ256、切り離しスイッチ258、複数の付加型減衰器(260a、260b、・・・260c。以降260と表記)、付加型減衰器選択スイッチ262、DUT264、切り離しスイッチ266、複数の付加型減衰器(268a、268b、・・・268c。以降268と表記)、付加型減衰器選択スイッチ270、挿入型減衰器選択スイッチ272、複数の挿入型減衰器(274a、274b、・・・274c。以降274と表記)、及びバイパススイッチ276を有する。なお、DUT264は、本発明における受信部の一例である。挿入型減衰器選択スイッチ252は、複数の挿入型減衰器254の中の、一部の挿入型減衰器254を選択する。具体的には、挿入型減衰器選択スイッチ252は、当該一部の挿入型減衰器254を除く、他の挿入型減衰器254に通じる伝送路を開放する。複数の挿入型減衰器254のそれぞれは、伝送線路240中に並列に設けられている。なお、それぞれの挿入型減衰器254は、図1に示した挿入型減衰器152と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの挿入型減衰器254において、低周波信号の減衰は異なる。バイパススイッチ256は、伝送線路240において、すべての挿入型減衰器254をバイパスさせるか否かを切り替える。
切り離しスイッチ258は、伝送線路240からすべての付加型減衰器260を切り離すか否かを切り替える。複数の付加型減衰器260は、伝送線路240と基準電位との間に直列に設けられている。なお、それぞれの付加型減衰器260は、図1に示した付加型減衰器154と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの付加型減衰器260において、低周波信号の減衰は異なる。付加型減衰器選択スイッチ262は、複数の付加型減衰器260の中の、一部の付加型減衰器260を選択する。具体的には、付加型減衰器選択スイッチ262は、当該一部の付加型減衰器260を除く、他の付加型減衰器260をバイパスする。受信部264は、ドライバ204により出力され、伝送線路240を伝送された試験信号を受信する。そして、受信部264は、パフォーマンスボード250に設けられた接触端子を介して、DUT264に試験信号を供給する。
以上に説明した信号伝送システム20において、ピンカード200に設けられた切り離しスイッチ206、付加型減衰器選択スイッチ210、挿入型減衰器選択スイッチ212、及びバイパススイッチ216、並びにパフォーマンスボード250に設けられた挿入型減衰器選択スイッチ252、バイパススイッチ256、切り離しスイッチ258、及び付加型減衰器選択スイッチ262のそれぞれは、外部から制御可能に設けられている。そして、信号伝送システム20において、前述したスイッチのそれぞれは、ドライバ204と、ピンカード200に設けられた複数の付加型減衰器208のうち、付加型減衰器選択スイッチ210によって選択された付加型減衰器208と、ピンカード200に設けられた複数の挿入型減衰器214のうち、挿入型減衰器選択スイッチ212によって選択された挿入型減衰器214とによって作られる合成インピーダンスが、伝送線路240のインピーダンスに等しくなるべく制御される。また、信号伝送システム20において、前述したスイッチのそれぞれは、パフォーマンスボード250に設けられた複数の挿入型減衰器254のうち、挿入型減衰器選択スイッチ252によって選択された挿入型減衰器254と、パフォーマンスボード250に設けられた複数の付加型減衰器260のうち、付加型減衰器選択スイッチ262によって選択された付加型減衰器260と、DUT264とによって作られる合成インピーダンスが、伝送線路240のインピーダンスに等しくなるべく制御される。ここで、試験装置またはその利用者は、伝送線路240における減衰レベルやインピーダンス等の周波数特性の測定結果や、ピンカード200やパフォーマンスボード250等において既に判明している周波数特性に基づいて、前述したスイッチのそれぞれを制御してよい。
以上においては、DUT264に供給される試験信号が伝送される場合について説明したが、次に、DUT264の出力信号が伝送される場合について説明する。DUT264は、試験信号に対応して発生した出力信号を、伝送線路242を介してコンパレータ230に出力する。切り離しスイッチ266は、伝送線路242からすべての付加型減衰器268を切り離すか否かを切り替える。複数の付加型減衰器268は、伝送線路242と基準電位との間に直列に設けられている。なお、それぞれの付加型減衰器268は、図1に示した付加型減衰器158と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの付加型減衰器268において、低周波信号の減衰は異なる。付加型減衰器選択スイッチ270は、複数の付加型減衰器268の中の、一部の付加型減衰器268を選択する。具体的には、付加型減衰器選択スイッチ270は、当該一部の付加型減衰器268を除く、他の付加型減衰器268をバイパスする。
挿入型減衰器選択スイッチ272は、複数の挿入型減衰器274の中の、一部の挿入型減衰器274を選択する。具体的には、挿入型減衰器選択スイッチ272は、当該一部の挿入型減衰器274を除く、他の挿入型減衰器274に通じる伝送路を開放する。複数の挿入型減衰器274のそれぞれは、伝送線路242中に並列に設けられている。なお、それぞれの挿入型減衰器274は、図1に示した挿入型減衰器160と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの挿入型減衰器274において、低周波信号の減衰は異なる。バイパススイッチ276は、伝送線路242において、すべての挿入型減衰器274をバイパスさせるか否かを切り替える。
挿入型減衰器選択スイッチ218は、複数の挿入型減衰器220の中の、一部の挿入型減衰器220を選択する。具体的には、挿入型減衰器選択スイッチ218は、当該一部の挿入型減衰器220を除く、他の挿入型減衰器220に通じる伝送路を開放する。複数の挿入型減衰器220のそれぞれは、伝送線路242中に並列に設けられている。なお、それぞれの挿入型減衰器220は、図1に示した挿入型減衰器110と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの挿入型減衰器220において、低周波信号の減衰は異なる。バイパススイッチ222は、伝送線路242において、すべての挿入型減衰器220をバイパスさせるか否かを切り替える。
