CN208528735U - 一种晶棒调整机构 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及晶体加工技术领域，具体地说是一种晶棒调整机构，包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座和第二移动机构，从动辊座通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，且从动辊安装于所述从动辊座上，机构工作时晶棒通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件。本实用新型能够精确调整晶棒旋转角度，有效保证后续晶体切片制品质量。

Description

一种晶棒调整机构
技术领域
本实用新型涉及晶体加工技术领域，具体地说是一种晶棒调整机构。
背景技术
人工生长出来的单晶硅晶棒在加工出各种规格的晶片前，需要先将毛胚晶棒进行定向，找出需要的方向后，利用磨削设备将晶棒柱面加工出参考边或刻痕，然后按测定角度值将晶棒粘接在料板上，并且进行晶棒粘接时，晶棒柱面参考边或刻痕需指向指定角度，而在上述过程中，晶棒调整尤为重要，如果晶棒位置调整不准确，就无法满足方向精度要求，会严重影响后续单晶硅切片精度，导致晶体切片制品的不合格率较高。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种晶棒调整机构，能够精确调整晶棒旋转角度，有效保证后续晶体切片制品质量。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：
一种晶棒调整机构，包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座和第二移动机构，从动辊座通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，且从动辊安装于所述从动辊座上，机构工作时晶棒通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件。
所述第一移动机构和第二移动机构结构相同，均包括移动驱动装置、丝杠和丝母，丝杠通过所述移动驱动装置驱动旋转，丝母安装于丝杠上，驱动辊座与第一移动机构的丝母固连，从动辊座与第二移动机构的丝母固连。
所述旋转机构包括旋转驱动装置和传动组件，所述驱动辊通过所述旋转驱动装置驱动旋转，且所述旋转驱动装置通过传动组件传递转矩。
所述旋转驱动装置为电机，所述传动组件为皮带轮传动组件，其中主动带轮安装于所述电机上，从动带轮安装于所述驱动辊的轴端，所述主动带轮和从动带轮通过皮带相连。
所述编码器组件包括编码器、吸盘、支撑臂和移动座，支撑臂一端与所述移动座转动连接，支撑臂另一端设有编码器和吸盘，且所述吸盘可转动地设置于支撑臂端部并与所述编码器转轴同轴固连，机构工作时，吸盘吸附于晶棒端面中心处。
所述支撑臂与移动座相连的一端设有限位杆，支撑臂水平时，所述限位杆下端与所述移动座相抵。
所述驱动辊组件和从动辊组件设置于一个架体内，在所述架体上部内一侧设有安装架，所述编码器组件设有移动座，且所述移动座与所述安装架滑动连接。
所述驱动辊和从动辊高度相同。
本实用新型的优点与积极效果为：
1、本实用新型能够精确调整晶棒旋转角度，满足晶棒加工生产要求，有效保证晶体切片制品质量。
2、本实用新型整体结构简单紧凑，不会占用过多的安装空间。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图，
图2为图1中的驱动辊组件和从动辊组件示意图，
图3为图2中的驱动辊组件俯视图，
图4为图1中的编码器组件示意图，
图5为图4中的编码器组件俯视图。
其中，1为晶棒，2为驱动辊座，3为移动驱动装置，4为丝杠，5为丝母，6为支撑座，7为从动辊座，8为机架，9为编码器组件，10为旋转驱动装置，11为传动组件，12为编码器，13为支撑臂，14为支板，15为移动座，16为导轨，17为安装架，18为吸盘，19为轴承，20为限位杆。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作进一步详述。
如图1～5所示，本实用新型包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座2、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座2通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座2上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座7和第二移动机构，从动辊座7通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，从动辊安装于所述从动辊座7上，机构工作时晶棒1通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转。
如图1～2所示，所述第一移动机构和第二移动机构结构相同，均包括移动驱动装置3、丝杠4和丝母5，丝杠4通过所述移动驱动装置3驱动旋转，丝母5安装于丝杠4上，且所述驱动辊座2与第一移动机构上的丝母5固连，所述从动辊座7与第二移动机构上的丝母5固连。本实施例中，所述移动驱动装置3为电机。
如图3所示，所述旋转机构包括旋转驱动装置10和传动组件11，旋转驱动装置10安装于驱动辊座2一侧的侧板上，并通过所述传动组件11与所述驱动辊的轴端相连。本实施例中，所述旋转驱动装置10为电机，所述传动组件11为皮带轮传动组件，其中主动带轮安装于所述电机上，从动带轮安装于驱动辊的轴端，所述主动带轮和从动带轮通过皮带相连。
如图1～2所示，所述驱动辊组件和从动辊组件分别通过一个支撑座6支撑，且所述驱动辊和从动辊高度需保持相同。
如图1和图4～5所示，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件9，所述编码器组件9包括编码器12、吸盘18、支撑臂13和移动座15，支撑臂13一端与所述移动座15转动连接，支撑臂13另一端设有编码器12和吸盘18，且所述吸盘18可转动地设置于支撑臂13端部并与所述编码器12转轴同轴固连。所述编码器12为本领域公知技术。
如图1和图4～5所示，所述驱动辊组件和从动辊组件设置于一个架体内，所述驱动辊组件的支撑座6以及从动辊组件的支撑座6分别与所述架体内两侧固连，在所述架体上部内一侧设有安装架17，所述编码器组件9的移动座15与所述安装架17滑动连接，如图4～5所示，在所述安装架17上设有导轨16，在所述移动座15下侧设有与所述导轨16配合的滑块，另外在所述移动座15上侧设有一个支板14，所述支撑臂13端部通过轴承19支承转动安装于所述支板14上。所述支撑臂13可手动实现前后调整，也可以通过一个驱动机构驱动前后移动调整，比如采用电机和丝杠丝母机构，丝杠通过电机驱动旋转带动丝母移动，丝母与所述移动座15固连。
如图4所示，所述支撑臂13与移动座15相连的一端设有限位杆20，所述限位杆20用于保证支撑臂13放下时处于水平状态，当支撑臂13水平时，所述限位杆20下端与所述移动座15相抵。
本实用新型的工作原理为：
如图1所示，本实用新型工作时，首先晶棒1通过上料车或人工上料至设定位置，然后驱动辊和从动辊左右相对移动夹持支撑住晶棒1，编码器组件9中的支撑臂13一开始抬起处于竖直状态，不影响晶棒1上料，当晶棒1被驱动辊和从动辊支撑固定后，手动旋转支撑臂13至水平位置，然后前后移动支撑臂13，使支撑臂13自由端的吸盘18吸附晶棒1后部端面中心，由于所述吸盘18转动设置于支撑臂13端部并与编码器12的转轴同轴固连，此时如果晶棒1转动即可通过所述编码器12检测旋转角度，吸盘18与晶棒1吸附后，设备上的检测系统开始检测并计算晶棒1角度信息，此为本领域公知技术，当晶棒1角度信息计算完毕后，设备系统发出信号使驱动辊组件中的旋转机构启动驱动所述驱动辊旋转，所述驱动辊即带动晶棒1旋转，此时通过所述编码器12检测晶棒1旋转角度，当旋转至上述检测系统测量计算得到的晶棒1角度信息时，所述编码器12发出信号使旋转机构停止运行。

