JP2014044180A - 歪みセンサモジュール - Google Patents

歪みセンサモジュール Download PDF

Info

Publication number
JP2014044180A
JP2014044180A JP2012188239A JP2012188239A JP2014044180A JP 2014044180 A JP2014044180 A JP 2014044180A JP 2012188239 A JP2012188239 A JP 2012188239A JP 2012188239 A JP2012188239 A JP 2012188239A JP 2014044180 A JP2014044180 A JP 2014044180A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
strain
strain sensor
plate
sensor module
deformation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2012188239A
Other languages
English (en)
Inventor
Eiichiro Ohata
英一郎 大畠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Astemo Ltd
Original Assignee
Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Automotive Systems Ltd filed Critical Hitachi Automotive Systems Ltd
Priority to JP2012188239A priority Critical patent/JP2014044180A/ja
Publication of JP2014044180A publication Critical patent/JP2014044180A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Abstract

【課題】ドアパネル等の対象物の外力による変形を検出するとともに、過大な変形による歪みセンサ3の損傷を回避できるようにする。
【解決手段】歪みセンサモジュール1は、回路基板からなる起歪板2と、半導体型歪みセンサ3と、回路部4と、コネクタ5と、を有し、中央の取付ネジ6の1点において対象物に取り付けられる。起歪板2の一端部2aには、突起部材11によって突起部が形成されているので、取付ネジ6で固定した初期状態では、起歪板2が僅かに撓み、プリロードが与えられる。対象物が外力により起歪板2へ向かって凸となる方向に変形すると、歪みセンサ3に生じていた歪みが減少するので、対象物の変形が検出される。対象物が同方向に過度に変形しても、起歪板2は撓まないので、歪みセンサ3の損傷は生じない。
【選択図】図1