切り離しスイッチ224は、伝送線路242からすべての付加型減衰器226を切り離すか否かを切り替える。複数の付加型減衰器226は、伝送線路242と基準電位との間に直列に設けられている。なお、それぞれの付加型減衰器226は、図1に示した付加型減衰器112と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの付加型減衰器226において、低周波信号の減衰は異なる。付加型減衰器選択スイッチ228は、複数の付加型減衰器226の中の、一部の付加型減衰器226を選択する。具体的には、付加型減衰器選択スイッチ228は、当該一部の付加型減衰器226を除く、他の付加型減衰器226をバイパスする。コンパレータ230は、DUT264により出力され、伝送線路242を伝送された出力信号を受信する。そして、コンパレータ230は、受信した出力信号を基準電圧と比較し、比較結果を論理比較部232に出力する。論理比較部232は、コンパレータ230から受け取った、出力信号と基準電圧との比較結果が、予め定められた基準値と一致している場合に、DUT264を良品と判定する。
以上に説明した信号伝送システム20において、パフォーマンスボード250に設けられた切り離しスイッチ266、付加型減衰器選択スイッチ270、挿入型減衰器選択スイッチ272、及びバイパススイッチ276、並びにピンカード200に設けられた挿入型減衰器選択スイッチ218、バイパススイッチ222、切り離しスイッチ224、及び付加型減衰器選択スイッチ228のそれぞれは、外部から制御可能に設けられている。そして、信号伝送システム20において、前述したスイッチのそれぞれは、DUT264と、パフォーマンスボード250に設けられた複数の付加型減衰器268のうち、付加型減衰器選択スイッチ270によって選択された付加型減衰器268と、パフォーマンスボード250に設けられた複数の挿入型減衰器274のうち、挿入型減衰器選択スイッチ272によって選択された挿入型減衰器274とによって作られる合成インピーダンスが、伝送線路242のインピーダンスに等しくなるべく制御される。また、信号伝送システム20において、前述したスイッチのそれぞれは、ピンカード200に設けられた複数の挿入型減衰器220のうち、挿入型減衰器選択スイッチ218によって選択された挿入型減衰器220と、ピンカード200に設けられた複数の付加型減衰器226のうち、付加型減衰器選択スイッチ228によって選択された付加型減衰器226と、コンパレータ230とによって作られる合成インピーダンスが、伝送線路242のインピーダンスに等しくなるべく制御される。ここで、試験装置またはその利用者は、伝送線路242における減衰レベルやインピーダンス等の周波数特性の測定結果や、ピンカード200やパフォーマンスボード250等において既に判明している周波数特性に基づいて、前述したスイッチのそれぞれを制御してよい。
本発明の第1の実施形態における第2の変形例に係る信号伝送システム20によれば、ピンカード200に設けられたバイパススイッチ216を導通させることにより、すべての挿入型減衰器214をバイパスさせることができる。このため、伝送線路240における信号の減衰レベルやインピーダンスが低い場合には、バイパススイッチ216を導通状態にして、すべての挿入型減衰器214をバイパスすることにより、信号レベルを低下させることなく、信号を伝送することができる。また、同様に、伝送線路240における信号の減衰レベルやインピーダンスが低い場合には、ピンカード200に設けられた切り離しスイッチ206を開放して、すべての付加型減衰器208を伝送線路240から切り離すことにより、信号レベルを低下させることなく、信号を伝送することができる。なお、バイパススイッチ222や、バイパススイッチ256、或いはバイパススイッチ276を導通させたり、または切り離しスイッチ224や、切り離しスイッチ258、或いは切り離しスイッチ266を開放したりすることによっても、上記と同様の効果を奏することができる。
近年、半導体デバイスの試験装置においては、多様なメーカーによってピンカードやパフォーマンスボード等のユニットを製造可能とするべく、当該ユニットのインターフェイスを規格化したオープンアーキテクチャが望まれている。しかしながら、試験装置においては、10ピコ秒等のオーダーで遅延時間が制御された、極めて高速かつ正確な信号が伝送される必要がある。このため、オープンアーキテクチャに基づいたユニットのそれぞれが、互いに異なるメーカーによって製造された場合、ユニット間でインピーダンスを十分に整合させることは非常に困難である。また、試験信号等の信号を伝送する場合において、高周波信号と低周波信号とのそれぞれにおける減衰レベルは十分な精度で一致している必要があるが、多様なメーカーによって製造されたユニットを組み合わせて用いる場合には、減衰レベルを十分な精度で一致させることは困難である。以上のような問題は、伝送する信号の周波数が高くなるに従って、より大きな問題となっている。
しかし、本発明の第1の実施形態における第2の変形例に係る信号伝送システム20によれば、ピンカード200とパフォーマンスボード250とが、互いに異なるメーカーによって製造されている場合であっても、それぞれに設けられた挿入型減衰器選択スイッチ及び付加型減衰器選択スイッチを、伝送する信号の周波数や、伝送線路の周波数特性等に基づいて制御することにより、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を軽減すると共に、伝送線路240においてインピーダンスの整合を取ることができる。
なお、信号伝送システム20の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、信号伝送システム20は、複数の付加型減衰器208及び複数の挿入型減衰器214の組と、複数の挿入型減衰器254及び複数の付加型減衰器260の組と、複数の付加型減衰器268及び複数の付加型減衰器276の組と、複数の挿入型減衰器220及び複数の付加型減衰器226の組とのうち、少なくとも一部の組を備えていなくともよい。つまり、信号伝送システム20は、試験信号を伝送する伝送線路240及び出力信号を伝送する伝送線路242のそれぞれにおいて、ピンカード200及びパフォーマンスボード250の少なくとも一方に、挿入型減衰器及び付加型減衰器の組を備えていなくともよい。
また、本図に示した複数の挿入型減衰器及び複数の付加型減衰器の組のそれぞれにおける、複数の挿入型減衰器及び複数の付加型減衰器の配置は、本図に示した配置とは逆であってもよい。具体的には、複数の挿入型減衰器214は、ドライバ204と複数の付加型減衰器208との間に設けられていてもよい。但し、この場合においても、ドライバ204、複数の付加型減衰器208、及び複数の挿入型減衰器214のそれぞれは、互いに近傍に設けられていることが好ましい。同様にして、複数の挿入型減衰器254及び複数の付加型減衰器260の組と、複数の付加型減衰器268及び複数の挿入型減衰器274の組と、複数の挿入型減衰器220及び複数の付加型減衰器226の組とのそれぞれにおいても同様に、本図に示した配置とは逆の配置でピンカード200またはパフォーマンスボード250に設けられていてよい。
