CN1534356A - 粘合基板制造装置和粘合基板制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种可防止粘合时基板横向滑移的粘合基板制造装置。该装置是在相互对向地配置在腔室内的加压板和台(33b)上，利用压力差吸附(第1保持面(61))和静电吸附(第2保持面(62))分别保持着第1基板和第2基板。在台(33b)的基板保持面上，形成利用摩擦阻力进一步保持第2基板的由摩擦阻力材料构成的第3保持面(63)。这样，在粘合时，可以防止因施加在两基板上的加工压的反向力而使基板横向滑移。

Description

粘合基板制造装置和粘合基板制造方法

技术领域

本发明涉及一种粘合基板制造装置和粘合基板制造方法，更详细地，本发明涉及一种在制造把液晶显示装置(Liquid Crystal Display；LCD)等的2片基板粘合起来的基板(面板)时使用的适当的粘合基板制造装置和粘合基板制造方法。

背景技术

近年来，进行着LCD等平面显示面板的大型化、轻量化(薄型化)，同时也要求更加低成本化。为此，在将2片基板粘合起来制造面板的装置中，要求提高成品率和生产性。

液晶显示面板，例如是将多个TFT(薄膜晶体管)形成为矩阵状的阵列基板(TFT基板)和形成有滤色片(红、绿、蓝)和遮光膜等的滤色片基板(CF基板)以极狭小的间隔(数μm左右)对向而设，在两基板间封入液晶而制造的。遮光膜用于加强对比度以及将TFT遮光而防止光泄漏电流的产生。TFT基板和CF基板，用含有热硬化性树脂的密封材料(粘接剂)粘合在一起。

该液晶显示面板的制造工序中，在把液晶封入相向的玻璃基板间的液晶封入工序中，通常是采用滴下注入法，即，在TFT基板的周围，用密封材料形成框状，在密封材料的框内的基板面上，滴下规定量的液晶，然后，在真空中将TFT基板和CF基板粘合，进行液晶封入。

已往，这样的2片的基板的粘合，是采用作为粘合装置的加压装置，在基板加压工序中进行的。该加压装置具有相互对向地配置在处理室内的上下2个保持板，精密地保持两保持板的平行度，并且，使两基板厚度方向的间隔保持均匀，在该状态下使两基板接近，从而进行粘合。与这种加压装置相关的已往技术，例如在专利文献1中公开。

专利文献1：日本特开2002-229044号公报。

但是，近年来，随着面板的大型化，进行粘合的基板的尺寸也大型化，由加压装置进行2个基板的粘合时，施加在两基板上的载荷值也增大。即，在粘合时，在两基板上，作用着相当于(单位面积的加工压×基板面积)的载荷，该载荷值与基板面积成正比地增大。

因此，由于在粘合时施加在两基板上的加工压的反向力，使基板产生横向滑移，粘合时的基板位置产生错动。这种基板位置的错动，成为遮光部的光泄漏和显示不均匀等的显示不良的原因，是成品率降低的主要原因。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而做出的，其目的是提供一种可防止在粘合时基板横向滑移的粘合基板制造装置和粘合基板制造方法。

为了实现上述目的，根据本发明的粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，使压力差吸附和静电吸附中的至少一种作用，分别吸附保持着第1基板和第2基板，使这些第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其中，上述第1及第2保持板的至少一个保持板的基板保持面上形成有摩擦阻力材料，该摩擦阻力材料利用摩擦阻力进一分别保持上述第1及第2基板。这样，粘合时，可防止作用在两基板上的加工压的反向力使基板横向滑移。即，粘合时，可防止两基板间位置错动，可高精度地进行粘合。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，上述摩擦阻力材料局部形成在上述基板保持面内。根据该构造，与在基板保持面的全面上形成摩擦阻力材料时相比，可高精度地保持保持板的平面度。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，上述摩擦阻力材料沿着上述基板保持面的周边部局部形成。根据该构造，可提高基板外周面的摩擦阻力，与把摩擦阻力材料形成在保持板内部时相比，更加提高横向滑移的防止效果。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，在上述基板保持面上，形成有包含压力差吸附面的第1保持面、包含静电吸附面的第2保持面、包含高摩擦面的第3保持面，该高摩擦面由摩擦系数比上述第1及第2保持面高的摩擦阻力材料形成。根据该构造，把具有高摩擦面的第3保持面局部配置在基板保持面上，这样，在该基板保持面中，可以减少用于抑制基板横向滑移所需要的静电吸附面等的配置面积。结果是，即使以少的吸附保持力，也能容易地保持基板。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，备有加压机构，该加压机构与上述第1和第2保持板中的至少一个保持板连接，并对该连接的保持板加压。该加压机构可优先对与形成在上述基板保持面上的摩擦阻力材料对应的位置加压。这样，优先地对形成有摩擦阻力材料的部位加压，可在使基板挠曲的同时进行粘合，可进一步提高横向滑移的防止效果。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，在保持板被分割成多个保持部的情况下，上述摩擦阻力材料形成在上述多个保持部中的至少一个保持部的基板保持面上。在这些被分割的多个保持部上，连接着对各保持部单独加压的加压机构，利用该加压机构可对每个被分割的保持部加压而进行粘合。根据该构造，加压时，可以减小作用在两基板上的载荷值，同时，通过从形成有摩擦阻力材料的保持部加压，进行粘合，可进一步提高横向滑移的防止效果。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，上述多个保持部至少被分割为保持基板的中央部和周边部的部分，该基板被保持在上述基板保持面上，上述摩擦阻力材料形成在保持上述基板的周边部的保持部的基板保持面上。根据该构造，由于从保持基板周边部的保持部加压而进行粘合，所以，可提高基板外周面的摩擦阻力，可进一步提高横向滑移的防止效果。

根据本发明所述的粘合基板制造装置，其中，上述摩擦阻力材料在上述保持部的基板保持面内局部形成。根据该构造，与在保持部的基板保持面全面上形成摩擦阻力材料时相比，可高精度地保持保持板的平面度。

附图说明

图1是粘合基板制造装置的概略构造图；

图2是第1实施形式的加压装置的概略构造图；

图3是说明加压装置的控制机构的框图；

图4是表示第1实施形式中的台的构造的说明图；

图5是表示第2实施形式的说明图，图5A是加压机构的侧面图，图5B是表示加压区域的说明图；

图6是表示第3实施形式的加压装置的概略构造图；

图7是表示第3实施形式的加压板构造的说明图；

图8是表示另一加压板构造的说明图。

具体实施方式

(第1实施形式)

下面，参照图1至图4，说明将本发明具体化的第1实施形式。

图1是粘合基板制造装置的概略构造图，该装置是在液晶显示装置的制造工序中，实施进行液晶盒工序中的液晶注入及粘合的工序。

粘合基板制造装置11，把液晶封入所提供的2种基板W1、W2之间，制造液晶显示基板。本实施形式中制造的液晶显示面板，例如是有源矩阵型液晶显示面板，第1基板W1是形成有滤色片和遮光膜等的滤色基板(CF基板)，第2基板W2是形成有TFT等的阵列基板(TFT基板)。第1及第2基板W1、W2，分别由不同的工序制成后提供。

粘合基板制造装置11，包含有控制装置12和由该控制装置12控制的密封描绘装置13、液晶滴下装置14、粘合装置15、检查装置16。粘合装置15由加压装置17和硬化装置18构成，各装置17、18由控制装置12控制。

粘合基板制造装置11，还备有运送装置19a～19d，该运送装置19a～19d运送所提供的第1基板及第2基板W1、W2或者将它们粘合而制成的粘合基板。各运送装置19a～19d由控制装置12控制。

第1及第2基板W1、W2，先提供到密封描绘装置13。密封描绘装置13在第1及第2基板W1、W2中的任一方的基板的上面，沿其周围，在规定位置将密封材料涂敷成框状。

本实施形式中，例如是在作为TFT基板的第2基板W2的上面，涂敷密封材料。作为该密封材料，是采用至少含有光硬化性粘接剂的粘接剂。密封材料被涂敷后，第1及第2基板W1、W2由运送装置19a运送到液晶滴下装置14。

液晶滴下装置14，在运送来的两基板W1、W2中的、涂敷了密封材料的基板W2上面的多个规定位置点滴液晶。在点滴液晶后，第1及第2基板W1、W2由运送装置19b运送到进行基板加压工序的粘合装置15(具体地说是加压装置17)。

加压装置17备有作为处理室的腔室，在该腔室内，设有分别吸附保持第1及第2基板W1、W2的上下2个保持板。加压装置17，将运入的第1基板W1和第2基板W2分别吸附保持在上侧的保持板(第1保持板)和下侧的保持板(第2保持板)上后，对腔室内进行真空排气。

接着，加压装置17把规定的气体供给到腔室内。所供给的气体是置换气体，该置换气体例如包含有用于PDP(等离子显示面板：Plasma DisplayPanel)的激励气体等的反应气体、氮气、洁净干空气等的不活性气体。利用这些气体进行前处理，使附着在基板或显示元件表面的不纯物、反应生成物等，暴露在反应气体或置换气体中一定时间。

该处理是在粘合后使不能开封的粘合面的性质保持、稳定化。第1及第2基板W1、W2，在其表面生成氧化膜等的膜，或者附着了空气中的悬浮物，其表面状态发生变化。该状态的变化对每个基板是不同的，所以不能制造稳定的面板。而这些处理通过抑制膜的生成和不纯物的附着，或者对附着了的不纯物进行处理而可抑制基板表面的状态变化，使基板的质量稳定。

接着，加压装置17，采用定位标记，以非接触状态(至少第2基板W2上面的密封材料不接触第1基板W1的下面)在光学上进行两基板W1、W2的定位。

然后，加压装置17对两基板W1、W2施加规定的压力，加压到两基板达到规定的间隔(至少密封材料与两基板W1、W2密接的间隔)为止，然后，将腔室内大气开放。这样，两基板W1、W2借助大气压与基板W1、W2之间的压力的压力差，被压缩到成为规定的液晶盒间隙(cell gap)的最终的基板间隔。

控制装置12监视第1及第2基板W1、W2运入加压装置17内后的时间经过，控制两基板W1、W2暴露在提供给腔室内的气体中的时间(从运入到进行粘合的时间)。这样，在粘合后，使不能开封的粘合面性质保持、稳定化。

运送装置19c从加压装置17中取出粘合后的基板，将其运送到硬化装置18。具体地说，控制装置12监视对两基板W1、W2加压后的经过时间，在经过了预定的时间后，驱动运送装置19c，将粘合后的两基板W1、W2提供给硬化装置18。

硬化装置18，对粘合后的两基板W1、W2照射具有规定波长的光，使密封材料硬化。具体地说，被封入到基板W1、W2间的液晶，因加压和大气开放而扩散。硬化装置18在该液晶扩散结束之前、即液晶扩散到密封材料之前，将密封材料硬化。

另外，在粘合时，两基板W1、W2因加压时的加工压等而变形。由运送装置19c运送的两基板W1、W2，由于密封材料还未硬化，所以，在运送时残留在基板W1、W2上的应力被释放。这样，在硬化装置18使密封材料硬化时，能抑制基板的位置错动。

密封材料被硬化后的两基板W1、W2(液晶面板)，由运送装置19d运送到检查装置16。检查装置16测定运送来的液晶面板的基板W1、W2的位置错动(错动方向及错动量)，把该测定值输出给控制装置12。

控制装置12，根据检查装置16的检查结果，对加压装置17中的定位进行修正。即，朝着与该位置错动方向的相反方向，预先错动密封材料被硬化的液晶面板中的两基板W1、W2的错动量，从而防止下一个制造的液晶板的位置错动。

下面，说明加压装置17的构造。

图2是从侧面观察加压装置17的概略构造图。该加压装置17进行第1和第2基板W1、W2的粘合。

加压装置17，备有基础板21和固定在该基础板21上的支撑框22。基础板21和支撑框22分别由刚性非常高的材料形成。

在支撑框22的内侧面上，在两侧安装着导轨23a、23b，在各导轨23a、23b上，支撑着可在上下方向(Z方向)移动的直线导引件24a、24b。在各直线导引件24a、24b之间，架设着第1及第2支撑板25、26，第1支撑板25由第3支撑板28支撑着，该第3支撑板28根据安装在支撑框22上部的马达27的驱动而上下动作。

在马达27的输出轴上，连接着可一体旋转的螺杆29，在该螺杆29上，螺合着设在第3支撑板28上的螺母30。因此，当马达27驱动而螺杆29正反旋转时，第3支撑板28上下动作。

第3支撑板28形成为コ字形，在其上部侧的板上设有螺母30。在第3支撑板28的下部侧的板上面，设有多个(本实施形式中是4个)负载传感器31，第1支撑板25的下面与该负载传感器31相接。

加压装置17，在支撑框22的支柱部内侧，备有作为处理室的腔室32。腔室32被分割为上下部分，由上侧容器32a和下侧容器32b构成。在腔室32的开口部、即上侧容器32a与下侧容器32b相接的部位，设有密封环(图未示)，该密封环将它们之间密封，保持腔室32的气密性。

在该腔室32内，相互对向而设置有分别吸附保持第1基板W1和第2基板W2的加压板33a(第1保持板)和台33b(第2保持板)。本实施形式中，加压板33a保持第1基板W1(CF基板)，台33b保持第2基板(TFT基板)。

如后所述，加压板33a和台33b，通过作用压力差吸附和静电吸附中的至少一种，分别吸附保持第1基板W1和第2基板W2。

加压板33a由第2支撑板26垂吊着。具体地说，在第2支撑板26上，设有多个(本实施形式中例如是4个)支柱34，各支柱34的下端安装在加压板33a的上面。从而，加压板33a通过4根支柱34垂吊在第2支撑板26上。

本实施形式中，由马达27、基于马达27的驱动而上下动作的第3支撑板28、第1支撑板25、直线导引件24a、24b、第2支撑板26、从第2支撑板26垂吊着加压板33a的支柱3构成对两基板W1、W1进行加压的加压机构。

在第2支撑板26与上侧容器32a之间，设有作为弹性体的波纹管(ベロ一ズ)35，该波纹管35包围着各支柱34，用于保持腔室32的气密性。该波纹管35，在其两端的法兰部备有密封环(图未示)，由该密封环将第2支撑板26与上侧容器32a之间密封。因此，上侧容器32a通过波纹管35垂吊在第2支撑板26上。

台33b由作为驱动机构的定位台36支撑着。具体地说，定位台36固定地设置在基础板21上，通过竖立设置在该定位台36上的多个(本实施形式中例如是4个)支柱37，支撑着台33b。该定位台36具有使台33b在水平方向(X方向和Y方向)移动的机构和使其水平旋转(θ方向)的机构。

在定位台36与下侧容器32b之间，设有作为弹性体的波纹管38，该波纹管38包围着各支柱37，用于保持腔室32的气密性。与前述同样，该波纹管38，在其两端的法兰部备有密封环(图未示)，由该密封环将定位台36与下侧容器32b之间密封。

在下侧容器32b的下面，安装有竖立设置在基础板21上的多个支撑部件39。从而在下侧容器32b通过波纹管38支撑在定位台36上的同时，通过支撑部件39支撑在基础板21上。

在上述各支柱34的上端部，设有水平调节部40。该水平调节部40将各支柱34固定在第2支撑板26上，调节从第2支撑板26垂吊下的加压板33a的水平程度。水平调节部40例如是与形成在支柱34上的螺纹螺合的螺母，使其正反旋转，可使各支柱34分别地上升或下降，由此调节加压板33a的水平程度。

在这种构造的加压装置17中，当马达27驱动而第2支撑板28上下动作时，通过负载传感器31而支撑在该第3支撑板28上的第1支撑板25上下动作，随之，直线导引件24a、24b沿着导轨23a、23b上下动作。然后，随着该直线导引件24a、24b的上下动作，第2支撑板26上下动作，从而垂吊在第2支撑板26上的加压板33a和上侧容器32a上下动作。

因此，当马达朝着直线导引件24a、24b的下降方向旋转驱动时，上侧容器32a和加压板33a下降，上侧容器32a和下侧容器32b被密封，腔室32封闭。

然后，从该状态，当马达27朝着直线导引件的下降方向继续旋转驱动时，上述波纹管35被压缩，只有加压板33a下降。这样，加压装置17对两基板W1、W2施加加工力，进行粘合。

这时，上述的4个负载传感器31，根据从第1支撑板25受到的压力，检测粘合时的载荷，把该载荷检测结果输出到控制装置41。控制装置41接收从各负载传感器31分别输出的、作为载荷检测结果的电气信号，根据这些信号计算载荷的总值。

当腔室32内为减压状态(真空状态)时，载荷总值成为第1支撑板25及支撑在其上的各部件的重量(自重)A、和与各支柱截面积成比例地作用在加压板33a上的大气压力B的总值(A+B)。这时，支撑在第1支撑板25上的各部件，是直线导引件24a、24b、第2支撑板26、支柱34、水平调节部40、加压板33a、第1基板W1。

该载荷总值，在使两基板W1、W2接近而进行粘合时，因其加工压作为反向力作用而渐渐减少。即，控制装置41，根据从各负载传感器31输出的载荷检测结果，检测出上述载荷总值的减少量，从而识别在粘合时作用在两基板W1、W2上的加工压。

控制装置41，如上所述，计算出作用在两基板W1、W2上的加工压，根据该计算值，把使施加在两基板W1、W2上的加工压成为一定而生成的马达驱动信号，从附属的马达控制器(图未示)输出到马达驱动器42。马达驱动器42，把响应来自该控制装置41的马达驱动信号而生成的规定数的脉冲信号输出给马达27，马达27响应该脉冲信号而旋转驱动。

基于这样的马达27的驱动而上下动作的各直线导引件24a、24b上，设有检测加压板33a位置用的直线标尺43a、43b。该直线标尺43a、43b通过检测沿着导轨23a、23b移动的直线导引件24a、24b的位置，检测出加压板33a相对于台33b的位置，将该检测结果输出到显示器44。

具体地说，在显示器44中，借助设在加压板33a上的基准面传感器45，把加压板33a与台33b的间隔为“两基板W1、W2的厚度+粘合时液晶盒间隙(最终基板间隔)”时的加压板33a的位置，作为原点位置而存储着。这样，显示器44根据从直线标尺43a、43b输出的检测值，计算出加压板33a的位置(加压板33a相对于原点位置的相对位置)，将该相对位置数据输出给控制装置41。

控制装置41根据该相对位置数据监视加压板33a的位置，判断粘合时两基板W1、W2的间隔与此时加在基板W1、W2上的加工压的关系是否适当。粘合时基板间隔与加工压的关系预先用实验求出，控制装置41，在超过了由此得到的载荷适当值的规定的容许范围时，判断为异常，中止处理(对基板W1、W2的加压)。

下面，参照图3说明加压装置17的控制机构。与图2中相同的部分，注以相同的附图标记，其详细说明从略。

控制装置41如上所述，将来自各负载传感器的输出总计，计算出载荷总值，把基于该载荷总值的减少量而生成的马达驱动信号输出到马达驱动器42。马达驱动器42，把响应该信号而生成的脉冲信号输出到加压板上下马达27，这样，马达朝着使加压板33a上升或下降的方向驱动旋转。

如图3中虚线所示，在各负载传感器31与控制装置41之间，也可以另外设置运算装置46，该运算装置46根据来自各负载传感器31的载荷检测结果，计算出载荷总值。该构造中，控制装置41根据运算装置46的输出，只进行是否驱动加压板上下马达27的判断动作。从而可避免在控制装置41的响应时间的延迟，更加准确地进行马达27的驱动控制。

另外，控制装置41，基于来自图像处理装置47的输出信号，将驱动定位台马达48用的马达驱动信号提供给马达驱动器49。

具体地说，加压装置17备有对定位标记进行摄像的CCD照相机50，该定位标记用于基板粘合时两基板W1、W2的定位。该CCD照相机50，对粘合时形成在基板W1、W2上的定位标记进行摄像，把该图像数据输出到图像处理装置47。

控制装置41，把对应于该图像处理装置47的计算结果(位置错动量的计算数据)而生成的马达驱动信号输出到马达驱动器49，马达驱动器49把响应该马达驱动信号而生成的预定数的脉冲信号输出到定位台马达48。借助该马达48的驱动，支撑台33b的定位台36被驱动，这样，进行两基板W1、W2的定位。

下面，参照图4说明本实施形式的台33b的构造。

如图4所示，本实施形式的台33b的基板保持面(与第2基板W2的背面接触的面)，大致区分由3个的第1～第3保持面61～63构成。

第1保持面61具有压力差吸附面，该压力差吸附面借助例如真空吸盘等的吸引附着，保持第2基板W2。第2保持面62具有静电吸附面，该静电吸附面借助例如陶瓷静电吸盘等的静电吸附，保持第2基板W2。第3保持面63具有高摩擦面，该高摩擦面例如是由氟化橡胶等摩擦系数高的材料(摩擦阻力材料)形成。

本实施形式中，在台33b的中央，形成第1保持面61，在第1保持面61的周围，形成第2保持面62。在第2保持面62的周围，沿着台33b的周边部，交替地形成第1保持面61和第2保持面63。

另外，在第2保持面62上，除了静电吸附面外，也可以备有压力差吸附面。另外，在第3保持面63上，除了高摩擦面外，也可以备有压力差吸附面。即，在台33b的基板保持面上，也可以全面地形成有压力差吸附面。

在如此构成的台33b上，由于在粘合时施加在两基板W1、W2上的加工压的反向力，即使有朝横向(水平方向)移动的力作用在第2基板W2上，也能借助基板W2背面与高摩擦面之间的摩擦阻力，防止基板W2的横向滑移。

另外，台33b内的第1～第3保持面61～63的配置，并不限定于图4所示的配置，只要在粘合时，{静电吸附力(+压力差吸附力)+摩擦阻力}大于作用在第2基板W2上的横方向的力即可。

本实施形式中，是只在台33b上设置高摩擦面，但是，对于加压板33a来说，只要具有能保持第1基板1自重的最低限度的吸附力，也可以与图4同样地设置高摩擦面。即，在加压板33a和台33b上，分别设置图4所示的高摩擦面，这样，在粘合时，可防止两基板W1、W2的横向滑移。

如上所述，本实施形式具有以下效果。

(1)保持第2基板W2的台33b，由具有压力差吸附面的第1保持面61、具有静电吸附面的第2保持面62、具有高摩擦面的第3保持面63构成。第2基板W2通过高摩擦阻力材料形成的高摩擦面保持在台33b上，这样，可防止由于在粘合时施加在两基板W1、W2上的加工压的反向力引起的、第2基板W2的横向滑移。这样，在粘合时，能防止两基板W1、W2间的位置错动，精度良好地进行两基板1、W2的粘合。

(2)第2基板W2通过高摩擦面保持在台33b上，这样，在粘合时，可防止因密封材料或液晶而在第2基板W2上作用剪力而引起横向滑移。

(3)具有高摩擦面的第3保持面63沿着台33b的周边部设置。该构造与把高摩擦面形成在台33b内部的情形相比，可更加提高防止第2基板W2横向滑移的效果。

(4)具有高摩擦面的第3保持面63部分地形成在台33b的内部。该构造与在全面形成高摩擦面的情形相比，可精度良好地保持台33b的平面度。

(5)由于在台33b上形成高摩擦面，从而可以减少形成在该台33b上的静电吸附面。即，即使减少抑制第2基板W2向横方向滑移所需要的静电吸附力，也能容易地保持住基板。

(第2实施形式)

下面，参照图5A、图5B说明本发明具体化的第2实施形式。

本实施形式是在第1实施形式的加压装置17中，把作为第2保持板的台33b，变更为图5B所示的台71，并增加了从下方朝上方推压该台71的加压机构72。与第1实施形式中相同的部分，注以相同的附图标记，其详细说明从略。

如图5B所示，台71的基板保持面与第1实施形式同样，由第1～第3保持面61～63构成，与图4所示的台33b的不同处在于，具有高摩擦面的第3保持面63形成在台71的四角处。

该台71如图5A所示，在腔室32的下侧容器32b内由4根支柱37支撑着，各支柱37与第1实施形式同样支撑在定位台36上。即，台71基于定位台36的驱动可在XYθ方向水平移动。

本实施形式中，在该定位台36上的4个部位，还备有加压机构72。各加压机构72，借助图未示的驱动机构，从下方往上方推压支撑在腔室32内的台71，在粘合时，使第2基板W2相对于第1基板W1加压。

具体地说，各加压机构72如图5B所示，分别配设在形成于台71四角的4个高摩擦面(第3保持面63)的位置，从台71的下方，对该第3保持面63内的加压区域73加压。

粘合时，台71上的高摩擦面被这种的加压机构72往上方推压，随之，第2基板W2被对向的第1基板W1加压，这样，第2基板W2的背面与台71之间的摩擦阻力增大。

根据本实施形式，具有以下效果。

(1)用设在该台71下方的加压机构72，对形成在台71上的高摩擦面加压。这样，优先地对摩擦阻力高的部分加压，从而在粘合时可增大第2基板W2与台71之间的摩擦阻力。因此，与第1实施形式相比，更加提高基板W2的横向滑移防止效果。

(第三实施形式)

下面，参照图6和图7，说明本发明具体化的第3实施形式。

本实施形式说明了第1实施形式的加压装置17的另一形式。与第1实施形式相同的部分，注以相同的附图标记，其详细说明从略。

图6是从侧面观察本实施形式的加压装置81的机构的概略图。

该加压装置81上备有第1支撑框83，在第1支撑框83的内侧，备有第2支撑框84。在该第2支撑框84上，安装着直线导引件86，该直线导引件86可沿着安装在第1支撑框83上的导轨85上下动作。即，第2支撑框84可相对于第1支撑框83上下动作。

在第1支撑框83上，设有多个(图中是2个)加压用马达87，在被各加压马达87驱动旋转的螺杆88上，支撑着可上下动作的支撑板89。第2支撑框84通过多个(图中是4个)负载传感器90支撑在该支撑板89上。

在第2支撑框84的中央，备有由上述支撑板89支撑着的第3支撑框91。在该第3支撑框91上，安装着直线导引件93，该直线导引件93可沿着安装在支撑板89上的导轨92上下动作。即，第3支撑框91可相对支撑板89、即第2支撑框84上下动作。

在支撑板89上设有加压用马达94，在被该加压马达94驱动旋转的螺杆95上，支撑着可上下动作的支撑部件96。第3支撑框91通过多个(图中是2个)负载传感器97支撑在该支撑部件96上。

加压装置81，在第2及第3支撑框84、91的下方备有作为处理室的腔室100，该腔室100被分割为上下部分，由上侧容器100a和下侧空器100b构成。

在腔室100的开口部、即上侧容器100a与下侧容器100b相接触的部位，设有密封环100d，该密封环100d将它们之间密封，保持腔室100的气密性。另外，在上侧容器100a上，设有定位孔100f，该定位孔100f与设在下侧容器100b上的定位销100e嵌合。因此，将腔室100闭塞着时，定位销100e嵌合在定位孔100f内，这样，上侧容器100a相对于下侧容器100b而被定位。

在腔室100内，分别吸附保持两基板W1、W2用的作为第1及第2保持板的加压板101及台102对向配置。本实施形式中，加压板101保持第1基板W1(CF基板)，台102保持第2基板W2(TFT基板)。

加压板101和台102，与第1实施形式同样，利用压力差吸附和静电吸附中的至少一方，分别吸附保持着第1基板W1和第2基板W2。

如图7所示，加压板101由多个的作为保持部的中央加压部101a和周边加压部101b构成。周边加压部101b包围着中央加压部101a的外周并与中央加压部101a分隔开。周边加压部101b由多个(图中是2个)支柱103垂吊地支撑着，该支柱103一体地连接在第2支撑框84上，中央加压部101a由多个(图中是2个)支柱104垂吊地支撑着，该支柱104一体地连接在第3支撑框91上。

本实施形式中，由加压用马达87、基于该马达87的驱动而上下动作的支撑板89、直线导引件86及第2支撑框84、从该第2支撑框84垂吊支撑着加压板101的周边加压部101b的支柱103，构成对两基板W1、W2的周边进行加压的加压机构。

另外，由加压用马达94、基于马达94的驱动而上下动作的支撑板96及第3支撑框91、从第3支撑框91垂吊支撑着加压板101的中央加压部101a的支柱104，构成对两基板W1、W2的中央进行加压的加压机构。

在第2支撑框84与上侧容器100a之间，设有作为弹性体的波纹管105，该波纹管105包围所述各支柱103，用于保持腔室100的气密性。波纹管105在其两端的法兰部备有密封环，由该O开环将第2支撑框84与上侧容器100a之间密封。

在第3支撑框91与上侧容器100a之间，同样设有作为弹性体的波纹管106，该波纹管106包围所述各支柱104，用于保持腔室100的气密性。同样地，该波纹管106在其两端的法兰部备有密封环，由该密封环将第3支撑框91与上侧容器100a之间密封。

台102设在下侧容器100b内，该下侧容器100b由作为驱动机构的定位台107支撑着，可以水平移动(XY方向)和水平旋转(θ方向)。具体地说，定位台107设在一体地连接在第1支撑框83上的基础板108上，可在XYθ方向驱动，借助该定位台107的驱动，台102与下侧容器100b一起在水平面内移动和转动。

在台102上，在与加压板101的中央加压部101a对向的位置、以及与周边加压部101b对向的位置，分别设有紫外线照射机构109、110。这些各机构109、110，分别借助气缸的驱动而上下动作，在第1及第2基板W1、W2的粘合时，对密封材料照射紫外线。这样，密封材料被硬化，两基板W1、W2被暂时固定。

在台102的上面外周缘，设有升降板113，该升降板113的面与该台102的基板吸附面齐平。该升降板113的一部分伸出到台102的外方，该升降板113被设在其下方的升可上下动作的升降机构114从台102上举起。

这样构成的加压装置81中，支撑板89借助加压用马达87的驱动而上下动作时，支撑在该支撑板89上的第2支撑框84，相对于第1支撑框83上下动作。随之，第3支撑框91与第2支撑框84一起上下动作。该第3支撑框91支撑在支撑部件96上，该支撑部件96通过螺杆95连接在支撑板89上。

当支撑部件96基于加压用马达94的驱动而上下动作时，支撑在该支撑部件96上的第3支撑框91，相对于支撑板89、即第2支撑框84上下动作。

因此，加压装置81中，第2支撑框84和第3支撑框91，可相对于第1支撑框83分别独立地上下动作。即，加压装置81中，将第2基板W2吸附保持在加压板101的中央加压部101a和周边加压部101b上，在该状态下，可以使周边加压部101b和中央加压部101a分别独立地上下动作。

该加压装置81中，各负载传感器90、97与上述第1实施形式相同，检测出分别作用在其上的压力，把该检测结果输出到加压装置81的控制装置(图未示)。然后，控制装置根据各负载传感器90、97的检测结果，从载荷总和的减少量，检测出两基板W1、W2粘合时的加工压。

另外，图6中，省略了加压装置81的控制机构，但与第1实施形式同样，控制装置根据各负载传感器90、97的输出，控制各马达87、94的驱动，使粘合时作用于两基板W1、W2上的加工压为一定。同样，控制装置如图3所示，取入对定位标记进行摄像的CCD照相机的图像数据，根据来自图像处理装置的输出信号，驱动定位台107，进行两基板W1、W2的定位。

下面，说明本实施形式的加压板101的基板保持面的构造。

如图7所示，本实施形式的加压板101，在其中央加压部101a，形成具有静电吸附面的第2保持面62。在其周边加压部101b，交替地形成具有压力差吸附面的第1保持面61和具有高摩擦面的第3保持面63。与第1实施形式同样，在第2保持面62和第3保持面63上，也可以具有压力差吸附面。

采用这种构造的加压板101，用加压装置81进行粘合时，首先，把第1基板W1和第2基板W2分别吸附保持在加压板101和台102上后，再把腔室100内进行真空排气，非接触地进行两基板W1、W2的定位。

接着，使周边加压部101b下降，进行第1及第2基板W1、W2的周边部的粘合。接着，停止周边加压部101b的吸附，使该周边加压部101b上升后，使中央加压部101a下降，进行第1及第2基板W1、W2的中央部的粘合。

然后，停止中央加压部101a的吸附，使该中央加压部101a上升后，将腔室100内大气开放，进行粘合，直到规定的液晶盒间隙。

以上说明了粘合工序的一例，但也可以先使中央加压部101a下降，进行了两基板W1、W2中央部的粘合后，再使周边加压部101b下降，进行两基板W1、W2周边部的粘合。

如以上所述，根据本实施形式，具有以下效果。

(1)本实施形式的加压装置81中，具有能对两基板W1、W2的周边部和中央部分别进行加压的加压机构，在加压板101的中央加压部101a上形成有第2保持面62，在周边加压部101b上交替地形成有第1保持面61和第3保持面63。根据该构造，在粘合时可以减小施加在两基板W1、W2上的载荷值，同时，可以选择加压板101的摩擦阻力高的部分进行加压，所以，能进一步提高防止粘合时第1基板W1的横向滑移的效果。

(2)本实施形式中，首先，对具有高摩擦面的周边加压部101b优先加压，进行两基板W1、W2的周边部的粘合，然后，对具有静电吸附面的中央加压部101a加压，进行两基板W1、W2的中央部的粘合。这样，可以先把两基板W1、W2的周边部暂时固定住，可以抑制错位的发生。

另外，上述各实施形式，也可以用下述的形式实施。

·第3实施形式的台102，也可以采用第1实施形式的台33b的构造。

·在第3实施形式中，也可以采用第2实施形式那样的加压机构72，在粘合时，从上下对两基板W1、W2加压。

·第3实施形式中，也可以备这样的加压机构，即，把台102与加压板101同样地分割成多个，在该分割而构成的台中，能仅选择形成有高摩擦面的部分加压。

·也可以把第3实施形式的加压板101变更为图8所示的构造。即，图8所示的加压板121，被分割成多个的作为保持部的第1～第3加压部122～124。第1加压部122由具有压力差吸附面的第1保持面61构成。第2加压部123由具有静电吸附面的第2保持面62构成。第3加压部124由具有静电吸附面的第2保持面62和具有高摩擦面的第3保持面63构成。采用这种加压板121时，将第3实施形式所示的加压装置81的结构变更，采用能分别独立地对各加压部122～124进行加压的加压机构，在粘合时，优先对具有高摩擦面的第3加压部124加压。这样，把加压板121分割成3个以上部分时，在粘合时，可以更加减小载荷值，更加有效地提高第1基板W1的横向滑移的防止效果。

·在第1实施形式的台33b、第2实施形式的台71、第3实施形式的加压板101及图8所示加压板121中，在各保持面上，也可以全面地形成由同一材料构成的高摩擦面。

将上述各实施形式的特征归纳如下。

(附记1)一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板，可利用压力差吸附和静电吸附中的至少一种，分别保持上述第1及第2基板，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有利用摩擦阻力进一步分别保持上述第1及第2基板的摩擦阻力材料。

(附记2)如附记1所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料局部形成在上述基板保持面内。

(附记3)如附记1所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料沿着上述基板保持面的周边部局部形成。

(附记4)如附记1至3中任一项所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料形成在上述基板保持面的四角。

(附记5)一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有包含压力差吸附面的第1保持面、包含静电吸附面的第2保持面、包含高摩擦面的第3保持面，该高摩擦面由摩擦系数比上述第1及第2保持面高的摩擦阻力材料形成。

(附记6)如附记1至5中任一项所述的粘合基板制造装置，其特征在于，备有加压机构，该加压机构与上述第1和第2保持板中的至少一个保持板连接，并对该连接着的保持板加压，

上述加压机构可优先对与形成在上述基板保持面上的上述摩擦阻力材料对应的位置加压。

(附记7)如附记1至5中任一项所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述第1及第2保持板中的至少一个保持板被分割成多个保持部，同时，与对该被分割的多个保持部单独加压的加压机构连接，

上述摩擦阻力材料形成在上述多个保持部中的至少一个保持部的基板保持面上。

(附记8)如附记7所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述多个保持部至少被分割为保持基板的中央部和周边部的部分，该基板被保持在上述基板保持面上，

上述摩擦阻力材料形成在保持上述基板的周边部的保持部的基板保持面上。

(附记9)如附记7所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料在上述保持部的基板保持面内局部形成。

(附记10)一种粘合基板制造方法，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

优先对与摩擦阻力材料对应的部分加压，进行上述2块基板的粘合，该摩擦阻力材料形成在上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上。

(附记11)一种粘合基板制造方法，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板被分割成多个保持部，同时，在该被分割的多个保持部中的至少一个保持部的基板保持面上形成摩擦阻力材料，

选择性地使上述多个保持部上下动作而进行加压，进行上述2块基板的粘合。

(附记12)如附记11所述的粘合基板制造方法，其特征在于，优先对上述多个保持部中形成有上述摩擦阻力材料的保持部加压后，对未形成有上述摩擦阻力材料的保持部加压而进行上述2块基板的粘合。

如上所述，根据本发明，能提供在粘合时防止基板横向滑移的粘合基板制造装置和粘合基板制造方法。

Claims (10)

1.一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板，可利用压力差吸附和静电吸附中的至少一种，分别保持上述第1及第2基板，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有利用摩擦阻力进一步分别保持上述第1及第2基板的摩擦阻力材料。

2.如权利要求1所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料局部形成在上述基板保持面内。

3.如权利要求1所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料沿着上述基板保持面的周边部局部形成。

4.一种粘合基板制造装置，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持着第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上，形成有包含压力差吸附面的第1保持面、包含静电吸附面的第2保持面、包含高摩擦面的第3保持面，该高摩擦面由摩擦系数比上述第1及第2保持面高的摩擦阻力材料形成。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的粘合基板制造装置，其特征在于，备有加压机构，该加压机构与上述第1和第2保持板中的至少一个保持板连接，并对该连接着的保持板加压，

上述加压机构可优先对与形成在上述基板保持面上的上述摩擦阻力材料对应的位置加压。

6.如权利要求1至4中任意一项所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述第1及第2保持板中的至少一个保持板被分割成多个保持部，同时，与对该被分割的多个保持部单独加压的加压机构连接，

上述摩擦阻力材料形成在上述多个保持部中的至少一个保持部的基板保持面上。

7.如权利要求6所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述多个保持部至少被分割为保持基板的中央部和周边部的部分，该基板被保持在上述基板保持面上，

上述摩擦阻力材料形成在保持上述基板的周边部的保持部的基板保持面上。

8.如权利要求6所述的粘合基板制造装置，其特征在于，上述摩擦阻力材料在上述保持部的基板保持面内局部形成。

9.一种粘合基板制造方法，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

优先对与摩擦阻力材料对应的部分加压，进行上述2块基板的粘合，该摩擦阻力材料形成在上述第1及第2保持板中的至少一个保持板的基板保持面上。

10.一种粘合基板制造方法，在配置在处理室内的相互对向的第1保持板和第2保持板上，分别保持第1基板和第2基板，使上述第1基板和第2基板相互接近，将2块基板粘合起来，其特征在于，

上述第1及第2保持板中的至少一个保持板被分割成多个保持部，同时，在该被分割的多个保持部中的至少一个保持部的基板保持面上形成摩擦阻力材料，

选择性地使上述多个保持部上下动作而进行加压，进行上述2块基板的粘合。

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