Przedmiotem wynalazku jest sposób powlekania szkla powiekami zawierajacymi krzem.Znany jest z polskiego opisu patenftowego nr 108359 sposób powlekania szkla powlokami zawie¬ rajacymi krzem, obejmujacy przeprowadzanie szkla przez stacje powlekania, gdy temperatura szkla wynosi co najmniej 400°C, doprowadzanie do stacji powlekania gazu zawierajacego silan, uwalnianie gazu blisko goracej powierzchni szkla, "przy za¬ sadniczo stalym cisnieniu na szerokosci szkla w kierunku strefy goracej, w której jest ogrzewany gaz. Strefa ta otwiera sie ku i rozciaga sie na szerokosc powierzchni szkla, tak, ze silan ulega pirolizie osadzajac na powierzchni szkla powloke zawierajaca krzem, przy utrzymaniu w strefie gora¬ cej warunków nieutleniajacych. Tak wytworzone szklo ma zasadniczo jednolita powloke krzemowa i dobre wlasnosci kontroli przepuszczania promieni slonecznych oraz przyjemny wyglad.Obecnie stwierdzono, ze przez dodanie zwiazku oddajacego elektrony do gazu zawierajacego silan, który uwalnia sie blisko goracej powierzchni szkla poprawia sie odpornosc na alkalia powloki zawie¬ rajacej krzem na szikle.Z publikacji Diavid'a G. White i Eugene G.Rochów „Reactions of Sdlane wiith Unsaturated Hydrocarbons", Journal of the American Chemical Society, tom 76, str. 38i87-3i90i2 wiadomo, ze w czasie wytwarzania alkilosilanów przez reakcje silanu z etylenem lub acetylenem w ogrzewanej rurze, 10 15 20 25 30 przez okres ponad 3 godzin, na wewnetrznej po¬ wierzchni ogrzewanej rury, przez która cyrkuluja gazowe reagenty, odklada sie cienka warstwa krze¬ mu.Sposób wedlug wynalazku powlekania szkla po¬ wloka zawierajaca krzem obejmujacy przeprowa¬ dzanie szkla przez stacje powlekania w czasie, gdy temperatura szkla wynosi co najmniej 400°C i uwalnianie gazu zawierajacego silan blisko po¬ wierzchni szkla przy zasadniczo stalym cisnieniu na szerokosci powierzchni szkla i w warunkach nieutleniajacych, tak ze silan ulega pirolizie osa¬ dzajac powloke zawierajaca krzem na powierzchni szkla polega na tym, ze w celu nadania okreslonej z góry odpornosci na alkalia powloce zawierajacej krzem, stosuje sie gaz zawierajacy silan, który za¬ wiera pewna ilosc gazowego zwiazku oddajacego elektrony, nadajac powloce odpornosc na alkalia.Odpornosc na alkalia powloki krzemowej okresla sie w sposób, który zostanie opisany, przez stwier¬ dzenie czasu, przez który powloka krzemowa wy¬ trzymuje atak roztworu silnie alkalicznego bez wi¬ docznej szkody.Sposób wedlug wynalazku nadaje sie do stosowa¬ nia przy obróbce wielu przemyslowo wytwarzanych szkiel, w róznych formach, które moga byc prze¬ prowadzane przez stacje powlekania, na przyklad do szkla okiennego, szkla optycznego i wlókien szklanych. Szkla takie na ogól zawieraja tlenki co najmniej dwóch pierwiastków i sa to zazwyczaj 112 933s szkla olcwiowokrzeimianowe, szkla metal alkalicz- ny-krzemianowe, metal ziem alkalicznych^krzemia- nowe, a zwlaszcza szkla sodowo^wapienno-krze- mionkowe.W niektórych przypadkach, w zaleznosci od od¬ pornosci szkla na 'alkalia i od ilosci stosowanego zwiazku oddajacego elekitrony, odpornosc na alka¬ lia powleczonej powierzchni, wytworzonej sposobem wedlug wynalazku, moze byc wieksza niz podloza szklanego.Zwiazki oddajace elektrony, które stosuje sie do nadawania powloce krzemowej odpornosci na alka¬ lia, zawieraja w swojej strukturze elektronowej, bftdz -w~Ti«afcam!U^feadz luzna pare elektronów, kjóre moga by£ oddane elektronowej strukturze odpowiedniego akcej|tora czasteczek lub atomów.Zwiazkiem takimi^ oddajacym elektrony moze byc olefina.Korzystnie gaz zawierajacy siflan zawiera azot jako nosnik i do 6*Vo objetosciowych gazowego zwiazku oddajacego elektrony.Szczególnie odpowdednimi zwiazkami oddajacymi elektrony sa olefiny, zwlaszcza etylen.Gaz zawierajacy silan moze zawierac monosilan w azocie jako nosniku i do 6% objetosciowych ga¬ zowej olefiny.Stosuiiek zwiazku oddajacego elektrony do silanu w gazie moze wynosic 0,(lM2^0. Korzystny stosunek lezy w zakresie 0,2—0^5. W niektórych przypadkach moga okazac sie korzystne proporcje lezace poza podanym zakresem, W sposobie wedlug wynalazku gaz zawierajacy silan moze zawierac 1—7<7o obje¬ tosciowych monositaiu, 0^5^W(H objetosciowych-ety¬ lenu i ewentualnie pewna ilosc wodoru. Reszte sta¬ nowi azot •W sposobie wedlug wynalazku mozna równiez stosowac gaz zawierajacy silan, który zawiera 0,3% objetosciitfwyeh rnonosilanu, 0,2^i6P/o objetosciowych gazowego zwiazku oddajacego elektrony i ewentu¬ alnie pewna ilosc wodoru, reszte stanowi azot.Jesli w gazie zawierajacym silan obecny jest wo¬ dór, to jest on zawarty w ilosci do 10P/o objetoscio¬ wych, chociaz wieksze ilosci wodoru równiez moga byc stosowane.Zwiazkiem oddajacym elektrony moze byc zwia¬ zek acetylenowy, na ] przyklad acetylen. Dalej, zwiazkiem' oddajacym edektrony moze byc weglo¬ wodór aromatyczny, na przyklad benzen, toluen, lab ksylen. Zwiazkiem oddajacym elektrony moze takze byc amoniak.Szkla powleczone odbijajaca powloka krzemowa, charakteryzuja sie tym, ze powloka ma wspólczyn¬ nik zalamania swiatla w zakresie 2,5—3,5 i taka odpornosc na alkalia, ze nie wykazuje sladu uszko¬ dzenia nieuzbrojonym okiem po zanurzeniu win wodorotlenku sodu w temperaturze 90°C na okres co najmniej 60 sekund.Korzystnie powloka nie wykazuje uszkodzenia po co najmniej 5 minultach. Korzystnie, powloka odbi¬ ja .-3ÓP/» swiatla padagacego na powleczona strone powierzchni ze zródla swiatla CI.E. Illumiinant C.Wspólczynnik zalamania swiatla powloki moze wy¬ nosic 2y*M3,4. Szklem moze byc szklo sodcwo-wa- pie^o^2#mionkowe. 2933 4 Aby wynalazek mógl byc lepiej zrozumiany opi¬ sano kilka przykladów powlekania szkla, na przy¬ klad szkla sodowo-watpienno^rzemiicnkowego, po¬ wlokami zawierajacymi krzem. 5 Jako podloze szklane do powlekania powloka za¬ wierajaca krzem stosowano standardowe zabarwio¬ ne, handlowe szklo sodowo-wapienno-krzemionkowe z kontrolowanym przepuszczaniem promieni slo¬ necznych, zawierajace male ilosci tlenku selenu i io kobaltu jako skladników barwiacych, typu wytwa¬ rzanego w postaci wistegi na lazni stopionego meta¬ lu.Szklo .powleka sie w czasie," gdy ma cno tempera¬ ture co najmniej 400°C i jest przesuwane do przo- 15 du przez stacje powlekania w sposób opisany w po¬ wyzej wymienionym zgloszeniu patentowym.Gdy szklo powleka sie w miare jak jest wytwa¬ rzane na lazni stopionego metalu, powloke mozna nakladac wewnatrz, foliisko wylotowego konca kon- 20 strukcji zbiornika zawierajacego kapiel stopionego metalu, wzdluz którego szklo przesuwa sie wpos¬ taci wstegi. W okolicy wylotowego konca lazni gdzie mamliejsce powlekanie, temperatura szkla wy¬ nosi 600—650°C. 25 Ewentualnie mozna, przeprowadzac powlekaniie tasmy szkla w miare jak przesuwa sie przez odpre- zarke tunelowa. Dystrybutor gazu umieszczony jest w odprezarce tunelowej,gdziei temperatura szkla jest w zakresie 400^750° 30 rzone w procesie walcowania lub w procesie ciagnie¬ nia pionowego.. Wynalazeknadaje sie szczególnie do szkla plaskiego, wlaczajac szklo zbrojone w taflach lub wstegach, wyroby ze szkla formowanego oraz wlókna szklane. 35 Aby osiagnac akceptowalna szybkosc rozkladu si¬ lanu, szklo winno miec temperature co najmniej 4Q0°e„ w zakresie 400M8i50oC, korzystnie w zakresie 500—860°C. Dla unikniecia niepozadanych reakcji ubocznych, na przyklad reakcji w których tworzy 40 sie weglik krzemu, pozadane jest unikanie tempe¬ ratury szkla powyzej 850°C. W niektórych przy¬ padkach granica maksymalnej temperatury moze byc ustalona nizej ze wzgledu na miekkosc powie¬ rzchni szklanej. 45 Aby zilustrowac wynalazek przeprowadzono pró¬ by powlekania plaskiego, barwionego szkla sodowo- wapienno-krzemionkowego o regulowanej przepu¬ szczalnosci promieni slonecznych, z róznymi ilos¬ ciami etylenu w gazie zawierajacym silan, ,który skladal sie z 5% objetosciowych monosilanu CSiH4) w azocie jako nosniku gazowym.Otrzymane wyniki podano w tablicy 1 i 2.W tablicy 1 R max oznacza maksymalne odbicie swiatla wyrazone w % swiatla padajacego,, a y R. 55 max oznacza dlugosc fali, przy której odbicie swia¬ tla od powloki jest maksymalne. iWispólczynnik zalamania swiatla szkla jest znany tak, ze wspólczynnik zalamania swiatla na powloce moze byc oznaczony za pomoca standardowego 60 zródla swiatla. Grubosc powloki mozna oznaczyc z pomiarów grubosci optycznej w znany sposób.Wszystkie pomiary optyczne, które podano w opi¬ sie, przeprowadizano w znany sposób, z pcwleczona powierzchnia szkla skierowana ku zródlu swiatla. *s Jako zródlo swiatla stosowano CJ.E. IUuminant C.*A112 933 Tablica 1 Prób¬ ka 1 1 2 3 4 ¦ 5 6 7 8 9. 10 11 - 12 Przeplyw giazu liitry/minute C2H4 2 0 0,5 0,5 0,5 1 1 1 1,75 2 2 3,3 3,3 5% SiH4/N2 3 45 45 55 60 45 55 60 45 55 60 55 60 Gaz objetosciowy °/o C2H4 4 0 1,1 0,9 0,8 2,2 1,8 1,6 3,7 3,5 3,2 5,7 5,2 'SiH4 5 5 5 5 5 4,9 4,9 4,9 4,8 4,8 4,8 4,7 4,7 N2 6 95 93,9 94,1 94,2 92,9 93,3 93,5 91„5 . 91,7 92 89,7 90,1 Stosunek C2H4:SiH4 7 0 0,22:1 0,18:1 0,17:1 0,44:1 0,36:1 0,,33:1 0,78:1 0,73:1 0,67:1 1,20:1 1,10:1 R max 8 58,7 45,8 52,9 54,3 44,6 51,,0 52,4 37,2 40,1 42,3 35,3 35,7 ?R max (nm) 9 430 425 450 475 475 455 470 405 420 415 405 405 Wspól¬ czynnik zalama¬ nia swia¬ tla 10 3i,35 2,80 3,10 3,15 3,75 3,00 3,05 2,50 2,60 2,65 2,45 2,45 Grubosc powloki (nm) 11 32,1 37,9 36,3 37,7 43,2 37,9 38,5 40,5 40,4 39,2 41,3 41,3 Odpornosc ' na alkalia 12 ' 18 sekund 1 godzina 5 minut 1 godzina 1 godzina 2 godziny 20 minut 1 godzina 30 minut 2 godzin) 45 minut 3 godziny 3 godziny 3 godziny 30 mdnut 5 godzin 50 minut 7 godzin 20 minut W tablicy 1 pokazano, ze powloki krzemowe wy¬ tworzone na szkle w próbach 2—12 przy uzyciu gazu zawierajacego etylen, maja poprawiona odpor¬ nosc na alkalia w porównaniu ze szklem powleka¬ nym wedlug próby 1 — kpntrodnej, bez dodatku etylenu do gazu zawierajacego silan. Male zmiany proporcji etylenu obecnego w gazie wydaja sie po¬ wodowac tylko male zmiany we wlasnosciach op¬ tycznych nadawanych szklu przez powloke zawiera¬ jaca krzem.Wyniki wskazuja, ze przy malych stosunkach ety¬ lenu do mcnosilanu, jak w próbkach 2, 3 i 4, nie ma istotnej zmiany wlasnosci optycznych, ale w sposób nieoczekiwany zwieksza sie odpornosc po¬ wlok zawierajacych krzem na atak alkaliów. Do¬ strzegalne slady ataku pojawiaja sie dopiero po ok- 35 40 45 resie co najmniej 1 godziny pozostawajnia szkla w kontakcie z 1 n wodorotlenkiem sodu.Oznaczono wlasnosci optyczne powlok zawieraja¬ cych krzem wedlug próbek 1,, 2, 4, 5, 10 i 12. Przy pomiarach stosowano kompensacje na zabarwienie podloza szklanego przez porównywanie powleczo¬ nych i niepowleczonych próbek barwionego pod¬ loza szklanego. W rezultacie zabarwione podloze za¬ stapiono jasnym szklem o grubosci 6 mm* Wyniki, które podano w tablicy 2 dotycza wlas¬ nosci optycznych próbek 6 mm jasnego szkla sodo- woMwapienno-krzemionkowego wyprodukowanego na lazni stopionego metalu, o powloce równowaznej powlokom wytworzonym na barwionym szkle pod¬ loza, jak opisano w zwiazku z tablica 1.Powloka próbki nr. 1 2 4 5 10 12 Stosunek C2H4:Si(H4 0 0,22 0(,17 . 0,44 0,67 1,10 Przepusz¬ czanie swiatla °/o 311 43 32 41 47 57 Tablica 2 Odbicie swiatla % 54 41 52 43 36 29 Bezposrednie przepuszczanie ciepla slonecz¬ nego % 43 51 43 49 53 59 i Odbicie ciepla slo¬ necznego % 33 28 . 37 30 25 20 Absorpcja ciepla slo¬ necznego °/o 19 21 20 2,1 22 21 Calkowite prze¬ puszczanie cie¬ pla slonecznego % 49 58 49 56 60 66 u u i ii i ii -^-^^^«»112 933 '» • Gdy stosunek etylenu do silanu jesit miniejszy od 0,1 nie wystepuja wiekisze zmiany wlasnosci powle¬ czonego sziKDa w porównaniu z próbka 1(, wytworzo¬ na bez dodatku etylenu do gazu zawierajacego si¬ lan.W miara jak wzrasta ilosc etylenu nastepuje staly wzrost odpornosci na alkalia mierzonej jako czas przed pojawieniem sie wizualnego ataku, az do cza¬ su co najmniej 50 godzin 50 minut,, gdy stosunek etylenu do silanu wynosi lj2jl.Zwiekszona proporcja etylenu do silanu na ogól prowadzi do obnizenia wspólczynnika zalamania swiatla powloki krzemowej a w konsekwencji do zmiany wlasnosci optycznych powleczonego szkla.Przez regulacje przeplywu etylenu w stosunku do przeplywu silanu w azocie, mozliwe jest osiagniecie okreslonych z góry wlasnosci optycznych, zwlaszcza wysokiego stopnia odbijania swiatla, i uzyskanie korzystnej wysokiej odpornosci na alkalia zapew¬ nianej przez obecnosc etylenu w gazie zawieraja¬ cym silan.W próbach starzenia w warunkach atmosferycz¬ nych, powleczone szklo wystawiono na dzialanie wilgotnej atmosfery. Zawierajaca krzem powloka próbki 1-kontrolnej przetrzymala okolo 10 dni Nie stwierdzono natomiast widocznej zmiany w powlo¬ kach krzelmowych próbek 2^12 po 6 tygodniowym okresie próby, która prowadzono w paczkach 5 po¬ wleczonych szyb, kazda o powierzchni 300 ram?, oddzielonych rozdrobnionym materialem przeklad¬ kowym i umieszczonych w komorze prób starzenia w warunkach atmosferycznych, w której utrzymano temperature 60°C i wilgoltnosc wzgledna 95—ilOO°/o.Powloki zawierajace krzem, wytworzone sposobem wedlug wynalazku, badano i iporównywano z powlo¬ kami ka^empwymi wytworzonymi pod nieobecnosc zwiazku oddajacego elektrony. Najbardziej zauwa¬ zalna cecha byl widoczny wzrost zawartosci tlenu w powloce, to jest spadek stosunku krzem: tlen, wynikajacy z zastosowania zwiazku oddajacego ele¬ ktrony. Przypuszcza sie, ze co najmniej czesc obec¬ nego tlenu w powloce wytworzonej sposobem we¬ dlug wynalazku jest w innej postaci niz jakikol¬ wiek tlen obecny w powlokach wykonanych pod nieobecnosc zwiazku oddajacego elektrony. Tlen ten Tablica 3 Prób¬ ka 15 16 17 1 1S 19 i *# Calkowity przeplyw gazu (litry/minu¬ te) 140 130 180 ISO 180 Gaz objetosciowy % C2H4 0 0,6 1,1 1,1 2 SiH4 4,6 5,2 6,0 5,4 6,9 N2 92 91,6 91,5 91,4 91,1 H2 3,4 2,6 1,4 2,1 0 Stosunek C2H4:SiH4 0 0,11 0,18 0,20 0,29 yR max (nm) 400 455 460 430 Wspólczyn¬ nik zala¬ mania swiatla 3,36 3,13 3,29 3,2S Grubosc powloki (nm) 30,0 35,8 35,0 37,2 Odpornosc na alkalia 18 sekund 45 sekund 5 minut 5 minut 30. sekund 30 minut 1 W jest w sposób widoczny odpowiedzialny za zmiane pozycji pików i intensywnosci elektronów krzemu co obserwuje sie w USCA (Elektron Spectroskopy for Chemical Analysiis). Na przyklad, gdy stosujs 5 sie wysokie proporcje etylenu, glówny pik krzemu (2p) obserwuje sie wyraznie przy 102,0 eV w po¬ równaniu z pikami przy 103,3 eV i 99,4 eV przypi¬ sywanymi metalicznemu krzemowi i utlenionemu krzemowi, odpowiednio (patrz C. D, Wagner, Fara- 10 day Dilscussions of the Ghemical ,Society 60, 1975, 296).Odpornosc na alkalia powloki wydaje sie zwiazana z wysoka zawartoscia tlenu w powloce, która tak jak odpornosc na alkalia, wydaje sie wz- 15 rastac ze wzrostem stosunku zwiazku oddajacego elektrony do silanu w gazie.Analiza wykazala, ze moga byc obecne w powlo¬ ce jony takie jak sodu, wapnia i magnezu a ich rozmieszczenie na powierzchni szkla i w powloce 20 zalezy od stosunku etylenu do silanu, zas zmiany w rozmieszczeniu odzwierciedlaja zmiany w roz¬ mieszczeniu i stanie tlenu w powloce.W miare wzrostu zawartosci etylenu w gazie za¬ wierajacym silan, wspólczynnik zalamania swiatla 26 powloki progresywnie zmniejsza sie. Konsekwent¬ nie, nastepuje progresywny spadek zarówno odbija¬ nia swiatla jak i odbijania ciepla slonecznego. Nie towarzyszy temu jakis znaczacy wzrost absorpcji optycznej przez powloke krzemowa, tak, ze zumiej- 30 szenie odbijania dorównywalo wzrostowi przepusz¬ czania swiatla i ciepla slonecznego. Zmiana wspól¬ czynnika odbijania swiatla miala miejsce bez ja¬ kiejs istotniejszej zmiany grubosci powloki, co ilu¬ struje tablica 1. 35 W innej serii doswiadczen, w której jasne szklo soidowo^waptienno-krzeoiiiionkowe wytwarzano na lazni roztopionego metiaki i pokrywano powloka za¬ wierajaca krzem sposobem wedlug wynalazku, wy¬ kazano, ze jfwwloka ma nieoczekiwana odpornosc 40 nia atak alkaliów,. iSzklo powlekano blisko konca wylotowego' kon¬ strukcji zbiornika zawierajacego laznie roztopionego metalu, gdzie temperatura gazu wynosila 600-- 650o,C, Otrzymane wyniki zestawiono w tablicach 3 45 i 4.112 933 9 Niektóre wlasnosci próbek podano w tablicy 4.Tablica 4 10 Próbka 15 16 17 18 19 Odbijanie swiatla % 51,5 51,8 54,3 54,9 Przepuszczanie swiatla °/o 32,0 29,1 27,2 27,0 Pozycje niewypelnione w tablicach 3 i 4 oznacza¬ ja, ze wartosci te nie byly mierzone w trakcie prób.Nieoczekiwanie stwierdzono, ze w przypadku sto¬ sowania etylenu w celu poprawienia odpornosci na 10 15 silan, trójsilan, lub silany podstawione takie jak chlorosilany, które na ogól stosuje sie w obecnosci wodoru.Wyniki wykazuja, ze gdy jako zwiazek oddajacy elektrony stosuje sie etylen, korzystny stosunek etylenu do silanu w gazie zawiera sie w zakresie 0,1 —2,0. Bardziej szczególowo stosunek etylenu do si¬ lanu w gazie wynosi 0,2^0,5.Korzystna kompozycja gazowa, jak wykazano w próbach, jest gaz zawierajacy krzem, skladajacy sie z 1—7°/oj objetosciowych monosilanu (SiH4), 0,5P/o objetosciowych etylenu (C2H4) i ewentualnie z do¬ datkiem wodoru (H2), reszte stanowil azot.Wspólczynnik zalamania swiatla odbijajacej, od¬ pornej na alkalia powloki wynosi, jak oznaczono 2,5—3,5, a -zwlaszcza 3,li±0y3.Próbka 20 21 " 22 23 Stosunek C2H4:SiH4 0 0,33 0,36 0,45 Wspólczynnik zalamania swiatla 3,15 3,09 3,07 2,78 Tablica Grubosc powloki (nm) 32„5 33,2 34,6 36,4 5 Przepuszczanie swiatla °/o 31,9 3il,2 30,0 40,8 Odbicie swiatla % 48,1 47,0 47,9 38,7 Odpornosc na alkalia 18 sekund 7 minut 20 minut 50 minut alkalia powlok krzemowych wytworzonych na pla¬ skim szkle podtrzymywanym na kapieli stopionego metalu, gazowy etylen wplywa na zlagodzenie wi¬ docznej nieciaglosci w powloce, wynikajacej z osa¬ dzania sie no powierzchni szkla malych czastek zawierajacych metal.Podobne próby przeprowadzono z walcowana tafla szkla sodowo-wapienno-krzemionkowego w tempe¬ raturze 600°C a wyniki podane wi tablicy 5 wskazu¬ ja na podobna trwalosc powloki krzemowej podda¬ nej próbie odpornosci na alkalia przez kontaktowa¬ nie z 1 n NaOH w temperaturze 90°C. Szybkosci przeplywu etylenu i silanu w nosniku gazowym dostosowano do wytwarzania okreslonych z góry wlasnosci optycznych poprzez zmiane stosunku ety¬ len: silan, determinuje wspólczynnik zalamania swiatla powloki.Przy realizacji sposobu wedlug wynalazku mozna stosowac inne silany, które rozkladaja sie na gora¬ cym szkle, na przyklad wyzsze silany takie jak dwu- 35 40 45 50 Jako skladnik gazu zawierajacego krzem stoso¬ wano równiez inne zwiazki oddajace elektrony. In¬ nymi oilefinami, które moga byc stosowane sa buta¬ dien !(C4H6) i penten Zwiazkiem oddajacym elektrony moze byc weglo¬ wodór acetylenowy. Jako skladnik gazu stosowano acetylen. Dalej, jako skladnik oddajacy elektrony moze byc uzyty weglowodór aromatyczny, xvii przy- klad benzen (C6H6),, toluen (C6H5.CH3), lub ksylen (C6H4,(CH3)2).Innymi dodatkami do gaizu zawierajacego krzem,. które jak stwierdzono sa skuteczne jako donory ele¬ ktronów i nadaja powloce odpornosc na alkalia *a pochodne olefin, na przyklad dwufluoiroetylen (C2H2F2) oraz amoniak i(NH3).Kilka przykladów zastosowania tych zwiazków jako donorów elektronów podano w tablicy 6. Wszy¬ stkie wytworzone powloki mialy odpornosc na alka¬ lia porównywalna z wytworzona tak jak ojpisano powyzej, z etylenem jako donorem elektronów.Donor elektronów acetylen C2H2 butadien C4H6 amoniak NH3 amoniak NH3 dwufluoroetylen C2H2F2 benzen C6H6 Tempera¬ tura °C 605 580 680 620 605 612 Tal d 1 i c a 6 Gaz °/oi objetosciowy Donor 0,4 0,24 1,3 0,7 0,55 0,32 SiH4 0,33 0,32 0,3 0,63 0,63 0,64 N2 90,27 90,44 89,4 89,67 89,82 90,04 H2 9 9 9 9 9 9 Stosunek donor:SliH4 h2:l 0,75:1 4,5:1 1,1:1 0,85:1 0,5:1 |112 933 11 12 Najwygodniej stosuje sie zwiazek, fetory jest w stanie gazowym w temperaturze pokojowej, a za¬ tem korzystnie jest uzyc zwiazek olefinowy lub acetylenowy zawierajacy 2—i5 atomów wegla, z tym, ze mozna sitoiscwac zwiazki zawierajace wiecej niz 5 aitomów wegla ipod warunkiem, ze sa w stanie gazowym iponlzej temperatury rozkladu silanu.Wynalazek stosuje sie równiez dO' powlekania szkla dowolnego [metalu alkalicznego z krzemianem, lub metalu ziem alkalicznych z krzemianem.W dalszych próbach ogrzewano podloze ze szkla borowo-krzemianowego do temperatury 600°C a doprowadzana do powierzchni szkla mieszanina gazowa zawierala l|°/oi objetosciowy monosilanu, l,25°/o objetosciowych etylenu )lG°/oj objetosciowych wodoru i 87,75',% objejtosciowych azotu. Otrzymano odbijajaca powloke krzemowa, która po zanurzeniu na okres 3 godzin win wodorotlenku sodu nie wykazala zadnego sladu ataku.(Stwierdzono, równiez,, ze przy stosunku' etylenu Jo silanu wiekszym od 2,5 na przyklad 5 tworzy sie na szkle odporna na alkalia powloka krzemowa o bardzo dobrej odpornosci na scieranie. Powloki takie maja wysoka odbija,!nosc widzialnego swiatla, jaka maja próbki opisane powyzej a nawet moga byc przezroczyste dla swiatla widzialnego'.Z ais tirzezenia patentowe 1, iSp03Ób powlekania szkla powloka zawierajaca krzem, dla nadania powierzchni odpornosci na al¬ kalia, obejmujacy przeprowadzanie szkla przez stacje powlekania, gdy temperatura szkla wynosi co naj- minej 400°C, uwalnianie gazu zawierajacego silan blisko powierzchni szkla przy zasadniczo stalym cisnieniu na szerokosci powierzchni szkla i w wa- .ruirdsach nieutleniajacych tak, aby silan ulegajacy pirolizie osadzal na powierzchni szkla powloke za¬ wierajaca krzem, znamienny tym, ze stosuje sie gaz zawierajacy silan z dodatkiem zwiazku oddajacego ele(k$r©ny. 2. ISposób wedlug zastrz. !, znamienny tym, ze .stosuje sie gaz zawierajacy silan oraz azot jako 10 15 *j 25 30 35 40 nosnik i do 6?/o objetosciowych gazowego zwiazku oddajacego elektrony. 3. Sposób wedlug zastrz. 1, znamienny tym, ze jako gaz zawierajacy silan stosuje sie gaz, który zawiera monoisdlan w azocie jako nosniku i do 6°/o objetosciowych gazowej olefiny. 4. 'Sposób wedlug zastrz.. 3i, znamienny tym, ze stosuje sie gaz, który jako olefine zawiera etylen. 5. Sposób wedlug zastrz. 4„ znamienny tym, ze stosuje sie gaz, kitóry jako olefine zawiera etylen, przy stosunku etylenu do; silanu w zakresie 0,1^2,0. 6. Sposób wedlug zastrz. 5i, znamienny tym, ze stosuje sie gaz, w którym stosunek etylenu do si¬ lanu wynosi 0,21—0,5. 7. iSposób wedlug zastrz. 4, znamienny tym, ze jako gaz zawierajacy silan stosuje sie gaz, który zawiera 1—7°/o| objetosciowych monosilanu, 0,5—6% objetosciowych etylenu i ewentualnie pewna ilosc wodoru, reszte stanowi azot. 8. Sposób wedlug zastrz. 2, znamienny tym, ze jako gaz zawierajacy silan stosuje sie gaz, który zawiera 0,3—7'%; objetosciowych monosilanu, 0„2— 6% objejtosciowych gazowego zwiazku oddajacego elektrony i ewentualnie pewna ilosc wodoru, reszte stanowi azot. 9.. 'Sposób wedlug zastrz. 7 albo 8, znamienny tym, ze stosuje sie gaz zawierajacy silan, który za¬ wiera do 10% wodoru. 10. Sposób wedlug zastrz. 8, znamienny tym, ze jako zwiazek oddajacy elektrony stosuje sie weglo¬ wodór acetylenowy. lii. 'Sposób wedlug zastrz. 10, znamienny tym, ze jako weglowodór acetylenowy stosuje sie acetylen. 112,. iSposób wedlug zastrz. 8, znamienny tym, ze jako zwiazek oddajacy elektrony stosuje sie weglo¬ wodór aromatyczny, !.li3. Sposób wedlug zastrz. 1(2, znamienny tym, ze jako weglowodór aromayczny stosuje sie benzen. 1(4. 'Sposób wedlug zastrz. 8, znamienny tym, ze jako zwiazek oddajacy elektrony stosuje sie amo¬ niak.LZGraf. Z-d Nr B — H39/H2 i00+i20 szt. A-4.Cena 45 zl PL PL