図4は、本発明の第2の実施形態に係る信号伝送システム30の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム30は、信号を外部に出力する信号出力回路基板300、及びケーブル等によって信号出力回路基板300に接続された、信号を外部から受信する信号受信回路基板350を備え、信号出力回路基板300から信号受信回路基板350へ信号を伝送する。ここで、信号出力回路基板300及び信号受信回路基板350のそれぞれが、信号伝送システム30が備える複数のスロットのうち、何れのスロットに挿入されるかによって、信号出力回路基板300から信号受信回路基板350に至る信号の伝送線路の長さが変化し、それに伴い、伝送線路における信号の減衰レベルも変化する。
本発明の第2の実施形態に係る信号伝送システム30は、信号を伝送する伝送線路の長さ等の、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することを目的とする。
信号出力回路基板300は、ドライバ302、挿入型減衰器304、バイパススイッチ306、コネクタ308、測定部310、及びスイッチ制御部312を有する。ドライバ302は、伝送すべき信号を信号発生源等から受け取って出力する。挿入型減衰器304は、ドライバ302とコネクタ308との間に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、高周波信号及び低周波信号とは、信号における高周波成分及び低周波成分であってもよい。バイパススイッチ306は、挿入型減衰器304をバイパスするか否かを切り替える。コネクタ308は、ドライバ302が出力した信号を、信号出力回路基板300の外部、本例においては信号受信回路基板350へ送出する。
測定部310は、ドライバ302が出力した信号を受け取る信号受信回路基板350がコネクタ308を介して信号出力回路基板300に接続された場合に、ドライバ302から信号受信回路基板350までの伝送路における、高周波信号及び低周波信号の減衰レベルを測定する。例えば、測定部310は、ドライバ302から信号受信回路基板350に至る伝送路において、ドライバ302の出力端子の近傍と、信号受信回路基板350の近傍とにおける信号のレベルを測定することにより、伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルを測定してよい。また、例えば、測定部310は、ドライバ302に入力される信号のレベルや、信号受信回路基板350の内部における信号のレベル、または信号受信回路基板350により受信された後で、信号受信回路基板350から出力された信号のレベル等を測定することにより、伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルを測定してもよい。なお、測定部310による減衰レベルの測定は、信号伝送システム30における信号伝送の前工程において行われてよく、通常の信号伝送時においては、測定部310は、ドライバ302から信号受信回路基板350までの伝送路から切り離されていてよい。
スイッチ制御部312は、測定部310による、ドライバ302から信号受信回路基板350までの伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、バイパススイッチ306の導通状態を制御する。具体的には、スイッチ制御部312は、測定部310により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さかった場合に、バイパススイッチ306を導通状態にする。ここで、予め定められた基準値とは、信号受信回路基板350により信号が受信された場合における高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さいと判定される場合の、高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの最大値であってよく、信号伝送システム30の利用者等によって予め定められていてよい。
信号受信回路基板350は、コネクタ352、及びレシーバ354を有する。コネクタ352は、受信すべき信号を、信号受信回路基板350の外部、本例においては信号出力回路基板300から受け取り、レシーバ354に出力する。レシーバ354は、コネクタ352を介して、信号出力回路基板300が出力した信号を受信する。
本発明の第2の実施形態に係る信号伝送システム30によれば、測定部310による高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、挿入型減衰器304をバイパスさせるか否かを制御する。そして、減衰レベルが大きい場合には、挿入型減衰器304を用いて高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を補正する。一方、減衰レベルが小さい場合には、挿入型減衰器304を介さずに信号を伝送することにより、信号レベルを低下させることなく、信号を伝送することができる。これにより、信号の伝送路の長さ等といった、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が、信号出力回路基板300や信号受信回路基板350が設置される環境等によって変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することができる。
なお、信号伝送システム30の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、測定部310は、信号出力回路基板300の外部に設けられていてもよい。この場合であっても、以上に説明した場合と同様に、測定部310による測定結果に基づいて、バイパススイッチ306を制御することができることは明らかである。また、挿入型減衰器304、バイパススイッチ306、測定部310、及びスイッチ制御部312は、信号出力回路基板300に代えて、信号受信回路基板350に設けられていてもよい。この場合、挿入型減衰器304及びバイパススイッチ306は、コネクタ352とレシーバ354との間に設けられていてよい。そして、信号受信回路基板350において、測定部310による、信号出力回路基板300からレシーバ354までの伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、挿入型減衰器304をバイパスさせるか否かが制御される。
