JPH07200164A - 静電容量式センサー - Google Patents
静電容量式センサーInfo
- Publication number
- JPH07200164A JPH07200164A JP5336327A JP33632793A JPH07200164A JP H07200164 A JPH07200164 A JP H07200164A JP 5336327 A JP5336327 A JP 5336327A JP 33632793 A JP33632793 A JP 33632793A JP H07200164 A JPH07200164 A JP H07200164A
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- Japan
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- electrode
- substrate
- elastic rubber
- rubber plate
- electrode portion
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良
好に検出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供す
ること。 【構成】 基板２と、この基板２の上方に設けられた弾
性ゴム板１と、前記弾性ゴム板１と基板２の対向する面
のうち、一方に設けられた電極部Ｃ及び他方に設けられ
た電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備した
ものであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより電極
部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距
離が変化するようにしてある。
好に検出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供す
ること。 【構成】 基板２と、この基板２の上方に設けられた弾
性ゴム板１と、前記弾性ゴム板１と基板２の対向する面
のうち、一方に設けられた電極部Ｃ及び他方に設けられ
た電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備した
ものであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより電極
部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距
離が変化するようにしてある。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は静電容量式センサーに
関するものであり、例えば、ＯＡ機器のカーソル操作部
（以下、ポインティングデバイスという）として使用で
きる。
関するものであり、例えば、ＯＡ機器のカーソル操作部
（以下、ポインティングデバイスという）として使用で
きる。
【０００２】
【従来の技術】静電容量式センサーとしては、例えば、
図９に示すような形式のものある。
図９に示すような形式のものある。
【０００３】このセンサーは、同図に示すように、中央
部に変形部となるダイヤフラム部９０を有し且つ前記ダ
イヤフラム部９０の中央に軸状の受力部９１を有した起
歪体９ａと、前記起歪体９ａに取り付けられた基体９ｂ
とを具備し、前記起歪体９ａと基体９ｂの対向面のう
ち、一方には図１０に示すような電極部Ｃを、他方には
図１１に示すような電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃ
ｙ−を、それぞれ設けてある。
部に変形部となるダイヤフラム部９０を有し且つ前記ダ
イヤフラム部９０の中央に軸状の受力部９１を有した起
歪体９ａと、前記起歪体９ａに取り付けられた基体９ｂ
とを具備し、前記起歪体９ａと基体９ｂの対向面のう
ち、一方には図１０に示すような電極部Ｃを、他方には
図１１に示すような電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃ
ｙ−を、それぞれ設けてある。
【０００４】また、このセンサーでは、起歪体９ａと基
体９ｂの対向面間のギャップｄの変化に伴う電極部Ｃ
と電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｘ−相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｙ−相互間における静電容量の変化を電圧の変化
に変換する電子装置を具備させてある。
体９ｂの対向面間のギャップｄの変化に伴う電極部Ｃ
と電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｘ−相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｙ−相互間における静電容量の変化を電圧の変化
に変換する電子装置を具備させてある。
【０００５】したがって、このセンサーでは、上記受力
部９１に作用する外力の大きさ及び方向（Ｘ−Ｙ方向）
をそれに対応する電圧値に変換できる。
部９１に作用する外力の大きさ及び方向（Ｘ−Ｙ方向）
をそれに対応する電圧値に変換できる。
【０００６】しかしながら、このセンサーは、軸状の受
力部９１を有していることから全体として嵩が高いもの
となってしまう。したがって、このセンサーをポインテ
ィングデバイスとしてコントロールパネルやリモコンに
取り付ける場合、これらの上面から受力部９１が突出す
