JP5787603B2 - インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、電気熱変換素子の発熱を利用して、圧力室内のインクを吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッド、および、それを用いるインクジェット記録装置に関するものである。

この種のインクジェット記録ヘッドとして、特許文献１に記載の記録ヘッド７１は、図６（ａ），（ｂ）のように、基板７２と天板７３を接合した構成となっている。天板７３には、複数の吐出口７８が２つの吐出口列ＬＡ−１，ＬＡ−２に沿って形成され、基板７２には、供給口７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃが３つの供給口列ＬＢ−１，ＬＣ，ＬＢ−２に沿って複数ずつ形成されている。供給口７４（７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ）から供給されたインクは、円柱状のフィルター８０の間を通ってから、流路壁７６の間に形成されたインク流路７７内に導入される。インク流路７７内のインクは、電気熱変換素子（ヒータ）７９の発熱により発泡され、その発泡エネルギーによって対応する吐出口７８から吐出される。吐出口７８とヒータ７９との間に位置するインク流路７７の部分は、圧力室として機能する。

このような記録ヘッド７１のインク流路７７に対しては、図６（ａ），（ｂ）中左右の両側に位置する供給口７４（７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ）からインクを供給することにより、インクのリフィル性を向上させることができる。

特開２００９−３９９１４号公報

シリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置において、記録ヘッド７１を用いて画像を記録する場合には、吐出口列ＬＡ−１，ＬＡ−２と交差する主走査方向に記録ヘッド７１を移動させつつ、記録データに基づいて吐出口７８からインクを吐出する。その場合、高画質の画像を記録するためには、吐出口列ＬＡ−１，ＬＡ−２の間の距離を、主走査方向における画像の記録解像度の整数倍に設定する必要がある。そのため、供給口列ＬＣ上の供給口７２Ｂは主走査方向における大きさが制約され、供給口７２Ｂの供給口列ＬＣの延材方向に垂直な方向の寸法を、インクの供給性能に必要な寸法以上に大きくせざるを得ない場合がある。そのため、基板７２の全体が大きくなり、記録ヘッド７１の大型化および高価格化を招くおそれがある。

一方、複数の供給口７４（７４Ａ，７４Ｂ，７４Ｃ）をドライエッチングによって同一の基板７２に形成する工程において、それらの供給口７４の開口面積が異なる場合には、それらのエッチングレートに差が生じ、それらの形成が完了までの時間が異なる。その結果、開口面積が大きい供給口は、エッチングが過多となり、その開口寸法がより大きくなったり、開口形状がノッチ状になるおそれがある。そのため、同一基板７２に、複数の供給口７４を高精度にドライエッチングにより形成する場合には、それらの供給口７４の開口面積を同程度に設計する必要がある。しかし、供給口７２Ｂのインクの供給性能を維持するために、その供給口７２Ｂを吐出口列ＬＣの延在方向と垂直な方向に大きくして、その開口面積を充分に大きく設定した場合には、それに合わせて、他の供給口７２Ａ，７２Ｃの開口面積も大きくする必要がある。しかし、この場合には、基板７２の全体が大きくなり、記録ヘッド７１の大型化および高価格化を招くおそれがある。

本発明の目的は、基板の小型化を図りつつ、供給口を通してのインクの供給性能を確保することができるインクジェット記録ヘッド、および、それを用いるインクジェット記録装置を提供することにある。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口を備える部材と、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子にインクを供給するための供給口と、を備える基板と、前記部材と前記基板との間に形成される、前記供給口から前記電気熱変換素子にインクを供給するための流路と、を備えるインクジェット記録ヘッドであって、前記供給口は、第１の方向にずれて位置する第１および第２供給口と、前記第１の方向における前記第１供給口と前記第２供給口との間に位置する第３供給口と、を含み、前記第１、第２および第３供給口は、それぞれ、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う第１、第２および第３の供給口列を形成するように複数形成され、前記吐出口は、前記第１の方向における前記第１供給口と前記第３供給口との間に位置する第１吐出口と、前記第１の方向における前記第２供給口と前記第３供給口との間に位置する第２吐出口と、を含み、前記第１および第２吐出口は、それぞれ、前記第２の方向に沿う第１および第２の吐出口列を形成するように複数形成され、前記電気熱変換素子は、前記第１および第２の吐出口列に沿って複数備えられ、前記第３供給口は、前記第１の方向において前記第１吐出口寄りに位置する第１部分と、前記第１の方向において前記第２吐出口寄りに位置する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分と、を含み、前記第１および第２部分は、前記第１の方向と交差する第２の方向における寸法が前記第３部分よりも大きく、前記基板には、前記電気熱変換素子を駆動するための多層配線である第１および第２配線層が形成されており、前記第２の方向に隣接する前記第３供給口の前記第３部分同士の間には、前記第１および第２配線層を接続するスルーホールが設けられていることを特徴とする。

本発明のインクジェット記録装置は、上記のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なキャリッジと、前記キャリッジを前記第１の方向に移動させる移動手段と、前記第２の方向に記録媒体を搬送する搬送手段と、前記前記第１、第２および第３供給口にインクを供給する供給手段と、前記電気熱変換素子を駆動する駆動手段と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、２つの吐出口の間に位置するインクの供給口の形状を特定することにより、供給口が形成される基板の小型化を図りつつ、供給口を通してのインクの供給性能を確保することができる。したがって、インクを安定的に供給して、吐出口からインクを適確に吐出することができ、この結果、高品位な画像を記録することができる。

（ａ）は、本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの要部の平面図、（ｂ）は、図１（ａ）のＩＢ−ＩＢ線に沿う断面図である。 図１のインクジェット記録ヘッドを適用可能なインクジェット記録ヘッドの構成例を説明するための概略斜視図である。 本発明の第２の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの要部の平面図である。 （ａ）は、図３のインクジェット記録ヘッドの配線部分の拡大図、（ｂ）は、図４（ａ）のＩＶＢ−ＩＶＢ線に沿う断面図である。 本発明の第３の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの要部の平面図である。 （ａ）は、従来例のインクジェット記録ヘッドを説明するための要部の平面図、（ｂ）は、図６（ａ）のＶＩＢ−ＶＩＢ線に沿う断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
（第１の実施形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッド要部の平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＩＢ−ＩＢ線に沿う断面図である。

基板２には、インクジェット記録ヘッド１内にインクを導入するためインク供給口４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）が複数形成されている。インク供給口４Ａ（第１供給口）は、供給口列Ｌｂ−１（第１の供給口列）に沿って配列され、インク供給口４Ｃ（第２供給口）は、供給口列Ｌｂ−２（第２の供給口列）に沿って配列されている。また、インク供給口４Ｂ（第３供給口）は、供給口列Ｌｃ（第３の供給口列）に沿って配列されている。これらの供給口列Ｌｂ−１，Ｌｃ，Ｌｂ−２は、図１（ａ）の左右方向（第１の方向）にずれて位置し、かつ、その第１の方向と交差（本例の場合は、直交）する第２の方向に延在する。また、インク供給口４Ａ，４Ｂ，４Ｃのそれぞれは、基板２と天板３との間に形成された共通液室５Ａ，５Ｂ，５Ｃに連通されている。共通液室５Ａ，５Ｂの間、および共通液室５Ｂ，５Ｃの間のそれぞれには、流路壁６によって複数のインク流路７が形成されている。天板３には、インク流路７のそれぞれに対応する吐出口８が形成されている。共通液室５Ａ，５Ｂの間のインク流路７に対応する吐出口（第１吐出口）８は、吐出口列（第１の吐出口列）Ｌａ−１に沿って配列されている。また、共通液室５Ｂ，５Ｃの間のインク流路７に対応する吐出口（第２吐出口）８は、吐出口列（第２の吐出口列）Ｌａ−２に沿って配列されている。吐出口８は、それぞれの吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２において同一のピッチＰで配列され、かつ、吐出口列Ｌａ−１の吐出口８と吐出口列Ｌａ−２の吐出口８は半ピッチＰ／２ずらされている。

基板２には、吐出口８のそれぞれに対応する電気熱変換素子（ヒータ）９が複数備えられている。また、基板２には、それらのヒータ９通電を制御するための駆動回路１１，１２が形成されている。駆動回路１１，１２とヒータ９とを接続する配線は、インク供給口４Ａの相互間に位置する基板２の梁部２Ａ、インク供給口４Ｂの相互間に位置する基板２の梁部２Ｂ、およびインク供給口４Ｃの相互間に位置する基板２の梁部２Ｃを通して形成することができる。

このように、本実施形態の記録ヘッド１には、２つの吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２と、３つの供給口列Ｌｂ−１，Ｌｃ，Ｌｂ−２が形成されている。なお、１０は円柱状のフィルターであり、共通液室５Ａ，５Ｂ，５Ｃとインク流路７との間に位置するように、基板２と天板３との間に形成されている。

インク供給口４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）内に供給されるインクは、共通液室５（５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）から、フィルター１０の間を通ってそれぞれのインク流路７内に導入され、それぞれの吐出口８においてインクのメニスカスを形成する。ヒータ９は、駆動回路１１，１２からの駆動パルスにより発熱し、その発熱によって、対応するインク流路７内のインクを発泡させることにより、対応する吐出口８からインクを吐出させる。吐出口８から吐出されたインクを記録媒体上に付与してインクドットを形成することにより、その記録媒体上に画像を記録することができる。このようなインクの吐出後、気泡の消泡に伴って、共通液室５（５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）から、それぞれのインク流路７内にインクが供給される。吐出口８とヒータ９との間に位置するインク流路７の部分は、インクの発泡を利用してインクを吐出させる圧力室として機能する。

本実施形態においては、以下のようにインク供給口４Ｂの形状が特定されている。以下、吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２によって挟まれる供給口列Ｌｃ上のインク供給口４Ｂを「内列供給口」ともいい、また出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２によって挟まれない供給口列Ｌｂ−１，Ｌｂ−２上のインク供給口４Ａ，４Ｃを「外列供給口」ともいう。

吐出口８の中心と、その吐出口８に隣接するインク供給口４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）と、の間の距離は、一定の距離ｄｘに設定されている。ｈｙ０は、供給口列Ｌｂ−１，Ｌｂ−２の延在方向における外列供給口４Ａ，４Ｃの寸法、ｈｘ０は、供給口列Ｌｂ−１，Ｌｂ−２と直交する方向における外列供給口４Ａ，４Ｃの寸法である。ｈｙｓは、供給口列Ｌｂ−１，Ｌｃ，Ｌｂ−２の延在方向における梁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃの寸法（幅）である。内列供給口４Ｂにおいて、吐出口列Ｌａ−１寄りの部分（第１部分）と吐出口列Ｌａ−２寄りの部分（第２部分）は、供給口列Ｌｃの延在方向の寸法がｈｃであり、それら部分の間に位置する部分（第３部分）は、供給口列Ｌｃの延在方向の寸法ｈｆである。寸法ｈｃは、寸法ｈｆよりも大きいつまり、吐出口列Ｌａ−１寄り（第１吐出口寄り）に位置する第１部分と、吐出口列Ｌａ−２寄り（第２吐出口寄り）に位置する第２部分の寸法ｈｃが大きく設定されている。ｗｃは、内列供給口４Ｂの寸法ｈｃの部分が供給口列Ｌｃと直交する方向において存在する領域の寸法であり、ｗｆは、内列供給口４Ｂの寸法ｈｆの部分が供給口列Ｌｃと直交する方向において存在する領域の寸法である。ｄｅｃは、吐出口列Ｌａ−１上の吐出口８の中心と、吐出口列Ｌａ−２列上の吐出口８の中心と、の間の吐出口列間距離である。

このような記録ヘッド１は、後述するように、シリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置において用いることができる。本例の場合、記録ヘッド１による主走査方向の記録解像度は１２００ｄｐｉであり、吐出口列間距離ｄｅｃは、１２００ｄｐｉに対応する２１μｍの整数倍の１６８μｍとなっている。また、距離ｄｘは５０μｍであり、インク供給口４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）の配列ピッチＰａは記録解像度３００ｄｐｉに対応する８５μｍである。外列供給口４Ａ，４ｂに関する寸法ｈｙ０，ｈｘ０は５０μｍ（ｈｙ０＝ｈｘ０＝５０μｍ）であり、それらの開口面積は、２５００μｍ²（＝５０×５０μｍ）である。インク供給口４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ）の配列ピッチＰａが３００ｄｐｉに対応する８５μｍであるため、梁部２Ａ，２Ｂ，２Ｃの寸法ｈｙｓは３５μｍ（＝８５−５０μｍ）となる。

ドライエッチングによって、基板２に、内列供給口４Ｂと外列供給口４Ａ，４Ｃを一括して高精度に形成するためには、内列供給口４Ｂの開口面積は、外列供給口４Ａ，４Ｃの開口面積とほぼ等しくするように約２５００μｍ²に設定する必要がある。内列供給口４Ｂの寸法ｈｘ１（ｗｃ＋ｗｆ＋ｗｃ）はｄｅｃ−２ｄｘであるため、ｈｘ１は６８μｍ（＝１６８−１００μｍ）となる。仮に、内列供給口４Ｂの開口形状を長方形として、つまりｈｃ＝ｈｆとして、その開口面積を約２５００μｍ²に設定しようとした場合には、内列供給口４Ｂの図１（ａ）中上下方向の寸法は、３８μｍ（≒２５００／６８μｍ）となる。その場合には、内列供給口４Ｂの相互間の梁部２Ｂの図１（ａ）中上下方向の寸法ｈｙｓ´は、４７μｍ（＝８５−３８μｍ）となり、梁部２Ａ，２Ｃの寸法ｈｙｓの３５μｍよりも大きくなる。そのため、梁部２Ｂが占める面積が増加し、その分、内列供給口４Ｂからインク流路７までの間のインクの流抵抗が増加し、特に、吐出口から連続的にインクを吐出した場合にインクの供給不足が生じるおそれがある。

そこで本例においては、内列供給口４Ｂに関する寸法をｈｃ＝５０μｍ、ｈｆ＝２０μｍ、ｗｃ＝１９μｍ、ｗｆ＝３０μｍとした。これにより、内列供給口４Ｂの開口面積を２５００μｍ²（＝（５０×１９）×２＋（２０×３０）μｍ²）に維持しつつ、内列供給口４Ｂにおける吐出口列側の寸法ｈｃを外列供給口４Ａ，４Ｃの寸法ｈｙ０と同じ５０μｍに設定することができる。この結果、内列供給口４Ｂの梁部２Ｂの近傍におけるインクの流抵抗は、外列供給口４Ａ，４Ｃの梁部２Ａ，２Ｃの近傍におけるインクの流抵抗と同程度に維持することが可能となる。この結果、それぞれの吐出口に対するインクの供給量を適切に維持し、インクをスムーズに供給して、高品位な画像を安定的に記録することができる。

（記録装置の構成例）
図２は、本例の記録ヘッド１を適用可能なシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置の構成例を説明するための斜視図である。

５０は、記録ヘッド１を搭載可能なキャリッジであり、ガイド軸５１によって、矢印Ａの主走査方向に往復移動可能にガイドされている。記録ヘッド１は、吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２の延在方向が主走査方向と交差（本例の場合は、直交）するように、キャリッジ５０に着脱可能に搭載される。本例の場合、４つの記録ヘッド１（１Ｙ，１Ｍ，１Ｃ，１Ｂ）が搭載されており、それぞれには、対応するインクタンク５２（５２Ｙ，５２Ｍ，５２Ｃ，５２Ｂ）からイエロー（Ｙ），マゼンタ（Ｍ），シアン（Ｃ）およびブラック（Ｂ）のインクが供給される。４つの記録ヘッド１は一体的に構成してもよく、あるいは、対応するインクタンク５２と共に個別のインクジェットカートリッジを構成するものであってもよい。記録ヘッド１（１Ｙ，１Ｍ，１Ｃ，１Ｂ）のそれぞれは、前述したように、複数のヒータ９を選択的に駆動することにより、対応する吐出口からインク（Ｙ，Ｍ，Ｃ，Ｋ）を吐出して記録媒体上にインクのドットを形成する。

キャリッジ５０には、プーリ５３，５４の間に掛け渡されたベルト５５が連結されており、キャリッジモータ５６によって駆動されるプーリ５３の回転方向に応じて、ベルト５５を介して、キャリッジ５０が主走査方向に往復移動される。記録媒体としての用紙Ｐは、主走査方向と交差（本例の場合は、直交）する矢印Ｂの副走査方向に間欠的に搬送される。すなわち、用紙Ｐは、上流側の一対のローラ５７，５８の間、および下流側の一対のローラ５９，６０の間に挟持されつつ、記録ヘッド１と対向する位置を通して副走査方向に搬送される。キャリッジ５０は、必要に応じて、回復処理機構６１が備わるホームポジションに移動する。回復処理機構６１は、記録ヘッド１におけるインクの吐出状態を良好に維持するためのキャップ６１Ａ、ブレード６１Ｂ、吸引ポンプ６１Ｃなどが備えられている。

画像を記録する際には、キャリッジ５０と共に記録ヘッド１を主走査方向に移動させつつ、記録ヘッド１からインクを吐出する記録動作と、用紙Ｐを副走査方向に所定量だけ搬送する搬送動作と、を繰り返す。記録ヘッド１における吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２上の吐出口８の配列ピッチは、副走査方向における画像の記録解像度に応じて設定される。また、吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２の間の距離ｄｅｃは、主走査方向における画像の記録解像度の整数倍に設定される。高画質な画像を記録する上においては、記録装置が扱う画像データの主走査方向における記録解像度の整数倍となるように、吐出口列Ｌａ−１，Ｌａ−２の間の距離ｄｅｃを設定することが必要となる。

このように本実施形態においては、複数の供給口列（Ｌｂ−１，Ｌｃ，Ｌｂ−２）に挟まれるように複数の吐出口列（Ｌａ−１，Ｌａ−２）を備える記録ヘッドにおいて、吐出口列間の距離（ｄｅｃ）を主走査方向における記録解像度の整数倍に設定する。しかも、その場合に、内列供給口４Ｂの寸法ｈｃを寸法ｈｆよりも大きくすることにより、その内列供給口４Ｂの幅（ｈｘ１）を小さくしつつ、インクの流抵抗を小さく抑えることができる。これらの結果、基板２のサイズを小さくして、高品位な画像を安定的に記録可能な記録ヘッドを構成することができる。

（第２の実施形態）
図３および図４は、本発明の第２の実施形態を説明するための図である。本実施形態の場合は、基板２を多層基板とし、駆動回路１１，１２とヒータ９との間の配線を基板２において多層化して、内列供給口４Ｂ間の梁部２Ｂにおける広い領域に、スルーホールＴＨを設ける。駆動回路１１は、図４（ａ）の左右方向（第２の方向）において供給口４Ａを挟む対の位置の一方であって、かつ供給口４Ｂと反対側における位置に形成されている。駆動回路１２は、図４（ａ）の左右方向において供給口４Ｃを挟む対の位置の一方であって、かつ供給口４Ｂと反対側における位置に形成されている。

吐出口列Ｌａ−１側のヒータ９の一端には第１配線２１が接続され、そのヒータ９の他端には第２配線２２が接続されており、これらの配線２１，２２は、図４（ｂ）のように、多層構造の基板２における同一の層内に形成されている。第１配線２１は、吐出口列Ｌａ−１側のヒータ９の一端から図４（ａ）中の左方に延在するように形成され、外列供給口４Ａの相互間の梁部２Ａを通って、ヒータ９の一端と駆動回路１１（第１駆動回路）の電源端子１１Ａとの間を接続する。第２配線２２は、吐出口列Ｌａ−１側のヒータ９の他端から図４（ａ）中の右方に延在するように形成され、その端部２２Ａは、内列供給口４Ｂの相互間の梁部２Ｂにおける寸法ｗｆの部分、つまり図４（ａ）中上下方向の幅が広い梁部２Ｂの部分に位置する。その寸法ｗｆの部分は、図４（ｂ）中上側の内列供給口４Ｂにおける中央部分（小さい寸法ｈｆの部分）と、同図中下側の内列供給口４Ｂにおける中央部分（小さい寸法ｈｆの部分）と、の間に位置する基板２の部分である。多層構造の基板２において、配線２１，２２と異なる層には第３配線２３が形成されている。第３配線２３は、その一端２３Ａが駆動回路１１の制御端子１１Ｂに接続され、その他端２３Ｂは、第２配線２２の端部２２Ａと対向し、かつスルーホール（第１スルーホール）ＴＨによって第２配線２２の端部２２Ａと接続されている。本例においては、第１および第２配線２１，２２が図４（ｂ）中の上側に形成され、第３配線２３が同図中の下側に形成されている。しかし、それら上下の配線部は上下逆に形成してもよい。図４（ａ）においては、説明の便宜上、第１および第２配線２１，２２と、第３配線２３と、をずらして表しているが、配線領域を狭くするために、それらを図４（ａ）において重ねるようにレイアウトしてもよい。

駆動回路１１において、電源端子１１Ａにヒータ９の駆動電源の一方に接続され、制御端子１１Ｂは駆動トランジスタを介して駆動電源の他方に接続されており、その駆動トランジスタがオンすることにより、ヒータ９の駆動電圧ＶＨが印加される。ヒータ９は、その駆動電圧ＶＨが印加されることにより発熱し、その熱エネルギーにより、前述したように吐出口８からインクを吐出される。

本例においては、基板２における１つの梁部２Ａと１つの梁部２Ｂに対して、隣接する２つのヒータ９のそれぞれに対する計２組の第１，第２，および第３配線２１，２２，２３が形成されている。それらのヒータ９は、個別の電源端子１１Ａと制御端子１１Ｂに接続されている。それらのヒータ９の第１配線２１は、それらの一部を共通化したり、それらを共通の電源端子１１Ａに接続してもよい。

このような駆動回路１１に対する吐出口列Ｌａ−１側のヒータ９の接続と同様に、吐出口列Ｌａ−２側のヒータ９は、配線２１，２２，２３およびスルーホール（第２スルーホール）ＴＨを介して駆動回路１２（第２駆動回路）に接続される。図３においては、吐出口列Ｌａ−１側の２つのヒータ９に対する配線のみを示す。

本実施形態において、配線に対して比較的大きいスルーホールＴＨは、内列供給口４Ｂの相互間の梁部２Ｂにおける寸法Ｗｆの部分、つまり図４（ａ）中上下方向の幅が広い梁部２Ｂの部分に位置する。したがって、その広い部分をスルーホールＴＨの形成スペースとして確保することができる。内列供給口４Ｂに関しては、スルーホールＴＨを形成する梁部２Ｂの位置に対応する領域ｗｆのみを小さい寸法ｈｆとし、その他の領域ｗｃは大きい寸法ｈｃとすることができる。このことにより、スルーホールＴＨの形成スペースを確保しつつ、インクの流抵抗を小さく抑えることができる。これらの結果、多層構造の基板２にスルーホールＴＨをスペース的に効率よく形成して、基板２のサイズの大型化を招くことなく、高品位な画像を安定的に記録可能な記録ヘッドを構成することができる。

仮に、内列供給口４Ｂにおける図４（ａ）中上下方向の寸法を部分的に小さくしなかった場合には、スルーホールＴＨの形成スペースを確保するために、梁部２Ｂの幅ｈｙｓが多くする必要がある。そのため、内列供給口４Ｂから圧力室までの間の流抵抗は、外列供給口４Ａ，４Ｃから圧力室までの流抵抗よりも大きくなり、特に、梁部２Ｂの近傍から圧力室へ流入するインクの流抵抗が大きくなってしまう。この結果、インクの供給不良が発生し、記録画像に乱れが生じるおそれがある。

また、本実施例で説明した上述の構成は吐出口列が２列と供給口列が３列の構成であるが、更に吐出口列数と供給口列が多い構成の場合でも本実施例の構成が適用可能である。例えば吐出口列数が４列、供給口列が５列の構成では中央の供給口列の梁部に中央の供給口列の左右の吐出口列２列分の合計８個のヒータの配線のスルーホールを配置することにより同様の効果を得ることが可能となる。

（第３の実施形態）
図５は、本発明の第３の実施形態を説明するための図である。本実施形態においては、内列供給口４Ｂは、外列供給口４Ａ寄り（第１供給口寄り）に位置する供給口４Ｂ−１と、外列供給口４Ｃ寄り（第２供給口寄り）に位置する供給口４Ｂ−２と、を形成する。これらの供給口４Ｂ−１，４Ｂ−２は開口形状がＬ字状であり、互いに点対称に形成されており、それらの間に位置する梁部２Ｄに複数のスルーホールＴＨが形成されている。これらのスルーホールＴＨは、前述した第２の実施形態と同様に、多層構造の基板２にヒータ９の駆動回路を形成するために用いられる。供給口４Ｂ−１，４Ｂ−２のそれぞれの面積は、外列供給口４Ａ，４Ｃの開口面積とほぼ同一である。

本実施形態においては、スルーホールＴＨの形成スペースを確保しつつ、供給口４Ｂ−１，４Ｂ−２の寸法ｈｃの部分を大きくして、インクの供給性をさらに向上させることができる。

１ インクジェット記録ヘッド
２ 基板
３ 天板
４（４Ａ，４Ｂ，４Ｃ） 供給口
７ インク流路
８ 吐出口
９ 電気熱変換素子（ヒータ）
Ｌａ−１，Ｌａ−２ 吐出口列
Ｌｂ−１，Ｌｂ−２，Ｌｂ−３ 供給口列

Claims (5)

1. インクを吐出する吐出口を備える部材と、
   インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する電気熱変換素子と、前記電気熱変換素子にインクを供給するための供給口と、を備える基板と、
   前記部材と前記基板との間に形成される、前記供給口から前記電気熱変換素子にインクを供給するための流路と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記供給口は、第１の方向にずれて位置する第１および第２供給口と、前記第１の方向における前記第１供給口と前記第２供給口との間に位置する第３供給口と、を含み、
   前記第１、第２および第３供給口は、それぞれ、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿う第１、第２および第３の供給口列を形成するように複数形成され、
   前記吐出口は、前記第１の方向における前記第１供給口と前記第３供給口との間に位置する第１吐出口と、前記第１の方向における前記第２供給口と前記第３供給口との間に位置する第２吐出口と、を含み、
   前記第１および第２吐出口は、それぞれ、前記第２の方向に沿う第１および第２の吐出口列を形成するように複数形成され、
   前記電気熱変換素子は、前記第１および第２の吐出口列に沿って複数備えられ、
   前記第３供給口は、前記第１の方向において前記第１吐出口寄りに位置する第１部分と、前記第１の方向において前記第２吐出口寄りに位置する第２部分と、前記第１部分と前記第２部分との間に位置する第３部分と、を含み、
   前記第１および第２部分は、前記第１の方向と交差する第２の方向における寸法が前記第３部分よりも大きく、
   前記基板には、前記電気熱変換素子を駆動するための多層配線である第１および第２配線層が形成されており、前記第２の方向に隣接する前記第３供給口の前記第３部分同士の間には、前記第１および第２配線層を接続するスルーホールが設けられていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記第２の方向において前記第１供給口を挟む対の位置の一方であって、前記第３供給口と反対側における前記基板の位置に、前記第１の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子を駆動するための第１駆動回路が形成され、
   前記第２の方向において前記第２供給口を挟む対の位置の一方であって、前記第３供給口と反対側における前記基板の位置に、前記第２の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子を駆動するための第２駆動回路が形成される
   ことを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記基板に、前記第１の方向に隣接する前記第１供給口の相互間に位置する部分を通って、前記第１の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子と、前記第１駆動回路と、を接続するための第１配線を形成し、
   前記基板に、前記第１の方向に隣接する前記第２供給口の相互間に位置する部分を通って、前記第２の吐出口列に沿って位置する電気熱変換素子と、前記第２駆動回路と、を接続するための第２配線を形成する
   ことを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 前記第３供給口は、前記第１の方向にずれて位置する２つの供給口に分けて形成され、 前記２つの供給口の一方は、前記第１部分と前記第３部分とを含み、
   前記２つの供給口の他方は、前記第２部分と前記第３部分とを含む
   ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 請求項１から４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッドを搭載可能なキャリッジと、
   前記キャリッジを前記第１の方向に移動させる移動手段と、
   前記第２の方向に記録媒体を搬送する搬送手段と、
   前記前記第１、第２および第３供給口にインクを供給する供給手段と、
   前記電気熱変換素子を駆動する駆動手段と、
   を備えることを特徴とするインクジェット記録装置。

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