図5は、本発明の第2の実施形態の変形例に係る信号伝送システム40の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム40は、信号を外部に出力する信号出力回路基板400、及びケーブル等によって信号出力回路基板400に接続された、信号を外部から受信する信号受信回路基板350を備え、信号出力回路基板400から信号受信回路基板350へ信号を伝送する。信号伝送システム40は、図4に示した信号伝送システム30とは異なり、信号出力回路基板400において、複数の挿入型減衰器を備えており、伝送する信号の周波数等に応じて、任意の挿入型減衰器を組み合わせて用いることにより、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差をより軽減する。なお、本図に示した信号受信回路基板350は、図4に示した信号受信回路基板350と略同一の構成及び機能を有するので、相違点を除き、説明を省略する。
信号出力回路基板400は、ドライバ402、挿入型減衰器選択スイッチ404、複数の挿入型減衰器(406a、406b、・・・406c。以降406と表記)、コネクタ410、測定部412、及びスイッチ制御部414を有する。ドライバ402は、伝送すべき信号を信号発生源等から受け取って出力する。挿入型減衰器選択スイッチ404は、複数の挿入型減衰器406の中の、一部の挿入型減衰器406を選択する。具体的には、挿入型減衰器選択スイッチ404は、当該一部の挿入型減衰器406を除く、他の挿入型減衰器406に通じる伝送路を開放する。複数の挿入型減衰器406のそれぞれは、ドライバ402とコネクタ410との間に並列に設けられている。なお、それぞれの挿入型減衰器406は、図4に示した挿入型減衰器304と略同一の構成及び機能を有する。但し、それぞれの挿入型減衰器406において、低周波信号の減衰は異なる。ここで、減衰とは、例えば、減衰レベルや減衰の帯域であってよい。つまり、それぞれの挿入型減衰器406において、減衰の時定数が異なっていてよい。バイパススイッチ408は、すべての挿入型減衰器406をバイパスするか否かを切り替える。コネクタ410は、ドライバ402が出力した信号を、信号出力回路基板400の外部、本例においては信号受信回路基板350へ送出する。
測定部412は、ドライバ402が出力した信号を受け取る信号受信回路基板350がコネクタ410を介して信号出力回路基板400に接続された場合に、ドライバ402から信号受信回路基板350までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する。例えば、測定部412は、ドライバ402から信号受信回路基板350に至る伝送路において、ドライバ402の出力端子の近傍と、信号受信回路基板350の近傍とにおける信号のレベルを測定することにより、伝送路における高周波信号の減衰レベルを測定してよい。なお、測定部412による減衰レベルの測定は、信号伝送システム40における信号伝送の前工程において行われてよく、通常の信号伝送時においては、測定部412は、ドライバ402から信号受信回路基板350までの伝送路から切り離されていてよい。
スイッチ制御部414は、測定部412による、ドライバ402から信号受信回路基板350までの伝送路における高周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、バイパススイッチ408の導通状態、及び挿入型減衰器選択スイッチ404を制御する。具体的には、スイッチ制御部414は、測定部412により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さかった場合に、バイパススイッチ408を導通状態にする。また、スイッチ制御部414は、測定部412により測定された減衰レベルに基づいて、挿入型減衰器選択スイッチ404に、複数の挿入型減衰器406の中の、一部の挿入型減衰器406を選択させる。ここで、スイッチ制御部414は、信号出力回路基板400及び信号受信回路基板350における信号配線や、信号出力回路基板400及び信号受信回路基板350を接続するケーブル等を含む伝送線路による信号の減衰レベルと、選択された挿入型減衰器406による信号の減衰レベルとを合計した場合に、低周波信号と高周波信号とにおける減衰レベルの差が十分に小さくなるような組合せで、挿入型減衰器選択スイッチ404に挿入型減衰器406を選択させる。
本発明の第2の実施形態の変形例に係る信号伝送システム40によれば、低周波信号の減衰レベルが異なる複数の挿入型減衰器406の中の、一部の挿入型減衰器406を選択して、出力すべき信号を減衰させることにより、低周波信号を所望のレベルだけ減衰させる処理を、高い精度で行うことができる。従って、信号の伝送路の長さ等といった、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が、信号出力回路基板400や信号受信回路基板350が設置される環境等によって変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することができる。
なお、信号伝送システム40の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、測定部412は、信号出力回路基板400の外部に設けられていてもよい。この場合であっても、以上に説明した場合と同様に、測定部412による測定結果に基づいて、バイパススイッチ408及び挿入型減衰器選択スイッチ404を制御することができることは明らかである。また、挿入型減衰器選択スイッチ404、複数の挿入型減衰器406、バイパススイッチ408、測定部412、及びスイッチ制御部414は、信号出力回路基板400に代えて、信号受信回路基板350に設けられていてもよい。この場合、挿入型減衰器選択スイッチ404、複数の挿入型減衰器406、及びバイパススイッチ408は、コネクタ352とレシーバ354との間に設けられていてよい。そして、信号受信回路基板350において、測定部412による、信号出力回路基板400からレシーバ354までの伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、バイパススイッチ408及び挿入型減衰器選択スイッチ404が制御される。
