CN1279795C - X射线产生装置 - Google Patents

Abstract

本发明的X射线产生装置具有：一阴极电极(15)、一用以控制该阴极电极(15)所生电子束(e)的栅极电极(17)、一用以集束该电子束(e)的聚焦电极(18)、以及一藉由电子束(e)的撞击而放出X射线的阳极靶材(14)。在阴极电极(15)和栅极电极(17)之间，受施加有一来自偏压电压产生部(20)的偏压电压(Vb)。阳极靶材(14)受施加一来自管电压产生部(19)的管电压(Vt)。分压部(31)对管电压(Vt)进行分压，而产生聚焦电压(Vf)。藉由将如此而得的聚焦电压(Vf)施加至聚焦电极(18)上，将可以抑制电压变动对于电子束的焦点形成所造成的影响。

Description

X射线产生装置

技术领域

本发明是有关于一种具有X射线管等的X射线产生装置。

背景技术

X射线产生装置是一种设有用以射出X射线的X射线管的装置，大多数利用于医疗或工业用诊断装置等。就X射线管而言，亦因应于X射线产生装置的用途，而有各种变化。例如，当要以X射线来检查受检查物的细微结构等时，是使用一种叫作微聚焦的X射线管，其在X射线产生区域所在的阳极靶材上的电子束焦点尺寸为数μm至数十μm(例如参考特开2001-273860号公报)。

上述微聚焦X射线管具有一用以将供射出X射线的阳极靶材或阴极等配置于各个真空容器内的构造。阴极由用以在加热器的加热下产生电子束的阴极电极、控制管电流的栅极电极、以及用以控制阳极靶材上的电子束焦点尺寸的聚焦电极等所构成。

在具有此类构造的X射线管中，一般是例如将阴极电极、阳极靶材、或栅极电极设定至接地电位，并施加一特定的(X射线)管电压至阳极靶材上。X射线管的动作状态是藉由例如控制一施加至聚焦电极或栅极电极的电压而受到调整。若是控制一施加至聚焦电极的电压的情形，是利用一与用以产生管电压的阳极靶材用电源分开而设的聚焦电极用电源，来产生一用以施加至聚焦电极的聚焦电压。

然而，在控制聚焦电压的方式中，若用以施加至阳极靶材的管电压，与施加至聚焦电极的聚焦电压，有脉动等上的变动，将影响到电子束的焦点形状，而难以形成微小的焦点。亦即，若要将电子束的焦点形状作到最小，则例如维持图7的符号P所示的管电压与聚焦电压间的比例关系将相当重要。若管电压与聚焦电压有变动的话，图7所示的比例关系将无法保持，而难以形成微小焦点。根据本发明者的实验，已确认管电压与聚焦电压间的比率若变动0.15％以上，将对于焦点直径有很大的影响。

相对于上述情形，在例如日本特开平7-29532号公报中，则记载有一X射线产生装置，其将聚焦电压设定于接地电位，并随着该施加至阳极靶材的电压变化，而以一定的比率，使该施加至阴极电极的电压产生变化。藉由此类习知X射线产生装置，由于聚焦电极保持于接地电位而没有变动，即使该施加至阳极靶材的电压有脉动产生，亦能保持微小焦点的稳定。

然而，上述公报中所记载的X射线产生装置由于必须将聚焦电极设定于接地电位，因而在装置构造上的限制相当大。例如，在习知X射线产生装置中，一般虽然是将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位，但在此类X射线产生装置上，则无法应用上述公报中所记载的微小焦点形成方法。因此，于将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位时，将有需要一种可以控制电压变动所对于电子束微小焦点形成的影响的技术。

又，在微聚焦X射线管中，是在阴极电极与栅极电极之间，施加一偏压电压，而以该偏压电压来控制一使X射线产生的电子束电流(管电流)。当应用此类管电流的控制方式时，一般会独立设置一用以产生该偏压电压的电源。

