CN1479932A - 等离子体显示屏及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的是在确保亮度的同时，改善排气特性。本发明的特征在于：在将多个单元于第一基板(107)的表面上隔开的第一障壁(112)和第二障壁(113)分别以条状相互交叉而形成、并使第二基板的表面与该第一障壁的顶部相向配置而构成的等离子体显示屏中，相当于第一障壁和第二障壁的交叉部分的区域(112b)中存在各障壁的高度低于其余的第一障壁(112a)高度的部分。

Description

等离子体显示屏及其制造方法
技术领域
本发明涉及等离子体显示屏及其制造方法。
技术背景
近年来以高清晰度电视为代表，对于高品位、大画面显示的期待正在提高，在CRT、液晶显示(LCD)和等离子体显示屏(PDP)各显示领域中正在不负期待地进行研究开发。
一直以来，作为电视显示而广泛普及的CRT在分辨率和画质上是优良的，但它有厚度和重量随画面增大而增加的缺点，对于40英寸以上的大画面是不适合的。
而LCD功耗小，具有能够避免厚度和重量问题的优点，但视角受到限制，实际上在大画面化等方面存在要改善的问题。
与上述CRT和LCD相比，PDP尽管厚度薄，却较易实现大画面化，其50英寸级别的产品也正在商品化。
传统的PDP一般是图7所示的3电极面放电型PDP。
该图所示的PDP是将前板101和后板106对置，在前板101的内表面上以2根电极为一对的多对相互平行的显示电极103分布排列而形成，在显示电极103上覆盖由低介质玻璃组成的膜厚为40μm的介质层104。然后，在介质层104的表面上形成厚度800nm的MgO膜，作为保护膜105。MgO膜的形成方法一般采用蒸镀法、溅镀法。
而在背板106的内表面上平行地配置多个隔开放电空间的障壁112和地址(数据)电极108，确保相邻的障壁112和上述保护膜105之间作为放电空间。在相邻的障壁112之间涂敷对应于RGB中一种颜色的荧光粉111。
前板101和背板106相互对向而重合后，其周围封接，使放电空间内排气，然后将混入百分之几体积氙气的氖混合气体作为放电气体而封入。
这样构成的3电极面放电型PDP114，通过在地址电极108和显示电极103上按适当的定时施加电压，在以障壁112隔开的相当于显示像素的放电空间115中引起放电，产生由氙气发出的紫外线。因紫外线而激发的荧光粉发出可见光，从而能显示图像。
如上述，面放电型PDP具有两块基板重合的简单结构。
然而在上述传统的PDP结构中，如图8的背板透视图所示，由于以线状形成多个障壁112，因此在制造时在放电空间内的排气工序中排气特性良好，但相反地，被涂敷荧光粉的障壁面积受到限制，在提高亮度中存在不能确保荧光粉的面积足够大的的缺点。
最近为了对此加以改善，进行着研究障壁形状的试验。
例如在图9的透视图所示的背板中，为了分别单个地围住各单元的放电空间而配置线状障壁112和与之交叉的障壁113。在这里障壁113的高度设定低于与之相邻的障壁112的高度。通过这样设置障壁113，进行一边维持相邻的两个障壁112之间的排气特性、一边利用障壁113的表面而使荧光粉面积增加的试验。
而其它的例子有以线状障壁部和以相邻的两个障壁形成蜂窝状构造的蜂窝部而构成障壁的例子。采用这种结构，与上述图8的障壁构造同样，目标是一边维持排气特性、一边通过实际上扩大放电空间使亮度提高(IDW′99 Proceeding of The Sixth InternationalDisplay Workshops：第六届国际显示器讨论会IDW’99会议录)。
但是，在上例中虽然可基本充分确保亮度，但排气特性仍有改善的余地。也就是说，尽管如上例那样设法解决，在排气工序中仍往往不能迅速、充分地排气。结果，在排气工序中应除去的残留物仍淀积在PDP内，成为画质闪烁等的原因，对于显示良好的图像会成为障碍。
因此，有必要尽快解决该课题。
发明内容
为了解决上述问题，本发明这样设置：在第一基板的表面上将多个单元隔开的第一障壁和第二障壁分别以条状相互交叉而形成的、第二基板的表面对着该第一障壁的顶部构成的等离子体显示屏中，存在第一障壁和第二障壁交叉部分的区域中的各障壁的高度低于这以外的第一障壁高度的部分。
这样，通过在第一障壁和第二障壁的高度上设置高度不同的部分，能在由第一基板和第二基板相夹而成的内部良好地确保通气孔，所以能够从沿第一障壁的方向和第一障壁与第二障壁交叉部分的区域这两处迅速排气。结果在等离子体显示屏的制造工序中能够缩短排气工序的时间，同时能将屏内的残留物几乎不残留地除去，能够提供具有优良显示性能的等离子体显示屏。
再有，上述第二障壁的顶部可以较低，低到跟上述交叉部分的区域相同的程度，且可以比第一障壁厚。由此，在等离子体显示屏的制造工序中对于第一障壁和第二障壁的高度方面，能良好地形成高度不同的部分，因此能满足要求。
并且，在上述等离子体显示屏的制造工序中沿着对应于1个单元的、在1个单元中相邻的两个第一障壁的障壁的厚度方向上的形状，也可以采用相互对称的梯形状。因此，就能确保在以梯形状扩大的部分面积中的荧光粉的涂敷面积，更有效地提高屏的亮度。
另外，本发明也可以在第二基板的和第一基板对置的表面上、与第一障壁和第二障壁交叉部分的适当区域高度适应地以条状形成凸部，在该凸部的顶部和与之对置的第一障壁与第二障壁之间设置间隙。这样通过在第一基板表面上形成凸部，由于可以抑制各单元的交叉干扰，因此能提供具有优良显示性能和微细单元结构的等离子体显示屏。
并且，本发明也可以具有这样的结构：在第一基板的表面上形成以各个六边形蜂窝状划分多个单元的障壁，并使第二基板的表面与该障壁的顶部对置而构成的等离子体显示屏中，为了连通由上述障壁分割的放电空间，由相邻的3个单元共有的障壁上与第二基板对置的障壁部分开有缺口，由此来设置通气孔。采用这种结构，也具有和上述结构基本相同的效果。而通过以六边形蜂窝状障壁隔开单元，也可以作成高精细的等离子体显示屏。
另外，如果上述等离子体显示屏采用如下结构的等离子体显示屏显示装置：在第一基板的表面上设多个地址电极和在第二基板的表面上设多个显示电极，使这些电极相互交叉而对置配置，并设置用于驱动各地址电极的地址电极驱动电路和用于驱动各显示电极的显示电极驱动电路，以及用于控制上述两个电路的控制部分；则本发明能够提供一种带有排气特性和显示性能比传统的装置显著提高的等离子体显示屏的显示装置。
这里，作为在第一基板的表面上形成障壁、中间隔着该障壁与第一基板对置地配置第二基板来构成等离子体显示屏的制造方法，可以先在第一基板表面上形成含玻璃的层，并在障壁形成时采用喷砂法，使喷射速率变化来形成其高度部分地不同的障壁来制造上述等离子体显示屏。
并且，作为在第一基板的表面上形成障壁、中间隔着该障壁与第一基板对置地配置第二基板的等离子体显示屏的制造方法，可以在上述障壁形成时在第一基板表面上通过光刻法形成含有第一障壁的一部分和第二障壁的障壁，然后在含有该第一障壁的障壁上再次通过光刻法形成高度与上述第二障壁不同的残存的第一障壁来制造。
另外，作为在第一基板的表面上形成障壁、中间隔着该障壁与第一基板对置地配置第二基板的等离子体显示屏的制造方法，可以通过在第一基板的表面上涂敷第一障壁材料，同时再与之交叉地涂敷障壁宽度大于上述第一障壁的第二障壁材料，然后进行烧结工序，该烧结工序中在第一障壁材料与第二障壁材料交叉的部分由于第二障壁材料将第一障壁材料拉扯进来，从而在第一障壁材料的高度上形成凹凸。
本发明旨在解决上述传统的问题点，在利用障壁的厚度方向来提高排气特性的同时，提高亮度并降低功耗。一直以来，为了使各像素中形成的带电粒子不移动到相邻的像素中，通常是使障壁密合在对置的玻璃面上，但也存在障壁之间的连接部分较难受到其影响的部分。并且，由于障壁之间的连接部分通常是粘合两块基板时的重要骨架部分，因此过去避免将底部降低。不过，为了与对置的基板连接，障壁的其它部分都具有均匀的高度，通过仅使连接部分降低，可以不必设置用于排气的通路。结果，能使亮度和排气特性同时得到改善。
而通过在制造上在障壁形状上进行研究，目的在于提供一种可以用简单的方法来形成的方法。
为了实现上述目的，本发明的特征在于：设有放电气体空间、夹着此放电气体空间的两块绝缘基板，以及隔开放电气体空间而使像素与像素分离的障壁，上述障壁使相邻的像素单个隔离，各障壁之间连接的部分的障壁高度较低。通过在障壁的连接部分上设置凹部，能够得到对于相邻之间的误放电也使强排气时的气导减小的结构。而这种结构不仅对于矩形障壁，而且对于蜂窝状等多边形结构的障壁也是非常有效的。这里，相邻的单元之间的上述障壁连接部分最好至少有2处障壁的高度较低。
并且，本发明的特征在于：设有放电气体空间，夹着此放电气体空间的两块绝缘基板，以及隔开放电气体空间而使像素与像素分离的障壁；在一块上述绝缘基板上形成由介质层覆盖表面的一对X电极、Y电极构成的线状的面放电电极而组成的面放电型等离子体显示屏中；上述障壁由与另一块上述绝缘基板上形成的面放电电极交叉地对置的障壁A和宽度大于与上述面放电电极平行形成的上述障壁A的障壁B构成，且上述障壁A和上述障壁B接合的部分的障壁高度较低。通过加入障壁粗的部分和细的部分，在障壁连接部分中可以较简单地形成凹部。这里，障壁B的高度最好低于障壁A。
并且，本发明的特征在于：设有本发明的第一或的等离子体显示屏，连接在用于驱动上述等离子体显示屏的多对上述行电极上的显示电极驱动电路，连接在用于选择上述等离子体显示屏各像素的地址电极上的地址电极驱动电路，以及用于分别控制上述显示电极驱动电路和上述地址电极驱动电路的控制部分。通过作成采用本发明等离子体显示屏的显示装置，能提供功耗低、亮度高的显示装置。
并且，为了实现上述目的，本发明的特征在于：在本发明第一～第二等离子体显示屏制造方法中，在形成障壁图案时采用喷砂法，利用被喷砂的面积不同且喷射速率不同，形成障壁的高度差。
另外，为了实现上述目的，本发明的特征在于：在等离子体显示屏的障壁的制造方法中，在形成障壁时采用感光浆，该方法由以下工序构成，首先使障壁A和障壁B形成图案至障壁B高度的工序，然后使障壁A形成图案至障壁A高度的工序。
另外，图1～6仅作为例子说明而列举的，但本发明并不以此为限。
附图说明
图1是表示实施例1的PDP的背板结构的透视图。
图2是表示实施例1的PDP的障壁形成方法的工序略图。
图3是实施例1的PDP的断面图(变形例)。
图4是表示实施例2的PDP的背板结构的透视图。
图5是表示实施例2的PDP的背板结构的透视图(变形例)。
图6是表示本发明的PDP的背板结构的透视图(变形例)。
图7是表示传统型PDP结构的透视图。
图8是表示传统型PDP障壁的概念图。
图9是表示传统型PDP障壁的概念图。
具体实施方式
<实施方式1>
图1是表示实施方式1的PDP的背板结构的透视图。本实施方式的主要特征在于该背板的形状。
以下以PDP各单元尺寸是360μm(x方向宽度)×1080μm(y方向宽度)为例进行说明。这些单元通过RGB三色配列而形成1080μm(x方向宽度)×1080μm(y方向宽度)的像素。
再有，在这里使用的尺寸仅是作为一个例子而列举的，本发明的PDP并不以此为限。
如此图所示，在背板106上形成沿y方向上延伸的条状障壁112，使相邻的单元在x方向上隔开。另外，在障壁112之间的沟上设置条状辅助障壁113，使相邻的单元在y方向上隔开。
在障壁(第一障壁)112中，形成与辅助障壁113交叉部分以外的区域112a较高、而与辅助障壁113交叉的区域112b较低的结构。
其中高度较高的障壁区域112a，其顶部表面作为与前板101侧面接触的区域而设置，该顶部面积大于障壁区域112b，从而充分确保与前板101侧面的接触面积。
另一方面，高度较低的障壁区域112b的配置位置对应于在y方向上相邻的两个单元之间。由此对应于障壁区域112b的放电空间在y方向上相邻的两个单元之间成为在x方向上连通。
并且，在配置相邻的两个障壁区域112b的各自之间配设长方体形第二(辅助)障壁113(高度60μm)。辅助障壁113的高度大致设定为与上述障壁区域112b相同(即以低于障壁区域112a的高度形成)。障壁112和辅助障壁113的各宽度分别是80μm和150μm。
根据以上结构，虽然各单元的放电空间在相邻的两个障壁112和相邻的两个辅助障壁113的内侧中已被其围住，但障壁112的区域112b和辅助障壁113不与前板101的侧面接触，由于形成通过相邻的障壁112间隙和y方向上相邻的单元间隙的通路，因此在整个屏上形成使放电空间在xy方向连通的结构。
所以，如果根据带有设置有障壁112和辅助障壁113的背板106的PDP，在PDP制造时的排气工序中由于可从x方向进行排气(即从障壁区域112b和前板101的间隙排气)，并加上过去仅在y方向排气，所以能更好地排气，能减少PDP内部的残留物量。结果就能制造在驱动时可显示优良图像的PDP。另外，如果将本实施例1中PDP作成在地址电极108上有地址电极驱动电路、在显示电极103上有显示电极驱动电路以及有用于控制此两个电路的控制部分的PDP显示装置，则能提供排气特性和显示性能均比传统的装置显著提高的PDP显示装置。
一直以来，为了在驱动时不使各单元中产生的带电粒子移动至相邻的单元中而引起交叉干扰，另外，从维持PDP骨架部分的强度的理由等考虑，障壁112的顶部一般作成与前板101的侧面密合的结构。但是如本实施例1那样，在具有障壁112和辅助障壁113这种障壁图案的情况下，由于这两个障壁的接合部分对驱动时的交叉干扰没有什么影响，因此在这部分中可以适当分别调节障壁112和辅助障壁113的高度。本发明正是着眼于这一点，同时实现了亮度提高和排气特性改善。
<实施方式1的PDP制造方法>
在这里说明实施方式1的PDP制造方法的一例。
再有，在这里说明的方法只是作为一例而举出的，本发明的PDP制造方法并不以此为限。
1.前板的制作
在由厚度约2.6mm的钠钙玻璃组成的前板玻璃102的面上制作显示电极。即通过在前板玻璃102上将银浆(作为一例是则武制NP-4028)印刷成膜厚5μm、宽度80μm的线状，并烧结，形成多个条状显示电极103。
然后，为了覆盖显示电极103，在前板玻璃102的面上用网板印刷法印刷包含有机粘结剂(含有10％乙基纤维素的α-萜品醇)、由重量比为75％PbO、15％B2O3、10％SiO2组成的铅系介质层用浆。然后干燥、烧结，得到厚度20μm的介质层104。
在介质层104上采用电子束蒸镀法形成0.5μm的MgO膜，作为保护膜105。
这样就制成了前板101。
2.后板的制作
在由厚度约2.6mm的钠钙玻璃组成的后板玻璃107上制作多个地址电极。
换言之，在背板玻璃107上按照膜厚5μm、宽度80μm的线状印刷银浆(作为一例是则武制NP-4028)，并烧结，得到多个条状地址电极108。在这里为了使作成的PDP为40英寸级别的NTSC或VGA，将相邻的两个地址电极的间隔设定在约0.4mm以下。
接着，从多个地址电极108上开始在背板玻璃107面上印刷和烧结银浆(作为一例是则武制NP-4028)，并烧结，形成厚度为20μm的介质膜109。
然后，在介质膜上形成本实施例1中有特征性的障壁112、113。这里所示的是适用于采用感光性树脂浆的网板印刷法的例子。
图2是依次表示此时工艺的工序图。
首先，在介质膜109上采用感光性的障壁用(感光性树脂)浆形成图案。即采用网版印刷感光性树脂浆，使浆的高度为130μm，并干燥(图2(b))。此时，相当于障壁112的部分的宽度和相当于辅助障壁113的部分的宽度分别设定为80μm和150μm。
然后，通过筛网状掩膜一起对与地址电极108相互平行的障壁112a和与地址电极相互垂直的障壁112b曝光和显影，形成图案(图2(c))。使它干燥，形成与辅助障壁113大致相当的部分和该辅助障壁113的高度相同的障壁112b(图2(d))。
接着，采用网板，将第二层感光性树脂浆涂在上述作成的障壁上。即进行印刷，使浆的高度合计为100μm(按照图2(b)的工序叠层浆)(图2(e))。然后通过不连续的条状图案掩膜，仅对与地址电极108平行的障壁112a部分的图案曝光和显影(图2(f))。使它干燥、烧结，形成相当于障壁112a的部分(图2(g))。此刻就形成相应于障壁112a、112b、113各高度的凹凸。
而且，在烧结时障壁112的较高部分的障壁112a的浆受到从较低部分的障壁112b和障壁113的浆的拉力，障壁112a的端部可平缓地形成连续在障壁112b的形状，上述凹凸成为稍带球形的形状。这种凹凸在障壁113的宽度大于障壁112的宽度的情况下能很好地形成，这已由发明者等人阐明。也就是，在这里烧结时采用的方法是利用宽度小的障壁受到宽度大的障壁拉扯而很好地形成障壁的凹凸。
通过采用以上工艺，如图1所示，可形成高度110μm的障壁112和高度60μm的辅助障壁113。
另外，在形成障壁112和辅助障壁113时，也可以考虑按照各自的障壁高度一次涂敷浆的方法，但实际上由于对位非常困难，所以是不现实的。
障壁形成后，在障壁的壁面和障壁之间露出的介质膜的表面上涂敷含有红色(R)荧光粉、绿色(G)荧光粉、蓝色(B)荧光粉的任何一种荧光粉的荧光粉浆，将它干燥、烧结后，使最终厚度约15μm，分别形成荧光粉层。
这里给出PDP中一般使用的荧光粉材料的一例：
红色荧光粉：    (YxGd1-x)BO3：Eu3+
绿色荧光粉：    Zn2SiO4：Mn3+
蓝色荧光粉：    BaMgAl10O17：Eu3+(或者BaMgAl14O23：Eu3+)
各种荧光粉材料，例如可以使用平均粒径约3μm左右的粉末。荧光粉浆的涂敷方法可考虑几种方法，但这里使用的方法是众所周知的、称作弯液面法的方法，即从极细的喷嘴一边形成弯液面(由表面张力形成的架桥)，一边喷出荧光粉浆的方法。这种方法很适合在需要的区域均匀地涂敷荧光粉浆。另外，本发明当然并不限定此种方法，网板印刷法等其他方法也可以使用。
这样就制成了后板。
另外，前板及后板是由钠钙玻璃构成的，但这只是作为材料的一个例子而已，除此以外的材料也可以使用。
3.封接、放电气体封入工序
在完成的背板106和前板101的周围涂敷封接玻璃，使两板对置而重合，加热后，将屏内部封接。
然后，使屏内部(放电空间115)减压、排气到1×10-4Pa。
此时，背板106上形成的障壁112，加上相邻的障壁112的间隙，能利用高度较低的障壁区域112b和前板101之间的间隙，从xy方向上一次排出大量的气体。这样在短时间里一边排气，一边将屏内部的残留物通过其间隙顺利除去，因此能使排气特性比过去显著提高。结果能很好地进行屏的排气工序，在屏内部几乎没有残留物残留。
然后在屏内部封入Ne-Xe系列的放电气体(95％体积的氖气和％5体积的氙气的混合气体)至66.5kPa，完成PDP 114的制作。
<实施例的实验>
这里，将上述实施方式1中PDP作为实施例1，对其进行性能实验。在其性能实验中制作以下所示的实施例2和比较例1、2，其PDP制造也同样进行。
(实施例2)
为了形成与上述实施方式1相同的PDP，采用喷砂法制作障壁112和辅助障壁113。以此作为实施例2。
(比较例1)
制作具有传统型障壁的PDP(参照图7)。障壁的制作方法采用与上述实施方式相同的光刻法。
(比较例2)
制作设有障壁112和辅助障壁113的PDP。此时，障壁112和辅助障壁113的高度同样设为80μm，其它的所有尺寸设定得与实施方式1大致相同。
用相同的驱动装置驱动上述实施例1、2和比较例1、2的PDP，表示其性能的各测定值如表1所示。表1
障壁特征 排气时间※1   亮度 色温 画质(闪烁)
实施例1 单个障壁   1分40秒 350cd/m2 9200K   无
实施例2 喷砂法   1分50秒 330cd/m2 9100K   无
比较例1 传统例(条状障壁)   1分20秒 270cd/m2 8600K   无
比较例2 单个障壁(无高低差)   4分50秒 360cd/m2 8000K   闪烁多
※1......屏内达到1×10-4Pa所需的时间
从表1所示的实施例1和实施例2的测定值可知，无论采用光刻法还是喷砂法形成障壁112和辅助障壁113，排气时间、亮度、色温和画质闪烁的减少等各种性能都显示优于比较例的良好结果。由此可知本发明的障壁112和辅助障壁113的制作方法可以是任何一种方法。但是，采用一般使用的光刻法或喷砂法，在便利性上是合适的。
并且，比较例1的排气虽然比实施例1和2稍快一些，但在亮度和色温的平衡上仍然是实施例1和2的好。
另外，在比较例2中排气时间与其它例子相比，需要约3倍时间，这可以认为是由于障壁112和辅助障壁113的高度相同，为了使它们平稳地与前板接触而未设置间隙，结果放电空间的排气变得非常困难。
<其它事项>
在上述实施例1中表示与前板101的障壁112、辅助障壁113对置的面为平面的例子，但本发明并不限于此，也可以作成在对应于高度较低的障壁112b辅助障壁113的位置上具有凸部的结构。在这里图3表示使介质层104的厚度对应于障壁112b辅助障壁113而突出成条状、形成凸部104a的例子。凸部104a和障壁112b间没有完全嵌合而可确保间隙，这样能在排气工序中迅速排气。
根据这种结构，加上实施例1的效果，从而可以确保各单元的放电空间的密闭性。所以如果在PDP驱动时进行一次放电，在单元内产生点火粒子等带电粒子，则上述粒子在放电空间内可以长时间维持，就能在连续于上述放电的放电中有效利用上述粒子，提高发光效率，与以前相比，能节省功耗，降低电压。
并且，通过使凸部104a形成条状，则在相邻的障壁112之间在y方向上相邻的单元之间能使空间隔开，也能得到抑制单元之间发生交叉干扰的效果。因此如果在高清晰度电视等的高精细单元结构中采用上述条状凸部104a，就能制成具有良好显示性能的PDP。
再有，这种条状凸部104a可以通过例如在以平面结构一次形成的介质层104上采用网板印刷法部分地重复涂敷并烧结介质玻璃浆而得到。
<实施方式2的构成>
图4是本实施方式2中PDP背板的透视图。
本实施方式2的特点在于：如此图所示，通过以六边形蜂窝状形成障壁112，使与该六边形角部的与前板101对置的各角成为缺口状，形成各六边形内部的放电空间相互连通的结构。此PDP各部尺寸的一例是：障壁112的高度为110μm，缺口部的高度为60μm，荧光粉的厚度为15μm。单元尺寸为0.54mm(x方向)×1.44mm(y方向)。
再有，在这里采用的尺寸仅是作为例子说明而已，本发明并不限于此。
根据这种蜂窝状障壁，与具有图7所示的传统条状障壁的PDP相比，由于障壁面积增大，因此可以在更大的障壁侧面上涂敷荧光粉，能使亮度提高。并且，通过以六边形蜂窝状障壁隔开单元，可形成高精细的等离子体显示屏。
并且，加上上述效果，由于被各蜂窝状障壁所围住的放电空间之间相互在几处连通，因此在制造时排气工序能非常顺利进行，在屏内几乎没有残留物残留，能制成良好的PDP。
<实施方式2的PDP制造方法>
作为整个PDP的制造方法与实施方式1大致相同，在这里说明蜂窝状障壁112的形成方法(以喷砂法为例)。再有，本发明当然也可以用其它的方法形成障壁112。
首先在背板106的介质膜109上，采用网板反复印刷、干燥含有形成障壁基础的玻璃浆的材料，涂敷到指定的膜厚形成为止。
接着，在其上叠层薄膜状的光刻胶膜，采用蜂窝状障壁的图案曝光、显影。此时，设定得使位于蜂窝状各角缺口以外的光刻胶膜的膜厚变厚。这样，形成障壁的材料顶部上被用抗蚀膜保护。
然后，在形成上述光刻胶膜之后，采用二氧化硅颗粒进行喷砂处理，形成障壁112的图案。在位于蜂窝状各角缺口的部分由于喷射速率相对于其它部分不同而削得深，形成所需的形状。将它烧结，完成图4所示的蜂窝状障壁112。
<实施例的实验>
在这里以上述实施方式2的PDP作为实施例3，对其进行性能实验。在其性能实验中制作以下所示的实施例4，其PDP也同样进行。
(实施例4)
形成与实施方式2相同的蜂窝状障壁，其各角的缺口数取为上述实施方式2的一半。
使实施例2和实施例4中制作的PDP用相同的工作电路进行显示，结果如表2。表2
障壁特征 排气时间※1   亮度 色温 画质(闪烁)
实施例3 蜂窝型障壁1 1分40秒 480cd/m2 9200K     无
实施例4 蜂窝型障壁2 2分 450cd/m2 8600K     无
比较例1 传统例(条状障壁) 1分20秒 270cd/m2 8600K     无
※1......屏内达到1×10-4Pa所需的时间
从表2可知，六边形蜂窝状障壁112的缺口数无论取为6个或3个，与比较例1相比，排气特性和亮度都显示良好的性能。特别与实施例1和2相比，亮度大幅提高，由于采用六边形蜂窝状障壁112隔开单元，可实现优良的显示性能。
<其它事项>
在实施例1和2中表示采用光刻法或喷砂法等形成障壁112和113的例子，但本发明并不限于此，采用印刷法和剥离(lift-off)法等形成障壁112和113也可以得到相同的结果。但是如果灵活运用喷砂法，由于能迅速、简单地制作障壁，因此是合适的。
再有，实施例1和2中障壁的尺寸当然并不限定于上述尺寸，可以根据屏的规格等适当变更。
另外，本发明并不将障壁的结构限定于实施例1和2，例如也可以如图6的背板透视图所示，在相邻的两个障壁112中使此两个障壁112的厚度方向的形状成为相互对称的梯形条状的结构，并且采用在此条状区域中设置辅助障壁113的结构。在这种情况下，为了相邻的两个障壁之间放电空间的沟通实现连通，可以在障壁112的各角上设置缺口。根据这种结构，也可以得到与上述实施例1和2相同的效果。
并且，对于本实施方式2的PDP，如果与具有用于在显示电极103上维持放电的显示电极驱动电路、用于在地址电极108上选择像素的地址电极驱动电路以及控制将图像信息供给各自像素的控制部分的显示装置相连接，作成PDP显示装置，则由于采用屏内部残留物比传统的PDP显著减少的PDP，因而能提供无闪烁、稳定的图像显示装置，因此是适合的。
工业上可利用性：
本申请的发明可以适用于电视，特别是可以适用于能再现高精细图像的高清晰度电视。

Claims (9)

1.一种等离子体显示屏，它是在第一基板的表面上相互交叉地形成用以隔开多个单元的条状的多个第一障壁和第二障壁，并隔着这些障壁与第二基板相对设置而成的等离子体显示屏，其特征在于：
在第一障壁和第二障壁交叉部分的适当区域，各障壁的高度低于第一基板和第二基板相对设置的间隔。
2.如权利要求1所述的等离子体显示屏，其特征在于：
所述第二障壁的顶部的降低程度与所述交叉部分的适当区域相同，且比第一障壁厚。
3.如权利要求1所述的等离子体显示屏，其特征在于：
位于一个单元的两侧的两个第一障壁的厚度方向的形状以相互对称的梯形状曲折地形成。
4.如权利要求1所述的等离子体显示屏，其特征在于：
在第二基板的和第一基板相对的表面上，与第一障壁和第二障壁交叉部分的适当区域的高度相适应地以条状形成凸部；
在该凸部的顶部和与之相对的第一障壁与第二障壁之间设置间隙。
5.一种等离子体显示屏，它是在第一基板的表面上形成以六边形蜂窝状分别隔开多个单元的障壁、并使第二基板的表面与该障壁的顶部相对设置而构成的等离子体显示屏，其特征在于：
为了连通由所述障壁隔开的放电空间，在三个相邻单元共有的障壁的交叉部分中、对应于各单元的三个或三个以上的交叉部分上的与第二基板相对的区域被开出切口。
6.一种等离子体显示屏显示装置，其特征在于，其中设有：
第一基板的表面上设置的多个地址电极和第二基板的表面上设置的多个显示电极相互交叉地相向配置而构成的权利要求1～或5所述的等离子体显示屏；
用以驱动各地址电极的地址电极驱动电路；
用以驱动各显示电极的显示电极驱动电路；以及
用以控制所述两个电路的控制部分。
7.一种等离子体显示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔着该障壁与第一基板相对地配置第二基板而构成的等离子体显示屏的制造方法，其特征在于：
在第一基板表面上预先形成含有玻璃的层，在障壁形成时采用喷砂法，通过使喷射速率变化来形成其高度部分地不同的障壁。
8.一种等离子体显示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔着该障壁与第一基板相对地配置第二基板而构成等离子体显示屏的制造方法，其特征在于：
在所述障壁形成时在第一基板表面上用光刻法形成含有第一障壁的一部分和第二障壁的障壁，然后在含有该第一障壁的障壁上再次通过光刻法形成高度与所述第二障壁不同的残存的第一障壁。
9.一种等离子体显示屏的制造方法，它是在第一基板的表面上形成障壁、隔着该障壁与第一基板相对地配置第二基板而构成等离子体显示屏的制造方法，其特征在于：
通过在第一基板的表面上涂敷第一障壁材料，同时涂敷与之交叉的、其障壁宽度大于所述第一障壁的障壁宽度的第二障壁材料，然后进行烧结工序；
在该烧结工序中，在第一障壁材料与第二障壁材料的交叉部分上由于第二障壁材料将第一障壁材料拉扯进来，从而在第一障壁材料的高度上形成凹凸。
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