CN203798749U - 单晶卧式反打定向仪 - Google Patents
单晶卧式反打定向仪 Download PDFInfo
- Publication number
- CN203798749U CN203798749U CN201420191911.2U CN201420191911U CN203798749U CN 203798749 U CN203798749 U CN 203798749U CN 201420191911 U CN201420191911 U CN 201420191911U CN 203798749 U CN203798749 U CN 203798749U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- speed reducer
- hand wheel
- output shaft
- ray generator
- worktable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
单晶卧式反打定向仪，包括机架、工作台、减速机、X射线发生器、光闸、闪烁探测器、转接板、旋转手轮、调整手轮。所述的减速机外设主动带轮和调整手轮，调整手轮与主动带轮同轴，减速机的输入轴装有从动带轮，转动调整手轮，主动带轮带动从动带轮使减速机输入轴旋转，输入轴旋转使减速机输出轴减速旋转。转接板与减速机输出轴固定连接，X射线发生器及光闸固装在转接板上，位置可通过旋转手轮改变。闪烁探测器连接支板可绕减速机输出轴手动调整位置。工作台安装在机架上，工作台可通过旋转手轮360°旋转。工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及X射线测量仪，特别是涉及应用X射线衍射原理，采用卧式结构及反打方式，用于各种单晶晶锭材料的单晶卧式反打定向仪。
背景技术
生长出来的各种直径单晶晶锭在加工成晶棒、晶片前，需要先精确地测定单晶晶体角度、再确定棒端面及参考边，再加工成晶片，要有与加工机机械相配套的定向仪，用来进行单晶晶锭材料的粘结定向，并提供产品要求的加工晶体原子面角度。传统的X射线定向仪，其测角仪的样品测量台台面狭小、承载能力不足、测量精度低，局限了单晶晶锭材料的应用规格范围，使之无法粘结定向体积（直径）较大的晶砣，无法满足各种规格单晶晶锭材料多角度粘结定向，测量范围小，测试及定向精度差，满足不了各种直径规格单晶生产的需要。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，提供一种能够不同规格单晶晶锭材料多角度测量，减少因基准面累加而产生的测量误差，有效的提高被测晶体的测量精度，样品台可进行四方位调节和360°旋转定向，延长样品台的使用寿命，可放置大尺寸、大重量晶棒，方便测量的单晶卧式反打定向仪。
采用的技术方案是：
单晶卧式反打定向仪，包括机架、盖板、工作台、减速机、X射线发生器、光闸、闪烁探测器、转接板、旋转手轮、调整手轮。所述的减速机外设主动带轮和调整手轮，调整手轮与主动带轮同轴，减速机的输入轴装有从动带轮，主动带轮通过齿形带连接从动带轮，转动调整手轮，主动带轮带动从动带轮使减速机输入轴旋转，输入轴旋转使减速机输出轴减速旋转。所述转接板与减速机输出轴固定连接，X射线发生器及光闸固装在转接板上，位置可通过旋转手轮改变。所述闪烁探测器连接支板可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台安装在机架及盖板上，工作台可通过旋转手轮360°旋转。工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。
上述的工作台上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。
本实用新型具有结构简单、使用方便、测量精度高等优点。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点：
1、结构简单、使用方便、加工精度高等优点，解决了单晶晶锭只能定向一个角度的难题。
2、编码器与主轴（减速机输出轴）直联，消除了其它传动系统传动角度间隙误差，定向测量精度高。
3、可增加二维球面夹具体装置，采用四方位球面垫、螺杆调节，使夹具体的调节方便锁紧可靠。
4、工作台是将放在夹具体的待测单晶晶锭用夹具体在X光下进行四方位反复定向测量，工作台360°旋转，晶体的峰值都能达到测量精度，提高了晶体的测量定向精度。
5、本仪器电气控制装置为设定X光管电流大小，通过微安表确定晶体峰值精度，角度仪编码器和回转工作台联接的编码器与数显表X轴、Y轴直接联线，旋转手轮精确的测量定向角度和回转工作台旋转360°每个位置的峰值精度。据用户的需要即能定向正晶向，又能定向偏晶向。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
单晶卧式反打定向仪，包括机架1、盖板2、工作台15、减速机8、X射线发生器3、光闸4、闪烁探测器17、转接板5、旋转手轮6、调整手轮14。所述的减速机8外设主动带轮13和调整手轮14，调整手轮14与主动带轮13同轴，减速机8的输入轴10装有从动带轮11，主动带轮13通过齿形带12连接从动带轮11，转动调整手轮14，主动带轮13带动从动带轮11使减速机输入轴10旋转，输入轴旋转使减速机输出轴7减速旋转。所述转接板5与减速机输出轴7固定连接，X射线发生器3及光闸4固装在转接板5上，位置可通过旋转手轮6改变，X射线发生器3发生的X射线经光闸4照射到工作台上放置的单晶工件9上，经单晶工件9将按布拉格方程反射的X射线被闪烁探测器17接收。所述闪烁探测器17连接支板16可绕减速机输出轴手动调整位置。所述工作台15安装在机架1及盖板2上，工作台15可通过旋转手轮360°旋转，精确的测量定向角度和单晶工件9旋转360°的每个位置的峰值精度，据用户的需要即能定向单晶工件9的正晶向，又能定向偏晶向。工作台上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。工作台15的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电，构成单晶卧式反打定向仪。
