CN1782873A - 感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,特别是包含碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。本发明感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,可在激光的直接曝光下形成图像,易于形成高集成度细微图像,具有良好的光敏度和分辨率,并对基板具有优秀的粘附特性。

Description

感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜
技术领域
本发明涉及一种感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜,特别是涉及一种用于形成等离子平板显示板(PlasmaDisplay Panel)隔板(Barrier Rib)图像的感光树脂组合物及其制备方法、以及包含该组合物的感光胶膜。
背景技术
等离子平板显示器是利用等离子现象的显示装置,在非真空状态的气体环境下,只要在相互保持一段距离的两个电极间施加大于一定量值的电位差即可放电,该现象被称为气体放电现象。
等离子显示元件是把这种气体放电现象应用于图像表示的平板显示元件。现在普遍使用的等离子显示元件是反射型交流等离子显示板,其后基板上用隔板分隔而成的放电单元内形成有荧光层。
这种等离子平板显示板,就如同荧光显示管(VFD)、场致发射显示器(FED)等其它平板显示装置一样,后基板与前基板(以下分别简称为第1基板和第2基板)相隔一定距离平行设置,以形成其外观。此时,所述基板在沿其间隙周边涂抹的粘附剂的作用下粘附在一起,从而形成真空状态放电单元。
最近,随着显示装置产业的发展,高清晰度等离子显示板的研发事业不断得到发展,而在较短的时间内制造出微细图像隔板的研发工作也在持续不断地进行着。
以往在等离子平板显示板中制造具有规定图像的隔板时,首先在基板上涂附隔板浆料,并将其干燥,而后在其上形成感光胶膜后附盖以规定形状预制的掩模(mask),之后用紫外线(UV)进行曝光、显影。但这种方法难以适于制造大面积显示板,并且在需要改变图像时还需要另外制造掩模,其操作繁琐。特别是一旦掩模存在缺陷,那么采用该掩模制造的所有显示板都将存在缺陷。
为解决上述问题,人们研究了利用激光直接形成图像的方法,以解决大面积显示板制造中的难题即光掩模(Photo Mask)的去除和光源波长大小的分辨率问题,从而在大面积显示板中得以形成具备细微图像的隔板。但采用这一方法直接形成图像时需要较长的曝光时间,与以往使用光掩模的工艺相比,因作业时间增加,降低了生产效率。
发明内容
本发明的目的在于解决上述问题,提供一种具有优于现有感光树脂组合物光敏度的感光树脂组合物及其制备方法,并提供包含该组合物的感光胶膜。本发明组合物无需使用光掩模,可通过激光直接曝光,形成高分辨率图像。
本发明是以如下方式实现的:
本发明感光树脂组合物包含
a)碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
b)具备至少2个乙烯双键的交联单体;
c)氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
本发明感光树脂组合物的制备方法,包括以下步骤:
由选自不饱和羧酸单体、芳族单体、包含磷酸酯的单体、脂肪族丙烯酸单体的至少一种单体聚合形成碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
混合碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
本发明所提供的感光胶膜包含上述感光树脂组合物。
具体实施方式
下面对本发明进行更为详细的说明。
本发明感光树脂组合物是对光可敏感反应,从而形成一定形状图像的感光保护膜(Photo-resist)用组合物,包含
a)碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
b)具备至少2个乙烯双键的交联单体;
c)氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
所述感光树脂组合物中,基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量,所述b)交联单体为40-100重量份,优选为60-80重量份。并且,基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量,所述c)氧化膦光聚合引发剂为1-5重量份,吖啶酮光聚合引发剂为0.5-2重量份。但是基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量,所述氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的重量之和优选为1.5-7重量份。
基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量,如果所述交联单体的含量不足40重量份,则因感光树脂的硬化度降低,难以形成图像;如果超过100重量份,则因硬化度过高而显影时发生图像剥离,使图像的直线性(Straightness)下降。
此外,基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量,如果所述氧化膦光聚合引发剂的含量不到1重量份,图像下方的硬化度就会降低;而如果超过5重量份,显影后图像上方的残留膜会减少;如果所述吖啶酮光聚合引发剂的含量不到0.5重量份,显影后图像残留膜会减少,如超过2重量份,就会导致图像下方的硬化度降低。
