CN203595676U - 一种晶棒晶面确定装置 - Google Patents
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims abstract description 193
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 2
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
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Abstract
本实用新型涉及一种晶棒晶面确定装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接；所述X射线定位平台上设置有晶棒定位装置；所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接；所述倾斜载台包含有载台底座，以及设置在载台底座上，且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台；所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面；采用上述技术方案的晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现各个规格晶棒的晶面角度的检测，从而确定晶棒是否符合生产需求，避免晶棒本身物理性质不佳导致加工产品的质量下降。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种检测装置，尤其是一种晶棒晶面确定装置。
背景技术
晶棒作为晶片加工产品的原材料，其本身物理性质对于晶片加工产品的质量起决定性作用。晶棒的物理性质，例如硬度、发光强度等均由其内部的晶面决定；晶棒内部含有多个晶面，例如A面、B面、R面等等，其中部分晶面，例如R面，与水平面存在一定夹角。现有技术中的晶面检测装置多为水平检测仪器，其难以对倾斜晶面实现精确测量，从而使得晶棒的晶面难以确定，使得其加工产品质量存在一定的不稳定性。
实用新型内容
本发明要解决的技术问题是提供一种晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现晶棒内晶面的测量，同时可对倾斜晶面实现精确检测。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶棒晶面确定装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接。所述X射线定位平台上设置有用于放置晶体的倾斜载台，与用于对晶棒进行定位的晶棒定位装置；所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接；所述倾斜载台包含有载台底座，以及设置在载台底座上，且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台；所述晶棒支撑平台底部与晶棒定位装置间距离小于晶棒支撑平台顶部与晶棒定位装置间的距离；所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面。
作为本实用新型的一种改进，所述X射线定位平台上设置有旋转平台，所述旋转平台由设置在X射线定位平台内的电机控制；所述旋转平台与倾斜载台间的相对位置固定，其可由电机控制旋转平台带动倾斜载台转动，精确便捷的实现晶棒的旋转，以便通过X射线确定晶棒的晶面。
作为本实用新型的一种改进，所述旋转平台与倾斜载台之间设置有晶棒载台；所述载台底座由晶棒载台表面向上延伸，且与晶棒载台相互固定；所述晶棒支撑平台与载台底座之间采用可转动连接，其可避免旋转平台直接与倾斜载台接触，以导致旋转过程中的机械振动影响晶棒位置。
作为本实用新型的另一种改进，所述载台底座由两块相互平行的直板构成；所述晶棒支撑平台由宽度与载台底座中两平行直板之间的距离相等的支撑块构成；所述支撑块设置在载台底座的两块直板之间，其通过转轴与直板连接；所述支撑块中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面结构。采用上述设计，晶棒支撑平台与水平面的夹角可根据晶棒的规格不同进行调节，以适用于不同规格晶棒晶面的确定。
作为本实用新型的一种改进，所述晶棒定位装置包括由晶棒载台表面向上延伸的挡块，所述挡块的高度低于X射线发射器以及接收器的高度。
作为本实用新型的另一种改进，所述挡块底部设置有与挡块之间采用固定连接的滑板，所述晶棒载台在滑板的对应位置设置有长度与宽度均大于滑板的滑槽，滑板可沿滑槽长度方向进行位移；所述滑槽一端与晶棒支撑平台底部所在竖直平面存在微小间隙，另一端与晶棒载台边部之间存在微小间隙。采用上述设计，其可根据晶棒规格调整晶棒定位装置与晶棒之间距离，以实现最佳定位效果。
作为本实用新型的另一种改进，所述滑槽两侧内边，以及滑板和滑槽相交的侧边，均设置有彼此间能够紧密贴合的锯齿；所述锯齿的齿长范围为0.5至1厘米，其在不影响滑块在滑槽内运动的前提下，有效确保其接触稳定。
上述晶棒晶面确定装置，其可将晶棒放置在晶棒支撑平台中的弧形面上，并根据检测要求调整晶棒支撑平台与水平面夹角，同时通过调整晶棒定位装置，以实现晶棒在需求角度下的位置的固定。设备开启后，通过X射线发生器发射X射线射入晶棒内部，晶棒在旋转平台驱动下自行旋转，当晶棒与X射线的夹角达到规定值时，X射线接收器方能接收到反射而来的射线，并通过显示屏显示当前角度，即实现晶面角度的测量。
采用上述技术方案的晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现各个规格晶棒的晶面角度的检测，从而确定晶棒是否符合生产需求，避免晶棒本身物理性质不佳导致加工产品的质量下降；同时，其避免了水平仪器无法对晶棒中部分与水平面存在夹角的晶面实现精确测量的现象，对于不同晶棒的不同晶面，均可通过调整装置角度实现精确测量。
