CN1835258A - 有机电致发光器件制造方法及有机电致发光器件制造装置 - Google Patents

有机电致发光器件制造方法及有机电致发光器件制造装置 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种有机电致发光器件制造技术，其没有前处理工序中衬底被污染的问题，而且能够准确进行衬底和掩模的位置对合而形成精细的有机发光层。本发明是包括相对于衬底(10)进行前处理的前处理工序的有机电致发光器件制造方法，前述前处理工序包括在真空中加热及冷却前述衬底(10)的工序，在该冷却工序结束后，相对于该衬底(10)进行成膜用掩模(11)的位置对合，进而经由成膜用掩模(11)而在衬底(10)上形成空穴传输层，其后进行至少一种颜色的有机发光层的形成。前处理工序中的冷却，在烘焙室(23)中的加热处理之后、和前处理室(25)中的真空等离子体处理之后，在冷却室(24)中进行。

Description

有机电致发光器件制造方法及有机电致发光器件制造装置
技术领域
本发明涉及一种在真空中制造有机电致发光(EL)元件的技术，特别是涉及使作为成膜对象物的衬底和成膜用的掩模位置对合的技术。
背景技术
一般来说，在制造有机电致发光器件时，为了防止有机电致发光器件的发光亮度的降低，相对于带透明电极的衬底进行加热冷却处理及等离子体处理等前处理。
但是，在现有技术中是在大气中进行衬底的加热和冷却，所以有将衬底配置在真空中时衬底处于已被污染了的状态的问题。
而且，在现有技术中，由于在加热处理和等离子体处理时衬底会热膨胀，所以难以进行衬底与掩模的准确位置对合，特别是在形成精细的有机发光层时会有问题。
【专利文献1】日本特开2003-142261公报
发明内容
本发明是为了解决这样的现有技术的问题而作出的，其目的在于提供一种有机电致发光器件制造技术，其没有衬底在前处理工序中被污染的问题，而且能准确进行衬底与掩模的位置对合而形成精细的有机发光层。
为了达到上述目的而作出的本发明是一种有机电致发光器件制造方法，包括：前处理工序，包括在真空中加热衬底的加热工序和冷却该衬底的冷却工序；有机层形成工序，在前述冷却工序结束后，在真空中相对于前述衬底进行成膜用掩模的位置对合，进而经由前述成膜用掩模进行有机层的形成。
本发明，在前述发明中，前述有机层形成工序包括：在该衬底上形成空穴传输层的工序、和形成至少一种颜色的有机发光层的工序。
本发明，在前述发明中，多次进行前述冷却工序。
本发明是一种有机电致发光器件制造装置，对衬底进行处理时，对该衬底进行加热的衬底加热室、对前述衬底进行冷却的冷却室、相对于前述衬底进行成膜用掩模的位置对合的位置对合室，在真空气氛下相互进行衬底的交接，备有设置在前述位置对合室的下游而在真空中相对于前述衬底进行有机层的形成的有机层形成部。
本发明，在前述发明中，前述衬底加热室包括：进行前述衬底的加热处理的加热处理室、和相对于前述衬底利用自由基源进行前处理的前处理室。
本发明，在前述发明中，前述有机层形成部包括：在前述衬底上形成空穴传输层的成膜室、和在前述衬底上形成至少一种颜色的有机发光层的成膜室。
本发明，在前述发明中，前述位置对合室包括多个位置对合室，在前述多个位置对合室各自的下游，设置有进行不同颜色的有机发光层的形成的成膜室。
根据本发明，在进行前处理工序时是在真空中冷却衬底，所以不会产生衬底污染的问题，而且可以在短时间内进行冷却处理。
而且，根据本发明，在冷却工序结束后相对于该衬底进行成膜用掩模的位置对合，进而经由前述成膜用掩模进行有机层(例如空穴传输层以及至少一种颜色的有机发光层)的形成，所以可以阻止前处理工序中衬底的热膨胀，由此，可以准确进行衬底与成膜用掩模的位置对合而形成精细的有机发光层。
