JP3369112B2

JP3369112B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法

Info

Publication number: JP3369112B2
Application number: JP24333798A
Authority: JP
Inventors: 治豊田; 章渡海; 和則井上; 文博並木; 三郎森田
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1998-08-28
Filing date: 1998-08-28
Publication date: 2003-01-20
Anticipated expiration: 2018-08-28
Also published as: JP2000077002A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、プラズマディス
プレイパネル（ＰＤＰ）の製造方法に関し、特に、隔壁
で仕切られた放電空間内に蛍光体層が形成されたプラズ
マディスプレイパネルの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＰＤＰは、視認性に優れた表示パネル
（薄型表示デバイス）として注目されており、日本にお
けるハイビジョン分野などへの用途拡大に向けて高精細
化および大画面化が進められている。

【０００３】ＰＤＰには、大別して、駆動的にはＡＣ型
とＤＣ型があり、放電形式では面放電型と対向放電型の
２種類があるが、高精細化、大画面化および製造の簡便
性から、現状では、ＡＣ型面放電ＰＤＰが工業上の主流
を占めている。

【０００４】ＰＤＰは、構造的には、一対の基板（通常
はガラス基板）を微小間隔を設けて対向配置し、周囲を
封止することによって内部に放電空間を形成した自己発
光型の表示パネルである。

【０００５】このＰＤＰには、放電空間を仕切るよう
に、隔壁が周期的に設けられており、この隔壁によっ
て、放電の干渉や色のクロストークを防止している。

【０００６】例えば、蛍光体によるカラー表示に適した
ＡＣ型の三電極面放電ＰＤＰでは、高さ１００〜２００
μｍ程度の帯状の隔壁がデータ電極（アドレス電極）ラ
インに沿って平行かつ等間隔に設けられている。また、
隔壁を設けた背面側基板に対向設置する前面側基板に
は、主放電を発生させるための対をなす表示電極（サス
テイン電極）が、隔壁と交差する方向に平行に設置され
ている。

【０００７】そして、隔壁と隔壁との間の細長い溝内に
は蛍光体層が形成され、この蛍光体によって表示電極対
の放電光を可視光にし、表示を行うようにしている。し
たがって、ＰＤＰの表示輝度は、放電の強さ、蛍光体層
中の蛍光体密度、蛍光体層の表面積、蛍光体の材質、蛍
光体層の背面反射率等によって左右される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
構造のＰＤＰの場合、表示電極の延びる方向の画素（放
電領域）の分離は隔壁によって行い、それと交差する方
向、すなわち隔壁の長手方向については、放電を発生さ
せる電極間隔（放電スリット、以下スリットと呼ぶ）
を、放電を発生させない電極間隔（逆スリット）よりも
狭くして放電を限定することで、画素（放電領域）の分
離を行うようにしている。したがって、この逆スリット
の空間は、たとえ蛍光体層が形成されていたとしても、
表示領域としては寄与しない、という問題がある。

【０００９】また、自己発光型表示装置としてＰＤＰの
一般的な課題として、輝度の向上があり、蛍光体自体の
発光効率の向上が根本的な課題となるが、現状では、蛍
光体の塗布形状や付着量、背面材料の反射率向上などで
対応している。

【００１０】このため、簡単な構造で、従来よりもさら
に輝度を増加させたプラズマディスプレイパネルの出現
が望まれていた。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の発明者らは、蛍
光体層が形成される領域に壁状の突起部を設け、この壁
状の突起部を覆うように蛍光体層を形成することによ
り、蛍光体の付着面積を増大させ、これによりパネルの
高輝度化が実現できることを見いだした。

【００１２】かくしてこの発明によれば、一対の基板を
放電空間を有するように対向配置し、放電空間を仕切る
ための複数の帯状の隔壁を背面側または前面側の前記基
板上に並列して配置するとともに、隔壁間の溝内の少な
くとも放電部を形成する領域に、前記隔壁よりも低い壁
状の突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間の溝
内に蛍光体層を形成してなるプラズマディスプレイパネ
ルを製造する製造方法であって、プラズマディスプレイ
パネルの背面側または前面側の基板に壁状の突起部と隔
壁を形成するに際し、基板上に第１の感光性材料層を形
成し、その上に壁状の突起部のパターンを有するフォト
マスクを配置して露光を行い、そのまま現像せずに第１
の感光性材料層上に第２の感光性材料層を形成し、その
上に隔壁のパターンを有するフォトマスクを配置して露
光を行った後に現像することにより、基板上に壁状の突
起部と隔壁が形成された元型を作製し、この元型を用い
て転写用凹版を作製し、その転写用凹版の凹部に隔壁材
料を充填してプラズマディスプレイパネル用の基板に転
写するか、あるいはこの元型を利用してプレス凸版を作
製し、そのプレス凸版を用いてプラズマディスプレイパ
ネル用の基板上の隔壁材料をプレス成形することからな
る工程により、当該プラズマディスプレイパネルの背面
側または前面側の基板に壁状の突起部と隔壁を形成する
プラズマディスプレイパネルの製造方法が提供される。

【００１３】また、この発明によれば、前面側の基板と
背面側の基板との間に放電空間を形成し、前面側の基板
は面放電のための放電スリットを隔てて配置した表示電
極対をそれぞれ放電しないスリットを隔てて複数対平行
に配置し、背面側の基板は表示電極対と交差する方向の
複数のアドレス電極と、隣接したアドレス電極の間に設
けられた帯状の隔壁とを配置するとともに、隔壁間の溝
内であって前面側基板の非放電スリットに対応する位置
に隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁状の突起
部を含む隔壁間に蛍光体層を形成してなる面放電型プラ
ズマディスプレイパネルを製造する製造方法であって、
前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に第１の感光性
材料層を形成し、その上に壁状の突起部のパターンを有
するフォトマスクを配置して露光を行い、そのまま現像
せずに第１の感光性材料層上に第２の感光性材料層を形
成し、その上に隔壁のパターンを有するフォトマスクを
配置して露光を行った後に現像することにより、基板上
に壁状の突起部と隔壁が形成された元型を作製し、この
元型を用いて転写用凹版を作製し、その転写用凹版の凹
部に隔壁材料を充填して当該プラズマディスプレイパネ
ルの背面側基板に転写するか、あるいはこの元型を利用
してプレス凸版を作製し、そのプレス凸版を用いて当該
プラズマディスプレイパネルの背面側基板上の隔壁材料
をプレス成形することからなる工程により、当該プラズ
マディスプレイパネルの背面側基板に壁状の突起部と隔
壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法が
提供される。

【００１４】

【発明の実施の形態】この発明において、前面側の基板
と背面側の基板としては、ガラス、石英、シリコン等の
基板や、これらの基板上に、電極、絶縁膜、誘電体層、
保護膜等の所望の構成物を形成した基板が含まれる。

【００１５】帯状の隔壁は、背面側または前面側の基板
に形成されていればよく、どのような形態の隔壁であっ
てもよい。例えば、ストライプ状の隔壁が平行に配置さ
れたものや、蛇行状の隔壁が並列に配置されたもの（特
開平９−０５０７６８号公報参照）であってもよい。ま
た、隔壁の端部が中央部より太くなったものや、帯状隔
壁の端部が接続されたものなど、あらゆる形態の隔壁が
含まれる。前面側の基板と背面側の基板との周辺の封止
は、特に限定されず、どのような材料および方法で行わ
れたものであってもよい。

【００１６】壁状の突起部は、隔壁よりも低く、かつ蛍
光体層の形成面積を増大するという目的さえ達成される
高さであれば、どのような形状のものであってもよい。
すなわち、蛍光体層が形成される領域である隔壁間の細
長い溝内に、帯状隔壁の特徴の１つであるガスの流通性
を損なわないように、隔壁よりも低く、かつ壁状に形成
されたものであればよく、材料、製法に特に限定はな
い。例えば、隔壁がストライプ状のものであれば、この
隔壁と交差する方向に連続あるいは分断されて形成され
たものであってもよいし、隔壁と平行な方向に連続ある
いは分断されて形成されたものであってもよい。

【００１７】具体的には、隔壁が、並列に配置されたス
トライプ状のものであれば、壁状の突起部は、隔壁と交
差する方向に設けられていてもよい。この場合、対向側
の基板が、隔壁と交差する方向に面放電のための複数の
主電極対を有している構成であれば、壁状の突起部は、
主電極対と主電極対との間の非放電領域（逆スリット）
に対応する位置に設けるようにしてもよい。この構成で
あれば、隣接する主電極対間の放電結合（クロストー
ク）を防止する構造とすることができる。

【００１８】あるいは、前記主電極対の放電領域に対応
する位置に壁状の突起部を設けるようにしてもよい。

【００１９】また、隔壁が、並列に配置されたストライ
プ状のものであれば、壁状の突起部は、隔壁と平行にス
トライプ状に設けられていてもよい。さらに、隔壁が、
並列に配置されたストライプ状のものであれば、壁状の
突起部は、隔壁と交差する方向に設けられた第１の突起
部と、隔壁と平行に設けられた第２の突起部とからなる
ものであってもよい。この場合、第１の突起部は、前記
したように非放電部の逆スリットに対応する位置に設け
るのが望ましい。

【００２０】蛍光体層は、壁状の突起部を含む隔壁間溝
部に形成されていればよく、材料、製法については、特
に限定はなく、いずれも公知のものを使用することがで
きる。

【００２１】この発明のプラズマディスプレイパネルの
製造方法において、第１の感光性材料としては、特に限
定されず、公知の材料をいずれも使用することができ
る。例えば感光性のレジスト、あるいは感光性のドライ
フィルムなどである。

【００２２】第１の感光性材料層上に配置するフォトマ
スクは、壁状の突起部のパターンを有していればよく、
材料、形成方法とも、公知のフォトリソグラフィの手法
で用いられるものをそのまま適用することができる。露
光についても、公知のフォトリソグラフィの手法で用い
られるものを適用することができる。

【００２３】第２の感光性材料は、第１の感光性材料と
同じものであってもよいし、異なるものであってもよ
い。この第２の感光性材料層上に配置されるフォトマス
クは、隔壁のパターンを有していればよく、材料、形成
方法とも、公知のフォトリソグラフィの手法で用いられ
るものをそのまま適用することができる。露光について
も、公知のフォトリソグラフィの手法で用いられるもの
を適用することができる。

【００２４】転写用凹版は、シリコーンゴムなどを用い
て元型を転像することにより形成することができる。そ
して、この転写用凹版を用いて転写により、ＰＤＰ用の
基板に壁状の突起部と隔壁を形成する。この場合、壁状
の突起部と隔壁は、同じ隔壁材料を用いて転写すること
が望ましい。ＰＤＰ用基板への隔壁材料の転写は、公知
の凹版転写法により行うことができる。また、転写用凹
版は、固い樹脂もしくは電鋳でプレス凸版として作製し
てもよく、この場合には、このプレス凸版で絶縁物をプ
レスすることにより、ＰＤＰ用基板に壁状の突起部およ
び隔壁を形成することができる。

【００２５】転写あるいはプレスの際に用いられる隔壁
材料としては、特に限定されず、公知の材料をいずれも
使用することができる。感光性材料で作製した元型はそ
のまま元型として用いても良いし、他の樹脂による転写
を繰返したり、電鋳による型を作ったりする中間型とし
て用いてもよい。

【００２６】以下、図面に示す実施の形態に基づいてこ
の発明を詳述する。なお、これによってこの発明が限定
されるものではない。

【００２７】図１は本発明の実施例を示すＡＣ型の三電
極面放電ＰＤＰの内部構造を示す斜視図である。ＰＤＰ
１は、前面側のガラス基板１１の内面に、行Ｌ毎に一対
ずつサステイン電極（表示電極）Ｘ，Ｙが配列されてい
る。行Ｌは画面における水平方向のセル列である。サス
テイン電極Ｘ，Ｙは、それぞれがＩＴＯからなる透明導
電膜４１とＣｒ−Ｃｕ−Ｃｒからなる金属膜（バス電
極）４２で形成され、低融点ガラスからなる厚さ３０μ
ｍ程度の誘電体層１７で被覆されている。誘電体層１７
の表面にはマグネシア（ＭｇＯ）からなる厚さ数千オン
グストロームの保護膜１８が設けられている。アドレス
電極Ａは、背面側のガラス基板２１の内面を覆う下地層
２２の上に配列されており、厚さ１０μｍ程度の誘電体
層２４によって被覆されている。誘電体層２４の上に
は、高さ１５０μｍの平面視直線帯状の隔壁２９が、各
アドレス電極Ａの間に１つずつ設けられている。これら
の隔壁２９によって放電空間３０が行方向にサブピクセ
ル（単位発光領域）毎に区画され、且つ放電空間３０の
間隙寸法が規定されている。そして、アドレス電極Ａの
上方及び隔壁２９の側面を含めて背面側の内面を被覆す
るように、カラー表示のためのＲ，Ｇ，Ｂの３色の蛍光
体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが設けられている。３色の
配置パターンは、１列のセルの発光色が同一で且つ隣接
する列どうしの発光色が異なるストライプパターンであ
る。なお、隔壁形成に際しては、コントラストを高める
ために頂上部を暗色に着色し、他の部分を白色に着色し
て可視光の反射率を高めるのが望ましい。着色は材料の
ガラスペーストに所定色の顔料を添加することにより行
う。

【００２８】放電空間３０には主成分のネオンにキセノ
ンを混合した放電ガスが充填されており（封入圧力は５
００Ｔｏｒｒ）、蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは放
電時にキセノンが放つ紫外線によって局部的に励起され
て発光する。表示の１ピクセル（画素）は行方向に並ぶ
３個のサブピクセルで構成される。各サブピクセル内の
構造体がセル（表示素子）である。隔壁２９の配置パタ
ーンがストライプパターンであることから、放電空間３
０のうちの各列に対応した部分は全ての行Ｌに跨がって
列方向に連続している。そのため、隣接する行Ｌどうし
の電極間隙（逆スリット）の寸法は各行Ｌの面放電ギャ
ップ（例えば５０〜１５０μｍの範囲内の値）より十分
に大きく、列方向の放電結合を防ぐことのできる値（例
えば１５０〜５００μｍの範囲内の値）に選定されてい
る。なお、逆スリットには非発光の白っぽい蛍光体層を
隠す目的で、前面側ガラス基板１１の外面側又は内面側
に図示しない遮光膜が設けられる。

【００２９】このように、ＰＤＰ１では、放電を発生さ
せない部分（逆スリット）の電極間隔を、放電を発生さ
せる面放電ギャップ（放電スリット、または単にスリッ
トと呼ぶ）よりも広くすることによって、放電を限定し
ている。

【００３０】図２は隔壁と壁状突起部の詳細構成の第１
例を示す説明図である。この例においては、背面側基板
２１の、前面側基板１１の逆スリットに対応する部分
に、隔壁２９よりも低い壁状の突起部５１を行Ｌ方向に
連続して形成し、隔壁２９と隔壁２９との間の隔壁間溝
部５２全体に、スクリーン印刷法、ディスペンス法等の
公知技術により蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂを形成
する。

【００３１】図３は蛍光体層形成後の図２のIII−III断
面を示す説明図であり、この図に示すように、蛍光体層
２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、誘電体層の表面、隔壁２９
の側面および突起部５１の表面を覆うように形成され
る。なお、この場合、突起部５１表面の蛍光体層は、隔
壁２９の高さよりも低くして、隔壁２９間の溝内でのガ
スの流通性を阻害しないようにする。

【００３２】このように、背面側基板２１の逆スリット
対応部に壁状の突起部を形成することにより、その突起
部にも蛍光体層が形成されることになり、したがってそ
の分蛍光体の塗布面積が増加し、単位放電領域当たりの
蛍光体発光面積が増大するので、従来の突起部のないも
のよりも輝度を増加させることができる。ここで突起部
の表面に蛍光体の発光を反射する白色の光反射層をコー
トするか、突起部自体を白色の顔料を含んだガラス材で
形成すれば、当該蛍光体の発光を視覚側に反射できて輝
度をさらに増加できる。

【００３３】また、突起部５１によって列方向の放電結
合が物理的に抑制されるので、逆スリット部におけるク
ロストークの防止に寄与する構造とすることができる。
そして、このクロストークの防止構造により、逆スリッ
ト部の間隔を従来よりも狭くすることができるので、表
示放電領域の拡大（スリット間隔の増大）が達成され、
さらに輝度を向上させることが可能となる。

【００３４】そして、上述したように、突起部５１は隔
壁２９よりも低いため、そこに蛍光体が塗布されても、
不純物ガスの排気時あるいは放電ガスの導入時における
ガスの通過は阻止されない。

【００３５】次に、第２例は、第１例と全く同じ形状の
壁状の突起部５１を、背面側基板２１の逆スリット対応
部以外の部分に形成する。例えば、壁状の突起部５１
を、第１例のような逆スリット対応部ではなく、スリッ
ト対応部に形成する。

【００３６】この構成では、セルの中央部分に突起部５
１が存在することになり、セルの中央部での蛍光体の塗
布面積が増加するので、第１例と同様に輝度の増大を図
ることができる。ただし、逆スリット部でのクロストー
ク防止効果はない。

【００３７】図４は隔壁と壁状突起部の詳細構成の第３
例を示す説明図である。この例においては、背面側基板
２１の隔壁間溝部５２に、隔壁２９よりも低い壁状の突
起部５３を隔壁２９と平行に連続して形成し、その突起
部５３を含む隔壁間溝部５２全体に蛍光体層２８Ｒ，２
８Ｇ，２８Ｂを形成する。

【００３８】図５は蛍光体層形成後の図４のＶ−Ｖ断面
を示す説明図であり、この図に示すように、蛍光体層２
８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、誘電体層の表面、隔壁２９の
側面および突起部５１の表面を覆うように形成される。

【００３９】この構成においても、蛍光体の塗布面積が
増加するので、突起部のないものよりも輝度を増大させ
ることができる。

【００４０】次に、第４例は、第３例と全く同じ形状の
壁状の突起部５３を、セル単位で分断した構造とする。
分断する位置は、逆スリット対応部であっても、スリッ
ト対応部であってもよい。蛍光体の塗布面積は、分断す
る位置に関係なく増加されるので、輝度はいずれの分断
位置であっても増大することができる。

【００４１】図６は隔壁と壁状突起部の詳細構成の第５
例を示す説明図である。この例は、第１例で示した突起
部５１を隔壁２９と交差する方向に形成したものと、第
３例で示した突起部５３を隔壁２９に平行に形成したも
のとを組み合わせたものであり、それらの相乗効果が期
待できるものである。

【００４２】なお、実施の形態としては、これに限ら
ず、任意の組み合わせも可能である。また、蛍光体の各
色ごとに、隔壁の高さや隔壁の数、あるいはそれらを組
み合わせる形状の形態などを変えて、理想的なホワイト
バランスや、寿命の調整をすることも可能である。

【００４３】このようにして、蛍光体層の形成領域であ
る隔壁間溝部に突起部を設け、放電空間内の表面積を増
大させて、蛍光体の付着面積を増大させることにより、
ＰＤＰの高輝度化を図ることができる。

【００４４】次に、壁状の突起部および隔壁の形成方法
について説明する。図７は図２で示した壁状突起部およ
び隔壁の形成方法の第１例を示す説明図である。この方
法は、感光性材料（例えばドライフィルムレジスト、以
下ＤＦＲと記す）を利用して元型を作製し、それを用い
て転写用凹版を作り、転写法により壁状の突起部と隔壁
を形成する方法である。感光性材料としては光が照射さ
れた部分が硬化して残るネガ型を用いる。

【００４５】作製方法は、まず、元型用の基板６２上
に、壁状の突起部５１ａの高さ相当の感光性材料層（例
えばＤＦＲを２枚）６１を形成し、その上にフォトマス
クを配置して突起部５１ａのパターンを露光する（図７
（ａ）参照）。

【００４６】この状態で現像せずに、さらに新しい感光
性材料層を、隔壁２９ａの高さ相当まで形成してゆく
（例えばＤＦＲを１枚上乗せする）。その後、その上に
フォトマスクを配置して今度は隔壁２９ａのパターンを
露光する（図７（ｂ）参照）。ちなみに、隔壁のパター
ンの特定の部分に凹部を設けたい場合は、その部分だけ
露光しないようにすればよい。

【００４７】用いている感光性材料は、ネガ型であり、
光が一回以上照射された部分は光重合反応がおこり、現
像液に対して不溶となるため、この段階で現像すれば、
所望の壁状の突起部５１ａと隔壁２９ａのパターンの元
型（原形）が形成できる（図７（ｃ）参照）。

【００４８】引き続き、この基板６２上の突起部５１ａ
と隔壁２９ａをシリコーンゴムなどを用いて転像するこ
とにより、転写用凹版６３を作製し、その凹版６３に絶
縁性ペーストを埋め込み、図中矢印で示すように、本来
のＰＤＰの基板２１に転写形成することにより、所望の
突起部５１と隔壁２９を得る（図７（ｄ）参照）。

【００４９】あるいは、先の転写用凹版６３を固い樹脂
もしくは電鋳で作製し、プレス凸版として使用し、絶縁
物をプレスすることにより、所望の突起部５１と隔壁２
９を得ることもできる。なお、感光性材料で作製した基
板はそのまま元型として用いても良いし、他の樹脂によ
る転写を繰返したり、電鋳による型を作ったりする中間
型として用いてもよい。

【００５０】図８は図２で示した壁状突起部および隔壁
の形成方法の第２例を示す説明図である。この方法は、
第１例の形成方法に似ているが、製造安定性の向上が達
成できる形成方法である。感光性材料は、光照射により
重合が進むが、当然膜厚方向に光の減衰が生じてしま
い、上述の第１例の形成方法のように隔壁のトップとな
る部分から露光を行うと、基板６２に接触する部分の光
強度が一番弱くなり、感光性材料６１と基板６２との密
着性が低下したり、隔壁形状が逆テーパになりがちであ
る。

【００５１】そこで、作製方法は、まず、元型用の基板
として、例えばガラス基板のような透明な基板６２ａを
用い、その基板６２ａ上に、隔壁のネガパターンをあら
かじめ遮光性材料（例えばクロム薄膜）６３で形成して
おく（図８（ａ）参照）。そして、この上に、突起部５
１ａの高さ相当の感光性材料層（例えばＤＦＲを２枚）
６１を形成し、第１例の形成方法と同じようにその上に
フォトマスクを配置して突起部５１ａのパターンを露光
する（図８（ｂ）参照）。

【００５２】続いて、この状態で現像せずに、さらに新
しい感光性材料層６１を、隔壁２９ａの高さ相当まで形
成してゆく（例えばＤＦＲを１枚上乗せする）。その
後、今度は隔壁２９ａのパターンを露光する際には、フ
ォトマスクを用いずに、透明なガラス基板６２ａの背面
から、あらかじめ基板６２ａ上に形成しておいた遮光性
材料６３のパターンを介して感光性材料層６１の露光を
行い（図８（ｃ）参照）、その後、現像することによ
り、所望の突起部５１ａおよび隔壁２９ａのパターンの
元型を形成する（図８（ｄ）参照）。

【００５３】この元型を利用して、第１例の形成方法と
同様に、転写用凹版６３を作製し、その凹版６３に絶縁
性ペーストを埋め込み、本来のＰＤＰの基板２１に転写
形成することにより、所望の突起部５１と隔壁２９を得
る（図８（ｅ）参照）。あるいは、元型を利用してプレ
ス凸版を作製し、このプレス凸版で絶縁物をプレスする
ことにより、所望の突起部５１と隔壁２９を得てもよ
い。

【００５４】このようにして、２度目の露光の際には背
面露光を行って、感光性材料層６１の隔壁となる部分に
対し、基板６２ａと接触する部分に最も強い光が照射さ
れるようにし、この部分の光重合を促進して現像液に侵
されにくくすることにより、感光性材料６１と基板６２
ａとの密着性を飛躍的に増大させることができる。ま
た、光の減衰によって、隔壁のトップにゆくほど光が弱
くなり、隔壁形状が山形のテーパー状となるので、この
元型で作った転写用凹版を、凹部に充填した隔壁材料が
転写の際に抜けやすい、いわゆる離型性のよい転写凹版
とすることができ、プラズマディスプレイパネルの製造
安定性が確保できる。

【００５５】本例において、２度目の露光時に背面露光
を行うようにしているのは、突起部５１は高さが低く転
写が容易である（転写確率が高い）のでテーパーを付け
る必要がなく、また、隔壁が上から交差するように形成
されるため、隔壁の密着性を向上させればその下に位置
する突起部の密着性も自動的に確保される、という理由
による。しかしながら、この背面露光と前面露光と組み
合わせる場合の順序は、どちらが先でも後でもよく、プ
ロセスや所望形状によって決定すればよい。

【００５６】第１例および第２例の形成方法において
は、基板上に第１の感光性材料層を形成して露光し、そ
のまま現像せずに、その上に第２の感光性材料層を形成
して上面あるいは背面から露光した後、第１と第２の感
光性材料層を一度に現像するという、いわゆる多段露光
を行って元型を作製し、それを用いて転写あるいはプレ
スによって突起部と隔壁を形成するようにしている。

【００５７】したがって、多段露光の手法によって高さ
の異なる突起部と隔壁を同一基板に形成することがで
き、しかも感光性材料の使用により、機械加工では作製
が困難であった微細形状の元型を容易にしかも精密に作
製することができる。

【００５８】すなわち、低コスト、かつ、簡易な製造方
法である隔壁の転写形成法（プレス法も含む）に使用す
る元型が、歩留まり良く、かつ、容易に製造でき、機械
加工では極めて困難であった隔壁のテーパー角制御や、
格子状などのパターン形状の作製が容易となる。また、
そのパターンはフォトリソグラフィが基本となるため、
設計変更も容易となる。

【００５９】第１例および第２例の形成方法では、転写
法やプレス法で突起部および隔壁を形成する方法を示し
たが、感光性の隔壁材料を用いて、ＰＤＰ用の基板に直
接、突起部および隔壁を形成するようにしてもよい。

【００６０】すなわち、基板６２あるいは透明基板６２
ａのかわりに、上面にアドレス電極が形成されたＰＤＰ
用の背面側のガラス基板２１を用い、ＤＦＲのような感
光性材料のかわりに、感光性の隔壁材料を用いて、第１
例および第２例の方法と同じ方法で、背面側のガラス基
板２１に突起部５１と隔壁２９を直接形成するようにし
てもよい。

【００６１】このような突起部５１と隔壁２９の直接形
成に際し、第２例の形成方法で示した背面露光を適用す
る場合には、遮光性材料のパターンとしてアドレス電極
Ａの電極パターンをそのまま用いるようにすれば、隔壁
のマスクパターンのアドレス電極Ａに対する位置合わせ
が不要となる。

【００６２】図９は図２で示した壁状突起部および隔壁
の形成方法の第３例を示す説明図である。この方法は、
転写法やプレス法を用いるのではなく、ＰＤＰ用の基板
に直接、壁状の突起部と隔壁を形成する方法である。

【００６３】この方法では、上面に下地層２２、アドレ
ス電極Ａ、誘電体層２４が形成された背面側のガラス基
板２１を用い、この基板２１上に、まず、壁状の突起部
５１を、第１の材料（隔壁材料あるいは隔壁材料と同じ
ような材料）を用い、公知の方法（積層印刷法、サンド
ブラスト法、アデティブ法、感光法、転写法など）で形
成する（図９（ａ）参照）。この突起部５１は耐サンド
ブラスト性であることが必要である。

【００６４】その後、基板２１上に第２の材料である隔
壁材料層（ベタ膜）６４を形成し（図９（ｂ）参照）、
その隔壁材料層６４の表面に、耐サンドブラスト性の材
料で、例えばフォトリソグラフィの手法を用いて隔壁２
９のマスクパターン６５を形成し（図９（ｃ）参照）、
サンドブラストで切削することにより、隔壁２９を形成
する。壁状の突起部５１は耐サンドブラスト性であるた
めそのまま残る。これにより壁状の突起部５１と隔壁２
９を形成する（図９（ｄ）参照）。

【００６５】この方法では隔壁２９をサンドブラストで
形成するので、突起部５１がサンドブラストされないよ
うにする必要がある。そのため、突起部５１を焼成によ
りガラス化して機械強度を増しておくか、もしくは、突
起部５１の形成材料（第１の材料）の樹脂分（バインダ
ー量）を後から形成する第２の材料のそれよりも増加さ
せておき、これによりサンドブラストレイトに差を持た
せるようにする。

【００６６】一般に、隔壁材料として最も良く使用され
るのは、ＰｂＯ系のガラスペーストであり、これは、Ｐ
ｂＯのガラス粉末と、ＳｉＯ₂やＡｌ₂Ｏ₃のような耐火
性酸化物（１５００℃程度の耐火性を持つ）からなるフ
ィラー（骨材）と、アクリル樹脂やセルロース樹脂のよ
うなバインダー樹脂と、テルピネオールやブチルカルビ
トールのような溶剤とを混合して作製する。

【００６７】そして、隔壁の形成は、ガラスペーストを
塗布し、ガラスペーストを乾燥させて溶剤成分を蒸発さ
せた後、サンドブラストで隔壁の状態に切削し、その後
焼成することによりバインダー樹脂成分を焼失させ、フ
ィラーとその周りに固化したガラス成分だけとすること
により行う。このとき、ガラスペーストは、バインダー
樹脂成分が多いとサンドブラストで削れにくく、少ない
とサンドブラストで削れやすいという性質がある。した
がって、この性質を利用して、サンドブラストレイトに
差を持たせることができる。

【００６８】次に、この第３例の形成方法の変形例を説
明する。ガラスペーストは、ペーストの状態から固化し
た隔壁となるまでに、通常、約７０〜８０％程度収縮す
る。したがって、この性質を利用して、隔壁よりも低い
壁状の突起部を形成することができる。

【００６９】すなわち、上面に下地層２２、アドレス電
極Ａ、誘電体層２４が形成された背面側のガラス基板２
１を用い、この基板２１上に、まず、隔壁２９を、第１
の材料（隔壁材料）を用い、公知の方法（積層印刷法、
サンドブラスト法、アデティブ法、感光法、転写法な
ど）で形成し、焼成する。

【００７０】その後、隔壁２９の間に、焼成後の隔壁２
９と同じ高さまで第２の材料（隔壁材料あるいは隔壁材
料と同じような材料）を塗布して乾燥させ、その材料層
の表面に、耐サンドブラスト性の材料で、例えばフォト
リソグラフィの手法を用いて突起部５１のマスクパター
ンを形成し、サンドブラストで切削することにより、突
起部５１を形成し、焼成する。隔壁２９はすでに焼成し
ているので、この焼成の段階では突起部５１のみが収縮
し、これにより、隔壁２９と、その隔壁に対して７０〜
８０％程度の高さの壁状の突起部５１を形成することが
できる。

【００７１】なお、上述したガラスペーストは、フィラ
ーの量が多ければ焼成した時にあまり収縮せず（焼成時
の収縮率→小）、少なければ焼成した時によく収縮する
（焼成時の収縮率→大）という関係がある。また、バイ
ンダー樹脂の量が少なければ焼成時の収縮率は小さく、
多ければ収縮率は大きいという関係がある。したがっ
て、この性質を利用して、フィラーの量やバインダー樹
脂の量を適切に調整することにより、突起部５１を、隔
壁２９に対して最大４０〜５０％程度の高さのものとす
ることができる。

【００７２】この形成方法であれば、突起部の形成に際
して、ガラスペーストを隔壁と同じ高さまで塗布すると
いう簡単な作業工程で、常に一定の高さの突起部を得る
ことができる。しかし、収縮率に限界があるので、この
収縮率を目安にして、突起部を先に形成するのか隔壁を
先に形成するのかを決定する。すなわち、低い突起部を
形成するのであれば突起部を先に形成し、高い突起部を
形成するのであれば隔壁を先に形成する。

【００７３】図１０は図２で示した壁状突起部および隔
壁の形成方法の第４例を示す説明図である。この方法
も、転写法やプレス法を用いるのではなく、ＰＤＰ用の
基板に直接、突起部と隔壁を形成する方法である。

【００７４】この方法では、第３例の形成方法と同様
に、上面に下地層２２、アドレス電極Ａ、誘電体層２４
が形成された背面側のガラス基板２１を用い、この基板
２１上に、まず、突起部の高さだけの、突起部と隔壁が
つながった格子状の凸部６６のパターンを公知の方法
（積層印刷法、サンドブラスト法、アディティブ法、感
光法、転写法など）で形成する（図１０（ａ）参照）。

【００７５】その後、隔壁に相当する部分のみに積層印
刷法により隔壁材料のペースト層６７を形成し、壁状の
突起部５１と隔壁２９を形成する。凸部６６のペースト
層６７を積層した部分が隔壁２９となり、ペースト層６
７を積層しなかった部分が壁状の突起部５１となる（図
１０（ｂ）参照）。

【００７６】あるいは、格子状の凸部６６を形成後、サ
ンドブラスト切削性の良い隔壁材料層を全面に形成し、
隔壁のマスクパターンを形成後、サンドブラストにて隔
壁を形成する方法や、感光性隔壁材料の全面形成および
隔壁パターンのフォトリソグラフィによっても所望形状
は形成可能である。

【００７７】なお、以上の形成方法の説明においては、
図２で示した第１例および第２例の形状の突起部および
隔壁の形成方法のみを説明したが、図４で示した第３例
および第４例の形状、あるいは図６で示した第５例の形
状の突起部および隔壁であっても、同様の方法で形成す
ることができる。

【００７８】

【発明の効果】この発明のプラズマディスプレイパネル
の製造方法によれば、従来の製造設備を用いて、従来の
製造方法の簡単な変更だけで高輝度なプラズマディスプ
レイパネルを製造することができ、工業的汎用性も高
く、さらに感光性材料の元型を利用した転写法やプレス
法を用いれば、より簡便で、歩留まりの高い、低コスト
な製造プロセスでプラズマディスプレイパネルを製造す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示すＡＣ型の三電極面放電Ｐ
ＤＰの内部構造を示す斜視図である。

【図２】本発明の隔壁と壁状突起部の詳細構成の第１例
を示す説明図である。

【図３】蛍光体層形成後の図２のIII−III断面を示す説
明図である。

【図４】本発明の隔壁と壁状突起部の詳細構成の第３例
を示す説明図である。

【図５】蛍光体層形成後の図４のＶ−Ｖ断面を示す説明
図である。

【図６】本発明の隔壁と壁状突起部の詳細構成の第５例
を示す説明図である。

【図７】図２で示した壁状突起部及び隔壁の形成方法の
第１例を示す説明図である。

【図８】図２で示した壁状突起部及び隔壁の形成方法の
第２例を示す説明図である。

【図９】図２で示した壁状突起部及び隔壁の形成方法の
第３例を示す説明図である。

【図１０】図２で示した壁状突起部及び隔壁の形成方法
の第４例を示す説明図である。

【符号の説明】

１ＰＤＰ１１前面側のガラス基板１７誘電体層１８保護膜２１背面側のガラス基板２２下地層２４誘電体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ蛍光体層２９，２９ａ隔壁３０放電空間４１透明導電膜４２金属膜５１，５１ａ，５３壁状の突起部５２隔壁間溝部６１感光性材料層６２基板６２ａ透明基板６３遮光性材料６４隔壁材料層６５マスクパターン６６格子状の凸部６７隔壁材料のペースト層Ａアドレス電極Ｌ行Ｘ，Ｙサステイン電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者並木文博神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (72)発明者森田三郎神奈川県川崎市中原区上小田中４丁目１番１号富士通株式会社内 (56)参考文献特開平４−47639（ＪＰ，Ａ) 特表平９−507957（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 11/02 H01J 9/02 H01J 17/04

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に第
１の感光性材料層を形成し、その上に壁状の突起部のパ
ターンを有するフォトマスクを配置して露光を行い、そ
のまま現像せずに第１の感光性材料層上に第２の感光性
材料層を形成し、その上に隔壁のパターンを有するフォ
トマスクを配置して露光を行った後に現像することによ
り、基板上に壁状の突起部と隔壁が形成された元型を作
製し、この元型を用いて転写用凹版を作製し、その転写
用凹版の凹部に隔壁材料を充填してプラズマディスプレ
イパネル用の基板に転写するか、あるいはこの元型を利
用してプレス凸版を作製し、そのプレス凸版を用いてプ
ラズマディスプレイパネル用の基板上の隔壁材料をプレ
ス成形することからなる工程により、当該プラズマディ
スプレイパネルの背面側または前面側の基板に壁状の突
起部と隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製
造方法。
【請求項２】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、光透過性の
基板上に遮光性の材料からなる隔壁のパターンを形成
し、その上に第１の感光性材料層を形成し、その上に壁
状の突起部のパターンを有するフォトマスクを配置して
露光を行い、そのまま現像せずに第１の感光性材料層上
に第２の感光性材料層を形成し、その後、基板の背面か
ら露光を行った後に現像することにより、基板上に壁状
の突起部と隔壁が形成された元型を作製し、この元型を
用いて転写用凹版を作製し、その転写用凹版の凹部に隔
壁材料を充填してプラズマディスプレイパネル用の基板
に転写するか、あるいはこの元型を利用してプレス凸版
を作製し、そのプレス凸版を用いてプラズマディスプレ
イパネル用の基板上の隔壁材料をプレス成形することか
らなる工程により、当該プラズマディスプレイパネルの
背面側または前面側の基板に壁状の突起部と隔壁を形成
するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に耐
サンドブラスト性の材料で凸部を形成した後、基板全面
にサンドブラスト切削性の良い隔壁材料層を形成し、そ
の上にフォトリソグラフィの手法を用いて耐サンドブラ
スト性のパターンを形成し、そのパターンを介してサン
ドブラストによって隔壁材料層を切削することからなる
工程により、当該プラズマディスプレイパネルの背面側
または前面側の基板に壁状の突起部と隔壁を形成するプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に同
じ高さの第１の壁状の突起部と第２の壁状の突起部を互
いに交差させて形成し、いずれか一方の壁状の突起部上
に隔壁の高さまで凸部を形成することからなる工程によ
り、当該プラズマディスプレイパネルの背面側または前
面側の基板に壁状の突起部と隔壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に第
１の感光性隔壁材料層を形成し、その上に壁状の突起部
のパターンを有するフォトマスクを配置して露光を行
い、そのまま現像せずに第１の感光性隔壁材料層上に第
２の感光性隔壁材料層を形成し、その上に隔壁のパター
ンを有するフォトマスクを配置して露光を行った後に現
像することからなる工程により、当該プラズマディスプ
レイパネルの背面側または前面側の基板に壁状の突起部
と隔壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方
法。
【請求項６】一対の基板を放電空間を有するように対
向配置し、放電空間を仕切るための複数の帯状の隔壁を
背面側または前面側の前記基板上に並列して配置すると
ともに、隔壁間の溝内の少なくとも放電部を形成する領
域に、前記隔壁よりも低い壁状の突起部を設け、その壁
状の突起部を含む隔壁間の溝内に蛍光体層を形成してな
るプラズマディスプレイパネルを製造する製造方法であ
って、プラズマディスプレイパネルの背面側または前面側の基
板に壁状の突起部と隔壁を形成するに際し、光透過性の
基板上に遮光性の材料からなる隔壁のパターンを形成
し、その上に第１の感光性隔壁材料層を形成し、その上
に壁状の突起部のパターンを有するフォトマスクを配置
して露光を行い、そのまま現像せずに第１の感光性隔壁
材料層上に第２の感光性隔壁材料層を形成し、その後、
基板の背面から露光を行った後に現像することからなる
工程により、当該プラズマディスプレイパネルの背面側
または前面側の基板に壁状の突起部と隔壁を形成するプ
ラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項７】前面側の基板と背面側の基板との間に放
電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電ス
リットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電しな
いスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基板
は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極と、
隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁とを
配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基板の
非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁状の
突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍光体
層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパネル
を製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、基板上に第１の感光性
材料層を形成し、その上に壁状の突起部のパターンを有
するフォトマスクを配置して露光を行い、そのまま現像
せずに第１の感光性材料層上に第２の感光性材料層を形
成し、その上に隔壁のパターンを有するフォトマスクを
配置して露光を行った後に現像することにより、基板上
に壁状の突起部と隔壁が形成された元型を作製し、この
元型を用いて転写用凹版を作製し、その転写用凹版の凹
部に隔壁材料を充填して当該プラズマディスプレイパネ
ルの背面側基板に転写するか、あるいはこの元型を利用
してプレス凸版を作製し、そのプレス凸版を用いて当該
プラズマディスプレイパネルの背面側基板上の隔壁材料
をプレス成形することからなる工程により、当該プラズ
マディスプレイパネルの背面側基板に壁状の突起部と隔
壁を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項８】前面側の基板と背面側の基板との間に放
電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電ス
リットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電しな
いスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基板
は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極と、
隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁とを
配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基板の
非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁状の
突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍光体
層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパネル
を製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、光透過性の基板上に遮
光性の材料からなる隔壁のパターンを形成し、その上に
第１の感光性材料層を形成し、その上に壁状の突起部の
パターンを有するフォトマスクを配置して露光を行い、
そのまま現像せずに第１の感光性材料層上に第２の感光
性材料層を形成し、その後、基板の背面から露光を行っ
た後に現像することにより、基板上に壁状の突起部と隔
壁が形成された元型を作製し、この元型を用いて転写用
凹版を作製し、その転写用凹版の凹部に隔壁材料を充填
して当該プラズマディスプレイパネルの背面側基板に転
写するか、あるいはこの元型を利用してプレス凸版を作
製し、そのプレス凸版を用いて当該プラズマディスプレ
イパネルの背面側基板上の隔壁材料をプレス成形するこ
とからなる工程により、当該プラズマディスプレイパネ
ルの背面側基板に壁状の突起部と隔壁を形成するプラズ
マディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】前面側の基板と背面側の基板との間に放
電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電ス
リットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電しな
いスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基板
は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極と、
隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁とを
配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基板の
非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁状の
突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍光体
層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパネル
を製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、当該背面側基板上の前
記前面側基板の非放電スリットに対応する位置に耐サン
ドブラスト性の材料で凸部を形成した後、基板全面にサ
ンドブラスト切削性の良い隔壁材料層を形成し、その上
にフォトリソグラフィの手法を用いて耐サンドブラスト
性のパターンを形成し、そのパターンを介してサンドブ
ラストによって隔壁材料層を切削することからなる工程
により、当該プラズマディスプレイパネルの背面側基板
に壁状の突起部と隔壁を形成するプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。
【請求項１０】前面側の基板と背面側の基板との間に
放電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電
スリットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電し
ないスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基
板は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極
と、隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁
とを配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基
板の非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁
状の突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍
光体層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパ
ネルを製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、当該背面側基板上に同
じ高さの表示電極対に平行な第１の壁状の突起部とアド
レス電極に平行な第２の壁状の突起部を互いに交差させ
て形成し、第２の壁状の突起部上に隔壁の高さまで凸部
を形成することからなる工程により、当該プラズマディ
スプレイパネルの背面側基板に壁状の突起部と隔壁を形
成するプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】前面側の基板と背面側の基板との間に
放電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電
スリットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電し
ないスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基
板は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極
と、隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁
とを配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基
板の非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁
状の突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍
光体層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパ
ネルを製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側の基板に壁状
の突起部と隔壁を形成するに際し、当該背面側基板上に
第１の感光性隔壁材料層を形成し、その上に壁状の突起
部のパターンを有するフォトマスクを配置して露光を行
い、そのまま現像せずに第１の感光性隔壁材料層上に第
２の感光性隔壁材料層を形成し、その上に隔壁のパター
ンを有するフォトマスクを配置して露光を行った後に現
像することからなる工程により、当該プラズマディスプ
レイパネルの背面側基板に壁状の突起部と隔壁を形成す
るプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１２】前面側の基板と背面側の基板との間に
放電空間を形成し、前面側の基板は面放電のための放電
スリットを隔てて配置した表示電極対をそれぞれ放電し
ないスリットを隔てて複数対平行に配置し、背面側の基
板は表示電極対と交差する方向の複数のアドレス電極
と、隣接したアドレス電極の間に設けられた帯状の隔壁
とを配置するとともに、隔壁間の溝内であって前面側基
板の非放電スリットに対応する位置に隔壁よりも低い壁
状の突起部を設け、その壁状の突起部を含む隔壁間に蛍
光体層を形成してなる面放電型プラズマディスプレイパ
ネルを製造する製造方法であって、前記プラズマディスプレイパネルの背面側基板に壁状の
突起部と隔壁を形成するに際し、光透過性の当該背面側
基板上に遮光性の材料からなる隔壁のパターンを形成
し、その上に第１の感光性隔壁材料層を形成し、その上
に壁状の突起部のパターンを有するフォトマスクを配置
して露光を行い、そのまま現像せずに第１の感光性隔壁
材料層上に第２の感光性隔壁材料層を形成し、その後、
背面側基板の背面から露光を行った後に現像することか
らなる工程により、当該プラズマディスプレイパネルの
背面側基板に壁状の突起部と隔壁を形成するプラズマデ
ィスプレイパネルの製造方法。