另外,基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂含量为,所述氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂的重量之和不到1.5重量份时,因光敏度降低,难以正常形成图像,从而导致图像直线性降低;但如果超过7重量份,组合物的储存稳定性上会出现问题。
包含于本发明感光树脂的所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂,其重量平均分子量优选为20000-100000,最佳为30000-70000。所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂的重量平均分子量如果不到20000,感光剂的光敏度及耐蚀刻性能(Etching resistance)就会降低,但如果超过100000,显影时图像下方的长度会增加。
并且,所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂的玻璃态转变温度应高于100℃,最好是150-200℃。如果其玻璃态转变温度不到100℃,当制备感光胶膜时,可能会发生组合物从胶膜中泄漏的现象。
所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂由选自i)不饱和羧酸单体、ii)芳族单体、iii)含磷酸酯单体、及iv)脂肪族丙烯酸单体的至少一种单体聚合而成为佳,最好是必须包含i)不饱和羧酸单体。
所述i)不饱和羧酸单体用于提高丙烯酸酯树脂的碱性可溶性,具体而言,最好采用选自丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、乙烯基醋酸及其酸酐的至少一种单体。
聚合所述碱性可溶性丙烯酸树脂时所包含的不饱和羧酸单体的含量应占全部单体的20-50重量%。如果所述不饱和羧酸单体的含量不到20重量%,会导致所述感光树脂组合物在曝光后显影工艺中的显影时间过长,如果超过50重量份,聚合时易导致凝胶现象,难以调节聚合程度,可导致感光树脂组合物的储存稳定性降低。
所述ii)芳族单体最好采用选自苯乙烯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、2-硝基苯基丙烯酸酯、4-硝基苯基丙烯酸酯、2-硝基苯基甲基丙烯酸酯、4-硝基苯基甲基丙烯酸酯、2-硝基苄基甲基丙烯酸酯、4-硝基苄基甲基丙烯酸酯、2-氯苯基丙烯酸酯、4-氯苯基丙烯酸酯、2-氯苯基甲基丙烯酸酯、4-氯苯基甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
所述芳族单体应在全部单体重量中占15-45重量%,最好占20-40重量%。如果所述芳族单体的含量不到15重量%,显影时,与隔板层之间的粘附性能降低,会产生图像剥离现象,恶化已形成图像的直线性,从而难以稳定成像。而如果所述芳族单体含量超过45重量%,则会在显影过程中速度缓慢,组合物容易破碎,并增加其耐热性,从而导致在引燃工艺中不能完全清除感光保护膜。
微量使用所述iii)含磷酸酯单体,可提高聚合物的粘附性能,并可调节酸度。含磷酸酯单体可根据具备双键的甲基丙烯酸酯的末端官能团,具有各种不同形态,但优先使用选自五乙二醇磷酸盐单甲基丙烯酸酯、五丙二醇磷酸盐单甲基丙烯酸酯、及六丙二醇磷酸盐单甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
所述含磷酸酯单体在全部单体重量中占1-15重量%,最好占5-10重量%。如果所述含磷酸酯单体的含量不到1重量%,胶膜就不能得到良好的粘附性能;如果其含量超过15重量%,聚合时可能会发生凝胶现象,并且在显影过程中因耐碱性恶化而加重图像剥离现象,且会降低已形成图像的直线性。
所述iv)脂肪族丙烯酸单体用于调节聚合物的玻璃态转变温度和极性。所述脂肪族丙烯酸单体最好是选自2-羟基乙基丙烯酸酯、2-羟基辛基丙烯酸酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-羟基乙基甲基丙烯酸酯、2-羟基辛基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、及丙烯酸正丁酯的至少一种成分。所述单体的含量可根据丙烯酸酯树脂的玻璃转变温度和耐热性、以及与显影液之间的亲水性等来调节,其含量应占全部单体总量的10-50重量%。
本发明的碱性可溶性丙烯酸酯树脂,可在能够防止所述单体的凝胶化、并具备适当极性的溶剂中聚合形成,所述溶剂最好是选自四氢呋喃、二氧杂环己烷、二甲氨基甲醛、甲基乙基酮、卡必醇、γ-丁内酯、丙二醇单甲醚的至少一种成分。
包含于本发明感光树脂组合物的b)具备至少2个乙烯双键的交联单体最好是选自1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨醇三丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、山梨醇三甲基丙烯酸酯、双酚A二甲基丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇聚甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
所述氧化膦光聚合引发剂最好是选自如下化学式1所表示的化合物的至少一种成分:
[化学式1]
Figure A20051012586600141