进而，在本发明中，如果在前处理工序时多次进行冷却工序，则可以将衬底的温度始终保持一定，所以可以更准确地进行衬底和成膜用掩模的位置对合。
另外，根据本发明的有机电致发光器件制造装置，可以提供一种能够在有机层形成前进行衬底和成膜用掩模的准确位置对合而高效地形成精细的有机发光层的有机电致发光器件制造装置。
根据本发明，可以在有机层形成之前进行衬底和成膜用掩模的准确位置对合而形成精细的有机发光层。
附图说明
图1是表示本发明的有机电致发光器件制造装置的第1实施方式的概略构成图。
图2(a)是表示该实施方式中的前处理部的处理流程的概略构成图(其一)，图2(b)是表示该实施方式中的前处理部的处理流程的概略构成图(其二)。
图3是表示本发明的有机电致发光器件制造装置的第2实施方式的概略构成图。
具体实施方式
下面，参照附图详细说明本发明的优选实施方式。
图1是表示本发明的有机电致发光器件制造装置的第1实施方式的主要部分概略构成图，图2(a)、图2(b)是表示该实施方式中的前处理部的处理流程的概略构成图。
如图1所示，本实施方式的有机电致发光器件制造装置1具有：相对于衬底10进行前处理的前处理部2、在衬底10上蒸镀形成有机发光层的有机发光层形成部(有机层形成部)3。
这些前处理部2和有机发光层形成部3的后述各室与未图示的真空排气系统连接，构成为在真空气氛下利用未图示的输送自动机进行衬底10的交接。
本实施方式的前处理部2，通过在衬底输送室20的周围配置衬底取入室21、烘焙室(衬底加热室、加热处理室)22、冷却室23、前处理室(衬底加热室)24而构成。
其中，在烘焙室22内，设置有未图示的组合式加热板(マルチホットプレ一ト)，借助该组合式加热板而对衬底10在短时间内稳定地加热。
另一方面，在冷却室23内，设置有未图示的组合式冷却板(マルチ冷却プレ一ト)，借助该组合式冷却板而对衬底10在短时间内稳定地冷却。
另外，前处理室24构成为，例如利用由自由基源(ラジカルソ一ス)产生的氧(O2)等离子体进行衬底10表面的修整。
另外，在衬底输送室20的下游，经由衬底交接室25而设置有第1微调室(位置对合室)26。
该第1微调室26构成为，利用未图示的校准机构而将衬底10相对于从掩模供给室27经由衬底交接室25供给来的成膜用掩模(以下称为掩模)11位置对合并组装。
本实施方式的有机发光层形成部3具有设置在上述第1微调室26的下游的第1有机蒸镀室30R。
第1有机蒸镀室30R构成为，输送从第1微调室26交接来的带掩模的衬底12，并将空穴传输层用的有机材料、和例如光的三原色中的红色发光用的第1有机材料连续地蒸镀到衬底10上。
在第1有机蒸镀室30R的下游，邻接地设置有第1输送室32和第2微调室32a。
该第2微调室32a具有下述功能：对应于接下来进行的有机材料的蒸镀的位置，使掩模11的位置相对于从第1输送室32交接来的带掩模的衬底12错动。
在第1输送室32的下游，设置有第2有机蒸镀室30G。
该第2有机蒸镀室30G构成为，输送从第1输送室32交接来的带掩模的衬底12，并且在衬底10上连续地蒸镀例如绿色发光用的第2有机材料。
在第2有机蒸镀室30G的下游，邻接地设置有第2输送室33和第3微调室33a。
该第3微调室33a具有下述功能：对应于接下来进行的有机材料的蒸镀的位置，使掩模11的位置相对于从第2输送室33交接来的带掩模的衬底10错动。
在第2输送室33的下游，设置有第3有机蒸镀室30B。
该第3有机蒸镀室30B构成为，输送从第2输送室33交接来的带掩模的衬底12，并且在衬底10上连续地蒸镀例如蓝色发光用的第3有机材料。
在第3有机蒸镀室30B的下游，设置有第3输送室34，进而，在该第3输送室34的下游，邻接地设置有掩模取下室35和掩模输出室36。
并且，在掩模取下室35的下游，设置有用于将衬底10输送到未图示的后处理工序部的衬底输送室37。
在具有这样的构成的本实施方式中，在衬底10上形成有机层时，首先，如图2(a)所示，将经由衬底取入室21输入到衬底输送室20内的衬底10输入到烘焙室22，在真空中进行加热，之后将该衬底10输送到冷却室23中而在真空中冷却。
然后，在前处理室24中相对于该衬底10进行真空等离子体处理，进而，如图2(b)所示，将通过该等离子体处理加热了的衬底10再次输入到冷却室23中而在真空中冷却。
进而，将该衬底10、和掩模供给室27内的掩模11分别移送到第1微调室26内，将衬底10和掩模11位置对合而进行组装。
然后，在第1有机层蒸镀室30R中，在衬底10上形成空穴传输层和第1有机材料层，之后如图1所示那样，依次地，在第2微调室32a、第3微调室33a内错动掩模11的位置而位置对合后将带掩模的衬底12分别移送到第2～第3有机层蒸镀室30G、30B中，进行各种颜色的有机材料的蒸镀。
如上所述，在本实施方式中，在前处理工序中是在真空中冷却衬底10，所以不会产生衬底10污染的问题，而且可以在短时间内进行冷却处理。
而且，是在冷却工序结束后相对于衬底10进行掩模11的位置对合，进而经由该掩模11进行空穴传输层和有机发光层的形成，所以可以阻止前处理工序中衬底10的热膨胀，由此，可以准确进行衬底10和掩模11的位置对合而形成精细的有机发光层。
进而，在本实施方式中，在加热工序和真空等离子体处理工序之后分别冷却衬底10，所以可以将衬底10的温度始终保持一定，由此，可以更加准确地进行衬底10和掩模11的位置对合。
于是，根据本实施方式的有机电致发光器件制造装置1，能够提供一种有机电致发光器件制造装置，其能在有机层形成前准确进行衬底10和掩模11的位置对合而高效地形成精细的有机发光层。
特别是，根据本实施方式，在第1～第3有机层形成之前可以进行衬底10和掩模11的准确位置对合，所以可以形成精细的全色有机发光层。
图3是表示本发明的有机电致发光器件制造装置的第2实施方式的概略构成图。
如图3所示，本实施方式的有机电致发光器件制造装置100构成为，第1～第4衬底输送室100、110、120、130分别经由交接室140、150、160连结，依次对衬底200进行规定的处理及输送。
其中，设置在第1～第3衬底输送室100、110、120的周围的后述各室构成为，与未图示的真空排气系统连接，在真空气氛下经由未图示的输送自动机进行衬底200的交接。
在第1衬底输送室100的周围配置有进行与上述实施方式同样的处理的衬底取入室102、第1及第2烘焙室103、104、冷却室105、和通过紫外线照射而进行清洁处理的UV清洁室106。
在第2衬底输送室110的周围配置有进行与上述实施方式同样的处理的冷却室111、前处理室112、空穴层蒸镀室113、第1及第2有机层蒸镀室114、115、和贮存掩模201的掩模贮存室116。
在第3衬底输送室120的周围配置有进行与上述实施方式同样的处理的第3有机层蒸镀室121、电极形成室122～124、贮存掩模201的掩模贮存室125。
在本实施方式的情况下，在空穴层蒸镀室113、第1～第3有机层蒸镀室114、115、121中，设置有用于使衬底200与掩模201位置对合的校准机构(未图示)，兼用作位置对合室。
在第4衬底输送室130的周围，配置有用于进行密封工序的各处理室，即、树脂涂敷室131、干燥剂粘贴室132、密封玻璃UV清洁室133、贴合室134、取出器件的器件取出室135。
在具有这样的构成的本实施方式中，在衬底200上形成有机层时，与上述实施方式同样地，首先将经由衬底取入室102输入到衬底输送室100内的衬底200输入到第1和第2烘焙室103。104中，在真空中进行加热后，将该衬底200输送到冷却室105中而在真空中冷却。
