1266104 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明是關於液晶顯示裝置與一基體組合裝置之組裝 方法，其中，將被疊層的一對基體分別被支撐與放置，因 此，在真空室中，彼此相對，且那些基體在一減壓狀態 中，以在基體之間變窄的間隙，而被引導在一起成面對面 關係。 【先前技術】 有兩種液晶顯示的組裝方法。在一種方法中，一對具 有透明基體與薄膜電晶體陣列的玻璃基體，以黏著劑（下 文中也稱爲封閉物質（sealing material))，被引導成幾 μηι的小距離之面對面關係（所完成的基體下文中稱爲單 元（cell ))，且在那些基體之間所形成的氣隙 (airspace )充滿液晶物質。在另一種方法中，液晶物質 在一基體表面上，被滴注（drip-fed)，其中，在該基體 上，由封閉物質形成一封閉模型，因而將不會產生塡注器 孔（filler hole)，且另一基體被置於前一基體之上，而 此二基體被引導爲面對面關係，因而彼此非常接近。至於 用來將基體引導成面對面關係的液晶顯示裝置的組裝裝 置，在施以適用的壓力之前，有支撐上側基體的這樣的一 基體組裝裝置，如在先行公開的日本專利第200 1 - 1 3 3 745 號（200 1 )中所揭露者，其中，上側基體由黏著機構所支 撐，且藉由將基體之間的距離變窄而引導基體成面對面關 (2) 1266104 係。在其較佳實施例中，所揭露者包括一種方法，使用一 黏著片當作一黏著裝置與一種裝配，其中，一開口被設於 加壓片之內，且一引動器被設於此加壓片之上，因而黏著 構件可以在開口中上下流動。 在以上的先前技術的裝配中，基體被支撐因而可以在 大氣壓下與黏著裝置接觸。在大氣壓下藉由使用黏著裝置 而支撐基體的情形下，可能有一個問題：由於基體表面的 凹和/或凸與基體的撓曲，空氣可能穿透基體與黏著裝置 之間，且當室的內在壓力降低時，在基體與黏著裝置之間 所含的空氣擴張，最差的情形將導致無法支撐基體。 【發明內容】 本發明的一目的在於提供一基體疊層裝置，此裝置可 以明確地支撐具有加壓板的基體、用來疊層液晶基體的一 基體組裝裝置、並提供一種組裝方法，其使用在此用於液 晶顯示裝置的裝置，爲了在一高真空壓力下，以一高精密 度疊層此基體，其中，在此壓力下，即使嘗試增加基體的 大小與降低基體的厚度，不會在液晶顯示中產生缺陷。 爲了達到以上的目的，本發明的特徵在於：在用來支 撐基體之一的加壓板上，提供多數個吸入與吸附用的吸入 口；藉由黏著力來支撐基體用的多數個黏著裝置；和一壓 降槽，用來降低在氣隙內的壓力，其中，該氣隙是由設在 上述黏著裝置與基體的開口所形成的。此外，在支撐另一 基體與加壓板用的機台上，設有多數個吸入與吸附用的吸 -8 - (3) 1266104 入口與多數個黏著裝置。還有，在降低具有黏著裝置與基 體的開口之間的氣隙內的壓力之後’此黏著裝置被加諸於 基體之上，且由此基體所支撐。 在另一實施例中，至少在加壓板中’基體在大氣壓力 之下，被吸引與吸附，同時也被牢固地支撐’於是’在一 指定的減壓大氣壓之下’藉由使基體之一與置於機台上的 基體間的距離變窄，以設於基體之一上的黏著劑加壓結合 二基體之後，最後，藉由操作設於加壓板上’用來移除黏 著構件的多數個移除機構，黏著構件從疊層的基體的表面 被移除。 由於壓板設於真空室與置於該加壓板一距離的相對位 置的機台之內，液晶基體之一由設於上述加壓板上的多數 個黏著裝置所支撐，且封閉物質以圓圈狀而被塗於這液晶 基體上，另一個液晶基體，其中，在這液晶基體上，液晶 劑被計量地滴落於由封閉物質所形成的封閉圓圈區域中， 被置於上述的機台上且由一負壓所支撐或由黏著裝置所支 撐，真空室的內在壓力被降低，且在將二基體相互放置之 後，接著藉由將上述機台與該加壓板間的距離變窄，使二 基體暫時地疊層，然後，在上述加壓板上的黏著裝置被移 除，最後，在將加壓板從基體之一分離之後，藉由恢復真 空室內的壓力至大氣壓力，而將二基體穩固地接觸，而完 成此液晶顯示裝置。 【實施方式】 -9 - (4) 1266104 吾人將在此藉由本發明的較佳實施例，參考附圖，詳 細討論本發明。在以下的說明中，爲了提供對本發明的徹 底了解，吾人發表了許多特定的細節。然而，明顯地，對 那些熟知本技術者，本發明可以被實現而無需這些細節。 在其他舉例中，眾所皆知的結構並未被詳細地介紹，以避 免本發明的不必要之含糊性。 現在，本發明的一實施例將參照所附的圖而被說明。 圖1顯示本發明的基體疊層裝置的一整體裝配。 鲁 在圖1中，本發明的基體組合裝置100由下室 (lower chamber) T1與上室T2所組成、且ΧΥΘ-方向驅 動機構（未顯示）被設於下室T1之下。有了此ΧΥΘ-方向 驅動機構，下室T i可以在被定義於左右方向的X軸與和 X軸垂直的Y軸上自由移動。此外，有了此Θ-方向驅動機 構，機台4，其中，下基體被固定於其上，可以在垂直平 面上，相對於下室組件，從軸 2至真空封（vacuum seal) 3，旋轉地移動。當下基體ia被固定於機台4之上 ® 時，由設於機台4上的吸入口 7c施以吸入與吸附操作。 管線16a的一端被連接至吸入口 7c，且壓力降（負壓） 源經由未顯示的閥，被連接至此管線的另一端。吾人提供 的是這樣的一種機構，以致下基體1 a，由這負壓源所提 供的負壓，而被吸引與吸附至吸入口 7c。 上室T2是藉由提供上室組件6與被安裝於其中的加 壓板7，而被裝配，其中，上室組件6與加壓板7可以獨 立地上下移動。亦即，上室組件6具有包括一線性套筒和 -10- (5) 1266104 一真空封於其內的一殼8，且由軸9所導引’藉由固定在 框10的缸筒11，而在垂直方向（在Z方向）移動。加壓 板7藉由設於軸9上的驅動裝置（未顯示），在垂直方向 (在Z方向）移動。 上基體1 b被吸引與吸附至設於加壓板7的下表面的 吸入口 7b。管線1 6b之一端經由一未被顯示的閥而被連 接至管線1 6b的另一端。在這裝配中，藉由從負壓源供應 一負壓，上基體1 b被吸引與吸附至加壓板7。 · 當位於ΧΥΘ-方向驅動機構之上的下室組件T1在上室 組件T2的下方直接地移動，然後上室組件6向下移動 時，上室組件6的凸緣接觸設於下室組件5周圍的〇型 環1 2。然後，這兩室組件被整合成一單一組件爲一真空 室。設於下室組件5周圍的滾珠軸承1 3被用來調整在真 空室中的Ο型環1 2之彈性變形量，其中，該滾珠軸承可 以在垂直與水平方向上，在任意位置被調整。滾珠軸承 1 3的位置被調整，以最佳化〇型環1 2的彈性變形量，因 ® 而在真空室內的壓力可以被維持在一給定的降壓狀態，且 可以獲得最大的彈性。由降低真空室內的壓力所產生的力 量的大數量經由滾珠軸承1 3，由下室組件所支撐。由於 這裝配，當稍後所說明的，將上與下基體疊層時，這些基 體的精確定位可以輕易地藉由細微調整在〇型環1 2的彈 性區域內的下室部分T 1而達成。 殼8具有一內建真空封，而上下移動，因而即使當藉 由耦合上室組件6與下室組件5而形成的真空室內的壓力 -11 - (6) 1266104 被減低時，上室組件被變形，壓力漏也不會發生。由於這 裝配，由真空室的變形所產生的施於軸9的力量可以被吸 收，且由軸9所支撐的加壓板7的變形通常可以避免。因 此，上基體lb，由黏著構件18b所吸引與吸附至加壓板7 的的下表面，與由機台4所支撐的下基體la可以被疊 層，同時它們的水平狀態可以被維持。加壓板7的上下移 動由驅動機構（未被顯示，且被安裝於軸9的上部）所執 行。 Φ 被安裝在上室組件6的側表面的真空管線1 4，經由 真空閥與管線軟管（未顯示）而被連接至負壓源。這些構 件被用來降低真空室內的壓力至一既定壓力水平。洩漏閥 1 7被設來調整真空室內的真空水平（所降低的壓力水 平），以增加在一任意壓力水平的壓力。氣體排淨閥與管 1 5被連接至諸如氮氣或乾淨的乾空氣之壓力源，且被用 來恢復真空室內的壓力至大氣壓力。 影像識別照相機22a與22b被安裝來讀取設於上與下 ® 基體lb與la上的定位標誌。影像識別照相機22a與22b 所用的透明視阜23a與23b被設於形成在上室組件6中的 孔6a與6b之上，用來建立真空封閉，以防止空氣流經孔 6a與6b而至該室。小尺寸的孔7a與7b也被設置於加壓 板7之上，影像識別照相機可以經由這些孔7a與7b，檢 視形成於基體上的定位標誌。 其次，參考圖1與圖2，吾人說明支撐上基體lb的 黏著部分與其驅動部分的機構。圖2顯示此黏著與支撐機 -12 - (7) 1266104 構部分的詳細結構。 如圖2所示，一開口 30被設於加壓板7或機台4之 上且具有黏著構件18的塡塞筒（cartridge) 35被安裝於 在開口 3 0內的旋轉軸3 3的一端，且這塡塞筒可以被置 換。旋轉引動器32被設於旋轉軸33的另一端，且旋轉引 動器32被固定在可移動機台36上。在垂直方向移動的上 下驅動軸3 8的一端被連接且固定在固定構件3 7上，且在 垂直方向驅動的上下引動器被設於上下驅動軸38的另一 端。此外，被連接至負壓源的腔室路徑（cavity route ) 39被設於加壓板7與機台4之內，且多數個吸入口 7d與 7c被設置，因而可以從腔室路徑39通過至加壓板7與機 台4的表面。腔室路徑39也連接至開口 30。 在顯示於圖2中的個別引動器31與32中，符號 “a” 被指定給和加壓板相關聯的一個，而符號 “b”被指定給 和機台相關聯的另一個。黏著構件1 8b上下移動，且在開 口 3 0b內旋轉，以回應在加壓板上的引動器3 lb與32b的 運作。軸3 3 b由封3 4b所封閉，因而可以上下移動，且直 接在引動器31b之下自由旋轉。開口 30b連接至腔室路徑 3 9b，且經由未顯示的閥而連接至負壓源，且因此，上基 體1b可以被吸引與吸附的結構被建立。如圖中所示，開 口 3 Ob與吸入口 7d在加壓板7之內相互連接，若不如 此，也可以將二者由形成於加壓板7表面上的通道連接， 其中，加壓板7與用作開口 3 Ob與吸入口 7d間的連接的 基體相接觸。 -13- (8) 1266104 上基體lb可以被支撐，由於黏著作用而穩固地與黏 著構件1 8b接觸，無需使得上基體被吸引與吸附至加壓板 7的下表面。在這裝配中，爲了支撐上基體lb，多數個黏 著構件1 8b根據它們對上基體1 b的大小與形狀用的間隔 與黏著區域被設於指定的位置。 在迫實施例中’旋轉黏者構件18b用的旋轉引動器 3 2與垂直移動此黏著構件的上下引動器3 1被分別地設 置，吾人也允許具有這些功能的單一引動器藉由一滾珠螺 旋等等而被裝配。在這實施例中的引動器可以由使用空氣 壓縮機或使用馬達驅動機構二者之一來實現。 如上所述，下基體1 a由裝配所吸引與吸附，其中， 在這裝配中，下基體被連接至機台4上的管線16a、閥和 負壓源（二者皆未被顯示）。在這實施例中，黏著構件 1 8 a被設於與加壓板7相類似的裝配之內。引動器3 1 a與 32a被安裝於設在機台4上的多數個開口 30a之下。黏著 構件18a被設於從引動器3 la與32a伸展向上的軸33a的 頂端。藉由引動器31a與32a的操作，黏著構件18a上下 移動，且在開口 1 〇 a之內旋轉。軸3 3 a以與軸3 3 b相似的 方式，由封34a所封閉，因而可以上下移動，且直接在引 動器31a之下自由旋轉。開口 30a連接至吸入口 7c，且 經由未顯示的閥而連接至管線1 6a與負壓源’且因此’上 基體1 a可以被吸引與吸附的結構被建立。 爲了穩固地支撐下基體la，黏著構件ISb根據它們 對下基體1 a的大小與形狀用的間隔與黏著區域’也被設 -14 - (9) 1266104 於機台4上的指定的位置。若不使用黏著構件1 8a作爲固 定下基體la於機台4上，吾人也允許使用機械式的銷與 滾子。下基體la由銷與滾子固定，而不用吸引與吸附裝 置有其道理；因爲，在降低室內的壓力的程序中，由於當 在室內的真空水平（降壓水平）超過吸引與吸附下基體 1 a所需的真空水平（降壓水平）時所產生的壓差，下基 體la無法被固定在機台4上。爲了解決這個問題，在這 實施例中的機構藉由機械式的銷與滾子，支撐下基體 la，以預防下基體la的偏離，其中，該偏離是由於諸 如：從裝置本身、樓層與負壓源或當將上與下基體疊層 時，接觸封與液晶平面所產生的阻抗等所引起的各種不同 的驅動源的勵振（excitation)源所產生的振動所致。 其次，參考圖3至6，吾人所說明的是根據本發明， 在基體組合裝置中，製造液晶顯示裝置的程序。圖3顯示 疊層此液晶基體的程序。圖4顯示在個別步驟的裝置操作 狀態。圖5顯示在疊層此二基體中的黏著與支撐機構的操 作。圖6爲在主要疊層操作之後，從基體的表面的移除黏 著與支撐機構操作的一槪要圖。 首先，使用一機械手臂等（步驟S 1 )，上液晶顯示 基體lb被帶至加壓板7之下。其次，上液晶基體lb由施 以負壓至加壓板7上所形成的吸引與吸附口所吸引、吸附 和支撐（步驟S2)。下液晶基體la由一機械手臂等帶至 機台4之上（步驟S3)，而且，在將下液晶基體相對於 機台4定位之後，下液晶基體1 a由吸引與吸附操作而被 -15- (10) 1266104 固定（步驟 S4)。封閉劑（sealing agent) 19以一封閉 迴圈圖形，被塗在下液晶基體1 a的上表面之周圍，且液 晶劑20被定量地滴在封閉圖形之內。在這實施例中，其 中，封閉劑1 9被施於下液晶基體1 a上，吾人也可以將封 閉劑施於上液晶基體或兩個液晶基體之上。至此步驟，處 理的狀態被顯示於圖4 ( a )中。 於是，下室部分T1被移至上室部分T2的位置（步 驟S5)。圖4 ( b)舉例說明的狀態爲：在ΧΥΘ-方向驅動 機構上的下室部分T1移至上室部分T2的正下方的位 置，且下液晶基體1 a與上液晶基體1 b被設置成彼此相 對。如上所述，上液晶基體1 b由相對於加壓板7的吸入 口 7d的吸引與吸附操作所支撐。此外，在這裝配中，因 爲開口 30b也連接至負壓源，上液晶基體也被吸引與吸附 至開口 3 Ob。此時，上液晶基體1 b的表面與黏著構件1 8b 被設置於彼此分離的位置，如圖5 ( a )所示，且黏著構 件1 8b與上液晶基體1 b之間的氣隙在一指定的降壓（真 空）狀態。從這狀態開始，如圖5 ( b )所示，黏著構件 18b被移向上液晶基體的表面，且藉由引動器31b的操作 而被吸引至上液晶基體lb (步驟S6)。因此，當吾人將 黏著構件18b吸引至上液晶基體lb時，由於用於吸引與 吸附操作的真空管16b，在開口 30b與基體的表面之間所 形成的氣隙在壓降狀態。因此，可以了解··即使藉由降低 在真空室的壓力，而在基體與黏著構件之間沒有氣體穿 過，也可以建立一指定的黏著力。例如：在藉由氣體穿過 -16- (11) 1266104 基體與黏著構件之間，而不降低開口 30b與基體的表面之 間的氣隙之壓力的情形下，使得真空室內的壓力降低，基 體與黏著構件之間的氣隙擴張。這使得黏著力減少，因此 無法使基體被吸引和支撐。 這操作也幾乎同時被適用於下液晶基體la與黏著構 件18a之間（步驟S6 )，其中，當下液晶基體la在重力 方向，被定位於機台4之上時，可以允許下液晶基體由機 械式的銷與滾珠所支撐，而不用黏著構件1 8a固定。 鲁 因此，在固定上和下基體lb和la之後，由缸筒 (cylinder )將上室部分6向下移動，如圖4(c)中所 示，然後，使上室部分6的凸緣接觸到被排列在上室部分 6周圍的Ο型環12，上下室部分T1與T2被結合成一單 一體（步驟S7)。然後，在室內的空氣經由真空管線14 而被排出。當藉由結合上室部分6與下室部分5所形成的 真空室內的壓力降低時，將上液晶基體1 b吸引至加壓板 7用的壓降水平與在真空室內的壓降水平之間的差距變 ® 小，且由加壓板7所施的吸引和吸附力消失，然而，因爲 上液晶基體1 b由黏著構件1 8b所支撐，所以它並未落下 來。 在這狀態下，因爲空氣並未穿過黏著構件18b的黏著 表面與上液晶基體1 b之間，所以它們的固定狀態可以被 維持，無需改變黏著力。因此，不會有由於在降壓程序中 的空氣膨脹，而黏著力減低，且上液晶基體1 b掉落的問 題。置於下液晶基體la，其中，黏著構件18b的黏著表 -17- (12) 1266104 面和下液晶基體1 a被相互黏著固定，在它們之間沒有空 氣被插入，故不會由於空氣的膨脹使得黏力降低，而且上 液晶基體1 b的位移並未發生。 當真空室內的壓力達到一指定的真空水平時，如圖6 (a )中所示，藉由操作在軸上的上下驅動機構（未顯 示），將加壓板7向下移動，而將上下基體lb和la定 位。上下驅動機構的操作可以產生具有足夠強度的壓力， 可以使上液晶基體1 b穩固地接觸至或擠壓，以封閉迴圈 圖案，被塗在下液晶基體1 a的上表面周圍的封閉劑1 9， 且上下液晶基體lb和la以一指定的縫隙而被疊層（步驟 S 9 )。圖6 ( a )顯示這狀態的放大視圖。在這步驟中， 下液晶基體1 a和上液晶基體lb以封閉劑1 9而被穩固地 疊層。因此，在這裝配中，即使在真空室內的壓力增加， 在封閉圖樣內的空間的空氣緊密度可以被維持在某一水 平，因而穿過完成後的被疊層液晶基體間的空氣量便得極 爲稀少。 其次，如上文所述，一小量空氣經由洩漏閥1 7被引 進真空室，在真空室內的壓力增加至一指定壓降水平，該 壓力比在吸入口 7d內的負壓還大，且上下液晶基體的支 撐由它們之間的壓降所建立（步驟S 1 0 )。更進一步的定 位操作藉由使用支撐力與由加壓板7所產生的應用壓力所 執行，且達到一指定的最後加壓力量（步驟S 1 1 )。因 爲，在上基體1 b接觸到封閉劑1 9之後，在施以壓力時， 如果在加壓過程中沒有執行額外的定位操作，由於液晶與 -18- (13) 1266104 封閉劑的阻抗，基體可能位移，所以這操作是需要的。 在定位基體時，吾人透過形成於上室部分6的視阜 23a和23b，以影像辨認照相機22a和22b，藉由影像程 序，讀取在上基體和下基體上的定位標誌，而測量它們的 位置，且藉由操作在下室T1的精細的ΧΥΘ-方向驅動機構 (未顯示），而執行高精密度定位。在這細微調整中，藉 由滾珠軸承1 3，在上和下室部分6和5之間的間隙被維 持在一指定的距離，因而0型環12不會有非常大的變 形，且可以建立一指定的降壓水平。 當在疊層上和下液晶基體lb和la之後’從基體移除 黏著構件18 b和18 a時，其他的操作被執行，如圖6 (b )所示。對上液晶基體lb，使引動器32b在由箭頭所 示的方向旋轉，且在扭轉黏著構件1 8 b之時或之後，操作 引動器31b，則黏著構件18b從基體的表面被提昇。對下 液晶基體la，在疊層狀態下，使引動器32a在由箭頭所 示的方向旋轉，且在扭轉黏著構件1 8 a之時或之後，操作 引動器31a，則黏著構件18a從液晶基體的表面被提昇 (步驟S 1 2 )。這扭轉操作是使得從液晶基體移除黏著構 件更爲容易的必要的裝置。這扭轉操作可以與圖6(b) 中所顯示的方向相反。當提起黏著構件時，個別開口 3〇a 和3 0 b的周圍部分阻擋液晶基體1 b和1 a的移動。因此， 這些扭轉操作和提昇操作使得從液晶基體移除黏著構件更 爲容易。 因此，藉由打開氣體排淨閥15，將氮氣（N2 )或乾 -19- (14) 1266104 淨乾空氣等引進真空室中，真空室內被排淨，且其內在壓 力被恢復至大氣壓力（步驟S 1 3 )，藉由釋放液晶基體用 的吸入口 7d的吸引操作，加壓板7被移向上（步驟 s 1 4 )。其次，上室部分6被移向上，且下室部分T1被移 向其初始位置（圖4(a)中所示） （步驟S15)，然 後’被疊層的Pc卓兀從機台4被拉出（步驟S16)。被 疊層的上和下基體的上與下表面，亦即pc單元，由大氣 壓力平均地加壓，且在它們之間的間隙精準的達到一指定 的單元間隙。在以上的程序步驟的結束時，完成基體的疊 層操作。在基體之間的間隙在大氣壓下，達到一指定的單 元間隙之後，藉由將光線曝曬至封閉劑上，而使封閉劑硬 化，完成疊層工作。有另一種方式，在完成一機械式的加 壓操作之後（完成步驟S 1 2之後），曝曬光線而暫時固定 封閉劑。在這實例中，其中，在移除下室T1之後，基體 由黏著構件所支撐，在移除下室之前，可以執行這操作。 此外，置於從基體表面移除黏著構件的操作，可以在恢復 真空室內的壓力至大氣壓之後執行此操作。 在上述的實施例中，移除在加壓板上的黏著構件操作 是在由加壓板加壓的最後階段完成之後執行的。另外也可 以允許，在施以預壓操作至基體之後，而在一種基體無法 由吸引和吸附操作所支撐的狀態（只有由黏著元件接觸基 體所支撐），然後，在一面扭轉黏著構件，一面從基體表 面移除黏著構件之後，藉由使用加壓板而將最後的壓力與 基體定位一起施予，在這狀態下，藉由增加室內壓力，基 -20- (15) 1266104 體由吸引和吸附操作所支撐。 其次’爹考圖6和7，說明本發明在另一實施例中的 液晶顯示裝置製造方法。 在這實施例中，以與前述實施例相似的方式，在將上 和下液晶基體設置於加壓板與機台之上後，在真空室內的 壓力降低至一指定降壓水平。然後，如參考圖6 ( a )所 述，藉由操作在軸9上的上下驅動機構（未顯示），將加 壓板7向下移動，而將上和下基體1 b和1 a定位。上液晶 基體1 b被移向下液晶基體1 a，直到它穩固地接觸或擠 壓，以封閉迴圈圖案，被塗在下液晶基體1 a的上表面周 圍的封閉劑1 9。在前述實施例中，在這操作之後，真空 室內的壓力增加至一指定的降壓水平，其中，該壓力比吸 入口 7d內的負壓還高，且上和下液晶基體的支撐由它們 之間的壓差所建立，最後，當定位操作被執行時，應用壓 力由加壓板7所產生，且達到一指定的最後加壓力量。 然而，在這實施例中，由增加真空室內的壓力之壓力 差並未被使用。在這實施例中，如圖7中所示，具有較大 摩擦係數的樹脂24或橡膠25物質在加壓板7的部分表面 和與基體接觸的機台上形成。當實施定位與加壓操作時， 液晶基體1 a和1 b相對於加壓板7和機台4，在垂直方向 上的滑動，由此摩擦力所阻止。由於這裝配，而在室內的 壓力沒有被增加，反而保持在降壓水平的狀態，最後，定 位操作被執行的同時，應用的壓力由加壓板7所產生，且 達到一指定的最後加壓力。以上的樹脂24或橡膠25物質 -21 - (16) 1266104 可以在加壓板和機台接觸表面的整個區域上形成。爲了容 易說明起見，吸入口、開口、黏著構件與它們的週遭區域 沒有顯示於圖7中。 黏著構件被個別地從疊層的上和下液晶基體移除時與 之後的操作與先前所述實施例的操作相同。 本發明並未被限制於上述實施例，而可以下列方式被 實施。 (1 ) 在上面的實施例的裝配中，黏著構件1 8b的 黏著表面與上液晶基體lb可以被疊層，而無需在它們之 間添加空氣。這裝配並未被使用，但是，可以允許也在黏 著構件18b的黏著表面上設置吸引液晶基體用的一或多個 吸入和吸附口，且在將黏著表面與液晶基體接觸且在大氣 壓下，以吸引、吸附操作支撐這些組件之後，爲了防止液 晶基體掉落，藉由拉出以黏著表面的吸引和吸附裝置降壓 的過程中所產生，在黏著表面與基體之間的膨脹的空氣。 在這情形下，開口 3 Ob被製成與真空室的內部連接。下液 晶基體1 a的裝配與上所述這相同。此外，開口 3 Ob也可 以不和吸入口 7d相連接，而與另一負壓源相連接。 (2) 至於方法（1)的另一種方式，當在大氣壓力 下，疊層基體時，爲了防止空氣停留在黏著表面的凸面部 分，黏著構件18b的黏著表面可以一凹面或凸面而被形 成，而且膨脹的空氣停留在黏著表面的凸部分和液晶基體 之間，其中，該空氣在降壓程序中產生，且立即從凹部分 被釋放進入真空室內，以防止上液晶基體掉落。在這情形 -22- (17) 1266104 下，開口 3 Ob被製成與真空室內部相連接。下液晶基體的 裝配與上述者相同。 (3 ) 吸入口的功能可以由形成於加壓板7的表面 或機台4的小坑洞所實現，用以使用在小坑洞之間形成的 通道，吸引和吸附個別的液晶基體。 其次，參考圖8，吾人將說明本發明的另一實施例。 在圖1中，支撐包含多數個黏著部分和驅動部分的機 構之基體被設於加壓板7或機台4中。對照之下，在圖8 所示的裝配中，形成基體支撐機構的黏著部分被設於加壓 板7和機台4的整個表面。此外，在這裝配中，爲了移除 設於加壓板7和機台4的整個表面的黏著構件’用來從基 體移除黏著構件的多數個黏著構件移除機構被設至，因此 可以從黏著構件的表面延伸且與基體的表面接觸。 這實施例中的基體支撐機構將被說明如下。 這實施例中，在機台4的基體支撐機構包含鐵板4la 和黏著片42a，此黏著片作爲在鐵板上固定和黏合的黏著 構件。在以下說明中，此基體支撐機構也被稱爲一疊層與 支撐機構。一吸入口 7c被設於機台4上，且這吸入口 7c 被設置，經由基體支撐機構的鐵板41a和黏著片42a而連 結。下液晶基體la被裝載設於機台4上的基體支撐機構 上。被裝設的下基體1 a由形成於黏著片上的吸入口 7c所 吸引和吸附，且被黏著固定在黏著片42a上。管線16a的 一終端經由閥（未顯示），被連接至降壓（負壓）源。在 這裝配中，下基體1 a以由負壓源所供應的負壓而被吸引 -23- (18) 1266104 和吸附至吸入口 7c。 吾人藉由將鐵板4 1 a的一端壓至設於機台4的一端表 面上的栓（stopper* ) 44a，而將前述的基體支撐機構定 位，且其位置經由設於機台4的另一端表面上的托架 (bracket) 4 6 a，將加壓螺絲4 5 a擠壓機台4的另〜端 表面所維持。多數個磁鐵43 a被設於機台4之內，且鐵板 41由磁力所吸附與支撐。在這裝配中，基體支撐機構藉 由磁鐵的磁力和加壓螺絲45a的力量，被支撐於機台4 上。 加壓板用的基體支撐機構被設於加壓板7的表面上， 面對機台4。這基體支撐機構具有在加壓板7，其本身所 用的鐵板4 1 b，與機台所用者相似，且具有機台4用的， 在加壓板上的黏著片42b。 吸引與吸附操作用的吸入口 7d被設於加壓板7，且 吸入口 7d經由基體支撐機構的鐵板41b和黏著片42b而 連結。上基體lb由設於黏著片42b下表面上的吸入口 7d 所吸引和吸附。管線16b的一端被連接至這吸入口 7d， 且負壓源經由閥（未顯示），被連接至管線16b的另一 端。在這裝配中，藉由從負壓源供應負壓，上基體lb被 吸引和吸附至黏著片42b的表面，且被黏著固定。 以與前述機台4的情形相類似的方式，基體支撐機構 經由設於加壓板7上的托架46b，加壓於鐵板4 1 b的一端 表面的加壓螺絲4 5 b，被配置於加壓板7內的多數個磁鐵 43b、定位基體用的栓44b與加壓板7所支撐與定位。 (19) 1266104 多數個移除機構被設於機台4和加壓板7之上，用來 從基體表面移除黏著片42a和42b。這些移除機構包含加 壓軸（加壓構件）48a和48b，與引動器47a和47b，用 來形成在垂直方向上驅動加壓軸的驅動機構。在這裝配 中，開口 30a和30b，其中，加壓軸47a和47b在其內移 動，被連接至吸入口 7 c和7 d的流體通道’因此’可以在 開口 3 0 a和3 Ob上產生吸引和吸附力。替代在圖中所示 的，在加壓板7內，將開口 3 Ob和吸入口 7d相互連接， 也可以在加壓板7上形成橋接開口 30b和吸入口 7d的一 通道，與基體相接觸，而使得開口 3 Ob和吸入口 7d相互 連接。在開口 3 Ob的吸引和吸附操作的情形下’加壓和分 離操作未被應用，吾人允許開口 30b在加壓板7之內被延 伸，而不是以封34b封閉，而使得在開口 30b內的壓力與 室內的壓力相當。 上基體lb可以以其黏著作用，穩固地被支撐於黏著 片4 2b的下表面上，而無需吸引與吸附此基體於加壓板7 的下表面上。黏著片42b因而針對上基體lb的大小與形 狀，以其間隔與黏著區域而被設置，因此可以支撐上基體 lb，水平地面對下基體la。在這實施例中，下基體la具 有如上所述，相對於機台4的相同結構。 其次，參考圖9，吾人將說明製造液晶顯示裝置的程 序。圖9顯示疊層程序的一流程圖。首先，使用一機械手 臂等，上液晶顯示基體lb被帶進來（步驟S1 00) ’且由 在加壓板7下的黏著片42b上的吸引和吸附操作與黏著作 (20) 1266104 用所支撐（步驟si 02)。因爲基體由施以負壓至吸入口 所吸引和吸附，同時由黏著片42b的黏著作用所支撐，所 以，由於負壓的吸入作用所引起的殘留在液晶基體和黏著 片之間的氣隙的可能性比起基體只有由黏著作用而無吸引 和吸附操作的情形’可以被降低。在液晶基體的周圍區域 的壓力被降低，而有氣隙殘留在液晶基體和黏著片之間的 情形下，殘留在黏著片42b和上液晶基體1 b之間的氣隙 可能擴張，於是有可能下降的黏著力會使得上液晶基體 1 b掉落。在前述的實施例中，接觸液晶基體的黏著片表 面被製成扁平的。爲了更進一步增加預防上液晶基體掉落 的安全性，藉由在比液晶基體區域還寬的黏著片的表面區 域中，形成凸凹部分或通道，以防止由於施於黏著表面的 負壓所引起的剩餘氣隙的增長，且，由於可以形成凹凸部 分，因而所含的空氣可以經由黏著表面的凸部分，被釋放 道基體外面，即使可能產生殘餘的氣隙，且此殘餘的氣隙 可能由於在周圍區域的壓力降而膨脹。在實施這裝配的一 種方法中，吸引和吸附液晶基體的吸入口被形成於凸表 面。在實施這裝配的另一種方法中，將凸和凹部分與通道 製成比基體周圍還小，且在凹部分形成吸入口，用以從凹 表面取出空氣，可以理解的是··可以防止此液晶基體掉 落。在這情形下，在凸表面上形成吸入口較爲有效，因可 以從凸表面吸取殘留在凸表面上的膨脹的空氣，在凹表面 也相同。下液晶基體la也由一機械手臂等帶進來（步驟 Sl〇3) ’而且，以黏著作用與真空吸附操作，而被固定至 -26- (21) 1266104 位於機台4上黏著片42a (步驟S104)。在這實施例 中，液晶劑20被滴在下液晶基體上，且封閉周圍用的封 閉劑19被塗在下液晶基體上。因爲有可能在黏著片42a 和下液晶基體1 a之間殘留的氣隙會膨脹，且在液晶基體 的周圍區域上的降壓情形下，下液晶基體1 a可能被移 置，所以，凸和凹部分與通道與在上液晶基體1 b中的類 似方式而被形成於黏著片上。因爲下液晶基體1 a以重心 方向而被置於機台4之上，所以也可以不使用黏著片 42a，而用機械式的銷或滾子來固定下液晶基體ia。在這 實施例中，其中，黏著劑19被塗在下液晶基體la上，也 可以將黏著劑1 9塗在上液晶基體1 b上。 如圖8所示，從步驟S104結束的狀態開始，在ΧΥΘ-方向驅動機構之上的下室部分T1移動至上室部分T2的 正下方位置（步驟S 1 05 )。下液晶基體1 a與上液晶基體 lb彼此面對面，且缸筒11使得上市單元6與配置在下室 單元5的周圍之〇型環12接觸，且最後上與下室單元T1 與T2被結合成一體（步驟S1 06)。然後，室內的壓力被 降低，且被排出的氣體從真空管線14被導引出去（步驟 Sl〇7)。當由上室單元6與下室單元5所結合成一體而形 成的真空是內的壓力降低時，吸附在加壓板7的上液晶基 體1 b降壓水平與在真空室內的降壓水平間的差異變小， 於是，在加壓板7上的吸引和吸附作用消失。然而，黏著 片4 2支撐著上液晶基體1 b。此時，如上述的凸和凹表面 與通道在黏著片42 b的黏著表面形成，所以從不會發生黏 (22) 1266104 著力降低或由於在壓降操作中的氣體膨脹而使上液晶基體 1 b掉落的問題。此外，如上述的凸和凹表面與通道也被 形成於下液晶基體la用的黏著片42a的黏著表面上，所 以從不會發生黏著力降低或由於在壓降操作中的氣體膨脹 而使下液晶基體1 a位移的問題。 現在，在真空室內的壓力達到一指定的降壓水平，加 壓板7，藉由操作在軸9上的上下驅動機構（未顯示）， 而被移向下，同時將上和下液晶基體1 b和1 a定位，於 是，上和下液晶基體1 b和1 a以一指定適用壓力而被疊層 (步驟 S 1 0 8 )。 起先，在定位基體時，經由形成於上室部分6的視阜 23a和23b，以影像辨識照相機22a和22b，讀取在上和 下液晶基體上的定位標記。在影像處理部份中，從照相機 所傳送的影像訊號被處理，且估計標記的位置，然後，由 精細地操作ΧΥΘ-方向驅動機構（未顯示），在下室T1執 行一高精密定位。在這精細調整中，上和下室部分6和5 之間的間隙由滾珠軸承1 3，維持在一指定的距離，因而 0型環 12不會極度地變形，且可建立一指定的壓力水 ,1工〇 疊層基體之後，程序步驟進入從上和下液晶基體，亦 即pc單元，移除黏著構件42b和42a的操作。這操作是 由顯示於圖1 〇和圖1 1的程序所執行的。圖1 0和圖1 1 (a )顯示疊層基體於室中，壓力降低的狀態。在這狀態 下，如圖所示，在開口 30b和30a中的加壓軸48b和48a (23) 1266104 (下文也稱爲加壓銷）被置於與p c單元的液晶基體1 b和 1 a相隔。其次，如圖1 1 ( b )中所示，對形成Pc單元的 上液晶基體lb，藉由操作引動器47b ’加壓軸48b以箭頭 所示的方向，被移向下’且被疊層的上液晶基體的表面以 一指定的壓力水平被施壓（步驟S 109 )，且在這狀態 下，加壓板7被移向上（步驟s 1 1 0 )。此時，當加壓軸 48b以一指定的壓力將pc單元的上液晶基體1b向下壓 時，它可以從上液晶基體lb移除黏著片42a (這移除方 法在下文中也稱爲加壓移除法）（步驟S 1 1 1 )。然後， 加壓軸48b被移向上，從上液晶基體lb分離（步驟 S112)。其次，室內的壓力被恢復至大氣壓力，且上室部 分6被移向上（步驟S113)。藉由移動上和下加壓軸 48a，剩餘的pc單元可以從黏著片42a移除（步驟 S114)。。最後，藉由在水平方向移動下室，被疊層的液 晶基體（液晶pc單元）被帶出（步驟S1 1 5 )。 對從pc單元的上液晶基體lb移除黏著片42a的步驟 而言，以上實施例所述爲一加壓移除程序，其中，加壓軸 4 8b施以一指定的壓力水平至上基體lb。另外，也允許當 加壓軸48b向下移動且接觸上液晶基體lb時，軸48b的 停止位置被暫時固定，於是加壓板7被移向上，且加壓軸 4 8b同步地被移向下，其距離與加壓板7向上移動的距離 相等，用來移除黏著片，而不改變它們的位置（這個移除 方法在下文也稱爲位置固定移除法）。 可以理解的是：若在以加壓軸4 8b的加壓操作，從 -29- (24) 1266104 pc單元的上液晶基體lb移除黏著片42a之前，藉由從吸 入口 7d和開口 30b，排出正壓空氣或氣體至上液晶基體 1 b的表面，黏著片的表面部分地與黏著片42a和上液晶 基體lb分開，則基體只可以由推動加壓軸48b而被移 除，無需強制施以任何過多的壓力至上液晶基體。當從黏 著片42a移除pc單元的下液晶基體la時，可以理解的 是：在加壓軸48b的推力操作之前，藉由從吸入口 7c和 開口 3 0a，排出正壓空氣或氣體至下液晶基體1 a的表 面，黏著片的表面部分地與黏著片42a和下液晶基體la 分開，則基體只可以由推動加壓軸48b而被移除，無需強 制施以任何過多的壓力至下液晶基體。在以上實施例中， 其中黏著構件由單一黏著片所組成，也可允許，在被疊層 的基體的大小比較大，亦即，加壓板7和機台4比較大的 情形，多數個分開的黏著片可以被設在加壓板7與機台4 上的表面。 此外，在這實施例中，其中，以鐵板41和41 b，用 機台4輔助，而將黏著機構設於加壓板7之上，也可以將 平板構件，諸如：塑膠或陶瓷也可以被設置，而不用鐵 板。在這情形下，需要將由塑膠或陶瓷製成的平板構件於 加壓板7和機台4上的固定機構變得更堅固。此外，在這 實施例中的黏著機構也被視爲另一種方法，其中，黏著構 件被直接設於機台或加壓板的表面上。 將引動器44b嵌入於加壓板7之內可以被裝配爲單一 單元，用以趨鄧多數個加壓軸48b也被允許的。嵌入於機 (25) 1266104 台4的引動器44a可以類似的結構被裝配。 其次，參考圖12，吾人將再說明本發明的另一實施 例。 在這實施例中，吾人修改從基體的表面移除黏著構件 用的移除機構的裝配。在這實施例的移除機構中，銷支撐 板5 5 (固定板），其中，在其上設有延伸至加壓表面的 多數支加壓銷（加壓軸）48，與加壓彈簧支撐銷56、加 壓彈簧54和銷支撐板栓53被安裝，其中，銷支撐板栓被 設於加壓板7的加壓鰾面板7n之上，用來在加壓板7內 自由地上下移動。支撐板57被設於銷支撐板55之上（在 與加壓板相反的表面上），且藉由支撐板5 7推動銷支撐 推動軸5 1，此銷支撐推動軸51由缸筒50延伸而來，而 缸筒5 0被固定在設於驅動加壓板的軸9上的驅動板；以 加壓銷48推向上液晶基體lb的表面，而將黏著構件42 從上液晶基體表面移除。伸縮囊（bellows ) 58被設於軸 9的驅動板與上室6之間，即使在室內降壓時，可以使室 內維持被降壓的狀態。此外，封閉構件52也被設於銷支 撐板推動軸5 1與上室部分6之間，此能夠維持在室內的 降壓狀態。 機台4端具有幾乎與加壓板端相同的結構。與加壓板 端不同的是：用來上下移動銷支撐板推動軸62，當作驅 動源的的缸筒60被設置於下室部分內。雖然缸筒50也可 以被設於上室部分6，但是，這需要藉由加壓板7的位 移，使銷支撐板推動軸5 1的衝程變大作爲補償，因爲在 -31 - (26) 1266104 這情形下，加壓板7上下移動。 如上所述，在這實施例中，有這樣的有利效應：無需 爲個別推動銷設置個別驅動源，且此裝置的裝配可以被簡 如上所述，在這實施例中，一吸引與吸附機構包含： 多數個吸附孔與一黏著支撐機構，其中，該機構具有形成 於一板內的一黏著構件，其中，該板被設於加壓板或機台 之一之上，且基體在大氣壓力下被吸引與支撐，也被黏著 和支撐，即使在降低室內壓力的過程中，此基體由黏著力 所支撐，藉由在一指定的降壓水平下將基體疊層，而在將 基體疊層之後，藉由使用包含設在加壓板和機台上的多個 推動軸的移除機構，將黏著構件從已疊層的基體的表面移 如上述，藉由結合吸引力與黏著力，可以理解的是： 即使當液晶基體在大氣壓力之下被支撐而是內的壓力降 低，液晶基體也可以被支撐而沒有位移，且可以建立一高 精密度的疊層，而且在疊層工作完成之後，黏著構件可以 從液晶基體的表面移除。 在以上說明中，吾人假設基體被用於液晶顯示裝置 上，但是，明顯的是，本發明也可以被應用在用於電漿與 電冷光（EL )顯示裝置與那些顯示裝置的組合程序上。 根據本發明，可以理解的是，即使液晶基體的大小變 大，而其厚度變小，也可以防止在真空處理環境中，製造 程序的失敗，且液晶基體可以高精密度而被疊層。 -32- (27) 1266104 雖然吾人已經針對所舉例的實施例，舉例說明本發 明，熟知此技術者可以理解的是，可以在其中做些前述的 和各種不同的其他變化、省略與附加，而不悖離本發明的 精神與範圍。因此，本發明布應該被理解爲··受限於以上 所設的特定的實施例，而是包含所有可能實施例，其中， 該實施例可以被歸倂於被包括的範圍與相對於在所附的申 請專利範圍中所設的特徵之同等物之內。 【圖式簡單說明】 從下文所附的詳細說明以及從本發明的較佳實施例的 附圖，吾人將可更完整地了解本發明；其中，那些實施例 不應視爲本發明的限制，而只是解釋和理解用。 在圖中： 圖1爲舉例說明本發明之一實施例的基體組裝裝置之 剖面槪要圖。 圖2爲黏著支撐機構的一例之詳圖。 圖3爲疊層此基體用的一流程圖。 圖4爲用來舉例說明疊層此上和下基體的程序之主要 零件的一剖面視圖。 圖5爲舉例說明黏著支撐機構的疊層操作的一槪要 圖。 圖6爲舉例說明藉由黏著支撐機構，從基體的表面的 移除操作的一槪要圖。 圖7爲一舉例說明，顯示一增強的硏磨元件被設於加 -33- (28) 1266104 壓板與機台上的情形之一例。 圖8爲在本發明的另一實施例中的基體疊層裝置的一 剖面視圖。 圖9爲在顯示於圖8中的裝置中疊層操作的程序步驟 之一流程圖。 圖1 〇爲一舉例說明，顯示用來執行圖8中所示的疊 層操作的真空室被形成的一狀態。
圖1 1爲用來舉例說明從基體（液晶單元pc)的表面 移除圖8中所示的黏著片的步驟之一部份放大視圖。 圖1 2爲在本發明的另一實施例中的黏著構件移除機
構的一方塊圖。 【符號說明】 100 基體組合裝置 2,3 3 a，3 3 b 軸 3 真空封 4 機台 7c,7d 吸入口 16a, 16b 管線 T 1 下室 T2 上室 6 上室組件 7 加壓板 8 殼 34- (29)1266104 10
11 lb 12 缸筒 上基體 0型環 下室組件 13 滾珠軸承 18b 14 黏著構件 真空管線 17 洩漏閥 下基體 15 22a,22b 23a，23b 6a, 6b，7a，7b 3 0,3 0a,30b 18 3 3 3 5 3 2 36 3 8 3 9,3 9b 3 1,32，3 lb,32b 34b 管 影像識別照相機 透明視阜 孔 開口 黏著構件 旋轉軸 塡塞筒 旋轉引動器 可移動機台 上下驅動軸 腔室路徑 引動器 封 -35- (30)1266104 19 20 24 25 42a 41a，41b 44a，44b 45a,45b 46a,46b 43a，43b 48a,48b 47a,47b 55 48 56 54 53 57 5 1 58 60 62 封閉劑 液晶劑 樹脂 橡膠 黏著片 鐵板 栓 加壓螺絲 β 托架 磁鐵 加壓軸 引動器 銷支撐板 加壓銷 加壓彈簧支撐銷 加壓彈簧 · 銷支撐板栓 支撐板 銷支撐推動軸 伸縮囊 缸筒 銷支撐板推動軸 36-