CS212268B2 - Method of coating the glass by the coat containing the silicon - Google Patents

Method of coating the glass by the coat containing the silicon Download PDF

Info

Publication number
CS212268B2
CS212268B2 CS781295A CS129578A CS212268B2 CS 212268 B2 CS212268 B2 CS 212268B2 CS 781295 A CS781295 A CS 781295A CS 129578 A CS129578 A CS 129578A CS 212268 B2 CS212268 B2 CS 212268B2
Authority
CS
Czechoslovakia
Prior art keywords
glass
coating
silane
silicon
electron donor
Prior art date
Application number
CS781295A
Other languages
English (en)
Inventor
Manfred Landau
Original Assignee
Pilkington Brothers Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pilkington Brothers Ltd filed Critical Pilkington Brothers Ltd
Publication of CS212268B2 publication Critical patent/CS212268B2/cs

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/22Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with other inorganic material
    • C03C17/23Oxides
    • C03C17/245Oxides by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C17/00Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
    • C03C17/06Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals
    • C03C17/09Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with metals by deposition from the vapour phase
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2217/00Coatings on glass
    • C03C2217/20Materials for coating a single layer on glass
    • C03C2217/21Oxides
    • C03C2217/213SiO2
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03CCHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C2218/00Methods for coating glass
    • C03C2218/10Deposition methods
    • C03C2218/15Deposition methods from the vapour phase
    • C03C2218/152Deposition methods from the vapour phase by cvd
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31551Of polyamidoester [polyurethane, polyisocyanate, polycarbamate, etc.]
    • Y10T428/31609Particulate metal or metal compound-containing
    • Y10T428/31612As silicone, silane or siloxane

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass (AREA)
  • Surface Treatment Of Glass Fibres Or Filaments (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)