接着，将该衬底200输送到UV清洁室106中而进行UV清洁，将由于该UV清洁而被加热了的衬底200输入到冷却室105中而进行冷却。
然后，将该衬底200输送到前处理室111中而进行真空等离子体处理，进而将由该等离子体处理加热了的衬底200输入到冷却室112中而在真空中冷却。
进而，在空穴层蒸镀室113中，进行衬底200与掩模201的位置对合，在衬底200上形成空穴传输层。
其后，将该衬底200和掩模201依次移送到第1～第3有机层蒸镀室114、115、121中，分别错动掩模121的位置而进行位置对合，之后进行各色有机材料的蒸镀。
如上所述，在本实施方式中，在前处理工序时也是在真空中冷却衬底200，所以不会产生衬底200污染的问题，而且可以在短时间内进行冷却处理。
而且，是在冷却工序结束后相对于衬底200进行掩模201的位置对合，进而经由该掩模201进行空穴传输层和有机发光层的形成，所以可以阻止前处理工序中衬底200的膨胀，由此可以准确进行衬底200与掩模201的位置对合而形成精细的有机发光层。
进而，在本实施方式中，在加热工序和真空等离子体处理工序之后也分别冷却衬底200，所以可以将衬底200的温度始终保持一定，由此可以更加准确地进行衬底200和掩模201的位置对合。
于是，根据本实施方式的有机电致发光器件制造装置100，可以提供一种有机电致发光器件制造装置，其在有机层形成前进行衬底200和掩模201的准确位置对合而能高效地形成精细的有机发光层。
特别是，根据本实施方式，由于可以在第1～第3有机层形成前进行衬底200和掩模201的准确位置对合，所以可以形成精细的全色有机发光层。
本发明并不限于上述实施方式，可以进行各种变更。
例如，在上述实施方式中，以在衬底上形成光的三原色的有机层的情况为例进行了说明，但本发明并不限于此，例如还可以应用于形成单色的有机层的情况。

Claims (7)

1.一种有机电致发光器件制造方法，包括：
前处理工序，包括在真空中加热衬底的加热工序和冷却该衬底的冷却工序；
有机层形成工序，在前述冷却工序结束后，在真空中相对于前述衬底进行成膜用掩模的位置对合，进而经由前述成膜用掩模进行有机层的形成。
2.如权利要求1所述的有机电致发光器件制造方法，其特征在于，前述有机层形成工序包括：在该衬底上形成空穴传输层的工序、和形成至少一种颜色的有机发光层的工序。
3.如权利要求1或2所述的有机电致发光器件制造方法，其特征在于，多次进行前述冷却工序。
4.一种有机电致发光器件制造装置，对衬底进行处理时，对该衬底进行加热的衬底加热室、对前述衬底进行冷却的冷却室、相对于前述衬底进行成膜用掩模的位置对合的位置对合室，在真空气氛下相互进行衬底的交接，
备有设置在前述位置对合室的下游而在真空中相对于前述衬底进行有机层的形成的有机层形成部。
5.如权利要求4所述的有机电致发光器件制造装置，其特征在于，前述衬底加热室包括：进行前述衬底的加热处理的加热处理室、和相对于前述衬底利用自由基源进行前处理的前处理室。
6.如权利要求4或5所述的有机电致发光器件制造装置，其特征在于，前述有机层形成部包括：在前述衬底上形成空穴传输层的成膜室、和在前述衬底上形成至少一种颜色的有机发光层的成膜室。
7.如权利要求4所述的有机电致发光器件制造装置，其特征在于，前述位置对合室包括多个位置对合室，在前述多个位置对合室各自的下游，设置有进行不同颜色的有机发光层的形成的成膜室。
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Open date: 20060920