TWI388867B - 信號傳送系統、信號輸出電路基板、信號接收電路基板、信號輸出方法以及信號接收方法 - Google Patents

Description

信號傳送系統、信號輸出電路基板、信號接收電路基板、信號輸出方法以及信號接收方法

本發明涉及一種信號傳送系統、信號輸出電路基板、信號接收電路基板、信號輸出方法以及信號接收方法。本發明特別是涉及信號傳送用的信號傳送系統，使信號向外部送出用的信號輸出電路基板和信號輸出方法，以及由外部接收信號用的信號接收電路基板和信號接收方法。

本申請案與下記的日本申請案相關聯。就藉由文獻之參照而確認可編入的指定國而言，藉由參照下記的申請案中所記載的內容而編入本申請案中，以作為本申請案之記載的一部份。

特願2005－004481申請日西元2005年01月11日

一般而言，使用電纜或基盤上的信號配線等的傳送線路以傳送高速的信號時，藉由傳送線路的頻率特性，在與低頻信號比較時高頻信號會受到更大的衰減。此種事實在半導體裝置的測試裝置或許測系統等之中會成為大的問題。因此，先前技術中使用一種使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差異可減輕的方法，這是藉由在信號傳送線路上設置一種尖峰(peaking)電路，使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大來達成。

目前，由於尚未確認先前技術文獻之存在，與先前技術文獻有關的記載因此省略。

然而，使用”低頻信號應較高頻信號衰減更大”的尖峰電路的阻抗由於會隨著所傳送的信號的頻率變高而變化，則傳送線路中進行阻抗的整合較困難。

近年，半導體裝置的測試裝置或計測系統等的信號傳送系統中，傳送更高頻率的信號的必要性更高。然而，如上所述，”尖峰電路設在傳送線路中”的信號傳送系統中，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差的減輕由於會隨著頻率變高而使阻抗的未整合更明顯，則信號的損失會增大而成為大的問題。

因此，本發明的目的是提供一種可解決上述問題的信號傳送系統、信號輸出電路基板、信號接收電路基板、信號輸出方法以及信號接收方法。此目的以申請專利範圍獨立項中所記載的特徵的組合來達成。又，各附屬項規定了本發明更有利的具體例。

為了解決上述問題，本發明的第1形式中，信號傳送系統具備：驅動器，其用來使信號輸出；傳送線路，其用來傳送信號；插入型衰減器，其串列地插入至傳送線路中，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大；以及附加型衰減器，其連接在傳送線路和基準電位之間，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大。藉由驅動器、插入型衰減器以及附加型衰減器所作成的合成阻抗整合至傳送線路的阻抗中。

此信號傳送系統亦可另外具備基準電位供給部，其可使信號的中心位準改變以作為基準電位。插入型衰減器亦可設在傳送線路上之驅動器的近旁，附加型衰減器亦可設在驅動器和插入型衰減之間。此信號傳送系統更可具備接收部，其用來接收此傳送線路中已傳送的信號。插入型衰減器亦可設在傳送線路上的接收部的近旁，附加型衰減器亦可設在接收部和插入型衰減器之間。此信號傳送系統亦可另外具備基準電位供給部，其可使接收部之終端電壓改變以作為基準電位。

此信號傳送系統更可具備接收部，其用來接收此傳送線路中已傳送的信號。插入型衰減器更可設在傳送線路上的接收部的近旁，附加型衰減器另外亦可設在接收部和插入型衰減器之間。驅動器設在半導體裝置測試用的測試裝置中驅動各測試信號用的插接卡(pin card)上。接收部亦可設在設有半導體裝置接觸用的接觸端的效能(performance)板上。接收部亦可以是半導體裝置。

上述信號傳送系統亦可另外具備一種旁路(bypass)開關，其在傳送線路中使插入型衰減器旁路。低頻信號的衰減程度不同的多個插入型衰減器以並列方式而設置著。此信號傳送系統另外亦可具備插入型衰減器選擇開關，其由多個插入型衰減器之中選取一部分插入型衰減器。此信號傳送系統亦可另外具備一種切離開關，其使附加型衰減器由傳送線路切離。低頻信號的衰減程度不同的多個附加型衰減器以串列方式而設置著。此信號傳送系統另外亦可具備附加型衰減器選擇開關，其由多個附加型衰減器之中選取一部分附加型衰減器且使其它的附加型衰減器旁路。

又，本發明的第2形式中，使信號向外部送出所用的信號輸出電路基板具備：驅動器，其使信號輸出；連接器，其使信號向外部送出；插入型衰減器，其以串列方式插入至驅動器和連接器之間，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大；旁路開關，其使插入型衰減器旁路；測定部，信號接收用的信號接收電路基板經由連接器而連接至信號輸出電路基板時，此測定部用來在由驅動器至信號接收電路基板為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制部，其在上述衰減位準較基準值還小時使旁路(bypass)開關成為導通狀態。

驅動器和連接器之間以並列方式而設有低頻信號的衰減程度不同的多個插入型衰減器。信號輸出電路基板更可具備插入型衰減器選擇開關，其由多個插入型衰減器中選擇一部分插入型衰減器。開關控制部亦可依據測定部所測定的衰減位準而以插入型衰減器選擇開關由多個插入型衰減器之中選取一部分插入型衰減器。

又，本發明的第3形式中，由外部接收信號所用的信號接收電路基板具備：連接器，其由外部接收信號；接收器，其經由連接器而接收信號；信號配線，其由連接器向接收器傳送信號；附加型衰減器，其將信號配線與基準電位相連接，使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；切離開關，其用來切離此附加型衰減器；測定部，信號送出用的信號輸出電路基板經由連接器而連接至信號接收電路基板時，此測定部用來在由信號輸出電路基板至接收器為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制部，其在上述衰減位準較基準值還小時藉由切離開關使附加型衰減器切離。

連接器與接收器之間串列地設有低頻信號的衰減程度不同的多個附加型衰減器。信號接收電路基板更具備附加型衰減器選擇開關，其由多個附加型衰減器之中選取一部分附加型衰減器，且使其它的附加型衰減器旁路(bypass)。開關控制部亦可依據測定部所測定的衰減位準，以附加型衰減器選擇開關而由多個附加型衰減器之中選取一部分附加型衰減器。

又，本發明的第4形式中，使用信號輸出電路基板使信號向外部送出所用的信號輸出方法具備：輸出步驟，此步驟中驅動器使信號輸出；送出步驟，此步驟中連接器使信號向外部送出；衰減步驟，驅動器和連接器之間以串列方式插入的插入型衰減器使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；旁路步驟，旁路開關使插入型衰減器旁路；測定步驟，信號接收用的信號接收電路基板經由連接器而連接至信號輸出電路基板時，在由驅動器至信號接收電路基板為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制步驟，其在上述衰減位準較基準值還小時使旁路(bypass)開關成為導通狀態。

信號輸出電路基板中，驅動器和連接器之間以並列方式而設有低頻信號的衰減程度不同的多個插入型衰減器。此信號輸出方法中，插入型衰減器選擇開關更可具備選擇步驟，其由多個插入型衰減器中選擇一部分插入型衰減器。開關控制步驟亦可依據測定步驟中所測定的衰減位準而以插入型衰減器選擇開關由多個插入型衰減器之中選取一部分插入型衰減器。

又，在本發明的第5形式中，使用信號接收電路基板以便由外部接收信號所用的信號接收方法具備：收取步驟，此步驟中連接器由外部接收信號；接收步驟，此步驟中接收器經由連接器而接收信號；傳送步驟，此步驟中信號配線由連接器向接收器傳送信號；衰減步驟，此步驟中連接信號配線和基準電位所用的附加型衰減器使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；切離步驟，此步驟中切離開關使此附加型衰減器切離；測定步驟，此步驟中信號送出用的信號輸出電路基板經由連接器而連接至信號接收電路基板時，在由信號輸出電路基板至接收器為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制步驟，其在上述衰減位準較基準值還小時藉由切離開關使附加型衰減器切離。

信號接收電路基板中，連接器與接收器之間串列地設有低頻信號的衰減程度不同的多個附加型衰減器。此信號接收方法中，附加型衰減器選擇開關更具備一種選擇步驟，此步驟中由多個附加型衰減器之中選取一部分附加型衰減器，且使其它的附加型衰減器旁路(bypass)。開關控制步驟亦可依據測定步驟中所測定的衰減位準，以附加型衰減器選擇開關而由多個附加型衰減器之中選取一部分附加型衰減器。

又，上記的發明的概要未列舉本發明的必要特徵的全部，這些特徵群的下位組合(sub－combination)亦屬本發明。

依據本發明，一方面可使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差減輕，且另一方面亦可對傳送信號中的阻抗進行整合。

為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

以下，雖然依據本發明的實施形式來說明本發明，但以下的實施形式不是對申請專利範圍所屬的發明的一種限制。又，實施形式中所說明的特徵的組合的全部不限於發明的解決手段所必須者。

圖1是本發明第1實施形式的信號傳送系統10的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統10在半導體裝置測試用的測試裝置中傳送一測試信號以供給至被測試裝置156(DUT,Device Under Test)中。信號傳送系統10具備：插接卡100，其對被測試裝置156所具有的多個端子的各端子而設置著；以及效能板150，其經由傳送線路140和傳送線路142而連接至插接卡100。傳送線路140和傳送線路142例如亦可包含電纜和信號配線中的至少一種，其中電纜用來連接此插接卡100和效能板150，信號配線則位於插接卡100和效能板150的各別的基板上。

本發明第1實施形式的信號傳送系統10的目的是：在信號傳送用的傳送線路140和傳送線路142較長時或高頻信號傳送時，在高頻信號較低頻信號衰減更大的情況下，使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差異減輕，同時在傳送線路140和傳送線路142中藉由進行”阻抗的整合”，以使所傳送的信號之損失獲得補正。

插接卡100具有：波形成形部102、驅動器104、附加型衰減器106、插入型衰減器108、插入型衰減器110、附加型衰減器112，比較器114以及邏輯比較部116。此插接卡100驅動一種供給至被測試裝置156中的測試信號，同時使被測試裝置156對應於測試信號而輸出的輸出信號與一期待值相比較。波形成形部102使一種供給至被測試裝置156中的測試信號的波形成形以輸出至驅動器104中。驅動器104使由波形成形部102所接收的測試信號經由傳送線路140而輸出至效能板150中。附加型衰減器106連接在傳送線路140和基準電位之間，使低頻信號較高頻信號衰減更大。此處，所謂高頻信號和低頻信號亦可以是測試信號中之高頻成份和低頻成份。又，附加型衰減器106可設在驅動器104和插入型衰減器108之間。又，附加型衰減器106藉由所傳送的測試信號的頻率來顯示不同的阻抗。具體而言，附加型衰減器106在測試信號的頻率確實變高時會顯示更高的阻抗。插入型衰減器108以串列方式插入至傳送線路140中，使低頻信號的衰減較高頻信號的衰減還大。此處，插入型衰減器108可設在傳送線路140上之驅動器104的近旁。又，插入型衰減器108藉由所傳送的測試信號的頻率來顯示不同的阻抗。具體而言，插入型衰減器108是與附加型衰減器106不同且在測試信號的頻率確實變高時會顯示更低的阻抗。

效能板150具有：插入型衰減器152、附加型衰減器154、被測試裝置156、附加型衰減器158以及插入型衰減器160。又，效能板150中設有一種與被測試裝置156相接觸的接觸端子。效能板150接收此驅動器104所輸出的測試信號，已接收的信號經由接觸端子而供給至被測試裝置156。又，效能板150經由接觸端子而接收一由被測試裝置所輸出的輸出信號，已接收的信號發送至比較器114。又，被測試裝置156是本發明的接收部的一例。插入型衰減器152以串列方式插入至傳送線路140中，使高頻信號的衰減較低頻信號的衰減還大。此處，插入型衰減器152可設在傳送線路140上之接收部156的近旁。又，插入型衰減器152在測試信號的頻率確實變高時會顯示更低的阻抗。附加型衰減器154連接在傳送線路140和基準電位之間，使高頻信號較低頻信號衰減更大。此處，附加型衰減器154可設在接收部156和插入型衰減器152之間。又，附加型衰減器154是與插入型衰減器152不同且在測試信號的頻率確實變高時會顯示更高的阻抗。接收部156接收由驅動器104所輸出的在傳送線路140中傳送的測試信號。然後，此接收部156經由設在效能板150中的接觸端子使測試信號供給至被測試裝置156中。

以上所說明的信號傳送系統10中，藉由驅動器104、附加型衰減器106及插入型衰減器108所作成的合成阻抗整合在傳送線路140的阻抗中，使實質上的阻抗例如成為等於50歐姆。又，對由插入型衰減器152、附加型衰減器154及被測試裝置156所作成的合成阻抗進行整合，使實質上的阻抗例如等於傳送線路140的阻抗。

以上的說明中，雖然就供給至被測試裝置156中的測試信號傳送時的情況來說明，然而，以下將就被測試裝置156的輸出信號傳送時的情況來說明。被測試裝置156使對應於測試信號所產生的輸出信號經由傳送線路142而輸出至比較器114中。附加型衰減器158連接在傳送線路142和基準電位之間，使低頻信號的衰減較高頻信號的衰減還大。此處，附加型衰減器158可設在被測試裝置156和插入型衰減器160之間。又，附加型衰減器158在輸出信號的頻率確實變高時會顯示更高的阻抗。插入型衰減器160串列地插入至傳送線路142中，使低頻信號的衰減較高頻信號的衰減還大。此處，插入型衰減器160可設在傳送線路142上的被測試裝置156的近旁。又，插入型衰減器160是與附加型衰減器158不同且在輸出信號的頻率確實變高時會顯示更低的阻抗。

插入型衰減器110串列地插入至傳送線路142中，使高頻信號的衰減較低頻信號的衰減還大。此處，插入型衰減器110可設在傳送線路142上的比較器114的近旁。又，插入型衰減器110在輸出信號的頻率確實變高時會顯示更低的阻抗。附加型衰減器112連接在傳送線路142和基準電位之間，使高頻信號的衰減較低頻信號的衰減還大。此處，附加型衰減器112可設在比較器114和插入型衰減器110之間。又，附加型衰減器112是與插入型衰減器110不同且在輸出信號的頻率確實變高時會顯示更高的阻抗。比較器114接收由被測試裝置156所輸出的在傳送線路142中傳送的輸出信號。然後，比較器114使已接收的輸出信號來和基準電壓相比較，將比較結果輸出至邏輯比較部116。由比較器114所接收的上述輸出信號和基準電壓的比較結果是與預定的基準值相一致時，邏輯比較部116即判定此被測試裝置156是良品。

以上所說明的信號傳送系統10中，對由被測試裝置156、附加型衰減器158以及插入型衰減器160所作成的合成阻抗進行整合，使實質上的阻抗例如等於傳送線路142的阻抗。又，對由插入型衰減器110、附加型衰減器112以及比較器114所作成的合成阻抗進行整合，使實質上的阻抗等於傳送線路142的阻抗。

依據本發明第1實施形式的信號傳送系統10，隨著頻率變高而使阻抗減少的插入型衰減器以及隨著頻率變高而使阻抗增加的附加型衰減器由於都設在相同的傳送線路上，則在傳送線路較長時或傳送高頻信號時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差可減輕，同時在傳送線路140和傳送線路142中可進行阻抗的整合。例如，如圖1中所示，半導體裝置測試用的測試裝置中，使用高頻信號以測試半導體裝置時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差可減輕，同時在信號傳送時可進行阻抗的整合，一方面使品質高的測試信號供給至半導體裝置中，另一方面可依據品質高的輸出信號以判定半導體裝置的良否。

又，由於驅動器104、附加型衰減器106以及插入型衰減器108分別互相設置在近旁，則各別之間的信號的損失可減低。又，插入型衰減器152、附加型衰減器154以及被測試裝置156各別之間，被測試裝置156、附加型衰減器158以及插入型衰減器160各別之間、以及插入型衰減器110、附加型衰減器112以及比較器114各別之間亦同樣地互相設置在近旁，則各別之間的信號的損失可減低。因此，傳送線路140和傳送線路142之阻抗可高精度地整合。

又，信號傳送系統10的構成不限於圖1中所示者，圖1所示的構成中亦可施加多種變更。例如，信號傳送系統10亦可不具備以下各組中的至少一組：附加型衰減器106和插入型衰減器108所形成的組，插入型衰減器152和附加型衰減器154所形成的組，附加型衰減器158和插入型衰減器160所形成的組，插入型衰減器110和附加型衰減器112所形成的組。總之，在測試信號傳送用的傳送線路140和輸出信號傳送用的傳送線路142的各別線路中，信號傳送系統10就插接卡100和效能板150的至少其中一種而言亦可不具備上述插入型衰減器和附加型衰減器所形成的組。然而，各別的插接卡100和效能板150中若具備上述插入型衰減器和附加型衰減器所形成的組，則在與只有任何一方中具備上述插入型衰減器和附加型衰減器所形成的組時的情況相比較下，可使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差更為減輕。

又，圖1中，就插入型衰減器和附加型衰減器所形成的各組的插入型衰減器和附加型衰減器的配置而言，各別的附加型衰減器是以設置在驅動器104、被測試裝置156或比較器114的更近旁來說明。因此，傳送線路140和傳送線路142中的信號的反射可減低。然而，插入型衰減器和附加型衰減器的配置亦可與圖1中所示的配置相反。具體而言，插入型衰減器108亦可設在驅動器104和附加型衰減器106之間。然而，即使在此種情況下，驅動器104、附加型衰減器106以及插入型衰減器108較佳是亦須分別互相設置在近旁。同樣，插入型衰減器152和附加型衰減器154所形成的組，附加型衰減器158和插入型衰減器160所形成的組，插入型衰減器110和附加型衰減器112所形成的組的各別情況中，亦同樣可以一種與圖1所示的配置相反的配置來設置在插接卡100中或設置在效能卡150中。

圖2是本發明第1實施形式的第1變形例的信號傳送系統15的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統15具備一種插接卡130和效能板180，效能板180經由傳送線路140和傳送線路142而連接至插接卡130。又，圖2所示的構件中，具有與圖1所示的信號傳送系統10所具備的構件相同的符號之構件由於具備一種與圖1所示的信號傳送系統10所具備的相對應的構件大略相同的功能和構成，因此省略其說明。

插接卡130除了圖1所示的插接卡100所具有的構件以外，更具有基準電位供給部120，其可任意改變該測試信號的中心位準以作為附加型衰減器106所連接的基準電位。又，插接卡130更具有基準電位供給部122，其可任意改變此比較器114之終端電壓以作為附加型衰減器112所連接的基準電位。因此，即使在使用附加型衰減器106，插入型衰減器108，插入型衰減器110以及附加型衰減器112時，所傳送的信號的直流(DC)位準仍可容易地受到控制。

另一方面，效能板180除了圖1所示的效能板150所具有的構件以外，更具有基準電位供給部170，其可任意改變被測試裝置156的終端電壓以作為附加型衰減器154所連接的基準電位。又，效能卡180更具有基準電位供給部172，其可任意改變一輸出信號的中心位準以作為附加型衰減器158所連接的基準電位。因此，即使在使用插入型衰減器152，附加型衰減器154，附加型衰減器158以及插入型衰減器160時，所傳送的信號的直流位準仍可容易地受到控制。

圖3是本發明第1實施形式的第2變形例的信號傳送系統20的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統20在半導體裝置測試用的測試裝置中用來傳送一種供給至被測試裝置264中的測試信號。信號傳送系統20具備：插接卡200，其分別對被測試裝置264所具有的多個端子而設置著；以及效能板250，其經由傳送線路240和傳送線路242而連接至插接卡200。信號傳送系統20與圖1所示的信號傳送系統10不相同，插接卡200和效能板250中分別具備多個插入型衰減器和多個附加型衰減器，由於對應於所傳送的信號的頻率以使用任意的插入型衰減器和附加型衰減器的組合，則可高精度地補正信號的損失。又，傳送線路240和傳送線路242例如亦可包含電纜和信號配線中的至少一種，其中電纜用來連接此插接卡200和效能板250，信號配線則位於插接卡200和效能板250的各別的基板上

插接卡200具有：波形成形部202、驅動器204、切離開關206、多個附加型衰減器(208a、208b、...208c。以下稱為208)、附加型衰減器選擇開關210、插入型衰減器選擇開關212、多個插入型衰減器(214a、214b、...214c。以下稱為214)、旁路開關216、插入型衰減器選擇開關218、多個插入型衰減器(220a、220b、...220c。以下稱為220)、旁路開關222、切離開關224、多個附加型衰減器(226a、226b、...226c。以下稱為226)、附加型衰減器選擇開關228、比較器230以及邏輯比較部232。波形成形部202使一種供給至被測試裝置264中的測試信號的波形成形且輸出至驅動器204中。驅動器204使由波形成形部202所接收的測試信號經由傳送線路240而輸出至效能板250。切離開關206交替地使全部的附加型衰減器208由傳送線路240切離或未切離。多個附加型衰減器208以串列方式設在傳送線路240和基準電位之間。各別的附加型衰減器208具有一種與圖1中所示的附加型衰減器106大略相同的構成和功能。然而，各別的附加型衰減器208中，低頻信號的衰減是不同的。此處，所謂衰減例如可以是衰減位準或衰減頻域。總之，各別的附加型衰減器208中，衰減的時間常數可以不相同。附加型衰減器選擇開關210由多個附加型衰減器208中選擇一部分附加型衰減器208。具體而言，附加型衰減器選擇開關210除了所選取的一部分附加型衰減器208之外使其它的附加型衰減器208旁路(bypass)。

插入型衰減器選擇開關212由多個插入型衰減器214中選擇一部分插入型衰減器214。具體而言，插入型衰減器選擇開關212除了所選取的一部分插入型衰減器214之外使其它的插入型衰減器214中所通過的傳送路徑開放。各別的插入型衰減器214以並列方式設在傳送線路240中。又，各別的插入型衰減器214具有與圖1中所示的插入型衰減器108大略相同的構成和功能。然而，各別的插入型衰減器214中，低頻信號的衰減是不同的。旁路開關216交替地使全部的插入型衰減器214在傳送線路240中形成－或未形成旁路(bypass)功能。

效能板250具有：插入型衰減器選擇開關252、多個插入型衰減器(254a、254b、...254c。以下以254來表示)、旁路開關256、切離開關258、多個附加型衰減器(260a、260b、...260c。以下以260來表示)、附加型衰減器選擇開關262、被測試裝置264、切離開關266、多個附加型衰減器(268a、268b、...268c。以下以268來表示)、附加型衰減器選擇開關270、插入型衰減器選擇開關272、多個插入型衰減器(274a、274b、...274c。以下以274來表示)以及旁路(bypass)開關276。又，被測試裝置264是本發明的接收部的一例。插入型衰減器選擇開關252由多個插入型衰減器254中選取一部分插入型衰減器254。具體而言，插入型衰減器選擇開關252除了所選取的一部分插入型衰減器254之外使其它的插入型衰減器254中所通過的傳送路徑開放。各別的插入型衰減器254以並列方式設在傳送線路240中。又，各別的插入型衰減器254具有與圖1中所示的插入型衰減器152大略相同的構成和功能。然而，各別的插入型衰減器254中，低頻信號的衰減是不同的。旁路開關256交替地使全部的插入型衰減器254在傳送線路240中形成－或未形成旁路(bypass)功能。

切離開關258交替地使全部的附加型衰減器260由傳送線路240中切離或未切離。多個附加型衰減器260以串列方式設在傳送線路240和基準電位之間。又，各別的附加型衰減器260具有與圖1中所示的附加型衰減器154大略相同的構成和功能。然而，各別的附加型衰減器260中，低頻信號的衰減是不同的。附加型衰減器選擇開關262由多個附加型衰減器260中選擇一部分附加型衰減器260。具體而言，附加型衰減器選擇開關262除了所選取的一部分附加型衰減器260之外使其它的附加型衰減器260旁路。接收部264接收由驅動器204所輸出之在傳送線路240上傳送的測試信號。然後，接收部264經由效能板250上所設置的接觸端子以使測試信號供給至被測試裝置264。

以上所說明的信號傳送系統20中，插接卡200中所設置的切離開關206、附加型衰減器選擇開關210、插入型衰減器選擇開關212和旁路開關216，以及效能板250中所設置的插入型衰減器選擇開關252、旁路開關256、切離開關258以及附加型衰減器選擇開關262的每一個都可設計成可由外部來控制。然後，信號傳送系統20中，前述的各別開關被控制成儘可能使驅動器204、插接卡200中所設置的多個附加型衰減器208中由附加型衰減器選擇開關210所選取的附加型衰減器208、插接卡200中所設置的多個插入型衰減器214中由插入型衰減器選擇開關212所選取的插入型衰減器214等所作成的合成阻抗實質上等於傳送線路240的阻抗。又，信號傳送系統20中，前述的各別開關被控制成儘可能使效能板250中所設置的多個插入型衰減器254中由插入型衰減器選擇開關252所選取的插入型衰減器254、效能板250中所設置的多個附加型衰減器260中由附加型衰減器選擇開關262所選取的附加型衰減器260、被測試裝置264等所作成的合成阻抗實質上等於傳送線路240的阻抗。此處，測試裝置或其使用者亦可依據傳送線路240的衰減位準或阻抗等的頻率特性的測定結果、或插接卡200或效能板250中既已判明的頻率特性來控制前述各別的開關。

如上所述，雖然就供給至被測試裝置264中的測試信號被傳送時的情況來說明，然而，以下將就被測試裝置264的輸出信號被傳送時的情況來說明。被測試裝置264使對應於測試信號所產生的輸出信號經由傳送線路242而輸出至比較器230中。切離開關266交替地使全部的附加型衰減器268由傳送線路242切離或未切離。多個附加型衰減器268以串列方式設在傳送線路242和基準電位之間。各別的附加型衰減器268具有一種與圖1中所示的附加型衰減器158大略相同的構成和功能。然而，各別的附加型衰減器268中，低頻信號的衰減是不同的。附加型衰減器選擇開關270由多個附加型衰減器268中選擇一部分附加型衰減器268。具體而言，附加型衰減器選擇開關270除了所選取的一部分附加型衰減器268之外使其它的附加型衰減器268旁路(bypass)。

插入型衰減器選擇開關272由多個插入型衰減器274中選擇一部分插入型衰減器274。具體而言，插入型衰減器選擇開關272除了所選取的一部分插入型衰減器274之外使其它的插入型衰減器274中所通過的傳送路徑開放。各別的插入型衰減器274以並列方式設在傳送線路242中。又，各別的插入型衰減器274具有與圖1中所示的插入型衰減器160大略相同的構成和功能。然而，各別的插入型衰減器274中，低頻信號的衰減是不同的。旁路開關276交替地使全部的插入型衰減器274在傳送線路242中旁路(bypass)或未旁路。

插入型衰減器選擇開關218由多個插入型衰減器220中選擇一部分插入型衰減器220。具體而言，插入型衰減器選擇開關218除了所選取的一部分插入型衰減器220之外使其它的插入型衰減器220中所通過的傳送路徑開放。各別的插入型衰減器220以並列方式設在傳送線路242中。又，各別的插入型衰減器220具有與圖1中所示的插入型衰減器110大略相同的構成和功能。然而，各別的插入型衰減器220中，低頻信號的衰減是不同的。旁路開關222交替地使全部的插入型衰減器220在傳送線路242中旁路(bypass)或未旁路。

切離開關224交替地使全部的附加型衰減器226由傳送線路242中切離或未切離。多個附加型衰減器226以串列方式設在傳送線路242和基準電位之間。又，各別的附加型衰減器226具有與圖1中所示的附加型衰減器112大略相同的構成和功能。然而，各別的附加型衰減器226中，低頻信號的衰減是不同的。附加型衰減器選擇開關228由多個附加型衰減器226中選擇一部分附加型衰減器226。具體而言，附加型衰減器選擇開關228除了所選取的一部分附加型衰減器226之外使其它的附加型衰減器226旁路。比較器230接收由被測試裝置264所輸出之在傳送線路242中傳送的輸出信號。然後，比較器230將已接收的輸出信號來與基準信號相比較，使比較結果輸出至邏輯比較部232。由比較器230所接收的上述輸出信號和基準信號的比較結果是與預定的基準值一致時，則邏輯比較部232判定此被測試裝置264是良品。

以上所說明的信號傳送系統20中，效能板250中所設置的切離開關266、附加型衰減器選擇開關270、插入型衰減器選擇開關272和旁路開關276，以及插接卡200中所設置的插入型衰減器選擇開關218、旁路開關222、切離開關224以及附加型衰減器選擇開關228的每一個都可設計成可由外部來控制。然後，信號傳送系統20中，前述的各別開關被控制成儘可能使被測試裝置264、效能板250中所設置的多個附加型衰減器268中由附加型衰減器選擇開關270所選取的附加型衰減器268、效能板250中所設置的多個插入型衰減器274中由插入型衰減器選擇開關272所選取的插入型衰減器274等所作成的合成阻抗實質上等於傳送線路242的阻抗。又，信號傳送系統20中，前述的各別開關被控制成儘可能使插接卡200中所設置的多個插入型衰減器220中由插入型衰減器選擇開關218所選取的插入型衰減器220、插接卡200中所設置的多個附加型衰減器226中由附加型衰減器選擇開關228所選取的附加型衰減器226、比較器230等所作成的合成阻抗實質上等於傳送線路242的阻抗。此處，測試裝置或其使用者亦可依據傳送線路242的衰減位準或阻抗等的頻率特性的測定結果、或插接卡200或效能板250等中既已判明的頻率特性來控制前述各別的開關。

依據本發明的第1實施形式中第2變形例的信號傳送系統20，藉由插接卡200上所設置的旁路開關216的導通，則可使全部的插入型衰減器214旁路。因此，傳送線路240中的信號的衰減位準或阻抗較低時，旁路開關216成為導通狀態，藉由使全部的插入型衰減器214旁路，則信號位準不會下降，可對信號進行傳送。又，同樣地，傳送線路240中的信號的衰減位準或阻抗較低時，插接卡200中所設置的切離開關206開放，藉由使全部的附加型衰減器208由傳送線路240切離，則信號位準不會下降，可對信號進行傳送。又，一方面使旁路開關222、旁路開關256或旁路開關276導通，或另一方面即使將該切離開關224或切離開關258或切離開關266開放，仍可達成一種與上述相同的效果。

近年，半導體裝置的測試裝置中，藉由多樣化的製造商而可製造各插接卡或效能板等的單元，理想情況是：存在著此單元的介面(interface)已規格化的開放式構造(open arcbitecture)。然而，測試裝置中，以10×10^{－ 1 2} 秒等的等級(order)來傳送一種延遲時間受到控制的極高速－且正確的信號是必要的。因此，依據開放式構造所形成的各單元由不同的製造商來製造時，各單元之間阻抗充份地整合是很困難的。又，測試信號等的信號在傳送時，各別的高頻信號和低頻信號的衰減位準雖然需要在足夠的精度下成為一致，但由多樣化的製造商所製造的單元相組合而被使用時，使衰減位準在足夠的精度下成為一致是困難的。以上的問題隨著所傳送的信號的頻率變高而會成為更大的問題。

然而，依據本發明第1實施形式的第2變形例的信號傳送系統20，插接卡200和效能板250即使由互相不同的製造商所製造時，其中所設置的插入型衰減器選擇開關和附加型衰減器選擇開關仍可依據所傳送的信號的頻率或傳送線路之頻率特性等而受到控制，使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差減輕，且同時可在傳送線路240中進行阻抗的整合。

又，信號傳送系統20的構成不限於圖3中所示者，圖3中所示的構成亦可加入多樣化的變更。例如，信號傳送系統20亦可不具備以下各組中的至少一組：多個附加型衰減器208和多個插入型衰減器214所形成的組，多個插入型衰減器254和多個附加型衰減器260所形成的組，多個附加型衰減器268和多個附加型衰減器276所形成的組，多個插入型衰減器220和多個附加型衰減器226所形成的組。總之，在測試信號傳送用的傳送線路240和輸出信號傳送用的傳送線路242的各別線路中，信號傳送系統20就插接卡200和效能板250的至少其中一種而言亦可不具備上述插入型衰減器和附加型衰減器所形成的組。

又，圖3中所示的多個插入型衰減器和多個附加型衰減器所形成的各組的多個插入型衰減器和多個附加型衰減器的配置亦可與圖3中所示的配置相反。具體而言，多個插入型衰減器214亦可設在驅動器204和多個附加型衰減器208之間。然而，即使在此種情況下，驅動器204、多個附加型衰減器208以及多個插入型衰減器214較佳是互相設在近旁。同樣，即使多個插入型衰減器254和多個附加型衰減器260所形成的組、多個附加型衰減器268和多個插入型衰減器274所形成的組、多個插入型衰減器220和多個附加型衰減器226所形成的組亦能以與圖3所示的配置相反的方式而設在插接卡200中或設在效能板250中。

圖4是本發明第2實施形式的信號傳送系統30的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統30具備：信號輸出電路基板300，其使信號輸出至外部；以及信號接收電路基板350，其藉由電纜等以連接至信號輸出電路基板300且由外部接收信號。信號由信號輸出電路基板300向信號接收電路基板350傳送。此處，各別的信號輸出電路基板300和信號接收電路基板350藉由插入至信號傳送系統30所具備的多個槽(slot)的任一槽中，使信號輸出電路基板300至信號接收電路基板350的信號傳送線路的長度變化，則所伴隨的是傳送線路中的信號衰減位準亦會變化。

本發明的第2實施形式之信號傳送系統30的目的是傳送高品質的信號，即使在該信號傳送用的傳送線路的長度等的左右高頻信號的衰減位準的要因發生變化時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差亦十分小。

信號輸出電路基板300具備：驅動器302、插入型衰減器304、旁路開關306、連接器308、測定部310以及開關控制部312。驅動器302由信號產生源等接收應傳送的信號且輸出。插入型衰減器304以串列方式插入至驅動器302和連接器308之間，使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大。此處，所謂高頻信號和低頻信號亦可以是信號中的高頻成份和低頻成份。旁路開關306交替地使插入型衰減器304旁路或未旁路。連接器308使驅動器302所輸出的信號發送至信號輸出電路基板300的外部(本例中是信號接收電路基板350)。

驅動器302所輸出的信號接收用的信號接收電路基板350經由連接器308而連接至信號輸出電路基板300時，測定部310對由驅動器302至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準進行測定。例如，在由驅動器302至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中，測定部310亦可藉由對驅動器302的輸出端子的近旁和信號接收電路基板350的近旁的信號的位準進行測定，以測定此傳送路徑中之高頻信號和低頻信號的衰減位準。又，例如，測定部310亦可測定此驅動器302中所輸入的信號的位準或測定此信號接收電路基板350的內部中之信號的位準，或亦可在信號接收電路基板350接收信號之後藉由信號接收電路基板350所輸出的信號的位準等的測定，以測定此傳送路徑中之高頻信號和低頻信號的衰減位準。又，由測定部310所進行的衰減位準的測定亦可在信號傳送系統30的信號傳送之前段過程中進行。在通常的信號傳送時，測定部310亦可由驅動器302至信號接收電路基板350為止的傳送路徑切離。

開關控制部312依據測定部310所進行之由驅動器302至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果，以控制旁路開關306的導通狀態。具體而言，在測定部310所測定的衰減位準較預定的基準值還小時，此開關控制部312使旁路開關306成為導通狀態。此處，在由信號接收電路基板350接收信號時的高頻信號和低頻信號的衰減位準的差被判定成十分小時，該預定的基準值可為高頻信號和低頻信號的衰減位準的最大值或亦可為信號傳送系統30的利用者等所預定。

信號接收電路基板350具有連接器352以及接收器354。連接器352由信號接收電路基板350的外部(本例中是信號輸出電路基板300)接收應接收的信號且輸出至接收器354。接收器354經由連接器352以接收信號輸出電路基板300所輸出的信號。

依據本發明的第2實施形式的信號傳送系統30，以測定部310所進行的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果為基準，使插入型衰減器304被控制成旁路(bypass)或未旁路。然後，衰減位準較大時，使用此插入型衰減器304以補正高頻信號和低頻信號的衰減位準的差。另一方面，衰減位準較小時，不經由插入型衰減器304以傳送信號，可使信號位準不會變低以對信號進行傳送。因此，所稱的信號的傳送路徑的長度等可左右高頻信號的衰減位準的要因即使藉由信號輸出電路基板300或信號接收電路基板350所設置的環境等來改變時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差通常仍然十分小，於是可傳送高品質的信號。

又，信號傳送系統30的構成不限於圖4中所示的構成，亦可對圖4中所示的構成施加多樣化的變更。例如，測定部310亦可設在信號輸出電路基板300的外部。即使在此種情況下，亦與以上所說明的情況相同，依據測定部310所進行的測定結果，此時顯然可對旁路開關306進行控制。又，插入型衰減器304、旁路開關306、測定部310以及開關控制部312亦可設在信號接收電路基板350中而不是設在信號輸出電路基板300中。此時，插入型衰減器304和旁路開關306可設在連接器352和接收器354之間。然後，在信號接收電路基板350中依據測定部310所進行之由信號輸出電路基板300至接收器354為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果，以控制此插入型衰減器304是否需旁路。

圖5是本發明第2實施形式的變形例的信號傳送系統40的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統40具備：信號輸出電路基板400，其使信號輸出至外部；以及信號接收電路基板350，其藉由電纜等以連接至信號輸出電路基板400且由外部接收信號。信號由信號輸出電路基板400向信號接收電路基板350傳送。信號傳送系統40與圖4所示的信號傳送系統30不同，信號輸出電路基板400中具備多個插入型衰減器。對應於所傳送的信號的頻率等的情況下，藉由使用任意的插入型衰減器的組合，則可使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差減輕更多。又，圖5中所示的信號接收電路基板350由於具有與圖4中所示的信號接收電路基板350大約相同的構成和功能，則除了不同點之外其它的說明均省略。

信號輸出電路基板400具有：驅動器402、插入型衰減器選擇開關404、多個插入型衰減器(406a、406b、...406c。以下以406來表示)、連接器410、測定部412以及開關控制部414。驅動器402由信號產生源等接收應傳送的信號且輸出。插入型衰減器選擇開關404由多個插入型衰減器406中選取一部分插入型衰減器406。具體而言，插入型衰減器選擇開關404除了所選取的一部分插入型衰減器406之外使其它的插入型衰減器406中所通過的傳送路徑開放。多個各別的插入型衰減器406以並列方式設在驅動器402和連接器410之間。又，各別的插入型衰減器406具有與圖4中所示的插入型衰減器304大約相同的構成和功能。然而，在各別的插入型衰減器406中，低頻信號的衰減是不同的。此處，所謂衰減例如可以是衰減位準或衰減頻域。總之，各別的附加型衰減器406中，衰減的時間常數可以不相同。旁路開關408交替地使全部的插入型衰減器406成為旁路或未旁路。連接器410使驅動器402所輸出的信號發送至信號輸出電路基板400的外部(本例中是信號接收電路基板350)。

驅動器402所輸出的信號接收用的信號接收電路基板350經由連接器410而連接至信號輸出電路基板400時，測定部412對由驅動器402至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準進行測定。例如，在由驅動器402至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中，測定部412亦可藉由對驅動器402的輸出端子的近旁和信號接收電路基板350的近旁的信號的位準進行測定，以測定此傳送路徑中之高頻信號的衰減位準。又，由測定部412所進行的衰減位準的測定亦可在信號傳送系統40的信號傳送之前段過程中進行。在通常的信號傳送時，測定部412亦可由驅動器402至信號接收電路基板350為止的傳送路徑切離。

開關控制部414依據測定部412所進行之由驅動器402至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準的測定結果，以控制旁路開關408的導通狀態及插入型衰減器選擇開關404。具體而言，在測定部412所測定的衰減位準較預定的基準值還小時，此開關控制部414使旁路開關408成為導通狀態。又，開關控制部414依據測定部412所測定的衰減位準，以插入型衰減器選擇開關404由多個插入型衰減器406之中選取一部分插入型衰減器406。此處，在含有信號輸出電路基板400和信號接收電路基板350的信號配線或信號輸出電路基板400和信號接收電路基板350連接用的電纜等的傳送線路所造成的信號的衰減位準以及已選取的插入型衰減器406所造成的信號的衰減位準進行合計時，開關控制部414在高頻信號和低頻信號的衰減位準的差成為十分小時的組合下以插入型衰減器選擇開關404來選取此插入型衰減器406。

依據本發明第2實施形式的變形例的信號傳送系統40，低頻信號的衰減位準不同的多個插入型衰減器406中選取一部分插入型衰減器406，可藉由應輸出的信號的衰減以高精度地進行一種使低頻信號只衰減所期望的位準的處理。因此，信號的傳送路徑的長度等所謂左右高頻信號的衰減位準的要因即使藉由信號輸出電路基板300或信號接收電路基板350所設置的環境等來改變時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差通常仍然十分小，於是可傳送高品質的信號。

又，信號傳送系統40的構成不限於圖5中所示的構成，亦可對圖5中所示的構成施加多樣化的變更。例如，測定部412亦可設在信號輸出電路基板400的外部。即使在此種情況下，亦與以上所說明的情況相同，依據測定部412所進行的測定結果，此時顯然可對旁路開關408和插入型衰減器選擇開關404進行控制。又，插入型衰減器選擇開關404、多個插入型衰減器406、旁路開關408、測定部412以及開關控制部414亦可設在信號接收電路基板350中而不是設在信號輸出電路基板400中。此時，插入型衰減器選擇開關404、多個插入型衰減器406以及旁路開關408亦可設在連接器352和接收器354之間。然後，在信號接收電路基板350中依據測定部412所進行之由信號輸出電路基板400至接收器354為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果，以控制此旁路開關408和插入型衰減器選擇開關404。

圖6是本發明第2實施形式的變形例的信號傳送系統40的處理流程的一例的流程圖。首先，測定部412對由驅動器402至信號接收電路基板350為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準進行測定(S1000)。然後，開關控控部414判定：由測定部412所測定的衰減位準是否較預定的基準值還小(S1010)。此處，若判定”已測定的衰減位準較預定的基準值還小”(S1010：Yes)，則開關控制部414使旁路開關408導通。全部的插入型衰減器406都被旁路(S1020)。另一方面，若判定”已測定的衰減位準未較預定的基準值還小”(S1010：No)，則開關控制部414以插入型衰減器選擇開關404由多個插入型衰減器406之中選取一部分插入型衰減器406，且使已選取的插入型衰減器406中所通過的傳送路徑導通(S1030)。然後，驅動器402使信號經由連接器410而輸出至信號接收電路基板350(S1040)。

圖7是本發明第3實施形式的信號傳送系統50的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統50具備：信號輸出電路基板500，其使信號輸出至外部；以及信號接收電路基板550，其藉由電纜等以連接至信號輸出電路基板500且由外部接收信號。信號由信號輸出電路基板500傳送至信號接收電路基板550。此處，各別的信號輸出電路基板500和信號接收電路基板550藉由插入至信號傳送系統50所具備的多個槽(slot)的任一槽中，使信號輸出電路基板500至信號接收電路基板550的信號傳送線路的長度變化，則所伴隨的是傳送線路中的信號衰減位準亦會變化。

本發明的第3實施形式之信號傳送系統50的目的是傳送高品質的信號，即使在該信號傳送用的傳送線路的長度等的左右高頻信號的衰減位準的要因發生變化時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差亦十分小。

信號輸出電路基板500具備：驅動器502、連接器504。驅動器502由信號產生源等接收應傳送的信號且輸出至連接器504。連接器504使驅動器502所輸出的信號發送至信號輸出電路基板500的外部(本例中是信號接收電路基板550)。

信號接收電路基板550具有：連接器552、信號配線554、切離開關556、附加型衰減器558、接收器560、測定部562以及開關控制部564。連接器552由信號接收電路基板550的外部(本例中是信號輸出電路基板500)接收信號。信號配線554使信號由連接器552傳送至接收器560。此處，信號配線554是由信號輸出電路基板500至信號接收電路基板550的信號傳送線路的一部份。切離開關556交替地使附加型衰減器558由信號配線554功離或未切離。附加型衰減器558使由連接器552至接收器560為止的信號配線554與基準電位相連接，且使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大。此處，高頻信號和低頻信號亦可為信號的高頻成份和低頻成份。接收器560經由連接器552以接收信號輸出電路基板500所輸出的信號。

發送應傳送的信號用的信號輸出電路基板500在經由連接器552而連接至信號接收電路基板550中時，測定部562對由信號輸出電路基板500至接收器560為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準進行測定。例如，測定部562亦可藉由對信號輸出電路基板500至接收器560為止的傳送路徑中信號輸出電路基板500的近旁、接收器560的輸入端子的近旁之信號的位準進行測定，以測定此傳送路徑中之高頻信號的衰減位準。又，例如，測定部562可藉由對信號輸出電路基板500中所輸入的信號的位準或信號輸出電路基板500的內部中的信號的位準或接收器560接收信號之後由接收器560所輸出的信號的位準等的測定，以測定此傳送線路中之高頻信號的衰減位準。又，由測定部562所進行的衰減位準的測定亦可在信號傳送系統50中信號傳送的前段過程中進行。通常的信號傳送時，測定部562可由信號輸出電路基板500至接收器560為止的傳送路徑切離。

開關控制部564依據測定部562所進行之由信號輸出電路基板500至接收器560為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準的測定結果，以控制該切離開關556的導通狀態。具體而言，在測定部562所測定的衰減位準較預定的基準值還小時，此開關控制部564藉由切離開關556使附加型衰減器558由信號配線554切離。此處，在由接收器560接收信號時的高頻信號和低頻信號的衰減位準的差被判定成十分小時，該預定的基準值可為高頻信號的衰減位準的最大值或亦可為信號傳送系統50的利用者等所預定。

依據本發明的第3實施形式的信號傳送系統50，以測定部562所進行的高頻信號的衰減位準的測定結果為基準，使附加型衰減器558被控制成切離或未切離。然後，衰減位準較大時，使用此附加型衰減器558以補正高頻信號和低頻信號的衰減位準的差。另一方面，衰減位準較小時，未使用此附加型衰減器558，可使信號位準不會變低以對信號進行傳送。因此，所謂信號的傳送路徑的長度等可左右高頻信號的衰減位準的要因即使藉由信號輸出電路基板500或信號接收電路基板550所設置的環境等來改變時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差通常仍然十分小，於是可傳送高品質的信號。

又，信號傳送系統50的構成不限於圖7中所示的構成，亦可對圖7中所示的構成施加多樣化的變更。例如，測定部562亦可設在信號接收電路基板550的外部。即使在此種情況下，亦與以上所說明的情況相同，依據測定部562所進行的測定結果，此時顯然可對切離開關556進行控制。又，切離開關556、附加型衰減器558、測定部562以及開關控制部564亦可設在信號輸出電路基板500中而不是設在信號接收電路基板550中。此時，切離開關556和附加型衰減器558可設在驅動器502和連接器504之間。然後，在信號輸出電路基板500中依據測定部562所進行之由驅動器502至信號接收電路基板550為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果，以控制此附加型衰減器558是否需切離。

圖8是本發明第3實施形式的變形例的信號傳送系統60的構成的一例的方塊圖。信號傳送系統60具備：信號輸出電路基板500，其使信號輸出至外部；以及信號接收電路基板650，其藉由電纜等以連接至信號輸出電路基板500且由外部接收信號。信號由信號輸出電路基板500傳送至信號接收電路基板650。信號傳送系統60與圖7所示的信號傳送系統50不同。信號接收電路基板650中具有多個附加型衰減器，可對應於所傳送的信號的頻率以使用任意的附加型衰減器的組合，這樣可使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差減輕更多。又，圖8中所示的信號輸出電路基板500由於具有與圖7所示的信號輸出電路基板500大略相同的構成和功能，則除了不同點之外其它說明將省略。

信號接收電路基板650具有：連接器652、信號配線654、切離開關656、多個附加型衰減器(658a、658b、...658c。以下以658來表示)、附加型衰減器選擇開關660、接收器662、測定部664以及開關控制部666。連接器652由信號接收電路基板650之外部(本例中是信號輸出電路基板500)接收信號。信號配線654使信號由連接器652傳送至接收器662。此處，信號配線654是由信號輸出電路基板500至信號接收電路基板650為止的傳送線路的一部份。切離開關656交替地使全部的附加型衰減器658由信號配線654切離或未切離。各別的附加型衰減器658以串列方式設在連接器652和接收器662之間。又，各別的附加型衰減器658具有與圖7中所示之附加型衰減器558大略相同的功能和構成。然而，在各別的附加型衰減器658中，低頻信號的衰減是不同的。此處，所謂衰減例如可以是衰減位準或衰減頻域。總之，各別的附加型衰減器658中，衰減的時間常數可以不相同。附加型衰減器658選擇開關660由多個附加型衰減器658之中選取一部分附加型衰減器658。具體而言，附加型衰減器選擇開關660除了所選取的一部分附加型衰減器658之外，使其它的附加型衰減器658旁路。接收器662經由連接器652以接收此信號輸出電路基板500所輸出的信號。

在應傳送的信號送出用的信號輸出電路基板500經由連接器652以連接至信號接收電路基板650時，測定部664對由信號輸出電路基板500至接收器662為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準進行測定。例如，測定部664亦可藉由對信號輸出電路基板500至接收器662為止的傳送路徑中的信號輸出電路基板500的近旁和接收器662的輸入端子的近旁之信號的位準進行測定，以測定此傳送路徑中之高頻信號的衰減位準。又，由測定部664所進行的衰減位準的測定亦可在信號傳送系統60的信號傳送之前段過程中進行。在通常的信號傳送時，測定部664亦可由信號輸出電路基板500至接收器662為止的傳送路徑切離。

開關控制部666依據測定部664所進行之由信號輸出電路基板500至接收器662為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準的測定結果，以控制該切離開關656的導通狀態以及控制此附加型衰減器選擇開關660。具體而言，在測定部664所測定的衰減位準較預定的基準值還小時，此開關控制部666藉由切離開關656使全部的附加型衰減器658由信號配線654切離。又，開關控制部666依據測定部664所測定的衰減位準，以附加型衰減器選擇開關660而由多個附加型衰減器658中選擇一部分附加型衰減器658。此處，在含有信號輸出電路基板500和信號接收電路基板650的信號配線或信號輸出電路基板500和信號接收電路基板650連接用的電纜等的傳送線路所造成的信號的衰減位準以及已選取的插入型衰減器658所造成的信號的衰減位準進行合計時，開關控制部666在高頻信號和低頻信號的衰減位準的差成為十分小時的組合下以附加型衰減器選擇開關660來選取此附加型衰減器658。

依據本發明第3實施形式的變形例的信號傳送系統60，低頻信號的衰減位準不同的多個附加型衰減器658中選取一部分附加型衰減器658，可藉由已接收的信號的衰減以高精度地進行一種使低頻信號只衰減所期望的位準的處理。因此，信號的傳送路徑的長度等所謂左右高頻信號的衰減位準的要因即使藉由信號輸出電路基板500或信號接收電路基板650所設置的環境等來改變時，高頻信號和低頻信號的衰減位準的差通常仍然十分小，於是可傳送品質高的信號。

又，信號傳送系統60的構成不限於圖8中所示的構成，亦可對圖8中所示的構成施加多樣化的變更。例如，測定部664亦可設在信號接收電路基板650的外部。即使在此種情況下，亦與以上所說明的情況相同，依據測定部664所進行的測定結果，此時顯然可對切離開關656和附加型衰減器選擇開關660進行控制。又，切離開關656、多個附加型衰減器658、附加型衰減器選擇開關660、測定部664以及開關控制部666亦可設在信號輸出電路基板500中而不是設在信號接收電路基板650中。此時，切離開關656、多個附加型衰減器658以及附加型衰減器選擇開關660亦可設在驅動器502和連接器504之間。然後，在信號輸出電路基板500中依據測定部664所進行之由驅動器502至信號接收電路基板650為止的傳送路徑中的高頻信號和低頻信號的衰減位準的測定結果，以控制此切離開關656和附加型衰減器選擇開關660。

圖9是本發明第3實施形式的變形例的信號傳送系統60的處理流程的一例的流程圖。首先，測定部664對由信號輸出電路基板500至接收器662為止的傳送路徑中的高頻信號的衰減位準進行測定(S1100)。然後，開關控制部666判定：由測定部664所測定的衰減位準是否較預定的基準值還小(S1110)。此處，若判定”已測定的衰減位準較預定的基準值還小”(S1110：Yes)，則開關控制部666使切離開關656開放。全部的附加型衰減器658都由信號配線654切離(S1120)。另一方面，若判定”已測定的衰減位準未較預定的基準值還小”(S1110：No)，則開關控制部666以附加型衰減器選擇開關660而由多個附加型衰減器658之中選取一部分附加型衰減器658，且除了已選取的一部分附加型衰減器658之外其它的附加型衰減器658都被旁路(S1130)。然後，接收器662經由連接器652而接收此信號輸出電路基板500所輸出的信號(S1140)。

以上雖然使用各實施形式來說明本發明，但本發明的技術的應用範圍不限於上述實施形式中所記載的範圍。上述實施形式可施加多種的變更或改良，這是此行業者所明白者。施加此種變更或改良後的實施形式亦是在本發明的範圍中可得到者，這由申請專利範圍的記載即可明白。

產業上的可利用性

依據本發明，一方面可使高頻信號和低頻信號的衰減位準的差減輕，且另一方面可實現信號傳送系統、信號輸出電路基板、信號接收電路基板、信號輸出方法以及信號接收方法，以進行傳送線路中的阻抗的整合。

雖然本發明已以較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作些許之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

10、20．．．信號傳送系統

30、40．．．信號傳送系統

50、60．．．信號傳送系統

100．．．插接卡

102．．．波形成形部

104．．．驅動器

106．．．附加型衰減器

108、110．．．插入型衰減器

112．．．附加型衰減器

114．．．比較器

116．．．邏輯比較部

120、122．．．基準電位供給部

140、142．．．傳送線路

150．．．效能板

152．．．插入型衰減器

154．．．附加型衰減器

156．．．被測試裝置(DUT)

158．．．附加型衰減器

160．．．插入型衰減器

170、172．．．基準電位供給部

200．．．插接卡

202．．．波形成形部

204．．．驅動器

206．．．切離開關

208a~c．．．附加型衰減器

210．．．附加型衰減器選擇開關

212．．．插入型衰減器選擇開關

214a~c．．．插入型衰減器

216．．．旁路開關

218．．．插入型衰減器選擇開關

220a~c．．．插入型衰減器

222．．．旁路開關

224．．．切離開關

226a~c．．．附加型衰減器

228．．．附加型衰減器選擇開關

230．．．比較器

232．．．邏輯比較部

240、242．．．傳送線路

250．．．效能板

252．．．插入型衰減器選擇開關

254a~c．．．附加型衰減器

256．．．旁路開關

258．．．切離開關

260a~c．．．插入型衰減器

262．．．附加型衰減器選擇開關

264．．．被測試裝置(DUT)

266．．．切離開關

268a~c．．．附加型衰減器

270．．．附加型衰減器選擇開關

272．．．插入型衰減器選擇開關

274a~c．．．插入型衰減器

276．．．旁路開關

300．．．信號輸出電路基板

302．．．驅動器

304．．．插入型衰減器

306．．．旁路開關

308．．．連接器

310．．．測定部

312．．．開關控制部

350．．．信號接收電路基板

352．．．連接器

354．．．接收器

400．．．信號輸出電路基板

402．．．驅動器

404．．．插入型衰減器選擇開關

406a~c．．．插入型衰減器

408．．．旁路開關

410．．．連接器

412．．．測定部

414．．．開關控制部

500．．．信號輸出電路基板

502．．．驅動器

504．．．連接器

550．．．信號接收電路基板

552．．．連接器

554．．．信號配線

556．．．切離開關

558．．．附加型衰減器

560．．．接收器

562．．．測定部

564．．．開關控制部

650．．．信號接收電路基板

652．．．連接器

654．．．信號配線

656．．．切離開關

658a~c．．．附加型衰減器

660．．．附加型衰減器選擇開關

662．．．接收器

664．．．測定部

666．．．開關控制部

圖1是本發明第1實施形式的信號傳送系統10的構成的一例的方塊圖。

圖2是本發明第1實施形式的第1變形例的信號傳送系統15的構成的一例的方塊圖。

圖3是本發明第1實施形式的第2變形例的信號傳送系統20的構成的一例的方塊圖。

圖4是本發明第2實施形式的信號傳送系統30的構成的一例的方塊圖。

圖5是本發明第2實施形式的變形例的信號傳送系統40的構成的一例的方塊圖。

圖6是本發明第2實施形式的變形例的信號傳送系統40的處理流程的一例的流程圖。

圖7是本發明第3實施形式的信號傳送系統50的構成的一例的方塊圖。

圖8是本發明第3實施形式的變形例的信號傳送系統60的構成的一例的方塊圖。

圖9是本發明第3實施形式的變形例的信號傳送系統60的處理流程的一例的流程圖。

10．．．信號傳送系統

100．．．插接卡

102．．．波形成形部

104．．．驅動器

106．．．附加型衰減器

108、110．．．插入型衰減器

112．．．附加型衰減器

114．．．比較器

116．．．邏輯比較部

140、142．．．傳送線路

150．．．效能板

152．．．插入型衰減器

154．．．附加型衰減器

156．．．被測試裝置(DUT)

158．．．附加型衰減器

160．．．插入型衰減器

Claims (20)

1. 一種信號傳送系統，傳送高速的信號，前述信號傳送系統包括：驅動器，其用來使信號輸出；傳送線路，其用來傳送前述信號；插入型衰減器，其串列地插入至前述傳送線路中，並且，測試信號的頻率確實變高時會顯示更低的阻抗，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大；以及附加型衰減器，其連接在前述傳送線路和基準電位之間，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大，並且，在測試信號的頻率確實變高時會顯示更高的阻抗，其中藉由前述驅動器、前述插入型衰減器以及前述附加型衰減器所作成的合成阻抗整合至前述傳送線路的阻抗中。
2. 如申請專利範圍第1項所述之信號傳送系統，更包括基準電位供給部，其可使信號的中心位準改變以作為前述基準電位。
3. 如申請專利範圍第1項所述之信號傳送系統，其中前述插入型衰減器設在前述傳送線路上之前述驅動器的近旁，前述附加型衰減器設在前述驅動器和前述插入型衰減器之間。
4. 如申請專利範圍第1項所述之信號傳送系統，更包括接收部，其用來接收在前述傳送線路中傳送的信號，其中前述插入型衰減器設在前述傳送線路上的前述接 收部的近旁，前述附加型衰減器設在前述接收部和前述插入型衰減器之間。
5. 如申請專利範圍第4項所述之信號傳送系統，更包括基準電位供給部，其可使前述接收部之終端電壓改變以作為前述基準電位。
6. 如申請專利範圍第3項所述之信號傳送系統，更包括接收部，其用來接收在前述傳送線路中傳送的信號，其中前述插入型衰減器更設在前述傳送線路上的前述接收部的近旁，前述附加型衰減器另外設在前述接收部和前述插入型衰減器之間。
7. 如申請專利範圍第6項所述之信號傳送系統，其中前述驅動器設在半導體裝置測試用的測試裝置中驅動測試信號用的插接卡(pin card)上，前述接收部設在設有前述半導體裝置接觸用的接觸端的效能(performance)板上。
8. 如申請專利範圍第7項所述之信號傳送系統，其中前述接收部是半導體裝置。
9. 如申請專利範圍第7項所述之信號傳送系統，其中前述信號傳送系統另外具備一種旁路(bypass)開關，其在傳送線路中使插入型衰減器旁路。
10. 如申請專利範圍第9項所述之信號傳送系統，其中低頻信號的衰減程度不同的多個插入型衰減器以並列方式而設置著，此信號傳送系統更具備：插入型衰減器選擇開關，其由前述多個插入型衰減器 之中選取一部分的插入型衰減器。
11. 如申請專利範圍第10項所述之信號傳送系統，更具備一種切離開關，其使前述附加型衰減器由前述傳送線路切離。
12. 如申請專利範圍第11項所述之信號傳送系統，其中低頻信號的衰減程度不同的多個附加型衰減器以串列方式而設置著，前述信號傳送系統更包括附加型衰減器選擇開關，其由前述多個附加型衰減器之中選取一部分的附加型衰減器且使其它的前述附加型衰減器旁路。
13. 一種信號輸出電路基板，其使信號向外部送出，前述信號輸出電路基板包括：驅動器，其使前述信號輸出；連接器，其使前述信號向外部送出；插入型衰減器，其以串列方式插入至前述驅動器和前述連接器之間，使低頻信號衰減的程度較高頻信號者還大；旁路開關，其使前述插入型衰減器旁路；測定部，當接收前述信號的信號接收電路基板經由前述連接器而連接至前述信號輸出電路基板時，前述測定部用來在由前述驅動器至前述信號接收電路基板為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制部，其在前述衰減位準較基準值還小時，使前述旁路開關成為導通狀態。
14. 如申請專利範圍第13項所述之信號輸出電路基 板，其中前述驅動器和前述連接器之間以並列方式而設有低頻信號的衰減程度不同的多個前述插入型衰減器，前述信號輸出電路基板更包括插入型衰減器選擇開關，其由多個前述插入型衰減器中選擇一部分的前述插入型衰減器，以及前述開關控制部依據前述測定部所測定的衰減位準，在前述插入型衰減器選擇開關，由多個前述插入型衰減器之中選取一部分的前述插入型衰減器。
15. 一種由外部接收信號用的信號接收電路基板，其具備：連接器，其由外部接收信號；接收器，其經由前述連接器而接收前述信號；信號配線，其由前述連接器向前述接收器傳送前述信號；附加型衰減器，其將前述信號配線與基準電位相連接，使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；切離開關，其用來切離前述附加型衰減器；測定部，當送出前述信號的信號輸出電路基板經由前述連接器而連接至前述信號接收電路基板時，前述測定部用來在由前述信號輸出電路基板至前述接收器為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制部，其在前述衰減位準較基準值還小時藉由前述切離開關使前述附加型衰減器切離。
16. 如申請專利範圍第15項所述之由外部接收信號用 的信號接收電路基板，其中前述連接器與前述接收器之間串列地設有低頻信號的衰減程度不同的多個前述附加型衰減器，前述信號接收電路基板更具備附加型衰減器選擇開關，其由前述多個附加型衰減器之中選取一部分的前述附加型衰減器，且使其它的前述附加型衰減器旁路，以及前述開關控制部依據前述測定部所測定的衰減位準，在前述附加型衰減器選擇開關，由前述多個附加型衰減器之中選取一部份前述附加型衰減器。
17. 一種使用信號輸出電路基板使信號向外部送出所用的信號輸出方法，其具備：輸出步驟，驅動器使前述信號輸出；送出步驟，連接器使前述信號向外部送出；衰減步驟，其中前述驅動器和前述連接器之間以串列方式插入的插入型衰減器使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；旁路步驟，其中旁路開關使前述插入型衰減器旁路；測定步驟，其中接收前述信號的信號接收電路基板經由前述連接器而連接至前述信號輸出電路基板時，在由前述驅動器至前述信號接收電路基板為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制步驟，其在前述衰減位準較基準值還小時使前述旁路開關成為導通狀態。
18. 如申請專利範圍第17項所述之使用信號輸出電路 基板使信號向外部送出所用的信號輸出方法，其中在信號輸出電路基板，前述驅動器和前述連接器之間以並列方式而設有低頻信號的衰減程度不同的多個前述插入型衰減器，前述信號輸出方法更具備選擇步驟，插入型衰減器選擇開關由前述多個插入型衰減器中選擇一部分前述插入型衰減器，以及前述開關控制步驟依據前述測定步驟中所測定的衰減位準，在前述插入型衰減器選擇開關中，由前述多個插入型衰減器之中選取一部分前述插入型衰減器。
19. 一種使用信號接收電路基板以由外部接收信號所用的信號接收方法，其具備：收取步驟，連接器由外部接收前述信號；接收步驟，接收器經由前述連接器而接收前述信號；傳送步驟，信號配線由前述連接器向前述接收器傳送前述信號；衰減步驟，連接前述信號配線和基準電位的附加型衰減器使低頻信號所受到的衰減較高頻信號者還大；切離步驟，切離開關切離前述附加型衰減器；測定步驟，送出前述信號的信號輸出電路基板經由前述連接器而連接至前述信號接收電路基板時，在由前述信號輸出電路基板至前述接收器為止的傳送路徑中測定高頻信號的衰減位準；以及開關控制步驟，其在前述衰減位準較基準值還小時藉 由前述切離開關使前述附加型衰減器切離。
20. 如申請專利範圍第19項所述之使用信號接收電路基板以由外部接收信號所用的信號接收方法，其中在前述信號接收電路基板中，前述連接器與前述接收器之間串列地設有低頻信號的衰減程度不同的多個前述附加型衰減器，前述信號接收方法更具備選擇步驟，附加型衰減器選擇開關由前述多個附加型衰減器之中選取一部分前述附加型衰減器，且使其它的附前述加型衰減器旁路，以及前述開關控制步驟依據前述測定步驟中所測定的衰減位準，在前述附加型衰減器選擇開關，由前述多個附加型衰減器之中選取一部分前述附加型衰減器。