Description

Vynález se týká způsobu povlékání skla povlakem obsahujícím křemíky při kterém se sklo vede povlékací s^tanl-cí, přemž sklo má teplotu a^spoň 400 °C, a v · bezprosední blízkosti povrchu skla se uvozuje plyn obsahující silan při. konstantním tiLaku napříč povrchu skla a za neoxidačních podmínek tak, že silan podléhá pyrolýze, čímž se usadí povlak obsahující křemík na povrchu skla.
Vynález představuje zlepšení výrobku a způsobu uvedených v čs. patentu č. 209 479.
V uvedeném patentu je popsán a nárokován způsob, při němž se pohybuje sklo povlékací stani, přičemž teplota skla je alespoň 400 °C, do povkací sanice se pMvéidí plyn obsahující sila^ sně u povrhu žhavého skla se plyn uvozuje, při tans^ntním v postatě tlaku napříč povrchu skla, do žhavé zóny, ve které se plyn zahřívá, · přiČemž se tato zóna otevírá k povrchu skla a prochází napříč povrchu skla, takže dochází k pyrolýze silanu, přičemž se na povrchu slcla usazuje pov^k obsahující křemík a v uvedené žhavé zóně se udržují neoxidační podmínky.
Takto vyrobené sklo má v podstatě rovnoměrný obsah křemíku a má dobré vlastnosti co se týče propustnosti slunečního záření, a pěkný vzhled.
Nyní bylo zjištěno, že se přídavkem elektrondonorové sloučeniny k plynu, obsahujícímu silan, který je uvolnován sně u povrchu žhavého skla, zvýší altaMvzfornost ^em^ového povlaku na skle.
Z článku reakce silanu s nenasycenými uhlovodíky od_ Davida G. Whiteho a.Eugena. G. Rochowa, Journal of Američan Chemical Society, Vol. 76, str. 3 887 až 3 902, je známo, že se při výrobě alkylsilanů reakcí silanu s ethylenem nebo acetylenem v zahřívané trubici po dobu tří hodin usazuje tenká vrstva křemíku na vnitřním povrchu zahřívané trubice, kterou cirkulují plynné reaktanty.
Hlavním cílem vynálezu je využití objevu, že přítomnost elektrondonorové sloučeniny uděluje alkalivzdornost křemíkovému povlaku na skle.
K dosažení tohoto cíle vytváří vynález způsob povlékání skla povlakem obsahujícím křentfk, při kterém se sklo vede povlékací stani-c^ přičemž sklo má teplotu alespoň·· . 400 °C, a v bezprostřední blízkosti povrchu · skla se uvolňuje plyn obsahující silan při konstantním tlaku napříč povrchu skla a za neoxidačních podmínek tak, že silan podléhá pyrolýze, čímž se usadí povlak obsahující křemík na povrchu skla, jehož podstata spočívá v tom, že plyn obsahující silan obsahuje podíl plynné elektrondonorové sloučeniny, která vyvolává alkalivzdornost.
Je výhodné, když plyn obsahující silan obsahuje dusík jako nosný plyn a plynnou elektrondonorovou sloučeninu v objemové koncentraci od 0,2 do 0,6 %.
Dále je výhodné, když plyn obsahující silan obsahuje monosilan v dusíku jako nosném plynu a jako elektrondonorovou sloučeninu plynný oléfir^.
Je výhodné, když tento olefin je ethylen.
Dále je výhodné, · když poměr objemových koncentrací ethylenu k silanu je v rozmezí 0,1 až 2,0.
«
Dále . je výhodné, když poměr objemových koncentrací ethylenu k silanu je v rozmezí 0,2 až 0,5.
Dále je výhodné, když plyn obsahující silan obsahuje monosilan v objemové koncentraci 1 až 7 %, ethylen v objemové koncentraci 0,5 až 6 · % a popřípadě podíl vodíku, přičemž zbytek je dusík.
212266
Dále je výhodné, když plyn obsahující silan obsahuje monosilaň v objemové koncentraci 0,3 až 7 %, plynnou elektrondonorovou sloučeninu v objemové koncentraci 0,2 až 6 % a popřípadě podíl vodíku, přičemž Zbytek je dusík.
Dále je výhodné, když plyn obsahující silan obsahuje vodík v objemové koncentraci 1,4 až 10 %.
Je výhodné, když je plynnou elektrondonorovou sloučeninou acetylenický uhlovodík, že- * jména acetylen.
Dále je výhodné, když je plynnou elektrondonorovou sloučeninou aromatický uhlovodík, zejména benzen.
Dále je výhodné, když je plynnou elektrondonorovou sloučeninou amoniak.
Těmito opatřeními podle vynálezu se dosáhne toho, že sklo opatřené křemíkovým povlakem vytvářeným z plynu obsahujícího silan s podílem plynné elektrondonorové sloučeniny má kromě výhodných optických vlastností, to jest odrazivosti a propustnosti slunečního záření v určitém výhodném rozmezí, ještě velmi vysokou alkalivzdornost zmíněného křemíkového povlaku.
Alkalivzdornost křemíkového povlaku se určuje způsobem, který bude dále popsán, zjišlováním doby, po jakou křemíkový povlak vydrží působení silně alkalického roztoku bez viditelného poškození. Způsob podle vynálezu je výhodný pro úpravu mnoha průmyslově vyráběných druhů skel v různých formách, která mohou být vedena povlékací stanicí, například okenního skla, optického skla nebo skleněných vláken.
Tato skla obvykle obsahují kysličníky alespoň dvou prvků a jsou to obvykle skla olovnatokřemičitá, alkalickokřemičitá, křemičitá s kovem alkalické zeminy, zejména sodnovápenatokřemičitá. V některých případech se v závislosti na alkalivzdornosti skla a podílu elektrondonorové sloučeniny může dosáhnout vyšší alkalivzdornosti povlaku než povlékaného skla.
Vynález umožňuje vyrábět sklo povlečené odrážejícím křemíkovým povlakem, jehož povlak má index lomu v rozmezí 2,5 až 3,5 a alkalivzdornost takovou, že povlak nevykazuje Žádnou známku poškození, které je zjevné pouhému oku, po ponoření do 1N roztoku hydroxidu sodného . při teplotě 90 °C po dobu alespoň 60 s.
Výhodně povlak nevykazuje žádnou známku poškození po ponoření alespoň 5 minut.
Výhodně je povlak takový, že se 30 % světla z C.I.E. světelného zdroje C, dopadajícího na povlečenou stranu skla, odráží.
Index lomu povlaku může být v rozmezí 2,8 až 3,4; Sklem může být sodnovápenatokřemičité sklo.
Pro jasnější porozumění vynálezu budou nyní pospány některé příklady povlékání skla, například plochého skla sodnovápenatokřemičitého složení, povlakem obsahujícím křemík.
Všechna procenta a díly uváděné v následujících příkladech znamenají koncentraci objemovou.
Podkladové sklo, které má být povlečeno povlakem obsahujícím křemík, má standardní provozní zbarvení pro skla mající požadovanou odrazivost a propustnost pro sluneční záření, přičemž jde o sodnovápenatokřemičité sklo, které obsahuje malá množství selenu a oxidu kobaltu jako barvící složky a je to takové sklo, které se vyrábí ve formě pásu na lázni roztaveného kovu.
Sklo se povléká, když má teplotu alespoň 400 °C a posouvá se povlékací stanicí způsobem popsaným ve výše uvedeném patentu, na jehož popis se zde odkazuje·
Když se má povlékat sklo vyráběné na lázni roztaveného kovu, může se povlak nanášet uvnitř nádrže a blízko jejího výstupního konce, přičemž tato nádrž obsahuje lázeň roztaveného kovu, po které se sklo posouvá ve formě pásu,
V oblasti výstupního konce lázně, kde se uskutečňuje povlékání, je teplota skla v rozmezí 600 až 650 °C.