其中,R1是苯基、烷基、或者三烷基苯,R2是独立选择的C1~C6的烷基,n是0~3的整数。所述化学式1所表示的化合物最好是选自(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦及双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦的至少一种。
与所述氧化膦光聚合引发剂一起包含在本发明组合物中的吖啶酮光聚合引发剂最好是选自以如下化学式2所表示的化合物中的至少一种化合物:
[化学式2]
Figure A20051012586600151
其中,R3是C1~C6的烷基,R4是C1~C2的烷基或卤基,R5是C1~C2的烷基或卤基。
所述化学式2所表示的化合物最好为选自10-甲基吖啶酮、10-丁基-2-氯代吖啶酮、10-丁基-2-异丙基吖啶酮、及10-丁基-1,4-二乙基吖啶酮的至少一种。
本发明感光树脂组合物除了所述a)碱性可溶性丙烯酸酯树脂、b)具备至少2个乙烯双键的交联单体、c)氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂外,还可以包括e)染料、f)溶剂、及g)用以提高涂层性能的添加剂中至少一种组分。
所述染料的优选例是油溶性无色结晶紫、三溴甲基苯基砜、孔雀石绿GH、罗丹明B、槐黄碱(Auramine base)、副品红(paramagenta)、甲基橙、亚甲基蓝、结晶紫、乙基紫、酞菁绿、曼斯科蓝20(mansicblue 20)、淡绿B等,最好从中选择至少一种。
并且,所述g)用以提高涂层性能的添加剂的优选例有二甲基聚硅氧烷聚酯、多羟基羧酸酰胺、硅的聚丙烯酸酯共聚物、氟代链烷烃等,最好是从中至少选择一种。
并且,包含于所述感光树脂组合物的f)溶剂可根据感光树脂组合物的溶解性能及涂附性能适当选择使用,所述溶剂优先选自乙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯、二甘醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、环己酮、3-甲氧基乙基丙酸酯、3-乙氧基甲基丙酸酯、3-乙氧基乙基丙酸酯、甲基乙基酮、异丙醇、乙醇及甲醇的至少一种。
所述e)染料、f)溶剂、及g)添加剂的含量可根据实际需要适当进行调节,不需要对其数值进行特别限制也能推导出,因此省略其详细说明。
所述感光树脂组合物可通过以下步骤制备:
由选自不饱和羧酸单体、芳族单体、含磷酸酯单体、脂肪族丙烯酸单体的至少一种单体聚合形成碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
混合碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
所述用于聚合碱性可溶性丙烯酸酯树脂的单体种类及含量与前述的i)不饱和羧酸单体、ii)脂肪族单体、包含磷酸酯的单体、脂肪族丙烯酸单体的优选实施例及其含量相同。
把所述四种单体与具有适当极性的溶剂及低温引发剂混合在一起,然后进行聚合,以此制备碱性可溶性丙烯酸树脂。此时,虽然对聚合温度未做特别的限制,但最好为40-80℃。
所述用于聚合的溶剂可采用选自四氢呋喃、二氧杂环己烷、二甲氨基甲醛、甲基乙基酮、卡必醇、γ-丁内酯、丙二醇单甲醚的至少一种。
并且,所述用于聚合的低温引发剂可采用选自偶氮脒引发剂、偶氮腈引发剂及偶氮酯引发剂的至少一种。
把上述聚合形成的丙烯酸酯树脂与b)具备至少2个乙烯双键的交联单体、c)氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂混合在一起,以此可制备本发明感光树脂组合物。
此外在上述混合过程中,根据需要还可以添加e)染料、f)溶剂、及g)用于提高涂附性能的添加剂中至少一种成分。
所述交联单体和氧化膦光聚合引发剂、吖啶酮光聚合引发剂、染料、溶剂及添加剂的较佳实施例和含量与前述内容相同,故省略其详细说明。
所述感光树脂组合物作为等离子平板显示板用感光抗蚀膜使用时,不但可以直接涂附使用,还可以先涂附于高分子胶膜后经干燥形成感光胶膜使用。
用于制作所述感光胶膜的高分子胶膜,和通常感光胶膜的胶膜相同,最好是采用聚乙烯对苯二甲酸酯(PET)胶膜、或聚乙烯(PE)胶膜。此时,所述胶膜的厚度最好为15μm-30μm。如果胶膜的厚度不到15μm,胶膜的拉伸强度会降低,从而导致其容易撕裂;如果胶膜的厚度超过30μm,胶膜的浊度会增加,从而导致曝光时的透光率降低。
所述感光胶膜,可通过在所述胶膜的一面以一定厚度涂附本发明感光树脂组合物,并将其干燥后再对其上面涂附所述胶膜的方法来制备。
本发明的优选实施例如下所述。下述实施例仅仅是本发明的优选例而已,本发明的保护范围并不限于此。
[实施例]
实施例1及实施例2:制备碱性可溶性丙烯酸酯树脂
以如表1所示的组份和含量分别聚合出如实施例1及实施例2的碱性可溶性丙烯酸酯树脂。聚合过程中使用丙二醇单甲醚作为溶剂(以下简称PGME),基于40重量份的全部单体含量,该溶剂的添加量为60重量份。此外作为低温引发剂使用偶氮酯引发剂。聚合反应在45℃下进行。
[表1]
(单位:重量份)
  类型   成分   实施例1   实施例2
  不饱和羧酸单体   MA   25   25
  芳族单体   BM   22   22
  包含磷酸酯的甲基丙烯酸酯单体   PAM-100   7   -
  包含磷酸酯的甲基丙烯酸酯单体   PAM-200   -   7
  脂肪族丙烯酸单体   HEMA   20   20
  脂肪族丙烯酸单体   MMA   26   26
  溶剂   PGME   150   150
  分子量   40000   42000