る態様となって見栄えの悪いものとなってしまう。
力部９１を有していることから全体として嵩が高いもの
となってしまう。したがって、このセンサーをポインテ
ィングデバイスとしてコントロールパネルやリモコンに
取り付ける場合、これらの上面から受力部９１が突出す
る態様となって見栄えの悪いものとなってしまう。
【０００７】このため、近年、受力部９１に作用する外
力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩が低い静電
容量式センサーの開発が望まれている。
力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩が低い静電
容量式センサーの開発が望まれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検
出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供すること
を課題とする。
は、受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検
出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供すること
を課題とする。
【０００９】
【課題を解決する為の手段】この発明の静電容量式セン
サーは、基板２と、この基板２の上方に設けられた弾性
ゴム板１と、前記弾性ゴム板１と基板２の対向する面の
うち、一方に設けられた電極部Ｃ及び他方に設けられた
電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備したも
のであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより電極部
Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離
が変化するようにしてある。
サーは、基板２と、この基板２の上方に設けられた弾性
ゴム板１と、前記弾性ゴム板１と基板２の対向する面の
うち、一方に設けられた電極部Ｃ及び他方に設けられた
電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備したも
のであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより電極部
Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離
が変化するようにしてある。
【００１０】また、この静電容量式センサーは、基板２
と、この基板２の上方に設けられた弾性ゴム板１と、前
記弾性ゴム板１と基板２の対向する面にそれぞれ設けら
れた電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備し
たものであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより上
下の電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離
が変化するようにしてある。
と、この基板２の上方に設けられた弾性ゴム板１と、前
記弾性ゴム板１と基板２の対向する面にそれぞれ設けら
れた電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とを具備し
たものであって、前記弾性ゴム板１の押し込みにより上
下の電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離
が変化するようにしてある。
【００１１】
【作用】この発明は次のように作用する。
【００１２】この発明のセンサーは、弾性ゴム板１の押
し込みにより電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−（又は上下の電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−）相互間距離が変化する構成としてあるか
ら、従来の技術の欄に記載したセンサー（以下、従来の
センサーという）の如き長い軸状の受力部を必要としな
い。即ち、従来のセンサーと同様に受力部となる弾性ゴ
ム板１に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出で
き、他方、従来のセンサーと比較して嵩が低いものとな
る。
し込みにより電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−（又は上下の電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−）相互間距離が変化する構成としてあるか
ら、従来の技術の欄に記載したセンサー（以下、従来の
センサーという）の如き長い軸状の受力部を必要としな
い。即ち、従来のセンサーと同様に受力部となる弾性ゴ
ム板１に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出で
き、他方、従来のセンサーと比較して嵩が低いものとな
る。
【００１３】
【実施例】この発明の構成を実施例として示した図面に
従って説明する。
従って説明する。
【００１４】この実施例は、この発明に係る静電容量式
センサーをポインティングデバイスに利用したものであ
り、このポインティングデバイスは、図１に示すよう
に、基板２と、基板２上に設けられた弾性ゴム板１と、
前記弾性ゴム板１の下面に設けられた電極部Ｃと、基板
２の上面に設けられた電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，
Ｃｙ−と、前記弾性ゴム板１を基板２に対して支持固定
する押え板３と、前記プリント基板２’の下面に設けら
れた電子装置４とから構成されている。 〔弾性ゴム板１の構成〕弾性ゴム板１はシリコンゴムに
より成り、図３に示すように、受力部となる小径の上段
部１０と、中径の中段部１１と、大径の下段部１２とか
ら構成され、全体として平面視円形状に形成されてい
る。
センサーをポインティングデバイスに利用したものであ
り、このポインティングデバイスは、図１に示すよう
に、基板２と、基板２上に設けられた弾性ゴム板１と、
前記弾性ゴム板１の下面に設けられた電極部Ｃと、基板
２の上面に設けられた電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，
Ｃｙ−と、前記弾性ゴム板１を基板２に対して支持固定
する押え板３と、前記プリント基板２’の下面に設けら
れた電子装置４とから構成されている。 〔弾性ゴム板１の構成〕弾性ゴム板１はシリコンゴムに
より成り、図３に示すように、受力部となる小径の上段
部１０と、中径の中段部１１と、大径の下段部１２とか
ら構成され、全体として平面視円形状に形成されてい
る。
【００１５】上記上段部１０の上面には図２に示すよう
に、９０°間隔でカーソルの移動方向と対応させた矢印
１４が形成してあり、また、下段部１２の下面には図２
及び図３に示すように凹面部１３を形成してあると共に
この凹面部１３の全域に導電塗料（銀ペースト等）をス
クリーン印刷またはパッド印刷して図４に示す如き電極
部Ｃを形成させてある。
に、９０°間隔でカーソルの移動方向と対応させた矢印
１４が形成してあり、また、下段部１２の下面には図２
及び図３に示すように凹面部１３を形成してあると共に
この凹面部１３の全域に導電塗料（銀ペースト等）をス
クリーン印刷またはパッド印刷して図４に示す如き電極
部Ｃを形成させてある。
【００１６】なお、前記電極部Ｃとしては、上記スクリ
ーン印刷にかえて導電ゴムから成る薄膜を凹面部１３に
接合させて製作することも可能である。 〔基板２の構成〕基板２としては通常のプリント基板が
使用されており、上記凹面部１３と対応する位置に、図
１や図５に示す如き電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃ
ｙ−を形成すると共に電極部Ｃと対応する位置に、同図
に示す如き電極部２０を形成してある。 なお、上記電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−の表面はレジスト
により絶縁コーティングしてあり、電極部Ｃと電極部Ｃ
ｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とが直接的に接触しない
ようにしてある。
ーン印刷にかえて導電ゴムから成る薄膜を凹面部１３に
接合させて製作することも可能である。 〔基板２の構成〕基板２としては通常のプリント基板が
使用されており、上記凹面部１３と対応する位置に、図
１や図５に示す如き電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃ
ｙ−を形成すると共に電極部Ｃと対応する位置に、同図
に示す如き電極部２０を形成してある。 なお、上記電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−の表面はレジスト
により絶縁コーティングしてあり、電極部Ｃと電極部Ｃ
ｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とが直接的に接触しない
ようにしてある。
【００１７】また、センサー組立状態においては、図１
に示すように、前記凹面部１３と対応する電極部Ｃ部分
と電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とは近接状態
となっており、また、電極部Ｃの外周部分と電極部２０
とは接触状態となっていると共に前記電極部Ｃは電極部
２０及びスルーホール（図示せず）を介して接地させて
ある。 〔押え板３の構成〕押え板３は、図１に示すように、中
段部１１の径よりも少し大きな円孔３０が形成されたも
ので、この円孔３０の周壁部で上記下段部１２を押え込
むようにして弾性ゴム板１を基板２に支持固定するもの
である。尚、この押え板３は、同図に示すようにビスに
より基板２に取り付ける構成としてある。〔電子装置４
の機能〕電子装置４は、電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ
−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間の距離と対応する各静電容量
をそれぞれ電圧Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，Ｖｙ−に変換
できるものとしてある。
に示すように、前記凹面部１３と対応する電極部Ｃ部分
と電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とは近接状態
となっており、また、電極部Ｃの外周部分と電極部２０
とは接触状態となっていると共に前記電極部Ｃは電極部
２０及びスルーホール（図示せず）を介して接地させて
ある。 〔押え板３の構成〕押え板３は、図１に示すように、中
段部１１の径よりも少し大きな円孔３０が形成されたも
ので、この円孔３０の周壁部で上記下段部１２を押え込
むようにして弾性ゴム板１を基板２に支持固定するもの
である。尚、この押え板３は、同図に示すようにビスに
より基板２に取り付ける構成としてある。〔電子装置４
の機能〕電子装置４は、電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ
−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間の距離と対応する各静電容量
をそれぞれ電圧Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，Ｖｙ−に変換
できるものとしてある。
【００１８】ここで便宜上、上段部１０を押していない
ときの電圧をそれぞれＶｘ0 ＋，Ｖｘ0 −，Ｖｙ0 ＋，
Ｖｙ0 −とし、上段部１０を押したときの電圧をＶｘ1
＋，Ｖｘ1 −，Ｖｙ1 ＋，Ｖｙ1 −とする。
ときの電圧をそれぞれＶｘ0 ＋，Ｖｘ0 −，Ｖｙ0 ＋，
Ｖｙ0 −とし、上段部１０を押したときの電圧をＶｘ1
＋，Ｖｘ1 −，Ｖｙ1 ＋，Ｖｙ1 −とする。
【００１９】尚、この実施例のものでは、電極部Ｃｘ＋
と対応する上段部１０の矢印１４部分を押し込むとその
押し込み量は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕に、電極
部Ｃｙ＋と対応する上段部１０の矢印１４部分を押し込
むとその押し込み量は〔（Ｖｙ1 ＋）−（Ｖｙ1 −）〕
に、それぞれ変換され、これらの電圧値によりカーソル
の移動速度が決定されるようにしてある。即ち、この静
電容量センサーは上記の如く構成されているから、Ｘ−
Ｘ方向における右側の矢印１４を押し込んだ場合、出力
電圧は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕＞〔（Ｖｘ
0 ＋）−（Ｖｘ0 −）〕となり、カーソルは〔（Ｖｘ1
＋）−（Ｖｘ1 −）〕の絶対値と対応する速度で右側に
移動する。逆に、Ｘ−Ｘ方向における左側の矢印１４を
押し込んだ場合、出力電圧は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1
−）〕＜〔（Ｖｘ0 ＋）−（Ｖｘ0 −）〕となり、カー
ソルは〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕の絶対値と対応
する速度で左側に移動する。Ｙ−Ｙ方向の矢印１４を押
し込んだ場合についてもＸ−Ｘ方向の場合と同様のこと
がいえる。
と対応する上段部１０の矢印１４部分を押し込むとその
押し込み量は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕に、電極
部Ｃｙ＋と対応する上段部１０の矢印１４部分を押し込
むとその押し込み量は〔（Ｖｙ1 ＋）−（Ｖｙ1 −）〕
に、それぞれ変換され、これらの電圧値によりカーソル
の移動速度が決定されるようにしてある。即ち、この静
電容量センサーは上記の如く構成されているから、Ｘ−
Ｘ方向における右側の矢印１４を押し込んだ場合、出力
電圧は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕＞〔（Ｖｘ
0 ＋）−（Ｖｘ0 −）〕となり、カーソルは〔（Ｖｘ1
＋）−（Ｖｘ1 −）〕の絶対値と対応する速度で右側に
移動する。逆に、Ｘ−Ｘ方向における左側の矢印１４を
押し込んだ場合、出力電圧は〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1
−）〕＜〔（Ｖｘ0 ＋）−（Ｖｘ0 −）〕となり、カー
ソルは〔（Ｖｘ1 ＋）−（Ｖｘ1 −）〕の絶対値と対応
する速度で左側に移動する。Ｙ−Ｙ方向の矢印１４を押
し込んだ場合についてもＸ−Ｘ方向の場合と同様のこと
がいえる。
【００２０】そして、このセンサーでは上記した如く上
段部１０の矢印１４の押し込みにより電極部Ｃと各電極
部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離が変化す
る構成としてあるから、従来のセンサーの如き長い軸状
の受力部を必要とせず、その結果、嵩が低いものとな
る。
段部１０の矢印１４の押し込みにより電極部Ｃと各電極
部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間距離が変化す
る構成としてあるから、従来のセンサーの如き長い軸状
の受力部を必要とせず、その結果、嵩が低いものとな
る。
【００２１】尚、上記実施例の弾性ゴム板１に施した電
極部Ｃを、電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−にか
えることもでき、また、弾性ゴム板１側を電極部Ｃｘ
＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とすると共に基板２側を電
極部Ｃとすることもできる。
極部Ｃを、電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−にか
えることもでき、また、弾性ゴム板１側を電極部Ｃｘ
＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とすると共に基板２側を電
極部Ｃとすることもできる。
【００２２】また、上記実施例にかえて、図６に示すよ
うに、上段部１０に十字溝１９を設けるようにしてもよ
い。
うに、上段部１０に十字溝１９を設けるようにしてもよ
い。
【００２３】他方、上記実施例のポインティングデバイ
スは、図７や図８に示すように、メンブレインスイッチ
と同じ工程で製作することができ、これにより見栄えが
良く、押し込み操作のみの制御パネルが効率的に製作で
きる。尚、図７中、符号５はスイッチ、符号５０は導電
ゴム、符号５１，５２は電極部、符号Ｃは導電ゴムの薄
膜で形成された電極部である。
スは、図７や図８に示すように、メンブレインスイッチ
と同じ工程で製作することができ、これにより見栄えが
良く、押し込み操作のみの制御パネルが効率的に製作で
きる。尚、図７中、符号５はスイッチ、符号５０は導電
ゴム、符号５１，５２は電極部、符号Ｃは導電ゴムの薄
膜で形成された電極部である。
【００２４】
【発明の効果】作用の欄に記載した内容から、受力部に
作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩
が低い静電容量式センサーを提供できた。
作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩
が低い静電容量式センサーを提供できた。
【図１】この発明の静電容量式センサーをポインティン
グデバイスに使用した実施例であって、このポインティ
ングデバイスの断面図。
グデバイスに使用した実施例であって、このポインティ
ングデバイスの断面図。
【図２】前記前記ポインティングデバイスの弾性ゴム板
の平面図。
の平面図。
【図３】前記弾性ゴム板の斜視図。
【図４】前記弾性ゴム板側の電極部の平面図。
【図５】前記ポインティングデバイスの基板側の電極部
の平面図。
の平面図。
【図６】前記弾性ゴム板の他の態様の斜視図。
【図７】前記ポインティングデバイスを有した制御パネ
ルの平面図。
ルの平面図。
【図８】前記ポインティングデバイスを有した制御パネ
ルの断面図。
ルの断面図。
【図９】先行技術の静電容量式センサーの断面図。
【図１０】前記静電容量式センサーの電極部の平面図。
【図１１】前記静電容量式センサーの電極部の平面図。
Ｃ 電極部 Ｃｘ＋ 電極部 Ｃｘ− 電極部 Ｃｙ＋ 電極部 Ｃｙ− 電極部 １ 弾性ゴム板 ２ 基板 ３ 押え板 ４ 電子装置
Claims (2)
- 【請求項１】 基板（２）と、この基板（２）の上方に
設けられた弾性ゴム板（１）と、前記弾性ゴム板（１）
と基板（２）の対向する面のうち、一方に設けられた電
極部（Ｃ）及び他方に設けられた電極部（Ｃｘ＋）（Ｃ
ｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ−）とを具備したものであっ
て、前記弾性ゴム板（１）の押し込みにより電極部
（Ｃ）と電極部（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ
−）相互間距離が変化するようにしたことを特徴とする
静電容量式センサー。 - 【請求項２】 基板（２）と、この基板（２）の上方に
設けられた弾性ゴム板（１）と、前記弾性ゴム板（１）
と基板（２）の対向する面にそれぞれ設けられた電極部
（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ−）とを具備し
たものであって、前記弾性ゴム板（１）の押し込みによ
り上下の電極部（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ
−）相互間距離が変化するようにしたことを特徴とする
静電容量式センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336327A JPH07200164A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 静電容量式センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5336327A JPH07200164A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 静電容量式センサー |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002192904A Division JP2003139628A (ja) | 2002-07-02 | 2002-07-02 | 静電容量式センサー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07200164A true JPH07200164A (ja) | 1995-08-04 |
Family
ID=18297979
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5336327A Pending JPH07200164A (ja) | 1993-12-28 | 1993-12-28 | 静電容量式センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07200164A (ja) |
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000292271A (ja) * | 1999-02-02 | 2000-10-20 | Nitta Ind Corp | 静電容量式力覚センサ |
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| JP2001324397A (ja) * | 2000-05-17 | 2001-11-22 | Wacoh Corp | 力検出装置および操作量検出装置 |
| JP2001330527A (ja) * | 2000-05-19 | 2001-11-30 | Nitta Ind Corp | 力検出装置 |
| US6373265B1 (en) | 1999-02-02 | 2002-04-16 | Nitta Corporation | Electrostatic capacitive touch sensor |
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