然而，在上述管电流控制方式中，当偏压电压用电源发生故障时，X射线管内将产生过大的管电流。这样的过大管电流会导致阳极靶材的熔化等，而招致X射线管的特性劣化，甚至破坏等。因此，当以该施加至阴极电极的偏压电压，来控制管电流时，将希望能提高其可靠度与安全性等。

本发明的目的在于提供一种即使将阳极靶材或栅极电极设定于接地电位时，亦能抑制电压变动对于形成电子束焦点的影响的X射线产生装置。本发明的其它目的则在于提供一种当以一施加至阴极电极的偏压电压来控制管电流时，能防止过大管电流产生，而藉以提高可靠性或安全性的X射线产生装置。

发明内容

本发明第一方面的一种X射线产生装置，具有：产生电子束的阴极电极；

控制所述阴极电极所产生的所述电子束的流动的栅极电极；将所述电子束集束的聚焦电极；通过由所述聚焦电极集束了的所述电子束的撞击而射出X射线的阳极靶材；产生向所述阴极电极及所述栅极电极间施加的偏压的偏压产生部；产生向所述阳极靶材施加的管电压的管电压产生部；将所述管电压分压而产生聚焦电压、将该聚焦电压外加于所述聚焦电极的同时、将所述聚焦电压进行分压而产生阴极电压的分压部；将所述分压部产生的所述阴极电压与所述偏压产生部产生的所述偏压进行合成，将该合成的电压施加于所述阴极电极。

在本发明的X射线产生装置中，由于是对管电压进行分压而产生聚焦电压，因而即使管电压中有脉动等变动产生，亦能维持管电压与聚焦电压间的比例关系是。因此，管电压的变动所对于电子束焦点尺寸的影响即受到抑制，结果，将可以在有比较好的再现性下形成电子束微小焦点。

第一方面的X射线产生装置还具特征在于：在分压部中对聚焦电压进行分压而产生阴极电压，再将该阴极电压，与该偏压电压产生部所产生的偏压电压加以合成。在此场合下，分压部所产生的阴极电压的大小是被设定成即使有相同大小的电压被施加在阴极电极与栅极电极间，亦不会有管电压产生。藉此，将可以提高X射线产生装置的安全性。

本发明第二方面的X射线产生装置，包括：产生电子束的阴极电极；控制所述阴极电极所产生的所述电子束的流动的栅极电极；将所述电子束集束的聚焦电极；通过由所述聚焦电极集束了的电子束的撞击而射出X射线的阳极靶材；产生向所述阳极靶材施加的管电压的管电压产生部；产生施加于所述聚焦电极的聚焦电压的聚焦电压产生部；产生施加于所述阴极电极及所述栅极电极间的偏压的偏压产生部；将所述聚焦电压分压而产生阴极电压、将该阴极电压与所述偏压产生部所产生的所述偏压进行合成，施加至所述阴极电极的分压部。

附图说明

图1显示本发明的第一实施例所成X射线产生装置的概略构造与电路结构。

图2显示本发明的第二实施例所成X射线产生装置的概略构造与电路结构。

图3为一显示本发明的实施例中的X射线产生装置的管电压与聚焦电压间的关系的特性图。

图4为一显示本发明的第二实施例中的X射线产生装置的偏压电压产生部的输出电压和管电流间的关系的特性图。

图5显示本发明的第三实施例所成的X射线产生装置的概略构造与电路结构。

图6显示本发明的第四实施例所成的X射线产生装置的概略构造与电路结构。

图7为一显示X射线产生装置中的管电压与聚焦电压间的关系的特性图。

图式代表符号说明

10        X射线管

11        真空容器

12        阴极

13        阳极

14        阳极靶材

15        阴极电极

16        加热器

17        栅极电极

18        聚焦电极

19        管电压产生部

20        偏压电压产生部

21        加热器电压产生部

23        聚焦电压产生部

31，41    分压部

32        管电压检测部

33        管电压比较部

34        管电压控制部

35        管电流控制部

36        管电流比较部

37        偏压电压控制部

38        加热器电压控制部

具体实施方式

以下，就用以实施本发明的型态作一说明。

图1为一显示本发明的第一实施例所成X射线产生装置的构造的图式。该图所示的X射线产生装置具有一微聚焦X射线管10。微聚焦X射线管10整体是由真空容器11所构成，在真空容器11内的其中一侧配置有阴极12，而在另一侧则配置有阳极13，阳极13具有一阳极靶材14。