Claims (8)

1.一种晶棒调整机构，其特征在于：包括驱动辊组件和从动辊组件，所述驱动辊组件包括驱动辊、驱动辊座(2)、第一移动机构和旋转机构，所述驱动辊座(2)通过所述第一移动机构驱动沿左右方向水平移动，驱动辊和旋转机构设置于所述驱动辊座(2)上，且所述驱动辊通过所述旋转机构驱动旋转，从动辊组件包括从动辊、从动辊座(7)和第二移动机构，从动辊座(7)通过所述第二移动机构驱动沿左右方向水平移动，且从动辊安装于所述从动辊座(7)上，机构工作时晶棒(1)通过所述驱动辊和从动辊夹持支撑，并通过所述驱动辊驱动旋转，在所述驱动辊组件和从动辊组件上侧设有沿前后方向移动的编码器组件(9)。
2.根据权利要求1所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述第一移动机构和第二移动机构结构相同，均包括移动驱动装置(3)、丝杠(4)和丝母(5)，丝杠(4)通过所述移动驱动装置(3)驱动旋转，丝母(5)安装于丝杠(4)上，驱动辊座(2)与第一移动机构的丝母(5)固连，从动辊座(7)与第二移动机构的丝母(5)固连。
3.根据权利要求1所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述旋转机构包括旋转驱动装置(10)和传动组件(11)，所述驱动辊通过所述旋转驱动装置(10)驱动旋转，且所述旋转驱动装置(10)通过传动组件(11)传递转矩。
4.根据权利要求3所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述旋转驱动装置(10)为电机，所述传动组件(11)为皮带轮传动组件，其中主动带轮安装于所述电机上，从动带轮安装于所述驱动辊的轴端，所述主动带轮和从动带轮通过皮带相连。
5.根据权利要求1所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述编码器组件(9)包括编码器(12)、吸盘(18)、支撑臂(13)和移动座(15)，支撑臂(13)一端与所述移动座(15)转动连接，支撑臂(13)另一端设有编码器(12)和吸盘(18)，且所述吸盘(18)可转动地设置于支撑臂(13)端部并与所述编码器(12)转轴同轴固连，机构工作时，吸盘(18)吸附于晶棒(1)端面中心处。
6.根据权利要求5所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述支撑臂(13)与移动座(15)相连的一端设有限位杆(20)，支撑臂(13)水平时，所述限位杆(20)下端与所述移动座(15)相抵。
7.根据权利要求1或5所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述驱动辊组件和从动辊组件设置于一个架体内，在所述架体上部内一侧设有安装架(17)，所述编码器组件(9)设有移动座(15)，且所述移动座(15)与所述安装架(17)滑动连接。
8.根据权利要求1所述的晶棒调整机构，其特征在于：所述驱动辊和从动辊高度相同。
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