V jiném případě se povlak může nanášet na pás skla, když se vede chladicí pecí, přičemž rozdělovač plynu je uložen v chladicí peci tam, kde je teplota v rozmezí 400 až 750 °C« Sklem, které se má povlékat, může být sklo vyráběné válcováním nebo vertikálním tažením·
Vynález je zvlášť použitelný pro povlékání plochého skla včetně skla s drátěnou vložkou ve formě tabule nebo pásu, lisovaných skleněných předmětů a skleněných vláken.
Aby se dosáhlo přijatelné míry rozložení silanu, mělo by mít sklo teplotu alespoň v rozmezí 400 až 850 °C, výhodně v rozmezí 500 až 850 °G. Aby se předešlo nežádoucím postranním reakcím, například reakcím, které vedou к tvorbě karbidu křemíku, je žádoucí předejít teplotám skla nad 850 °C. V některých případech může být nižší mez maximální teploty vymezena měknutím povrchu skla.
К znázornění vynálezu byly provedeny zkoušky povlékání plochého, zbarveného sodnovápenatokřemičitéfro skla majícího požadovanou propustnost a odrazivost pro sluneční záření, za použití různých podílů ethylenu C2H4 v plynu obsahujícím silan, sestávajícího z 5 % monoeilenu SiH^ v dusíku jako nosném plynu.
Získané výsledky jsou uvedeny v tabulkách I а II..
Tabulka I
Vzorek proud plynu 1. min“' % plynu
c2h4 B2 s 5 « síh4 c2H4 SiH4 »2
1 0 45 0 5 95
2 0,5 45 1,1 5 93,9
3 0,5 55 0.9 5 94,1
4 0,5 60 0,8 5 94,2
5 1 45 2,2 4,9 92,9
6 1 55 1.8 4,9 93,3
7 1 60 1.6 4,9 93,5
8 Л75 45 3,7 4,8 91,5
9 2 55 3,5 4,8 91,7
10 2 60 3,2 4,8 92
11 3,'3 55 5,7 4,7 89,7
12 3,3 60 5,2 4,7 90,1
I (pokračování)
Vzorek poměr R max XR max
C2H4:SiH4 /%/ /пш/
1 0 58,7 43.0
2 0,22:1 45,8 425
3 0,18:1 52,9 450
4 0,17:1 54,3 475
5 0,44:1 44,6 475
6 0,36:1 51,0 455
7 0,33:1 52,4 470
8 0,78:1 37,2 405
9 0,73:1 40,1 420
10 0,67:1 42;3 415
1 1 1,20:1 35,3 405
12 1,10:1 35,7 405
Tabulka I (pokračování)
Vzorek Index lomu Tloušika povlaku /nm/ Alkalivzdornost
1 3,35 32,1 ’ 18 s
2 2,80 37,9 1 h 5 min
3 3,10 36,3 1 h
4 3,15 37,7 1 h
5 2,75 43,2 2 h 20 min
6 3,00 37,9 1 h 30 min
7 3,05 38,5 2 h 45 min
8 2,50 40,5 3 h
9 2,60 40,4 3 h
10 2,65 39,2 3 h 30 min
11 2,45 41,3 5 h 50 min
12 2,45 41,3 7 h 20 min
Ve výše uvedené tabulce I:
R max je maximum světelného odrazu vyjádřeného jako procenta dopadajícího světla;
XR max je vlnová délka při které je odraz světla od povlaku maximální.
Alkalivzdornoet je doba, po kterou nedojde к vizuálně patrnému poškození skla po ponoření do 1N hydroxidu sodného při teplotě 90 °C.
Index lomu skla je znám, takže může být určen index lomu povlaku za použití standardního světelného zdroje. TIoušiká povlaku může být určena z měření optické tloušiky známým způsobem.
Všechna optická měření, o nichž se zmiňuje tento popis, byla provedena známým způsobem s povlečeným povrchem skla usměrněným к světelnému zdroji, který byl C.I.E. světelný zdroj C.
Tabulka I ukazuje, že povlak křemíku vytvořený na skle vzorků 2 až 12 s podílem ethylenu v plynu měl zvýšenou alkalivzdornost v porovnání s povlečeným sklem příkladu 1, kontrolním vzorkem, vytvořeným bez přídavku ethylenu k plynu obsahujícímu sílán.
Malé změny v podílu přítomného ethylenu vedou k vytvoření jen malých změn v optických charakteristikách udělovaných sklu povlakem obsahujícím křemík.
Výsledky ukazují, že při malém. poměru ethylenu k mononilanu, jako ve vzorcích 2, ' 3 a 4, nedochází k žádným podstatným změnám v optických charakteristikách, ale k překvapujícímu zvýšení odolnosti povlaku obsahujícího křemík vůči působení alkálií, přičemž se nezjistil žádný vizuální následek působení, pokud sklo nebylo ve styku s 1N roztokem hydroxidu * sodného po dobu alespon 1 hodiny.
Byly měřeny optické vlastnosti povlaků obsahujících křemík u vzorků 1, 2, 4, 5, 10 a 12. Při provádění těchto měření byla prováděná kompenzace na zbarvení skleněného podkladu porovnáním povlečených a nepovlečených vzorků zbarveného skleněného podkladu.
Pro zjištění vlivu byl zbarvený podklad nahrazen 6 mm čirým plochým sklem.
Výsledky, které jsou uvedeny v tabulce II, jsou optickými vlastnostmi vzorků 6 mm čirého sodnovápenatokřemičitého skla vyrobeného na'lázni roztaveného kovu a nesoucího stejné povlaky, jako jsou povlaky vytvořené na zbarveném skleněném podkladu, jak je popsáno s odkazem na tab. I. 1
Tabulka II
Povlak vzorku č. poměr C2H4:SiH4 Propustnost světla % Odraz světla %
1 0 31 54
2 0,22 43 41
4 0, 17 32 52
5 0,44 41 · 43
10 0,67 47 36
12 1,10 57 29
Tabulka
II (pokračování)
Vzorek č. povlak Propustnost přímého slunečního tepla % Odraz slunečního tepla % Absorpce slunečního tepla % Celková propustnost slunečního tepla %
1 43 38 19 49
2 51 28 21 58
4 43 37 20 49
5 49 30 21 56
10 53 25 22 60
12 59 20 21 66
Když je poměr ethylenu k silanu v plynu menší než 0,1, nedochází k žádné větší změně ve vlastnostech povlečeného skla v porovnání se vzorkem 1, vytvořeným bez jakéhokoliv obsahu ethylenu v plynu obsahujícím silan.
Jak množství ethylenu roste, dochází k stálému vzrůstu alkalivzdornosti, měřené dobou před vznikem napadení až do doby a^Lespoň 5 hodin 50 . . ml-nut, když je poměr ethylenu k silanu 1,2:1.
Vzrůst podílu ethylenu k silanu obecně vede ke snížení indexu lomu povlaku křemíku a následné změně v optických vlastnostech povlečeného skla. fiízením prouní ethylenu ve vztahu k proudění silanu v dusíku je možné dosáhnout předem stanovených optických vlastností, zejména vysoké odrazivosti, přičemž se získá výhoda vysoké alkalivzdornosti vytvořené přítomností ethylenu v plynu obsahujícím silan.
Při povětrnostních zkouškách, při nichž bylo povlečené sklo vystaveno vlhké atmosféře, vydržel vzorek 1, obsahující povlak křemíku, což je kontrolní vzorek, asi 10 dní. Nedocházelo k žádné viditelné změně v povlaku křemíku u vzorků 2 až 12 po šestitýdenním zkušebním období. Zkouška byla prováděna na svazcích 5 povlečených tabulí, z nichž každá měla plochu o
300 mm a byla oddělena zrnitým prokládacím materiálem a uložena v povětrnostní komoře, ve které byla udržována teplota na 60 °C a relativní vlhkost na 95 až 100 %.
Povlaky obsahující ' křemík vytvořené postupem podle tohoto vynálezu za použití ethylenu byly zkoušeny a srovnávány s povlaky obsahujícími'křemík vytvořenými v nepřítomnosti elektrondonorové sloučeniny. Nejznatelnějším rysem je zjevný růst v obsahu kyslíku v povlaku, což je zjištěno v úbytku poměru křemík : kyslík, následkem použití elektrondonorové sloučeniny.
Alespoň určitá část kyslíku v povlaku vytvořeném podle vynálezu je přítomna, jak se předpokládá ve formě rozdílné od jakéhokoli kyslíku přítomného v povlacích vyrobených v nepřítomnosti elektrondonorové sloučeniny.