阴极12例如包含有：用以产生电子束e的阴极电极15、用以加热阴极电极15的加热器16、用以控制电子束e的流量(例如管电流)的栅极电极17、以及用以集束电子束e而来控制阳极靶材14上所形成的电子束的焦点形状的聚焦电极。

在本实施例的X射线产生装置中，栅极电极17是成接地电位G；在阳极靶材14与接地电位G间，连接有一可改变输出的管电压产生部19；在阳极靶材14上受施加有一相对于栅极电极17为正的管电压Vt，管电压Vt被控制在特定值。

又，在阴极电极15与接地电位G的间，连接有一输出可变的偏压电压产生部20，阴极电极15受施加有一相对于栅极电极17为正的偏压电压Vb。藉由该阴极电极15与栅极电极17间的偏压电压Vb，X射线管10的管电流将受到控制。加热器16受供应一来自加热器电压产生部21的DC或AC特定电力。

在管电压产生部19的两端，并列连接有一分压部31。分压部31是由二个电阻R₁、R₂所构成，这两个电阻R₁、R₂串列连接，且自例如管电压产生部19的电位较高侧依序取得第一电阻R₁和第二电阻R₂。第一电阻R₁和第二电阻R₂间的连接点a被连接至聚焦电极18，且第二电阻R₂的两端形成聚焦电压Vf。

亦即，分压部31是根据第一电阻R₁和第二电阻R₂而对管电压Vt进行分压，而在第二电阻R₂两端产生聚焦电压Vf。而且，在聚焦电极18与接地电极G的间，施加有一藉由分压部31而对管电压Vt加以分压而成的聚焦电压Vf。在聚焦电极18上则被施加一相对于栅极电极17为正的聚焦电压Vf。

在具有上述构造的X射线产生装置中，以阴极电极15所产生的电子束e是藉由栅极电极17而使管电流受到控制，再以聚焦电极18来使其集束，最后撞击阳极靶材14。藉由电子束e的撞击阳极靶材14，由阳极靶材14上将向箭头Y方向放出X射线。此时，被施加至聚焦电极18的聚焦电压Vf，与管电压Vt间的关系如下式：

Vf＝Vt×R₂/(R₁+R₂).................(1)

如同由(1)式所明白者，聚焦电压Vf与管电压Vt间，具有一如图7所示的比例关系。该聚焦电压Vf与管电压Vt间的比例关系，由于基本上即使管电压Vt有脉动等变动，亦被维持不变，因而管电压Vt的变动对于电子束的焦点直径的影响将可以非常小。结果，阳极靶材14上即可以再现性良好地形成电子束的微小焦点。

像这样，根据第一实施例的X射线产生装置，电压变动对于电子束的焦点形成的影响可以相当少，藉此将可以再现性良好地在阳极靶材14上形成电子束的微小焦点。又，由于是以分压部31来对管电压Vt进行分压，而产生聚焦电压Vf，将没有必要如习知X射线产生装置般，在管电压产生部19的外，另外设一聚焦电压产生部，而可以简化X射线产生装置的装置构造。又，在本实施例中，虽将栅极电极17设定成接地电位G，但仍可以与例如将阳极靶材14设定成接地电位时的情形同样地动作。

其次，就本发明的第二实施例而成的X射线产生装置，参照图2作说明。图2显示一根据本发明的第二实施例而成的X射线产生装置的构造。又，在图2中，和图1相对应的部分赋予相同符号，并部分省略重复的说明。

