CN1216277C - 静电电容式传感器 - Google Patents

静电电容式传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN1216277C
CN1216277C CN01823027XA CN01823027A CN1216277C CN 1216277 C CN1216277 C CN 1216277C CN 01823027X A CN01823027X A CN 01823027XA CN 01823027 A CN01823027 A CN 01823027A CN 1216277 C CN1216277 C CN 1216277C
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
mentioned
type sensor
capacity type
static capacity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN01823027XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN1492994A (zh
Inventor
森本英夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitta Corp
Original Assignee
Nitta Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitta Corp filed Critical Nitta Corp
Publication of CN1492994A publication Critical patent/CN1492994A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1216277C publication Critical patent/CN1216277C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/22—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring the force applied to control members, e.g. control members of vehicles, triggers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00—Measuring force or stress, in general
    • G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
    • G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/033—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor
    • G06F3/0338—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor with detection of limited linear or angular displacement of an operating part of the device from a neutral position, e.g. isotonic or isometric joysticks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03K—PULSE TECHNIQUE
    • H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
    • H03K17/94—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the way in which the control signals are generated
    • H03K17/965—Switches controlled by moving an element forming part of the switch
    • H03K17/975—Switches controlled by moving an element forming part of the switch using a capacitive movable element
    • H03K17/98—Switches controlled by moving an element forming part of the switch using a capacitive movable element having a plurality of control members, e.g. keyboard

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Input From Keyboards Or The Like (AREA)
  • Switches That Are Operated By Magnetic Or Electric Fields (AREA)

Abstract

配置具有穹面形状的开关用可动电极(E21)，与在底板(20)上形成的电容元件用电极(E1)接触，同时，与在电容元件用电极(E1)的内侧形成的开关用固定电极(E11)隔离，并将其覆盖。对检测部件(30)进行操作，当位移电极(40)作用于开关可动电极(E21)上的力达到规定值时，开关用可动电极(E21)的顶部附近部分伴随弯曲产生剧烈的弹性变形而呈凹陷状态，并与开关用固定电极(E11)接触。因此，开关变成ON状态。这时，给操作者以清晰的点击感。

Description

静电电容式传感器
技术领域
本发明涉及适用于进行多维方向的操作输入的静电电容式传感器，特别涉及能进行持续感到点击的操作的静电电容式传感器。
背景技术
静电电容式传感器作为将操作者所加的力的大小和方向变换成电信号的装置使用。例如，作为游戏机的输入装置使用将用来进行多维方向的操作的静电电容式力感传感器(所谓操纵杆)组装后的装置。
在静电电容式传感器中，作为从操作者传来的力的大小，可以输入具有规定的动态范围的操作量。此外，也可以作为能将所加的力分解成各向分量后再检测出来的二维或三维力感传感器使用。特别是，由2片电极形成静电电容元件并根据起因于电极间隔的变化的静电电容值的变化对力进行检测的静电电容式力感传感器，因其结构简单且能够降低成本故可以实际应用于各种各样的领域。
例如，在日本特开平7(1995)-200164号公报中，公开了图22所示的静电电容式力感传感器。力感传感器510由底板520、设在底板520上的弹性橡胶板530、设在弹性橡胶板530的下面的电极部540、设在底板520的上面的电极部500～504(参照图23)、使弹性橡胶板530对底板520支持固定的压板560和设在底板520的下面的电子装置构成。此外，电极部500～504如图23所示，由相对原点对称配置的4个电极部501～504和配置在其外侧的圆环状电极部500构成。此外，电极部540的外围部分和接地的电极部500接触，经电极部500接地。
当操作者按压弹性橡胶板530时，电极部540伴随该向下压的力向下方位移，它和4个电极部501～504之间的距离发生变化。这一来，4个电极部501～504和电极部540之间构成的电容的静电电容值发生变化。因此，通过检测该静电电容值的变化，可以知道操作者所加力的大小和方向。
但是，在图22和图23所示的力感传感器510中，当操作者按压弹性橡胶板530时，虽然电极部540伴随该向下压的力产生位移，但其位移量大多与按压力大致成比例变化，操作者几乎感受不到明显的操作感。因此，操作者操作时不能从感觉上把握正在执行的操作，所以，只要不从视觉上确认力感传感器510的操作对象的动作，就不容易把握正在执行的操作。
发明内容
因此，本发明的目的在于提供一种静电电容式传感器，能够容易从感觉上把握正在执行的操作。
本发明的静电电容式传感器的特征在于包括：当定义XYZ三维坐标系时位于XY平面内的底板；与上述底板相对的检测部件；位于上述底板和上述检测部之间、随上述检测部件向Z轴方向位移而向Z轴方向位移的导电部件；在上述底板上形成且与上述导电部件电连接而接地或保持一定的电位的基准电极；在上述底板上形成的第1电极；在上述底板上形成且与上述导电部件之间构成第1电容元件的第2电极；在与上述第2电极接触且与上述第1电极隔开配置的同时可以伴随上述导电部件的位移而产生带有点击感的弹性变形从而与上述第1电极接触的第3电极。而且，本发明第1方面的静电电容式传感器在上述第1电极和上述第3电极接触时，利用对上述第1电极输入的信号检测起因于上述导电部件和上述第2电极之间的间隔的变化的上述第1电容元件的静电电容值的变化，由此可以辨认上述检测部件的位移。
这里，为了使第3电极能够产生带有点击感的弹性变形从而与上述第1电极接触，第3电极由当加大于某一定值的外力时向第1电极方向位移的速度大(最好是特别大)的部件、即当所加的外力超过规定值时向第1电极方向位移的速度比外力小于规定值时大的部件构成。
通过这样的的构成，在对检测部件进行操作的情况下，当与操作方向对应的第3电极产生带有点击感的弹性变形从而与上述第1电极接触时开始进行检测部件位移的辨认，所以，操作者能够从感觉上容易把握正在执行的操作。此外，因为了使其产生点击感而在加必要的规定大小的外力时开始检测部件位移的辨认，故当对检测部件加小的外力(在操作者不是有意识地操作的不产生点击感的范围内的外力)时不辨认检测部件的位移。因此，可以排除检测部件偶然与别的部件接触等外界干扰，可以根据操作者有意识的操作可靠地检测出检测部件的位移。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，上述第3电极具有穹面形状，可以在其内侧配置上述第1电极。这样一来，当导电部件作用的力达到规定值时，在穹面形状的第3电极的顶部附近产生很大的位移而呈凹陷状态并与第1电极接触，所以，可以给操作者以明显的点击感。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，也可以在上述基准电极和上述导电部件之间构成第2电容元件。由此，导电部件不用直接接触，而通过电容藕合接地或与保持一定电位的基准电极结合。因此，可以提高传感器的耐电压特性，几乎不会因流过火花电流而使传感器损坏，同时，可以防止接触不良等不好的情况发生，可以得到可靠性高的静电电容式传感器。此外，即使在基准电极和导电部件之间配置绝缘膜，因不必将一部分绝缘膜切开使基准电极和导电部件接触，故从组装和安装方面说是有利的。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，也可以形成多组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极。因此，通过使各电极组用来辨认各方向的力，可以辨认多维方向的力。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，也可以具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，向包含其中一组的电路和包含另一组的电路供给相位不同的信号。这一来，不管包含其中一组的电路和包含另一组的电路的时间常数是否相同，都可以辨认检测部件的位移。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，也可以具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，包含其中一组的CR电路和包含另一组的CR电路的时间常数可以不同。按照这样的构成，因可以使通过回路的信号的相位差增大，故可以提高检测部件的位移辨认精度。此外，可以增大检测部件可检测的位移的范围。
此外，在本发明的静电电容式传感器中，最好具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，利用信号处理电路检测已分别输入包含其中一组的电路和包含另一组的电路的信号的输出信号，上述信号处理电路使用了进行异或运算、或运算、与运算和与非运算中的某一种运算的逻辑元件。由此，可以高精度地检测输出信号，进而可以在必要时调整检测精度。
进而，本发明的静电电容式传感器的上述第2电极也可以包含一对相对Y轴线对称配置的第4电极和一对相对X轴线对称配置的第5电极。由此，检测部件可以分别辨认外力的X轴方向和Y轴方向的分量。
此外，本发明的静电电容式传感器的上述检测部件最好分别与上述第4电极和上述第5电极对应分割开来。若按照这样的构成，因可以明确地将外力的X轴方向和Y轴方向的分量分离开，故可以减轻不同方向的分量的相互干涉，可以减少误操作。
此外，本发明的静电电容式传感器进而可以具有在上述底板上形成的第6电极和第7电极，该第7电极配置成与上述基准电极接触且与上述第6电极隔离，同时伴随上述导电部件位移而产生弹性变形，从而能与上述第6电极接触。若按照这样的构成，除了能得到上述效果之外，进而，通过具有利用检测部件的操作可以相互接触的第6电极和第7电极，可以附加能在进行确认输入的操作等时使用的开关。
此外，本发明的静电电容式传感器的上述检测部件最好分别与上述第2电极和上述第6电极对应分割开来。若按照这样的构成，因可以明确地将与操作方向对应的外力和与确认操作对应的外力分离开，故可以减轻这些力之间的相互干涉，可以减少误操作。
此外，本发明的静电电容式传感器的上述检测部件可以由涂敷在弹性体上的导电性油墨形成。若按照这样的构成，导电部件容易制造且可以降低制造成本。
附图的简单说明
图1是本发明的实施形态1的静电电容式传感器的典型剖面图。
图2是图1的静电电容式传感器的检测部件的上视图。
图3是表示在图1的静电电容式传感器的底板上形成的多个电极的配置的图。
图4是与图1所示的静电电容式传感器的构成对应的等效电路图。
图5是当对图1所示的静电电容式传感器的检测部件施加了向X轴正方向的操作时的典型侧视剖面图。
图6是用来说明从向图1所示的静电电容式传感器输入的周期信号导出输出信号的方法的说明图。
图7是表示图1所示的静电电容式传感器的信号处理电路的电路图。
图8是表示图1所示的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图9是表示图1所示的信号处理电路的各端子和各节点的周期信号的波形的图。
图10是表示包含将图1所示的静电电容式传感器的X轴方向分量的输出信号变换成模拟电压的电路的信号处理电路的电路图。
图11是表示图1所示的静电电容式传感器的第1变形例的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图12是表示作用于检测部件的按压力和输出模拟电压的关系的图。
图13是表示图1所示的静电电容式传感器的第2变形例的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图14是表示图1所示的静电电容式传感器的第3变形例的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图15是表示图1所示的静电电容式传感器的第4变形例的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图16是表示图1所示的静电电容式传感器的第5变形例的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。
图17是本发明的实施形态2的静电电容式传感器的典型剖面图。
图18是图17的静电电容式传感器的检测部件的上视图。
图19是表示在图17的静电电容式传感器的底板上形成的多个电极的配置的图。
图20是与图17所示的静电电容式传感器的构成对应的等效电路图。
图21是用来说明从向图17所示的静电电容式传感器输入的周期信号导出输出信号的方法的说明图。
图22是先有的静电电容式传感器的典型剖面图。
图23是表示在图22的静电电容式传感器的底板上形成的多个电极的配置的图。
发明的具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施形态的最佳实施形态。再有，下面说明的实施形态将本发明的静电电容式传感器作为力感传感器使用。
图1是本发明的实施形态1的静电电容式传感器的典型剖面图。图2是图1的静电电容式传感器的检测部件的上视图。图3是表示在图1的静电电容式传感器的底板上形成的多个电极的配置的图。
静电电容式传感器10包括衬底20、由人等进行操作而加外力的操作用检测部件30、位移电极40、在底板20上形成的电容元件用电极E1～E4、具有穹面形状的开关用可动电极E21～E24(在图1中只示出E21和E22)、配置在其内侧的开关用固定电极E11～E14(在图1中只示出E11和E12)、基准电极(公共电极)E0、复盖在底板20上且紧贴多个电极形成的绝缘膜50、将检测部件30和位移电极40支撑固定在底板20上的支撑部件60和配置成将支撑部件60和检测用部件30的周围覆盖的外罩70。
这里，为了便于说明，如图所示，定义XYZ三维坐标系，参照该坐标系说明各部件的配置。即，在图1中，将底板20上的基准电极E0的中心位置定义为原点0，水平方向向右为X轴，垂直方向向上为Z轴，与纸面垂直的方向向里为Y轴。这里，底板20的表面是XY平面，Z轴通过底板20上的基准电极E0、检测部件30和位移电极40的各中心位置。
底板20是一般电子电路用印刷电路板，在该例中，使用玻璃环氧树脂底板。此外，作为底板20，也可以使用聚酰亚胺薄膜等薄膜状底板，但是，因薄膜底板具有挠性，故最好将薄膜安装在具有足够的刚性的支撑底板上再使用。
检测部件30由变成受力部的小口径的上段部31和向上段部31的下端部延伸的大口径的下段部32构成，整体形成圆盘形状。这里，上段部31的直径比可连接电容元件用电极E1～E4的各外侧的曲线的圆的直径小，下段部32的直径大致和连接电容元件用电极E1～E4的各外侧的曲线的圆的直径相同。再有，为了提高操作性能，也可以使检测部件30戴上树脂做的帽子。
此外，在检测部件30的上段部31的上面，如图2所示那样，形成与操作方向(光标移动方向)对应的箭头，使其与X轴和Y轴的正方向和负方向对应，即与电容元件用电极E1～E4对应。
位移电极40由导电硅橡胶形成，是具有和连接电容元件用电极E1～E4的各外侧的曲线的圆的直径大致相同的直径的圆盘形状，附着在由具有弹性的硅橡胶形成的支撑部件60的下面。此外，在位移电极40的下面，以位移电极40的中心位置为中心，形成向下方突出的直径和基准电极E0相同的圆形凸部41。凸部41的下面具有能和基准电极E0接触的高度。这样，因在位移电极40的中心位置形成凸部41，故当检测部件30受力的作用时，位移电极40可以以凸部41为支点倾斜。此外，在与开关用固定电极E11～E14分别相对的位置上形成4个突起体42。
再有，作为位移电极40，除了硅橡胶之外，也可以使用导电油墨、导电的热可塑性树脂(PPT、弹性体)、导电塑料或金属蒸镀膜。此外，也可以没有位移电极40的突起体42。
此外，如图3所示，在底板20上形成以原点O为中心的圆形基准电极E0、其外侧是扇形且大致在各中央部具有圆形孔H1～H4的电容元件用电极E1～E4、在孔H1～H4的内侧且直径比孔H1～H4的直径小的圆形开关用固定电极E11～E14。这里，开关用固定电极E11～E14的面积最好比电容元件用电极E1～E4的面积小得多。一对电容元件用电极E1和E2远离X轴方向且相对Y轴线对称配置。再有，基准电极E0也可以在电容元件用电极E1～E4的外侧形成。这时，位移电极40的凸部41也在电容元件用电极E1～E4的外侧形成。
在此，电容元件用电极E1配置成与X轴的正方向对应，电容元件用电极E2配置成与X轴的负方向对应，用于检测外力的X轴方向的分量。此外，电容元件用电极E3配置成与Y轴的正方向对应，电容元件用电极E4配置成与Y轴的负方向对应，用于检测外力的Y轴方向的分量。
基准电极E0和开关用固定电极E11～E14利用通孔等分别与端子T0～T5(参照图4)连接，再通过T0～T5与外部电子电路连接。再有，这里，基准电极E0经端子T0接地。
此外，配置开关用可动电极E21～E24，分别与电容元件用电极E1～E4接触，同时与开关用固定电极E11～E14隔离并将其覆盖。因此，开关用可动电极E21～E24是直径比孔H1～H4大的穹面状部件。
此外，绝缘膜50紧贴在底板20的一部分电容元件用电极E1～E4和开关用可动电极E21～E24的上面形成，并将底板20复盖。因此，由铜等形成的电容元件用电极E1～E4和开关用可动电极E21～E24的被绝缘膜50复盖的部分不会暴露在空气中，故具有防止它们氧化的功能。再有，也可以对电容元件用电极E1～E4和开关用可动电极E21～E24的表面采取镀金等防止氧化的措施。此外，因形成绝缘膜50，故位移电极40不与电容元件用电极E1～E4和开关用可动电极E21～E24直接接触。
其次，参照附图说明象上述那样构成的本实施形态的静电电容式传感器10的动作。图4是与图1所示的静电电容式传感器的构成对应的等效电路图。图5是当对图1所示的静电电容式传感器的检测部件施加了向X轴正方向的操作时的典型侧视剖面图。图6是用来说明从向图1所示的静电电容式传感器输入的周期信号导出输出信号的方法的说明图。
首先，参照图4说明与静电电容式传感器的构成等效的电路图。在底板20上形成的电容元件用电极E1～E4与位移电极40相对。这里，与电容元件用电极E1～E4连接的开关用可动电极E21～E24通过有选择地处于与开关用固定电极E11～E14接触的位置或不接触的位置，可以具有使其与端子T1～T4和电容元件用电极E1～E4连接或不连接的开关S1～S4的功能。
当开关用可动电极E21～E24与开关用固定电极E11～E14不接触(开关为OFF状态)时，开关用固定电极E11～E14的面积与电容元件用电极E1～E4的面积相比小得多，或者，开关用可动电极E21～E24形成某种静电屏蔽，使开关用可动电极E21～E24和开关用固定电极E11～E14之间几乎不形成静电电容。
另一方面，当开关用可动电极E21～E24与开关用固定电极E11～E14接触(开关为ON状态)时，电容元件用电极E1～E4与开关用固定电极E11～E14连接，电容元件用电极E1～E4和位移电极40相对，在作为公共电极的位移电极40和固定的各电容元件用电极E1～E4之间构成电容元件C1～C4。电容元件C1～C4可以说是可变电容元件，其静电电容值因位移电极40的位移而变化。
电容元件C1～C4的各静电电容值作为位移电极40和分别与电容元件用电极E1～E4连接的端子T1～T4之间的静电电容值，可以分别单独测定。这里，因基准电极E0经端子T0接地，故作为电容元件C1～C4中的公共电极的位移电极40可以考虑接地。
其次，在不对图1所示的检测部件30加作用力的状态下，如图5所示，考虑只对检测部件30施加向X轴正方向的操作的情况，即对在检测部件30的上段部31形成的与X轴的正方向对应的箭头加向底板20一侧按压的力(向Z轴负方向的力)的情况。
通过按压检测部件30的与X轴正方向对应的部分，使在位移电极40上形成的与X轴正方向对应的突起体42向下方位移，这一来，突起体42经绝缘膜50对开关用可动电极E21的中央部作用一个向下的力。而且，当该力小于规定值时，开关用可动电极E21几乎不产生位移，当该力达到规定值时，开关用可动电极E21的顶部附近部分因弯曲而产生剧烈的弹性变形，并变成凹陷状态而与开关固定用电极E11接触。因此，开关S1变成ON状态。这时，若检测部件持续位移，则开关S1保持ON状态，位移电极40进一步位移，因此，位移电极40的X轴正方向部分和电容元件用电极E1之间的间隔发生变化。
这样，若构成电容元件C1的电极(位移电极40的X轴正方向部分和电容元件用电极E1)的间隔变化，则电容元件C1的静电电容值也伴随着变化。这里，一般，电容元件的静电电容值与构成电容元件的电极的间隔成反比。因此，因构成电容元件C1的电极的间隔变小，故电容元件C1的静电电容值变大。
另一方面，这时，位移电极40的X轴负方向部分几乎不位移。位移电极40的Y轴正方向部分和Y轴负方向部分也几乎不位移。这里，实际上，虽然因对检测部件30加力的方式的原因，位移电极40的X轴负方向部分、Y轴正方向部分和Y轴负方向部分会分别向下方有少许位移，但只要位移电极40各部分的位移不至于使与各方向对应的开关用可动电极E22～E24和开关用固定电极E12～E14接触，因开关S2～S4保持OFF状态，故开关用可动电极E22～E24和开关用固定电极E12～E14之间的静电电容值几乎不发生变化，这些位移对输出没有影响。
如上所述，当只对检测部件30的X轴正方向施加操作时，在电容元件C1～C4中，只有开关S1～S4保持ON状态且电容元件用电极E1～E4和位移电极40之间的间隔发生变化的电容元件C1的静电电容值发生变化。
其次，参照图6说明在开关用可动电极E21～E24和开关用固定电极E11～E14接触(开关S1～S4是ON状态)的情况下，从电容元件C1～C4的各静电电容值的变化导出表示作用于检测部件30的外力的大小和方向的输出信号的方法。这里，输出信号Vx、Vy分别表示外力的X轴方向分量和Y轴方向分量的大小和方向。
这里，为了导出输出信号Vx、Vy，始终向端子T1～T4输入时钟信号等周期信号。在向端子T1～T4输入周期信号的状态下，当检测部件30受外力而位移时，伴随着位移电极40向Z轴方向位移。而且，当位移电极40对开关用可动电极E21～E24的作用力达到规定值时，开关用可动电极E21～E24的中央部通过伴随弯曲的弹性变形与开关用固定电极E12～E14接触而使开关S1～S4处于ON状态。然后，若检测部件30持续位移，则开关S1～S4保持ON状态而使位移电极40进一步位移，由此，电容元件C1～C4的电极间隔发生变化，从而，使电容元件C1～C4的静电电容值发生变化。这一来，输入到端子T1～T4的周期信号的相位产生偏移。这样，利用周期信号产生的相位偏移，可以得到表示检测部件30位移、即检测部件30受到的外力的X轴方向分量和Y轴方向分量的大小和方向的输出信号Vx、Vy。
进一步详细地进行说明。当向端子T1～T4输入周期信号时，向端子T1、T3输入周期信号A，向端子T2、T4输入周期和周期信号A相同，而相位不同的周期信号B。这时，当检测部件30受外力的作用使电容元件C1、C4的静电电容值分别变化时，分别输入到端子T1～T4的周期信号A和周期信号B的相位分别产生不同的偏移量。
即，当外力包含X轴正方向分量时，电容元件C1的静电电容值变化，输入到端子T1的周期信号A的相位产生偏移。此外，当外力包含X轴负方向分量时，电容元件C2的静电电容值变化，输入到端子T2的周期信号B的相位也产生偏移。这里，电容元件C1、C2的静电电容值的变化量分别与外力的X轴正方向分量和X轴负方向分量的大小对应。这样，通过使用异或电路读取分别输入到端子T1和端子T2的周期信号A和周期信号B的相位偏移，可以导出输出信号Vx。该输出信号Vx的符号表示外力的X轴方向分量的正方向或负方向，其绝对值表示X轴方向分量的大小。
此外，当外力包含Y轴正方向分量时，电容元件C3的静电电容值变化，输入到端子T3的周期信号A的相位产生偏移。此外，当外力包含Y轴负方向分量时，电容元件C4的静电电容值变化，输入到端子T4的周期信号B的相位也产生偏移。这里，电容元件C3、C4的静电电容值的变化量分别与外力的Y轴正方向分量和Y轴负方向分量的大小对应。这样，通过使用异或电路读取分别输入到端子T3和端子T4的周期信号A和周期信号B的相位偏移，可以导出输出信号Vy。该输出信号Vy的符号表示外力的Y轴方向分量的正方向或负方向，其绝对值表示Y轴方向分量的大小。
再有，在外力包含X轴方向分量和Y轴方向分量的情况中，有包含X轴正方向和X轴负方向两个分量或包含Y轴正方向和Y轴负方向两个分量的情况。这里，例如若考虑X轴方向，X轴正方向分量和X轴负方向分量的大小相等时的输出信号Vx的值与外力不包含X轴方向分量时的输出信号Vx的值几乎相同(详情后述)。另一方面，当X轴正方向分量和X轴负方向分量不相等时，输入到端子T1、T2的周期信号A和周期信号B的相位偏移量各不相同，和上述情况一样，通过使用异或电路读取该相位偏移，可以导出输出信号Vx。此外，可以说Y轴方向的输出信号Vy的导出也一样。
其次，参照附图说明用来从输入到端子T1～T4的周期信号A、B导出信号Vx、Vy的信号处理电路。图7是表示图1所示的静电电容式传感器的信号处理电路。
在图7所示的信号处理电路中，从未图示的交流信号振荡器向端子T1～T4输入规定频率的周期信号。电阻元件R1～R4分别连接在这些端子T1～T4上。此外，电阻元件R1、R2的输出端和电阻元件R3、R4的输出端分别与作为异或逻辑电路元件的EX-OR元件81、82连接，其输出端与端子T11～T121连接。进而，电阻元件R1～R4的输出端分别连接在由开关用固定电极E11～E14和开关用可动电极E21～E24构成的开关S1～S4的输入端。开关S1～S4的输出端分别与在电容元件用电极E1～E4和位移电极40之间构成的电容元件C1～C4连接。此外，作为各电容电极C1～C4中的一个电极的位移电极40接地。
此后，作为一个例子，参照图8说明X轴方向分量的输出信号Vx的导出方法。再有，因Y轴方向分量的输出信号Vy的导出方法也一样，故省略其说明。图8是表示表示图1所示的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图(图7的一部分)。在该信号处理电路中，电容元件C1、电阻元件R1、电容元件C2和电阻元件R2分别形成CR延迟电路。输入到端子T1、T2的周期信号(方波信号)分利用CR电路产生规定的延迟，并在EX-OR元件81中合并。
再有，当对端子T1、T2不能供给具有足够驱动能力的信号时，最后在端子T1和电阻元件R1之间及端子T2和电阻元件R2之间插入反相器元件。这里，反相器元件是为了驱动CR延迟电路而产生足够驱动功率的元件，是没有逻辑作用的元件。此外，作为反相器元件，通过使用同一元件，可以在相同的条件下对不同路径的信号进行比较。
其次，参照图9说明图8的电路的动作。图9是表示图8所示的信号处理电路的各端子和各节点的周期信号的波形的图。
在图8的信号处理电路中，分别输入到端子T1、T2的周期信号通过CR延迟电路，分别产生规定的延迟，并分别输入EX-OR元件81。详细地说，端子T1输入周期信号f(Φ)(与上述周期信号A对应，以下称周期信号A)，端子T2输入周期和f(Φ)相同、且相位偏移了θ的周期信号f(Φ+θ)(与上述周期信号B对应，以下称周期信号B)。这里，说明周期信号A的占空比D0是50％、周期信号B的相位比周期信号A超前周期信号A的1/4周期的情况。
这里，分别输入到端子T1、T2的不同相位的周期信号A和周期信号B通过将从交流信号振荡器输出的周期信号分成2个路径，并在其中1个路径上设置未图示的CR延迟电路，使通过CR延迟电路的周期信号的相位延迟来产生。再有，使周期信号的相位偏移的方法不限于使用CR延迟电路的方法，可以使用其他任何方法，此外，也可以使用2个交流信号振荡器，分别产生相位不同的周期信号A和周期信号B，并分别输入到端子T1、T2。
图9的(a)、(b)示出输入到端子T1、T2的周期信号A和周期信号B。这里，在不对检测部件30作用力(不进行操作)的状态下，因图8的信号处理电路的开关S1、S2处于OFF状态，故电容元件C1、C2在可以忽视的位上足够小，周期信号A和周期信号B几乎不延迟而输入EX-OR元件81。因此，EX-OR元件81输入波形和端子T1、T2上的周期信号相同的信号，对这些信号进行异或逻辑运算，将其结果输出给端子T11。这里，输出给端子T11的输出信号Vx如图9所示，是具有占空比D1的方波信号。
其次，当对检测部件30施加向X轴正方向的操作时(参照图9)，开关S1处于ON状态，电容元件C1通过与电阻元件R1连接而构成延迟电路。输入到端子T1的周期信号A通过由电容元件C1和电阻元件R1构成的延迟电路延迟后，到达节点X1。这里，图9(d)示出将周期信号A输入到端子T1时的图8所示的信号处理电路的节点X1的电位变化。
当端子T1输入反复出现‘Hi’或‘Lo’的信号的周期信号时，如图9(d)所示，当开始‘Hi’信号的输入时，电荷逐渐在构成CR延迟电路的电容元件C1中积蓄，因此，节点X1的电位逐渐增加，当开始‘Lo’信号的输入时，构成CR延迟电路的电容元件C1中的电荷逐渐放电，因此，节点X1的电位逐渐减小，此后，重复进行这样的变化。
再有，实际上，节点X1的电位波形通过具有规定的阈值的比较器(未图示)，变换成方波。在该比较器中，当比设定的阈值大时输出‘Hi’信号，小时输出‘Lo’信号，由此形成方波。这里，当EX-OR元件81是CMOS逻辑元件时，若电源电压是Vcc，最好将比较器的阈值电压设定为Vcc/2左右。这样，节点X1的电位波形通过比较器之后，如图9(e)所示变换成具有占空比D2的方波。
此外，因这时开关S2处于OFF状态，电容元件C2和电阻元件R2不构成延迟电路，所以，到达节点X2的周期信号的波形和周期信号B(图9(b)所示的波形信号)相同。
因此，EX-OR元件81输入波形和节点X1、X2上的周期信号相同的信号(图9(b)和图9(e)所示的信号)，对这些信号进行异或逻辑运算，将其结果输出给端子T11。这里，输出给端子T11的输出信号Vx如图9(f)所示，是具有占空比D3的方波信号。
再有，当进一步按下检测部件30的X轴的正方向部分，位移电极40和电容元件用电极E1之间的间隔变小，伴随电容元件C1的静电电容值变大。这时，周期信号A通过延迟电路而使相位偏移(延迟量)增大，向端子T11输出的输出信号Vx的占空比D3也变大。
其次，当对检测部件30施加X轴负方向的操作时，开关S2处于ON状态，电容元件C2通过与电阻元件R2连接而构成延迟电路。输入到端子T2的周期信号B通过由电容元件C2和电阻元件R2构成的延迟电路延迟后，到达节点X2。这里，图9(g)示出将周期信号B输入到端子T2时的图8所示的信号处理电路的节点X2的电位变化。
当端子T2输入反复出现‘Hi’或‘Lo’的信号的周期信号时，如图9(g)所示，当开始‘Hi’信号的输入时，电荷逐渐在构成CR延迟电路的电容元件C2中积蓄，因此，节点X2的电位逐渐增加，当开始‘Lo’信号的输入时，构成CR延迟电路的电容元件C2中的电荷逐渐放电，因此，节点X2的电位逐渐减小，此后，重复进行这样的变化。
再有，实际上，节点X2的电位波形通过具有规定的阈值的比较器(未图示)，变换成方波(脉冲波形)。在该比较器中，当比设定的阈值大时输出‘Hi’信号，小时输出‘Lo’信号，由此形成方波。这里，当EX-OR元件81是CMOS逻辑元件时，最好将比较器的阈值电压设定为Vcc/2左右。这样，节点X2的电位波形通过比较器之后，如图9(h)所示变换成具有占空比D4的方波。
此外，因这时开关S1处于OFF状态，电容元件C1和电阻元件R1不构成延迟电路，所以，到达节点X1的周期信号的波形和周期信号A(图9(a)所示的波形信号)相同。
因此，EX-OR元件81输入波形和节点X1、X2上的周期信号相同的信号(图9(a)和图9(h)所示的信号)，对这些信号进行异或逻辑运算，将其结果输出给端子T11。这里，输出给端子T11的输出信号Vx如图9(i)所示，是具有占空比D5的方波信号。
当进一步按下检测部件30的X轴的负方向部分时，位移电极40和电容元件用电极E2之间的间隔变小，伴随电容元件C2的静电电容值变大。这时，周期信号B通过延迟电路而使相位偏移(延迟量)增大，向端子T11输出的输出信号Vx的占空比D3变小。
这样，当只对检测部件30施加X轴负方向的操作时，对端子T11输出的输出信号Vx的占空比D5(参照图9(i))比只对检测部件30施加X轴正方向的操作时对端子T11输出的输出信号Vx的占空比D2(参照图9(e))小。
这里，当同时对检测部件30施加X轴正方向和X轴负方向的操作时，输入到端子T1、T2的周期信号A和周期信号B分别通过由电容元件C1和电阻元件R1构成的延迟电路及由电容元件C2和电阻元件R2构成的延迟电路再到达节点X1、X2。因此，这时节点X1、X2的电位变化如图9(d)和图9(g)所示。
因此，EX-OR元件81输入将节点X1、X2的电位变化(图9(d)和图9(g)所示的波形)用规定的阈值数字化了的信号(图9(e)和图9(h)所示的波形的信号)，对这些信号进行异或逻辑运算，将其结果输出给端子T11。这里，输出给端子T11的输出信号Vx如图9(j)所示，是具有占空比D6的方波信号。
这样，当对检测部件30同时施加X轴正方向和X轴负方向的操作时，对端子T11输出的输出信号Vx的占空比D6(参照图9(j))和不对检测部件30施加操作时对端子T11输出的输出信号Vx的占空比D1(参照图9(c)相同。只是两信号的相位不同。
此外，对端子T11输出的输出信号Vx可以变换成模拟电压再加以利用。图10是表示包含将图1所示的静电电容式传感器的X轴方向分量的输出信号变换成模拟电压的电路的信号处理电路的电路图。
如图10所示，对端子T11输出的输出信号Vx通过由电阻元件R50和电容元件C50构成的低通滤波器50平滑后，向端子50输出模拟电压Vx’。该模拟电压Vx’的值与输出信号Vx的占空比成比例变化。因此，若输出信号Vx的占空比变大，伴随模拟电压Vx’的值也变大，另一方面，若输出信号Vx的占空比变小，伴随模拟电压Vx’的值也变小。此外，当输出信号Vx的占空比几乎不变时，模拟电压Vx’的值也不变。
如上所述，本实施形态的静电电容式传感器10在对检测部件30进行操作的情况下，当与操作方向对应的开关可动用电极E21～E24伴随点击感而弹性变形从而与开关固定用电极E11～E14接触时开始进行检测部件30的位移的辨认，所以，操作者通过感觉点击能够从感觉上容易把握正在执行的操作。此外，因为了使其产生点击感而在加必要的规定大小的外力时开始检测部件30的位移的辨认，故当对检测部件30加小的外力(在操作者不是有意识地操作的不产生点击感的范围内的外力)时不辨认检测部件30的位移。因此，可以排除检测部件30偶然与别的部件接触等外界干扰，可以根据操作者有意识的操作可靠地检测出检测部件30的位移。
此外，形成多个电容元件用电极E1～E4，检测部件30可以分别辨认外力的X轴方向分量和Y轴方向分量。这里，对成对的电容元件用电极(E1和E2、E3和E4)供给相位互不相同的信号，所以，可以使信号通过电路来加大信号相位的偏移，进而，因使用具有逻辑元件的信号处理电路，故可以高精度地检测该信号。再有，这样构成的静电电容式传感器很适合用来作为个人计算机、便携式电话、游戏机等的输入装置。
其次，参照附图说明本发明的实施形态1的第1变形例。图11是表示第1变形例的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。图12是表示作用于检测部件的按压力和输出模拟电压的关系的图。图11的信号处理电路与图1的静电电容式传感器的信号处理电路的不同点在于：在图10低通滤波器50和端子11之间连接电路60。再有，其它的构成因和图1的静电电容式传感器相同，故添加同一符号并省略其说明。
电路60具有比较器63、64、可变电阻器65、66和端子61、62，与低通滤波器50和端子11之间的节点X60连接。比较器63的1个输入端子与可变电阻器65连接，另一个输入端子与节点X60连接。此外，比较器63的输出端子与端子61连接。同样，比较器64的1个输入端子与可变电阻器66连接，另一个输入端子与节点X60连接。此外，比较器64的输出端子与端子62连接。这里，可变电阻器65、66由未图示的电源施加规定的电压，通过使各电阻值变化，可以改变输入到比较器63、64的值(以下称比较值)。
这里，参照图12说明作用于检测部件30的按压力Fx1、Fx2和输出的模拟电压Vx的关系。再有，按压力Fx 1和按压力Fx2分别表示作用于检测部件30的X轴正方向和X轴负方向的力。不作用按压力Fx1和按压力Fx2时的模拟电压Vx’的值是电压值a。
在按压力Fx1达到按压力Fx10之前，模拟电压Vx’的值维持电压值a不变。当按压力Fx1达到按压力Fx10时，模拟电压Vx’的值瞬间增加到b。再有，按压力Fx10在实施形态1的说明中与伴随开关用可动电极E21的中央部的弯曲而位移急剧增加时的力(规定值)对应。进而，若按压力Fx1增加，则伴随着模拟电压Vx’的值成比例地增加。
同样，在按压力Fx2达到按压力Fx20之前，模拟电压Vx’的值维持电压值a不变。当按压力Fx2达到按压力Fx20时，模拟电压Vx’的值瞬间减小到c。再有，按压力Fx20在实施形态1的说明中与伴随开关用可动电极E22的中央部的弯曲而位移急剧增加时的力(规定值)对应。进而，若按压力Fx2增加，则伴随着模拟电压Vx’的值成比例地减小。
因此，通过使可变电阻器65的电阻值变化将比较器63的比较值设定在电压值a和电压值b之间，可以对端子61输出表示ON状态或OFF状态的信号。即，可以输出在按压力Fx1达到按压力Fx10之前表示OFF状态、若按压力Fx1达到按压力Fx10则表示ON状态的信号(参照图12)。
此外，同样，通过使可变电阻器66的电阻值变化将比较器64的比较值设定在电压值a和电压值c之间，可以对端子62输出表示ON状态或OFF状态的信号。即，可以输出在按压力Fx2达到按压力Fx20之前表示OFF状态、若按压力Fx2达到按压力Fx20则表示ON状态的信号(参照图12)。
如上所述，若使用包含电路60的信号处理电路，则可以将静电电容式传感器10用来作为具有开关功能的模拟电压控制装置。即，可以将开关S1、S2作为开始辨认外力的X轴方向分量的开关使用，同时，可以作为有选择地切换其它的已连接的电路或切换机器的ON状态和OFF状态的别的开关使用。
再有，电路60的功能可以通过使用带A/D变换口的微处理器由程序等软件执行。
其次，参照附图说明本发明的实施形态1的第2变形例。图13是表示第2变形例的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。图13的信号处理电路与图1的静电电容式传感器的信号处理电路的不同点在于在位移电极40和基准电极E0之间构成电容元件C0。再有，其它的构成因和图1所示的静电电容式传感器相同，故添加同一符号并省略其说明。
在底板20上形成绝缘膜50，使其与电容元件用电极E1～E4、开关用可动电极E21～E24和基准电极E0紧贴，并将底板20覆盖。这样，通过在位移电极40和基准电极E0之间配置绝缘膜50，在位移电极40和基准电极E0之间构成电容元件C0。
因此，位移电极40不是直接接触，而是通过电容元件C0(具有藕合电容的功能)的电容藕合与按地的基准电极实现电连接。因此，可以提高静电电容式传感器10的耐电压特性，几乎不会因流过火花电流而使传感器损坏，同时，可以防止接触不良等不好的情况发生，可以得到可靠性高的静电电容式传感器。此外，基准电极E0不暴露在空气中，可以防止它们氧化。
其次，参照附图说明本发明的实施形态1的第3变形例。图14是表示第3变形例的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。图14的信号处理电路与图1的静电电容式传感器的信号处理电路的不同点在于：作为逻辑电路元件，使用OR元件去代替EX-OR元件。再有，其它的构成因和图1所示的静电电容式传感器相同，故添加同一符号并省略其说明。
在图14中，按压检测部件30的X轴正方向部分，开关S1变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴正方向部分，则输入端子T1的周期信号A通过由电容元件C1和电阻元件R1构成的CR延迟电路，到达节点X1。这时，节点X1的周期信号如图9(e)所示产生规定的延迟。同样，按压检测部件30的X轴负方向部分，开关S2变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴负方向部分，则输入端子T2的周期信号B通过由电容元件C2和电阻元件R2构成的CR延迟电路，到达节点X2。这时，节点X2的周期信号如图9(h)所示产生规定的延迟。
因此，和图8一样，和节点X1、X2中的周期信号波形相同的信号输入OR元件83，对这些信号进行或运算，并将其结果输出给端子T11。这里，对端子T11输出的信号是具有规定的占空比的方波信号。
这里，当使用OR元件83时，对端子51输出的方波信号和不对检测部件施加操作时对端子51输出的方波信号之间的占空比的变化量比使用EX-OR元件时对端子51输出的方波信号的占空比的变化量小，因此，静电电容式传感器的灵敏度下降。
因此，当使用灵敏度非常高的材料制作静电电容式传感器的各部件时，最好利用信号处理电路的构成调节静电电容式传感器的灵敏度(在此，使灵敏度降低)。
其次，参照附图说明本发明的实施形态1的第4变形例。图15是表示第4变形例的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。图15的信号处理电路与图1的静电电容式传感器的信号处理电路的不同点在于：作为逻辑电路元件，使用AND元件去代替EX-OR元件。再有，其它的构成因和图1所示的静电电容式传感器相同，故添加同一符号并省略其说明。
在图15中，按压检测部件30的X轴正方向部分，开关S1变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴正方向部分，则输入端子T1的周期信号A通过由电容元件C1和电阻元件R1构成的CR延迟电路，到达节点X1。这时，节点X1的周期信号如图9(e)所示产生规定的延迟。同样，按压检测部件30的X轴负方向部分，开关S2变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴负方向部分，则输入端子T2的周期信号B通过由电容元件C2和电阻元件R2构成的CR延迟电路，到达节点X2。这时，节点X2的周期信号如图9(h)所示产生规定的延迟。
因此，和图8一样，和节点X1、X2中的周期信号波形相同的信号输入AND元件84，对这些信号进行或运算，并将其结果输出给端子T11。这里，对端子T11输出的信号是具有规定的占空比的方波信号。
这里，当使用AND元件84时，对端子51输出的方波信号和不对检测部件30施加操作时对端子51输出的方波信号之间的占空比的变化量比使用EX-OR元件时对端子51输出的方波信号的占空比的变化量小，因此，静电电容式传感器的灵敏度下降。
因此，当使用灵敏度非常高的材料制作静电电容式传感器的各部件时，最好利用信号处理电路的构成调节静电电容式传感器的灵敏度(在此，使灵敏度降低)。
其次，参照附图说明本发明的实施形态1的第5变形例。图16是表示第5变形例的静电电容式传感器的X轴方向分量的信号处理电路的电路图。图16的信号处理电路与图1的静电电容式传感器的信号处理电路的不同点在于：作为逻辑电路元件，使用NAND元件去代替EX-OR元件。再有，其它的构成因和图1所示的静电电容式传感器相同，故添加同一符号并省略其说明。
在图16中，按压检测部件30的X轴正方向部分，开关S1变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴正方向部分，则输入端子T1的周期信号A通过由电容元件C1和电阻元件R1构成的CR延迟电路，到达节点X1。这时，节点X1的周期信号如图9(e)所示产生规定的延迟。同样，按压检测部件30的X轴负方向部分，开关S2变成ON状态，若进而按压检测部件30的X轴负方向部分，则输入端子T2的周期信号B通过由电容元件C2和电阻元件R2构成的CR延迟电路，到达节点X2。这时，节点X2的周期信号如图9(h)所示产生规定的延迟。
因此，和图8一样，和节点X1、X2中的周期信号波形相同的信号输入NAND元件85，对这些信号进行或运算，再进行非运算，并将其结果输出给端子T11。这里，对端子T11输出的信号是具有规定的占空比的方波信号。
这里，对端子11输出的方波信号和使用EX-OR元件时对端子11输出的方波信号相比，平均而言，占空比的值小，因此，静电电容式传感器的灵敏度下降。
因此，当使用灵敏度非常高的材料制作静电电容式传感器的各部件时，最好利用信号处理电路的构成调节静电电容式传感器的灵敏度(在此，使灵敏度降低)。
其次，参照附图说明本发明的实施形态2。
图17是本发明的另一实施形态的静电电容式传感器的典型的侧视剖面图。图18是图17的静电电容式传感器的检测部件的上视图。图19是表示在图17的静电电容式传感器的底板上形成的多个电极的配置的图。
静电电容式传感器110包括衬底120、由人等进行操作而加外力的操作用检测部件130、位移电极140、在底板120上形成的电容元件用电极E101～E104、具有穹面形状的开关用可动电极E121～E124(在图17中只示出E121和E122)、配置在其内侧的开关用固定电极E111～E114(在图17中只示出E111和E112)、基准电极(公共电极)E100、具有穹面形状的按钮用可动电极E125、配置在其内侧的开关用固定电极E115、复盖在底板120上且紧贴多个电极形成的绝缘膜150、将检测部件130和位移电极140支撑固定在底板120上的支撑部件160和配置成将支撑部件160和检测部件130的周围覆盖的外罩170。
这里，为了便于说明，如图所示，定义XYZ三维坐标系，参照该坐标系说明各部件的配置。即，在图17中，将底板120上的按钮用固定电极E115的中心位置定义为原点O，水平方向向右为X轴，垂直方向向上为Z轴，与纸面垂直的方向向里为Y轴。这里，底板120的表面是XY平面，Z轴通过底板120上的按钮用固定电极E115、检测部件130和位移电极140的各中心位置。
底板120和底板20一样，是一般电子电路用印刷电路板，在该例中，使用玻璃环氧树脂底板。此外，作为底板120，也可以使用聚酰亚胺薄膜等薄膜状底板，但是，因薄膜底板具有挠性，故最好将薄膜安装在具有足够的刚性的支撑底板上再使用。
检测部件130由以原点为中心的圆形中央按钮131和配置在中央按钮131的外侧的圆环状的副按钮132构成。这里，中央按钮131的直径与基准电极E100的外径大致相同，比它稍为小一点，副按钮132的外径大致和连接电容元件用电极E101～E104的各外侧的曲线的圆的直径相同。再有，在与中央按钮131的下面的按钮用固定电极115相对的位置上形成突起体131a，在与副按钮132的下面的开关用固定电极111～E114分别相对的位置上形成4个突起体132a。
此外，在由具有弹性的硅橡胶形成的支撑部件160上，在与突起体131a和突起体132a对应的位置上形成贯通孔160a和160b。中央按钮131的突起体131a插入贯通孔160a中并粘接在支撑部件160的上面。副按钮132的4个突起体132a分别插入贯通孔160b中并利用销钉结构将其配置在支撑部件160的上面。再有，也可以将副按钮132粘接在支撑部件160的上面。
此外，如图18所示，在副按钮132的上面，与X轴和Y轴各自的正方向和负方向对应，即与电容元件用电极E101～E104对应，形成与操作方向(光标移动方向)对应的箭头。
位移电极140由导电硅橡胶形成，是具有和连接电容元件用电极E101～E104的各外侧的曲线的圆的直径大致相同的直径的圆盘形状，附着在支撑部件160的下面。
再有，作为位移电极140，除了硅橡胶之外，也可以使用导电油墨、导电的热可塑性树脂(PPT、弹性体)、导电塑料或金属蒸镀膜。这里，因支撑部件160的下面形成平板状(面一)，故可以利用丝网印刷形成位移电极140。
此外，如图19所示，在底板120上形成以原点O为中心的圆形按钮用固定电极E115、在其外侧形成的圆环状基准电极E110、其外侧是扇形且大致在各中央部具有圆形孔H101～H104的电容元件用电极E101～E104、在孔H101～H104的内侧且直径比孔H101～H104的直径小的圆形开关用固定电极E111～E114。这里，开关用固定电极E111～E114的面积最好比电容元件用电极E101～E104的面积小得多。一对电容元件用电极E101和E102远离X轴方向且相对Y轴线对称配置。此外，一对电容元件用电极E103和E104远离Y轴方向且相对X轴线对称配置。
在此，电容元件用电极E101配置成与X轴的正方向对应，电容元件用电极E102配置成与X轴的负方向对应，用于检测外力的X轴方向的分量。此外，电容元件用电极E103配置成与Y轴的正方向对应，电容元件用电极E104配置成与Y轴的负方向对应，用于检测外力的Y轴方向的分量。进而，按钮用固定电极E115配置在原点O上，和按钮用可动电极E125一起，利用作为输入等的确认操作。
基准电极E100和开关用固定电极E111～E114以及按钮用固定电极E115利用通孔等分别与端子T100～T104和端子T115(参照图20)连接，再通过T100～T104和端子T105与外部电子电路连接。再有，这里，基准电极E100经端子T100接地。
此外，配置开关用可动电极E121～E124，分别与电容元件用电极E101～E104接触，同时与开关用固定电极E111～E114隔离并将其覆盖。因此，开关用可动电极E121～E124是直径比孔H101～H104大的穹面状部件。同样，配置穹面状按钮用可动电极E125，与基准电极E100接触，同时与按钮用固定电极E115隔离并将其覆盖。因此，按钮用可动电极E125的直径比基准电极的内径大。
此外，绝缘膜150紧贴在底板120的一部分电容元件用电极E101～E104、一部分基准电极E100、开关用可动电极E21～E24和按钮用可动电极125的上面形成，并将底板120复盖。因此，由铜等形成的电容元件用电极E101～E104、基准电极E100、开关用可动电极E121～E124和按钮用可动电极E125的被绝缘膜150复盖的部分不会暴露在空气中，故具有防止它们氧化的功能。此外，因形成绝缘膜150，故位移电极140不与开关用可动电极E121～E124、按钮用可动电极E125和位移电极140直接接触。
其次，参照附图说明象上述那样构成的本实施形态的静电电容式传感器110的动作。图20是与图17所示的静电电容式传感器的构成对应的等效电路图。图21是用来说明从向图17所示的静电电容式传感器输入的周期信号导出输出信号的方法的说明图。
首先，参照图20说明与静电电容式传感器110的构成等效的电路构成。在底板120上形成的电容元件用电极E101～E104与位移电极140相对。这里，与电容元件用电极E101～E104连接的开关用可动电极E121～E124通过有选择地处于与开关用固定电极E111～E114接触的位置或不接触的位置，可以具有使其与端子T101～T104和电容元件用电极E101～E104连接或不连接的开关S101～S104的功能。此外，在基准电极E100(按钮用可动电极E125)和按钮用固定电极E115之间形成电容元件C100。进而，在和基准电极E100连接的按钮用可动电极E125和按钮用固定电极E115之间构成伴随中央按钮131的按压而通断的开关S105。
当开关用可动电极E121～E124不与开关用固定电极E111～E114接触(开关处于OFF状态)时，通过使开关用固定电极E111～E114的面积与电容元件用电极E101～E104的面积相比非常小，或开关用可动电极E121～E124形成某种静电屏蔽，使开关用可动电极E121～E124和开关用固定电极E111～E114之间几乎不形成静电电容。
另一方面，当开关用可动电极E121～E124与开关用固定电极E111～E114接触(开关处于ON状态)时，电容元件用电极E101～E104与开关用固定电极E111～E114连接，电容元件用电极E101～E104和位移电极140相对，在作为公共电极的可位移的位移电极140和固定的各电容元件用电极E101～E104之间构成电容元件C101～C104。电容元件C101～C104可以说是可变电容元件，其静电电容值因位移电极140的位移而变化。
电容元件C101～C104的各静电电容值作为位移电极140和分别与电容元件用电极E101～E104连接的端子T101～T104之间的静电电容值，可以分别单独测定。这里，因基准电极E100经端子T100接地，故作为电容元件C101～C104中的公共电极的位移电极140可以考虑经电容元件C100和端子T100接地。
其次，参照图21说明在开关用可动电极E121～E124和开关用固定电极E111～E114接触(开关S101～S104是ON状态)的情况下，从电容元件C101～C104的各静电电容值的变化导出表示作用于副按钮132的外力的大小和方向的输出信号的方法。这里，输出信号Vx、Vy分别表示外力的X轴方向分量和Y轴方向分量的大小和方向。
这里，为了导出输出信号Vx、Vy，始终向端子T101～T104输入时钟信号等周期信号。在向端子T101～T104输入周期信号的状态下，当副按钮132受外力而位移时，伴随着位移电极140向Z轴方向位移。而且，当该力小于规定值时，开关用可动电极E121～E124几乎不位移，而当该力达到规定值时，开关用可动电极E121～E124的顶部附近部分伴随弯曲产生剧烈的弹性变形而呈凹陷状态并与开关用固定电极E112～E114接触。因此，开关S101～S104处于ON状态。这时，给操作者以清晰的点击感。然后，若副按钮132持续位移，则开关S101～S104保持ON状态而使位移电极140进一步位移，由此，电容元件C101～C104的电极间隔发生变化，从而，使电容元件C101～C104的静电电容值发生变化。这一来，输入到端子T101～T104的周期信号的相位产生偏移。这样，利用周期信号产生的相位偏移，可以得到表示副按钮132的位移、即副按钮132受到的外力的X轴方向分量和Y轴方向分量的大小和方向的输出信号Vx、Vy。再有，关于导出方法，因和对图1所示的静电电容式传感器的信号处理电路说明的情况一样，故省略其说明。
如以上所述，本实施形态的静电电容式传感器110在对副按钮132进行操作的情况下，当与操作方向对应的开关可动用电极E121～E124伴随点击感而弹性变形从而与开关固定用电极E111～E114接触时开始进行副按钮132的位移的辨认，所以，操作者通过感觉点击能够从感觉上容易把握正在执行的操作。此外，因为了使其产生点击感而在加必要的规定大小的外力时开始副按钮132的位移的辨认，故当对副按钮132加小的外力(在操作者不是有意识地操作的不产生点击感的范围内的外力)时不辨认副按钮132的位移。因此，可以排除副按钮偶然与别的部件接触等外界干扰，可以根据操作者有意识的操作可靠地检测出副按钮132的位移。此外，在本实施形态中，在按钮用可动电极E125和按钮用固定电极E115接触时也给操作者以点击感。
此外，形成多个电容元件用电极E101～E104，副按钮132可以分别辨认外力的X轴方向分量和Y轴方向分量。这里，对成对的电容元件用电极(E101和E102、E103和E104)供给相位互不相同的信号，所以，可以使信号通过电路来加大信号相位的偏移，进而，因使用具有逻辑元件的信号处理电路，故可以高精度地检测该信号。
此外，可以作成带有确认操作用开关(中央按钮131)的输入装置，在进行确认操作时，因能得到明确的操作触感，故可以防止误操作。此外，因检测部件130和中央按钮131及副按钮132分开，作用于副按钮132的与操作方向对应的外力和作用于中央按钮131的与确认操作对应的外力可以明确地分开，故可以减轻这些力相互之间的干涉，可以减少误动作。再有，这样构成的静电电容式传感器很适合用来作为个人计算机、便携式电话、游戏机等的输入装置。
此外，位移电极140不用直接接触，而通过电容元件C100(具有藕合电容的功能)的电容藕合与接地的基准电极E100进行电结合，因此，可以提高静电电容式传感器110的耐电压特性，几乎不会因流过火花电流而使传感器损坏，同时，可以防止接触不良等不好的情况发生，可以得到可靠性高的静电电容式传感器。此外，即使在基准电极E100和位移电极140之间配置绝缘膜150，因不必将一部分绝缘膜150切开使基准电极E100和位移电极140接触，故从组装和安装方面说是有利的。
再有，虽然说明了本发明的最佳实施形态，但本发明不限于上述实施形态，只要是在权利要求书记载的范围内，可以进行各种各样的设计变更。例如，在上述实施形态1中，在电容元件用电极的内侧形成的基准电极和在位移电极的下面中央部形成的凸部接触，但也可以使在电容元件用电极的外侧形成的基准电极和在位移电极的下面外缘部形成的凸部接触。因此，只要基准电极和位移电极是电连接的，什么样的结构都行。
此外，在上述实施形态1或2中，作为开关用可动电极，使用穹面形状的电极，但只要是能伴随位移电极的位移产生带有点击感的弹性变形并与开关用固定电极接触的电极，使用什么样形状的电极都可以。
此外，在上述实施形态1或2中，开关用固定电极在电容元件用电极的内侧形成，但也可以使开关用固定电极在电容元件用电极邻接。
此外，在上述实施形态1或2中，检测部件相对与X轴方向及Y轴方向对应的电容元件用电极一体形成，但也可以使检测部件分开，而和与X轴方向及Y轴方向对应的电容元件用电极分别对应。
此外，在上述实施形态1或2中，形成与X轴和Y轴的正方向及负方向共4个方向对应的电容元件用电极，但也可以根据用途形成只能检测必要方向的分量的电容元件用电极。
本发明适用于静电电容式传感器，该静电电容式传感器能从感觉上容易把握正在进行的操作，可以用来作为个人计算机、便携式电话、游戏机等的输入装置。

Claims (16)

1、一种静电电容式传感器，其特征在于包括：
当定义XYZ三维坐标系时位于XY平面内的底板；
与上述底板相对的检测部件；
位于上述底板和上述检测部之间、随上述检测部件向Z轴方向位移而向Z轴方向位移的导电部件；
在上述底板上形成且与上述导电部件电连接而接地或保持一定的电位的基准电极；
在上述底板上形成的第1电极；
在上述底板上形成且与上述导电部件之间构成第1电容元件的第2电极；
在与上述第2电极接触且与上述第1电极隔开配置的同时可以伴随上述导电部件的位移而产生带有点击感的弹性变形从而与上述第1电极接触的第3电极。
在上述第1电极和上述第3电极接触时，利用对上述第1电极输入的信号检测起因于上述导电部件和上述第2电极之间的间隔的变化的上述第1电容元件的静电电容值的变化，由此可以辨认上述检测部件的位移。
2、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述第3电极具有穹面形状，可以在其内侧配置上述第1电极。
3、权利要求1或2记载的静电电容式传感器，其特征在于：在上述基准电极和上述导电部件之间构成第2电容元件。
4、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：形成多组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极。
5、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，向包含其中一组的电路和包含另一组的电路供给相位不同的信号。
6、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，包含其中一组的CR电路和包含另一组的CR电路的时间常数不同。
7、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：具有2组上述第1电极、上述第2电极和上述第3电极，利用包含逻辑元件的信号处理电路检测已分别输入包含其中一组的电路和包含另一组的电路的信号的输出信号。
8、权利要求7记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述逻辑元件进行异或运算。
9、权利要求7记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述逻辑元件进行或运算。
10、权利要求7记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述逻辑元件进行与运算。
11、权利要求7记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述逻辑元件进行与非运算。
12、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述第2电极包含一对相对Y轴线对称配置的第4电极和一对相对X轴线对称配置的第5电极。
13、权利要求12记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述检测部件分别与上述第4电极和上述第5电极对应分割开来。
14、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：进而具有在上述底板上形成的第6电极和第7电极，该第7电极配置成与上述基准电极接触且与上述第6电极隔离，同时伴随上述导电部件位移而产生弹性变形，从而能与上述第6电极接触。
15、权利要求14记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述检测部件分别与上述第2电极和上述第6电极对应分割开来。
16、权利要求1记载的静电电容式传感器，其特征在于：上述检测部件由涂敷在弹性体上的导电性油墨形成。
CN01823027XA 2001-03-14 2001-05-17 静电电容式传感器 Expired - Fee Related CN1216277C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001071668A JP3628972B2 (ja) 2001-03-14 2001-03-14 静電容量式センサ
JP71668/2001 2001-03-14

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1492994A CN1492994A (zh) 2004-04-28
CN1216277C true CN1216277C (zh) 2005-08-24

Family

ID=18929358

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN01823027XA Expired - Fee Related CN1216277C (zh) 2001-03-14 2001-05-17 静电电容式传感器

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6933732B2 (zh)
EP (1) EP1378736B1 (zh)
JP (1) JP3628972B2 (zh)
CN (1) CN1216277C (zh)
DE (1) DE60131782T2 (zh)
WO (1) WO2002073147A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI692636B (zh) * 2015-06-11 2020-05-01 日商東京威力科創股份有限公司 靜電電容測量用之感應晶片及具備該感應晶片之測量器

Families Citing this family (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7333092B2 (en) 2002-02-25 2008-02-19 Apple Computer, Inc. Touch pad for handheld device
JP5568768B2 (ja) * 2003-03-31 2014-08-13 株式会社トライフォース・マネジメント 力検出装置
US7499040B2 (en) * 2003-08-18 2009-03-03 Apple Inc. Movable touch pad with added functionality
CN100460168C (zh) * 2004-03-26 2009-02-11 张周新 物体的接触型传感器
US7589713B2 (en) * 2004-10-07 2009-09-15 Alps Electric Co., Ltd. Capacitive coordinate detection device
CN101142469A (zh) 2005-03-18 2008-03-12 新田株式会社 静电电容式传感器
WO2006100724A1 (ja) * 2005-03-18 2006-09-28 Nitta Corporation 静電容量式センサ
EP1707931B1 (en) 2005-03-31 2013-03-27 STMicroelectronics Srl Analog data-input device provided with a microelectromechanical pressure sensor
JP2006337070A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Nitta Ind Corp 静電容量式センサ
DE102005029503A1 (de) * 2005-06-24 2006-12-28 Siemens Ag Bedienelement mit Näherungssensor und Abschirmung
US7920127B2 (en) * 2005-07-29 2011-04-05 Alps Electric Co., Ltd. Capacitive coordinate detection device
EP1762925B1 (en) 2005-09-09 2016-12-21 STMicroelectronics Srl Analog input device with integrated pressure sensor and electronic apparatus equipped with said input device.
FR2895079B1 (fr) * 2005-12-20 2008-03-28 Skf Ab Dispositif de capteur de deplacement.
KR101225973B1 (ko) * 2006-06-09 2013-01-24 엘지전자 주식회사 전기전자기기의 정전 용량형 스위치
US8022935B2 (en) 2006-07-06 2011-09-20 Apple Inc. Capacitance sensing electrode with integrated I/O mechanism
JP2008020256A (ja) * 2006-07-11 2008-01-31 Nitta Ind Corp 静電容量型センサ
JP4717757B2 (ja) * 2006-08-28 2011-07-06 アルプス電気株式会社 静電容量式の入力装置
US8274479B2 (en) 2006-10-11 2012-09-25 Apple Inc. Gimballed scroll wheel
US20080088597A1 (en) * 2006-10-11 2008-04-17 Apple Inc. Sensor configurations in a user input device
CN101425418B (zh) * 2007-11-01 2010-07-28 宏达国际电子股份有限公司 输入面板及运用此输入面板的可携式电子装置
JP5100738B2 (ja) * 2009-04-22 2012-12-19 株式会社ジャパンディスプレイイースト 入力装置、およびそれを備えた表示装置
JP5439068B2 (ja) * 2009-07-08 2014-03-12 株式会社ワコー 力検出装置
JP5132654B2 (ja) * 2009-10-22 2013-01-30 シャープ株式会社 携帯情報端末
EP2559164B1 (en) 2010-04-14 2014-12-24 Frederick Johannes Bruwer Pressure dependent capacitive sensing circuit switch construction
US8624759B2 (en) * 2010-05-19 2014-01-07 Nokia Corporation Apparatus and method for an actuator in an electronic device
TW201205404A (en) * 2010-07-16 2012-02-01 Elan Microelectronics Corp Three-dimensional touch sensor and application thereof
JP2012163333A (ja) * 2011-02-03 2012-08-30 Seiko Epson Corp 検出装置、電子機器及びロボット
US9041418B2 (en) * 2011-10-25 2015-05-26 Synaptics Incorporated Input device with force sensing
CN103091002A (zh) * 2012-01-13 2013-05-08 骏升科技(中国)有限公司 电容式压力传感转换装置及在低端单片机上实现电容式压力传感的方法
EP2629422B1 (de) * 2012-02-15 2014-08-20 Flextronics International Kft. Kapazitiver Schalter
JP6107811B2 (ja) * 2012-03-09 2017-04-05 ソニー株式会社 センサ装置、入力装置及び電子機器
DE102013209849B4 (de) * 2013-05-27 2022-07-28 E.G.O. Elektro-Gerätebau GmbH Bedienelement
DE102014201511A1 (de) * 2014-01-28 2015-07-30 Behr-Hella Thermocontrol Gmbh Bedieneinheit für insbesondere eine Fahrzeugkomponente
KR101477120B1 (ko) * 2014-04-14 2014-12-30 성균관대학교산학협력단 정전용량형 6축 힘/토크 센서
JP5955912B2 (ja) * 2014-09-03 2016-07-20 レノボ・シンガポール・プライベート・リミテッド ポインティング・デバイスおよび携帯式コンピュータ。
GB2533949B (en) * 2015-01-08 2017-05-17 Touchnetix Ltd Displacement sensing apparatus and methods
US9910531B2 (en) * 2015-01-12 2018-03-06 Synaptics Incorporated Circular outline single layer pattern
US10162425B2 (en) * 2015-02-04 2018-12-25 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Input device and electronic device in which same is used
JP6643647B2 (ja) * 2015-03-19 2020-02-12 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 感圧素子
US10549982B2 (en) 2016-02-15 2020-02-04 Stmicroelectronics S.R.L. Pressure sensor encapsulated in elastomeric material, and system including the pressure sensor
CN105804605B (zh) * 2016-03-14 2017-07-07 南京赛百联人防科技有限公司 防护门多维监测运维传感器以及防护门
DE102016209241A1 (de) 2016-05-27 2017-11-30 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches Bauteil für eine Drucksensorvorrichtung
JP6325639B1 (ja) * 2016-11-22 2018-05-16 Ｎｉｓｓｈａ株式会社 圧力センサ
JP6762896B2 (ja) * 2017-03-22 2020-09-30 アズビル株式会社 圧力センサチップ、圧力発信器、および圧力センサチップの製造方法
WO2018180346A1 (ja) * 2017-03-25 2018-10-04 アルプス電気株式会社 力覚センサ
IT201700115209A1 (it) * 2017-10-12 2019-04-12 Chep Deutschland Gmbh Sistema di pallet e componente di misura
EP3550276A4 (en) * 2018-02-09 2019-12-11 Tri-Force Management Corporation FORCE SENSOR
CN109855772B (zh) * 2019-01-23 2024-04-19 广西大学 一种电容式六维力传感器
KR102196437B1 (ko) * 2019-01-29 2020-12-30 한국과학기술연구원 정전용량형 미세가공 초음파 트랜스듀서
WO2022105875A1 (zh) * 2020-11-20 2022-05-27 深圳市力驰创新科技有限公司 输入装置、输入方法及键盘

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0369594A (ja) 1989-08-07 1991-03-25 Idemitsu Petrochem Co Ltd ダイヤモンド膜の選択形成方法
US5367199A (en) * 1992-05-01 1994-11-22 Triax Technologies Sliding contact control switch pad
JPH07200164A (ja) * 1993-12-28 1995-08-04 Nitta Ind Corp 静電容量式センサー
JPH11132872A (ja) * 1997-11-04 1999-05-21 Nitta Ind Corp 静電容量式力検出装置
JP3069594U (ja) * 1999-12-13 2000-06-23 株式会社ワコー 押しボタンスイッチ
JP4295883B2 (ja) * 1999-12-13 2009-07-15 株式会社ワコー 力検出装置
US6842015B2 (en) * 2001-03-14 2005-01-11 Nitta Corporation Capacitance type sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI692636B (zh) * 2015-06-11 2020-05-01 日商東京威力科創股份有限公司 靜電電容測量用之感應晶片及具備該感應晶片之測量器

Also Published As

Publication number Publication date
EP1378736A4 (en) 2005-10-12
DE60131782T2 (de) 2008-10-30
DE60131782D1 (de) 2008-01-17
CN1492994A (zh) 2004-04-28
JP2002268817A (ja) 2002-09-20
US20040080216A1 (en) 2004-04-29
EP1378736A1 (en) 2004-01-07
WO2002073147A1 (en) 2002-09-19
US6933732B2 (en) 2005-08-23
JP3628972B2 (ja) 2005-03-16
EP1378736B1 (en) 2007-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1216277C (zh) 静电电容式传感器
CN1225642C (zh) 电容式传感器
CN1221789C (zh) 静电电容式传感器
CN1235022C (zh) 静电电容式传感器
CN1221788C (zh) 静电电容式传感器
CN1720431A (zh) 静电电容式传感器
CN1266449C (zh) 静电容式传感器
CN1308802C (zh) 旋转操作量输入装置及利用该装置的操作装置
CN1696626A (zh) 力传感器、力检测系统和力检测程序
CN1181516C (zh) 多方向输入装置及使用它的电子机器
CN1405540A (zh) 力检测器
JP2004191348A (ja) 静電容量式センサおよびその製造方法
CN1746668A (zh) 物理量传感器及其制造方法
KR20010092325A (ko) 정전용량의 변화를 이용한 입력장치 및 검출장치
CN1906459A (zh) 表面形状识别传感器装置
CN1826713A (zh) 插座以及测试装置
CN1217256C (zh) 输入装置
JP2022114656A (ja) 圧力センサ及び位置検出装置
CN101036040A (zh) 变形检测装置
CN1175274C (zh) 检测装置及检测装置用保持组件
JP2003287468A (ja) 静電容量式センサ
JP3999707B2 (ja) 静電容量型センサ
JP2005038623A (ja) 静電容量式入力装置
JP2002324463A (ja) 静電容量方式ｘ−ｙ入力装置
CN1689126A (zh) 键式开关用膜片和键式开关

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20050824