Claims (2)
1.单晶卧式反打定向仪，包括机架（1）、盖板（2）、工作台（15）、减速机（8）、X射线发生器（3）、光闸（4）、闪烁探测器（17）、转接板（5）、旋转手轮（6）、调整手轮(14)，其特征在于所述的减速机（8）外设主动带轮（13）和调整手轮（14），调整手轮（14）与主动带轮（13）同轴，减速机（8）的输入轴（10）装有从动带轮（11），主动带轮（13）通过齿形带（12）连接从动带轮（11），转动调整手轮（14），主动带轮（13）带动从动带轮（11）使减速机输入轴（10）旋转，输入轴旋转使减速机输出轴（7）减速旋转，所述转接板（5）与减速机输出轴（7）固定连接，X射线发生器（3）及光闸（4）固装在转接板（5）上，位置可通过旋转手轮（6）改变，所述闪烁探测器（17）连接支板（16）可绕减速机输出轴手动调整位置，所述工作台（15）安装在机架（1）及盖板（2）上，工作台（15）可通过旋转手轮360°旋转，工作台的下方设置有变压器和稳压器向X射线发生器供电。
2.根据权利要求1所述的单晶卧式反打定向仪，其特征在于所述的工作台（15）上装设有数显装置，减速机的输出轴后端安装有编码器，由机架内部安装电器控制。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420191911.2U CN203798749U (zh) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 单晶卧式反打定向仪 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201420191911.2U CN203798749U (zh) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 单晶卧式反打定向仪 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN203798749U true CN203798749U (zh) | 2014-08-27 |
Family
ID=51380954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201420191911.2U Expired - Fee Related CN203798749U (zh) | 2014-04-21 | 2014-04-21 | 单晶卧式反打定向仪 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN203798749U (zh) |
-
2014
- 2014-04-21 CN CN201420191911.2U patent/CN203798749U/zh not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107829721A (zh) | 一种适用于钻具姿态测量模块的动态测试装置 | |
| CN208704692U (zh) | 一种晶圆抽检器 | |
| CN202994635U (zh) | 一种松散物料最大静摩擦系数测量装置 | |
| CN214892946U (zh) | 一种零间隙机械检测孔位的装置 | |
| CN101639350B (zh) | 一种康芒法大口径平面镜检验集成装置 | |
| CN109931908A (zh) | 一种建筑高度自动测量装置 | |
| CN103353392B (zh) | 一种自动化控制扭转弯曲试验机 | |
| CN207741732U (zh) | 一种测量涡旋盘曲面表面粗糙度的辅助装置 | |
| CN105067469A (zh) | 一种可调参数的直角与斜角切削试验装置及其切削方法 | |
| CN101071112A (zh) | 硅单晶锭x射线定向仪 | |
| CN203798749U (zh) | 单晶卧式反打定向仪 | |
| CN204649653U (zh) | 工程化单晶体取向的测量装置 | |
| CN202727129U (zh) | 蓝宝石大晶体多晶向粘料定向仪 | |
| CN109916622A (zh) | 一种rv减速机试验台及其连接工装 | |
| CN209263840U (zh) | 一种精密测量支架 | |
| CN109596650A (zh) | 一种蓝宝石晶棒定向仪 | |
| CN201059944Y (zh) | 手持式多项目轴承测量仪 | |
| CN204666539U (zh) | 一种晶体三维定向仪 | |
| CN104612605A (zh) | 一种煤矿用陀螺仪式钻杆定位方法 | |
| CN203965240U (zh) | 用于调整果实与茎秆分离角度的实验卡具 | |
| CN208059714U (zh) | 一种解决齿轮和齿条高度尺快速移动的装置 | |
| CN206248085U (zh) | 随钻测量角度器 | |
| CN204882416U (zh) | 一种转角晶体测试仪 | |
| CN204556537U (zh) | 一种水晶晶体检测仪 | |
| CN209802326U (zh) | 一种混凝土裂缝深度检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140827 Termination date: 20170421 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |