CN1241744C - 油墨喷头的制造方法 - Google Patents

油墨喷头的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1241744C
CN1241744C CNB031107052A CN03110705A CN1241744C CN 1241744 C CN1241744 C CN 1241744C CN B031107052 A CNB031107052 A CN B031107052A CN 03110705 A CN03110705 A CN 03110705A CN 1241744 C CN1241744 C CN 1241744C
Authority
CN
China
Prior art keywords
photo
sensitive resin
aforementioned
ink
spraying
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CNB031107052A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1449917A (zh
Inventor
大熊典夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Canon Inc filed Critical Canon Inc
Publication of CN1449917A publication Critical patent/CN1449917A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1241744C publication Critical patent/CN1241744C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14016—Structure of bubble jet print heads
    • B41J2/14072—Electrical connections, e.g. details on electrodes, connecting the chip to the outside...
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1606—Coating the nozzle area or the ink chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1626—Manufacturing processes etching
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/1637—Manufacturing processes molding
    • B41J2/1639—Manufacturing processes molding sacrificial molding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/16—Production of nozzles
    • B41J2/1621—Manufacturing processes
    • B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1645—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by spincoating
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S29/00—Metal working
    • Y10S29/016—Method or apparatus with etching
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
    • Y10T29/49155—Manufacturing circuit on or in base
    • Y10T29/49156—Manufacturing circuit on or in base with selective destruction of conductive paths
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making
    • Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
    • Y10T29/49169—Assembling electrical component directly to terminal or elongated conductor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49401—Fluid pattern dispersing device making, e.g., ink jet

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

本发明提供在喷嘴表面设憎水领域与非憎水领域，不增加工序数而以正确的位置精度在油墨喷头的喷嘴表面形成憎水部分和亲水部分，可实现打印品位提高的油墨喷头及其制造方法。在有喷出油墨的喷出口排列的喷出口构件的油墨喷头及其制造方法中，前述喷出口构件由第1感光性树脂层和叠层在该第1感光性树脂层上有憎水性的第2感光性树脂层形成，对这些的层进行图案曝光、显象处理，成为具有除去前述的第1感光性树脂层和前述的第2感光性树脂层的双方的部分、和部分地除去前述第2感光性树脂层的部分的构成。

Description

油墨喷头的制造方法
[技术领域]
本发明涉及用于油墨喷射记录方式为发生记录小滴用的油墨喷头及其制造方法，尤其是涉及头表面的憎水处理。
[背景技术]
油墨喷射记录方式中适用的油墨喷头，已提出了各种用于高图象品质化、高速化等提高性能的提案。作为更高图象品质化油墨喷射记录方法，本案申请人在特开平(Japanes Patent ApplicationLaid-Open、以下相同)4-10940号公报～特开平4-10942号等公报中提出了有关这些的提案。
另外，本案申请人对于前述特开平4-10940号公报～特开平4-10942号公报所述的油墨喷射记录方法，在特开平6-286149号公报等中提出了有关更适用的油墨喷头的制造方法。此外，还通过别的方式提出了有关油墨喷头最适用的憎水性组合物及其利用形态、或头表面的憎水处理、还涉及在头表面形成的凹部填入憎水部分材料的方法。
还有，关于头表面的憎水处理，本案申请人在特开平6-210859号公报中提出了在喷嘴表面设憎水区域和非憎水区域而改进打印品位的方法。即，喷嘴表面全部进行防水时，由于连续印刷时等油墨雾累积成油墨滴被导入喷出口而出现不喷出的问题。另一方面，在喷嘴表面部分地设亲水部分时，则显示出可防止油墨雾聚集在亲水部分成长为油墨滴。
然而，前述特开平4-10940号公报～特开平4-10942号公报所述的方法，或者作为其最佳制造方法的前述特开平6-286149号公报所述的方法，由于采用图象曝光、显象处理一下子形成喷嘴形成部分材料和憎水部分材料，所以喷嘴表面一定变成残存憎水部分材料的形态。因此，如前述特开平6-210859号公报所述，很难采用在喷嘴表面设憎水区域和非憎水区域的方法来改进打印品位。
另一方面，采用该特开平6-210859号公报所述的在喷嘴表面设憎水区域和非憎水区域即使改进打印品位，但喷嘴表面均匀地形成憎水部分材料后，由于被受激准分子激光部分地剥落除去憎水材料，所以有时产生剥落的残渣，并且很难与喷出口的位置精确吻合，从增加工序数等方面考虑还有改进的余地。
[发明内容]
本发明目的是为了解决上述课题，通过可在喷嘴表面设防水域和非防水域，不增加工序数而在油墨喷头的喷嘴表面以正确的位置精确度形成憎水部分和亲水部分，提供可实现打印品位提高的油墨喷头及其制造方法。
本发明为了解决上述课题，提供如以下构成的油墨喷头的制造方法。
油墨喷头的制造方法，其特征在于在具有喷出油墨的喷出口排列的喷出口构件的油墨喷头的制造方法中，具有
在形成有油墨喷出压力发生元件的基体上，用可溶解的树脂形成油墨流路图案的工序和
在前述油墨流路图案上，为了形成前述喷出口构件而叠层第1感光性树脂层的工序和
在前述第1感光性树脂层上，为了形成前述喷出口构件而叠层有憎水性的第2感光性树脂层的工序、和
用掩模同时将前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行图案曝光，同时通过在该图案曝光时部分地控制曝光部分的曝光区域使潜象深度不同，形成到达第1感光性树脂层底部的第1的潜象图案，和超过第2感光性树脂层、且不到达第1感光性树脂层底部的第2的潜象图案的工序、和
通过将图案曝光的前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行显象，形成露出喷出口与第1感光性树脂层的亲水露出部分的工序、和
形成油墨供给口的工序、和
除去前述可溶解的树脂形成的油墨流路图案的工序。
[附图的简单说明]
图1A、1B和1C是表示本发明的实施方案及实施例1中油墨喷头形成工序的图。
图2A、2B和2C是继图1表示本发明的实施方案及实施例1中油墨喷头形成工序的图。
图3A和3B是继图2表示本发明的实施方案及实施例1中油墨喷头形成工序的图。
图4A是表示本发明的实施例1中油墨喷头形成工序使用的掩模构成的图，图4B是表示本发明的实施例2中油墨喷头形成工序使用的掩模构成的图。
图5是表示本发明的实施例2中油墨喷头形成工序使用的掩模构成的图。
图6A、6B、6C、6D和6E是表示本发明的实施例3中使用各向异性导电片(ACF)的油墨喷头形成工序的图。
图7A和7B是表示本发明的实施例3中使用调距板的油墨喷头形成工序的图。
[发明的最佳实施方案]
本发明的实施方案通过使用上述构成，采用照相平版印刷技术，可不增加工序数而在油墨喷头的喷嘴表面以正确的位置精确度形成憎水部分和亲水部分，可实现打印品位的提高。
以下，用图对本发明的实施方案进行说明。
图1A-3B是表示本发明的一种实施方案的油墨喷头形成工序的概略图。
图1A在基板1上配置作为油墨喷出压力发生元件的加热器材料2的状态。加热器2连接电极(未图示)经通电发热，使油墨气化喷出油墨小滴。
图1B是图1A的1B-1B截面图。
根据这些图表示的油墨喷头的形成工序，对本实施方案中的油墨喷头的制造方法进行说明。
首先，在基板1上形成成为油墨流路的模的模抗蚀剂3(图1C)。
接着，在前述模抗蚀剂3上再形成用于形成喷嘴构件的第1感光性树脂层4(图2A)。
还有，在上述第1感光性树脂层4上，主要形成有憎水性的第2感光性树脂层5(图2B)。
然后，对前述第1感光性树脂层4及第2感光性树脂层5通过掩模采用通常的照相平版印刷技术进行曝光/显象处理，在喷出口6及喷嘴表面的任意位置形成亲水部分7(图2C)。
这里，在本实施方案中，在油墨喷出口部分按照第1感光性树脂层4及第2感光性树脂层5可成图象(显象后不残留)的大小设定掩模图象，在亲水部分按第2感光性树脂层5形成图象，但第1感光性树脂层4不形成图象(显象时不贯通)的大小设定掩模。亲水部分有憎水性的第2感光性树脂层5部分剥落，由于第1感光性树脂层4露出不显示憎水性。这通过图案曝光时部分地控制曝光部分的曝光域使潜象深度不同，通过形成到达第1感光性树脂层底部的第1潜象图案(喷出口形成部分)，和超过第2感光性树脂层，且不到达第1感光性树脂层底部的第2潜象图案(亲水部分)而实现。
还有，第2潜象图案采用第1感光性树脂层的极限析象清晰度以下的图案曝光而形成。
通常，因模抗蚀剂3的膜厚从10～40μm的范围选择、第1感光性树脂层4的膜厚从10～40μm的范围选择，喷出口从φ10～30μm的范围选择，所以第1感光性树脂层4形成图案时大约需要1∶1～1∶4左右的纵横尺寸比(喷出口宽∶第1感光性树脂层4的膜厚)。
另外，第2感光性树脂层5是为了获得表面憎水性而使用的树脂层，通常调整到0.1～3μm左右的膜厚，用前述纵横尺寸比(喷出口宽∶第2感光性树脂层5的膜厚)衡量可以是1∶1左右。作为所谓的抗蚀性能，优选纵横尺寸比更高的抗蚀剂，但实际上要达到1∶4以上的纵横尺寸比，除了特殊条件(X射线曝光等)以外，是极困难的。
这里，在亲水部分形成中，若准备比喷出口直径十分小的图案宽的掩模，则可进行亲水部分的成图。即，若用φ1～3μm左右的掩模图案，由于第2感光性树脂层5大约是0.1～3μm左右的膜厚，所以即使从纵横尺寸比来考虑也可充分成图，但因第1感光性树脂层4的膜厚是10～40μm左右，所以不能完全成图。
这样通过考虑第1感光性树脂层4与第2感光性树脂层5的膜厚比进行掩模设计，喷出口形成和在喷嘴表面的任意位置设亲水部分均可通过一次成图(曝光/显象处理)形成。这表明喷出口位置与亲水部分的相对位置精度可同样地决定，且表明形成亲水部分时没有增加工序。
上述说明是对本发明的一种实施方案进行说明的例子，但本发明不局限于这样的方案，因为只是第2感光性树脂层形成图案，除此以外，例如，还可以适当采用
·改变第1感光性树脂层4与第2感光性树脂层5的显象液(设定第2感光性树脂层5的显象液使第1感光性树脂层不显象)；
·通过设第1感光性树脂层4与第2感光性树脂层5的感度差，把两种感光性树脂层的纵横尺寸比控制在最佳值；等的方法，可同时进行更稳定地形成喷出口和形成亲水部分。
这样，形成喷出口及亲水部分后，如图3A所示适当形成油墨供给口，再如图3B所示通过适当除去模抗蚀剂3可制作油墨喷头。
以下，对本发明用的构成要素进行说明。
首先，第1感光性树脂层，为了成为喷嘴部材料的一部分，由于要求高的机械强度、耐油墨性、与基板的粘附性，故优选使用负型抗蚀剂，最优选使用环氧树脂的阳离子聚合物。
第2感光性树脂层要求对油墨的憎水性，优选使用含有氟、硅等憎水性官能基的负型抗蚀剂。
[实施例]
以下，对本发明的实施例进行说明。
[实施例1]
本发明的实施例1，使用前图1A～3B的工序制作油墨喷头。
首先，作为基板1用硅片、作为加热器材料用TaN。
然后，作为模抗蚀剂用东京应化工业公司制ODUR形成油墨流路图案(图1C、膜厚13μm)。还有，作为第1感光性树脂层用旋涂器在油墨流路图案上形成下述表1所述的组合物(图2A、膜厚12μm)。
表1
      项目         产品名  重量份
环氧树脂 EHPE(ダイセル化学工业社制)     100
添加树脂 1、4-HFAB(セントラル硝子社制)     20
硅烷偶联剂材料 A-187(日本ユニカ—社制)     5
光阳离子聚合催化剂 SP170(旭电化工业社制)     2
溶剂 乙基溶纤剂     75
表1中表示的组合物，是有负型感光特性的阳离子聚合性组合物。并在第1感光性树脂层上形成第2感光性树脂层(图2B)。
第2感光性树脂层是下述表2表示的组合物。
表2
Figure C0311070500101
第2感光性树脂层，其结构中有含氟原子的官能基，显示出憎水性，同时通过环氧基、光阳离子聚合催化剂成为负型的感光性组合物。
形成第2感光性树脂层时，由于此时第1感光性树脂层不反应，所以选择涂布溶剂等时，必须是对第1感光性树脂层没有不良影响的构成。本实施例中通过在PET薄膜上涂布前述表2表示的组合物进行干燥制成干膜，是在第1感光性树脂层上一边适当施加热/压力一边进行复合而形成的薄膜(膜厚0.5μm)。
对这样形成的第1及第2感光性树脂层，通过形成喷出口部分及亲水部分的图案的掩模用佳能公司制的掩模校准器-MPA600，用曝光量1.0J/cm2进行曝光。掩模上的喷出口6的尺寸是形成φ22m/亲水部分的区域形成2μm的线21(两线的间隔7μm)(图4A)。曝光后进行90℃/4分钟加热后，浸渍在甲基异丁基酮/二甲苯＝2/3的显象液中，用二甲苯冲洗形成喷出口部分和亲水部分区域。
得到的图案在喷出口部分形成φ20.2μm，除去第1及第2感光性树脂层。另外，在亲水部分区域在掩模上按1.8μm、深0.7μm来形成2μm的线21。即，除去第2感光性树脂层但基本上不除去第1感光性树脂层。所形成的线不存在有憎水性的第2感光性树脂层，由于第1感光性树脂层露出所以对油墨来讲成为亲水部分(图2C)。
然后，硅片由里面用各向异性蚀刻形成油墨供给口(图3A)、最后除去模抗蚀剂，为使第1及第2感光性树脂层完全固化，进行200℃/小时加热处理制成喷嘴(图3B)。对这样制得的喷嘴适当地配置接电及供给油墨的手段成为油墨喷头。
另外，为了比较起见，也同时制作只形成喷出口、不形成亲水区域形态的油墨喷头。
在该油墨喷头中填充黑油墨，由全喷出口对A4规格的记录纸连续进行喷出油墨的实心打印(solid print)、由于油墨雾生成的油墨滴被导入喷嘴内、观察是否发生不喷出。采用目视确认实心打印的白条纹(不喷出)进行不喷出的观察。评价标准如下。
A：基本上没有白条纹
B：有1～2条的白条纹
C：有5条以上的白条纹
将结果示于表3。
[实施例2]
在本发明的实施例2中，只改变亲水区域的图案，其他与实施例1同样地制成油墨喷头。
本实施例中用的掩模如图4B所示由喷出口部分与影线的区域构成、影线的区域2μm正方形的掩模按2μm间距排列(参见图5)。相对应于2μm正方形掩模的区域形成结果为1.8～2.0μm正方形、深度2μm。与实施例1同样地进行评价。将结果示于表3。
表3
部分亲水区域   第1片   第2片   第3片   第4片   第5片
实施例1     有     A     A     A     A     B
实施例2     有     A     A     A     A     A
比较例     无     A     B     B     B     C
由上述结果看出，如本发明通过在喷嘴表面部分地设亲水区域可提高连续打印时的打印品位。
有关进行亲水化处理的区域的大小及配置，可根据进行使用的形态适当地进行选择。
[实施例3]
在本发明的实施例3中，除了喷嘴表面的亲水区域的形成外，还列举电气安装部分应用本发明的例子。
对有加热器、喷嘴形成的基板进行电连接时有各种方法，近年在可高密度地安装的一种方法中有采用各向异性导电片(anisotropicconduction sheet、以下称ACF)的方法。
图6A～6E表示用ACF(各向异性导电片)时的基本工序。
图6A是形成喷嘴尖端的截面图，表示在尖端的周围配置接电用的AL垫片9的形态。用圆圈包围的部分是喷嘴部分20。然后在AL垫片上形成凸缘10(图6B)，再把ACF调准位置(图6C)、通过对ACF～凸缘连接部分施加热、压力，压住ACF发挥导电性完成电连接(图6D)。最后封堵连接部分而完成(图6E)。
然而，本方法中，对ACF施加热、压力时，不仅是凸缘部分，而且对基板～ACF间也施加热、压力，与基板接通有时产生不良结果。因此，如图7A所示，提出了在AL垫片周边用形成喷嘴的第1及第2感光性树脂层配置成为调距板13的图案。通过配置调距板13在ACF热压接时不发生与基板接通的问题，可增大热压接条件的安全系数(图7B)。然而，用第1及第2感光性树脂层形成调距板13时，由于第2感光性树脂层有憎水性，故封堵处理时，使封堵材料崩裂，有时出现不完全封堵的情况。因此，用对调距板13进行本实施例的部分性亲水处理的方法防止封堵材料的崩裂，可同时实现完全的封堵处理和防止基板～ACF间的接通。喷嘴部分20用圆圈包围来表示。
作为本实施例中的实施方案，采用与实施例1同样的方法在与对喷嘴部分地进行亲水处理同一工序中形成亲水处理的调距板。调距板用掩模上50μm的正方形图案形成、通过按8μm间隔配置2μm的线，表面得到亲水化。对这样制得的尖端用ACF进行电气安装时，不发生因基板～ACF间的接通导致的不良现象。此外，即使是封堵处理中在调距板部分封堵材料也完全不产生崩裂。
如上说明，若采用本发明可以不增加工序数而以正确的位置精度在油墨喷头的喷嘴表面形成憎水部分和亲水部分，可实现打印品位的提高。