Description

この発明は、セキュリティシステム等に好適な歪みセンサモジュールに関する。
例えばドア等が不審者により無理やりに開かれたことを検出するために、従来は、振動センサが多く用いられている(特許文献1)。しかし、この種の振動センサは、外部から加わった衝撃による加速度に応答するものであるため、例えば外力が比較的緩やかに加えられてドアパネル等が徐々に変形していくような場合には、その異常を必ずしも検知できない。
そのため、このような態様の異常の検知のために、外力によるドアパネル等の歪みの発生を監視することが検討されている。
ここで、近年、従前の抵抗線式ストレインゲージに代えて、半導体基板に複数の拡散抵抗からなるホイートストンブリッジ回路を形成するとともに、増幅回路を同じ基板上に形成した半導体型歪みセンサが本出願人らによって種々提案されている(例えば特許文献2参照)。
特許文献3は、肉薄部を有する起歪部材にストレインゲージの抵抗線を貼着してなるストレインゲージ式ロードセルにおいて、起歪部材を塑性変形が生じないセラミックにて形成することを開示している。
特開2009−277212号公報 特開2005−114443号公報 特開昭63−273029号公報
上記の半導体型歪みセンサは、従前の抵抗線式ストレインゲージに比べて遙かに感度が高く、外力によるドアパネル等対象物の変形つまり歪みを精度よく検出することが可能であるが、その反面、脆い薄肉の半導体チップとして構成されているため、過大な変形には追従できず、特に引張や曲げ方向の力に対しては、損傷し易い、という欠点がある。
なお、特許文献3では、肉薄部を有する中空の起歪部材を用いる構成であり、対象物に取り付けてその歪み検出を行う用途には適用することができない。
この発明は、対象物の表面に取り付けられる起歪板と、この起歪板の歪みに応答するように該起歪板に支持された歪みセンサと、を備え、上記対象物の特定の方向の変形を検出する歪みセンサモジュールであって、上記起歪板が上記対象物に対し1点で固定されるとともに、この固定点と上記起歪板の一端部との間に上記歪みセンサが配置されていることを特徴としている。
すなわち、上記構成では、基本的には、対象物が外力によって変形すると、該対象物の表面に取り付けられた起歪板が同様に撓み、これに応じて、歪みセンサの出力信号が変化する。これによって、対象物の変形が検出される。
しかし、上記起歪板は、対象物に対し1点で固定されているため、対象物が起歪板へ向かって凸となる方向へ変形したときには、起歪板の上記一端部が対象物の表面から離れようとする。そのため、この方向で対象物の過大な変形があったとしても、歪みセンサに過大な歪みや曲げ力が作用することがなく、歪みセンサの損傷は生じない。
本発明では、対象物が変形していない初期状態において起歪板にプリロードを与えるか否かによって、検出し得る対象物の変形方向が定まる。
本発明の一つの態様では、起歪板の上記一端部に、対象物に局部的に接する突起部を備えており、上記固定点で固定したときに上記突起部により起歪板にプリロードが与えられる。つまり、起歪板の一部が固定点において対象物の表面に接した状態に固定されるのに対し、上記一端部が上記突起部によって持ち上げられた形となり、これにより起歪板にプリロードが与えられる。従って、このプリロードによる起歪板の初期歪みに対応した出力信号が初期状態(つまり対象物が変形していない状態)において得られる。
この場合、対象物が起歪板へ向かって凸となる方向へ変形したときに、突起部が相対的に対象物の表面から離れる方向へ移動することとなるので、上記プリロードひいては初期歪みが減少する。突起部が対象物の表面から完全に離れれば、起歪板の歪みは0となる。
従って、上記プリロードによる上記起歪板の初期歪みの減少に基づいて、上記対象物の変形を検出することができる。
他方、本発明の他の態様では、プリロードを特に与えることなく、初期状態で起歪板が対象物の表面に自然に接した状態となって用いられる。この場合、対象物が起歪板とは反対側へ凸となる方向に変形すると、これに追従して起歪板が撓み変形し、その歪みに応じた出力信号が得られる。これにより、対象物の変形が検出される。
上記起歪板としては、金属板や硬質合成樹脂板など適宜な材料からなるものを用いることができる。好ましい一つの例では、起歪板が弾性変形可能な回路基板から形成されている。つまり、歪みセンサや必要な回路部品等を実装した回路基板そのものを起歪板とすることができ、歪みセンサモジュールの簡素化が図れる。
この発明によれば、対象物の外力による変形を確実に検出することができる。そして、対象物が起歪板へ向かって凸となる方向へ大きく変形したとしても、歪みセンサが損傷を来すことがなく、歪みセンサを確実に保護することができる。
この発明に係る歪みセンサモジュールの一実施例を示す斜視図。 この歪みセンサモジュールを対象物に取り付けた状態を示す側面図。 対象物が矢印A方向の外力で変形した状態の説明図。 対象物に作用した荷重と歪みセンサ出力との関係を示した特性図。 (A)外力により出力が変化したときと(B)センサ損傷により出力が変化したときとを対比して示した特性図。 歪みセンサの両側の2点で固定した比較例の説明図。 この発明に係る歪みセンサモジュールの第2の実施例を示す斜視図。 この歪みセンサモジュールを対象物に取り付けた状態を示す側面図。 対象物が矢印B方向の外力で変形した状態の説明図。 対象物が矢印A方向の外力で変形した状態の説明図。 対象物に作用した荷重と歪みセンサ出力との関係を示した特性図。
図1は、この発明に係る歪みセンサモジュール1の一実施例を示している。この歪みセンサモジュール1は、必要な配線を備えた回路基板からなる起歪板2と、この起歪板2の表面に接着やハンダ付け等により固定された歪みセンサ3と、1チップマイクロコンピュータを含む回路部4と、外部配線との接続を行うコネクタ5と、を備えている。
上記起歪板2を構成する回路基板は、例えば銅板の表面に印刷回路の層を備えたいわゆるメタルベース基板からなり、少なくとも歪みセンサ3による検出範囲の変位については弾性変形となるように、起歪板として必要な弾性を備えている。この起歪板2は、平坦な帯状をなし、その長手方向の略中央部に、該起歪板2をドアパネル等の対象物21(図2参照)の表面に取り付けるための単一の取付ネジ6が設けられている。そして、この取付ネジ6が配置されている部分を含めて長手方向の一端部2a側の部分は幅が狭く形成されており、かつ他端部2b側の部分は幅が広くなっている。このように幅広となっている領域の表面に上記回路部4ならびにコネクタ5が配置されている。
上記歪みセンサ3は、例えば特許文献2に開示されているように半導体基板に複数の拡散抵抗からなるホイートストンブリッジ回路を形成するとともに、増幅回路を同じ基板上に形成した半導体型歪みセンサからなり、例えば数mm角程度の1つのチップとして構成されている。この歪みセンサ3は、起歪板2の一端部2a側の部分つまり幅が狭い領域に配置されており、取付ネジ6よりも一端部2a寄りに位置している。なお、上記のような半導体型歪みセンサは、特定の方向(一般には互いに直交する2方向)に沿った歪みに対し高い感度を有しているが、この歪み検出方向が上記起歪板2の長手方向の撓みに対応するように、歪みセンサ3が配置されている。なお、図示例はコネクタ5を介して有線で歪みセンサモジュール1が外部機器に接続されるが、電池またはワイヤレス方式の給電ならびに出力信号の送受信を行うように構成することも可能である。
ここで、本実施例の歪みセンサモジュール1は、初期状態で起歪板2にプリロードを与える構成となっており、そのために、起歪板2の一端部2aに、ネジあるいはリベット等からなる突起部材11が取り付けられている。この突起部材11は、起歪板2に設けた孔を貫通しているとともに、先端が起歪板2の裏面つまり取付面2c(図2,3参照)から僅かに突出しており、突起部11a(図2,3参照)を構成している。
取付ネジ6、歪みセンサ3および突起部11aの三者は、起歪板2の長手方向の中心線に沿うように一列に並んで配置されており、図示例では、取付ネジ6と突起部11aとの間の略中央に歪みセンサ3が位置している。なお、起歪板2の裏面つまり取付面2cは、突起部11aと取付ネジ6とを除いて、凹凸のない平面をなしている。
上記のように構成された歪みセンサモジュール1は、図2に示すように、ドアパネル等の対象物21の平坦な表面21aに取付ネジ6によって取り付けられる。なお、歪みセンサモジュール1の回転防止等のために起歪板2のコネクタ5寄りの部分を補助的に固定するようにしてもよい。
取付ネジ6を締め付けることによって起歪板2の取付面2cは対象物21の表面21aに密接する。しかし、この実施例では、起歪板2の一端部2a寄りに突起部11aが存在するので、該突起部11aが対象物21の表面21aに接し、この結果、その付近の起歪板2の一端部2aは、図2に示すように、対象物21の表面21aから僅かに浮き上がる。これにより、起歪板2は初期状態において僅かに撓み、プリロードが与えられた状態となる。このとき、歪みセンサ3からは、このプリロードに対応した歪みの大きさを示す出力信号が得られる。
このような初期状態から対象物21が図2の矢印A方向に外力を受け、該対象物21が起歪板2へ向かって凸となる方向へ変形すると、図3に示すように突起部11aが対象物21の表面21aから離れようとし、プリロードによる起歪板2の撓みが減少していく。そして、最終的には、突起部11aが対象物21の表面21aから完全に離れ、起歪板2の撓みが実質的に0となって、歪みセンサ3からは、この歪み0を示す出力信号が得られる。
図4は、上記歪みセンサモジュール1から得られる出力信号の特性を示している。図の縦軸は、対象物21に加わった荷重の大きさを示しており、荷重0よりも下側が上記の矢印A方向の荷重に相当し、荷重0よりも上側が逆方向つまり図2の矢印B方向の荷重に相当する。横軸は、起歪板2の歪みに対応する出力信号の大きさを模式的に示しており、ここでは、便宜上、伸び方向の歪みを受けると出力が大となり、これとは逆の圧縮方向の歪みを受けると出力が低下するものとして示しているが、これとは逆の特性とすることも可能である。図中のa点が初期状態(対象物21の荷重が0)の特性であり、前述したように、歪みセンサ3は、プリロードに対応した歪みを示す。b点は、対象物21の変形に伴って突起部11aが対象物21の表面21aから離れる瞬間に相当し、これよりも対象物21の変形が増加しても歪みセンサ3の出力信号は変化しない。換言すれば、このときの出力信号が、歪みセンサ3の歪み0に対応する。
図3は、対象物21が矢印A方向の外力によって大きく変形した状態を示しているが、このように対象物21が過大に変形しても、歪みセンサモジュール1は取付ネジ6の1点のみで対象物21に固定されていることから、起歪板2は何ら撓むことがない。従って、歪みセンサ3に過大な力が作用することはなく、歪みセンサ3の損傷が確実に回避される。
仮に、図6に例示するように起歪板2が歪みセンサ3の両側の2点で対象物21に固定されていたとすると、矢印A方向の過大な外力により対象物21が大きく変形したときに、起歪板2が同様に大きく撓むため、脆弱な歪みセンサ3が損傷(チップの破断や断線など)する。特に、図示する方向の対象物21の変形では、歪みセンサ3に曲げと引張方向の荷重が作用するため、より損傷を生じやすい。
なお、この実施例の歪みセンサモジュール1は、対象物21が矢印A方向とは逆方向つまり図2の矢印B方向に外力を受けることは基本的に想定していない。但し、図4に示すように、ある程度の変形までは、起歪板2の撓みが増加するに伴って対象物21の変形に応じた出力信号が得られる。図4の特性例では、c点において歪みセンサ3の損傷が生じてしまい、出力信号が0近傍の一定範囲内となる。従って、この実施例では、対象物21に作用する荷重として、図4に示すL1の範囲(b点〜c点の範囲に対応する)が計測可能範囲となる。
図5は、対象物21の変形と歪みセンサ3の損傷との識別について説明するものであり、歪みセンサ3の出力レベルがステップ的に変化したときに、(A)のようにセンサ出力があるレベルに留まっていれば、対象物21の変形であると判断することができる。これに対し、(B)のようにセンサ出力が0付近まで低下した場合には、歪みセンサ3の損傷ないし断線等の異常であると判断することができる。なお、図4の例では、対象物21の変形に伴ってa点からb点へとセンサ出力が高くなるが、図5(A)では、理解を容易にするために、センサ出力が対象物21の変形に伴って低くなるように描いてある。
以上のように、上記実施例では、ドアパネル等の対象物21が外力によって変形(特に起歪板2へ向かって凸となる方向へ変形)したことを歪みセンサ3によって確実に検出することができる。特に、防犯用途で多用される振動センサと異なり、徐々に外力を加えて対象物21を変形させていったような場合でも、確実な検出が可能である。また歪みセンサモジュール1としてモジュール化したものを対象物21の適当な位置に取り付ければよいので、極めて容易に適用できる。そして、対象物21が外力によって過度に変形したような場合でも、歪みセンサ3の損傷を確実に回避することができる。
次に、図7および図8は、この発明の第2の実施例を示している。この実施例は、初期状態でプリロードを与えることなく用いるようにしたものであって、歪みセンサモジュール101は、図7に示すように、起歪板2の一端部2aに突起部材11を備えていない。この相違点以外は、基本的に前述した第1の実施例の歪みセンサモジュール1と同一の構成を有している。起歪板2の裏面つまり取付面2cは、取付ネジ6を除いて、凹凸のない平面をなしている。
上記の歪みセンサモジュール101は、中央の取付ネジ6によって対象物21の表面21aに取り付けられる。この第2の実施例では、前述した突起部11aを具備しないことから、図8に示すように、起歪板2の取付面2cの全体が対象物21の表面21aに密接し、起歪板2は撓んでいない状態となる。つまり初期状態では、歪みセンサ3の歪みは実質的に0であり、図11のd点で示すような歪み0に対応した出力信号が得られる。
図9は、対象物21が図8の矢印B方向に外力を受けて、該対象物21が起歪板2とは反対側へ向かって凸となるように変形した状態を示している。この方向の対象物21の変形においては、取付ネジ6によって対象物21に固定されている起歪板2が対象物21に追従して撓み、歪みセンサ3に圧縮方向の歪みが生じる。これにより、図11のd点からe点へ向かって出力信号が変化する。なお、対象物21が上記の方向に過度に大きく変形すると、歪みセンサ3の損傷が生じ得る。図11の特性例では、e点において歪みセンサ3の損傷が生じ、出力信号が0近傍の一定範囲内となる。
一方、図10は、図9とは反対方向つまり図8の矢印A方向の外力が対象物21に作用し、該対象物21が起歪板2へ向かって凸となる方向へ変形したときの状態を示している。この方向への対象物21の変形においては、図示するように対象物21の表面21aが起歪板2の取付面2cから離れるため、起歪板2の撓みは生じない。そのため、前述した実施例と同様に、この方向へ対象物21が過度に変形したとしても、歪みセンサ3の損傷が生じることがない。なお、この図10の方向の変形は、この第2の実施例の歪みセンサモジュール101では検出できない。従って、この第2の実施例では、対象物21に作用する荷重として、図11に示すL2の範囲(d点〜e点の範囲に対応する)が計測可能範囲となる。
このように、上述した2つの実施例は、対象物21に対し同一の面に取り付けるものと仮定すれば、それぞれ逆方向の変形を検出することができる。実際の適用に際しては、用途や適用箇所等に応じて、2つの異なる形式の歪みセンサモジュール1,101を組み合わせて用いたり、同じ対象物21の両側に適当に配置することも可能である。なお、第1の実施例の歪みセンサモジュール1と第2の実施例の歪みセンサモジュール101とは突起部材11の有無のみが異なるので、起歪板2そのものを、その他の部品と同様に両者に共通なものとすることもでき、突起部材11を装着するか否かによって、その検出態様を選択するようにすることもできる。
以上、この発明の一実施例を説明したが、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。例えば、図1の実施例では、ネジやリベット等からなる突起部材11を用いているが、接着あるいはハンダ付け等によって起歪板2の取付面2cに突起部を形成してもよく、あるいは、起歪板2そのものの一部に段部を形成して突起部とすることもできる。また、起歪板2として回路基板とは別に適宜な材質の板状部材を用い、これに回路基板を固定するようにしてもよい。なお、この発明の歪みセンサモジュールは、建物のドアや窓、自動販売機等のドアや外装パネル、等におけるセキュリティ用途に適しているが、その他、種々の部材の何らかの原因による変形を検出する用途に広く適用することができる。
1,101…歪みセンサモジュール
2…起歪板
3…歪みセンサ
4…回路部
5…コネクタ
6…取付ネジ
11a…突起部

Claims (6)

  1. 対象物の表面に取り付けられる起歪板と、この起歪板の歪みに応答するように該起歪板に支持された歪みセンサと、を備え、上記対象物の特定の方向の変形を検出する歪みセンサモジュールであって、
    上記起歪板が上記対象物に対し1点で固定されるとともに、この固定点と上記起歪板の一端部との間に上記歪みセンサが配置されていることを特徴とする歪みセンサモジュール。
  2. 上記一端部に、上記対象物に局部的に接する突起部を備え、上記固定点で固定したときに上記突起部により上記起歪板にプリロードが与えられることを特徴とする請求項1に記載の歪みセンサモジュール。
  3. 上記プリロードによる上記起歪板の初期歪みの減少に基づいて、上記対象物の変形を検出することを特徴とする請求項2に記載の歪みセンサモジュール。
  4. 上記対象物が上記起歪板とは反対側へ凸となる方向への上記対象物の変形を検出することを特徴とする請求項1に記載の歪みセンサモジュール。
  5. 上記起歪板が、弾性変形可能な回路基板から形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の歪みセンサモジュール。
  6. 上記対象物が上記起歪板側へ凸となる方向と上記起歪板とは反対側へ凸となる方向への上記対象物の変形を検出することを特徴とする請求項1に記載の歪みセンサモジュール。
JP2012188239A 2012-08-29 2012-08-29 歪みセンサモジュール Pending JP2014044180A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012188239A JP2014044180A (ja) 2012-08-29 2012-08-29 歪みセンサモジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012188239A JP2014044180A (ja) 2012-08-29 2012-08-29 歪みセンサモジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014044180A true JP2014044180A (ja) 2014-03-13

Family

ID=50395536

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012188239A Pending JP2014044180A (ja) 2012-08-29 2012-08-29 歪みセンサモジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2014044180A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016169960A (ja) * 2015-03-11 2016-09-23 アルプス電気株式会社 荷重センサおよび荷重検出装置
JP2019215270A (ja) * 2018-06-13 2019-12-19 アルプスアルパイン株式会社 踏力検出装置
US11015992B2 (en) 2017-08-07 2021-05-25 Alps Alpine Co., Ltd. Load sensor unit and input device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109807U (ja) * 1979-01-29 1980-08-01
JPS57132207U (ja) * 1981-02-13 1982-08-18
JPS6188121A (ja) * 1984-10-05 1986-05-06 Nippon Denso Co Ltd 圧力変換器
JPH0342540A (ja) * 1989-07-11 1991-02-22 Nippon Soken Inc 圧力検出器
JP2000508425A (ja) * 1996-04-13 2000-07-04 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力センサ
JP2003083707A (ja) * 2001-09-14 2003-03-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪センサ

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS55109807U (ja) * 1979-01-29 1980-08-01
JPS57132207U (ja) * 1981-02-13 1982-08-18
JPS6188121A (ja) * 1984-10-05 1986-05-06 Nippon Denso Co Ltd 圧力変換器
JPH0342540A (ja) * 1989-07-11 1991-02-22 Nippon Soken Inc 圧力検出器
JP2000508425A (ja) * 1996-04-13 2000-07-04 ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング 圧力センサ
JP2003083707A (ja) * 2001-09-14 2003-03-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 歪センサ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2016169960A (ja) * 2015-03-11 2016-09-23 アルプス電気株式会社 荷重センサおよび荷重検出装置
US11015992B2 (en) 2017-08-07 2021-05-25 Alps Alpine Co., Ltd. Load sensor unit and input device
JP2019215270A (ja) * 2018-06-13 2019-12-19 アルプスアルパイン株式会社 踏力検出装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7404330B2 (en) Pressure sensor
US7490523B2 (en) Occupant load detecting device of seat for vehicle
US10060815B2 (en) Pressure sensor
WO2012160844A1 (ja) 荷重検出装置及び前記荷重検出装置を用いた電子機器、ならびに荷重検出装置の製造方法
KR102398552B1 (ko) 벤딩 센싱 장치를 갖는 연성 표시장치
EP1956355A1 (en) Strain-inducing body, capacitance-type force sensor, and capacitance-type acceleration sensor
US20100251834A1 (en) Load sensor
JP2014044180A (ja) 歪みセンサモジュール
CN109959359A (zh) 应变传感器、多轴力传感器及机器人
US8141431B2 (en) Load sensor having load detection element and support element and method for manufacturing the same
WO2019116817A1 (ja) 荷重センサおよび電動ブレーキ
US11860050B2 (en) Load detector
JP2014044181A (ja) 歪みセンサーモジュール
TW202026113A (zh) 扭力壓力感測裝置及電動起子
US8960024B2 (en) Diaphragm type displacement sensor detecting moment
CN210405431U (zh) 一种按键结构及移动终端
JP2007315921A (ja) 静電容量式センサ
JP4475134B2 (ja) 荷重検出装置
JP6048291B2 (ja) センサ装置
US20150253349A1 (en) Acceleration sensor
JP5445384B2 (ja) 空気流量測定装置
CN113049070A (zh) 一种力传感器
EP4019921A1 (en) Force detector and force detection system
JP2019010721A (ja) エンドエフェクタ
JP2012118005A (ja) ロードセル

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20140513

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20150128

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150203

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150403

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20150630