附图说明
图1为本实用新型示意图；
图2为本实用新型中晶棒定位装置连接示意图；
附图标记说明：
1—X射线定位平台底座、2—X射线发射器、3—X射线接收器、4—显示屏、5—晶棒定位装置、6—载台底座、7—晶棒支撑平台、8—旋转平台、9—晶棒载台、10—滑板、11—滑槽、12—锯齿。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式，进一步阐明本实用新型，应理解下述具体实施方式仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。
如图1所示的一种晶棒晶面确定装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座1，以及设置在底座1上的X射线发射器2、X射线接收器3与显示屏4；所述显示屏4与X射线接收器3之间采用电性连接。所述X射线定位平台上设置有用于放置晶体的倾斜载台，与用于对晶棒进行定位的晶棒定位装置5；所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接；所述倾斜载台包含有载台底座6，以及设置在载台底座6上，且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台7；所述晶棒支撑平台7底部与晶棒定位装置5间距离小于晶棒支撑平台7顶部与晶棒定位装置5间的距离；所述晶棒定位装置5正对晶棒支撑平台7中用于放置晶棒的一面。
作为本实用新型的一种改进，所述X射线定位平台上设置有旋转平台8，所述旋转平台8由设置在X射线定位平台内的电机控制；所述旋转平台8与倾斜载台间的相对位置固定，其可由电机控制旋转平台带动倾斜载台转动，精确便捷的实现晶棒的旋转，以便通过X射线确定晶棒的晶面。
作为本实用新型的一种改进，所述旋转平台8与倾斜载台之间设置有晶棒载台9；所述载台底座6由晶棒载台9表面向上延伸，且与晶棒载台9相互固定；所述晶棒支撑平台7与载台底座6之间采用可转动连接，其可避免旋转平台直接与倾斜载台接触，以导致旋转过程中的机械振动影响晶棒位置。
作为本实用新型的另一种改进，所述载台底座6由两块相互平行的直板构成；所述晶棒支撑平台7由宽度与载台底座6中两平行直板之间的距离相等的支撑块构成；所述支撑块设置在载台底座6的两块直板之间，其通过转轴与直板连接；所述支撑块中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面结构。采用上述设计，晶棒支撑平台与水平面的夹角可根据晶棒的规格不同进行调节，以适用于不同规格晶棒晶面的确定。
作为本实用新型的一种改进，所述晶棒定位装置5包括由晶棒载台9表面向上延伸的挡块，所述挡块的高度低于X射线发射器2以及接收器3的高度。
作为本实用新型的另一种改进，其如图1与图2所示，所述挡块底部设置有与挡块之间采用固定连接的滑板10，所述晶棒载台9在滑板10的对应位置设置有长度与宽度均大于滑板10的滑槽11，滑板10可沿滑槽11长度方向进行位移；所述滑槽11一端与晶棒支撑平台7底部所在竖直平面存在微小间隙，另一端与晶棒载台9边部之间存在微小间隙。采用上述设计，其可根据晶棒规格调整晶棒定位装置与晶棒之间距离，以实现最佳定位效果。
作为本实用新型的另一种改进，所述滑槽11两侧内边，以及滑板10和滑槽11相交的侧边，均设置有彼此间能够紧密贴合的锯齿12；所述锯齿的齿长范围为0.5至1厘米，其在不影响滑块在滑槽内运动的前提下，有效确保其接触稳定。
上述晶棒晶面确定装置，其可将晶棒放置在晶棒支撑平台中的弧形面上，并根据检测要求调整晶棒支撑平台与水平面夹角，同时通过调整晶棒定位装置，以实现晶棒在需求角度下的位置的固定。设备开启后，通过X射线发生器发射X射线射入晶棒内部，晶棒在旋转平台驱动下自行旋转，当晶棒与X射线的夹角达到规定值时，X射线接收器方能接收到反射而来的射线，并通过显示屏显示当前角度，即实现晶面角度的测量。
采用上述技术方案的晶棒晶面确定装置，其可高效便捷的实现各个规格晶棒的晶面角度的检测，从而确定晶棒是否符合生产需求，避免晶棒本身物理性质不佳导致加工产品的质量下降；同时，其避免了水平仪器无法对晶棒中部分与水平面存在夹角的晶面实现精确测量的现象，对于不同晶棒的不同晶面，均可通过调整装置角度实现精确测量。
本实用新型方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段，还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。
Claims (7)
1.一种晶棒晶面确定装置，其包含有X射线定位平台，所述X射线定位平台中包括平台底座，以及设置在底座上的X射线发射器、X射线接收器与显示屏；所述显示屏与X射线接收器之间采用电性连接，其特征在于，所述X射线定位平台上设置有用于放置晶体的倾斜载台，与用于对晶棒进行定位的晶棒定位装置；所述倾斜载台与X射线定位平台之间采用可发生相对转动的可转动连接；所述倾斜载台包含有载台底座，以及设置在载台底座上，且与水平面成一定角度的晶棒支撑平台；所述晶棒支撑平台底部与晶棒定位装置间距离小于晶棒支撑平台顶部与晶棒定位装置间的距离；所述晶棒定位装置正对晶棒支撑平台中用于放置晶棒的一面。
2.按照权利要求1所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述X射线定位平台上设置有旋转平台，所述旋转平台由设置在X射线定位平台内的电机控制；所述旋转平台与倾斜载台间的相对位置固定。
3.按照权利要求1或2所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述旋转平台与倾斜载台之间设置有晶棒载台；所述载台底座由晶棒载台表面向上延伸，且与晶棒载台相互固定；所述晶棒支撑平台与载台底座之间采用可转动连接。
4.按照权利要求3所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述载台底座由两块相互平行的直板构成；所述晶棒支撑平台由宽度与载台底座中两平行直板之间的距离相等的支撑块构成；所述支撑块设置在载台底座的两块直板之间，其通过转轴与直板连接；所述支撑块中具有用于放置晶棒的晶棒放置面，晶棒放置面采用弧形面结构。
5.按照权利要求1或2所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述晶棒定位装置包括由晶棒载台表面向上延伸的挡块，所述挡块的高度低于X射线发射器以及接收器的高度。
6.按照权利要求5所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述挡块底部设置有与挡块之间采用固定连接的滑板，所述晶棒载台在滑板的对应位置设置有长度与宽度均大于滑板的滑槽，滑板可沿滑槽长度方向进行位移；所述滑槽一端与晶棒支撑平台底部所在竖直平面存在微小间隙，另一端与晶棒载台边部之间存在微小间隙。
7.按照权利要求6所述的晶棒晶面确定装置，其特征在于，所述滑槽两侧内边，以及滑板和滑槽相交的侧边，均设置有彼此间能够紧密贴合的锯齿；所述锯齿的齿长范围为0.5至1厘米。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420064538.4U CN203595676U (zh) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | 一种晶棒晶面确定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420064538.4U CN203595676U (zh) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | 一种晶棒晶面确定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203595676U true CN203595676U (zh) | 2014-05-14 |
Family
ID=50676545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420064538.4U Expired - Fee Related CN203595676U (zh) | 2014-02-13 | 2014-02-13 | 一种晶棒晶面确定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203595676U (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108613641A (zh) * | 2018-07-23 | 2018-10-02 | 安徽创谱仪器科技有限公司 | 用于薄片晶体的二维定向误差精密测量方法 |
| CN108760780A (zh) * | 2018-02-23 | 2018-11-06 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 晶棒定向检测系统 |
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| CN110044298A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 苏州慧利仪器有限责任公司 | 晶棒承载装置以及立式激光干涉检测设备 |
-
2014
- 2014-02-13 CN CN201420064538.4U patent/CN203595676U/zh not_active Expired - Fee Related
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|---|---|---|---|---|
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| CN108838561A (zh) * | 2018-07-02 | 2018-11-20 | 南京光宝光电科技有限公司 | 一种用于晶体快速准确定向激光切割的装置及切割方法 |
| CN108613641A (zh) * | 2018-07-23 | 2018-10-02 | 安徽创谱仪器科技有限公司 | 用于薄片晶体的二维定向误差精密测量方法 |
| CN110044298A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-23 | 苏州慧利仪器有限责任公司 | 晶棒承载装置以及立式激光干涉检测设备 |
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| C53 | Correction of patent of invention or patent application | ||
| CB03 | Change of inventor or designer information |
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|
| COR | Change of bibliographic data |
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| TR01 | Transfer of patent right | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
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|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |