CN1108538C - 液晶显示装置的制造方法及制造装置 - Google Patents

Abstract

将缓冲层(12)安装在固定盘(10)的加压面(10a)上，相对于上述固定盘的加压面配置流体加压夹具(30)。该流体加压夹具是在中央部构成加压室(30a)的框状的刚体，加压室通过给气孔(30b)、给气管(33)连接在给气装置上。呈框状的密封框(31)安装在加压室的上面一侧的周围。透明窗(32)粘贴在加压室的下面一侧，利用该透明窗封闭加压室的下面一侧。将液晶面板(20)夹在固定盘和流体加压夹具之间加压，使紫外线照射灯(40)的光通过透明窗及加压室后照射在液晶面板上，使配置在液晶面板的两片基片之间的未硬化的密封材料硬化。

Description

液晶显示装置的制造方法及制造装置

技术领域

本发明涉及液晶显示装置的制造方法及制造装置，特别是涉及通过未硬化的密封材料将两个基片粘贴起来而构成液晶面板，一边对该液晶面板加压，一边使密封材料硬化而形成液晶面板用的方法及该方法中使用的制造装置。

背景技术

迄今，在液晶显示装置的制造工序中，在由两片玻璃等构成的基片的内表面上分别形成透明电极和定向膜等，然后，通过未硬化的密封材料将这些基片粘贴起来。在使已粘贴的这两个基片互相固定时，一边将规定的压力加在两个基片上，一边使各基片分别保持平坦，以使两个基片之间的间隙呈均匀状态。在该状态下，使上述的密封材料硬化，形成备有将液晶封入基片之间用的间隙的液晶面板。将这样对两个基片加压使密封材料硬化的工序称为液晶面板的加压硬化工序。

图5中示出了现有的液晶面板的加压硬化工序的情况。通过密封材料将两个基片粘贴起来构成的液晶面板20被置于压接装置中设置的工作台1的平坦的上表面1a上。在该压接装置中，加压盘2被配置在上述工作台1的上方，该加压盘2安装在构成加压机构的油压缸等的驱动轴3上。通过使驱动轴3工作，能上下移动加压盘2，而且，能对放置在工作台1上的液晶面板20施加规定的控制压力。

图6中示出了采用另一种方法进行的液晶面板的加压硬化工序的情况。该方法是将加压部4配置在工作台1的上方，该加压部4备有通过吹入空气而鼓胀成帆船状的加压面。与图5所示的情况相同，该加压部4安装在构成加压机构的油压缸等的驱动轴3上。在该方法中，将规定的空气压供给加压部4，使其鼓胀成帆船状，通过将该鼓胀的加压面压在液晶面板20的上表面上来施加压力。

图7中示出了采用又一种方法进行的液晶面板的加压硬化工序的情况。在该方法中，使用由上下一对加压板5、6构成的加压夹具，将加压对象夹在加压板5、6之间。采用该方法时，将多个液晶面板20重叠起来夹在加压夹具上设置的加压板5、6之间，一次能对多个液晶面板20加压。

在上述任何一种方法的加压硬化工序中，都是对液晶面板20施加规定的压力，使两个基片之间的间隙保持均匀的状态，在该状态下使配置在基片之间的密封材料硬化。上述图5、图6及图7所示的方法都备有在加压状态下对液晶面板20加热用的加热器，以便使密封材料进行热硬化。在使密封材料进行光硬化时，在图5及图6中必须设置将光照射在液晶面板20上用的光源，同时要在工作台或加压盘等上设置光的照射窗。另一方面，在图7所示的方法中，由于液晶面板20呈重叠状态，所以难以有效地进行光照射，因此采用该方法时，通常使用热硬化性密封材料。

在上述的图5所示的加压硬化工序中，如果加压时在液晶面板20和工作台1及加压盘2之间夹着尘埃，则液晶面板20的基片的平坦性会因尘埃的存在而遭到破坏，在液晶面板20上产生基片之间的间隙不匀的现象，因此存在所制造的液晶显示装置的显示面上发生显示不良的问题。特别是由于液晶面板20预先清洗后放在工作台1上，所以在液晶面板20的表面上附着的尘埃少，另外，由于加压盘的加压面朝向下方，所以附着的尘埃也少，与此相反，工作台1的加压面即上表面1a上附着的尘埃多，所以尘埃附着在液晶面板20的下侧基片和工作台1之间，主要有损于下侧基片的平坦性。

另外，如果工作台1及加压盘2两者中的任何一者的加压面即使存在微小的倾斜，液晶面板20的基片之间的间隙也会发生偏差，存在不能获得均匀的液晶显示的问题。

另一方面，在图6所示的方法中，也会产生在工作台1和液晶面板20之间夹着尘埃的同样的问题。对此，即使在液晶面板20和加压部4之间夹着尘埃，但由于加压部4的加压面是柔软的，所以尘埃的影响小。可是，在该加压部4中，由于加压面是鼓胀的，所以通常在加压面的中心部的压力高，在加压面的边缘部压力变小。因此由于存在该压力差，所以在液晶面板20的中心部分和周围边缘部分之间也会发生基片之间的间隙差。特别是由于液晶面板20的周围边缘部分的加压不够充分，所以周围边缘部分的间隙的偏差变大，存在难以获得液晶面板的间隙的均匀性的问题。

另外，在图7所示的方法中，由于将多个液晶面板20重叠起来加压，所以难以准确地设定每个液晶面板20的基片之间的间隙，获得间隙的均匀性是困难的，而且不能使用光硬化性的密封材料，存在加热硬化需要长的烧结时间的问题。再者，如果在加压板5、6及液晶面板20中的任意两者之间存在尘埃，也存在对所重叠的全部液晶面板20产生影响的问题。

发明内容

本发明就是为了解决上述的各种问题而完成的。本发明的目的之一在于提供一种能对液晶面板的板面均匀加压的压接方法及装置。

另外，本发明的目的还在于提供一种即使存在尘埃也能使液晶面板的基片之间的间隙不受影响的压接方法及装置。

另外，本发明的目的还在于提供一种能提高液晶面板的平坦性及基片之间的间隙的均匀性、能制造高品位的液晶显示装置的技术。

根据本发明的一种液晶显示装置的制造方法，具有将夹着密封材料相对向的两面基片加压，并使上述密封材料硬化的加压硬化工序，其特征在于：

在上述加压硬化工序中，将上述两面基片中的一面基片，直接地或间接地吸附在固定盘上；

在上述两面基片中的另外一面基片上，加施流体压力。

在此情况下，能利用加压面确保液晶面板的平坦性，同时能利用流体压力均匀地对整个液晶面板加压。而且，由于不需要使加压面接触液晶面板的另一面，所以也不会由于夹入了尘埃破坏液晶面板的平坦性，能降低基片之间的间隙的偏差增大的危险。

这里，能这样进行处理，即上述液晶面板的上表面由上述加压面加压，上述流体压力被加在上述液晶面板的下表面上。在这种情况下，能降低将尘埃等异物夹入加压面和液晶面板之间的危险性。

另外，能这样进行处理，即通过对上述液晶面板的另一面进行加压的流体，进行光照射，使上述密封材料进行光硬化。在这种情况下，由于从不与加压面接触的液晶面板的另一面进行光照射，所以能简单地构成制造装置。

另外，能这样进行处理，即通过配置在上述加压面的表面上的缓冲层，加压上述液晶面板的一面。在这种情况下，即使在加压面和液晶面板的一面之间夹入了尘埃等异物，但由于缓冲层的作用，能降低对液晶面板的影响。

另外，能这样进行处理，即在加压时相对于上述加压面直接或间接地利用负压吸附并保持上述液晶面板。在这种情况下，由于液晶面板被吸附并保持在加压面上，所以能更加提高液晶面板的平坦性。

在这种情况下还能这样进行处理，即上述液晶面板的一面被直接或间接地保持在上述加压面上后，将上述流体压力加在上述液晶面板的另一面上。在这种情况下，由于液晶面板被吸附并保持在加压面上后施加流体压力，所以能不弯曲地处理液晶面板，故还能提高液晶面板的平坦性。

另外，还能这样进行处理，即上述密封材料的硬化结束后，在上述固定盘离开上述液晶面板之前，流体压力从上述加压面加到上述液晶面板的一面上。在这种情况下，由于固定盘离开液晶面板时从加压面施加流体压力，所以能使加压面顺利地离开液晶面板，故不会使液晶面板附着在固定盘上，也不会暂时使液晶面板移动，能使液晶面板的状态和配置位置稳定。

其次，本发明是一种液晶显示装置的制造装置，用于制造将通过密封材料对向配置的两个基片，形成的液晶面板加压，并使上述密封材料硬化的液晶显示装置，其特征在于：

具有固定盘，和

与上述固定盘相对设置的流体加压夹具；

其中，上述流体加压夹具被构成以使得可以容纳流体；

在上述固定盘形成有用以施加正压或负压的气体流通孔；

在将上述液晶面板配置于上述固定盘和上述流体加压夹具之间的位置时，通过上述流体加压夹具施加流体压力。

这里，可以这样构成，即上述固定盘从上方对上述液晶面板加压，上述流体加压夹具从下方对上述液晶面板加压。

另外，可以在与上述流体加压夹具上的上述密封框相反的一侧设置光照射装置，它面对上述加压流体的收容空间构成，并形成具有透光性的窗部分，用来将光从该窗部分照射到上述液晶面板上，使密封材料进行光硬化。

另外，可以在上述固定盘的上述加压面上形成缓冲层。

另外，可以这样构成，即在上述固定盘的上述加压面上形成备有开口的多个气体流通孔，通过该气体流通孔对上述液晶面板施加由气体产生的正压或负压。

特别是在此情况下，可以采用在全体上分散形成了构成上述气体流通孔的细孔的多孔性材料构成上述加压面。在此情况下，由于采用多孔性材料构成加压面，所以能对上述液晶面板施加均匀的正压或负压。

在此情况下，也可以在上述固定盘的上述加压面上形成具有通气性的缓冲层。

特别是此时能用多孔性材料构成上述缓冲层。

另外，能用具有挠性或弹性的材料至少构成上述密封框的表面部分。在此情况下，当使液晶面板和密封框接触、施加流体压力时，能防止流体泄漏而施加稳定的压力。

特别是在此情况下，能用可粘贴在上述液晶面板的表面上的材料至少构成上述密封框的表面部分。在此情况下，由于能将密封框粘贴在液晶面板上，所以能使固定盘顺利地离开液晶面板。

此情况下还能用凝胶状的材料至少构成上述密封框的表面部分。在此情况下，能确保密封框和液晶面板之间的气密性，同时能使密封框具有对液晶面板的粘贴性。

附图说明

图1是表示本发明的第一实施形态的纵剖面图。

图2是表示本发明的第二实施形态的纵剖面图。

图3是表示使用第二实施形态的处理程序的前后状态的纵剖面图。

图4是表示本发明的第三实施形态的纵剖面图。

图5是表示现有的液晶面板的加压硬化工序的状况用的示意图。

图6是表示采用现有的不同的方法进行的液晶面板的加压硬化工序的状况的示意图。

图7是表示采用现有的另一方法进行的液晶面板的加压硬化工序的状况的示意图。

具体实施方式

其次，参照附图说明本发明的实施形态。

(第一实施形态)

图1是表示本发明的液晶显示装置的制造方法及制造装置的第一实施形态的纵剖面图。在该实施形态中，由硬质金属等刚体构成的固定盘10配置在上方，该固定盘10的下表面构成平坦的加压面10a。固定盘10连接在驱动轴11上。该驱动轴11借助于由图中未示出的驱动装置、例如利用油压或气压而工作的缸、圆头螺栓等各种驱动系统能上下动作，使固定盘10上升或下降。

在固定盘10的加压面10a的表面上装有缓冲层12。该缓冲层12用来防止当加压面10a和后文所述的液晶面板20的一面接触时由两者之间所夹的尘埃等引起的液晶面板20的间隙不匀。作为该缓冲层12只要是能让微小的尘埃顶入、从而吸收对液晶面板20的局部施加的压力的偏差的层即可，例如，可以使用能粘贴在加压面10a上、由泡沫树脂或海绵状的材料构成的挠性薄片、橡胶等构成的弹性片等，或是涂敷了由同样的各种材料构成的层。另外，还可以将一层或数层纸、布等重叠固定在加压面上。

另一方面，在上述固定盘10的下方设有面对加压面10a配置的流体加压夹具30。该流体加压夹具30是一种在中央部构成加压室30a的框状的刚体，加压室30a通过给气孔30b连接着给气管33，并连接在图中未示出的空气压缩机等给气装置上。流体加压夹具30固定在图中未示出的装置的框架上。

形成为框状的密封框31安装在加压室30a周围的流体加压夹具30的上表面上。该密封框31可以用合成橡胶等具有挠性或弹性的材料形成，特别是凝胶状的物质就更好。作为凝胶状的物质例如有以聚乙烯和苯乙烯的共聚物为主要成分、并在其中混入了石蜡类、环烃类的油的聚乙烯类的凝胶材料。

用于密封框31的材料的选择条件是在后文所述的流体加压时，在接触液晶面板的状态下是否是能维持加压室30a的气密性的材料。另外，最好是在工序结束后，在使固定盘10上升的情况下，其粘贴力比缓冲层12的粘贴力大，以便液晶面板20能留在密封框31上。

透明窗32粘贴在加压室30a的下面一侧，利用该透明窗32将加压室30a的下面一侧完全封闭。该透明窗32最好是在通过后文所述的光聚合进行密封材料的硬化时能充分地透过进行聚合用的照射光的材料的窗。作为透明窗的材料有例如玻璃、石英、丙烯基及其它透明树脂等。

如上所述，利用将固定盘10配置在上方、将流体加压夹具30配置在下方的装置进行液晶面板的加压硬化工序。这里，液晶面板20是通过将两个基片21、22通过由未硬化的光硬化性树脂构成的密封材料(图中未示出)进行贴合而暂时压接起来的。在基片21、22之间分散配置着规定基片之间的间隙用的粒状或圆柱状的间隔物(图中未示出)。

首先，将液晶面板20置于流体加压夹具30的密封框31上，利用图中未示出的驱动机构使固定盘10从上方降下来，使缓冲层12接触在液晶面板20的上表面(基片21的表面)上。

在此状态下，将空气从图中未示出的给气装置供给到加压室30a内，对液晶面板20的下表面(基片22的表面)加压。这时的空气压可以根据基片21、22的厚度或硬度适当地设定。这时从加压室30a加在液晶面板20上的空气压必须达到足够的压力，以便使液晶面板20相对于加压面10a呈平行的受压状态。这是因为密封框31只支撑液晶面板20的外侧边缘部分，在不受气压作用时，液晶面板20的中央部分有向下挠曲的趋势。

这时导入加压室30a内的可以是各种流体。即，除了空气以外，可以使用各种气体，也可以使用液体。但是，如后文所述，作为导入加压室30a内的流体最好具有透光性，以便能进行密封材料的光硬化处理。

加压时，固定盘10只要将液晶面板20接触在密封框31上的状态下进行固定即可，能维持加压室30a的气密性就够了。但是，也可以用不使液晶面板20变形的范围内的某种程度的压力从上方压在液晶面板20上。

其次，在上述状态下，利用紫外线照射灯40，通过透明窗32及加压气体，使紫外线照射在液晶面板20的下表面上。由此使液晶面板20内的密封材料硬化，从而使液晶面板20完全固定粘接起来。如果密封材料的硬化结束，便停止对流体加压夹具30施加压力，将加压室30a内的压力释放至大气压后，使固定盘10上升。

如上所述，作为液晶面板的密封材料不限定于光硬化性的材料，如后文所述，也可以使用热硬化性的树脂，或者还可以使用热塑性树脂。

在该实施形态中，将液晶面板20的一面用固定盘10的加压面固定，将流体压力直接加在液晶面板20的另一面上，利用固定盘10的加压面确保液晶面板20的平坦性，同时由于流体压力能对液晶面板20施加均匀的压力，所以能降低对液晶面板20的板面施加的压力的偏差，从而能制造备有均匀的间隙、有平坦的面板的液晶显示装置。

在该实施形态中，由于除了液晶面板20的下表面的外侧边缘以外，不与流体加压夹具30接触，所以即使在液晶面板20和流体加压夹具30之间存在尘埃，也不会对液晶面板20的平坦性和基片之间的间隙的偏差产生影响。

与此相对应，液晶面板20和固定盘10呈间接的接触状态。可是，由于在固定盘10的加压面10a上设有缓冲层12，所以即使在固定盘10和液晶面板20之间夹入了尘埃，但由于缓冲层能降低尘埃的影响，所以能降低液晶面板的间隙不匀程度。而且，在本实施形态中，由于将固定盘10配置在液晶面板20的上方，其本身就能降低尘埃存在于固定盘10和液晶面板20之间的可能性。

(第二实施形态)

其次，参照图2说明本发明的第二实施形态。在该实施形态中，与上述第一实施形态相同的部分标以相同的符号，其说明从略。在该实施形态中，在固定盘13上形成了许多上下贯通的流通孔13b，在固定盘13的加压面13a上粘贴的缓冲层14上也设有与流通孔13b的下端开口联通的开口14a。

将连接构件15固定在固定盘13的上表面上，在该连接构件15上形成了与固定盘13的流通孔13b的上端开口联通的通气路径15a。该通气路径15a连接着与图中未示出的给气装置或排气装置连接的通气管16。

在该实施形态中，在液晶面板20的密封材料的硬化结束后，将固定盘13升到上方等待，在将液晶面板20送到下一个工序时，通过将空气等气体从图中未示出的给气装置、通过通气管16、通气路径15a、流通孔13b及开口14a吹出，能使缓冲层14和液晶面板20顺利地分开。

缓冲层14有时用能粘贴在液晶面板20上的材料构成，在这种情况下，如上所述，利用气体的压力使缓冲层14和液晶面板20分离，能防止液晶面板20在固定盘13上升时与缓冲层14一起被带到上方，所以在工序管理上特别有效。

上述流通孔13b还能起与上述相反的排气孔的作用。即，将图中未示出的排气装置连接到通气管16上，能将液晶面板20吸附在缓冲层14的表面上。通过这样处理，能通过缓冲层14，沿着固定盘13的加压面13a紧紧地吸附液晶面板20，能在确保充分的平面度的状态下固定液晶面板20。

这时，如图3所示，利用图中用双点划线表示的面板供给装置50且以被吸附在缓冲层14的表面上的状态设置液晶面板20，使液晶面板20本身与固定盘13一起下降，就能接触在流体加压夹具30的密封框31上。这样，先沿着固定盘13的加压面13a吸附液晶面板20，然后再接触到流体加压夹具30上，能更可靠地获得液晶面板20的平坦度。

(第三实施形态)

图4表示本发明的第三实施形态。在该实施形态中，与上述第二实施形态相同的部分标以相同的符号，其说明从略。在该实施形态中，采用加热硬化性树脂作为液晶面板20的密封材料，通过加压后加热，使液晶面板20固定粘接起来。因此，由于没有这种必要，所以不需要在流体加压夹具30’的下面形成使光透过的透明窗。另一方面，将加热器51收容在固定盘13’的内部，利用该加热器51能加热液晶面板20。

该结构对应于采用热硬化性材料作为液晶面板20的密封材料的情况，由于能利用安装在固定盘13’的内部的加热器51加热液晶面板20，所以能通过该加热而使密封材料硬化。

作为对液晶面板20进行加热用的结构还有这样的方法，即利用对经过给气管33供给的空气或其它气体进行加热，加压时间接地对液晶面板20的下表面(基片22的表面)加热，使密封材料硬化。这时，也可以与用上述固定盘13’进行的加热组合起来使用。在向流体加压夹具30’的加压室30a’供给的是液体的情况下，通过加热该液体就能加热液晶面板20。

在该实施形态中，将缓冲层14’粘贴在固定盘13’的加压面上。该缓冲层14’是用泡沫树脂(例如泡沫聚氨酯等)或多孔性的无机材料(浮石、多孔陶瓷等)这样的具有通气性能的材料构成的。利用该缓冲层14’，由于从给气装置或排气装置供给或排出的气体通过缓冲层14’的整个面，所以能在全体上均匀地对液晶面板20进行加压或吸附。在此情况下，固定盘13’本身也可以用具有透气性能的多孔材料构成。

对上述实施形态的效果和采用现有的方法进行处理的情况做了对比实验。实际上设计的面板尺寸为300×350mm，玻璃基片的厚度为1.1mm，基片之间的间隙为6μm，对该液晶面板进行了加压硬化工序。供给流体加压夹具的空气压约为0.4kg/cm²。

在利用图5所示的刚体加压机构或图6所示的帆船状加压机构对该液晶面板加压的情况下，通常产生正负0.3μm的间隙偏差。与此不同，在使用上述第一实施形态的装置对液晶面板进行加压硬化的情况下，能使问隙的偏差降低到正负0.1μm以下。

另外，也考虑了利用上述流体加压夹具对液晶面板的表面和背面都加压的方法。这样，如果利用流体加压夹具对液晶面板的表面和背面都加压，则能使液晶面板的表面和背面双方都不与加压面接触，就能进行处理。可是在这种方法中，加在液晶面板的表面上的流体压力和加在背面上的流体压力都必须精确地进行控制。如果加在表面上的流体压力和加在背面上的流体压力的平衡被破坏，液晶面板就会发生弯曲。

本发明者们采用上述方法进行了实验，其结果是即使精确地控制表面和背面上的流体压力，液晶面板上也会发生最大达1mm左右的弯曲。与此不同，在本实施形态中，即使不严格地控制表面和背面上的压力平衡，液晶面板也不会发生弯曲，这是个优点，能防止由于发生弯曲而造成的合格率的下降，同时不需要精确地控制压力值，工序的管理变得容易，而且具有能迅速地进行处理的效果。

工业上利用的可能性

如上所述，如果采用本发明，则通过将液晶面板的一面固定在平坦的加压面上，将流体压力直接加在液晶面板的另一面上，在利用加压面支撑一面的状态下，能利用流体压力均匀地对另一面加压，所以能提高液晶面板的基片之间的间隙的均匀性。

另外，由于将液晶面板的一面固定在加压面上，所以能确保液晶面板的平坦性。

因此，通过提高液晶面板的基片之间的间隙的均匀性及液晶面板的平坦性，能防止液晶显示装置的显示不匀，能提高显示品位，同时能提高液晶显示装置制造上的合格率。

Claims (15)

1.一种液晶显示装置的制造方法，具有将夹着密封材料相对向的两面基片加压，并使上述密封材料硬化的加压硬化工序，其特征在于：

在上述加压硬化工序中，将上述两面基片中的一面基片，直接地或间接地吸附在固定盘上；

在上述两面基片中的另外一面基片上，施加流体压力。

2.一种液晶显示装置的制造方法，具有将夹着密封材料相对向的两面基片加压，并使上述密封材料硬化的加压硬化工序，其特征在于：

在上述加压硬化工序中，将上述两面基片中的一面基片，吸附在缓冲材料上，并且通过上述缓冲层由固定盘加压；

在上述两面基片中的另外一面基片上，加上流体压力。

3.一种液晶显示装置的制造方法，具有将夹着密封材料相对向的两面基片加压，并使上述密封材料硬化的加压硬化工序，其特征在于：

在上述加压硬化工序中，将上述两面基片中的一面基片，通过固定盘加压；

在上述两面基片中的另外一面基片上，加上流体压力；

在上述固定盘离开上述一面基片之前，从上述固定盘侧施加流体压力。

4.根据权利要求1至3中任何一项所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：上述两面基片中的上方的基片由上述固定盘加压，上述流体压力被加在上述两面基片中的下方的基片上。

5.根据权利要求1至3中任何一项所述的液晶显示装置的制造方法，其特征在于：通过对上述密封材料隔着加于上述另一方的基片的流体进行光照射而使之硬化。

6.一种液晶显示装置的制造装置，用于制造将通过密封材料对向配置的两个基片，形成的液晶面板加压，并使上述密封材料硬化的液晶显示装置，其特征在于：

具有固定盘，和

与上述固定盘相对设置的流体加压夹具；

其中，上述流体加压夹具被构成以使得可以容纳流体；

在上述固定盘形成有用以施加正压或负压的气体流通孔；

在将上述液晶面板配置于上述固定盘和上述流体加压夹具之间的位置时，通过上述流体加压夹具施加流体压力。

7.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述固定盘配置在上述流体加压装置的上方。

8.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述流体加压夹具具有对应于上述流体收容空间设置的透光性的窗部分，还具有从该窗部照射光的光照射装置。

9.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：在上述固定盘上形成缓冲层。

10.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述固定盘用分散形成有构成上述气体流通孔的细孔的多孔材料构成。

11.根据权利要求10所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：在上述固定盘上形成具有通气性的缓冲层。

12.根据权利要求11所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述缓冲层用多孔材料构成。

13.根据权利要求6所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：还具有配置在上述固定盘和上述流体加压夹具之间的密封框，并用具有挠性或弹性的材料至少构成上述密封框的表面部分。

14.根据权利要求13所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述密封框至少表面部分用粘贴材料构成。

15.根据权利要求14所述的液晶显示装置的制造装置，其特征在于：上述密封框至少表面部分用凝胶状的材料构成。

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