JP5679665B2 - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、電気熱変換素子の発熱を利用して、圧力室（加熱部）内のインクを吐出口から吐出可能なインクジェット記録ヘッドに関するものである。

特許文献１には、１つの吐出口に対して、２つのインク供給口が備えたインクジェット記録ヘッドが記載されており、それらのインク供給口を通して圧力室（加熱部）内に供給されたインクは、電気熱変換素子の発熱を利用して吐出口から吐出される。それらのインク供給口は、圧力室内への異物の侵入を抑制するために、吐出口よりも小さく形成されている。

しかし、吐出口よりも小さいインク供給口は、圧力室内への異物の侵入は抑制できるものの、そのインク供給口を通してインク吐出後の圧力室内にインクを再充填（以下、「リフィル」ともいう）する際に、インクの流抵抗を大きくしてしまう。そのため、インクの吐出周波数を高くすることができず、スループットを高めることができなかった。

特開２００１−７１５０２号公報

本発明の目的は、インクの吐出周波数を高めてスループットを向上させることができると共に、複数の圧力室（加熱部）間におけるインク吐出時の圧力の影響を軽減して、高品位の画像を高速記録可能なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。

本発明のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口が第１の方向に配列されてなる吐出口列が形成されるオリフィスプレートと、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が前記第１の方向に配列されてなる素子列と、前記素子にインクを供給するための供給口が前記第１の方向に配列されてなる供給口列と、が形成される面を備える基板と、を備えるインクジェット記録ヘッドであって、前記供給口の面積は前記吐出口の面積より大きく、前記素子と前記供給口とは前記第１の方向に関して交互に配されており、前記第1の方向に関して隣接する２つの前記供給口は、当該２つの供給口の間に配される前記素子にインクを供給可能であり、前記供給口の、前記第１の方向と直交する第２の方向に関する長さは、前記素子の前記第２の方向に関する長さよりも大きいことを特徴とする。

本発明によれば、圧力室内にインクをリフィルする際の流抵抗を小さくすることができる。その結果、インクの吐出周波数を高めて、スループットを向上させることがでる。しかも、そのように開口寸法が設定された供給口を圧力室の配列方向に沿って複数配列して、その配列方向において圧力室と供給口を隣接させることにより、圧力室内の圧力を供給口にて効果的に吸収して、複数の圧力室間の所謂クロストークを軽減することができる。これらの結果、高品位の画像を高速記録することが可能となる。

本発明の第１の実施形態における記録ヘッドの要部の平面図である。 図１における１つのノズル列の要部の拡大図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。 本発明の第２の実施形態におけるノズル列の要部の拡大図である。 図５のＶＩ−ＶＩ線に沿う断面図である。 本発明の第３の実施形態におけるノズル列の要部の拡大図である。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。 本発明の第４の実施形態におけるノズル列の要部の一例の拡大図である。 本発明の第４の実施形態におけるノズル列の要部の他の例の拡大図である。 本発明の第４の実施形態におけるノズル列の要部のさらに他の拡大図である。 本発明の第５の実施形態におけるノズル列の要部の一例の拡大図である。 本発明の第５の実施形態におけるノズル列の要部の他の例の拡大図である。 本発明の第６の実施形態におけるノズル列の要部の一例の拡大図である。 本発明の第６の実施形態におけるノズル列の要部の他の例の拡大図である。 本発明の第７の実施形態におけるノズル列の要部の一例の拡大図である。 本発明の第７の実施形態におけるノズル列の要部の他の例の拡大図である。 本発明を適用可能なインクジェット記録装置の概略斜視図である。 図１８のインクジェット記録装置に装着可能なヘッドカートリッジを下方から視た斜視図である。 図１８のヘッドカートリッジを上方から視た分解斜視図である。

以下、本発明の実施形態の説明に先立ち、本発明のインクジェット記録ヘッドを適用可能なインクジェット記録装置の構成例について説明する。

（インクジェット記録装置の構成例）
図１８は、本発明のインクジェット記録ヘッドを適用可能なインクジェット記録装置の機械的な構成部分の外観斜視図であり、図１９は、このインクジェット記録装置に用いられるヘッドカートリッジの外観斜視図である。さらに図２０は、そのヘッドカートリッジに装着可能なインクタンクの外観斜視図である。

本例におけるインクジェット記録装置のシャシー１０は、所定の剛性を有する複数の板状金属部材により構成されていて、このインクジェット記録装置の骨格をなす。シャシー１０には、媒体給送部１１、媒体搬送部１３、記録部、およびヘッド回復部１４が組み付けられている。媒体給送部１１は、紙などのシート状の記録媒体（不図示）をインクジェット記録装置の内部へと自動的に給送する。媒体搬送部１３は、この媒体給送部１１から１枚ずつ給送される記録媒体を矢印Ｂの副走査方向に沿って所望の記録位置へ導くと共に、この記録位置から媒体排出部１２へと記録媒体を導く。記録部は、記録位置に搬送された記録媒体に所定の記録動作を行い、ヘッド回復部１４は、この記録部に対する回復処理を行う。

記録部は、キャリッジ軸１５に沿って矢印Ａの主走査方向に移動可能に支持されたキャリッジ１６と、このキャリッジ１６にヘッドセットレバー１７を介して着脱可能に搭載されるヘッドカートリッジ１８（図２０参照）と、を含む。主走査方向は副走査方向と交差（本例においては、直交）している。

ヘッドカートリッジ１８が搭載されるキャリッジ１６には、キャリッジカバー２０とヘッドセットレバー１７とが設けられている。キャリッジカバー２０は、ヘッドカートリッジ１８における記録ヘッド１９をキャリッジ１６上の所定の装着位置に位置決めするためのものである。ヘッドセットレバー１７は、記録ヘッド１９を所定の装着位置に位置決めするように、記録ヘッド１９と一体のタンクホルダ２１と係合する。記録ヘッド１９に対するキャリッジ１６の別の係合部には、コンタクトフレキシブル記録ケーブル（以下、「コンタクトＦＰＣ」ともいう）２２の一端部が連結されている。このコンタクトＦＰＣ２２の一端部に形成された図示しないコンタクト部と、記録ヘッド１９に設けられた外部信号入力端子であるコンタクト部２３と、が電気的に接触する。これにより、記録のための各種情報の授受、および記録ヘッド１９への電力の供給などが行なわれる。

コンタクトＦＰＣ２２のコンタクト部とキャリッジ１６との間には、図示しないゴムなどの弾性部材が設けられている。この弾性部材の弾性力とヘッドセットプレートによる押圧力とによって、コンタクトＦＰＣ２２のコンタクト部と記録ヘッド１９のコンタクト部２３とが確実に接触する。コンタクトＦＰＣ２２の他端部は、キャリッジ１６の背面に搭載された図示しないキャリッジ基板に接続されている。

本例におけるヘッドカートリッジ１８は、インクを貯留するインクタンク２４と、このインクタンク２４から供給されるインクを記録情報に応じて吐出口から吐出可能な記録ヘッド１９と、を含む。本例の記録ヘッド１９は、キャリッジ１６に対して着脱可能に搭載される、いわゆるカートリッジ方式の記録ヘッドである。また、本例においては、写真調の高画質なカラー画像の記録を可能とするために、黒色，淡シアン色，淡マゼンタ色，シアン色，マゼンタ色，および黄色のインクが個別に収容する６個のインクタンク２４の使用が可能である。各インクタンク２４には、タンクホルダ２１に対して係止し可能な弾性の取り外し用レバー２６が設けられている。この取り外し用レバー２６を操作することにより、図２０に示すように、各インクタンク２４がタンクホルダ２１から取り外し可能となっている。記録ヘッド１９は、電気配線基板２８とタンクホルダ２１とを含む。

（第１の実施形態）
図１から図４は、本発明の第１の実施形態におけるインクジェット記録ヘッドの説明図である。

本例の記録ヘッド１９には、図１のように、ノズル列群Ｃ１，Ｍ１，Ｙ，Ｍ２，Ｃ２が形成されている。ノズル列群Ｃ１およびＣ２はシアンインク吐出用のノズル列群であり、それぞれ２つずつのノズル列Ｌａ，ＬｂおよびＬｉ，Ｌｊを含む。ノズル列群Ｍ１およびＭ２はマゼンタインク吐出用のノズル列群であり、それぞれ２つずつのノズル列Ｌｃ，ＬｄおよびＬｇ，Ｌｈを含む。ノズル列群Ｙは、イエローインク吐出用のノズル列群であり、２つのノズル列Ｌｅ，Ｌｆを含む。

図２は、ノズル列Ｌｄを代表的に拡大した図であり、図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図、図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿う断面図である。これらの図において、１は支持部材、２は基板、３はオリフィスプレート３であり、これらは記録ヘッド１９における全てのノズル列に対して共通化させることができる。図１および図２は、オリフィスプレート３を除いたときの平面図である。

支持部材１と基板２との間には、ノズル列群毎に対応する複数の共通液室４が形成されており、それらの共通液室４には、対応するインクタンクからインクが供給される。共通液室４内のインクは、基板２を貫通する複数の供給口２Ａを通して、基板２とオリフィスプレート３との間の液室５内に供給される。複数の供給口２Ａは、それぞれのノズル列に沿って配列されている。基板２には、それぞれのノズル列に沿って配列された複数の電気熱変換素子（ヒータ）６が備えられており、それらの電気熱変換素子６と対向するオリフィスプレート３の位置には吐出口７が形成されている。供給口２Ａは、エッチング等により基板２に形成することができる。例えば、ウェットエッチングで共通液室部４を形成し、その後に、ドライエッチングで供給口２Aを形成することが好ましい。

吐出口列群Ｍ１において、ノズル列Ｌｃ，Ｌｄのそれぞれには複数のヒータ６および吐出口７が所定のピッチＰで配列されている。さらに、ノズル列Ｌｃのヒータ６および吐出口７と、ノズル列Ｌｄのヒータ６および吐出口７は、半ピッチ（Ｐ／２）ずつずらされている。したがって、ノズル列Ｌｃ，Ｌｄのそれぞれにおける吐出口７のピッチＰの２倍の解像度で画像を記録することができる。ノズル列Ｌｃ，Ｌｄのそれぞれにおいて、複数の供給口２Ａは、ヒータ６および吐出口７と同じピッチＰで配列されていて、隣接するヒータ６の間に位置している。このように、複数の供給口２Ａはノズル列Ｌｃ，Ｌｄに沿って配列されている。換言すれば、それぞれのノズル列Ｌｃ，Ｌｄは、矢印Ｙ方向に沿ってヒータ６と供給口２Ａを交互に含む。他の吐出口列群Ｃ１，Ｙ，Ｍ２，Ｃ２についても同様である。

記録ヘッド１９においては、イエローインク吐出用のノズル列群Ｙを中心として、図１中の左右に、シアンインク吐出用のノズル列群Ｃ１またはＣ２と、マゼンタインク吐出用のノズル列群Ｍ１またはＭ２と、が位置する。このような記録ヘッドは、いわゆる双方向記録に対応するものである。すなわち、記録ヘッドの往方向および復方向（矢印Ａ１，Ａ２方向）の移動時にイエロー、シアン、およびマゼンタのインクを同じ順序で吐出させることにより、双方向記録においても色ムラが軽減された高品位の画像を記録することができる。ノズル列群Ｃ１とＣ２の間において、それらのヒータ６と吐出口７はピッチＰの１／４（Ｐ／４）ずつずれている。同様に、ノズル列群Ｍ１とＭ２の間において、それらのヒータ６と吐出口７はピッチＰの１／４（Ｐ／４）ずつずれている。

ヒータ６および吐出口７との間における液室５の部分は圧力室（加熱部）Ｒとなっており、その圧力室Ｒに対しては、主に、それに隣接する図２中の上下に形成される供給口２Ａを通して共通液室４内のインクが供給される。圧力室Ｒの周囲にはノズルフィルター８が備えられている。本例のノズルフィルター８は、基板２とオリフィスプレート３との間に位置する複数の柱状体によって形成されている。それらの柱状体の隙間（ノズルフィルターの開口寸法、具体的には、隣接する柱状体の間隔）は、吐出口７の内径よりも小さく、好ましくは、それぞれの吐出口の内径が異なる場合には吐出口の最小内径よりも小さい。これにより、吐出口７よりも大きい異物の圧力室７内への進入が防止される。本実施形態においては、圧力室Ｒと供給口２Ａとの間には、ノズルフィルター８が設けられているだけであり、流路壁は設けられていない。