図6は、本発明の第2の実施形態の変形例に係る信号伝送システム40における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、測定部412が、ドライバ402から信号受信回路基板350までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する(S1000)。続いて、スイッチ制御部414は、測定部412により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さいか否かを判定する(S1010)。ここで、測定された減衰レベルが、予め定められた基準値より小さいと判定した場合(S1010:Yes)、スイッチ制御部414は、バイパススイッチ408を導通状態にして、すべての挿入型減衰器406をバイパスさせる(S1020)。一方、測定された減衰レベルが、予め定められた基準値より小さくないと判定した場合(S1010:No)、スイッチ制御部414は、挿入型減衰器選択スイッチ404に、複数の挿入型減衰器406の中の、一部の挿入型減衰器406を選択させて、選択した挿入型減衰器406に通じる伝送路を導通させる(S1030)。そして、ドライバ402は、コネクタ410を介して、信号受信回路基板350へ信号を出力する(S1040)。
図7は、本発明の第3の実施形態に係る信号伝送システム50の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム50は、信号を外部に出力する信号出力回路基板500、及びケーブル等によって信号出力回路基板500に接続された、信号を外部から受信する信号受信回路基板550を備え、信号出力回路基板500から信号受信回路基板550へ信号を伝送する。ここで、信号出力回路基板500及び信号受信回路基板550のそれぞれが、信号伝送システム50が備える複数のスロットのうち、何れのスロットに挿入されるかによって、信号出力回路基板500から信号受信回路基板550に至る信号の伝送線路の長さが変化し、それに伴い、伝送線路における信号の減衰レベルも変化する。
本発明の第3の実施形態に係る信号伝送システム50は、信号を伝送する伝送線路の長さ等の、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することを目的とする。
信号出力回路基板500は、ドライバ502、コネクタ504を有する。ドライバ502は、伝送すべき信号を信号発生源等から受け取ってコネクタ504に出力する。コネクタ504は、ドライバ502が出力した信号を、信号出力回路基板500の外部、本例においては信号受信回路基板550へ送出する。
信号受信回路基板550は、コネクタ552、信号配線554、切り離しスイッチ556、付加型減衰器558、レシーバ560、測定部562、及びスイッチ制御部564を有する。コネクタ552は、信号受信回路基板550の外部、本例においては信号出力回路基板500から信号を受け取る。信号配線554は、コネクタ552からレシーバ560へ信号を伝送する。ここで、信号配線554は、信号出力回路基板500から信号受信回路基板550に至る信号の伝送線路の一部である。切り離しスイッチ556は、付加型減衰器558を信号配線554から切り離すか否かを切り替える。付加型減衰器558は、コネクタ552からレシーバ560に至る信号配線554と基準電位とを接続し、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる。ここで、高周波信号及び低周波信号とは、信号における高周波成分及び低周波成分であってもよい。レシーバ560は、コネクタ552を介して、信号出力回路基板500が出力した信号を受信する。
測定部562は、伝送すべき信号を送出する信号出力回路基板500が、コネクタ552を介して信号受信回路基板550に接続された場合に、信号出力回路基板500からレシーバ560までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する。例えば、測定部562は、信号出力回路基板500からレシーバ560に至る伝送路において、信号出力回路基板500の近傍と、レシーバ560の入力端子の近傍とにおける信号のレベルを測定することにより、伝送路における高周波信号の減衰レベルを測定してよい。また、例えば、測定部562は、信号出力回路基板500に入力される信号のレベルや、信号出力回路基板500の内部における信号のレベル、またはレシーバ560により受信された後で、レシーバ560から出力された信号のレベル等を測定することにより、伝送路における高周波信号の減衰レベルを測定してもよい。なお、測定部562による減衰レベルの測定は、信号伝送システム50における信号伝送の前工程において行われてよく、通常の信号伝送時においては、測定部562は、信号出力回路基板500からレシーバ560までの伝送路から切り離されていてよい。
スイッチ制御部564は、測定部562による、信号出力回路基板500からレシーバ560までの伝送路における高周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、切り離しスイッチ556の導通状態を制御する。具体的には、スイッチ制御部564は、測定部562により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さかった場合に、切り離しスイッチ556によって付加型減衰器558を信号配線554から切り離す。ここで、予め定められた基準値とは、レシーバ560により信号が受信された場合における高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さいと判定される場合の、高周波信号の減衰レベルの最大値であってよく、信号伝送システム50の利用者等によって予め定められていてよい。
本発明の第3の実施形態に係る信号伝送システム50によれば、測定部562による高周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、付加型減衰器558を切り離すか否かを制御する。そして、減衰レベルが大きい場合には、付加型減衰器558を用いて高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差を補正する。一方、減衰レベルが小さい場合には、付加型減衰器558を用いないことにより、信号レベルを低下させることなく、信号を伝送することができる。これにより、信号の伝送路の長さ等といった、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が、信号出力回路基板500や信号受信回路基板550が設置される環境等によって変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することができる。
