CN1249495C - 液晶显示设备与基片组装设备的制造方法 - Google Patents

Abstract

基片之一通过吸引和吸附操作及装设在加压板内的粘合装置支撑；其上滴有液晶剂的另一基片通过吸引和吸附操作或通过粘合装置被支撑在一台板上，腔体内的压力被降低直到获得指定的减压水平，然后在使基片牢固接触位于下面的另一基片上的粘合剂之后增加压力，且各基片由加压板和台板吸引和吸附，在定位基片的同时基片被层压，然后当后移在加压板或台板中的粘合装置时，在扭转粘合部件的同时或之后从基片表面去除粘合部件。

Description

液晶显示设备与基片组装设备的制造方法

技术领域

本发明涉及液晶显示设备和基片组装设备的组装方法，其中叠合的一对基片被分别保持并在真空腔体中彼此相对放置，且这些基片成面对面关系，在减压状态中基片间有狭窄间隙。

背景技术

有两种组装液晶显示器的方法。在一种方法中，以彼此面对面的关系以小到几个μm的距离使用粘合剂(以下也称为密封材料)把一对具有透明基片和薄膜晶体管阵列的玻璃基片结合在一起(完成的基片以下称为单元)，并在这些基片之间形成的空气间隔内填以液晶材料。在另一方法中，液晶材料滴注到一个基片的表面，其上使用密封材料形成一种封闭的模样，使得不形成填充物孔，另一基片放置在先前的基片上，并使这些基片以面对面的关系彼此非常靠近。至于用于把基片以面对面的关系组合在一起的液晶显示设备的组装设备，有这样的基片组装设备，用于在施加如日本专利(公开号2001-133745(2001))中所公开内容中应用的压力之前保持上侧的基片，其中上侧基片通过粘合装置保持，且基片以面对面的关系通过减小在基片间形成的距离被结合在一起。在其优选实施例中，上述公开的内容中包括使用粘合片作为粘合装置及一种结构的方法，其中在加压板侧设有开口，并在加压板之上装有一致动器，以使得粘合部件可在开口中上下流动。

在以上先有技术的结构中，基片被保持以便在大气压中与粘合装置接触。在在大气压中使用粘合装置保持基片的情形下，可能有这样的问题，即由于基片的凹和/或凸表面和基片的变形，空气通过基片与粘合装置之间渗透，并在腔体的内部压力降低时，包含在基片与粘合装置之间的空气膨胀，在最坏情形下会导致不能保持基片。

发明内容

本发明的目的是要提供一种能够以加压板牢固保持基片的基片叠合设备，用于叠合液晶基片的基片组装设备，以及对于液晶显示设备使用这种设备的组装方法，以便以高精度在高真空压力中叠合基片，其中即使试图增加基片的尺寸并降低基片的厚度，在液晶显示器中也不会出现缺陷。

为了实现以上目的，提供了一种液晶显示设备的制造方法，其中待叠合的一个液晶基片由装设在加压板侧的粘合保持机构保持，在待叠合的另一液晶基片上滴下适量的液晶后将其保持在台板上，并使所述液晶基片彼此相对，利用设在任一所述液晶基片上的粘合剂在减压气氛中以狭窄的间隙使之叠合，其特征在于：所述一个液晶基片通过在大气压中施加吸引吸附力而被吸引和吸附；以及在该吸引和吸附状态下操作所述粘合保持机构，由粘合部件保持液晶基片。

在本发明的另一实施例中，用可拆卸地装设在所述加压板上的粘合部件保持所述一个液晶基片，并且在叠合两片液晶基片之后，通过从所述加压板向所述基片一侧突出至少一个或多个推动部件来推动所述液晶基片，从而从液晶基片上去除所述粘合部件。

本发明提供了一种液晶基片组装设备，包括：用于保持待叠合的一个液晶基片的加压板、装设在所述加压板一侧的粘合保持机构，以及滴下了适量的液晶的、保持待叠合的另一液晶基片的台板，其中由装设在所述加压板或台板至少一个上的驱动机构使两片液晶基片之间的间隙变窄，且利用至少设置在一个液晶基片上的粘合剂，在减压的气氛中进行叠合，其特征在于：设有多个以负压把液晶基片保持在所述加压板上的吸口；以及设有把从所述吸口到设有所述粘合保持机构的粘合部件的开口连通起来的气流通道。

根据本发明的上述液晶基片组装设备，还包括具有一基片推动轴以及一驱动机构的去除机构，所述粘合保持机构具有可以粘附到所述加压板也可以从该加压板上去除的薄片状的粘合部件，所述基片推动轴用于从由所述粘合和保持机构保持的基片表面去除所述粘合部件，所述驱动机构用于驱动所述基片推动轴。

附图说明

从以下给出的本发明优选实施例的详细说明及附图，将更充分地理解本发明，然而它们不应当被看作是对本发明的限制，而仅是用于示例和理解。

这些图中：

图1是表示本发明的一实施例的基片组装设备的示意剖视图；

图2是粘附结合机构一例的详细视图；

图3是叠合基片的流程图；

图4是表示用于叠合上和下基片的过程的主要部件的剖视图；

图5是用于表示通过粘附结合机构进行叠合操作的示意图；

图6是用于表示由粘附结合机构从基片表面去除操作的示意图；

图7是表示在加压板和台板处装设强化的粘附部件情形的一例的图示；

图8是本发明另一实施例中基片叠合设备的一剖视图；

图9是图8中所示设备中叠合操作程序步骤的流程图；

图10是表示形成真空腔体以用于施加图8中所示基片叠合操作的状态的图示；

图11是表示从基片表面(液晶单元pc)去除图8中所示粘附薄片过程的局部放大图示；

图12是本发明另一实施例中粘附部件去除机构的结构图。

具体实施方式

以下将借助于根据本发明的优选实施例参照附图详细讨论本发明。在以下的说明中，要提供许多特别的细节以便提供对本发明彻底的理解。然而明显的是，对于业内专业人员来说，本发明可在没有这些细节的情况之下实施。有时，熟知的结构没有详细示出以避免对理解本发明不必要的妨碍。

现在参照附图说明本发明的一个实施例。图1示出根据本发明的基片叠合设备一整体结构。

图1中，根据本发明的基片组装设备100由下腔体T1和上腔体T2组成，且xyθ-方向驱动机构(未示出)装设在下腔体T1之下。使用xyθ-方向驱动机构，下腔体T1能够在定义为左和右方向的x轴及与x方向垂直的y轴自由移动。此外，使用θ-方向驱动机构，其上装有下基片的台板4可在垂直平面上对于下腔体单元通过到真空密封的轴被驱转。当下基片1a安装在台板4上时，通过设在台板4处的吸口7c施加抽吸操作。管路16a的一端连接到吸口7c，减压(负压)源通过阀门(未示出)连接到管路的另一端。所装设的是这样一种机构，其使得下基片1a由这一负压源提供的负压被吸引到吸口7c。

上腔体T2通过装设上腔体单元6及在其中安装的加压板7构成，其中上腔体单元6和加压板7能够独立地上下移动。就是说，上腔体单元6有一壳体8，其包括一直线衬套及内部的真空密封，并由轴9导向，在垂直方向(在z-轴)由固定在框架10处的缸体11驱动。加压板7通过装设在轴9处的驱动设备(未示出)在垂直方向(z-轴方向)移动。

上基片1b被吸引向装设在加压板7的下表面的吸口7d。管路16b的一端连接到吸口7d，一负压源通过未示出的阀门连接到管路16b的另一端。在这一结构中，通过从负压源提供负压，把上基片1b吸附到加压板7上。

在xyθ-方向驱动机构上的下腔体部分T1直接在上腔体部分T2之下移动，然后上腔体单元6向下移动，该上腔体单元6的法兰与装设在下腔体单元5周围的O-环12接触。然后这些腔体单元结合为单个的单元作为真空腔体。装设在下腔体单元5周围的球轴承13用于调节在真空中的O-环12的弹性变形量，这可在水平和垂直的任意位置调节。调节球轴承13的位置，以便优化O-环12的弹性变形量，使得真空腔体内部的压力可保持在给定的减压状态，并可获得最大的弹性。通过降低腔体内部的压力产生的巨大的力由下腔体单元通过球轴承13保持。由于这一结构，当叠合稍后将描述的上基片和下基片时，能够通过在O-环12的弹性区域内细调下腔体部分T1而容易地实现这些基片的精确定位。

壳体8具有内置的真空密封以便可上下移动，使得即使当由连接上腔体单元6和下腔体单元5形成的真空腔体内的压力降低时上腔体单元变形，也不会出现压力泄漏。由于这一结构，由真空腔体变形造成的对轴9施加的压力能够被吸收，并一般能够防止由轴9保持的加压板7的变形。这样，通过粘附部件18b被吸附到加压板7下表面的上基片1b和由台板4保持的下基片1a能够被叠合在一起，同时能够保持它们的水平状态。加压板7的向上和向下运动由安装在轴9的上部的驱动结构(未示出)执行。

安装在上腔体单元6表面的真空管路14通过未示出的真空阀门和软管连接到负压源。这些组件用来把真空腔体的内部压力降低到给定的压力水平。装设泄漏阀17是为了调节真空腔体内的真空度(减压水平)，以便在任意压力水平增加压力。气体清洗阀和管路15连接到压力源，诸如氮气(N2)或清洁的干燥空气，并用于把真空腔体内部的压力恢复到大气压。

安装图象识别摄相机22a和22b用于读取装设在上和下基片1a和1a上的定位标记。用于图象识别摄相机22a和22b的透明的观察口23a和23b装设在上腔体单元6中形成的孔6a和6b之上，以便建立真空密封防止空气通过孔6a和6b流入腔体。在加压板7上还设有小尺寸的孔7a和7b，图象识别摄相机能够通过孔7a和7b观察在基片上形成的定位标记。

以下参照图1和图2，说明保持上基片1b及其驱动部分的粘附部分的机构。图2展示了粘附和保持结构部分的详细结构。

如图2中所示，在加压板7或台板4处设有开口30，且具有粘附部件18的卡盒35安装在转轴33的一端部分的开口30之内，且这一卡盒可被更换。旋转致动器32装设在转轴33的另一端，且旋转致动器32固定在可活动台板36处。在垂直方向移动的上和下驱动轴38的一端连接到并固定在固定件37处，且用于在垂直方向驱动的上和下致动器装设在上和下驱动轴38的另一端。此外，连接到负压源的腔体通路39装设在加压板7和台板4内部，并装设多个吸口7d和7c以便从腔体通路39通向加压板7和台板4的表面。腔体通路39还连接到开口30。

对于图2所示的各致动器31和32，符号“a”指定给与加压板相关的致动器，而符号“b”指定给与台板相关的另一致动器。响应加压板处的致动器31b和32b的操作，粘附部件18b上下移动并在开口30b内旋转。轴33b由密封件34b密封以便直接在致动器31b之下上下移动并自由旋转。开口30b连接到腔体通路39b，并通过未示出的阀门连接到负压源，这样就建立了上基片1b能够被吸附的结构。替代如图中所示在加压板7内彼此连接的开口30b和吸口7d，允许这些部件通过在与基片接触的加压板7的表面上形成的用于在开口30b和吸口7d之间连接的通道连接。

上基片1b能够被这样保持，使得由于其粘附作用而与粘附部件18b牢固地接触，无需使上基片被吸附到加压板7的下表面上。在这种结构中，为了保持住上基片1b使之与下基片1a水平地相对，以与上基片1b的大小和形状相应的间隔和粘附区，在指定的位置上装有多个粘附部件18b。

在这一实施例中，其中由于旋转粘附部件18b的旋转致动器32以及由于垂直驱动粘附部件的上下致动器31是独立装设的，这允许具有它们的功能的单独的致动器可使用球形螺栓等配置。这一实施例中的致动器能够通过或者使用压缩空气或者使用电动机驱动机构来实现。

如上所述，下基片1a通过这样一种结构被吸引和吸附，其中下基片与台板4上的管路16a、阀门和负压源(都未示出)相连。在该实施例中，粘附部件18a装设在与用于加压板7的类似的结构中。致动器31a和32a安装在设在台板4处的多个开口30a之下。粘附部件18a装设在从致动器31a和32a向上延伸的轴33a的顶端。通过致动器31a和32a的操作，粘附部件18a上下运动并在开口10a内旋转。与轴33b类似，轴33a由密封件34a密封，以便可直接在致动器31a之下上下运动并旋转。开口30a连接到吸口7c，并通过未示出的阀门连接到管路16a和负压源，这样建立了上基片1a能够被吸引和吸附的结构。

为了稳固地保持下基片1a，还在台板4上指定位置装设粘附部件18a，相应地对于上基片1a的大小和形状有它们的间隔和粘附区。代替使用粘附部件18a用于在台板4上固定下基片1a，允许使用机械针和辊轴。有合理的基本原理解释为什么代替使用吸引和吸附装置而由针和辊轴固定下基片1a；在降低腔体内部压力的过程中，由于当腔体内的真空度(减压水平)超过吸引和吸附下基片1a所需的真空度(减压水平)时所产生的压差，下基片1a不能固定在台板4上。为了解决这一问题，本实施例中的机构通过机械针与辊轴保持下基片1a，以防止由于诸如来自设备本身的各种驱动源、地板和负压源等激励源产生的振动，或当叠合上和下基片时与密封件和液晶板接触产生的阻力引起下基片1a的位移。

以下参照图3到6，所要描述的是用于在根据本发明基片组装设备中制造液晶显示设备的过程。图3示出叠合液晶基片操作的流程图。图4示出在各程序步骤设备操作状态。图5示出叠合基片中粘附和保持机构的操作。图6是对于在最初叠合操作之后从基片表面去除粘附保持机构的操作的示意图。

首先，使用机械手等把上液晶显示基片1b传送到加压板7之下(步骤S1)。然后，通过向在加压板7处形成的吸引和吸附口提供负压，上液晶基片1b被吸引和吸附并保持(步骤S2)。下液晶基片1a由机械手等传送到台板4之上(步骤S3)，并在对于台板4定位下液晶基片之后，下液晶基片1a通过吸引和吸附操作被固定(步骤S4)。密封剂19涂敷在下液晶基片1a的上表面周围上的闭环模样中，且液晶剂20定量滴入封闭模样中。在本实施例中，其中密封剂19提供在下液晶基片1a处，这允许把密封剂提供到上液晶基片或两个液晶基片上。直到这一步骤的处理状态示于图4(a)。

接下来，下腔体部分T1移动到对于上腔体部分T2的位置(步骤S5)。图4(b)表示其中在xyθ-方向驱动机构之上的下腔体部分T1向上腔体部分T2正下方移动，以及下液晶基片1a和上液晶基片1b彼此相对定位的状态。如上所述，上液晶基片1b通过抽吸口7d对于加压板7的吸引和吸附被保持。此外，由于在这一结构中开口30b还连接到负压源，上液晶基片也被吸引和吸附到开口30b。这时，上液晶基片1b的表面和粘合部件18b如图5(a)中所示彼此分离定位，并且粘合部件18b的粘合表面与上液晶基片1b之间的空隙处于指定的减压(真空)状态。从这种状态开始，如图5(b)所示，通过致动器31b的操作粘合部件18b向上液晶基片1b表面移动并被吸引到上液晶基片1b(步骤S6)。这样，当把粘合部件18b吸引到上液晶基片1b时，由于用于吸引和吸附操作的真空管16b的作用，在开口30b与基片表面之间形成的空隙处于压力降低状态。这样，将可看到，即使通过降低真空腔体内的压力而在基片与粘合部件之间没有渗透的空气，也能建立起指定的粘合力。例如，在空气于基片和粘合部件之间渗透而没有降低开口30b与基片表面之间的空隙中的压力的情形下，使真空腔体内部的压力降低，基片与粘合部件之间的空隙膨胀。这造成粘合力减小，这不能使基片被吸引和被保持。

这一操作还几乎同时施加到下液晶基片1a与粘合部件18a之间(步骤S6)，其中下液晶基片1a以重力方向被定位在台板4上，这允许下液晶基片可由机械针和辊轴保持，而不是与粘合部件18a固定。

在这样固定上和下基片1b和1a之后，上腔体单元6如图4(c)由缸体1向下移动，然后使上腔体单元6的法兰接触到配置在下腔体单元6周边的O-环12，上和下腔体部件T1和T2整合为单体(步骤S7)。然后，腔体内的空气通过真空管路14被抽出。由于通过整合上腔体单元6和下腔体单元5形成的真空腔体内的压力降低，用于把上液晶基片1b吸引到加压板7的压力降低程度与真空腔体内部压力降低程度之间的差别变得比较小，因而由加压板7产生的吸引和吸附力消失，同时因为由粘合部件18b保持上液晶基片1b不会下落。

这种状态下，由于空气不会在粘合部件18b的粘合表面与上基片1b之间渗透，它们的固定状态能够保持而不会有粘合力的变化。这样，就不会有由于减压的过程中空气的膨胀所导致的粘合力降低以及上液晶基片1b下落这样的问题。至于下液晶基片1a，其中粘合部件18a的粘合表面与下液晶基片1a彼此粘合固定，它们之间没有任何渗入空气，因而粘合力不会由于空气的膨胀而降低，或不会发生上液晶基片1b的位移。

当真空腔体内部的压力达到指定的真空度时，如图6(a)所示，通过轴上的上下操作未示出的驱动机构，使加压板7向下移动，同时定位上和下基片1b和1a。上下驱动机构的操作可产生强度足够的施加的压力，使得上液晶基片1b能够牢固地与涂敷在下液晶基片1a的上表面周边的封闭环模样中的密封剂19接触或压挤，因而上和下压挤基片1b和1a以指定的间隙被叠合(步骤S9)。图6(a)示出这一状态的放大图示。在这一步骤，下液晶基片1a与上液晶基片1b以密封剂19被牢固地叠合。这样，在这一机构中，即使真空腔体内部的压力增加，封闭的密封模样内部的空间的气密性仍能够保持在一定的程度，因而空气向最终的叠合液晶基片之间的渗透量变得非常小。

然后，如上所述，小量的空气通过泄漏阀17被引入真空腔体，真空腔体内部的压力增加到指定的高于吸口7d内部负压的减压水平，且上和下液晶基片的保持由它们之间的压差建立(步骤S10)。进一步的定位操作使用这一保持力进行，且施加的压力由加压板7产生，并获得指定的最终压力(步骤S11)。这一操作是需要的，因为如果在上基片1b接触密封剂19之后在加压过程中不进行附加的定位操作，可能由于当加压时液晶和密封剂的阻力基片被移位。

在定位基片时，通过在上腔体单元6上形成的观察口23a和23b使用图象识别摄相机22a和22b读取在上和下基片上形成的定位标记，并通过图象处理来测量它们的位置，并最终通过操作在下腔体T1处未示出的xyθ-方向驱动机构进行高精度定位。在这一细调中，上和下腔体单元6和5之间的间隙通过球形轴承13保持为指定的距离，使得O-环12不会过分变形并可建立指定的减压水平。

当在叠合基片之后从上和下液晶基片1b和1a去除粘合标记18b和18a时，进行如图6(b)所示的进一步的操作。对于上液晶基片1b，使致动器32b在由箭头所示的方向旋转，并在扭转粘合部件18b同时或之后操作致动器31b，以从基片表面剥离粘合部件18b。对于下液晶基片1a，以类似的方式使致动器32b在由箭头所示的方向旋转，并在扭转粘合部件18a同时或之后操作致动器31a，从基片表面剥离粘合部件18a(步骤S12)。这一扭转操作对于较易于从液晶基片去除粘合部件是必要的手段。这一扭转操作可在与图6(b)所示相反的方向进行。当剥离粘合部件时，各开口30a和30b周围部件阻挡液晶基片1b和1a的移动。这样，这些扭转操作和提升操作使能够易于从液晶基片去除粘合部件。

接下来，通过打开气体清洗阀门15向真空腔体引入氮气(N₂)或清洁干燥的空气来等净化真空腔体的内部，并使其内部压力恢复到大气压(步骤S13)，并通过释放吸口7d对液晶基片的吸引操作，使加压板7上移(步骤S14)。然后，上腔体单元6上移且下腔体单元T1移动到其原始位置(图4(a)所示)(步骤S15)，然后从台板4抽出叠合单元pc(步骤S16)。叠合的上和下基片即单元pc的上和下表面由环境大气压均匀加压，并且它们之间的间隙精确地达到指定的单元间隙。在以上程序步骤结束时，完成了对于基片的叠合操作。在基片之间的间隙在大气压中达到指定的单元间隙之后，通过对密封剂曝光使密封剂硬化而结束叠合工作。在完成机械加压操作之后(完成步骤S12之后)对于通过曝光暂时固定密封剂有另一种方式。本实施例中，其中在移动下腔体T1之后基片由粘合部件保持，允许在移动下腔体之前进行这一操作。此外，至于从基片表面去除粘合部件的操作，允许在恢复真空腔体内部压力到大气压之后进行这一操作。

本实施例中，如上所述，是在由加压板完成加压最后阶段之后进行去除加压板处粘合部件的操作。另外还允许在基片不能由吸引和吸附操作保持(只通过使粘合部件接触基片被保持)的状态下，对基片施加初步的加压操作之后，在从基片表面去除粘合部件之后使用加压板最后施加的压力与基片的定位一同施加，同时在通过增加腔体内部的压力由吸引和吸附操作保持基片的状态扭转粘合部件。

以下参照图6和7，说明本发明的另一实施例中液晶显示设备的制造方法。

本实施例中，在与先前所述的实施例类似的方式把上和下液晶基片放到加压板和台板上之后，真空腔体内部的压力降低到指定的减压水平。然后，如参照图6(a)所述，通过上下操作未示出的驱动机构加压板7在轴9上被向下移动，同时定位上和下基片1b和1a。上液晶基片1b向下液晶基片1a移动，直到它牢固接触或压挤涂敷在下压挤基片1a的上表面周边的封闭环模样中的密封剂19。在先前所述的实施例中，在这一操作之后，真空腔体内部的压力增加到指定的高于吸口7d内部负压的减压水平，并且上和下压挤基片的保持通过它们之间的压差建立，最后，施加的压力通过加压板7产生，同时进行定位操作并获得指定的最后压力。

然而本实施例中，没有使用由于增加真空腔体内部的压力所导致的压差。本实施例中，如图7中所示，在加压板7和与基片接触的台板的表面上局部形成具有较大摩擦系数的树脂24或橡胶25材料。当施加定位和加压操作时，液晶基片1a和1b在垂直于加压板7和台板4的方向的滑动由摩擦力阻止。由于这一结构，在腔体内部压力没有增加而是保持其减压水平的状态下，最后，施加的压力由加压板7产生，同时进行定位操作并获得指定的最终压力。以上的树脂24或橡胶25材料可在接触加压板和台板的表面的整个表面区域上形成。为了简化说明，吸口，开口，粘合部件及其周围区域在图7中没有示出。

当粘合部件分别从叠合的上和下基片去除时以及此后的操作与先前所述的实施侧相同。

本发明不限于以上所述实施例，而是还可按以下方式实现。

(1)在以上实施例的结构中，粘合部件18b的粘合表面与上液晶基片1b可被叠合而在其中没有空气渗入。不使用这一结构，而是允许用于吸引液晶基片的一个或多个吸引和吸附口也装设在粘合部件18b的粘合表面，并在使粘合表面与液晶基片接触并使用在大气压中的吸引吸附操作保持这些组件之后，以便防止通过突然抽取粘合表面与基片之间当在由粘合表面的吸引和吸附装置在减压的过程中产生的膨胀的空气而使液晶基片脱落。这种情形下，使开口30b连接到真空腔体内部。该结构对于下液晶基片1a与以上所述类似。此外，它允许开口30b不连接到吸口7d，而是连接到另一负压源。

(2)至于方法(1)的另一方式，它允许粘合部件18b的粘合表面在凹凸表面上形成，以防止当在大气压中叠合基片时空气停留在粘合表面的凸出部分中，并允许停留在粘合表面凸出部分和液晶基片之间的在减压过程中产生的膨胀空气突然从凹陷部分向真空腔体内部释放，以防止上液晶基片脱落。这种情形下，使开口30b连接到真空腔体内部。下液晶基片1a的结构与以上所述相同。

(3)允许吸口功能通过在加压板7或台板4表面上形成的凹坑实现，以便使用在凹坑之间形成的通道吸引和吸附各液晶基片。

以下参照图8，将说明本发明的另一实施例。

图1中，包括多个粘合部件和驱动部件的基片保持机构装设在加压板7或台板4中。反之，图8所示的结构中，形成基片保持机构的粘合部件装设在加压板7和台板4整个表面。此外，在这一结构中，为了去除在加压板7和台板4整个表面上装设的粘合部件，装设了多个用于从基片去除粘合部件的粘合部件去除机构，以便从粘合部件表面延伸并接触到基片的表面。

以下将说明本实施例中的基片保持机构。

本实施例中在台板4处的基片保持机构包括铁板41a和作为固定在并粘合在铁板上的粘合部件的粘合薄片42a。在以下说明中，基片保持机构还称为叠合和保持机构。吸口7c装设在铁板4处，且这一吸口7c被装设成使其通过铁板41a及基片保持机构的粘合薄片42a连接。下基片1a加载到装设在铁板4上的基片保持机构。加载的下基片1a由在粘合薄片处形成的吸口7c吸引和吸附，并粘合固定在粘合薄片42a上。管路16a的一端连接到吸口7c，而管路另一端通过未示出的阀门连接到减压(负压)源。这一结构中，下基片1a由负压源提供的负压被吸引和吸附到吸口7c。

先前所述的基片保持机构是通过把铁板42a一端压向装设在台板4表面一端的止动器44a而定位的，并且其位置由压力螺栓45a对铁板41a的另一端通过装设在台板4的表面另一端上的支架44a加压而保持。多个磁体43a装设在台板4的内部，且铁板41由磁力吸引并保持。在这一结构中，基片保持机构由磁体的磁力和加压螺栓45a的力保持在台板4上。

用于加压板的基片保持机构装设在面向台板4的加压板7的表面。这一基片保持机构在其用于加压板7的部分具有铁板41b，其用于台板侧的部分类似于此，以及在其用于台板4的部分具有粘合薄片42。

用于吸引和吸附操作的吸口7d装设在加压板7处，且吸口7d通过基片保持机构的铁板41b和粘合薄片42b被连接。上基片1b被吸引和吸附到装设在粘合薄片42b的下表面的吸口7d。管路16b的一端连接到这一吸口7d，且一负压源通过未示出的阀门连接到管路16b的另一端。在这一结构中，通过施加来自这一负压源的负压，上基片1b被吸引和吸附到粘合薄片42b的表面，并被粘合固定。

以类似于先前对于台板4所述情形的方式，基片保持机构由配置在加压板7内的多个磁体43b，用于定位基片的止动器44b，及加压板7，通过用于对铁板41b端面加压的压力螺栓45b经过装设在加压板7处的支架46b定位并保持。

多个去除机构装设在台板4和加压板7上，以便从基片的表面去除粘合薄片42a和42b。这些去除机构包括压力轴(压力部件)48a和48b，及用于形成在垂直方向驱动压力轴的驱动机构的致动器47a和47b。在这一结构中，压力轴48a和48b在其中移动的开口30a和30b连接到吸口7c和7d的流体通道，这样可在开口30a和30b处形成吸引和吸附力。替代如图所示在加压板7内使开口30b和吸口7d彼此连接，允许在与基片接触的加压板7的表面上形成用于桥接开口30b和吸口7d的通道，以便使开口30b和吸口7d彼此连接。在不施加通过开口30b进行吸引和吸附操作及加压和分离操作的情形下，允许开口30b延伸到加压板7之外，而不是以密封件34b密封，以便使开口30b内的压力等于腔体内的压力。

上基片1b能够以其粘合行为牢固地被保持在粘合薄片42b的下表面，而无需把基片吸引和吸附在加压板7的下表面上。相应于上基片1b的大小和形状粘合薄片42b按它们的间隔和粘合面积装设，使其水平地面向下基片1a来保持上基片1b。在这一实施例中，下基片1a相对于以上所述的台板4有相同的结构。

以下将参照图9描述用于制造液晶显示设备的过程。图9示出叠合过程的流程图。首先，使用机械手等把上液晶显示基片1b装入(步骤100)，并通过在加压板7之下的粘合薄片42b处的粘合动作和吸引与吸附操作被保持(步骤S102)。在通过向吸口施加负压使基片被吸引和吸附，并通过粘合薄片42b的粘合动作使其被保持时，由于用于吸引工件的负压，空隙残留在液晶基片和粘合薄片之间的可能性，与基片只由粘合动作而没有吸引和吸附操作的情形比较可被降低。在使液晶基片周围区域的压力降低同时在液晶基片与粘合薄片之间残留有任何空隙的情形下，残留在粘合薄片42b与上液晶基片1b之间的空隙可能膨胀，因而存在降低的粘合力引起上液晶基片1b脱落的潜在可能。在上述实施例中，与液晶基片接触的粘合薄片表面是制成为平坦的。为了进一步增加可靠性防止上液晶基片脱落，通过在粘合薄片表面上的区域中形成比液晶基片面积更宽的凹凸部分或通道，防止由于向粘合表面施加的负压导致的残留空隙的增长，并可允许形成凹凸部分，使得即使可能出现残留空隙并且由于周围区域压力降低该残留的空隙可能膨胀，包含的空气也可通过粘合表面的凸起部分释放到基片之外。在用于实现这一结构的一中方法中，在凸起表面形成用于吸引和吸附液晶基片的吸口。在用于实现这一结构的的另一方法中，使对于凹凸部分以及各通道的区域稍微小于基片的外围，并在凸起表面形成吸口以便从凸起表面抽取空气，应当看到这能够防止液晶基片脱落。这种情形下，在凸起表面上吸口的形成能够更有效从凸起表面以及从凹陷表面吸取残留在凸起表面中的膨胀的空气。

下液晶基片1a也是由机械手等装入(步骤S103)，并由粘合作用和真空吸附操作固定在位于台板4之上的粘合薄片42a(步骤S104)。本实施例中，液晶剂20滴到下液晶基片上，且用于密封周围区域的粘合剂19涂敷在下液晶基片上。由于存在着残留在粘合薄片42a和下液晶基片1a之间空隙可能膨胀的可能，并在降低液晶基片周围区域压力情形时下液晶基片1a可能发生位移，因而以类似对于上液晶基片1b情形的方式在粘合薄片上形成凹凸部分和通道。由于下液晶基片1a在重力方向位于台板4之上，因而允许以机械针和辊轴而不是使用粘合薄片42a固定下液晶基片1a。本实施例中，粘合剂19涂敷在下液晶基片1a上，这允许在上液晶基片1b上涂敷粘合剂19。

如图8中所示，从步骤S104结束状态开始，在xy-方向驱动机构之上的下腔体部分T1移动到上腔体部分T2正下方的位置(步骤S105)。下液晶基片1a和上液晶基片1b彼此面对，且缸体11使上腔体单元6向下移动，上腔体单元6的法兰接触配置在下腔体单元5周围的O-环12，且最后上和下腔体T1和T2合成为单体(步骤S106)。然后，腔体内的压力降低且排出的空气从真空管路14导出(步骤S107)。在以上腔体单元6和下腔体单元5合成到一起形成为单体的真空腔体内部的压力降低时，用于在加压板7处吸附上液晶基片1b的减压水平与真空腔体内减压水平之间的差变小，然后在加压板7处的吸引和吸附作用消失。然而，粘合薄片42粘合地保持上液晶基片1b。这时，由于上述的凹凸面和通道在粘合薄片42b的粘合表面上形成，所以不会出现由于在压力降低操作中空气膨胀所导致的粘合力降低或上液晶基片1b脱落的问题。此外，由于上述的凹凸面和通道还在用于下液晶基片1a的粘合薄片42a的粘合表面上形成，所以绝不会发生由于压力降低操作中空气膨胀所导致的下液晶基片1a的吸附力降低或移位。

现在真空腔体内部的压力达到指定的减压水平，通过操作未示出的在轴9上的上和下驱动机构使加压板7向下移动，同时使上和下液晶基片1b和1a定位，然后以指定施加的压力使上和下液晶基片1b和1a被叠合(步骤S108)。

在定位基片时，首先通过在上腔体单元6处形成的观察口23a和23b以图象识别摄相机22a和22b读取在上和下液晶基片上形成的定位标记。在图象处理部件中，从摄相机发送的图象信号被处理并估计定位标记的位置，然后通过最后操作未示出的在下腔体T1处的xyθ-方向驱动机构进行高精度定位。在这一细调中，上和下腔体单元6和5之间的间隙由球轴承13保持为指定的距离，以使得O-环12不会过分变形，并可建立指定的减压水平。

在叠合基片之后，程序步骤进入用于从上和下液晶基片即单元pc去除粘合部件42b和42a的操作。这一操作按图10和11所示的过程进行。图10和图11(a)示出在其内部压力降低的腔体中叠合基片之后的状态。在这一状态中，如图所示，开口30b和30a内的压力轴48b和48a(以下也称为压力针)定位于与单元pc的液晶基片1b和1a分开。然后，如图11(b)所示，对于形成单元pc的上液晶基片1b，通过操作致动器47b使压力轴48b在箭头所示的方向移动，并对被叠合的上液晶基片1b表面以指定的压力水平加压(步骤S109)，且加压板在这一状态被上移(步骤S110)。这时，用于压力轴48b以指定的压力对单元pc的上液晶基片1b下压，因而能够从上液晶基片1b去除粘合薄片42b(这一去除方法以下也称为加压去除)(步骤S111)。然后压力轴48b被上移并设置在离开上液晶基片1b之处(步骤S112)。然后，腔体内的压力恢复到大气压，且上腔体单元6上移(步骤S113)。通过上移下压力轴48a能够把其余的单元pc从粘合薄片42a去除(步骤S114)。最后，通过在水平方向移动下腔体把叠合的液晶基片(液晶单元pc)移出(步骤S115)。

对于从单元pc的上液晶基片1b去除粘合薄片42b的步骤，以上实施例中所描述的是压力去除过程，其中压力轴48b对上液晶基片1b施加指定的压力水平。另外，当压力轴48b下移并接触到上液晶基片1b时还允许轴48b的停止位置被暂时固定，然后加压板7上移，且压力轴48b按等于上移加压板7长度的长度被同步下移，以便去除粘合薄片而不改变它们的位置(这一去除方法以下也称为位置固定去除)。

可以看到，如果在从单元pc的上基片1b以压力轴48b的压力操作去除粘合薄片42b之前，通过从吸口7d和开口30b向上液晶基片1b的表面喷射正压力空气或气体，使粘合薄片的表面局部地从粘合薄片42b和上液晶基片1b分开，则只要推动压力轴48b而无需施加任何作用于上液晶基片额外的压力，基片就能够被去除。当从粘合薄片42a去除单元pc下液晶基片1a时，可以看到，如果在以压力轴48a的推动操作之前，通过从吸口7c和开口30a向下液晶基片1a的表面喷射正压力空气或气体，使粘合薄片的表面局部地从粘合薄片42a和下液晶基片1a分离，则只要推动压力轴48a而无需施加任何作用于下液晶基片额外的压力，基片就能够被去除。在以上实施例中，其中粘合部件由单个的粘合薄片组成，这允许在被叠合的基片尺寸较大即加压板7和台板4较大的情形下，可在加压板7和台板4的表面上装设多个分开的粘合薄片。

此外，本实施例中，其中粘合机构借助于带有铁板41和41b的台板4装设在加压板7上，但允许装设诸如塑料或陶瓷的板件而替代使用铁板。这种情形下，需要在加压板7和铁板4处形成弹性机构用于固定由塑料或陶瓷制成的板件。此外，本实施例中的粘合机构还还可作为另一方法实现，其中粘合部件直接装设在台板或加压板表面。

允许嵌入在加压板7内部的致动器44b配置为用于驱动多个压力轴48b的单个单元。嵌入在台板4中的致动器44a可以类似的结构配置。

以下参照图12将进而描述本发明的另一实施例。

本实施例中，修改了用于从基片表面去除粘合部件的去除机构的结构。在本实施例的去除机构中，其上装有多个向加压表面延伸的压力针(压力轴)48的针保持板55(固定板)，与装设在加压板7的加压面板7n上的压簧保持针56，压簧54和针保持板止动器53配合，以便在加压板7内上下自由移动。保持板57装设在针保持板55之上(在与加压面相对的表面)，并且使用推动上液晶基片1表面的压簧48，借助于保持板57推动由安装在设置于驱动加压板的轴9处的驱动板上的缸体50所膨胀的针保持推动轴51，从上液晶基片表面去除粘合部件42。风箱58装设在轴9的驱动板与上腔体6之间，这使得即使降低了腔体内的压力，也能够在腔体内保持减压状态。此外，密封件52也装设在针保持板推动轴51与上腔体单元6之间，它使得能够保持腔体内部的减压状态。

台板4侧有几乎与加压板侧相同的结构。与加压板侧不同在于，用作为上下移动针保持板推动轴62的驱动源的缸体60装设在下腔体单元。虽然允许缸体50也可装设在上腔体单元6处加压板侧，但对于针保持板推动轴51需要通过加压板7的位移对其补偿形成较大的行程，因为这种情形下加压板7上下移动。

如上所述，本实施例中，有这样的优越的效果，即对于各推动针不需要装设各驱动源，并且设备的结构得以简化。

如上所述，本实施例中，包括多个吸附孔的吸引和吸附机构，以及具有在薄片内形成的一粘合部件的粘合保持机构装设在加压板或台板之一处，且基片被吸引和保持以及在大气压中被粘合和保持，即使吸引和吸附力在腔体内减压的过程中被降低基片也能由粘合力保持，通过对基片以指定的减压水平加压使基片被叠合，最后，在叠合基片之后，使用包括装设在加压板和台板处的多个推动轴的去除机构，从被叠合的基片的表面去除粘合部件。

如上所述，通过组合吸引力和粘合力两者，可以看到，即使腔体的压力降低也能够保持液晶基片而不会有位移，同时液晶基片在大气压下被保持，且能够形成高精度的叠合工件，并在叠合工件完成之后粘合部件能够从液晶基片表面去除。

在以上说明中，假设基片用于液晶显示设备，但显然本发明可用于等离子显示器和电发光(EL)显示设备的基片以及这些显示设备的组装过程。

根据本发明，可以看到，即使液晶基片的尺寸较大且其厚度较小，也能够避免在真空处理环境中制造过程的故障，并且能够以高精度叠合液晶基片。

虽然已经就其示例性实施例对本发明进行了解释，专业人员应当理解，在不背离本发明的精神和范围之下可以在这里或那里作出上述的及各种其他的变化，简化和添加。因而，本发明不应当理解为限制在以上提出的特定的实施例，而是包括对于在所附权利要求中提出的特征函盖的范围内及其等价物能够实施的所有可能的实施例。

Claims (15)

1.一种液晶显示设备的制造方法，其中待叠合的一个液晶基片由装设在加压板侧的粘合保持机构保持，在待叠合的另一液晶基片上滴下适量的液晶后将其保持在台板上，并使所述液晶基片彼此相对，利用设在任一所述液晶基片上的粘合剂在减压气氛中以狭窄的间隙使之叠合，其特征在于：

所述一个液晶基片通过在大气压中施加吸引吸附力而被吸引和吸附；以及

在该吸引和吸附状态下操作所述粘合保持机构，由粘合部件保持液晶基片。

2.根据权利要求1的液晶显示设备的制造方法，其特征在于：

用装设在所述加压板处的粘合保持机构的粘合部件保持一个液晶基片，以指定的施加压力使两片液晶基片叠合之后，在扭转所述粘合部件的同时或之后从液晶基片表面上去除所述粘合部件。

3.根据权利要求1或2的液晶显示设备的制造方法，其特征在于：

使两片液晶基片在腔体内以指定的减压状态叠合，然后，通过对所述腔体内部加压而形成吸引和吸附力可以起作用的气氛后，在使加压力起作用的状态下驱动所述粘合保持机构，从所述液晶基片表面去除所述粘合件。

4.根据权利要求1的液晶显示设备的制造方法，其特征在于：

在对所述两片液晶基片进行叠合的过程中，在把腔体内部减压到指定减压程序之后，使所述加压板动作，并通过挤压提供在其一所述基片上的粘合剂来进行叠合，然后，增加所述腔体内部的压力直至达到能够通过吸引和吸附来保持所述基片所需的减压程度，在吸引和吸附状态下观察定位标记，在定位的同时对加压板再施加压力，直到获得指定的压力，接下来一边扭转所述粘合部件，一边向后移动。

5.根据权利要求1的液晶显示设备的制造方法，其中，

用可拆卸地装设在所述加压板上的粘合部件保持所述一个液晶基片，并且在叠合两片液晶基片之后，通过从所述加压板向所述基片一侧突出至少一个或多个推动部件来推动所述液晶基片，从而从液晶基片上去除所述粘合部件。

6.根据权利要求5的液晶显示设备的制造方法，其特征在于：

所述另一液晶基片由装设在所述台板处的粘合部件保持，在叠合两片液晶基片之后，通过使至少一个或多个装设在所述台板处的推动部件向液晶基片表面突出来推动所述液晶基片，从而从液晶基片上去除所述粘合部件。

7.一种液晶基片组装设备，包括：用于保持待叠合的一个液晶基片的加压板、装设在所述加压板一侧的粘合保持机构，以及滴下了适量的液晶的、保持待叠合的另一液晶基片的台板，其中由装设在所述加压板或台板至少一个上的驱动机构使两片液晶基片之间的间隙变窄，且利用至少设置在一个液晶基片上的粘合剂，在减压的气氛中进行叠合，其特征在于：

设有多个以负压把液晶基片保持在所述加压板上的吸口；以及

设有把从所述吸口到设有所述粘合保持机构的粘合部件的开口连通起来的气流通道。

8.根据权利要求6的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述粘合保持机构具有用于保持液晶基片的粘合部件，以及用于一边从基片表面扭转所述粘合部件一边使之后移的驱动机构。

9.根据权利要求6或7的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述粘合保持机构还装设在所述台板侧。

10.根据权利要求7的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述粘合保持机构具有可以粘附到所述加压板也可以从该加压板上去除的薄片状的粘合部件，以及

还包括具有一基片推动轴以及一驱动机构的去除机构，所述基片推动轴用于从由所述粘合保持机构保持的基片表面去除所述粘合部件，所述驱动机构用于驱动所述基片推动轴。

11.根据权利要求10的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述粘合保持机构以及由基片推动轴和用于驱动所述推动轴的驱动机构构成的剥离机构设置在所述台板上。

12.根据权利要求10或11的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述粘合保持机构是把粘合部件粘结到铁板上的结构，由装设在所述加压板或所述台板上的磁体保持。

13.根据权利要求10或11的液晶基片组装设备，其特征在于：

在所述粘合保持机构中所述去除机构的基片推动轴可移动的部分处设有穿透孔。

14.根据权利要求10的基片组装设备，其特征在于：

在所述加压板上设有用于吸引和吸附操作的吸口，并且在所述粘合保持机构上还设有用于吸引和吸附、与所述吸口对应地连通到基片吸附侧的穿透孔，并且从所述穿透孔中突出出来设置粘合部件。

15.根据权利要求10的液晶基片组装设备，其特征在于：

所述去除机构包括设有多个推动轴的固定板和用于驱动所述固定板的驱动机构。

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