CN202727129U - 蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪 - Google Patents
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Abstract
蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪，包括机台、回转工作台、X射线管、闪烁探测器，机台上固定有防护罩，防护罩上装设有电器控制面板，回转工作台装设在机台上，其特征在于所述的回转工作台上设置有二维夹具体和被测粘料晶锭，所述的工作台上装设有悬臂座、悬臂座上固定有升降导轨，升降导轨上固定有定位板，定位板上安装主轴和二级减速机，悬臂座的顶部固定有升降电机，升降电机的动力输出轴与装设有滚珠丝杠固定连接，升降导轨固定在滚珠丝杠上。本实用新型具有结构简单、使用方便、加工精度高等优点，解决了原晶体只能定向一个角度的难题。
Description
技术领域
本实用新型涉及应用X射线衍射原理，用于单晶材料的X射线定向，特别是涉及蓝宝石大晶体测量多角度粘料定向仪。
背景技术
生长出来的蓝宝石大晶体在加工出2、4、6、8英寸晶棒时要有与加工机相配套的蓝宝石粘结定向仪，用来进行蓝宝石的粘结定向，并提供产品要求的加工晶体原子面角度。传统的X射线定向仪，其卧式其测角仪的样品测量台台面狭小，局限了各种规格晶体的应用范围，使之无法粘结定向体积较大的晶砣；立式无多角度测角仪，无法满足晶体多角度粘结定向，测量效率低，精度差，满足不了生产日益增长的需要。
实用新型内容：
本实用新型要解决的问题是提供一种能够粘结定向多角度、不同规格大晶体，进行四方位调节和360°旋转定向，自动化程度高，使用方便。测试精度高的蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪。
采用的技术方案是：
蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪，包括机台、回转工作台、X射线管、闪烁探测器，机台上固定有防护罩，防护罩上装设有电器控制面板，回转工作台装设在机台上，回转工作台上设置有二维夹具体和被测粘料晶锭，所述的工作台上装设有悬臂座、悬臂座上固定有升降导轨，升降导轨上固定有定位板，定位板上安装主轴和二级减速机，悬臂座的顶部固定有升降电机，升降电机的动力输出轴与装设有滚珠丝杠固定连接，升降导轨固定在滚珠丝杠上。定位板上安装角度测量部件、X射线管、闪烁探测器、角度编码器，角度编码器通过编码器支座与主轴轴端连接，X射线管通过支柱装设在定位板的前端，闪烁探测器通过转盘固定在主轴上，主轴的前端装设有调试规，定位板的上部固定有一顶针座，顶针座上装设有顶针。定位板的下部装设有可实现X射线管以及闪烁探测器的旋转的手轮。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
1、结构简单、使用方便、加工精度高等优点，解决了原晶体只能定向一个角度的难题。
2、编码器与主轴直联，消除了原卧式仪器蜗轮、蜗轩副传动角度间隙误差，定向测量精度高。
3、二维球面夹具体装置，采用四方位球面垫、螺杆调节，消除原压弹式调节锁紧时的弹性误差，使夹具体的调节方便锁紧可靠。
4、回转工作台是将放在夹具体的待测晶体用夹具体在X光下进行四方位反复定向测量，旋转回转工作台360°晶体的峰值都能达到测量精度，提高了晶体的测量定向精度。
5、本仪器有一套电气控制装置，毫安表为设定X光管电流大小，微安表是确定晶体峰值精度，角度仪编码器和回转工作台联接的编码器与数显表X轴、Y轴直接联线，旋转手轮确定精确的测量定向角度和回转工作台旋转360°每个位置的峰值精度。据用户的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪，包括机台1、回转工作台2、X射线管9、闪烁探测器17，机台1上固定有防护罩21，防护罩21上装设有电器控制面板20，回转工作台2装设在机台1上，回转工作台2上设置有二维夹具体3和被测粘料晶锭4，所述的工作台1上装设有悬臂座13、悬臂座上固定有升降导轨5，升降导轨5上固定有定位板，定位板上安装主轴23和二级减速机18，悬臂座13的顶部固定有升降电机11，升降电机的动力输出轴与装设有滚珠丝杠10固定连接，升降导轨5固定在滚珠丝杠上。定位板7上安装角度测量部件16、X射线管9、闪烁探测器17、角度编码器8，角度编码器8通过编码器支座6与主轴23轴端连接，X射线管通过支柱12装设在定位板的前端，闪烁探测器17通过转盘24固定在主轴23上，主轴23的前端装设有调试规22，定位板7的上部固定有一顶针座14，顶针座14上装设有顶针15。定位板的下部装设有可实现X射线管以及闪烁探测器的旋转的手轮19。
Claims (1)
1.蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪，包括机台、回转工作台、X射线管、闪烁探测器，机台上固定有防护罩，防护罩上装设有电器控制面板，回转工作台装设在机台上，其特征在于所述的回转工作台上设置有二维夹具体和被测粘料晶锭，所述的工作台上装设有悬臂座、悬臂座上固定有升降导轨，升降导轨上固定有定位板，定位板上安装主轴和二级减速机，悬臂座的顶部固定有升降电机，升降电机的动力输出轴与装设有滚珠丝杠固定连接，升降导轨固定在滚珠丝杠上；定位板上安装角度测量部件、X射线管、闪烁探测器、角度编码器，角度编码器通过编码器支座与主轴轴端连接，X射线管通过支柱装设在定位板的前端，闪烁探测器通过转盘固定在主轴上，主轴的前端装设有调试规，定位板的上部固定有一顶针座，顶针座上装设有顶针；定位板的下部装设有可实现X射线管以及闪烁探测器的旋转的手轮。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108214955A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-29 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 |
| CN108943451A (zh) * | 2018-02-23 | 2018-12-07 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统 |
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| CN108214955A (zh) * | 2018-01-03 | 2018-06-29 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 |
| CN108214955B (zh) * | 2018-01-03 | 2019-08-20 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 一种用于氮化镓晶体的定向切割装置与加工方法 |
| CN108943451A (zh) * | 2018-02-23 | 2018-12-07 | 丹东新东方晶体仪器有限公司 | 一种半导体级单晶硅晶棒定向测试系统 |
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