在图2所示的X射线产生装置中，和上述第一实施例相同地，在管电压产生部19的两端，并联连接有分压部31。惟，此分压部31是由三个电阻R₁、R₂₁、R₂₂所构成，这三个电阻R₁、R₂₁、R₂₂串接在一起，且例如由管电压产生部19的电位较高侧，依序取得第一电阻R₁、第二电阻R₂₁、以及第三电阻R₂₂。

此外，第一电阻R₁和第二电阻R₂₁间的连接点a，和第一实施例一样，被连接至聚焦电极18，且二个电阻R₂₁、R₂₂的两端的电压即为聚焦电压Vf，且被施加于聚焦电极18与接地电位G之间。聚焦电压Vf为一相对于栅极电极17为正的电压。

在第二实施例的X射线产生装置中，分压部31中有关于聚焦电压Vf的产生的动作，与第一实施例相同，聚焦电压Vf相对于管电压Vt有一比例关系，亦即聚焦电压Vf和管电压Vt的关系如下式：

Vf＝Vt×(R₂₁+R₂₂)/(R₁+R₂₁+R₂₂)...............(2)

像这样，聚焦电压Vf和管电压Vt间，具有一如图7所示的比例关系，管电压Vt的变动对于电子束的焦点直径的影响将非常小。

在本第二实施例的X射线产生装置中，分压部31中的第二电阻R₂₁和第三电阻R₂₂间的连接点b，还透过偏压电压产生部20，而连接至阴极电极15。亦即，分压部31会根据第二电阻R₂₁和第三电阻R₂₂，而对聚焦电压Vf加以分压，而在第三电阻R₂₂两端，产生一相对于栅极电极17为正电压的阴极电压Vc(图中未示)。生成于该第三电阻R₂₂两端的阴极电压Vc，与偏压电压产生部20的输出电压会相合成。

其中，图2中的偏压电压产生部20被连接成使阴极电极15相对于栅极电极17呈负电压，且将负的输出电压Vb’施加至阴极电极15上。而且，由于第二电阻R₂₁和第三电阻R₂₂的连接点b，是被连接至偏压电压产生部20的正端子，在阴极电极15上，将被施加一由第三电阻R₂₂两端的电压(阴极电压)Vc和偏压电压产生部20的输出电压Vb’两者间所得的差压。

然而，在微聚焦X射线管中，如前所述，管电流是受阴极电极15和栅极电极17间的偏压电压Vb所控制，而且，在偏压电压Vb和聚焦电压Vf之间，有一如图3的符号Q所示的关系；图3的横轴表示聚焦电压(V)、纵轴为偏压电压(V)、直线Q为管电流遮断偏压电压。

如图3所示，以管电流遮断偏压电压Q为界，在其上方的部分为管电流没有流通的区域，而在下方部分则为管电流有流通的区域。换言之，相对于某一聚焦电压Vf，偏压电压Vb若为一比管电流遮断偏压电压Q还小的电压，则不会有管电流。又，符号Q1表管电流为40μA的场合。

又，如同由图7的关系所明了者，管电压Vt的动作范围例如为0～80kV时，聚焦电压Vf的调整范围为0～2000V。在此场合，由图3的关系可知，会有管电流的偏压电压Vb的调整范围为例如0～150V。在图1所示的第一实施例中，是直接由连接成会使阴极电极相对于栅极电极17为正电压的偏压电压产生部的输出电压，来调整这样范围(例如0～150V)的偏压电压Vb。

另一方面，在图2所示的第二实施例的分压部31中，在第三电阻R₂₂两端所产生的电压(阴极电压)Vc，是比例于聚焦电压Vf。亦即，可知在第二电阻R₂₁与第三电阻R₂₂的连接点b上的电压(第三电阻R₂₂两端的电压Vc)为：