Tento kyslík je zjevně zodpovědný'za změnu v polohách špiček a intenzitách elektronů křemíku, jak je zjištěno elektronovou spektroskopií pro chemickou analýzu. Například, když se použije vysoký podíl ethylenu, základní křemíková špička (2p) je jasně zjištěna při 102,0 elektronvoltech v porovnání se špičkami při 103,3 eV a 99,4 eV, jak je přisuzováno kovovému křemíku, resp. oxidovanému křemíku (viz C. D. Wagner, řaraday . Discussions of the Chemical Society 60, 1975, 296).
Alkalivzdornost povlaku je závislá na vysokém podílu kyslíku v povlaku, který se zvyšuje, stejně jako alkalivzdor^r^os^t^, se vzrůstem poměru elektrondonorové sloučeniny k silanu v plynu.
Analýza ukázala, že ionty, jako je sodík, vápník, a hořčík, mohou být přítomné v povlaku a jejich rozdělení v povrchu skla a v povlaku závisí na poměru ethylenu k silanu a změny v rozděleních odrážejí změny v rozděleních , astavu kyslíku v povlaku.
Když obsah ethylenu v plynu obsahujícím silan vzrůstal, index lomu povlaku se postupně snižoval.. Následkem toho docházelo k postupnému snižování jak odrazu světla, tak odrazu slunečního tepla. Toto nebylo spojeno s žádným významným vzrůstem optické absorpce v povlacích křemíku, takže jakákoli redukce v odrazu byla vyrovnána vzrůstem v propustnosti světla a slunečního ^p^a. Změna indexu lomu se uskutňovala bez jakékoli podstatné změny v tloušlce povlaku, jak je znázorněno v tabulce I.
Při další sérii zkoušek bylo vyrobeno čiré sodnovápenatokřemičité sklo na lázni roztaveného kovu a bylo povlečeno povlakem obsahujícím křemík způsobem podle tohoto vynálezu, kterýžto povlak se ukázal být překvapivě odolný vůči působení alkálií. Sklo bylo povlékáno u výstupního konce nádrže obsahující lázeň roz^ven^o kovu, kde byla teplota slda v rozmezí 600 až 650 °C.
212266
Získané výsledky jsou uvedeny v tabulkách III а IV.
Tabulka III
Vzorek Čélkový proud Plynu., l.min 1 % plynu
C2H4 SiH4 “2 «2
15 140 0 4.6 92 3,4
16 180 0,6 5,2 91,6 2,6
17 180 6,0 , 91,5 1,4
18 180 i,’ 5,4 91,4 2,1
19 180 2 6,9 91,1 0
Tabulka
III (pokračování)
Vzorek poměr C2H4:SiH4 λ R max (nm) Index lomu Tloušťka povlaku (nm) Alkalivzdornost
15 0 400 3,36 30,0 18 s
16 0,11 455 3,18 35,β 45 s
17 0,18 460 3,29 35,0 5 min
18 0,20 - - - 5 min
19 0,29 480 3,23 37,2 30 min
Některé optické vlastnosti těchto vzorků jsou uvedeny v tabulce IV.
Tabulka IV
Vzorek Odraz světla % Propustnost světla %
15 51,5 32,0
16 51,8 29,1
17 54,3 27,2
18 - -
19 54,9' 27,0
Nevyplněné prostory v tabulkách III а IV ukazují, že hodnoty nebyly během zkoušek měřeny.
Překvapivě bylo zjištěno, že když se pro zvýšení alkalivzdornoeti povlaků křemíku vytvořených na plochém skle neseném na lázni roztaveného kovu použije ethylenu, ethylenový plyn má účinek na zmírnění zjevných diskontinuit v povlaku následkem uložení malých částic obsahující kov na povrchu skla.
212266
Podobné zkoušky byly provedeny s válcovaným sklem sodnovápenatokřemičitého složení při teplotě 600 °C a výsledky, jak je uvedeno v totalce V, ukazují podobnou trvanMvost povlaku křemíku, když'se podrobí zkouškám alkalivzdornost! stykem s1N roztokem hydroxidu sodného NaOH při telotě 90 °C. proudové poměry et,hylenu a sUsnu v tomto nosném plynu byly nastaveny k vytvoření předem stanovených optických vlastností měněním poměru ethylenu k silanu, čímž byl určován index lomu povlaku.
Tabulka V
Vzorek poměr C2H4:SiH4 Index lomu tlouštka (nm) propustnost světla % odraz světla % alkalivzdornost
20 0 3,15 32,5 31,9 48,1 18 s
21 . 0,33 · 3,09 33,2 3<,2<# 47,0 7 min
22 0,36 3,07 34,6 30,0 47,9 20 min
23 0,45 2,78 36,4 40,8 38,7 50 min
K provádění tohoto vynálezu se také mohou použít jiné silany, které se rozkládají na žhavém skle, např. vyšší silany, jako je disilan nebo trisilan, nebo substituované silany, jako jsou chlorsilany, které jsou obvykle používány v přítomnosti vodíku.
Tyto výsledky ukazují, že je výhodné, aby v případě, když se použije ethylen jako elektrondonorová sloučenina, byl poměr ethylenu k silanu v plynu v rozmezí 0,1 až 2,0. . Výhodnější je poměr ethylenu k silanu v plynu v rozmezí 0,2 až 0,5.
Výhodné složení plynu použité v těchto zkouškách pro plyn obsahující silan bylo 1 až 7 % monosilanu SiH4, 0,5 až 6 % ethylenu CgH^ a popř. vodík Hg, přičemž zbytek byl dusík Ng· Index lomu odrážejících alkalivzdorných povlaků, které byly vytvořeny, byl v rozmezí 2,5 až 3,5, zejména 3,1 - 0,3.
Jako složky plynu obsahujícího silan mohou b^t použity také jiné elektrondonorové sloučeniny. ·
Mohou být použity jiné olefiny, jako butadien C^Hg a penten C^H^.
Elektrondonorovou sloučeninou může být acetylenický uhlovodík. Byl použit acetylen jako složka plynu. Dále může být.použit jako elektrondonorová složka plynu aromatický uhlovodík, například benzen CgHg, toluen CgH^.CH^ nebo xylen CgH^.CCH^.
Jiné přísady, které jsou účinné jako elektrondonory, vytvářející alkalivzdornost povlaku, jsou olefinické deriváty, např. difluorethylen CgHgFg a amoniak NHy
Některé příklady použití těchto dalších elektrondonorových sloučenin jsou uvedeny v tabulce VI. Všechny vytvořené povlaky měly alkalivzdornost srovnatelnou s povlaky vytvořenými, jak bylo popsáno výše u ethylenu jako elektrondonoru.
Tabulka VI
Donor elektronu Teplota ec Donor % plynu H2 poměr Donor: SiH4
S1H4 »2
acetylen C2H2 605 0,4 0,33 90,27 9 1,2:1
butadien !4H6 580 0,24 0,32 90,44 9 0,75:1
amoniak NH3 680 1,3 0,3 89,4 9 4,5:1
amoniak NH3 620 0,7 0,63 89,67 9 1,1:1
difluorethylen c2h2f2 605 0,55 0,63 89,82 9 0,85:1
benzen C6H6 612 0,32 0,64 90,04 9 0,5:1
Nejvhodnější je použít sloučeninu, která je plynná při teplotě místnosti, takže je
výhodné použít olefinickou nebo acetylenickou sloučeninu obsahující 2 až 5 Uhlíkových atomů, ačkoliv mohou být použity sloučeniny obsahující více než 5 uhlíkových atomů, za předpokladu , že jsou plynné pod teplotou rozkladu silanu.
Vynález je také použitelný pro povlékání jakéhokoli alkalickokřemičitého nebo křemičitého skla s kovem alkalické zeminy.
V dalším pokusu byl podklad z boritokřemičitého skla zahřát na 600 °C a plynná směs obsahující 1 % monosilanu, 1,25 % ethylenu, 10 % vodíku a 87,75 % dusíku byla vedena к povrchu skla. Byl získán odrážející povlak křemíku, který po ponoření na dobu přes 3 hodiny v 1N roztoku hydroxidu sodného při 90 °C nevykazoval žádnou viditelnou známku působení.
Bylo také zjištěno, Že při použití poměru ethylenu к silanu, který je větší než 2,5, například poměru 5, dochází na skle к vytvoření alkalivzdorného křemíkového povlaku 8 velmi dobrou odolností vůči otěru. Takovéto povlaky nemají velkou odrazivost pro viditelné světlo, jako ji mají výše popsané vzorky, ale mohou být dokonce průhledné pro viditelné světlo.
pHedmětvynálezv

Claims (14)

1. Způsob povlékání skla povlakem obsahujícím křemík, při kterém se sklo vede povlékací stanicí, přičemž sklo má teplotu alespoň 400 °C a v bezprostřední blízkosti povrchu skla se uvolňuje plyn obsahující silan při konstantním tlaku napříč povrchu skla a aa neoxidačních podmínek tak, že silan podléhá pyrolýze, čímž se usadí povlak obsahující křemík na povrchu skla, vyznačený tím, že plyn obsahující silan obsahuje podíl plynné elektrondonorové sloučeniny, která vyvolává alkalivzdornoet.
2. Způsob podle bodu 1, vyznačený tím, že plyn obsahující silan obsahuje dusík jako nosný plyn a plynnou elektrondonorovou sloučeninu v objemové koncentraci od 0,2 do 6 %.
3. Způsob podle bodu 2, vyznačený tím, že plyn obsahující silan obsahuje monosilan v dusíku jako nosném plynu a jako elektrondonorovou sloučeninu plynný olefin.
4. Způsob podle bodu 3, ' vyznačený tím, že olefinem je ethylen.
5. Způsob podle bodu 4, vyznačený tím, že nu je v rozmezí 0,1 až 2,0.
6. Způsob podle bodu 5, vyznačený ' tím, že k silanu je v rozmezí 0,2 až 0,5.
7. Způsob podle bodu 4, vyznačený tím, že v objemové koncentraci 1 až 7 %, ethylen v objemové poměr objemových koncentrací ethylenu k sila» poměr objemových koncentrací ethylenu plyn obsahující silan obsahuje monosilan koncentraci 0,5 až 6 í a popřípadě podíl vodíku, přičemž zbytek je dusík.
8. Zppssb podle bodu 2, vyznaččrn tím, žž plyy obsahhjjcí silln obsahuje monooilírn v objemové koncentraci 0,3 až 7 %, plynnou elektrondonorovou sloučeninu v objemové koncentraci 0,2 až 6 % a popřípadě podíl vodíku, přičemž zbytek je dusík.
9. Způsob podle bodu 7 nebo 8, vyznačený tím, že plyn obsahující silan obsahuje vodík v objemové koncentraci 1,4 až 10 %.
10. Způsob podle bodu 8, vyznačený tím, že plynnou elektrondonorovou sloučeninou je hceíylenický uhlovodík.
11. Způsob podle bodu 10, vyznačený tím, že acetyleoickýo uhlovodíkem je acetylen.
12. Způsob podle bodu 8, vyznačený tím, že plynnou elektrdnddndrdvdu sloučeninou je aromatický uhlovodík.
13. Způsob podle bodu 12, vyznačený tím, že aromatickým uhlovodíkem je benzen.
14. Způsob podle bodu 8, vyznačený tím, že plynnou elekírdnddodrdvdu sloučeninou je amoniak.
CS781295A 1977-03-01 1978-03-01 Method of coating the glass by the coat containing the silicon CS212268B2 (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB8641/77A GB1573154A (en) 1977-03-01 1977-03-01 Coating glass

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CS212268B2 true CS212268B2 (en) 1982-03-26

Family

ID=9856396

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS781295A CS212268B2 (en) 1977-03-01 1978-03-01 Method of coating the glass by the coat containing the silicon

Country Status (26)

Country Link
US (1) US4188444A (cs)
JP (1) JPS53130717A (cs)
AR (1) AR217280A1 (cs)
AU (1) AU516481B2 (cs)
BE (1) BE864413A (cs)
BR (1) BR7801209A (cs)
CA (1) CA1110119A (cs)
CS (1) CS212268B2 (cs)
DD (1) DD136045A6 (cs)
DE (1) DE2808780C2 (cs)
DK (1) DK149924C (cs)
ES (1) ES467480A1 (cs)
FI (1) FI62522C (cs)
FR (1) FR2382511A1 (cs)
GB (1) GB1573154A (cs)
IT (1) IT1111431B (cs)
LU (1) LU79149A1 (cs)
MX (1) MX147940A (cs)
NL (1) NL179042C (cs)
NO (1) NO143100C (cs)
PL (1) PL112933B1 (cs)
RO (1) RO75434A7 (cs)
SE (1) SE431866B (cs)
SU (1) SU878191A3 (cs)
TR (1) TR20091A (cs)
ZA (1) ZA781053B (cs)

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298650A (en) * 1980-03-31 1981-11-03 Eastman Kodak Company Phosphorescent screens
JPS5826052A (ja) * 1981-08-06 1983-02-16 Asahi Glass Co Ltd アルカリ拡散防止酸化ケイ素膜付ガラス体
CA1245109A (en) * 1983-10-31 1988-11-22 Hsien-Kun Chu Method of forming amorphous polymeric halosilane films and products produced therefrom
US5165972A (en) * 1984-08-13 1992-11-24 Pilkington Plc Coated glass
GB8420534D0 (en) * 1984-08-13 1984-09-19 Pilkington Brothers Plc Coated products
JPS6195356A (ja) * 1984-10-16 1986-05-14 Mitsubishi Electric Corp フオトマスクブランク
JPS61116358A (ja) * 1984-11-09 1986-06-03 Mitsubishi Electric Corp フオトマスク材料
JPS61161763U (cs) * 1985-03-29 1986-10-07
US4661381A (en) * 1985-10-07 1987-04-28 Libbey-Owens-Ford Co. Continuous vapor deposition method for producing a coated glass article
US4749430A (en) * 1986-10-16 1988-06-07 Shell Oil Company Method of making an encapsulated assemblage
US4869966A (en) * 1986-10-16 1989-09-26 Shell Oil Company Encapsulated assemblage and method of making
JPS6430458U (cs) * 1987-08-13 1989-02-23
GB8814922D0 (en) * 1988-06-23 1988-07-27 Pilkington Plc Coatings on glass
JP3059758B2 (ja) * 1989-02-21 2000-07-04 リビー‐オーウェンズ‐フォード・カンパニー 被覆ガラス製品
US5328768A (en) * 1990-04-03 1994-07-12 Ppg Industries, Inc. Durable water repellant glass surface
US5171414A (en) * 1990-12-10 1992-12-15 Ford Motor Company Method of making transparent anti-reflective coating
US5106671A (en) * 1990-12-10 1992-04-21 Ford Motor Company Transparent anti-reflective coating
JP3139031B2 (ja) * 1991-02-21 2001-02-26 日本板硝子株式会社 熱線遮蔽ガラス
US5234748A (en) * 1991-06-19 1993-08-10 Ford Motor Company Anti-reflective transparent coating with gradient zone
CA2084247A1 (en) * 1992-03-18 1993-09-19 Francis Paul Fehlner Lcd panel production
AU655119B2 (en) * 1992-07-11 1994-12-01 Pilkington Glass Limited Coatings on glass
US5580364A (en) * 1992-07-11 1996-12-03 Libbey-Owens-Ford Co. Method of producing a coated glass substrate exhibiting reflected color
FR2695118B1 (fr) * 1992-09-02 1994-10-07 Air Liquide Procédé de formation d'une couche barrière sur une surface d'un objet en verre.
GB9400323D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
GB9400320D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coating on glass
GB9400319D0 (en) * 1994-01-10 1994-03-09 Pilkington Glass Ltd Coatings on glass
US5723172A (en) * 1994-03-11 1998-03-03 Dan Sherman Method for forming a protective coating on glass
US5665424A (en) * 1994-03-11 1997-09-09 Sherman; Dan Method for making glass articles having a permanent protective coating
CA2159296C (en) * 1994-10-14 2007-01-30 Michel J. Soubeyrand Glass coating method and glass coated thereby
CN1051534C (zh) * 1994-11-22 2000-04-19 秦皇岛开发区蓝光玻璃新技术公司 浮法在线生产镀膜玻璃的方法
GB9500330D0 (en) * 1995-01-09 1995-03-01 Pilkington Plc Coatings on glass
US6055828A (en) * 1997-12-30 2000-05-02 Closure Medical Corporation Treatment methods for glass medical adhesive applicators
US6350397B1 (en) 1999-03-10 2002-02-26 Aspen Research Corporation Optical member with layer having a coating geometry and composition that enhance cleaning properties
EP1421607A2 (en) * 2001-02-12 2004-05-26 ASM America, Inc. Improved process for deposition of semiconductor films
US20050144981A1 (en) * 2002-01-31 2005-07-07 Nippon Sheet Glass Company, Limited Method of manufacturing glass sheet with thin film and the glass sheet
US6919133B2 (en) 2002-03-01 2005-07-19 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
CA2477845C (en) * 2002-03-01 2010-10-12 Cardinal Cg Company Thin film coating having transparent base layer
WO2004009861A2 (en) * 2002-07-19 2004-01-29 Asm America, Inc. Method to form ultra high quality silicon-containing compound layers
US7638167B2 (en) * 2004-06-04 2009-12-29 Applied Microstructures, Inc. Controlled deposition of silicon-containing coatings adhered by an oxide layer
US20050271893A1 (en) * 2004-06-04 2005-12-08 Applied Microstructures, Inc. Controlled vapor deposition of multilayered coatings adhered by an oxide layer
US20050044894A1 (en) * 2003-08-29 2005-03-03 Douglas Nelson Deposition of silica coatings on a substrate
DE102004012977A1 (de) * 2004-03-17 2005-10-06 Institut für Neue Materialien Gemeinnützige GmbH Kratzfestes optisches Mehrschichtsystem auf einem kristallinen Substrat
US20050221003A1 (en) * 2004-03-31 2005-10-06 Remington Michael P Jr Enhancement of SiO2 deposition using phosphorus (V) compounds
US7879396B2 (en) * 2004-06-04 2011-02-01 Applied Microstructures, Inc. High aspect ratio performance coatings for biological microfluidics
US7966969B2 (en) * 2004-09-22 2011-06-28 Asm International N.V. Deposition of TiN films in a batch reactor
US7629267B2 (en) * 2005-03-07 2009-12-08 Asm International N.V. High stress nitride film and method for formation thereof
US7718518B2 (en) * 2005-12-16 2010-05-18 Asm International N.V. Low temperature doped silicon layer formation
US7691757B2 (en) 2006-06-22 2010-04-06 Asm International N.V. Deposition of complex nitride films
US7629256B2 (en) * 2007-05-14 2009-12-08 Asm International N.V. In situ silicon and titanium nitride deposition
US7833906B2 (en) 2008-12-11 2010-11-16 Asm International N.V. Titanium silicon nitride deposition
CN101618952B (zh) * 2009-07-30 2011-08-17 杭州蓝星新材料技术有限公司 浮法在线生产透明导电膜玻璃的方法
CN102584023A (zh) * 2012-02-22 2012-07-18 株洲旗滨集团股份有限公司 一种阳光控制镀膜玻璃的制备方法及其玻璃
JPWO2014081030A1 (ja) * 2012-11-26 2017-01-05 旭硝子株式会社 薄膜形成方法
CN106007395A (zh) * 2016-05-11 2016-10-12 刘畅 一种用于厨卫电器的易清洁玻璃的制作方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2439689A (en) * 1948-04-13 Method of rendering glass
DE395978C (de) * 1921-05-28 1924-05-24 Siemens & Halske Akt Ges Verfahren zur Herstellung eines spiegelnden Siliziumbelages
US3873352A (en) * 1971-12-17 1975-03-25 Owens Illinois Inc Abrasion resistant one step glass coating with excellent labelability
US3984608A (en) * 1974-04-17 1976-10-05 Kerr Glass Manufacturing Corporation Glassware having improved resistance to abrasion
GB1507465A (en) * 1974-06-14 1978-04-12 Pilkington Brothers Ltd Coating glass