複数の圧力室Ｒの配列方向（吐出口の配列方向）をＹ方向、そのＹ方向と直交する方向をＸ方向とした場合、供給口２ＡのＹ方向の開口寸法Ｗｙは吐出口７の内径よりも大きい。また、供給口２ＡのＸ方向の開口寸法Ｗｘは、ヒータ６のＸ方向の長さＨｘよりも大きい。また、圧力室Ｒから、Ｙ方向に隣接する複数の供給口２Ａの方向へのインクの流抵抗（Ｙ方向流抵抗）は、圧力室ＲからＸ方向へのインクの流抵抗（Ｘ方向流抵抗）よりも小さく設定されている。

このような構成の記録ヘッド１９は、記録データに基づいてヒータ６を発熱させ、その熱エネルギーによって圧力室Ｒ内のインクを発泡させることにより、その発泡エネルギーを利用して圧力室Ｒ内のインクを吐出口７から吐出させることができる。インク吐出後の圧力室Ｒ内には、供給口２Ａを通して共通液室４内のインクがリフィル（再充填）される。このような記録ヘッド１９を図１８から図２０のようなシリアルスキャン方式のインクジェット記録装置に用いた場合には、次のようにして画像を記録することができる。すなわち、記録ヘッド１９を主走査方向に移動させつつ、その吐出口７からインクを吐出させる動作と、記録媒体を副走査方向に搬送する動作と、を繰り返すことにより、記録媒体上に画像を記録することができる。

圧力室Ｒに対しては、それに隣接する図２中の上下に形成される２つの供給口２Ａから、インクをスムーズにリフィルすることができる。しかも、圧力室Ｒと供給口２Ａとの間には流路壁を設けずにノズルフィルター８だけを設け、また供給口２Ａの開口寸法Ｗｙは吐出口７の内径よりも大きくしているため、供給口２Ａから圧力室Ｒへのインクの供給量を大きく確保することができる。したがって、圧力室Ｒ内に供給されるインクの流抵抗を小さくして、インクのリフィル周波数を高めることができ、その結果、インクの吐出周波数を高めて、スループットを向上させることができる。さらに、本実施形態のように、ノズル列群を２つのノズル列によって構成した場合には、圧力室Ｒと図１中の上下に隣接する２つの供給口２Ａに加えて、同図中の右方または左方に隣接する供給口２Ａからも、圧力室Ｒ内にインクをリフィルすることができる。したがって、より一層、インクの吐出周波数を高めてスループットを向上させることができる。

また、供給口２ＡのＸ方向の開口寸法Ｗｘをヒータ６のＸ方向の長さＨｘよりも大きくしたことにより、インクをよりスムーズに供給することができる。すなわち、ヒータ６上のインクの発泡を利用して圧力室Ｒ内のインクを吐出させた後、そのヒータ６よりもＸ方向の幅が大きい供給口２Ａから、ヒータ６上にインクをよりスムーズに供給することができる。しかも、圧力室Ｒから、それに隣接する供給口２Ａの方向へのインクのＹ方向流抵抗は、圧力室ＲからＸ方向へのインクのＸ方向流抵抗よりも小さいため、インクを吐出させるためにヒータ６上に発生した気泡の圧力は、Ｙ方向の供給口２Ａに効率的に吸収される。したがって、ノズル列方向において隣接する圧力室Ｒの間において、インクの発泡の圧力が相互に作用し合う、いわゆるクロストークを軽減することができる。さらに、本実施形態のように、ノズル列群を２つのノズル列によって構成した場合には、圧力室Ｒと図１中の上下に隣接する２つの供給口２Ａに加えて、同図中の右方または左方に隣接する供給口２Ａによっても、圧力室Ｒ内の気泡の圧力を吸収することができる。したがって、Ｘ方向において隣接する圧力室Ｒの間のみならず、Ｙ方向において隣接する圧力室Ｒの間におけるクロストークをも軽減することができる。また、上述したように供給口２ＡのＸ方向の開口寸法Ｗｘをヒータ６のＸ方向の長さＨｘよりも大きくしたことにより、インク吐出時の圧力を確実に供給口２Ａで吸収することができるのでクロストーク軽減に好ましい。さらに、供給口２ＡのＹ方向の開口寸法Ｗｙを、供給口２ＡのＸ方向に隣接するヒータ６のＹ方向の長さＨｙよりも大きくしたことにより、同様にクロストークを軽減させることが可能となる。これらの結果、一般的に相反するインクのリフィルの向上とクロストークの軽減とを両立させることが可能となる。

また、供給口２Ａからの入ったゴミなどの異物は、ノズルフィルター８によって圧力室Ｒ内への侵入が防止されるため、インクの適正な吐出状態が安定的に保たれる。また、ノズル列方向において隣接する圧力室Ｒの間に供給口２Ａが位置するため、供給口２Ａは、それらの隣接する圧力室Ｒによって共有されることなる。そのため、１つの圧力室毎に複数の供給口を個別に備える場合に比して、基板２を小さくすることができ、この結果、記録ヘッドの小型化を図ることもできる。

このように、インクの吐出周波数を高めてスループットを向上させ、かつ圧力室内の圧力を供給口にて効率よく吸収して、圧力室間のクロストークを防止することにより、高品位の画像を高速記録することができる。しかも、図１のように、ノズル列群を２つのノズル列によって構成することにより、高解像度の画像を双方向記録することができる。

（第２の実施形態）
図５および図６は、本発明の第２の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

本例において、基板２とオリフィスプレート３との間の液室５の高さｍｈは、吐出口７の内径よりも小さくなっており、また第１の実施形態におけるノズルフィルター８は設けられていない。液室５の高さｍｈが吐出口７の内径よりも小さいため、吐出口７よりも大きい異物は液室５に入らず、圧力室７内への異物の進入が防止される。液室５は、高さｍｈが低いものの、流路壁およびノズルフィルターが設けられていないため、インクの流抵抗もあまり大きくならず、第１の実施形態と同様に、インクの高いリフィル周波数を維持することができる。

（第３の実施形態）
図７および図８は、本発明の第３の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

本例においては、圧力室ＲをＸ方向において挟む液室５内の位置に、対の流路壁９を設けている。それらの流路壁９はＹ方向に平行であり、Ｘ方向における間隔は、供給口２ＡのＸ方向の寸法Ｗｘと同じ程度である。流路壁９は、ヒータ６から充分に離れた位置にあるため、インクのＹ方向流抵抗をあまり大きくせずに、Ｘ方向流抵抗を極めて大きくすることが可能となる。この結果、前述した実施形態と同様に、高いリフィル周波数を維持しながら、更に効果的に圧力室Ｒ間のクロストークを低減することができる。

（第４の実施形態）
図９から図１１は、本発明の第４の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

本例において、まず図９には短列のノズル列を示す。図９において、ノズル列の両側には、ノズル列方向へ延在する流路壁９が設けられる。本実施形態のように、ノズル列に沿って連続して形成されるノズル壁９により、先の実施形態よりもさらにクロストークの影響を軽減させることができる。

また、図１０に示すようにノズル列を隣接して複数並置し、ノズル列の間にノズル壁９を設けることで、隣接するノズル列間におけるクロストークの影響を軽減することができる。また、ノズル並び方向全域にわたってオリフィスプレート３が流路壁９に支持されているので、オリフィスプレート３の強度が向上する。それにより、オリフィスプレート３は、例えば、その製造に際してウエハからヘッド基板を切り出すときにヘッド基板にかける洗浄水の圧力によって損傷し難くなる。また、オリフィスプレート３は、記録時にヘッド表面に作用するワイピングブレードからの接触圧や、記録媒体がヘッド表面にぶつかったときに受ける衝撃力などによっても損傷し難くなる。また、流路壁９の基板への接着面積が大幅に増えるので流路壁９が基板から剥がれ難くなり好ましい。

さらに、図１１では、隣接ノズル列の外側に形成される流路壁９ａの幅Ｎｗａ，Ｎｗｃをノズル列間の流路壁９ｂの幅Ｎｗｂと同じにしている。これによって、製造時に流路壁９ａ、９ｂの内部に蓄積される応力が等しくなるので、オリフィスプレート３にほぼ均等に応力が加わり、吐出口７近傍の形状が安定する。それにより精度の高い吐出口が形成できるので、吐出液滴の方向が安定し、高画質の印字を安定して形成することが可能となる。

（第５の実施形態）
図１２および図１３は、本発明の第５の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

図１２は短列のノズル列の例を示す。図１２において、ノズル列に沿って連続的な流路壁９が設けられており、さらに、圧力室Ｒ間にも供給口２Ａ上を跨ぐように流路壁９Ｃが矢印Ｘ方向に設けられている。本構成によればリフィル性能を阻害することなく、同一のノズル列内の隣接する圧力室Ｒ間のクロストークを更に効果的に抑えることが可能となる。また、オリフィスプレート３が同一のノズル列内の隣接する圧力室Ｒ間の流路壁９Ｃによっても支持されることになるのでオリフィスプレート３の強度が更に向上する。図１３に示すように複数のノズル列からなるヘッドにおいても同様に適用可能である。また、流路壁は、少なくとも１つの供給口上に設けることができる。

（第６の実施形態）
図１４および図１５は、本発明の第６の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

図１４は、供給口２Ａの間に位置する２個のヒータ（６ａ、６ｂ）と２個の吐出口（７ａ，７ｂ）を示す。これらは、矢印Ｙ方向に配列されたヒータと吐出口の組と、１つの供給口と、が矢印Ｘ方向において交互となるように、第５の実施形態に対して設けられている。ヒータ６ａと吐出口７ａとの組み合わせと、ヒータ６ｂと吐出口７ｂとの組み合わせと、の間に流路壁９ｄが設けられている。これによって、ヒータ６ａとヒータ６ｂとの間のクロストークを効果的に抑えながら、同一の供給口２Ａを共有することが可能となる。その結果、良好な吐出状態を維持しながら基板のサイズを小さく抑えながらノズル列数を２倍にすることが可能となり、低コストで高性能なヘッドの提供が可能となる点で好ましい。

図１５は、複数の供給口の間の位置する４個のヒータ（６ａ，６ｂ，６ｂ，６ｄ）と４個の吐出口（７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ）を設けた構成を示し、矢印Ｙ方向に延在する４個のヒータと４個の吐出口の列と、１つの供給口と、が矢印Ｘ方向において交互に位置する。ヒータ６ａと吐出口７ａの組み合わせと、ヒータ６ｂと吐出口７ｂの組み合わせと、の間に流路壁９ｄ１ａが設けられ、ヒータ６ｂと吐出口７ｂの組み合わせと、ヒータ６ｃと吐出口７ｃの組み合わせと、の間に流路壁９ｄ１２が設けられている。また、ヒータ６ｃと吐出口７ｃの組み合わせと、ヒータ６ｄと吐出口７ｄの組み合わせと、の間に流路壁９ｄ３ｃが設けられている。これによって更に基板サイズを抑えつつ、ノズル列数を４倍にできるので更にコストパフォーマンスの良い高性能なヘッドの提供が可能となる。本実施形態においては、供給口の間に位置するヒートと吐出口の２組または４組について説明したが、本発明はこれらの構成に特定されない。矢印Ｙ方向（所定方向）に沿って、１つ以上の圧力室が吐出口と交互に配列されればよい。

（第７の実施形態）
図１６および図１７は、本発明の第７の実施形態を説明するための図であり、前述した実施形態と同様の部分については、同一符号を付して説明を省略する。

本実施形態においては、第６の実施形態に対し、流路壁９ｄ、９ｄ１、９ｄ２、９ｄ３を流路壁９ｃと連結した点が異なる。これによって、同一の供給口２Ａ間の複数のヒータ間におけるクロストークを更に低減することが可能となるので更に吐出が安定化し、高性能で高い信頼性を有するヘッドの提供が可能となる。

（他の実施形態）
本発明のインクジェット記録ヘッドは、供給口を通してインクが供給される圧力室が所定の配列方向に沿って複数配列され、それぞれの圧力室は、内部のインクを電気熱変換素子の熱エネルギーを利用して吐出口から吐出可能であればよい。したがって、本発明は、このような構成のインクジェット記録ヘッドに対して、広く適用することができる。例えば、前述したようなシリアルスキャンタイプのインクジェット記録装置に用いられる記録ヘッドの他、いわゆるフルラインタイプのインクジェット記録ヘッドに用いられる記録ヘッドに対しても適用可能である。

供給口は、圧力室の配列方向において圧力室と隣接するように、その配列方向に沿って複数配列され、かつ、その配列方向と直交する方向における開口寸法は、それと同じ方向における電気熱変換素子の長さよりも大きければよい。したがって、供給口や電気熱変換素子の形状は、上述した実施形態のみに特定されない。

また、圧力室から、隣接する供給口に向かうインクの流抵抗は、圧力室から、その配列方向と直交する方向に向かうインクの流抵抗よりも小さくすることにより、圧力室内の圧力を供給口にて効率よく吸収することができる。また、圧力室の配列方向における供給口の開口寸法は、吐出口の内径よりも大きくすることにより、供給部を大きく形成して、より効率よく圧力を吸収することができる。また、図１のように、圧力室と供給口とを圧力室の配列方向と直交する方向に隣接して配することにより、圧力室内の圧力は、その圧力室と隣接する供給口においても吸収することができる。

また、複数の圧力室は、同一の基板上に位置させて互いに流体的に連通させてもよく、複数の供給口は、その基板の下方（電気熱変換素子が形成された面の裏面側）に位置する共通液室内のインクを圧力室に供給するように、基板を貫通させてもよい。このような基板の共通化により、構成の簡素化および小型化を図ることができる。

また、供給口と圧力室との間に、吐出口の内径つまり最小内径よりも小さい開口を形成する狭窄部（絞り部）を位置させることにより、吐出口よりも大きなゴミなどの異物の圧力室内への侵入を防止することができる。その狭窄部は、前述した実施形態のようなノズルフィルターとすることができる。また、基板と、吐出口が形成されたオリフィスプレートと、の間に圧力室を形成し、それらの基板とオリフィスプレートとの間の間隔を吐出口の内径よりも小さくしてもよい。このような構成によっても、吐出口よりも大きなゴミなどの異物の圧力室内への侵入を防止することができる。

１ 支持部材
２ 基板
２Ａ 供給口
３ オリフィスプレート
４ 共通液室
５ 液室
６ 電気熱変換素子（ヒータ）
７ 吐出口
８ ノズルフィルター
９ 流路壁
Ｒ 圧力室（加熱部）

Claims (11)

1. インクを吐出する吐出口が第１の方向に配列されてなる吐出口列が形成されるオリフィスプレートと、
   インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生する素子が前記第１の方向に配列されてなる素子列と、前記素子にインクを供給するための供給口が前記第１の方向に配列されてなる供給口列と、が形成される面を備える基板と、
   を備えるインクジェット記録ヘッドであって、
   前記供給口の面積は前記吐出口の面積より大きく、
   前記素子と前記供給口とは前記第１の方向に関して交互に配されており、前記第1の方向に関して隣接する２つの前記供給口は、当該２つの供給口の間に配される前記素子にインクを供給可能であり、
   前記供給口の、前記第１の方向と直交する第２の方向に関する長さは、前記素子の前記第２の方向に関する長さよりも大きいことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 前記素子と前記供給口とは前記第１の方向に関して直線上に配されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 前記素子と前記供給口とが交互に配される列が、前記第２方向に複数形成されることを特徴とする請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 複数の前記列は前記第２の方向に並列して形成されており、前記列の間には流路壁が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 前記流路壁は前記列に沿って連続して形成されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 前記列は前記第２の方向に並列して形成されており、前記素子の、隣接する前記列側には流路壁が形成されていることを特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 前記流路壁は前記列に沿って複数形成されていることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 前記素子に隣接する複数の供給口のうち、少なくとも一方の供給口から前記素子にインクを供給することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
9. 隣接する前記列における前記素子は、前記第１の方向にオフセットしていることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
10. 前記第１の方向に隣接する前記素子の間には、流路壁が形成されていることを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
11. 前記流路壁は前記第２の方向に延在していることを特徴とする請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッド。

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