Vc＝Vf×R₂₁/(R₂₁+R₂₂)..............(3)

且其比例于聚焦电压Vf。又，由于聚焦电压Vf比例于管电压Vt，阴极电压Vc和管电压Vt将呈比例关系。

因此，在第二实施例的X射线产生装置中，是将第三电阻R₂₂两端所产生的阴极电压Vc，设定成一即使将一和其一样大小的电压加在阴极电极15与栅极电极17间下亦不会有管电流的大小，亦即图3所示管电流遮断偏压电压Q，再将该管电流遮断阴极电压Vc和偏压电压产生部20所产生的电压Vb’加以合成，而加至阴极电极15上。在此场合，管电流遮断阴极电压Vc是例如沿着管电流遮断偏压电压Q(图3))的直线而变化。

进一步，如同由图3所示关系可明了者，在有管电流的情形下，只要在一降低管电流遮断阴极电压Vc的方向上，控制偏压电压产生部20所发生的电压Vb’即可。亦即，将身为正电压的管电流遮断阴极电压Vc，和身为负电压的偏压电压产生部20所产生的电压Vb’加以合成，再将其间的差，加至阴极电极15作为偏压电压Vb(＝Vc-Vb’)，而来控制管电流。

因此，可以将控制管电流所需要的偏压电压产生部20的发生电压Vb’设定成例如0～30V的范围。藉由如此狭窄范围的发生电压Vb’，将可以充分地控制管电流。是以，可以简单化偏压电压产生部20的构造与控制。进一步，即使偏压电压产生部20发生故障，由于在阴极电极15上受施加有来自分压部31的管电流遮断阴极电压Vc，因而将可以防止因过大管电流产生而使阳极靶材14熔化的事故发生。

在此，就改变聚焦电压Vf下的管电流，以及偏压电压产生部20的发生电压Vb’间的关系，参照图4作说明。图4的纵轴为管电流[μA]，横轴为偏压电压产生部20的发生电压Vb’[V]，符号V1表聚焦电压Vf为400V下的情形，符号V2表聚焦电压为1000V的情形。像这样，即使偏压电压产生部20的发生电压Vb’的范围在例如0～30V的狭窄范围，亦可以将管电流控制至必要范围。

根据上述第二实施例的X射线产生装置，由于是以分压部31来对管电压Vt进行分压，而产生聚焦电压Vf，因而将可以使电压变动对于电子束的焦点形成所造成的影响减到最少。又，由于是以分压部31所产生的管电流遮断阴极电压Vc，和偏压电压产生部20的发生电压Vb’间的差，来作为偏压电压Vb而施加至阴极电极15，因而可以简化偏压电压产生部20的构造与控制。

此外，即使偏压电压产生部20发生故障，由于在阴极电极15上受施加有一来自分压部31的管电流遮断阴极电压Vc，因而可以防止因过大管电流所致X射线管10的特性劣化或破坏。亦即，将可以大幅提高X射线产生装置的可靠度或安全性。又，在本实施例中，虽是就栅极电极17设定成接地电位G的情形作说明，但若将阳极靶材14设定成接地电位，亦可以相同地动作。

其次，就本发明的第三实施例所成的X射线产生装置，参照图5作说明。图5显示一根据本发明的第三实施例而成的X射线产生装置的构造。又，在图5中，和图1与图2相对应的部分赋予相同符号，并部分省略重复的说明。

第三实施例的X射线产生装置中的阳极靶材14，亦即阳极12是接地G的。而且，设有一用以产生一供应给微聚焦X射线管10的电源电压的高电压产生部22，以及一用以控制该高电压产生部22的控制部30等，且高电压产生部22是被容纳于一例如绝缘物中。分压部31的动作和前述第二实施例一样。

在本第三实施例中，管电压产生部19所产生的负电压被施加至栅极电极17上。且管电压产生部19的输出电压由管电压检测部32所检测出。管电压检测部32所检测出的管电压值V1，和所设定的管电压设定值V0，会在管电压比较部33中被比较。所比较得的资料被送至管电压控制部34，再由管电压控制部34来控制管电压产生部19，使管电压值V1和管电压设定值V0相等。

又，阴极电极15和阳极靶材14间所流的管电流I1会为管电流检测部35所检测出。由管电流检测部35所检测出的管电流值I1会和所设定的管电流设定值I0在管电流比较部36中被比较。比较得的资料被送至偏压电压控制部37，再由偏压电压控制部37来控制偏压电压产生部20，而使管电流值I1和管电流设定值I0相等。加热器电压产生部21为加热器电压控制部38所控制。

在具有上述构造的X射线产生装置中，藉由加热器16的加热，阴极电极15将会放出电子e，而使管电流产生。由阴极电极15所放出的电子束e会因栅极电极17，而使管电流受到控制，并为聚焦电极18所集束，而撞击于阳极靶材14上，再由阳极靶材14向箭号Y方向放出X射线。

根据上述第三实施例所揭X射线产生装置，即使阳极靶材14的电压因脉动而变化，仍可以将最佳的聚焦电压施加至聚焦电极18上。藉此，将可以在阳极靶材14上，再现性良好地形成电子束的微小焦点。又，和前述第二实施例一样，可以缩小偏压电压的控制范围，并能以简单的控制电路，来稳定地控制高解析度的管电流。

其次，就本发明的第四实施例所成的X射线产生装置，参照图6作说明。图6显示一根据本发明的第四实施例而成的X射线产生装置的构造。又，在图6中，和图1与图2相对应的部分赋予相同符号，并部分省略重复的说明。

本第四实施例的X射线产生装置的栅极电极17是设成接地电位G。阳极靶材14和接地电位G的间连接有可变更输出的管电压产生部19。阳极靶材14被施加一相对于栅极电极17为正的管电压Vt。在聚焦电极18与接地电位G的间，连接有可变更输出的聚焦电压产生部23，聚焦电极18并被施加一相对于栅极电极17为正的聚焦电压Vf。偏压电压产生部20被连接于阴极电极15和接地电位G之间，俾施加一负电压(输出电压Vb’(图中未示))至阴极电极15上。

聚焦电压产生部23的两端并联连接有一分压部41。该分压部41是由二个电阻R₂₁、R₂₂所构成。此两电阻R₂₁、R₂₂串联连接，且例如由聚焦电压Vf23的高电位侧，依序成为第一电阻R₂₁和第二电阻R₂₂。而且，分压部41中的第一电阻R₂₁与第二电阻R₂₂间的连接点b，透过偏压电压产生部20，而被连接至阴极电极15。

亦即，分压部41是根据第一电阻R₂₁和第二电阻R₂₂，而对聚焦电压Vf进行分压，并在第二电阻R₂₂两端，产生一相对于栅极电极17使阴极电极15成为正电压的阴极电压Vc(图中未示)。生成于该第二电阻R₂₂两端的阴极电压Vc会与偏压电压产生部20的输出电压Vb’相合成。由于第一电阻R₂₁和第二电阻R₂₂的连接点b被连接至偏压电压产生部20的正端子，因而阴极电极15上所被供应的，应是第二电阻两端电压(阴极电压)Vc和偏压电压产生部20的输出电压Vb’间的差压。

在本第四实施例的X射线产生装置中，和前述第二实施例一样，是将生成于第二电阻R₂₂两端的阴极电压Vc，设定成当和其相同大小的电压被施加于阴极电极15与栅极电极17间时不会有管电流产生的大小。在阴极电极15上，被施加一作为偏压电压Vb的由管电流遮断阴极电压(正电压)Vc和偏压电压产生部20的发生电压(负电压)Vb’间所产生的差压(Vc-Vb’)，而由该偏压电压Vb(＝Vc-Vb’)来控制管电流。

