CN1958172A - 减压处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可在大型化的玻璃基板上形成均匀被膜的减压处理装置。从主排气管(8、8)分支出沿箱状主体(3)的上表面延伸的副排气管(9)……，在各副排气管(9)的前端安装有向箱状主体(3)内的减压处理空间开口的吸引部(10)……。这些吸引部(10)被配置在俯视观察时以上述轴线为基准左右对称的位置上。通过在这样的位置上配置吸引部(10)……，即使在短时间内将减压处理空间抽成真空，也不会产生温度不均等问题。

Description

减压处理装置

技术领域

本发明涉及使涂敷在例如玻璃基板上的涂敷液干燥并形成被膜的减压处理装置。

背景技术

作为在玻璃基板的表面形成抗蚀剂膜或滤色片膜等被膜的以往技术，已知有专利文献1所公开的技术。

在该专利文献1所公开的装置中，公开了如下技术，即，在将玻璃基板从上游侧运送到下游侧的生产线上设置涂敷工站，在比该涂敷工站更靠下游侧的生产线上串联地设置多个减压干燥工站，通过将上游侧的减压干燥装置未处理完的基板，利用下游侧的减压干燥装置接着处理，不需要进行复杂操作的机器人等，缩短了被膜形成生产线的生产节拍(tact time)。

此外，在专利文献2中公开有如下技术，即，作为减压干燥装置，上下配置第一减压单元和第二减压单元，通过与它们相邻设置的运送部(机器人)将基板送入各减压单元，或从各减压单元送出。

【专利文献1】JP特开2002-263548号公报

【专利文献2】JP特开2004-253701号公报

然而，根据专利文献1，虽然通过串联地配置多个减压干燥工站，缩短了生产节拍，但是增大了占地面积。而如专利文献2所述，通过上下设置多个可进行减压干燥的腔室，能够消除占地面积的增大。

但是，随着基板的大型化，产生了专利文献1，2所没想到的新问题。即，以往的减压干燥装置在顶板、底板或侧面的任意一方上设置有一个与真空装置连接的吸引部(开口)。当采用此结构的减压干燥装置来使涂敷在基板表面的涂敷液干燥时，由于吸引部位只有一个，所以在与真空装置相连的吸引部的正下方将产生因温度差而导致的花纹。该花纹也与膜厚相关，其结果是，形成了不均匀的被膜。

虽然也可考虑设置多个与真空装置相连的吸引部，但是，即使这样，由于从主排气管到各吸引部的距离不等，因此吸引会产生偏差，结果是，因此而产生花纹。

发明内容

鉴于上述课题，本发明提供一种即使基板尺寸大型化，也可均衡地进行吸引，且可得到不产生花纹、均匀膜厚的被膜的减压处理装置。

本发明的减压处理装置具有：将内部作为减压处理空间的箱状主体、与箱状主体的轴线平行且左右分开地配置的两根主排气管、从主排气管分支出来且沿箱状主体延伸的副排气管、以及设置在副排气管的前端的吸引部，将吸引部以轴线为基准配置在左右对称的位置上。

根据本发明的减压处理装置，由于将吸引部以轴线为基准配置在左右对称的位置上，因此可在短时间内形成减压处理空间，且可均衡地进行排气。因此，不会伴随吸引产生温度差，不会在基板表面产生点状的花纹。

此外，也可在减压处理装置的箱状主体的顶部设置空气连通用口，且可进一步在吸引部设置气体排放用口。

这样，通过设置空气连通用口和气体排放用口，可在解除减压时，同时打开各个口，通过同时打开这两个口，可大幅缩短生产节拍。

此外，关于本发明，也可将多个箱状主体重叠地配置于上下方向。此时，被处理基板的取出放入用窗部形成在箱状主体的侧面，且在上下的箱状主体之间设置用于配置减压用副排气管的空间。

根据本发明的减压处理装置，即使基板尺寸大型化，也可在短时间内均衡地排气，且形成无花纹的被膜。

由此，可高精度地且在短时间内进行减压处理，并且可确保均匀膜厚的被膜，并实现适合于基板尺寸大型化的减压处理装置。

附图说明

图1是安装了本发明的减压处理装置的被膜形成装置的整体侧视图。

图2是表示本发明的减压处理装置的一个实施方式的俯视图。

图3是图2所示的减压处理装置的局部放大截面图。

附图符号说明：

1减压处理装置；2底座；3箱状主体；4窗部；5闸门；6板；7销；8主排气管；9副排气管；10吸引部；11空气连通用口；12气体排放用口；13网；14遮蔽板；100涂敷装置；200机器人；101基台；102导轨；103工作台；104升降销；105门型移动机构；106狭缝喷嘴；L轴线；W基板

具体实施方式

以下，根据附图说明本发明的实施方式。

图1是安装了本发明的减压处理装置的被膜形成装置的整体侧视图，图2是表示本发明的减压处理装置的俯视图，图3是同一减压处理装置的局部放大截面图。

在图1中，1是本实施方式的减压处理装置，100是在玻璃基板等基板W的表面涂敷抗蚀剂等涂敷液的涂敷装置。通过机器人200将由涂敷装置100在表面上供应了涂敷液的基板W送入减压处理装置1中，并通过减压处理装置1，使基板W表面的涂敷液干燥形成涂膜，再次通过机器人200将形成有该涂膜的基板W从减压处理装置1中取出，并转移给未图示的其它装置。