Also Published As

Publication number Publication date
BE864413A (fr) 1978-08-28
AU3348778A (en) 1979-08-30
RO75434A7 (ro) 1981-04-30
FI62522B (fi) 1982-09-30
DK93678A (da) 1978-09-02
NO780671L (no) 1978-09-04
IT1111431B (it) 1986-01-13
SU878191A3 (ru) 1981-10-30
FR2382511A1 (fr) 1978-09-29
PL112933B1 (en) 1980-11-29
DE2808780A1 (de) 1978-09-14
DD136045A6 (de) 1979-06-13
DK149924B (da) 1986-10-27
AR217280A1 (es) 1980-03-14
DK149924C (da) 1987-06-29
FI62522C (fi) 1983-01-10
FI780699A7 (fi) 1978-09-02
PL204996A1 (pl) 1978-12-18
NO143100C (no) 1980-12-17
NL7802090A (nl) 1978-09-05
ES467480A1 (es) 1979-08-01
TR20091A (tr) 1980-07-08
NL179042C (nl) 1986-07-01
BR7801209A (pt) 1978-12-12
DE2808780C2 (de) 1985-10-24
US4188444A (en) 1980-02-12
LU79149A1 (fr) 1978-09-28
FR2382511B1 (cs) 1981-01-02
ZA781053B (en) 1979-10-31
SE7802257L (sv) 1978-09-02
IT7867404A0 (it) 1978-02-28
JPS53130717A (en) 1978-11-15
JPS5728379B2 (cs) 1982-06-16
GB1573154A (en) 1980-08-13
MX147940A (es) 1983-02-08
AU516481B2 (en) 1981-06-04
CA1110119A (en) 1981-10-06
SE431866B (sv) 1984-03-05
NO143100B (no) 1980-09-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CS212268B2 (en) Method of coating the glass by the coat containing the silicon
EP0174727B1 (en) Coated products
JP2510008B2 (ja) ガラス表面に下層を形成する方法
JP2940903B2 (ja) 低放射率を与えるコーティングされた無色物品及びその製法
EP0275662B1 (en) Coatings on glass
US5165972A (en) Coated glass
JP3485918B2 (ja) ガラス基体の被覆法
AU593852B2 (en) Continuous vapor deposition method for producing a coated glass article
JPH06263482A (ja) 被覆装置、ガラスの被覆方法、ガラス被覆用の化合物及び組成物、並びに被覆されたガラス基体
CA2208770A1 (en) Coatings on glass
JP3059758B2 (ja) 被覆ガラス製品
EP0879802A2 (en) Coating method
Otani et al. High rate deposition of silicon nitride films by APCVD
KR810000743B1 (ko) 유리의 코팅 방법
KR920010068B1 (ko) 규소 및 산소 함유 투명 장벽 피막을 갖는 유리