なお、信号伝送システム50の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、測定部562は、信号受信回路基板550の外部に設けられていてもよい。この場合であっても、以上に説明した場合と同様に、測定部562による測定結果に基づいて、切り離しスイッチ556を制御することができることは明らかである。また、切り離しスイッチ556、付加型減衰器558、測定部562、及びスイッチ制御部564は、信号受信回路基板550に代えて、信号出力回路基板500に設けられていてもよい。この場合、切り離しスイッチ556及び付加型減衰器558は、ドライバ502とコネクタ504との間に設けられていてよい。そして、信号出力回路基板500において、測定部562による、ドライバ502から信号受信回路基板350までの伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、付加型減衰器558を切り離すか否かが制御される。
図8は、本発明の第3の実施形態の変形例に係る信号伝送システム60の構成の一例を示すブロック図である。信号伝送システム60は、信号を外部に出力する信号出力回路基板500、及びケーブル等によって信号出力回路基板500に接続された、信号を外部から受信する信号受信回路基板650を備え、信号出力回路基板500から信号受信回路基板650へ信号を伝送する。信号伝送システム60は、図7に示した信号伝送システム50とは異なり、信号受信回路基板650において、複数の付加型減衰器を備えており、伝送する信号の周波数等に応じて、任意の付加型減衰器を組み合わせて用いることにより、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差をより軽減する。なお、本図に示した信号出力回路基板500は、図7に示した信号出力回路基板500と略同一の構成及び機能を有するので、相違点を除き、説明を省略する。
信号受信回路基板650は、コネクタ652、信号配線654、切り離しスイッチ656、複数の付加型減衰器(658a、658b、・・・658c。以降658と表記)、付加型減衰器選択スイッチ660、レシーバ662、測定部664、及びスイッチ制御部666を有する。コネクタ652は、信号受信回路基板650の外部、本例においては信号出力回路基板500から信号を受け取る。信号配線654は、コネクタ652からレシーバ662へ信号を伝送する。ここで、信号配線654は、信号出力回路基板500から信号受信回路基板650に至る信号の伝送線路の一部である。切り離しスイッチ656は、すべての付加型減衰器658を信号配線654から切り離すか否かを切り替える。複数の付加型減衰器658のそれぞれは、コネクタ652とレシーバ662との間に、直列に設けられている。なお、それぞれの付加型減衰器658は、図7に示した付加型減衰器558と略同一の機能及び構成を有する。但し、それぞれの付加型減衰器658において、低周波信号の減衰は異なる。ここで、減衰とは、例えば、減衰レベルや減衰の帯域であってよい。つまり、それぞれの付加型減衰器658において、減衰の時定数が異なっていてよい。付加型減衰器選択スイッチ660は、複数の付加型減衰器658の中の、一部の付加型減衰器658を選択する。具体的には、付加型減衰器選択スイッチ660は、当該一部の付加型減衰器658を除く、他の付加型減衰器658をバイパスさせる。レシーバ662は、コネクタ652を介して、信号出力回路基板500が出力した信号を受信する。
測定部664は、伝送すべき信号を送出する信号出力回路基板500が、コネクタ652を介して信号受信回路基板650に接続された場合に、信号出力回路基板500からレシーバ662までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する。例えば、測定部664は、信号出力回路基板500からレシーバ662に至る伝送路において、信号出力回路基板500の近傍と、レシーバ662の入力端子の近傍とにおける信号のレベルを測定することにより、伝送路における高周波信号の減衰レベルを測定してよい。なお、測定部664による減衰レベルの測定は、信号伝送システム60における信号伝送の前工程において行われてよく、通常の信号伝送時においては、測定部664は、信号出力回路基板500からレシーバ662までの伝送路から切り離されていてよい。
スイッチ制御部666は、測定部664による、信号出力回路基板500からレシーバ662までの伝送路における高周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、切り離しスイッチ656の導通状態、及び付加型減衰器選択スイッチ660を制御する。具体的には、スイッチ制御部666は、測定部664により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さかった場合に、切り離しスイッチ656によってすべての付加型減衰器658を信号配線654から切り離す。また、スイッチ制御部666は、測定部664により測定された減衰レベルに基づいて、付加型減衰器選択スイッチ660に、複数の付加型減衰器658の中の、一部の付加型減衰器658を選択させる。ここで、スイッチ制御部666は、信号出力回路基板500及び信号受信回路基板650における信号配線や、信号出力回路基板500及び信号受信回路基板650を接続するケーブル等を含む伝送線路による信号の減衰レベルと、選択された付加型減衰器658による信号の減衰レベルとを合計した場合に、低周波信号と高周波信号とにおける減衰レベルの差が十分に小さくなるような組合せで、付加型減衰器選択スイッチ660に付加型減衰器658を選択させる。
本発明の第3の実施形態の変形例に係る信号伝送システム60によれば、低周波信号の減衰レベルが異なる複数の付加型減衰器658の中の、一部の付加型減衰器658を選択して、受信した信号を減衰させることにより、低周波信号を所望のレベルだけ減衰させる処理を、高い精度で行うことができる。従って、信号の伝送路の長さ等といった、高周波信号の減衰レベルを左右する要因が、信号出力回路基板500や信号受信回路基板650が設置される環境等によって変化する場合であっても、常に、高周波信号と低周波信号との減衰レベルの差が十分に小さい、品質の高い信号を伝送することができる。
なお、信号伝送システム60の構成は、本図に示した構成に限定されず、本図に示した構成に多様な変更を加えてもよい。例えば、測定部664は、信号受信回路基板650の外部に設けられていてもよい。この場合であっても、以上に説明した場合と同様に、測定部664による測定結果に基づいて、切り離しスイッチ656及び付加型減衰器選択スイッチ660を制御することができることは明らかである。また、切り離しスイッチ656、複数の付加型減衰器658、付加型減衰器選択スイッチ660、測定部664、及びスイッチ制御部666は、信号受信回路基板650に代えて、信号出力回路基板500に設けられていてもよい。この場合、切り離しスイッチ656、複数の付加型減衰器658、及び付加型減衰器選択スイッチ660は、ドライバ502とコネクタ504との間に設けられていてよい。そして、信号出力回路基板500において、測定部664による、ドライバ502から信号受信回路基板650までの伝送路における高周波信号及び低周波信号の減衰レベルの測定結果に基づいて、切り離しスイッチ656及び付加型減衰器選択スイッチ660が制御される。
図9は、本発明の第3の実施形態の変形例に係る信号伝送システム60における処理の流れの一例を示すフローチャートである。まず、測定部664は、信号出力回路基板500からレシーバ662までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する(S1100)。続いて、スイッチ制御部666は、測定部664により測定された減衰レベルが予め定められた基準値よりも小さいか否かを判定する(S1110)。ここで、測定された減衰レベルが、予め定められた基準値より小さいと判定した場合(S1110:Yes)、スイッチ制御部666は、切り離しスイッチ656を開放して、すべての付加型減衰器658を信号配線654から切り離す(S1120)。一方、測定された減衰レベルが、予め定められた基準値より小さくないと判定した場合(S1110:No)、スイッチ制御部666は、付加型減衰器選択スイッチ660に、複数の付加型減衰器658の中の、一部の付加型減衰器658を選択させ、選択した一部の付加型減衰器658を除く、他の付加型減衰器658をバイパスさせる(S1130)。そして、レシーバ662は、コネクタ652を介して、信号出力回路基板500から出力された信号を受信する(S1140)。
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。
本発明の第1の実施形態に係る信号伝送システム10の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第1の実施形態における第1の変形例に係る信号伝送システム15の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第1の実施形態における第2の変形例に係る信号伝送システム20の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第2の実施形態に係る信号伝送システム30の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第2の実施形態の変形例に係る信号伝送システム40の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第2の実施形態の変形例に係る信号伝送システム40における処理の流れの一例を示すフローチャートである。 本発明の第3の実施形態に係る信号伝送システム50の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第3の実施形態の変形例に係る信号伝送システム60の構成の一例を示すブロック図である。 本発明の第3の実施形態の変形例に係る信号伝送システム60における処理の流れの一例を示すフローチャートである。
符号の説明
10 信号伝送システム、20 信号伝送システム、30 信号伝送システム、40 信号伝送システム、50 信号伝送システム、60 信号伝送システム、100 ピンカード、102 波形成形部、104 ドライバ、106 付加型減衰器、108 挿入型減衰器、110 挿入型減衰器、112 付加型減衰器、114 コンパレータ、116 論理比較部、120 基準電位供給部、122 基準電位供給部、140 伝送線路、142 伝送線路、150 パフォーマンスボード、152 挿入型減衰器、154 付加型減衰器、156 DUT、158 付加型減衰器、160 挿入型減衰器、170 基準電位供給部、172 基準電位供給部、200 ピンカード、202 波形成形部、204 ドライバ、206 切り離しスイッチ、208a〜c 付加型減衰器、210 付加型減衰器選択スイッチ、212 挿入型減衰器選択スイッチ、214a〜c 挿入型減衰器、216 バイパススイッチ、218 挿入型減衰器選択スイッチ、220a〜c 挿入型減衰器、222 バイパススイッチ、224 切り離しスイッチ、226a〜c 付加型減衰器、228 付加型減衰器選択スイッチ、230 コンパレータ、232 論理比較部、240 伝送線路、242 伝送線路、250 パフォーマンスボード、252 挿入型減衰器選択スイッチ、254a〜c 付加型減衰器、256 バイパススイッチ、258 切り離しスイッチ、260a〜c 挿入型減衰器、262 付加型減衰器選択スイッチ、264 DUT、266 切り離しスイッチ、268a〜c 付加型減衰器、270 付加型減衰器選択スイッチ、272 挿入型減衰器選択スイッチ、274a〜c 挿入型減衰器、276 バイパススイッチ、300 信号出力回路基板、302 ドライバ、304 挿入型減衰器、306 バイパススイッチ、308 コネクタ、310 測定部、312 スイッチ制御部、350 信号受信回路基板、352 コネクタ、354 レシーバ、400 信号出力回路基板、402 ドライバ、404 挿入型減衰器選択スイッチ、406a〜c 挿入型減衰器、408 バイパススイッチ、410 コネクタ、412 測定部、414 スイッチ制御部、500 信号出力回路基板、502 ドライバ、504 コネクタ、550 信号受信回路基板、552 コネクタ、554 信号配線、556 切り離しスイッチ、558 付加型減衰器、560 レシーバ、562 測定部、564 スイッチ制御部、650 信号受信回路基板、652 コネクタ、654 信号配線、656 切り離しスイッチ、658a〜c 付加型減衰器、660 付加型減衰器選択スイッチ、662 レシーバ、664 測定部、666 スイッチ制御部

Claims (8)

  1. 信号を外部へ送出する信号出力回路基板であって、
    前記信号を出力するドライバと、
    前記信号を外部へ送出するコネクタと、
    前記ドライバと前記コネクタとの間に直列に挿入され、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる挿入型減衰器と、
    前記挿入型減衰器をバイパスさせるバイパススイッチと、
    前記信号を受け取る信号受信回路基板が前記コネクタを介して当該信号出力回路基板に接続された場合に、前記ドライバから前記信号受信回路基板までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定部と、
    前記減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に前記バイパススイッチを導通状態にするスイッチ制御部と
    を備える信号出力回路基板。
  2. 前記ドライバと前記コネクタとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の前記挿入型減衰器が並列に設けられており、
    当該信号出力回路基板は、
    前記複数の挿入型減衰器の中の、一部の前記挿入型減衰器を選択する挿入型減衰器選択スイッチを更に備え、
    前記スイッチ制御部は、前記測定部によって測定された減衰レベルに基づいて、前記挿入型減衰器選択スイッチに、前記複数の挿入型減衰器の中の、一部の前記挿入型減衰器を選択させる
    請求項1に記載の信号出力回路基板。
  3. 信号を外部から受信する信号受信回路基板であって、
    前記信号を外部から受け取るコネクタと、
    前記信号を、前記コネクタを介して受信するレシーバと、
    前記コネクタから前記レシーバへ前記信号を伝送する信号配線と、
    前記信号配線と基準電位とを接続し、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる付加型減衰器と、
    前記付加型減衰器を切り離す切り離しスイッチと、
    前記信号を送出する信号出力回路基板が、前記コネクタを介して当該信号受信回路基板に接続された場合に、前記信号出力回路基板から前記レシーバまでの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定部と、
    前記減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に、前記切り離しスイッチによって前記付加型減衰器を切り離すスイッチ制御部と
    を備える信号受信回路基板。
  4. 前記コネクタと前記レシーバとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の前記付加型減衰器が直列に設けられており、
    当該信号受信回路基板は、
    前記複数の付加型減衰器の中の、一部の前記付加型減衰器を選択し、他の前記付加型減衰器をバイパスする付加型減衰器選択スイッチを更に備え、
    前記スイッチ制御部は、前記測定部によって測定された減衰レベルに基づいて、前記付加型減衰器選択スイッチに、前記複数の付加型減衰器の中の、一部の前記付加型減衰器を選択させる
    請求項3に記載の信号受信回路基板。
  5. 信号を外部へ送出する信号出力回路基板を用いる信号出力方法であって、
    ドライバが、前記信号を出力する出力ステップと、
    コネクタが、前記信号を外部へ送出する送出ステップと、
    前記ドライバと前記コネクタとの間に直列に挿入された挿入型減衰器が、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる減衰ステップと、
    バイパススイッチが、前記挿入型減衰器をバイパスさせるバイパスステップと、
    前記信号を受け取る信号受信回路基板が前記コネクタを介して前記信号出力回路基板に接続された場合に、前記ドライバから前記信号受信回路基板までの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定ステップと、
    前記減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に前記バイパススイッチを導通状態にするスイッチ制御ステップと
    を備える信号出力方法。
  6. 前記信号出力回路基板において、前記ドライバと前記コネクタとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の前記挿入型減衰器が並列に設けられており、
    当該信号出力方法は、
    挿入型減衰器選択スイッチが、前記複数の挿入型減衰器の中の、一部の前記挿入型減衰器を選択する選択ステップを更に備え、
    前記スイッチ制御ステップは、前記測定ステップにおいて測定された減衰レベルに基づいて、前記挿入型減衰器選択スイッチに、前記複数の挿入型減衰器の中の、一部の前記挿入型減衰器を選択させる
    請求項5に記載の信号出力方法。
  7. 信号を外部から受信する信号受信回路基板を用いる信号受信方法であって、
    コネクタが、前記信号を外部から受け取る受け取りステップと、
    レシーバが、前記信号を、前記コネクタを介して受信する受信ステップと、
    信号配線が、前記コネクタから前記レシーバへ前記信号を伝送する伝送ステップと、
    前記信号配線と基準電位とを接続する付加型減衰器が、低周波信号を高周波信号よりも大きく減衰させる減衰ステップと、
    切り離しスイッチが、前記付加型減衰器を切り離す切り離しステップと、
    前記信号を送出する信号出力回路基板が、前記コネクタを介して前記信号受信回路基板に接続された場合に、前記信号出力回路基板から前記レシーバまでの伝送路における、高周波信号の減衰レベルを測定する測定ステップと、
    前記減衰レベルが基準値よりも小さかった場合に、前記切り離しスイッチによって前記付加型減衰器を切り離すスイッチ制御ステップと
    を備える信号受信方法。
  8. 前記信号受信回路基板において、前記コネクタと前記レシーバとの間に、低周波信号の減衰が異なる複数の前記付加型減衰器が直列に設けられており、
    当該信号受信方法は、
    付加型減衰器選択スイッチが、前記複数の付加型減衰器の中の、一部の前記付加型減衰器を選択し、他の前記付加型減衰器をバイパスする選択ステップを更に備え、
    前記スイッチ制御ステップは、前記測定ステップにおいて測定された減衰レベルに基づいて、前記付加型減衰器選択スイッチに、前記複数の付加型減衰器の中の、一部の前記付加型減衰器を選択させる
    請求項7に記載の信号受信方法。
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