在涂敷装置100中，在基台101上设置有一对平行的导轨102、102，在这些导轨102、102的中间位置、即基台101的上表面中央部，固定有放置基板用的工作台103。在工作台103上沿上下方向贯穿有升降销104，通过使该升降销上升，将放置在工作台103上的完成了涂敷处理的基板W托举至向机器人200的交接位置并进行交接。

此外，以工作台103的宽度方向中心线为基准，左右对称地将同一结构的门型移动机构105、105可独立移动地架设于导轨102，102间，通过升降装置在门型移动机构105上分别安装有狭缝喷嘴106。

关于减压处理装置1，在底座2上，沿上下方向重叠配置有将内部作为减压处理空间的箱状主体3。

沿着箱状主体3，设置有两根主排气管8、8。这些主排气管8、8设置为与箱状主体3的轴线L平行且离开箱状主体3一些距离。

从主排气管8、8分支出沿箱状主体3的上表面延伸的副排气管9……。在各副排气管9的前端安装有向箱状主体3内的减压处理空间开口的吸引部10……。

并且，在本实施方式中特别是，如图2所示，吸引部10……被设置在俯视观察时以轴线L为基准左右对称的位置上。通过在这样的位置上设置吸引部10……，即使对减压处理空间内抽真空，也可在短时间内形成减压处理空间。

此外，在本实施方式中，在箱状主体3的顶部设置有空气连通用口11，在吸引部10设置有气体排放用口12。

即，在完成减压处理空间内的处理(干燥)后，立刻打开闸门5，则有可能卷进空气，从而可能造成尘埃等附着在基板表面。因此，在本实施方式中，将空气连通用口11和气体排放用口12同时打开，在短时间内将减压处理空间内的压力恢复到大气压力。这样，通过将空气连通用口11和气体排放用口12同时打开，可缩短生产节拍。

此外，如图3所示，在偏平的箱状主体3的侧面形成有送入和送出基板W用的窗部4。该窗部4通过闸门5来进行开关。

另外，如图3所示，在箱状主体3的内部的减压处理空间内，配置有板6，在该板6上嵌入有支撑基板W的下表面的销7。板6可通过窗部4与销7一同从箱状主体3中取出。

通过采用此结构，万一玻璃基板W在箱状主体3内破损，则通过将板6一同取出，可省去从狭窄的箱状主体3内强行取出玻璃基板碎片的时间。

另外，在改变裁出张数时等，可方便地进行变更支撑销的布局的操作。此外，通过磁铁，可方便地变更支撑销的布局。

此外，如图3所示，在气体排放用口12上设置有网13，在吸引部10内设置有遮蔽板14。网13用于防止排放时在减压处理空间内产生气流，遮蔽板14用于防止排气时在减压处理空间内产生气流。

根据上述的本实施方式的减压处理装置1，由于可均衡且在短时间内形成减压处理空间，而且不产生伴随吸引的温度差，所以基板表面的被膜不会产生点状花纹。由于不产生花纹，因此还可得到均匀膜厚的被膜。

下面，介绍实际采用本实施方式的减压处理装置1进行基板处理时的动作。

首先，通过机器人200将在表面涂敷了抗蚀剂等涂敷液的玻璃基板W从涂敷装置100送入减压处理装置1。当将玻璃基板W送入到箱状主体3内的减压处理空间内后，通过闸门5关闭箱状主体3的窗部4，进行内部减压、并干燥涂敷在玻璃基板W的表面上的涂敷液而形成被膜。

进行这样的动作的同时，在涂敷装置100的工作台103上安置新的玻璃基板W。然后，通过待机中的狭缝喷嘴，同上所述，向新的玻璃基板W表面涂敷涂敷液。

此间，在配置为上下两层的箱状主体3的一层中，由于已完成了先送入的玻璃基板W的表面的涂敷液的干燥，所以通过机器人200从被膜处理装置1中取出。然后，通过机器人200将在表面涂敷了抗蚀剂等涂敷液的新的玻璃基板W从涂敷装置100送入减压处理装置1。反复进行该动作。

在上述实施方式中，在完成减压处理空间内的处理后，作为使该空间内恢复大气的方法(排气方法)，介绍了同时打开空气连通用口11和气体排放用口12，以防止产生空气卷入以及尘埃等附着在基板表面的方式。但是，也可考虑以下方式。

例如，只打开空气连通用口11的方式，或与上述实施方式一样考虑到尘埃等时，在打开气体排放用口12后，再打开空气连通用口11的方式。

但是，本发明不局限于上述实施方式，在不脱离本发明宗旨的范围内，可采取其它各种结构。

(产业可利用性)

本发明的被膜形成装置，例如可用作在彩色液晶用的玻璃基板上形成三原色的滤色片的装置。

Claims (3)

1.一种减压处理装置，具有：将内部作为减压处理空间的箱状主体、与上述箱状主体的轴线平行且左右分开地配置的两根主排气管、从上述主排气管分支出来且沿箱状主体延伸的副排气管、以及设置在上述副排气管的前端的吸引部，该减压处理装置的特征在于，

上述吸引部以上述轴线为基准配置在左右对称的位置上。

2.根据权利要求1所述的减压处理装置，其特征在于，在上述箱状主体的顶部设置有空气连通用口，在上述吸引部设置有气体排放用口。

3.根据权利要求1或2所述的减压处理装置，其特征在于，上述箱状主体在上下方向是多层重叠配置的，在各箱状主体的侧面，形成有取出放入被处理基板的窗部，上述窗部利用闸门来开关。

Images