Claims (6)

1.油墨喷头的制造方法，其特征在于在具有喷出油墨的喷出口排列的喷出口构件的油墨喷头的制造方法中，具有
在形成有油墨喷出压力发生元件的基体上，用可溶解的树脂形成油墨流路图案的工序、和
在前述油墨流路图案上，为了形成前述喷出口构件而叠层第1感光性树脂层的工序、和
在前述第1感光性树脂层上，为了形成前述喷出口构件而叠层有憎水性的第2感光性树脂层的工序、和
用掩模同时将前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行图案曝光、同时通过在该图案曝光时部分地控制曝光部分的曝光区域使潜象深度不同，形成到达第1感光性树脂层底部的第1潜象图案、和超过第2感光性树脂层、且不到达第1感光性树脂层底部的第2潜象图案的工序、和
通过将图案曝光的前述第1感光性树脂层与第2感光性树脂层进行显象，形成露出喷出口与第1感光性树脂层的亲水露出部分的工序、和
形成油墨供给口的工序、和
除去前述可溶解的树脂形成的油墨流路图案的工序。
2.权利要求1所述的油墨喷头的制造方法，其特征在于前述第1感光性树脂层与前述第2感光性树脂层是负型感光性树脂层。
3.权利要求1所述的油墨喷头的制造方法，其特征在于前述第2潜象图案采用前述第1感光性树脂层的极限析象清晰度以下的图案曝光而形成。
4.权利要求1所述的油墨喷头的制造方法，其特征在于前述第1感光性树脂层的厚度比第2感光性树脂层厚。
5.权利要求1所述的油墨喷头的制造方法，其特征在于在形成前述喷出口构件后，具有用各向异性导电片进行电连接的工序。
6.权利要求5所述的油墨喷头的制造方法，其特征在于用前述各向异性导电片进行电连接时，在部分地除去了前述第2感光性树脂层的基板的区域与前述各向异性导电片之间，有配置调距板的工序。
CNB031107052A 2002-04-11 2003-04-11 油墨喷头的制造方法 Expired - Fee Related CN1241744C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002108794A JP2003300323A (ja) 2002-04-11 2002-04-11 インクジェットヘッド及びその製造方法
JP108794/2002 2002-04-11

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1449917A CN1449917A (zh) 2003-10-22
CN1241744C true CN1241744C (zh) 2006-02-15

Family

ID=28786542

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB031107052A Expired - Fee Related CN1241744C (zh) 2002-04-11 2003-04-11 油墨喷头的制造方法

Country Status (7)

Country Link
US (1) US6766579B2 (zh)
EP (1) EP1366905B1 (zh)
JP (1) JP2003300323A (zh)
KR (1) KR100492828B1 (zh)
CN (1) CN1241744C (zh)
DE (1) DE60317970T2 (zh)
TW (1) TWI236430B (zh)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4280574B2 (ja) * 2002-07-10 2009-06-17 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
US7444551B1 (en) * 2002-12-16 2008-10-28 Nvidia Corporation Method and apparatus for system status monitoring, testing and restoration
EP2163389B1 (en) * 2003-07-22 2012-07-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and its manufacture method
AU2003304346A1 (en) * 2003-07-22 2005-02-04 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head and its manufacture method
CN100358721C (zh) * 2004-02-13 2008-01-02 明基电通股份有限公司 利用多重牺牲层扩张流体腔的制造方法
JP4529621B2 (ja) * 2004-09-29 2010-08-25 セイコーエプソン株式会社 液体噴射装置、及び、液体噴射ヘッドの製造方法
JP4667028B2 (ja) * 2004-12-09 2011-04-06 キヤノン株式会社 構造体の形成方法及びインクジェット記録ヘッドの製造方法
US7837299B2 (en) * 2005-11-24 2010-11-23 Ricoh Company, Ltd. Liquid ejecting head and method of manufacturing the same, image forming apparatus, liquid drop ejecting device, and recording method
US7938974B2 (en) * 2007-03-12 2011-05-10 Silverbrook Research Pty Ltd Method of fabricating printhead using metal film for protecting hydrophobic ink ejection face
US8042908B2 (en) * 2007-07-27 2011-10-25 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejector device
US8012363B2 (en) * 2007-11-29 2011-09-06 Silverbrook Research Pty Ltd Metal film protection during printhead fabrication with minimum number of MEMS processing steps
JP5606269B2 (ja) 2010-10-27 2014-10-15 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法
US8343712B2 (en) * 2010-10-28 2013-01-01 Canon Kabushiki Kaisha Method for manufacturing inkjet recording head
JP5787603B2 (ja) * 2011-04-28 2015-09-30 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置
JP6039259B2 (ja) * 2011-07-25 2016-12-07 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド、およびその製造方法
JP6000715B2 (ja) * 2011-09-29 2016-10-05 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP5449590B2 (ja) * 2012-03-14 2014-03-19 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッドの製造方法
JP6308751B2 (ja) * 2013-11-12 2018-04-11 キヤノン株式会社 液体吐出ヘッド用基板の製造方法、液体吐出ヘッド用基板、液体吐出ヘッド、および記録装置
JP2017185705A (ja) * 2016-04-06 2017-10-12 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド記録装置
US9855566B1 (en) * 2016-10-17 2018-01-02 Funai Electric Co., Ltd. Fluid ejection head and process for making a fluid ejection head structure
JP2022150859A (ja) * 2021-03-26 2022-10-07 セイコーエプソン株式会社 液体吐出装置

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0288247A (ja) * 1988-09-27 1990-03-28 Canon Inc インクジェット記録ヘッド
JPH0410942A (ja) 1990-04-27 1992-01-16 Canon Inc 液体噴射方法および該方法を用いた記録装置
ATE155741T1 (de) 1990-04-27 1997-08-15 Canon Kk Aufzeichnungsverfahren und -gerät
JP2783647B2 (ja) 1990-04-27 1998-08-06 キヤノン株式会社 液体噴射方法および該方法を用いた記録装置
JPH0410941A (ja) 1990-04-27 1992-01-16 Canon Inc 液滴噴射方法及び該方法を用いた記録装置
JPH0412859A (ja) 1990-04-28 1992-01-17 Canon Inc 液体噴射方法、該方法を用いた記録ヘッド及び該方法を用いた記録装置
ATE136323T1 (de) * 1991-01-18 1996-04-15 Canon Kk Tinte, tintenstrahlaufzeichnungsverfahren und gerät unter verwendung desselben
JP3278186B2 (ja) 1991-03-08 2002-04-30 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JP2960608B2 (ja) * 1992-06-04 1999-10-12 キヤノン株式会社 液体噴射記録ヘッドの製造方法
JP3332503B2 (ja) 1992-10-19 2002-10-07 キヤノン株式会社 改善されたインク吐出口面を備えたインクジェットヘッド、該インクジェットを備えたインクジェット装置及び該インクジェットヘッドの製造方法
CA2126232C (en) 1992-10-19 2000-05-16 Makiko Kimura Ink jet head having an improved ink discharging outlet face and ink jet apparatus provided with said ink jet head
US5798778A (en) 1992-10-19 1998-08-25 Canon Kabushiki Kaisha Ink jet head having an ink discharging outlet face and ink jet apparatus provided with said ink jet head
JP3143307B2 (ja) * 1993-02-03 2001-03-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP3143308B2 (ja) 1994-01-31 2001-03-07 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP3478669B2 (ja) * 1995-06-13 2003-12-15 キヤノン株式会社 溶剤易溶性のフッ素含有エポキシ樹脂組成物およびそれを用いた表面処理方法
JP3343875B2 (ja) 1995-06-30 2002-11-11 キヤノン株式会社 インクジェットヘッドの製造方法
EP0882593A1 (en) 1997-06-05 1998-12-09 Xerox Corporation Method for forming a hydrophobic/hydrophilic front face of an ink jet printhead
JP3768645B2 (ja) * 1997-06-18 2006-04-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド
JPH1178029A (ja) 1997-09-04 1999-03-23 Canon Inc インクジェット記録ヘッド
JPH1199649A (ja) * 1997-09-30 1999-04-13 Canon Inc インクジェットヘッド、その製造方法、及びインクジェット装置
JP3559697B2 (ja) 1997-12-01 2004-09-02 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP3408130B2 (ja) 1997-12-19 2003-05-19 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
JP4592038B2 (ja) * 2000-07-10 2010-12-01 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100492828B1 (ko) 2005-06-07
TWI236430B (en) 2005-07-21
US20030198899A1 (en) 2003-10-23
US6766579B2 (en) 2004-07-27
DE60317970D1 (de) 2008-01-24
KR20030081127A (ko) 2003-10-17
JP2003300323A (ja) 2003-10-21
CN1449917A (zh) 2003-10-22
TW200304874A (en) 2003-10-16
EP1366905A1 (en) 2003-12-03
EP1366905B1 (en) 2007-12-12
DE60317970T2 (de) 2008-12-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1241744C (zh) 油墨喷头的制造方法
CN1080645C (zh) 喷墨记录头的制造方法
CN1191167C (zh) 制造单体喷墨打印头的方法
CN1100674C (zh) 喷墨头的生产方法
CN1976811A (zh) 排液头的制造方法和使用这一方法获得的排液头
CN1257006A (zh) 微型喷射装置和用于制作这种微型喷射装置的方法
CN1968815A (zh) 排液头制造方法，和使用该方法得到的排液头
CN1968816B (zh) 喷墨头制造方法和通过该制造方法制造的喷墨头
CN1268491C (zh) 微细结构体的制造方法、液体喷出头的制造方法和液体喷出头
US20050153243A1 (en) Ink-jet formation of flexographic printing plates
CN1302931C (zh) 制造整体式喷墨打印头的方法
CN1082449C (zh) 喷液记录头及制造它的方法
JP2001277517A (ja) サーマルインクジェットプリントヘッド
CN1432601A (zh) 环氧树脂组合物、表面处理方法、液体喷射记录头和液体喷射记录装置
CN1636733A (zh) 喷墨记录头和用于制造喷墨记录头的方法
US7637013B2 (en) Method of manufacturing ink jet recording head
CN1270899C (zh) 可清除残留物质的喷墨打印头的喷嘴防护装置
CN1749334A (zh) 墨水组合物和包含该组合物的滤色器
CN1289305C (zh) 用于喷墨打印头喷嘴组的残留物质的保护器
CN1583409A (zh) 基板的加工方法及其喷墨记录喷头用基板的制造方法
CN1721187A (zh) 喷墨头的制造方法
JP2004209741A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP5701000B2 (ja) インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法
CN1721189A (zh) 喷液元件及其制造方法
CN1903579A (zh) 喷墨印字头装置的通孔与喷口板的制造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20060215

Termination date: 20160411

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee