JPH0588188A - 薄板の組立方法 - Google Patents
薄板の組立方法Info
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- JPH0588188A JPH0588188A JP24879391A JP24879391A JPH0588188A JP H0588188 A JPH0588188 A JP H0588188A JP 24879391 A JP24879391 A JP 24879391A JP 24879391 A JP24879391 A JP 24879391A JP H0588188 A JPH0588188 A JP H0588188A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶パネル、ＣＣＤ等、２枚の薄板の組立方
法において、２枚の薄板のギャップを所定の平行度に精
度良く且つ簡易な方法で組立てることを目的とする。 【構成】 吸着保持された１４、１５の薄板の一方を、
弾性体２３を介して、高圧エアーによって均一に押圧す
ることによって、それぞれの薄板の保持部１７、２０の
平行度に左右されることなく、２枚の薄板のギャップを
精度よく組立てることが可能となる。
法において、２枚の薄板のギャップを所定の平行度に精
度良く且つ簡易な方法で組立てることを目的とする。 【構成】 吸着保持された１４、１５の薄板の一方を、
弾性体２３を介して、高圧エアーによって均一に押圧す
ることによって、それぞれの薄板の保持部１７、２０の
平行度に左右されることなく、２枚の薄板のギャップを
精度よく組立てることが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶パネル、ＣＣＤ等
に用いられる２枚の薄板を所定のギャップを隔てて平行
度に貼り合せする薄板の組立方法に関するものである。
に用いられる２枚の薄板を所定のギャップを隔てて平行
度に貼り合せする薄板の組立方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、液晶パネル、ＣＣＤ等はその高密
度化に伴って、２枚の薄板の平行度ではクリアランス数
ミクロン±０．２ミクロン程度の高い組立精度が要求さ
れている。
度化に伴って、２枚の薄板の平行度ではクリアランス数
ミクロン±０．２ミクロン程度の高い組立精度が要求さ
れている。
【０００３】以下図面を参照しながら、従来の薄板の組
立方法の一例について説明する。図６、図７、図８は従
来の薄板組立方法の実施に用いる装置と得られた薄板形
状を示す図である。図６、７において、１、２は貼り合
せようとする薄板、３は前記薄板の間に滴下された接着
材、４は薄板の吸着ブロックであり、吸着溝５と真空吸
引穴６が設けられている。７はもう一方の薄板２の吸着
アームであり、吸着溝８、真空吸引穴９が設けられてい
る。１０は薄板２の確認用穴で吸着アーム７に適当に設
けられている。１１は薄板の計測装置である。１２は吸
着ブロック４を登載したアライメントステージである。
矢印１３は押圧時の高圧エアーの流れを示す。
立方法の一例について説明する。図６、図７、図８は従
来の薄板組立方法の実施に用いる装置と得られた薄板形
状を示す図である。図６、７において、１、２は貼り合
せようとする薄板、３は前記薄板の間に滴下された接着
材、４は薄板の吸着ブロックであり、吸着溝５と真空吸
引穴６が設けられている。７はもう一方の薄板２の吸着
アームであり、吸着溝８、真空吸引穴９が設けられてい
る。１０は薄板２の確認用穴で吸着アーム７に適当に設
けられている。１１は薄板の計測装置である。１２は吸
着ブロック４を登載したアライメントステージである。
矢印１３は押圧時の高圧エアーの流れを示す。
【０００４】以上のように構成された装置を用いて実施
される薄板の組立方法について、以下に説明する。液晶
パネル等においては薄板１はアレイ基板、薄板２はカラ
フィルターであり、これらは両方とも透明ガラスを用い
構成され、それぞれ厚みは０．５μｍ〜１．５μｍ程度
であり、平面度は０．１μｍ以下に加工されている。薄
板１上には接着材又はシール材が塗布されている。薄板
１の裏面は、吸着ブロック４の吸着面により真空吸着さ
れ、薄板２の裏面は、吸着マーム７の吸着面により真空
吸着されている。この状態で計測装置１１とアライメン
トステージ１２によって、薄板２を基準として平面状態
の位置合せを行なう。次に薄板１、２のクリアランス
を、所定のクリアランスに対して、１０〜２０μｍ程度
大き目にアライメントステージ１２によって調整する。
される薄板の組立方法について、以下に説明する。液晶
パネル等においては薄板１はアレイ基板、薄板２はカラ
フィルターであり、これらは両方とも透明ガラスを用い
構成され、それぞれ厚みは０．５μｍ〜１．５μｍ程度
であり、平面度は０．１μｍ以下に加工されている。薄
板１上には接着材又はシール材が塗布されている。薄板
１の裏面は、吸着ブロック４の吸着面により真空吸着さ
れ、薄板２の裏面は、吸着マーム７の吸着面により真空
吸着されている。この状態で計測装置１１とアライメン
トステージ１２によって、薄板２を基準として平面状態
の位置合せを行なう。次に薄板１、２のクリアランス
を、所定のクリアランスに対して、１０〜２０μｍ程度
大き目にアライメントステージ１２によって調整する。
【０００５】これにより、薄板２は薄板１に塗布された
接着材に接触した状態となる。この状態で吸着アーム７
の真空吸引をＯＦＦとし、真空吸引穴９、吸着溝８に外
部より高圧エアーを流すと、図７に矢印１３で示すよう
に薄板２は高圧エアーによって薄板１に押圧され、所定
のクリアランスを出すようになる。その後、ＵＶ照財、
高温硬化され最終製品となっていた。
接着材に接触した状態となる。この状態で吸着アーム７
の真空吸引をＯＦＦとし、真空吸引穴９、吸着溝８に外
部より高圧エアーを流すと、図７に矢印１３で示すよう
に薄板２は高圧エアーによって薄板１に押圧され、所定
のクリアランスを出すようになる。その後、ＵＶ照財、
高温硬化され最終製品となっていた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成では、各薄板１、２の保持部の吸着面がともに
剛体であって平行度の完全な確保が困難であるため、高
圧エアーで押圧した時、非平行性が影響して吸着アーム
７の吸着面と薄板２の裏面とのギャップが図７に示すよ
うに均一とならないため所定の平行度を保たないことが
多かった。
うな構成では、各薄板１、２の保持部の吸着面がともに
剛体であって平行度の完全な確保が困難であるため、高
圧エアーで押圧した時、非平行性が影響して吸着アーム
７の吸着面と薄板２の裏面とのギャップが図７に示すよ
うに均一とならないため所定の平行度を保たないことが
多かった。
【０００７】本発明は上記欠点に鑑み、薄板の一方の裏
面を均一に押圧することによって、２枚の薄板の平行度
を高精度に確保する。薄板の組立方法を提供することを
課題とするものである。
面を均一に押圧することによって、２枚の薄板の平行度
を高精度に確保する。薄板の組立方法を提供することを
課題とするものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の薄板の組立方法は、一方の薄板を弾力性を持
って他方の薄板に対し抑圧するようにすることを特徴と
する。
に本発明の薄板の組立方法は、一方の薄板を弾力性を持
って他方の薄板に対し抑圧するようにすることを特徴と
する。
【０００９】
【作用】保持した一方の薄板を他方に対し弾力性を持っ
て抑圧するようにすると力が抑圧面全面で働くようにな
り、それぞれの薄板保持部の平行度に関係なく、平行に
組立てることが可能となる。
て抑圧するようにすると力が抑圧面全面で働くようにな
り、それぞれの薄板保持部の平行度に関係なく、平行に
組立てることが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の第１実施例の薄板の組立方法に
ついて、図面を参照しながら説明する。図１〜３は本発
明の第１の実施例における薄板の組立方法の構成図を示
すものである図１、２において、１４は接着材１６を塗
布した薄板１１５はもう一方の薄板である。薄板１４
は、吸着ブロック上１７に載置されている。吸着ブロッ
ク１７の吸着面には吸着溝１８が設けられ、この溝１８
は真空吸引穴１９を介して真空ポンプにより減圧される
ようになっている。２０はもう一方の薄板１５の吸着ア
ームであり、その吸着面には吸着穴２１が設けられ、こ
の穴２１は真空吸引穴２２を介して真空ポンプによって
減圧されるようになっている。吸着穴２１の上部には弾
性体からなるダイアフラム２３で仕切られた加圧室２４
があり、高圧エアー導入穴２５を介して高圧エアー発生
機に接続されている。２６は、吸着アーム２０の吸着面
の外周に適当に設けられた計測用の穴、２７は計測手段
である。２８はアライメントステージである。
ついて、図面を参照しながら説明する。図１〜３は本発
明の第１の実施例における薄板の組立方法の構成図を示
すものである図１、２において、１４は接着材１６を塗
布した薄板１１５はもう一方の薄板である。薄板１４
は、吸着ブロック上１７に載置されている。吸着ブロッ
ク１７の吸着面には吸着溝１８が設けられ、この溝１８
は真空吸引穴１９を介して真空ポンプにより減圧される
ようになっている。２０はもう一方の薄板１５の吸着ア
ームであり、その吸着面には吸着穴２１が設けられ、こ
の穴２１は真空吸引穴２２を介して真空ポンプによって
減圧されるようになっている。吸着穴２１の上部には弾
性体からなるダイアフラム２３で仕切られた加圧室２４
があり、高圧エアー導入穴２５を介して高圧エアー発生
機に接続されている。２６は、吸着アーム２０の吸着面
の外周に適当に設けられた計測用の穴、２７は計測手段
である。２８はアライメントステージである。
【００１１】以上のように構成された装置を用いて実施
する本発明の薄板の組立方法について以下に説明する。
する本発明の薄板の組立方法について以下に説明する。
【００１２】図１にみるように、薄板１４の裏面は、吸
着ブロック１７の吸着面によって薄板の裏面を真空吸引
されている。もう一方の薄板１５の裏面は吸着アーム２
０の吸着面２１によって真空吸着されている。この状態
で計測手段２７とアライメントステージ２８によって、
平面方向（Ｘ−Ｙ）の位置合せを完了し、次に薄板１４
と１５のギャップを、接着材１６が、薄板１５の表面に
接触するまでアライメントステージ２８によって調整す
る。この時の２枚の薄板のギャップは所定のギャップに
対して、１０μｍ〜２０μｍ離れた位置になるようにす
る。次に薄板１５の真空吸着を解除する。この時薄板１
５は接着材１６の粘性により、位置を保持させるため落
下、あるいは横方向への移動を起こさない。次に高圧導
入穴２５より、加圧室２４に高圧エアーを導入するとダ
イアフラム２３が、図２に示すように下方に膨らむ方向
に弾性変形し、薄板１５の裏面２９の矢印に示すように
均一に押圧して薄板１５を薄板１４に対し所定の平行度
を確保しながら、所定のギャップを出すようにする。
着ブロック１７の吸着面によって薄板の裏面を真空吸引
されている。もう一方の薄板１５の裏面は吸着アーム２
０の吸着面２１によって真空吸着されている。この状態
で計測手段２７とアライメントステージ２８によって、
平面方向（Ｘ−Ｙ）の位置合せを完了し、次に薄板１４
と１５のギャップを、接着材１６が、薄板１５の表面に
接触するまでアライメントステージ２８によって調整す
る。この時の２枚の薄板のギャップは所定のギャップに
対して、１０μｍ〜２０μｍ離れた位置になるようにす
る。次に薄板１５の真空吸着を解除する。この時薄板１
５は接着材１６の粘性により、位置を保持させるため落
下、あるいは横方向への移動を起こさない。次に高圧導
入穴２５より、加圧室２４に高圧エアーを導入するとダ
イアフラム２３が、図２に示すように下方に膨らむ方向
に弾性変形し、薄板１５の裏面２９の矢印に示すように
均一に押圧して薄板１５を薄板１４に対し所定の平行度
を確保しながら、所定のギャップを出すようにする。
【００１３】以上のように本実施例によれば、保持した
薄板１５をダイアフラム２３を介して加圧するようにい
しているため、薄板１４、１５を保持する各保持部１
７、２０の吸着面の平行度の精度が悪くても２枚の薄板
１４、１５を図３に示すように正確に平行に組立てるこ
とが可能となる。又２枚の薄板１４、１５のギャップは
高圧エアーの圧力、又はダイアフラムの材質、厚みによ
って制御することが可能となる。この実施例によれば、
組立前のギャップ調整も特に高精度を要しないため、ア
ライメントステージ、計測手段も低コストで対応可能と
なる。
薄板１５をダイアフラム２３を介して加圧するようにい
しているため、薄板１４、１５を保持する各保持部１
７、２０の吸着面の平行度の精度が悪くても２枚の薄板
１４、１５を図３に示すように正確に平行に組立てるこ
とが可能となる。又２枚の薄板１４、１５のギャップは
高圧エアーの圧力、又はダイアフラムの材質、厚みによ
って制御することが可能となる。この実施例によれば、
組立前のギャップ調整も特に高精度を要しないため、ア
ライメントステージ、計測手段も低コストで対応可能と
なる。
【００１４】つぎに、本発明の第２の実施例について図
面を参照しながら説明する。図４、図５は第２の実施例
を示す薄板の組立方法の実施に用いる装置を示してい
る。３０、３２は薄板であり、３１は薄板３０上に塗布
された接着材、３３は薄板３２の吸着アームであり、吸
着溝３４と真空吸引穴３５が設けられている。３６は吸
着アーム３３に設けられた計測用穴であって、薄板３２
の形状に応じて配置されている。３７はもう一方の薄板
３０の吸着ブロックであり、吸着溝３８と真空吸引穴３
９が設けれている。４０は吸着ブロック３７の吸着面に
直角に且つ摺動可能に設けられた押圧ピン、４１は押圧
ピン４０に所定の圧力を加えるための押圧バネであり、
４０、４１は３０の薄板の形状に応じて複数箇所設けれ
ている。
面を参照しながら説明する。図４、図５は第２の実施例
を示す薄板の組立方法の実施に用いる装置を示してい
る。３０、３２は薄板であり、３１は薄板３０上に塗布
された接着材、３３は薄板３２の吸着アームであり、吸
着溝３４と真空吸引穴３５が設けられている。３６は吸
着アーム３３に設けられた計測用穴であって、薄板３２
の形状に応じて配置されている。３７はもう一方の薄板
３０の吸着ブロックであり、吸着溝３８と真空吸引穴３
９が設けれている。４０は吸着ブロック３７の吸着面に
直角に且つ摺動可能に設けられた押圧ピン、４１は押圧
ピン４０に所定の圧力を加えるための押圧バネであり、
４０、４１は３０の薄板の形状に応じて複数箇所設けれ
ている。
【００１５】以上のように構成された装置を用いて行な
う第２の実施例の薄板の組立方法について、以下に説明
する。
う第２の実施例の薄板の組立方法について、以下に説明
する。
【００１６】薄板３２は、吸着アーム３３に真空吸着保
持され、もう一方の薄板３０は、吸着ブロック３７に真
空吸着されている。この時、押圧ピン４０を介して、薄
板３０の裏面に加わる押圧バネ４１の力の総和は、薄板
３０を保持する吸着力以下となるように設定されてい
る。このため押圧ピン４０の先端は常に薄板３０の裏面
に軽く接触した状態となっている。次に第１の実施例と
同様に、２枚の薄板３０、３２に接着材３１が接触し且
つ２枚のギャップが所定のギャップに対して１０μｍ〜
２０μｍ程度大き目になるように調整する。この状態
で、薄板３０の真空吸着をＯＦＦとすと、薄板３０は、
押圧バネ４１の力で押圧ピン４０を介して所定の圧力で
バランスよく薄板３２にタールされ、互いの平行度を正
確に保った状態で薄板３２に対し所定のギャップを出す
ようになる。次に２枚の薄板をＵＶ硬化、又は熱硬化す
ることによって、図３の如く完成品となる。
持され、もう一方の薄板３０は、吸着ブロック３７に真
空吸着されている。この時、押圧ピン４０を介して、薄
板３０の裏面に加わる押圧バネ４１の力の総和は、薄板
３０を保持する吸着力以下となるように設定されてい
る。このため押圧ピン４０の先端は常に薄板３０の裏面
に軽く接触した状態となっている。次に第１の実施例と
同様に、２枚の薄板３０、３２に接着材３１が接触し且
つ２枚のギャップが所定のギャップに対して１０μｍ〜
２０μｍ程度大き目になるように調整する。この状態
で、薄板３０の真空吸着をＯＦＦとすと、薄板３０は、
押圧バネ４１の力で押圧ピン４０を介して所定の圧力で
バランスよく薄板３２にタールされ、互いの平行度を正
確に保った状態で薄板３２に対し所定のギャップを出す
ようになる。次に２枚の薄板をＵＶ硬化、又は熱硬化す
ることによって、図３の如く完成品となる。
【００１７】以上のように、一方の保持部の保持面に対
して直角方向に作用する押圧ピンを複数箇所に設けるこ
とにより、薄板の外形形状に均一に加圧することがで
き、２枚の薄板を所定の平行度に組立てることが可能と
なる。薄板の裏面には常に押圧ピンの先端が接触してい
るため薄板３０の保持力を解除しても、薄板３０には衝
撃的な力が加わることがなく、２枚の薄板１２位置ズレ
の発生することなく、組立てることが可能となる。
して直角方向に作用する押圧ピンを複数箇所に設けるこ
とにより、薄板の外形形状に均一に加圧することがで
き、２枚の薄板を所定の平行度に組立てることが可能と
なる。薄板の裏面には常に押圧ピンの先端が接触してい
るため薄板３０の保持力を解除しても、薄板３０には衝
撃的な力が加わることがなく、２枚の薄板１２位置ズレ
の発生することなく、組立てることが可能となる。
【００１８】なお、第２の実施例においては押圧ピン４
１はバネによって付勢したが、押圧ピン４１は他のアク
チュエータ、例えばシリンダ等で付勢するようにしても
よい。
１はバネによって付勢したが、押圧ピン４１は他のアク
チュエータ、例えばシリンダ等で付勢するようにしても
よい。
【００１９】
【発明の効果】以上のように本発明は、２枚の薄板の一
方を弾力性を持って抑圧するようにしているため、この
２枚の薄板を高精度に且つ低コストで精度よく組立てる
ことができる。
方を弾力性を持って抑圧するようにしているため、この
２枚の薄板を高精度に且つ低コストで精度よく組立てる
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施例における薄板の組立方法
の構成図
の構成図
【図２】同動作状態説明図
【図３】本発明による薄板の組立後の形状の構成図
【図４】本発明における第２の実施例における構成図
【図５】同動作状態説明図
【図６】従来の薄板の組立方法の構成図
【図７】同動作状態説明図
【図８】従来の方法による組立後の形状を示す図
１４、１５ 薄板 ２０ 吸着アーム １７ 吸着ブロック ２３ 弾性体 ４０ 押圧ピン
Claims (3)
- 【請求項１】 ２枚の薄板をそれぞれ裏面で吸着保持し
たのち一方を他方に対し押圧することにより、所定のギ
ャップを隔てて平行に貼り合せる薄板の組立方法におい
て、前記押圧を弾力性を持って行なうようにすることを
特徴とする薄板の組立方法。 - 【請求項２】 一方の薄板の吸着面がダイアフラムで構
成され、このダイアフラムを高圧エアで加圧することに
より抑圧力を発生するようにする請求項１記載の薄板の
組立方法。 - 【請求項３】 一方の吸着面に直角方向に弾力性を持っ
て動作する抑圧ピンを複数本設けるとともにこれら抑圧
ピンの抑圧力の総和が薄板の吸着力以下となるようにす
る請求項１記載の薄板の組立方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24879391A JPH0588188A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 薄板の組立方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24879391A JPH0588188A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 薄板の組立方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0588188A true JPH0588188A (ja) | 1993-04-09 |
Family
ID=17183485
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24879391A Pending JPH0588188A (ja) | 1991-09-27 | 1991-09-27 | 薄板の組立方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0588188A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997048008A1 (fr) * | 1996-06-11 | 1997-12-18 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif pour fabriquer un dispositif d'affichage a cristaux liquides |
| JP2006184807A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
| JP2007300794A (ja) * | 2007-06-29 | 2007-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
-
1991
- 1991-09-27 JP JP24879391A patent/JPH0588188A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997048008A1 (fr) * | 1996-06-11 | 1997-12-18 | Seiko Epson Corporation | Procede et dispositif pour fabriquer un dispositif d'affichage a cristaux liquides |
| JP2006184807A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Shibaura Mechatronics Corp | 基板貼り合わせ装置及び基板貼り合わせ方法 |
| JP2007300794A (ja) * | 2007-06-29 | 2007-11-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電アクチュエータの製造方法 |
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