像这样，根据第四实施例的X射线产生装置，和第二实施例一样，可以缩小该控制管电流所需的偏压电压产生部20的调整范围。藉此，并可以简化偏压电压产生部20的构造与控制。进一步，即使偏压电压产生部20发生故障，在阴极电极15上，由于受施加有一来自分压部31的管电流遮断阴极电压Vc，将可以防止一因过大管电流所致的X射线管的特性劣化或破坏。亦即，可以大幅地提高X射线产生装置的可靠度与安全性。

又，在本实施例中虽是就一将栅极电极17设定成接地电位G的情形作说明，但即使例如将阳极靶材14设定成接地电位，亦有相同的动作。

根据本发明的X射线产生装置，将可以抑制电压变动所对于电子束的焦点形成所造成的影响。是以，可以再现性良好地在阳极靶材上，形成电子束的微小焦点。进一步，可以提高X射线产生装置的可靠度与安全性。像本发明这样的X射线产生装置可以有效地被利用于医疗用或工业用诊断装置等。

Claims (7)

1.一种X射线产生装置，其特征在于，具有：

产生电子束的阴极电极；

控制所述阴极电极所产生的所述电子束的流动的栅极电极；

将所述电子束集束的聚焦电极；

通过由所述聚焦电极集束了的所述电子束的撞击而射出X射线的阳极靶材；

产生向所述阴极电极及所述栅极电极间施加的偏压的偏压产生部；

产生向所述阳极靶材施加的管电压的管电压产生部；

将所述管电压分压而产生聚焦电压、将该聚焦电压施加于所述聚焦电极的同时、将所述聚焦电压进行分压而产生阴极电压的分压部，

将所述分压部产生的所述阴极电压与所述偏压产生部产生的所述偏压进行合成，将该合成的电压施加于所述阴极电极。

2.如权利要求1所述的X射线产生装置，其特征在于，

由所述分压部产生的所述阴极电压，其大小被设定为当与其相同大小的电压施加至所述阴极电极及所述栅极电极间的场合，无管电流流动。

3.如权利要求1所述的X射线产生装置，其特征在于，

所述分压部相对于所述管电压产生部并联连接。

4.如权利要求1所述的X射线产生装置，其特征在于，

所述分压部，从所述管电压产生部的电位高的一方起按序由第1电阻、第2电阻及第3电阻串联连接构成，所述第1电阻与所述第2电阻的连接点与所述聚焦电极连接，所述第2电阻与所述第3电阻的连接点与所述偏压产生部连接。

5.如权利要求1所述的X射线产生装置，其特征在于，还包括：

具有所述阴极电极、栅极电极、聚焦电极和阳极靶材的X射线管；检测在所述X射线管内流动的管电流，将检测出的所述管电流与基准值进行比较，对所述偏压产生部所产生的所述偏压进行控制的偏压控制部；

对所述管电压产生部所产生的所述管电压进行检测，将检测出的所述管电压与基准值进行比较，对所述管电压进行控制的管电压控制部。

6.一种X射线产生装置，其特征在于，包括：

产生电子束的阴极电极；

控制所述阴极电极所产生的所述电子束的流动的栅极电极；

将所述电子束集束的聚焦电极；

通过由所述聚焦电极集束了的电子束的撞击而射出X射线的阳极靶材；

产生向所述阳极靶材施加的管电压的管电压产生部；

产生施加于所述聚焦电极的聚焦电压的聚焦电压产生部；

产生施加于所述阴极电极及所述栅极电极间的偏压的偏压产生部；

将所述聚焦电压分压而产生阴极电压、将该阴极电压与所述偏压产生部所产生的所述偏压进行合成，施加至所述阴极电极的分压部。

7.如权利要求6所述的X射线产生装置，其特征在于，

由所述分压部所产生的所述阴极电压，其大小被设定为当与其相同大小的电压施加至所述阴极电极及所述栅极电极间的场合，无管电流流动。

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