JP2001110305A - プラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが
できる複雑な形状を有する隔壁の形成方法の提供。 【解決手段】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
壁材料層を形成し、マトリックスパターンのフォトマス
クを介して露光し現像することにより横隔壁と縦隔壁の
下層部分とを形成する。次に、基板に感光性隔壁材料を
全面塗工し第２隔壁材料層を形成し、ストライプパター
ンのフォトマスクを介して露光し現像し縦隔壁の上層部
分を形成する。そして、現像済みの横隔壁と縦隔壁の下
層部分と縦隔壁の上層部分とを合わせて焼成することに
より横隔壁と縦隔壁の全体を形成するプラズマディスプ
レイパネルの隔壁形成方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマディスプレ
イパネルの技術分野に属する。特に、プラズマディスプ
レイパネルの背面板に形成される隔壁の形成方法に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】カラー表示を行うプラズマディスプレイ
パネル（以降、略称として「ＰＤＰ」を併用する）では
背面板に平行線状に複数配列で形成される隔壁が形成さ
れる。隔壁と隔壁の間のアドレス電極上には蛍光面が設
けられる。各隔壁と隔壁の間の蛍光面にはＲＧＢ各色で
発光する蛍光体材料の１つが充填され、背面板はそのＲ
ＧＢ各色のストライプ状の蛍光面が３つから成る組を多
数配列した構造となる。

【０００３】図８はＡＣ型ＰＤＰの一構成例を示すもの
で、前面板と背面板を離した状態で示したもので、２枚
のガラス基板８０１、８０２が互いに平行に且つ対向し
て配設されており、両者は背面板となるガラス基板８０
２上に互いに平行に設けられた隔壁８０３により一定の
間隔に保持されている。前面板となるガラス基板８０１
の背面板側には、放電維持電極として、透明電極８０４
とバス電極としての金属電極８０５とで構成される複合
電極が互いに平行に形成され、これを覆って誘電体層８
０６が形成されており、さらにその上に保護層（ＭｇＯ
層）が形成されている。また、背面板となるガラス基板
８０２の前面板側には前記複合電極と直交するように隔
壁８０３の間に位置してアドレス電極８０８が互いに平
行に形成されており、さらに隔壁８０３の壁面とセル底
面を覆うようにして蛍光面８０９が設けられている。ま
た、図９に示すように、背面板となるガラス基板８０２
に誘電体からなる下地層８１０を形成した後、アドレス
電極８０８を設け、更にその上に誘電体層８０６’を積
層した後、隔壁８０３、蛍光面８０９を設けた構造とし
ている。この前面板と背面板の間にはネオンを主体とし
キセノンを含む希ガスが封入される。

【０００４】このＡＣ型ＰＤＰは面放電型であって、ア
ドレス電極により書き込みを行った後、前面板上の複合
電極に交流電圧を印加し空間に生成した電界により放電
させる構造である。この場合、交流をかけているために
電界の向きは周波数に対応して変化する。なお、ＤＣ型
ＰＤＰにあっては、電極は誘電体層で被覆されていない
構造を有する点で相違するが、その放電現象は同一であ
る。そして、この放電により生じる紫外線により蛍光面
８０９を発光させ、前面板を透過する光を観察者が視認
できるものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このようなＰＤＰにお
いては蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることが重
要な課題の一つとなっている。輝度を高めるために各種
の方法が提案されているが決定的な解決策はなく、それ
らの方法の積み重ねにより少しづつ輝度が高められてい
る。蛍光面の発光面積を広くすることは、一般にその蛍
光面に紫外線が効率よく作用する等により発光効率が改
善されることとなり、輝度が高くなることにつながる。
ところが図８，図９に示すように、蛍光面８０９は隔壁
８０３の壁面とセル底面を覆うようにして設けられてお
り、蛍光面８０９は隔壁８０３の壁面とセル底面の形状
に制約される。すなわち蛍光面８０９の表面は隔壁８０
３の壁面とセル底面の形状によって決まる単純な形状と
なり、それによって発光面積が制約されている。

【０００６】そこで、蛍光面を発光させた場合の輝度を
高めることが可能なプラズマディスプレイパネルの隔壁
形状に関する発明がなされている。たとえば、特開平１
０−３２１１４８には、隔壁とともに補助隔壁を設けた
プラズマディスプレイパネルが記載されている。しか
し、隔壁形成方法については限定的な記載にとどまり、
必ずしも良い選択肢が与えられていない。

【０００７】本発明は上記の課題を解決するためになさ
れたものであり、その目的は、上述の発明に記載された
形状の隔壁を含め、蛍光面を発光させた場合の輝度を高
めることができる複雑な形状を有する隔壁の形成方法を
提供するものである。すなわち、プラズマディスプレイ
パネルの新たな隔壁形成方法を提供するものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記の目的は下記の本発
明によって達成される。すなわち、本発明の請求項１に
係るプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法は、
基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形
成する第１塗工過程と、横隔壁の下層部分と縦隔壁の下
層部分とを形成するためのマトリックスパターンを有す
る第１フォトマスクを介して前記第１隔壁材料層を露光
する第１露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層
を現像し前記基板に現像済みの横隔壁の下層部分と縦隔
壁の下層部分とを形成する第１現像過程と、前記現像済
みの横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを形成した
基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層を形
成する第２塗工過程と、横隔壁の上層部分と縦隔壁の上
層部分を形成するためのマトリックスパターンを有する
第２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層を露光す
る第２露光過程と、前記露光済みの第２隔壁材料層を現
像し前記横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分の上に現
像済みの横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分を形成す
る第２現像過程と、前記現像済みの横隔壁下層部分と横
隔壁の下層部分および縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層
部分とを合わせて焼成し前記基板に焼成済みの横隔壁の
全体と縦隔壁の全体とを形成する焼成過程と、を有する
ようにしたものである。本発明によれば、蛍光面を発光
させた場合の輝度を高めることができる複雑な形状を有
する隔壁の形成方法が提供される。

【０００９】本発明の請求項２に係るプラズマディスプ
レイパネルの隔壁形成方法は、 基板に感光性隔壁材料
を全面塗工し第１隔壁材料層を形成する第１塗工過程
と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するため
のマトリックスパターンを有する第１フォトマスクを介
して前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程と、
前記露光済みの第１隔壁材料層を現像し前記基板に現像
済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第
１現像過程と、前記現像済みの横隔壁の全体と縦隔壁の
下層部分とを形成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工
し第２隔壁材料層を形成する第２塗工過程と、縦隔壁の
上層部分を形成するためのストライプパターンを有する
第２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層を露光す
る第２露光過程と、前記露光済みの第２隔壁材料層を現
像し前記縦隔壁の下層部分の上に現像済みの縦隔壁の上
層部分を形成する第２現像過程と、前記現像済みの横隔
壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを合
わせて焼成し前記基板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔
壁の全体とを形成する焼成過程と、を有するようにした
ものである。本発明によれば、蛍光面を発光させた場合
の輝度を高めることができる複雑な形状を有する隔壁の
形成方法が提供される。

【００１０】また本発明の請求項３に係るプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法によれば、基板に感光性
隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成する第１塗
工過程と、横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを形
成するためのマトリックスパターンを有する第１フォト
マスクを介して前記第１隔壁材料層を露光する第１露光
過程と、前記露光済みの第１隔壁材料層を形成した基板
に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層を形成す
る第２塗工過程と、横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部
分とを形成するためのマトリックスパターンを有する第
２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層を露光する
第２露光過程と、前記露光済みの第１隔壁材料送と前記
露光済みの第２隔壁材料層を合わせて現像し、現像済み
の横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分を形成するとと
もに、その上に現像済みの横隔壁の上層部分と縦隔壁の
上層部分とを形成する一括現像過程と、前記現像済みの
横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分および横隔壁の下
層部分と縦隔壁の下層部分とを合わせて焼成し前記基板
に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形成する
一括焼成過程と、を有するようにしたものである。本発
明によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めるこ
とができる複雑な形状を有する隔壁の形成方法が提供さ
れる。

【００１１】また本発明の請求項４に係るプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法によれば、基板に感光性
隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成する第１塗
工過程と、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成す
るためのマトリックスパターンを有する第１フォトマス
クを介して前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程
と、前記露光済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と
を形成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁
材料層を形成する第２塗工過程と、縦隔壁の上層部分を
形成するためのストライプパターンを有する第２フォト
マスクを介して前記第２隔壁材料層を露光する第２露光
過程と、前記露光済みの第１隔壁材料層と第２隔壁材料
層を合わせて現像し、現像済みの縦隔壁の下層部分の上
に現像済みの縦隔壁の上層部分を形成する一括現像過程
と、前記現像済みの横隔壁の全体と前記現像済みの縦隔
壁の下層部分と縦隔壁の上層部分とを合わせて焼成し前
記基板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形
成する一括焼成過程と、を有するようにしたものであ
る。本発明によれば、蛍光面を発光させた場合の輝度を
高めることができる複雑な形状を有する隔壁の形成方法
が提供される。

【００１２】また本発明の請求項５に係るプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法によれば、基板に感光性
隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成する第１塗
工過程と、横隔壁の下層部分を形成するためのストライ
プパターンを有する第１フォトマスクを介して前記第１
隔壁材料層を露光する第１露光過程と、前記露光済みの
横隔壁の下層部分を形成した基板に感光性隔壁材料を全
面塗工し第２隔壁材料層を形成する第２塗工過程と、横
隔壁の上層部分と縦隔壁の全体を形成するためのマトリ
ックスパターンを有する第２フォトマスクを介して前記
第２隔壁材料層を露光する第２露光過程と、前記露光済
みの第１隔壁材料層と前記露光済みの第２隔壁材料層を
合わせて現像し、現像済みの横隔壁の下層部分の上に現
像済みの横隔壁の上層部分を形成するとともに前記基板
に現像済みの縦隔壁の全体を形成する一括現像過程と、
前記現像済みの横隔壁の下層部分と横隔壁の上層部分お
よび縦隔壁の全体とを合わせて焼成し前記基板に焼成済
みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形成する一括焼成
過程と、有するようにしたものである。本発明によれ
ば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることができ
る複雑な形状を有する隔壁の形成方法が提供される。

【００１３】また本発明の請求項６に係るプラズマディ
スプレイパネルの隔壁形成方法によれば、基板に感光性
隔壁材料を全面塗工し第１隔壁材料層を形成する第１塗
工過程と、横隔壁を形成するためのストライプパターン
を有する第１フォトマスクを介して前記第１隔壁材料層
を露光する第１露光過程と、前記露光済みの横隔壁を形
成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料
層を形成する第２塗工過程と、縦隔壁を形成するための
ストライプパターンを有する第２フォトマスクを介して
前記第２隔壁材料層を露光する第２露光過程と、前記露
光済みの第１隔壁材料層と第２隔壁材料層を合わせて現
像し前記基板に現像済みの横隔壁と縦隔壁を形成する一
括現像過程と、前記現像済みの横隔壁と縦隔壁を焼成し
前記基板に焼成済みの横隔壁と縦隔壁を形成する焼成過
程と、を有するようにしたものである。本発明によれ
ば、蛍光面を発光させた場合の輝度を高めることができ
る複雑な形状を有する隔壁の形成方法が提供される。

【００１４】

【発明の実施の形態】次に、本発明について実施の形態
により説明する。本発明におけるプラズマディスプレイ
パネルの隔壁形成方法（第１，３の隔壁形成方法：請求
項１，３）を説明図として図１に示す。図１において、
左側の図はアドレス電極と平行方向の断面図であり、右
側の図はバス電極と平行方向の断面図である。図１に示
すように、まず、基板１０１に感光性隔壁材料を全面塗
工し第１隔壁材料層１０２を形成する（第１塗工過程Ｓ
１１）。次に、横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分と
を形成するためのマトリックスパターンを有する第１フ
ォトマスク１０３を介して第１隔壁材料層１０２を露光
する（第１露光過程Ｓ１２）。なお図１に示すマトリッ
クスパターン等は模式的に描いたものであって断面を正
確に描いたものではない。以降の図においても同様であ
る。次に、露光済みの第１隔壁材料層１０２を現像し基
板１０１に現像済みの横隔壁の下層部分１０４と縦隔壁
の下層部分１０５とを形成する（第１現像過程Ｓ１
３）。

【００１５】次に、現像済みの横隔壁の下層部分１０４
と縦隔壁の下層部分１０５とを形成した基板１０１に感
光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層１０６を形成
する（第２塗工過程Ｓ１４）。次に、横隔壁の上層部分
と縦隔壁の上層部分を形成するためのマトリックスパタ
ーンを有する第２フォトマスク１０７を介して第２隔壁
材料層１０６を露光する（第２露光過程Ｓ１５）。次
に、露光済みの第２隔壁材料層１０６を現像し横隔壁の
下層部分１０４と縦隔壁の下層部分１０５の上に現像済
みの横隔壁の上層部分１０８と縦隔壁の上層部分１０９
を形成する（第２現像過程Ｓ１６）。次に、現像済みの
横隔壁の上層部分１０８と縦隔壁の上層部分１０９およ
び横隔壁の下層部分１０４と縦隔壁の下層部分１０５と
を焼成し基板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体
とを形成する（焼成過程Ｓ１７）。

【００１６】なお、第１現像過程Ｓ１３の後、第２塗工
工程Ｓ１４の前に第１焼成過程を加え、その段階で横隔
壁の下層部分１０４と縦隔壁の下層部分１０５とを焼成
済みとしてもよい。その場合には、その段階で横隔壁の
下層部分１０４と縦隔壁の下層部分１０５の形状が確定
するから寸法精度を得やすい。

【００１７】また、第１現像過程Ｓ１３を省略すること
ができる。その場合には、第２現像過程Ｓ１６と焼成過
程Ｓ１７とは、第１隔壁材料層１０２と第２隔壁材料層
１０６とを合わせて現像し焼成する一括現像過程と一括
焼成過程とする（請求項３）。この第１現像過程Ｓ１３
の省略により隔壁形成過程が簡略化される。

【００１８】次に、本発明について、上述とは別の隔壁
形成方法を説明する。本発明おけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（第２，４の隔壁形成方法：請
求項２，４）を説明図として図２に示す。図２におい
て、左側の図はアドレス電極と平行方向の断面図であ
り、右側の図はバス電極と平行方向の断面図である。図
２に示すように、まず、基板２０１に感光性隔壁材料を
全面塗工し第１隔壁材料層２０２を形成する（第１塗工
過程Ｓ２１）。次に、横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分
とを形成するためのマトリックスパターンを有する第１
フォトマスク２０３を介して第１隔壁材料層２０２を露
光する（第１露光過程Ｓ２２）。次に、露光済みの第１
隔壁材料層２０２を現像し基板２０１に現像済みの横隔
壁の全体２０４と縦隔壁の下層部分２０５とを形成する
（第１現像過程Ｓ２３）。

【００１９】次に、現像済みの横隔壁の全体２０４と縦
隔壁の下層部分２０５とを形成した基板２０１に感光性
隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層２０６を形成する
（第２塗工過程Ｓ２４）。次に、縦隔壁の上層部分を形
成するためのストライプパターンを有する第２フォトマ
スク２０７を介して第２隔壁材料層２０６を露光する
（第２露光過程Ｓ２５）。次に、露光済みの第２隔壁材
料層２０６を現像し縦隔壁の下層部分２０５の上に現像
済みの縦隔壁の上層部分２０８を形成する（第２現像過
程Ｓ２６）。次に、現像済みの横隔壁の全体２０４と縦
隔壁の下層部分２０５と縦隔壁の上層部分２０８を焼成
し基板に焼成済みの横隔壁の全体２０４と縦隔壁の全体
２０５、２０８とを形成する（焼成過程Ｓ２７）。

【００２０】なお、第１現像過程Ｓ２３の後、第２塗工
工程Ｓ２４の前に第１焼成過程を加え、その段階で横隔
壁の全体２０４と縦隔壁の下層部分２０５とを焼成済み
としてもよい。その場合には、その段階で横隔壁の全体
２０４と縦隔壁の下層部分２０５の形状が確定するから
寸法精度を得やすい。

【００２１】また、第１現像過程Ｓ２３を省略すること
ができる。その場合には、第２現像過程Ｓ２６と焼成過
程Ｓ２７とは、第１隔壁材料層２０２と第２隔壁材料層
２０６とを合わせて現像し焼成する一括現像過程と一括
焼成過程とする（請求項４）。この第１現像過程Ｓ２３
の省略により隔壁形成過程が簡略化される。

【００２２】次に、本発明について、上述とは別の隔壁
形成方法を説明する。本発明おけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（第５の隔壁形成方法：請求項
５）を説明図として図３に示す。図３において、左側の
図はアドレス電極と平行方向の断面図であり、右側の図
はバス電極と平行方向の断面図である。図３に示すよう
に、まず、基板３０１に感光性隔壁材料を全面塗工し第
１隔壁材料層３０２を形成する（第１塗工過程Ｓ３
１）。次に、横隔壁の下層部分を形成するためのストラ
イプパターンを有する第１フォトマスク３０３を介して
第１隔壁材料層３０２を露光する（第１露光過程Ｓ３
２）。

【００２３】次に、露光済みの第１隔壁材料層３０２を
形成した基板３０１に感光性隔壁材料を全面塗工し第２
隔壁材料層３０５を形成する（第２塗工過程Ｓ３３）。
次に、横隔壁の上層部分と縦隔壁の全体を形成するため
のストライプパターンを有する第２フォトマスク３０６
を介して第２隔壁材料層３０５を露光する（第２露光過
程Ｓ３４）。次に、露光済みの第１隔壁材料層３０２と
露光済みの第２隔壁材料層３０５を現像し、現像済みの
横隔壁の下層部分３０４の上に現像済みの横隔壁の上層
部分３０７を形成し、基板３０１に現像済みの縦隔壁の
全体３０８を形成する（第２現像過程Ｓ３５）。次に、
現像済みの横隔壁の下層部分３０４と横隔壁の上層部分
３０７および縦隔壁の全体３０８を合わせて焼成し基板
に焼成済みの横隔壁の全体（３０４、３０６）と縦隔壁
の全体３０８を形成する（焼成過程Ｓ３６）。

【００２４】次に、本発明について、上述とは別の隔壁
形成方法を説明する。本発明おけるプラズマディスプレ
イパネルの隔壁形成方法（第６の隔壁形成方法：請求項
６）を説明図として図４に示す。図４において、左側の
図はアドレス電極と平行方向の断面図であり、右側の図
はバス電極と平行方向の断面図である。図４に示すよう
に、まず、基板４０１に感光性隔壁材料を全面塗工し第
１隔壁材料層４０２を形成する（第１塗工過程Ｓ４
１）。次に、横隔壁を形成するためのストライプパター
ンを有する第１フォトマスク４０３を介して第１隔壁材
料層４０２を露光する（第１露光過程Ｓ４２）。

【００２５】次に、露光済みの第１隔壁材料層４０２を
形成した基板４０１に感光性隔壁材料を全面塗工し第２
隔壁材料層４０５を形成する（第２塗工過程Ｓ４３）。
次に、縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパ
ターンを有する第２フォトマスク４０６を介して第２隔
壁材料層４０５を露光する（第２露光過程Ｓ４４）。次
に、露光済みの第１隔壁材料層４０２と露光済みの第２
隔壁材料層４０５を現像し基板４０１の上に現像済みの
横隔壁４０４と縦隔壁４０７を形成する（第２現像過程
Ｓ４５）。次に、現像済みの横隔壁４０４と縦隔壁４０
７を焼成し基板に焼成済みの横隔壁４０４と縦隔壁４０
７を形成する（焼成過程Ｓ４６）。

【００２６】次に、本発明の隔壁形成方法により得られ
る隔壁について説明する。本発明の隔壁形成方法により
得られる隔壁の形状の一例（その１）を図５に示す。図
５（Ａ）は斜視図、図５（Ｂ）は上面図、図５（Ｃ）は
側面図である。図５において、１ａ，１ｂ，１ｃは縦隔
壁、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは横隔壁である。
背面板に形成する縦隔壁と横隔壁とは、実際は多数が存
在するのであるが一部だけが図５に示されている。たと
えば図５（Ａ）の斜視図においてはその内から３つの縦
隔壁１ａ，１ｂ，１ｃと４つの横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂだけを代表して示してある。

【００２７】縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃはアドレス電極と
平行方向に背面板に形成される隔壁である。図５（Ｃ）
の断面図に示すように、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの断面
形状は底辺が大きい矩形または台形となっている。言い
換えると、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの２つの稜から背面
板に向かう２つの面は、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの頂上
部分から背面板に向かって広がる形状を有する。

【００２８】図５には示されていないが、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂも縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃ
と同様に断面形状は底辺が大きい矩形または台形となっ
ている。言い換えると、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２
ａ，２２ｂの頂上部分の２つの稜から背面板に向かう２
つの面は、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの頂上部分から背面
板に向かって広がる形状を有する。

【００２９】その形状により、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけでなく縦隔壁１
ａ，１ｂ，１ｃを含めて全体の強度が得られる。その結
果、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃや横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの幅を小さくすることができ、表示セル
部における放電容積を大きくすることができ、放電効率
を更によくすることができる。また、画素ピッチを小さ
くすることができるから、高精細化が可能である。

【００３０】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂはバス電極と平行方向に背面板に形成される電極で
ある。図５（Ａ）の斜視図および図５（Ｃ）の断面図に
示すように、図５に示す一例においては、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃよりも低くなっている。たとえば、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃの高さの１／２〜５／６の高さであるようにす
る。この横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さ
で前述と同様の作用を得ることができる。すなわち、蛍
光面の発行面積が大きくなり紫外線が効率よく蛍光面に
作用するため輝度が高まる。また、横隔壁の２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂ高さを縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの
高さよりも低くしたことにより、製造工程において蛍光
面の形成が容易となる。

【００３１】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃと横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。

【００３２】上述の図５に示す形状の隔壁は、第２，４
の隔壁形成方法（図２参照）において、マトリックスパ
ターンを有する第１フォトマスクを図５（Ｂ）の上面図
に示す縦隔壁と横隔壁とを合わせたパターンとし、スト
ライプパターンを有する第２のフォトマスクを図５
（Ｂ）の上面図に示す縦隔壁だけのパターンとすること
により形成することができる。その場合において、第１
フォトマスクの縦隔壁の幅を第２フォトマスクの縦隔壁
のパターン幅よりも所定の寸法だけ大きくするようにす
る。これにより、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの頂上部分か
ら背面板に向かって広がる前述の形状を滑らか、かつ連
続的な形状とすることができる。

【００３３】また、上述の図５に示す形状の隔壁は、第
５の隔壁形成方法（図４参照）において、ストライプパ
ターンを有する第１フォトマスクを図５（Ｂ）の上面図
に示す横隔壁だけのパターンとし、ストライプパターン
を有する第２のフォトマスクを図５（Ｂ）の上面図に示
す縦隔壁だけのパターンとすることにより形成すること
ができる。その場合において、第１フォトマスクの横隔
壁だけのパターンは、図５（Ｂ）の上面図においては縦
隔壁と交差する部分の有無が明瞭ではないが、横隔壁は
縦隔壁を貫通する連続したストライプパターンとする。
これにより、形状歪みがないか、あっても形状歪みの小
さい隔壁を形成することができる。

【００３４】次に、本発明の隔壁形成方法により得られ
る隔壁の形状の一例（その２）を図６に示す。図６
（Ａ）は斜視図、図６（Ｂ）は上面図、図６（Ｃ）は側
面図である。図６において、１ａ，１ｂ，１ｃは縦隔
壁、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは横隔壁である。
背面板に形成する縦隔壁と横隔壁とは、実際は多数が存
在するのであるが一部だけが図６に示されている。たと
えば図６（Ａ）の斜視図においてはその内から３つの縦
隔壁１ａ，１ｂ，１ｃと４つの横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂだけを代表して示してある。

【００３５】縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃはアドレス電極と
平行方向に背面板に形成される隔壁である。図６（Ｃ）
の断面図に示すように、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの断面
形状は底辺が大きい矩形または台形となっている。言い
換えると、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの２つの稜から背面
板に向かう２つの面は、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの頂上
部分から背面板に向かって広がる形状を有する。

【００３６】図６には示されていないが、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂも縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃ
と同様に断面形状は底辺が大きい矩形または台形となっ
ている。言い換えると、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２
ａ，２２ｂの頂上部分の２つの稜から背面板に向かう２
つの面は、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの頂上部分から背面
板に向かって広がる形状を有する。

【００３７】その形状により、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけでなく縦隔壁１
ａ，１ｂ，１ｃを含めて全体の強度が得られる。その結
果、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃや横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの幅を小さくすることができ、表示セル
部における放電容積を大きくすることができ、放電効率
を更によくすることができる。また、画素ピッチを小さ
くすることができるから、高精細化が可能である。

【００３８】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂはバス電極と平行方向に背面板に形成される電極で
ある。図６（Ａ）の斜視図および図６（Ｃ）の断面図に
示すように、図６に示す一例においては、横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃと交差する近傍においては縦隔壁１ａ，１ｂ，
１ｃと同一の高さである。また、縦隔壁１ａ，１ｂ，１
ｃと交差する部位に挟まれた中間においては縦隔壁１
ａ，１ｂ，１ｃよりも高さは低くなっている。すなわ
ち、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは、図６
（Ｃ）に示すように、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの長手方
向から見た側面形状が凹型となっている。この凹型形状
により前述と同様の作用を得ることができる。すなわ
ち、蛍光面の発行面積が大きくなり紫外線が効率よく蛍
光面に作用するため輝度が高まる。また、製造工程にお
いて蛍光面の形成が容易となる。

【００３９】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂによりアドレス電極方向に隣接する表示セル部に対
して放電や、放電により発生した紫外線が漏洩すること
を防止することができる。すなわち、縦隔壁１ａ，１
ｂ，１ｃと横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂと
は、アドレス電極とバス電極によって特定される放電空
間を他の放電空間から分離する。

【００４０】上述の図６に示す形状の隔壁は、第１，３
の隔壁形成方法（図１参照）において、マトリックスパ
ターンを有する第１フォトマスクを図６（Ｂ）の上面図
に示す縦隔壁と横隔壁とを合わせたパターン（白抜き部
分と黒べた部分を含むパターン）とし、マトリックスパ
ターンを有する第２のフォトマスクを図６（Ｂ）の上面
図に示す縦隔壁の全部と横隔壁の一部だけのパターン
（白抜き部分だけのパターン）とすることにより形成す
ることができる。その場合において、第１フォトマスク
の縦隔壁および横隔壁のパターン幅を第２フォトマスク
の対応する部分のパターン幅よりも所定の寸法だけ大き
くするようにする。これにより、縦隔壁１ａ，１ｂ，１
ｃと横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの頂上部分
から背面板に向かって広がる前述の形状を滑らか、かつ
連続的な形状とすることができる。

【００４１】また、上述の図６に示す形状の隔壁は、第
５の隔壁形成方法（図３参照）において、ストライプパ
ターンを有する第１フォトマスクを図６（Ｂ）の上面図
に示す横隔壁だけのパターン（黒ベタ部分を含む横隔壁
の下層部分のパターン）とし、ストライプパターンを有
する第２のフォトマスクを図６（Ｂ）の上面図に示す縦
隔壁の全部と横隔壁の一部のパターン（白抜き部分だけ
のパターン）とすることにより形成することができる。
その場合において、第１フォトマスクの横隔壁だけのパ
ターンは、図６（Ｂ）の上面図においては縦隔壁と交差
する部分の有無が明瞭ではないが、横隔壁は縦隔壁を貫
通する連続したストライプパターンとする。これによ
り、形状歪みがないか、あっても形状歪みの小さい隔壁
を形成することができる。

【００４２】次に、本発明の隔壁形成方法により得られ
る隔壁の形状の一例（その３）を図７に示す。図７
（Ａ）は斜視図、図７（Ｂ）は上面図、図７（Ｃ）は側
面図である。図７において、１ａ，１ｂ，１ｃは縦隔
壁、２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂは横隔壁である。
背面板に形成する縦隔壁と横隔壁とは、実際は多数が存
在するのであるが一部だけが図７に示されている。たと
えば図６（Ａ）の斜視図においてはその内から３つの縦
隔壁１ａ，１ｂ，１ｃと４つの横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂだけを代表して示してある。

【００４３】縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃはアドレス電極と
平行方向に背面板に形成される隔壁である。図７（Ｃ）
の断面図に示すように、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの断面
形状は底辺が大きい矩形または台形を２段に積み重ねた
形状となっている。図７には示されていないが、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂも縦隔壁１ａ，１ｂ，
１ｃと同様に断面形状は底辺が大きい矩形または台形と
なっている。

【００４４】その形状により、横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの蛍光面が発光して放出される光線の
内、前面板に向かう光線の割合が増加し見掛けの輝度が
向上する。また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２
ｂと背面板との広い結合面積を得ることができ、横隔壁
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂだけでなく縦隔壁１
ａ，１ｂ，１ｃを含めて全体の強度が得られる。その結
果、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃや横隔壁２１ａ，２１ｂ，
２２ａ，２２ｂの幅を小さくすることができ、表示セル
部における放電容積を大きくすることができ、放電効率
を更によくすることができる。また、画素ピッチを小さ
くすることができるから、高精細化が可能である。

【００４５】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂはバス電極と平行方向に背面板に形成される電極で
ある。図７Ａ）の斜視図および図７（Ｃ）の断面図に示
すように、図７に示す一例においては、横隔壁２１ａ，
２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁１ａ，１ｂ，１
ｃよりも低くなっている。たとえば、横隔壁２１ａ，２
１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さは縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃ
の高さの１／２〜５／６の高さであるようにする。この
横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂの高さで前述と
同様の作用を得ることができる。すなわち、蛍光面の発
行面積が大きくなり紫外線が効率よく蛍光面に作用する
ため輝度が高まる。また、横隔壁の２１ａ，２１ｂ，２
２ａ，２２ｂ高さを縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの高さより
も低くしたことにより、製造工程において蛍光面の形成
が容易となる。

【００４６】また、横隔壁２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２
２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４ａ，２４ｂによりアドレス
電極方向に隣接する表示セル部に対して放電や、放電に
より発生した紫外線が漏洩することを防止することがで
きる。すなわち、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃと横隔壁２１
ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ，２３ａ，２３ｂ，２４
ａ，２４ｂとは、アドレス電極とバス電極によって特定
される放電空間を他の放電空間から分離する。

【００４７】上述の図７に示す形状の隔壁は、第２，４
の隔壁形成方法（図２参照）において、マトリックスパ
ターンを有する第１フォトマスクを図７（Ｂ）の上面図
に示す縦隔壁と横隔壁とを合わせたパターン（幅広とし
た白抜き部分と黒べた部分を含むパターン）とし、スト
ライプパターンを有する第２のフォトマスクを図７
（Ｂ）の上面図に示す縦隔壁だけのパターン（白抜き部
分だけのパターン）とすることにより形成することがで
きる。その場合において、第１フォトマスクの縦隔壁の
パターン幅を第２フォトマスクの対応する部分のパター
ン幅よりも図７（Ａ）の斜視図や図７（Ｃ）の側面図に
示す縦隔壁の段差の寸法だけ大きくするようにする。こ
れにより、縦隔壁１ａ，１ｂ，１ｃの上層部分を形成す
る場合において位置合わせを容易に行うことができる。

【００４８】次に、本発明の隔壁形成方法において用い
ることができる感光性隔壁材料について説明する。ここ
で感光性隔壁材料というのは、すくなくともガラス微粒
子と感光性化合物を含む有機成分から成る材料のことで
ある。そして、塗工工程で基板に隔壁材料層を形成する
ことができるような流動特性を有するペースト状の材料
（感光性ペースト）であり、露光工程、現像工程でパタ
ーン形成し、焼成工程、等を経て基板上にＰＤＰの隔壁
を形成することが可能な材料である。このような感光性
隔壁材料については、特開平９−２２３４６２、特開平
１０−１２０４３２、特開平１１−８４６３８、特開平
１１−１４９８６２、等に記載されており、周知の技術
である。本発明においてはそれらの周知の感光性隔壁材
料を使用することができ、感光性隔壁材料によって制限
されない。

【００４９】その周知の感光性隔壁材料について、一例
を説明する。感光性隔壁材料の一方の成分であるガラス
微粒子と、他方の成分である感光性有機成分（感光性化
合物を含む有機成分）とは、良好な感光性を得るために
は拡散反射を少なくし光の透過性を良くする必要性があ
る。そのためガラス微粒子の平均屈折率と感光性有機成
分の平均屈折率とを整合させることが必要である。ま
た、焼成工程において高い温度で基板に隔壁を形成する
から、ガラス転移点および／またはガラス軟化点は基板
よりもガラス微粒子が低く、熱膨張係数の整合性がなけ
ればならない。また、形成された隔壁の緻密性（気泡が
少ない）、強度、安定性が優れていなければならない。

【００５０】そこで、感光性隔壁材料の一方の必須成分
であるガラス微粒子の主成分とその配合量を、酸化物表
記で次に示すようにすると、平均屈折率１．５〜１．６
５、かつガラス転移点が４００〜５００℃、ガラス軟化
点が４５０〜５５０℃のガラス微粒子となり、ガラス基
板のガラス転移点の６００℃以下で隔壁パターンを焼成
することができる点で好ましい。 （ガラス微粒子の主成分） 酸化リチウム ３〜１０重量％ 酸化珪素 １５〜５０重量％ 酸化硼素 １５〜４０重量％ 酸化バリウム ２〜１５重量％ 酸化アルミニウム ６〜２５重量％

【００５１】その他、無機微粒子として、上記のような
特性を有するガラス微粒子の他に、フィラーとなるガラ
ス軟化点６００℃以上の高融点ガラスやセラミックスを
含んでもよい。これらのフィラー成分の添加により、焼
成時の収縮率を小さくし、形成される隔壁の内部応力を
小さくすることができる。

【００５２】ガラス微粒子の作製法としては、たとえば
リチウム、珪素、アルミニウム、硼素、バリウムおよび
亜鉛の化合物を所定の配合組成となるように混合し、９
００〜１２００℃で溶融後、急冷し、ガラスフリットに
してから粉砕して微細な粉末にする方法が挙げられる。
原料には高純度の炭酸塩、酸化物、水酸化物などが使用
できる。また、ガラス微粒子の種類や組成によっては９
９．９９％以上の超高純度なアルコキシドや有機金属の
原料を使用し、ゾル・ゲル法で均質に作製した粉末を使
用すると高電気抵抗で緻密な気孔の少ない、高強度な隔
壁が得られるので好ましい。

【００５３】ガラス微粒子の粒子径は、作製しようとす
る隔壁の線幅や高さを考慮して選ばれるが、５０体積％
粒子径（平均粒子径Ｄ５０）が１〜６μｍ、最大粒子径
サイズが３０μｍ以下、比表面積１．５〜４ｍ²／ｇで
あることが好ましい。より好ましくは１０体積％粒子径
（Ｄ１０）０．４〜２μｍ、５０体積％粒子径（Ｄ５
０）１．５〜６μｍ、９０体積％粒子径（Ｄ９０）４〜
１５μｍ、最大粒子径サイズが２５μｍ以下、比表面積
１．５〜３．５ｍ²／ｇである。さらに好ましくはＤ５
０が２〜３．５μｍ、比表面積１．５〜３ｍ²／ｇであ
る。ここで、Ｄ１０、Ｄ５０、Ｄ９０は、それぞれ、粒
径の小さいガラス微粒子から１０体積％、５０体積％、
９０体積％のガラスの粒子径である。

【００５４】上記のような粒度分布をもったガラス微粒
子を用いることにより、ガラス微粒子の充填性が向上
し、感光性隔壁材料中のガラス微粒子比率を増加させて
も気泡を巻き込むことが少なくなり、余分な光散乱を小
さくできるため、好ましい隔壁パターン形状が形成でき
る。

【００５５】次に、感光性隔壁材料（感光性ペースト）
の他方の必須成分である感光性有機成分について説明す
る。感光性有機成分とは、感光性隔壁材料から無機微粒
子成分を除いた残りの部分を意味し、感光性隔壁材料１
５〜３５重量％を占めることが好ましい。 （具体的な感光性有機成分） 感光性モノマ、感光性オリゴマ、感光性ポリマのうち
少なくとも１種から選ばれた感光性成分 その他として、バインダー、光重合開始剤、増感剤、
紫外線吸光剤、重合禁止剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止
剤、分散剤 その他必要に応じた添加剤等

【００５６】感光性モノマとしては、活性な炭素ー炭素
二重結合を有する化合物が挙げられるが、官能基として
ビニル基、アリル基、アクリレート基、メタクリレート
基、アクリルアミド基を有する単官能および多官能化合
物が好ましく挙げられる。

【００５７】また感光性有機成分として、光反応で形成
される硬化物の物性の向上やペーストの粘度の調整など
の役割を果たすと共に、未露光部の現像性をコントロー
ルする機能を果たす成分として、オリゴマもしくはポリ
マが含まれることが好ましい。

【００５８】感光性隔壁材料中にバインダー成分が必要
な場合には、バインダーとしてポリビニルアルコール、
ポリビニルブチラール、メタクリル酸エステル重合体、
アクリル酸エステル重合体、それらの共重合体などを用
いることができる。

【００５９】また光重合開始剤を用いる場合は、感光性
隔壁材料によるパターン形成は、露光された部分の感光
性成分（モノマ、オリゴマ、ポリマ）を重合および架橋
させて現像液に不溶性にすることであり、好ましく用い
られる感光性を示す官能基はラジカル重合性であるた
め、ラジカル種を発生するものから選択することが好ま
しい。

【００６０】さらに光重合開始剤と共に増感剤を使用
し、感度を向上させたり(化学増感)、反応に有効な波長
範囲を拡大する(分光増感)こともできる。増感剤の作用
機構にも種々のものがあるが、三重項増感剤と称される
ものが最もよく使われる。

【００６１】さらに感光性隔壁材料には、紫外線吸光剤
が含まれることが優れた形状のパターン加工のために有
効である。紫外光の吸収効果の高い化合物を添加するこ
とによって、特に高アスペクト比、高精細、高解像度が
得られる。紫外線吸光剤としては有機系染料からなるも
の、中でも３５０〜４５０ｎｍの波長範囲で高い吸光係
数を有するものが好ましく用いられる。

【００６２】さらに感光性隔壁材料には、必要に応じ
て、保存時の熱安定性を向上させるための重合禁止剤、
アクリル系共重合体の酸化を防ぐための酸化防止剤、そ
の他可塑剤などを含んでもよい。

【００６３】感光性隔壁材料は、たとえば、無機微粒
子、紫外線吸光剤、感光性モノマ、感光性オリゴマもし
くはポリマ、光重合開始剤、増感剤、その他の添加剤お
よび溶媒などの各種成分を所定の組成となるように調合
した後、３本ローラや混練機で均質に混合分散し作製さ
れる。

【００６４】感光性隔壁材料の粘度は、ガラス微粒子、
感光性成分、増粘剤、可塑剤などの添加割合で調整され
るが、その範囲は２０００〜２０万ｃｐｓ(センチ・ポ
イズ）であり、ガラス基板に塗布する時の塗布方法に応
じて、粘度を有機溶媒により調整することもできる。た
とえば、ガラス基板への塗布をスクリーン印刷法で１回
塗布して膜厚１０〜２０μｍを得るには５万〜２０万ｃ
ｐｓが好ましい。スピンコート法には２０００〜５００
０ｃｐｓ、ブレードコーター法やダイコーター法などを
用いる場合は１万〜２万ｃｐｓが好ましい。

【００６５】

【発明の効果】以上のように、本発明のプラズマディス
プレイパネルの隔壁形成方法によれば、蛍光面を発光さ
せた場合の輝度を高めることができる複雑な形状を有す
る隔壁の形成方法が提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第１の隔壁形成方法：請求項１）を示す
説明図である。

【図２】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第２の隔壁形成方法：請求項２）を示す
説明図である。

【図３】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第３の隔壁形成方法：請求項３）を示す
説明図である。

【図４】本発明におけるプラズマディスプレイパネルの
隔壁形成方法（第４の隔壁形成方法：請求項４）を示す
説明図である。

【図５】本発明の隔壁形成方法により得られる隔壁の形
状の一例（その１）を示す図である。

【図６】本発明の隔壁形成方法により得られる隔壁の形
状の一例（その１）を示す図である。

【図７】本発明の隔壁形成方法により得られる隔壁の形
状の一例（その１）を示す図である。

【図８】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの説明図
（その１）である。

【図９】ＡＣ型プラズマディスプレイパネルの説明図
（その２）である。

【符号の説明】

１ａ，１ｂ，１ｃ 縦隔壁 ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ 横隔壁 １０１，２０１，３０１，４０１ 基板 １０２，２０２，３０２，４０２ 第１隔壁材料層 １０３，２０３，３０３，４０３ 第１フォトマスク １０４，３０４ 横隔壁の下層部分 １０５，２０５ 縦隔壁の下層部分 １０６，２０６ 第２隔壁材料層 １０７，２０７ 第２フォトマスク １０８ 横隔壁の上層部分 １０９ 縦隔壁の上層部分 ２０４ 横隔壁の全体 ２０８ 縦隔壁の上層部分 ３０５，４０５ 第２隔壁材料層 ３０６，４０６ 第２フォトマスク ３０７ 横隔壁の上層部分 ３０８ 縦隔壁の全体 ４０４ 横隔壁 ４０７ 縦隔壁 ８０１ 前面板 ８０２ 背面板 ８０３ セル障壁 ８０４ 維持電極 ８０５ バス電極 ８０６，８０６’ 誘電体層 ８０７ ＭｇＯ層 ８０８ アドレス電極 ８０９ 蛍光面 ８１０ 下地層

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 太田 範雄 東京都新宿区市谷加賀町一丁目１番１号 大日本印刷株式会社内 Ｆターム(参考） 5C027 AA09 5C040 GF03 GF12 GF13 GF14 GF19 JA15 JA21 KA16 LA11 MA03 5C094 AA10 BA31 BA32 CA19 CA24 EA04 EA05 EA07 GB10

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを形成するため
   のマトリックスパターンを有する第１フォトマスクを介
   して前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層を現像し前記基板に現像
   済みの横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを形成す
   る第１現像過程と、 前記現像済みの横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分と
   を形成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁
   材料層を形成する第２塗工過程と、 横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分とを形成するため
   のマトリックスパターンを有する第２フォトマスクを介
   して前記第２隔壁材料層を露光する第２露光過程と、 前記露光済みの第２隔壁材料層を現像し前記横隔壁の下
   層部分と縦隔壁の下層部分の上に現像済みの横隔壁の上
   層部分と縦隔壁の上層部分とを形成する第２現像過程
   と、 前記現像済みの横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分お
   よび横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを合わせて
   焼成し前記基板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全
   体とを形成する焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。
2. 【請求項２】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
   トリックスパターンを有する第１フォトマスクを介して
   前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層を現像し前記基板に現像
   済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成する第
   １現像過程と、 前記現像済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形
   成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料
   層を形成する第２塗工過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
   を有する第２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層
   を露光する第２露光過程と、 前記露光済みの第２隔壁材料層を現像し前記縦隔壁の下
   層部分の上に現像済みの縦隔壁の上層部分を形成する第
   ２現像過程と、 前記現像済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分と縦隔
   壁の上層部分とを合わせて焼成し前記基板に焼成済みの
   横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形成する焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。
3. 【請求項３】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを形成するため
   のマトリックスパターンを有する第１フォトマスクを介
   して前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層を形成した基板に感光性
   隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層を形成する第２塗
   工過程と、 横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分とを形成するため
   のマトリックスパターンを有する第２フォトマスクを介
   して前記第２隔壁材料層を露光する第２露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料送と前記露光済みの第２隔
   壁材料層を合わせて現像し、現像済みの横隔壁の下層部
   分と縦隔壁の下層部分を形成するとともに、その上に現
   像済みの横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分とを形成
   する一括現像過程と、 前記現像済みの横隔壁の上層部分と縦隔壁の上層部分お
   よび横隔壁の下層部分と縦隔壁の下層部分とを合わせて
   焼成し前記基板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全
   体とを形成する一括焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。
4. 【請求項４】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形成するためのマ
   トリックスパターンを有する第１フォトマスクを介して
   前記第１隔壁材料層を露光する第１露光過程と、 前記露光済みの横隔壁の全体と縦隔壁の下層部分とを形
   成した基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料
   層を形成する第２塗工過程と、 縦隔壁の上層部分を形成するためのストライプパターン
   を有する第２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層
   を露光する第２露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層と第２隔壁材料層を合わ
   せて現像し、現像済みの縦隔壁の下層部分の上に現像済
   みの縦隔壁の上層部分を形成する一括現像過程と、 前記現像済みの横隔壁の全体と前記現像済みの縦隔壁の
   下層部分と縦隔壁の上層部分とを合わせて焼成し前記基
   板に焼成済みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形成す
   る一括焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。
5. 【請求項５】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁の下層部分を形成するためのストライプパターン
   を有する第１フォトマスクを介して前記第１隔壁材料層
   を露光する第１露光過程と、 前記露光済みの横隔壁の下層部分を形成した基板に感光
   性隔壁材料を全面塗工し第２隔壁材料層を形成する第２
   塗工過程と、 横隔壁の上層部分と縦隔壁の全体を形成するためのマト
   リックスパターンを有する第２フォトマスクを介して前
   記第２隔壁材料層を露光する第２露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層と前記露光済みの第２隔
   壁材料層を合わせて現像し、現像済みの横隔壁の下層部
   分の上に現像済みの横隔壁の上層部分を形成するととも
   に前記基板に現像済みの縦隔壁の全体を形成する一括現
   像過程と、 前記現像済みの横隔壁の下層部分と横隔壁の上層部分お
   よび縦隔壁の全体とを合わせて焼成し前記基板に焼成済
   みの横隔壁の全体と縦隔壁の全体とを形成する一括焼成
   過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。
6. 【請求項６】基板に感光性隔壁材料を全面塗工し第１隔
   壁材料層を形成する第１塗工過程と、 横隔壁を形成するためのストライプパターンを有する第
   １フォトマスクを介して前記第１隔壁材料層を露光する
   第１露光過程と、 前記露光済みの横隔壁を形成した基板に感光性隔壁材料
   を全面塗工し第２隔壁材料層を形成する第２塗工過程
   と、 縦隔壁を形成するためのストライプパターンを有する第
   ２フォトマスクを介して前記第２隔壁材料層を露光する
   第２露光過程と、 前記露光済みの第１隔壁材料層と第２隔壁材料層を合わ
   せて現像し前記基板に現像済みの横隔壁と縦隔壁を形成
   する一括現像過程と、 前記現像済みの横隔壁と縦隔壁を焼成し前記基板に焼成
   済みの横隔壁と縦隔壁を形成する焼成過程と、 を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル
   の隔壁形成方法。