上表1中,BM表示甲基丙烯酸苄酯、MA表示甲基丙烯酸、PAM-100,PAM-200表示Rhodia公司的包含磷酸酯的甲基丙烯酸酯,HEMA表示2-羟基甲基丙烯酸乙酯,MMA表示甲基丙烯酸甲酯。
实施例3到7及对比实施例1和2:制备感光树脂组合物
按照实施例1及实施例2制备的碱性可溶性丙烯酸酯树脂中添加组份及含量如表2所示的交联单体、光聚合引发剂及染料,并将其溶解,而后在室温(25℃)下搅拌2个小时,滤掉杂质,制备出如实施例3到7及对比实施例1和2的感光树脂组合物。
[表2]
(单位:重量份)
类型 成分                   实施例       对比实施例
  3   4   5   6   7   1   2
丙烯酸酯树脂   Resin 1   100   -   50   100   100   100   100
  Resin 2   -   100   50    -   -   -   -
  交联单体   TMP(EO)3TA   24   24   24   24   24   24   24
  交联单体   BPA(EO)10DA   48   48   48   24   48   48   48
  氧化膦光聚合引发剂   I-819   4   4   4   4   2   6   -
  吖啶酮光聚合引发剂   nBCA   2   2   2   2   4   -   6
  碱性染料   Green S-3G   0.5   0.5   0.5   0.5   0.5   0.5   0.5
  发色染料   A-DMA   1.5   1.5   1.5   1.5   1.5   1.5   1.5
  溶剂   PGME   20   20   20   20   20   20   20
表2中,
Resin 1是按实施例1制备的碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
Resin 2是按实施例2制备的碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
TMP(EO)3TA是加成环氧乙烷的三甲基丙烷三丙烯酸酯(日本化药株式会社[NIPPON KAYAKU Co.Ltd.]);
BPA(EO)10DA是加成环氧乙烷的双酚A二丙烯酸酯(日本化药株式会社);
I-819是Ciba Specialty Chemicals制备的双(2,4,6-三甲基苯甲酰基)-苯基氧化膦;
nBCA是黒金化成株式会社(KUROGANE KASEI Co.Ltd.)制备的正丁基氯代吖啶酮;
A-DMA是保土谷化学工業株式会社(HODOGAYACHEMICAL Co.Ltd.)制备的油溶性无色结晶紫;
PGME是丙二醇单甲醚。
对上述按照实施例3到7、对比实施例1和2所制备的感光树脂组合物,评价其光敏度、分辨率、基板蚀刻工艺中的耐酸性、以及对碱剥离性能,其结果如下表3所示。其性能测定条件如下。
光敏度(mJ)可定义为照度×时间,以波长为405nm的激光二极管,通过25级分级片(step tablet)掩模对光敏度进行评价。分辨率是在10mJ的光照下曝光后,利用含量为0.4重量%的Na2CO3溶液,在30℃温度下浸泡60秒后进行评价的。耐酸性是利用王水,在60℃温度下浸泡60秒后进行评价的。剥离性能是利用5.0%MEA(单甲醇胺)溶液,在55℃条件下浸泡40秒后进行评价的。
[表3]
  实施例3   实施例4   实施例5   实施例6   实施例7   对比实施例1   对比实施例2
  光敏度   2.5mJ   2.0mJ   2.0mJ   1.5mJ   2.0mJ   2.0mJ   4.5mJ
  分辨率   10μm   10μm   10μm   8μm   10μm   20μm   15μm
  耐酸性   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ○
  剥离性   ○   ○   ○   ○   ○   △   ○
表3中,耐酸性及剥离性的评价结果分为好(○)、差(△)、很差(×)等。
实施例8到12及对比实施例3和4:制备感光胶膜
利用敷料器(Applicator)把按照实施例3到7及对比实施例1和2制备的感光树脂组合物分别涂附于厚度为25μm的第一胶膜聚乙烯对苯二甲酸酯(PET)胶膜上,并将其干燥,形成最终厚度为20μm的感光树脂组合物干燥膜。之后在所述感光树脂组合物干燥膜上涂附厚度为25μm的第二胶膜聚乙烯(PE)胶膜,最后以橡胶辊(Squeegee)滚压将其接合在一起,形成感光胶膜。滚压时注意防止留下气泡。
按实施例8到12及对比实施例3和4制备的感光胶膜成分如下表4所示。
[表4]
(单位:重量份)
组分                      实施例   对比实施例
  8   9   10   11   12   3   4
感光树脂   实施例3   实施例4   实施例5   实施例6   实施例7   对比实施例1   对比实施例2
  第一胶膜   聚对苯二甲酸乙二醇酯胶膜(厚度25μm)
  第二胶膜   聚乙烯胶膜(厚度25μm)
对通过上述实施例8到12、对比实施例3和4制备的感光胶膜,评价其光敏度、分辨率、基板蚀刻工艺中的耐酸性、以及碱剥离性能。评价结果如表5所示,其测定条件如下。
光敏度(mJ)定义为照度×时间,利用波长为405nm的激光二极管,通过25级分级片掩模进行评价。分辨率是在10mJ光照下曝光后,利用含量为0.4重量%的Na2CO3溶液,在30℃温度下浸泡60秒后进行评价。耐酸性是利用王水,在60℃温度下浸泡60秒后进行评价。剥离性能是利用5.0%MEA(单甲醇胺)溶液,在55℃条件下浸泡40秒后进行了评价。
[表5]
