CN1554017A - 应变传感器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种施加到应变检测元件上的弯曲应力不会变动、提高检测精度的应变传感器。传感器基板在一端侧设有第1固定孔同时在另一端侧具有第2固定孔，并且中央部具有检测孔，在其上面或下面具有至少1个应变检测元件。第1固定部件压入第1固定孔中。第2固定部件压入第2固定孔中。检测部件压入检测孔中。此外，检测部件上作用外力时，应变检测元件检测出相对第1固定部件和第2固定部件检测部件的位置移动所致的应变。

Description

应变传感器

技术领域

本发明涉及一种将由人体重量或汽车等车辆的重量等产生的外力而在传感器基板上发生的应变由设置在传感器基板上的应变检测元件检测出的应变传感器。

背景技术

作为以往的这种应变传感器，在实愿平4-265号(实开平5-57605号)的微型胶卷中公开的技术已为人所知。

以下参照附图说明以往的应变传感器。

图13为以往的应变传感器的立体图。

在图13中，金属构成的传感器基板1在一端侧具有第1固定孔2，在另一端侧具有第2固定孔3，并且上面设有检测出长度方向应变的薄规构成的应变检测元件4。

另外，应变检测元件4具有元件部5和与该元件部5电连接的同时向外突出的导线6。

下面，参照附图对上述结构的以往的应变传感器的动作进行说明。

正如图4所示，外螺纹9将传感器基板1与设有一对内螺纹7的被检测部件8固定在一起。此时，考虑到设置在被检测部件8上的一对内螺纹7的间距的变动，为能够将传感器基板1可靠地安装于被检测部件8上，使第1固定孔2和第2固定孔3的内径尺寸大于内螺纹7的外径。

在该状态下，被检测部件8上作用有外力时，传感器基板1随着被检测部件8的变形而变形。因该传感器基板1的变形，设置在传感器基板1上面的应变检测元件4的电阻值变化。该电阻值的变化作为例如向应变检测元件4流过的电流时的电压变化，经导线6在外部获取。如此，检测出被检测部件8上发生的外力。

在上述的以往的结构中，第1固定孔2和第2固定孔3的内径尺寸设置成大于内螺纹7的外径。因此，可将传感器基板1向被检测部件8上可靠地安装。另外，在被检测部件8上作用有外力时，传感器基板1的安装位置向传感器基板1的长度方向移动。由此，外螺纹9中的与传感器基板1的上面接触的端部10的位置错动。因此，施加于应变检测元件4上的弯曲应力也变动。结果，应变传感器的输出精度变差。

发明内容

本发明的目的是，提供一种施加在应变检测元件上的弯曲应力不会变动，提高检测输出精度的应变传感器。

本发明的应变传感器具有如下的结构。

传感器基板在一端侧设有第1固定孔的同时在另一端侧具有第2固定孔，并且在中央部具有检测孔，在其上面或下面至少具有1个应变检测元件。第1固定部件压入第1固定孔中。第2固定部件压入第2固定孔中。检测部件压入检测孔中。此外，在检测部件上作用有外力时，应变检测元件可检测出检测部件相对第1固定部件和第2固定部件的位置移动所致的应变。

采用如此结构，第1固定部件、第2固定部件和检测部件分别压入第1固定孔、第2固定孔和检测孔中。因此，外力作用于检测部件上的时，检测部件、第1固定部件和第2固定部件与传感器基板接触的各端部的位置不会错动。结果，施加到应变检测元件上的弯曲应力稳定。因此，提高了应变传感器的检测输出精度。

如此，施加于应变检测元件上的弯曲应力不会变动，从而可获得提高检测精度的应变传感器。

附图说明

图1是表示本发明实施例1的应变传感器的俯视图。

图2是表示实施例1的应变传感器的侧剖面图。

图3是表示实施例1的作为应变传感器的要部的第1上侧垫圈的立体图。

图4是表示实施例1的作为应变传感器的要部的第1圆筒部的立体图。

图5是表示实施例1的作为应变传感器的要部的传感器基板的俯视图。

图6是表示在实施例1的作为应变传感器的要部的传感器基板上使第1固定部件相嵌固定以构成止转机构状态的剖面图。

图7是表示实施例1的应变传感器的动作状态的侧剖面图。

图8是表示本发明实施例2的应变传感器的俯视图。

图9是表示实施例2的应变传感器的侧剖面图。

图10是表示实施例2的作为应变传感器的要部的第1上侧垫圈的立体图。

图11是表示实施例2的作为应变传感器的要部的传感器基板的俯视图。

图12是在实施例2的作为应变传感器的要部的传感器基板上使第1固定部件相嵌固定以构成止转机构状态的剖面图。

图13是表示以往的应变传感器的立体图。

图14是在作为以往的应变传感器立体图的要部的被检测部件上固定状态的侧剖面图。

具体实施方式

实施例1

下面，参照图1至图7对本发明的实施例1进行说明。图1是本发明实施例1的应变传感器的俯视图。图2是该应变传感器的侧剖面图。图3是该应变传感器的第1上侧垫圈的立体图。图4是该应变传感器的第1圆筒部的立体图。图5是该应变传感器的传感器基板的俯视图。图6是在该应变传感器的传感器基板上使第1固定部件相嵌固定以构成止转机构状态的剖面图。

如图5所示，传感器基板11具有在一端侧从上面到下面的第1固定孔12，在另一端侧从上面到下面的第2固定孔13，并且在中央部从上面到下面的检测孔14。

另外，在传感器基板11上的第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14的内侧面分别设有凹部11a。

此外，在传感器基板11的另一端设有电源电极15。该电源电极15通过电路图18而与第1应变检测元件16的一端和第2应变检测元件17的一端实现电连接。

在此，第1应变检测元件16的另一端与第1输出电极19电连接。

进一步地，第2应变检测元件17的另一端与第2输出电极20和第3应变检测元件21的一端电连接。该第3应变检测元件21的另一端与接地(GND)电极22电连接。

另外，在传感器基板11的上面设有第4应变检测元件23。第4应变检测元件23的一端与第1应变检测元件16的另一端和第1输出电极19电连接。第4应变检测元件23的另一端与GND电极22电连接。

第1应变检测元件16、第2应变检测元件17、第3应变检测元件21、第4应变检测元件23、电源电极15、第1输出电极19、第2输出电极20、GND电极22和电路图形18构成桥式电路。

另外，在传感器基板11的另一端侧的上面设有IC24。该IC24使第1输出电极19和第2输出电极20的电压的差动电压进行增幅，并从设置在传感器基板11另一端上的外部输出电极25向外部输出。

此外，在传感器基板11的另一端侧的上面设有外部电源电极26。该外部电源电极26与前述电源电极15电连接。

另外，设置在传感器基板11上面的外部GND电极27与GND电极22电连接。

图1、图2所示的第1固定部件28由第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30和第1圆筒部31构成。

在此，第1上侧垫圈29由图3所示形状的金属形成，其下面与传感器基板11的上面接触。

第1下侧垫圈30与第1上侧垫圈29的构成相同，其上面与传感器基板11的下面接触。

第1圆筒部31由图4所示的薄壁金属构成。

第1圆筒部31压入第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30和第1固定孔12的内侧面。

另外，在第1上侧垫圈29和第1下侧垫圈30的内侧面分别设有凹部11a。

如图6所示，第1圆筒部31的外侧面的一部分嵌入这些凹部11a和第1固定孔12上的凹部11a中，以将第1固定部件28相嵌固定到传感器基板11上。

由此，如图6所示，构成第1固定部件28的止转机构11b。

第2固定部件32与第1固定部件28同样，由金属制成的第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34、和薄壁金属制成的第2圆筒部35构成。

第2圆筒部35压入第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34和第2固定孔13的内侧面。此外，在第2上侧垫圈33和第2下侧垫圈34的内侧面分别设有凹部11a。第2圆筒部35的外侧面的一部分嵌入这些凹部11a和第2固定孔13上的凹部11a中，以将第2固定部件32相嵌固定到传感器基板11上。由此，构成第2固定部件32的止转机构11b。

检测部件36由金属制成的检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38和金属制的薄板构成的检测用圆筒部39构成。

检测用圆筒部39压入检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38和检测孔14的内侧面。在检测部上侧垫圈37和检测部下侧垫圈38的内侧面分别设有凹部11a。检测用圆筒部39的外侧面的一部分嵌入该凹部11a和检测孔14上的凹部11a中，以将检测部件36相嵌固定到传感器基板11上。由此，构成检测部件36的止转机构11b。

在上述本发明的实施例1的应变传感器中，检测部件36上作用有外力时，检测部件36与传感器基板11接触的端部36a上作用有外力。此时，在第1固定部件28与传感器基板11接触的端部28a上作用有与上述外力相反方向的力(反力)。此外，在第2固定部件32与传感器基板11接触的端部32a上也作用有反力。

按上述说明的那样构成本应变传感器。此时，检测部件36中与传感器基板11接触的端部36a、第1固定部件28中与传感器基板11接触的端部28a和第2固定部件32中与传感器基板11的上面接触的端部32a的位置不会错动。

结果，施加于第1应变检测元件16、第2应变检测元件17、第3应变检测元件21和第4应变检测元件23上的弯曲应力稳定。

因此，提高了应变传感器的输出精度。

另外，第1固定部件28、第2固定部件32和检测部件36具有止转机构11b。为此，第1固定部件28、第2固定部件32和检测部件36不会围绕着第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14的中心轴回转。

结果，与传感器基板11的上面接触的检测部件36的端部36a、第1固定部件28的端部28a和第2固定部件36的端部36a的位置不会错动。

为此，施加于第1应变检测元件16、第2应变检测元件17、第3应变检测元件21和第4应变检测元件23上的弯曲应力更加稳定。由此，能够进一步提高传感器的输出精度。

下面，对上述结构的本发明实施例1的应变传感器的装配方法进行说明。

首先，在预先准备的金属的基础基材(未图示)上通过冲压加工形成第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14。并且，在这些孔各自的内侧面通过冲压加工形成凹部11a。此时，由于冲压加工，在基础基材(未图示)上的第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14的周围产生毛刺。

接着，在基础基材(未图示)的上面印制上玻璃糊(未图示)后，基础基材在约850℃温度下烧结约45分钟，以形成传感器基板11。

之后，在传感器基板11的上面印制上金属釉系碳糊，在约850℃温度下烧结约45分钟。如此，在传感器基板1的上面形成第1应变检测元件16、第2应变检测元件17、第3应变检测元件21和第4应变检测元件23。

接下来，在设置电极和电路图18的位置印制上银糊，在约850℃温度下烧结约45分钟。如此，形成电源电极15、第1输出电极19、第2输出电极20、GND电极22、外部输出电极25、外部电源电极26、外部GND电极27和电路图形18。

然后，将IC24安装到传感器基板11的上面。

之后，在传感器基板11上的第1固定孔12的下侧与第1下侧垫圈30相接后，在第1固定孔12的上侧放置第1上侧垫圈29。

接着，将第1圆筒部31压入第1固定孔12、第1下侧垫圈30和第1上侧垫圈29的内侧面。此时，第1圆筒部31的外侧面相嵌固定到第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30和第1固定孔12的内侧面设置的凹部11a中。

然后，将第2下侧垫圈34与第2固定孔13的下侧相接后，将第2上侧垫圈33放置于第2固定孔13的上侧。

接着，将第2圆筒部35压入第2固定孔13、第2下侧垫圈34和第2上侧垫圈33的内侧面。此时，第2圆筒部35的外侧面相嵌固定到第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34和第2固定孔13的内侧面上设置的凹部11a中。

之后，检测部下侧垫圈38与传感器基板11上的检测孔14的下侧相接后，将检测部上侧垫圈37放置在位于检测孔14上侧。

最后，将检测用圆筒部39压入检测孔14、检测部下侧垫圈38和检测部上侧垫圈37的内侧面。此时，检测用圆筒部39的外侧面相嵌固定在检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38和检测孔14的内侧面上设置的凹部11a中。

在以上结构中，在使薄壁的第1圆筒部31收缩的同时，将其压入第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30和第1固定孔12的内侧面中。而在使薄壁的第2圆筒部35收缩的同时，将其压入第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34和第2固定孔13的内侧面中。此外，在使薄壁的检测用圆筒部39收缩的同时，将其压入检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38和检测孔14的内侧面中。

以上的压入容易实现。因此，提供了一种装配性提高的应变传感器。

此外，第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30、第1固定孔12具有凹部11a。该凹部11a中相嵌固定着第1圆筒部31的外侧面。

另外，第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34、第2固定孔13也具有凹部11a。该凹部11a相嵌固定着第2圆筒部35的外侧面。

再有，检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38、检测孔14具有凹部11a。该凹部11a相嵌固定着检测用圆筒部39的外侧面。

由于采用如此结构，很容易在第1固定部件28、第2固定部件32和检测部件36上设置止转机构11b。

结果，容易地提供一种具有止转机构11b的应变传感器。

下面，参照附图对按照上述结构制造的本发明实施例1的应变传感器的动作进行说明。

图7是表示本发明实施例1的应变传感器动作状态的侧剖面图。

正如图7所示，从上方对检测部件36作用上外力F时，通过该外力F，传感器基板11变形。

此时，检测部件36的与传感器基板11接触的端部36a上作用有外力。随之，在第1固定部件28与传感器基板11接触的端部28a上作用有与该外力相反方向的力(反力)。另外，第2固定部件32与传感器基板11接触的端部32a上也作用有反力。

此时，在位于传感器基板11上面的第1应变检测元件16和第3应变检测元件21上施加有沿传感器基板11长度方向的拉伸应力。通过该拉伸应力，第1应变检测元件16和第3应变检测元件21的传感器基板11长度方向的电阻值变大。

与此现时，在第2应变检测元件17和第4应变检测元件23上施加有沿传感器基板11长度方向的压缩应力。第2应变检测元件17和第4应变检测元件23的传感器基板11长度方向的电阻值变小。

另外，第1应变检测元件16、第2应变检测元件17、第3应变检测元件21和第4应变检测元件23通过电路图形连接，构成桥式电路。在此，IC24将第1输出电极19和第2输出电极20的电位差差动增幅后输出。

通过该IC24的输出电压，从外部输出电极25检测出施加到检测部件36上的外力F。

还有，止转机构11b可以按如下构成。

在第1固定部件28的第1上侧垫圈29、第1下侧垫圈30和第1固定孔12的内侧面可分别设有凸部(未图示)以代替凹部。第1圆筒部31的外侧面与该凸部(未图示)相嵌固定。

此外，在第2固定部件32的第2上侧垫圈33、第2下侧垫圈34和第2固定孔13的内侧面可分别设有凸部(未图示)以代替凹部。第2圆筒部35的外侧面与该凸部(未图示)相嵌固定。

另外，在检测部件36的检测部上侧垫圈37、检测部下侧垫圈38和检测孔14的内侧面可分别设有凸部(未图示)以代替凹部。检测用圆筒部39的外侧面与该凸部(未图示)相嵌固定。

即使在按上述构成止转机构(未图示)时，在该实施例1中，也可获得与先前说明的结构同样的功能。

实施例2

以下，参照图8～图12说明本发明的实施例2。

图8是表示本发明实施例2的应变传感器的俯视图。图9是表示该应变传感器的侧剖面图。图10是表示该应变传感器的第1上侧垫圈的立体图。图11是表示该应变传感器的传感器基板的俯视图。图12是表示在该应变传感器的传感器基板上相嵌固定有第1固定部件以构成止转机构状态的剖面图。

另外，与上述实施例1相同的构件被标以相同的符号，在此省略对其说明。

正如图8～图12所示，在实施例2的应变传感器中，第1固定部件41、第2固定部件45和检测部件50按如下构成。

第1固定部件41由第1上侧垫圈42和第1下侧垫圈43构成。

第1上侧垫圈42压入第1固定孔12中，与传感器基板11的上面接触。第1下侧垫圈43压入第1固定孔12中，以与传感器基板11的下面接触。

正如图10所示，第1上侧垫圈42具有凸部44。而第1下侧垫圈43也具有凸部44。

这些凸部44与设置在图11所示的传感器基板11的第1固定孔12上的凹部46嵌合。由此，正如图12所示，构成第1固定部件41的止转机构47。

此外，第1上侧垫圈42和第1下侧垫圈43在与传感器基板11接触的接触部42a的内侧设有退让槽42b。

而第2固定部件45由第2上侧垫圈48和第2下侧垫圈49构成。

第2上侧垫圈48压入第2固定孔13中，与传感器基板11的上面相接。第2下侧垫圈49压入第2固定孔13中，以与传感器基板11的下面相接。

此外，在第2上侧垫圈48和第2下侧垫圈49上分别设有凸部44。这些凸部44与设置在传感器基板11的第2固定孔13上的凹部46配合。

由上，构成第2固定部件45的止转机构47。

此外，第2上侧垫圈48和第2下侧垫圈49在与传感器基板11接触的接触部42a的内侧设有退让槽42b。

另外，检测部件50由检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52构成。

检测部上侧垫圈51压入检测孔14中，与传感器基板11的上面相接。检测部下侧垫圈52压入检测孔14中，以与传感器基板11的下面相接。

另外，检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52上分别设有凸部44。该凸部44与设置在传感器基板11的检测孔14上的凹部46配合。

由上，构成检测部件50的止转机构47。

另外，检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52在分别与传感器基板11接触的检测部42a的内侧设有退让槽42b。

正如上述，在本发明的实施例2中，第1固定部件41、第2固定部件45和检测部件50压入传感器基板11中。同时，分别形成第1固定部件41、第2固定部件45和检测部件50与传感器基板11接触的端部41a、端部45a和端部50a。

由此，提供了一种可消减部件数量和装配工序的应变传感器。

另外，由先前说明的方法，构成了第1固定部件41、第2固定部件45和检测部件50的止转机构47。即，只将第1固定部件41、第2固定部件45和检测部件50压入传感器基板11中，就可构成止转机构47。

因此，提供了一种可消减装配工序的应变传感器。

在此，正如先前所述的实施例1那样，构成传感器基板11的金属制成的基础基材(未图示)上，通过冲压加工形成第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14时，在基础基材(未图示)中的第1固定孔12、第2固定孔13和检测孔14的周围会产生毛刺。

在本发明实施例2的应变传感器中，在第1上侧垫圈42、第1下侧垫圈43、第2上侧垫圈48、第2下侧垫圈49、检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52分别与传感器基板11接触的检测部42a的内侧设有退让槽42b。

因此，在第1上侧垫圈42、第1下侧垫圈43、第2上侧垫圈48、第2下侧垫圈49、检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52压入传感器基板11之际，在传感器基板11上生成的毛刺进入退让槽42b中。结果，第1上侧垫圈42、第1下侧垫圈43、第2上侧垫圈48、第2下侧垫圈49、检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52不会形成从传感器基板11浮出的状态，能够与传感器基板紧密接触。

因此，检测部件50的端部50a、第1固定部件41的端部41a和第2固定部件45的端部45a的位置也稳定。由此，进一步提高了应变传感器的输出精度。

另外，止转机构47可按如下构成。

第1上侧垫圈42和第1下侧垫圈43上设有代替凸部的凹部(未图示)与设置在传感器基板11上的代替凹部的凸部(未图示)配合。

此外，第2上侧垫圈48和第2下侧垫圈49上设有代替凸部的凹部(未图示)与设置在传感器基板11上的代替凹部的凸部(未图示)配合。

另外，检测部上侧垫圈51和检测部下侧垫圈52上设有代替凸部的凹部(未图示)与设置在传感器基板11上的代替凹部的凸部(未图示)配合。

即使如上述形成止转机构(未图示)时，在该实施例2，也可获得与先前说明的结构同样的功能。并且，由此，可提供一种可消减装配工序的应变传感器。

在本发明的应变传感器中，压入传感器基板的检测孔中的检测部件在与传感器基板接触的端部作用胡外力时，在第1固定部件和第2固定部件分别与传感器基板接触的端部作用有与上述外力相反方向的力(反力)。在此，第1固定部件压入传感器基板的第1固定孔中。第2固定部件压入传感器基板的第2固定孔中。采用如此结构，作用外力时，检测部件、第1固定部件和第2固定部件的与传感器基板接触的端部的位置不会错动。因此，施加在应变检测元件上的弯曲应力稳定。结果，由于应变检测元件的输出精度稳定，从而，提供一种输出精度提高的应变传感器。

Claims (7)

1.一种应变传感器，包含有第1固定孔和第2固定孔、在所述第1固定孔和所述第2固定孔之间具有检测孔、并具有至少1个应变检测元件的传感器基板，压入所述第1固定孔中的第1固定部件，压入所述第2固定孔中的第2固定部件，和压入所述检测孔中的检测部件；在所述检测部件上作用外力时，所述应变检测元件检测出相对所述第1固定部件和所述第2固定部件、所述检测部件的位置移动所致的所述传感器基板的应变。

2.如权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述第1固定部件、所述第2固定部件和所述检测部件分别具有止转机构。

3.如权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述第1固定部件包含有与所述传感器基板的上面相接的第1上侧垫圈、与所述传感器基板的下面相接的第1下侧垫圈、和压入所述第1上侧垫圈和所述第1下侧垫圈的内侧面的薄壁的第1圆筒部；所述第2固定部件包含有与所述传感器基板的上面相接的第2上侧垫圈、与所述传感器基板的下面相接的第2下侧垫圈、和压入所述第2上侧垫圈和所述第2下侧垫圈的内侧面的薄壁的第2圆筒部；所述检测部件包含有与所述传感器基板的上面相接的检测部上侧垫圈、与所述传感器基板的下面相接的检测部下侧垫圈、和压入所述检测部上侧垫圈和所述检测部下侧垫圈的内侧面的薄壁的检测用圆筒部。

4.如权利要求3所述的应变传感器，其特征在于，所述第1上侧垫圈、所述第1下侧垫圈和所述第1固定孔的内侧面具有相嵌固定所述第1圆筒部的外侧面的凹部或凸部；所述第2上侧垫圈、所述第2下侧垫圈和所述第2固定孔的内侧面具有相嵌固定所述第2圆筒部的外侧面的凹部或凸部；并且所述检测部上侧垫圈、所述检测部下侧垫圈和所述检测孔的内侧面具有相嵌固定所述检测用圆筒部的外侧面的凹部或凸部。

5.如权利要求1所述的应变传感器，其特征在于，所述第1固定部件含有压入所述第1固定孔中并与所述传感器基板的上面相接的第1上侧垫圈、和压入所述第1固定孔中并与所述传感器基板的下面相接的第1下侧垫圈；所述第2固定部件含有压入所述第2固定孔中并与所述传感器基板的上面相接的第2上侧垫圈、和压入所述第2固定孔中并与所述传感器基板的下面接触的第2下侧垫圈；并且，所述检测部件含有压入所述检测孔中并与所述传感器基板的上面相接的检测部上侧垫圈、和压入所述检测孔中并与所述传感器基板的下面相接的检测部下侧垫圈。

6.如权利要求5所述的应变传感器，其特征在于，所述第1上侧垫圈和所述第1下侧垫圈分别具有凹部或凸部，所述第1固定孔具有凸部或凹部；所述第1上侧垫圈和所述第1下侧垫圈中的凹部与所述第1固定孔的凸部配合，或者，所述第1上侧垫圈和所述第1下侧垫圈中的凸部分别与所述第1固定孔的凹部配合；所述第2上侧垫圈和所述第2下侧垫圈分别具有凹部或凸部，所述第2固定孔具有凸部或凹部；所述第2上侧垫圈和所述第2下侧垫圈中的凹部与所述第2固定孔的凸部配合，或者，所述第2上侧垫圈和所述第2下侧垫圈中的凸部与所述第2固定孔的凹部配合；所述上侧垫圈和所述检测部下侧垫圈分别具有凹部或凸部，所述检测孔具有凸部或凹部；所述检测部上侧垫圈和所述检测部下侧垫圈中的凹部与所述检测孔的凸部配合，或者，所述检测部上侧垫圈和所述检测部下侧垫圈中的凸部与所述检测孔的凹部配合。

7.如权利要求5所述的应变传感器，其特征在于，所述第1上侧垫圈、所述第1下侧垫圈、所述第2上侧垫圈、所述第2下侧垫圈、所述检测部上侧垫圈和所述检测部下侧垫圈在与所述传感器基板接触的检测部的内侧具有退让槽。

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