  实施例8   实施例9   实施例10   实施例11   实施例12   对比实施例3   对比实施例4
  光敏度   3.0mJ   2.5mJ   2.5mJ   2.0mJ   2.5mJ   2.5mJ   5.0mJ
  分辨率   10μm   10μm   10μm   8μm   10μm   20μm   15μm
  耐酸性   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ○
  剥离性   ○   ○   ○   ○   ○   △   ○
 表5中,耐酸性及剥离性的评价结果分为好(○)、差(△)、很差(×)。如表5所示,与对比实施例3和4相比较,实施例8到12的感光胶膜可在更低的光敏度条件下形成图像,具有很好的分辨率、耐酸性及剥离性能。
本发明感光树脂组合物及感光胶膜,可在激光的直接曝光下形成图像,易于形成高集成度的细微图像,具有良好的光敏度和分辨率,并对基板具有优秀的粘附特性。

Claims (26)

1、一种感光树脂组合物,其特征是包含如下组分:
碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
具备至少2个乙烯双键的交联单体;氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
2、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是基于100重量份的所述碱性可溶性丙烯酸酯共聚物树脂,包含
40~100重量份的具备至少2个乙烯双键的交联单体;
1.5~7重量份的氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
3、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂的重量平均分子量为20000-100000。
4、如权利要求3所述的感光树脂组合物,其特征是所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂的重量平均分子量为30000-70000。
5、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂的玻璃态转变温度为100℃以上。
6、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂是由选自不饱和羧酸单体、芳族单体、含磷酸酯单体、及脂肪族丙烯酸单体的至少一种单体聚合而成的。
7、如权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征是所述碱性可溶性丙烯酸酯树脂是以由20-50重量%不饱和羧酸单体、15-45重量%芳族单体、1-15重量%含磷酸酯单体、及10-50重量%脂肪族丙烯酸单体构成的混合物聚合而成的。
8、如权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征是所述不饱和羧酸单体是选自丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、乙烯基醋酸及其酸酐的至少一种成分。
9、如权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征是所述芳族单体是选自苯乙烯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、2-硝基丙烯酸苯酯、4-硝基丙烯酸苯酯、2-硝基甲基丙烯酸苯酯、4-硝基甲基丙烯酸苯酯、2-硝基甲基丙烯酸苄酯、4-硝基甲基丙烯酸苄酯、2-氯丙烯酸苯酯、4-氯丙烯酸苯酯、2-氯甲基丙烯酸苯酯及4-氯甲基丙烯酸苯酯的至少一种成分。
10、如权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征是所述包含磷酸酯单体是选自五乙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯、五丙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯、及六丙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
11、如权利要求6所述的感光树脂组合物,其特征是所述脂肪族丙烯酸单体是选自2-羟基丙烯酸乙酯、2-羟基丙烯酸辛酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-羟基甲基丙烯酸乙酯、2-羟基甲基丙烯酸辛酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、及丙烯酸正丁酯的至少一种成分。
12、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述交联单体是选自1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨醇三丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、山梨醇三甲基丙烯酸酯、双酚A二甲基丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇聚甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
13、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述氧化膦光聚合引发剂是选自如下化学式1所示的化合物中的至少一种成分:
[化学式1]
Figure A2005101258660004C1
其中,R1是苯基、烷基、或者三烷基苯,R2是独立选择的C1~C6的烷基,n是正数0~3。
14、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述吖啶酮光聚合引发剂是选自以如下化学式2表示的化合物中的至少一种成分:
[化学式2]
其中,R3是C1~C6的烷基,R4是C1~C2的烷基或卤基,R5是C1~C2的烷基或卤基。
15、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述感光树脂组合物进一步包含选自油溶性无色结晶紫、三溴甲基苯基砜、宝绿GH、罗丹明B、槐黄碱、副品红、甲基橙、亚甲基蓝、结晶紫、乙基紫、酞菁蓝、曼斯科蓝20、浅绿B构成的群中染料。
16、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述感光树脂组合物进一步包含用以提高涂附性能的添加剂。
17、如权利要求1所述的感光树脂组合物,其特征是所述感光树脂组合物还包含选自乙酸乙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚、乙酸丙二醇甲醚、乙酸丙二醇单乙醚、二甘醇二甲醚、二甘醇甲乙醚、环己酮、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、甲基乙基酮、异丙醇、乙醇及甲醇的至少一种溶剂。
18、一种感光树脂组合物的制备方法,其特征是包括如下步骤:
由选自不饱和羧酸单体、芳族单体、含磷酸酯单体、脂肪族丙烯酸单体的至少一种单体聚合形成碱性可溶性丙烯酸酯树脂;
混合碱性可溶性丙烯酸酯树脂、具备至少2个乙烯双键的交联单体、氧化膦光聚合引发剂及吖啶酮光聚合引发剂。
19、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述不饱和羧酸单体是选自丙烯酸、甲基丙烯酸、衣康酸、马来酸、富马酸、乙烯基醋酸及其酸酐的至少一种成分。
20、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述芳族单体是选自苯乙烯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、2-硝基丙烯酸苯酯、4-硝基丙烯酸苯酯、2-硝基甲基丙烯酸苯酯、4-硝基甲基丙烯酸苯酯、2-硝基甲基丙烯酸苄酯、4-硝基甲基丙烯酸苄酯、2-氯丙烯酸苯酯、4-氯丙烯酸苯酯、2-氯甲基丙烯酸苯酯、4-氯甲基丙烯酸苯酯的至少一种成分。
21、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述含磷酸酯单体是选自五乙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯、五丙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯、及六丙二醇磷酸单甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
22、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述脂肪族丙烯酸单体是选自2-羟基乙基丙烯酸酯、2-羟基辛基丙烯酸酯、丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-羟基乙基甲基丙烯酸酯、2-羟基辛基甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、及丙烯酸正丁酯的至少一种成分。
23、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述交联单体是选自1,4-丁二醇二丙烯酸酯、1,3-丁二醇二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、三甘醇二丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、二季戊四醇二丙烯酸酯、山梨醇三丙烯酸酯、双酚A二丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三丙烯酸酯、二季戊四醇聚丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯、1,3-丁二醇二甲基丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、三甘醇二甲基丙烯酸酯、聚乙二醇二甲基丙烯酸酯、二季戊四醇二甲基丙烯酸酯、山梨醇三甲基丙烯酸酯、双酚A二甲基丙烯酸酯衍生物、三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、加成环氧乙烷的三甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、二季戊四醇聚甲基丙烯酸酯的至少一种成分。
24、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述氧化膦光聚合引发剂是选自以如下化学式1所示化合物中的至少一种成分:
[化学式1]
Figure A2005101258660007C1
其中,R1是苯基、烷基、或者三烷基苯,R2是独立选择的C1~C6的烷基,n是正数0~3。
25、如权利要求18所述的感光树脂组合物的制备方法,其特征是所述吖啶酮光聚合引发剂是选自以如下化学式2所示化合物的至少一种成分:
[化学式2]
Figure A2005101258660007C2
其中,R3是C1~C6的烷基,R4是C1~C2的烷基或卤基,R5是C1~C2的烷基或卤基。
26、一种感光胶膜,其特征是包含权利要求1所述感光树脂组合物。
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Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101560283A (zh) * 2008-04-14 2009-10-21 株式会社东进世美肯 黑色导电膏组合物及包含该组合物的防电磁波过滤器和显示器
CN102786838A (zh) * 2012-03-01 2012-11-21 长兴化学工业股份有限公司 抗蚀刻组合物及其应用
CN103048884A (zh) * 2012-12-05 2013-04-17 北京化工大学常州先进材料研究院 一种含有吖啶酮衍生物作为光引发剂的感光性组合物
CN106980234A (zh) * 2016-01-19 2017-07-25 三星Sdi株式会社 感光性树脂组成物、包含其的感光性树脂层和彩色滤光片
CN107151482A (zh) * 2016-03-02 2017-09-12 株式会社理光 活性能量射线可固化组合物、固化材料、组合物储存容器、二维或三维成像装置和方法
CN113741147A (zh) * 2021-09-22 2021-12-03 深圳惠美亚科技有限公司 一种具有高解析度和优异附着力的光致抗蚀剂

Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100903356B1 (ko) 2003-05-07 2009-06-23 주식회사 동진쎄미켐 알칼리 가용성 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이필름 레지스트
TWI290931B (en) * 2005-07-01 2007-12-11 Eternal Chemical Co Ltd Photoimageable composition
KR100648465B1 (ko) * 2005-09-30 2006-11-27 삼성전기주식회사 인쇄회로기판의 미세 회로 형성 방법
WO2008010400A1 (fr) * 2006-07-20 2008-01-24 Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. Matériau en plaque à surface photosensible pour impression
KR101300006B1 (ko) * 2006-09-28 2013-08-26 주식회사 동진쎄미켐 전자 소자용 화합물 및 이를 포함하는 전자 소자
CA2783619A1 (en) * 2009-12-23 2011-06-30 Momentive Performance Materials Inc. Network copolymer crosslinked compositions and products comprising the same
KR20120021488A (ko) * 2010-08-03 2012-03-09 주식회사 동진쎄미켐 네가티브 감광성 수지 조성물
TWI409588B (zh) * 2010-09-07 2013-09-21 Daxin Materials Corp 感光性樹脂組成物
JP6136414B2 (ja) * 2013-03-19 2017-05-31 日立化成株式会社 感光性樹脂組成物、感光性エレメント、レジストパターン付き基板の製造方法及びプリント配線板の製造方法
CN114901454A (zh) * 2020-01-28 2022-08-12 昭和电工材料株式会社 感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷线路板的制造方法
CN116836438B (zh) * 2023-07-11 2024-02-09 江西塔益莱高分子材料有限公司 一种pcb干膜树脂及其制备方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3331157A1 (de) * 1983-08-30 1985-03-14 Basf Ag, 6700 Ludwigshafen Photopolymerisierbare mischungen, enthaltend tertiaere amine als photoaktivatoren
JPS61145203A (ja) * 1984-12-19 1986-07-02 Toray Ind Inc 光増感剤
US4689359A (en) * 1985-08-22 1987-08-25 Eastman Kodak Company Composition formed from gelatin and polymer of vinyl monomer having a primary amine addition salt group
DE3736180A1 (de) * 1987-10-26 1989-05-03 Basf Ag Verfahren zum verschliessen und/oder abdichten von oeffnungen, hohl- oder zwischenraeumen bei auf formzylindern aufgebrachten druckplatten
EP0627476B1 (en) * 1992-12-21 1999-08-04 Adell Co., Ltd. Photopolymerization initiator composition for visible ray polymerizable adhesive
JPH0882922A (ja) * 1994-07-11 1996-03-26 Toray Ind Inc 水なし平版印刷版原版
US6054501A (en) * 1996-06-12 2000-04-25 Nippon Kayaku Kabushiki Kaisha Photopolymerization initiator and energy ray curable composition containing the same
JPH11125902A (ja) * 1997-10-22 1999-05-11 Sumitomo Chem Co Ltd 着色画像形成用レジスト組成物
JPH11184093A (ja) * 1997-12-25 1999-07-09 Hitachi Chem Co Ltd 感光性組成物、感光液、感光性エレメント及びカラーフィルタ又はカラープルーフの製造法
JPH11231524A (ja) * 1998-02-17 1999-08-27 Jsr Corp プラズマディスプレイパネルの製造方法
JP2002014463A (ja) * 2000-06-28 2002-01-18 Sumitomo Chem Co Ltd 着色画像形成用感光液及びこれを用いたカラーフィルタ
JP4389137B2 (ja) * 2000-07-04 2009-12-24 日立化成工業株式会社 光硬化性樹脂組成物
TWI230321B (en) * 2000-08-10 2005-04-01 Sumitomo Chemical Co Photosensitive coloring composition, and color filter and liquid crystal display panel using the same
JP2003128739A (ja) * 2001-10-19 2003-05-08 Hitachi Chem Co Ltd 光硬化性樹脂組成物
JP4047588B2 (ja) * 2002-01-17 2008-02-13 互応化学工業株式会社 リフトオフ法用ネガ型感光性樹脂組成物及びドライフィルム
US6987174B2 (en) * 2003-04-01 2006-01-17 Fuji Photo Film Co., Ltd. Azo compound, colorant-containing curable composition, color filter and color filter production method
KR100903356B1 (ko) * 2003-05-07 2009-06-23 주식회사 동진쎄미켐 알칼리 가용성 감광성 수지 조성물 및 이를 이용한 드라이필름 레지스트
JP4096857B2 (ja) * 2003-09-30 2008-06-04 三菱化学株式会社 青紫色レーザー感光性画像形成材料、青紫色レーザー感光性画像形成材及び画像形成方法
WO2006009051A1 (ja) * 2004-07-22 2006-01-26 Toray Industries, Inc. 感光性ペーストおよびディスプレイパネル用部材の製造方法
JP4357392B2 (ja) * 2004-09-03 2009-11-04 富士フイルム株式会社 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101560283A (zh) * 2008-04-14 2009-10-21 株式会社东进世美肯 黑色导电膏组合物及包含该组合物的防电磁波过滤器和显示器
CN102786838A (zh) * 2012-03-01 2012-11-21 长兴化学工业股份有限公司 抗蚀刻组合物及其应用
CN102786838B (zh) * 2012-03-01 2015-09-16 长兴材料工业股份有限公司 抗蚀刻组合物及其应用
US9187659B2 (en) 2012-03-01 2015-11-17 Eternal Materials Co., Ltd. Etch-resistant composition and its application
CN103048884A (zh) * 2012-12-05 2013-04-17 北京化工大学常州先进材料研究院 一种含有吖啶酮衍生物作为光引发剂的感光性组合物
CN106980234A (zh) * 2016-01-19 2017-07-25 三星Sdi株式会社 感光性树脂组成物、包含其的感光性树脂层和彩色滤光片
CN106980234B (zh) * 2016-01-19 2020-06-02 三星Sdi株式会社 感光性树脂组成物、包含其的感光性树脂层和彩色滤光片
CN107151482A (zh) * 2016-03-02 2017-09-12 株式会社理光 活性能量射线可固化组合物、固化材料、组合物储存容器、二维或三维成像装置和方法
CN113741147A (zh) * 2021-09-22 2021-12-03 深圳惠美亚科技有限公司 一种具有高解析度和优异附着力的光致抗蚀剂

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Publication number Publication date
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