JP3451362B2 - 静電容量式センサー - Google Patents
静電容量式センサーInfo
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- JP3451362B2 JP3451362B2 JP00410594A JP410594A JP3451362B2 JP 3451362 B2 JP3451362 B2 JP 3451362B2 JP 00410594 A JP00410594 A JP 00410594A JP 410594 A JP410594 A JP 410594A JP 3451362 B2 JP3451362 B2 JP 3451362B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は静電容量式センサーに
関するものであり、例えば、ＯＡ機器のカーソル操作部
（以下、ポインティングデバイスという）として使用で
きる。
関するものであり、例えば、ＯＡ機器のカーソル操作部
（以下、ポインティングデバイスという）として使用で
きる。
【０００２】
【従来の技術】静電容量式センサーとしては、例えば、
図８に示すような形式のものある。
図８に示すような形式のものある。
【０００３】このセンサーは、同図に示すように、中央
部に変形部となるダイヤフラム部９０を有し且つ前記ダ
イヤフラム部９０の中央に軸状の受力部９１を有した起
歪体９ａと、前記起歪体９ａに取り付けられた基体９ｂ
とを具備し、前記起歪体９ａと基体９ｂの対向面のう
ち、一方には図９に示すような電極部Ｃを、他方には図
１０に示すような電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−を、それぞれ設けてある。
部に変形部となるダイヤフラム部９０を有し且つ前記ダ
イヤフラム部９０の中央に軸状の受力部９１を有した起
歪体９ａと、前記起歪体９ａに取り付けられた基体９ｂ
とを具備し、前記起歪体９ａと基体９ｂの対向面のう
ち、一方には図９に示すような電極部Ｃを、他方には図
１０に示すような電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ
−を、それぞれ設けてある。
【０００４】また、このセンサーでは、受力部９１の傾
倒動に伴う、即ち、起歪体９ａと基体９ｂの対向面間の
ギャップｄの変化に伴う電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｙ＋相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間に
おける静電容量の変化を電気信号、例えば電圧の変化に
変換する電子装置を具備させてある。
倒動に伴う、即ち、起歪体９ａと基体９ｂの対向面間の
ギャップｄの変化に伴う電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互
間，電極部Ｃと電極部Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電
極部Ｃｙ＋相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間に
おける静電容量の変化を電気信号、例えば電圧の変化に
変換する電子装置を具備させてある。
【０００５】したがって、このセンサーでは、上記受力
部９１に作用する外力の大きさ及び方向（Ｘ−Ｙ方向）
をそれに対応する電圧値に変換できる。
部９１に作用する外力の大きさ及び方向（Ｘ−Ｙ方向）
をそれに対応する電圧値に変換できる。
【０００６】しかしながら、このセンサーは、軸状の受
力部９１を有していることから全体として嵩が高いもの
となってしまう。したがって、このセンサーをポインテ
ィングデバイスとしてコントロールパネルやリモコンに
取り付ける場合、これらの上面から受力部９１が突出す
る態様となって見栄えの悪いものとなってしまう。
力部９１を有していることから全体として嵩が高いもの
となってしまう。したがって、このセンサーをポインテ
ィングデバイスとしてコントロールパネルやリモコンに
取り付ける場合、これらの上面から受力部９１が突出す
る態様となって見栄えの悪いものとなってしまう。
【０００７】このため、近年、受力部９１に作用する外
力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩が低い静電
容量式センサーの開発が望まれている。
力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩が低い静電
容量式センサーの開発が望まれている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検
出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供すること
を課題とする。
は、受力部に作用する外力の大きさ及び方向を良好に検
出でき且つ嵩が低い静電容量式センサーを提供すること
を課題とする。
【０００９】
【課題を解決する為の手段】（請求項１記載の発明）
この発明の静電容量式センサーは、上面に９０°間隔で
配置された電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−を有
した基板２と、この基板２の上方に、外側部を固定端と
する金属製の起歪板３とを具備しており、前記起歪板３
の中央部に×印形状のスリットを形成して各電極部Ｃｘ
＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−と対向する部分に、起歪部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを構成させ、前記起歪部３ａ，
３ｂ，３ｃ，３ｄが弾性力に抗してそれぞれ独立して押
し込めるようにし、前記起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
の押し込みにより、当該起歪部とこれと対向する電極部
相互間距離が変化するようにしている。 （請求項２記載の発明） この発明の静電容量式センサーは、上面に配置された電
極部Ｃを有した基板２と、この基板２の上方に、外側部
側を固定端と、中央部側を自由端として９０°間隔で配
置された四個の金属製の起歪板３とを具備しており、四
個の起歪板３の自由端部側を電極部Ｃと対向させると共
に、四個の起歪板３の自由端部側が弾性力に抗してそれ
ぞれ独立して押し込めるようにしてあり、前記起歪板３
の中央部側の押し込みにより、当該起歪板３の中央部と
これと対向する電極部Ｃ相互間距離が変化するようにし
ている。
配置された電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−を有
した基板２と、この基板２の上方に、外側部を固定端と
する金属製の起歪板３とを具備しており、前記起歪板３
の中央部に×印形状のスリットを形成して各電極部Ｃｘ
＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−と対向する部分に、起歪部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄを構成させ、前記起歪部３ａ，
３ｂ，３ｃ，３ｄが弾性力に抗してそれぞれ独立して押
し込めるようにし、前記起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ
の押し込みにより、当該起歪部とこれと対向する電極部
相互間距離が変化するようにしている。 （請求項２記載の発明） この発明の静電容量式センサーは、上面に配置された電
極部Ｃを有した基板２と、この基板２の上方に、外側部
側を固定端と、中央部側を自由端として９０°間隔で配
置された四個の金属製の起歪板３とを具備しており、四
個の起歪板３の自由端部側を電極部Ｃと対向させると共
に、四個の起歪板３の自由端部側が弾性力に抗してそれ
ぞれ独立して押し込めるようにしてあり、前記起歪板３
の中央部側の押し込みにより、当該起歪板３の中央部と
これと対向する電極部Ｃ相互間距離が変化するようにし
ている。
【００１０】この発明の静電容量式センサーは、基板２
と、この基板２の上方に９０°間隔で設けられ且つ基板
２の外部側を固定端とすると共に基板２の中央部側を自
由端としてある４つの金属製の起歪板３と、この４つの
起歪板３と対向する基板２部分に設けられた電極部Ｃと
を具備したものであって、前記起歪板３の自由端部の押
し込みにより、各起歪板３と電極部Ｃ相互間距離が変化
するようにしてある。
と、この基板２の上方に９０°間隔で設けられ且つ基板
２の外部側を固定端とすると共に基板２の中央部側を自
由端としてある４つの金属製の起歪板３と、この４つの
起歪板３と対向する基板２部分に設けられた電極部Ｃと
を具備したものであって、前記起歪板３の自由端部の押
し込みにより、各起歪板３と電極部Ｃ相互間距離が変化
するようにしてある。
【００１１】
【作用】この発明は次のように作用する。
【００１２】この発明のセンサーは、起歪部３ａ，３
ｂ，３ｃ，３ｄ（又は起歪板３の自由端部）の押し込み
により、起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと基板２側の電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−（又は電極部Ｃ）
相互間距離が変化する構成としてあるから、従来の技術
の欄に記載したセンサー（以下、従来のセンサーとい
う）の如き長井軸状の受力部を必要としない。この発明
のセンサーでは、起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの押し
込み力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ従来のセ
ンサーと比較して嵩が低いものとなる。
ｂ，３ｃ，３ｄ（又は起歪板３の自由端部）の押し込み
により、起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄと基板２側の電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−（又は電極部Ｃ）
相互間距離が変化する構成としてあるから、従来の技術
の欄に記載したセンサー（以下、従来のセンサーとい
う）の如き長井軸状の受力部を必要としない。この発明
のセンサーでは、起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄの押し
込み力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ従来のセ
ンサーと比較して嵩が低いものとなる。
【００１３】
【実施例】この発明の構成を実施例として示した図面に
従って説明する。
従って説明する。
【００１４】この実施例の静電容量式センサーは、図１
に示すように、基板２と、この基板２の上方に９０°間
隔で配置された起歪板３と、前記起歪板３の上面を覆う
べく設けられた弾性板４と、前記弾性板４を起歪板３に
取り付けるべく設けられた押え板５と、前記基板２と起
歪板３との間に介在させたスペーサ６と、前記基板２の
下面に設けられた電子装置７と、前記した各部品を積層
した状態で固定するビス８とから構成されている。以下
に、各部品の構成について詳述する。 〔基板２の構成〕基板２としては通常のプリント基板が
使用されており、図１や図５に示すように、全体形状を
平面視正方形とすると共にその上面に図５に示す如き電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−を形成してある。
ここで、前記電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−
は、プリント基板の製作に使用されるエッチング法で製
作できるし、また、導電塗料（銀ペースト等）をスクリ
ーン印刷やパッド印刷することにより形成させることが
できる。また、この基板２の四隅には、同図に示すよう
に、ビス８を挿通させるための貫通孔２０を具備させて
ある。
に示すように、基板２と、この基板２の上方に９０°間
隔で配置された起歪板３と、前記起歪板３の上面を覆う
べく設けられた弾性板４と、前記弾性板４を起歪板３に
取り付けるべく設けられた押え板５と、前記基板２と起
歪板３との間に介在させたスペーサ６と、前記基板２の
下面に設けられた電子装置７と、前記した各部品を積層
した状態で固定するビス８とから構成されている。以下
に、各部品の構成について詳述する。 〔基板２の構成〕基板２としては通常のプリント基板が
使用されており、図１や図５に示すように、全体形状を
平面視正方形とすると共にその上面に図５に示す如き電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−を形成してある。
ここで、前記電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−
は、プリント基板の製作に使用されるエッチング法で製
作できるし、また、導電塗料（銀ペースト等）をスクリ
ーン印刷やパッド印刷することにより形成させることが
できる。また、この基板２の四隅には、同図に示すよう
に、ビス８を挿通させるための貫通孔２０を具備させて
ある。
【００１５】なお、上記電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ
＋，Ｃｙ−の表面はレジストにより絶縁コーティングし
てあり、起歪板３の押し込み時において、起歪板３と電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−の導電部とが直接
的に接触しないようにしてある。 〔起歪板３の構成〕起歪板３は、図１や図４に示すよう
に、上記基板２と平面視が同形状の一枚の金属板３０
に、直交する直線スリット３１を形成して成るもので、
自由端部となる中央部分（図４において二点鎖線で示す
三角形状の起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）が弾性力に
抗して押し込み可能となっている。この起歪板３の四隅
には、同図に示すように、ビス８を挿通させるための貫
通孔３２を具備させてあり、図１に示すセンサー組立状
態においては、前記貫通孔３２を利用することにより起
歪板３の周辺部分（外側の枠部分）が導電性のスペーサ
６及び基板３に固定されるようになっている。
＋，Ｃｙ−の表面はレジストにより絶縁コーティングし
てあり、起歪板３の押し込み時において、起歪板３と電
極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−の導電部とが直接
的に接触しないようにしてある。 〔起歪板３の構成〕起歪板３は、図１や図４に示すよう
に、上記基板２と平面視が同形状の一枚の金属板３０
に、直交する直線スリット３１を形成して成るもので、
自由端部となる中央部分（図４において二点鎖線で示す
三角形状の起歪部３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ）が弾性力に
抗して押し込み可能となっている。この起歪板３の四隅
には、同図に示すように、ビス８を挿通させるための貫
通孔３２を具備させてあり、図１に示すセンサー組立状
態においては、前記貫通孔３２を利用することにより起
歪板３の周辺部分（外側の枠部分）が導電性のスペーサ
６及び基板３に固定されるようになっている。
【００１６】尚、この実施例では、この起歪板３を構成
する金属板としてステンレス鋼板（例えば、ＳＵＳ３０
４）を使用している。 〔弾性板４の構成〕 弾性板４は、図１や図２に示すように、上記基板２と平
面視が同形状のシリコンゴム板により構成されており、
その下面における周縁部を除く部分に凹み部４０を設け
てある。また、この弾性体４上面における中央部近傍に
は、図２や図３に示すように、上下左右を向いた４つの
矢印４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを形成してあり、前記矢印
４ａは後述の起歪部３ａ及び電極部Ｃｙ＋と、矢印４ｂ
は後述の起歪部３ｂ及び電極部Ｃｙ−と、矢印４ｃは後
述の起歪部３ｃ及び電極部Ｃｘ＋と、矢印４ｄは後述の
起歪部３ｄ及び電極部Ｃｘ−と、それぞれ対応する位置
に設定してある（図３、４、５参照）。 〔押え板５の構成〕 押え板５は、図１や図２に示すように、平面視の外郭が
上記基板２と同形状の環状に形成されており、センサー
組立状態においては、この押え板５と上記起歪板３とに
より弾性板４の周縁部のみが挟持されるようにしてあ
る。つまり、この実施例のものでは、上記弾性板４の押
え板５から露出した部分が受力体となり、この受力体と
なる部分を押し込むことにより起歪部３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄを押し込み得るようにしてある。
する金属板としてステンレス鋼板（例えば、ＳＵＳ３０
４）を使用している。 〔弾性板４の構成〕 弾性板４は、図１や図２に示すように、上記基板２と平
面視が同形状のシリコンゴム板により構成されており、
その下面における周縁部を除く部分に凹み部４０を設け
てある。また、この弾性体４上面における中央部近傍に
は、図２や図３に示すように、上下左右を向いた４つの
矢印４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄを形成してあり、前記矢印
４ａは後述の起歪部３ａ及び電極部Ｃｙ＋と、矢印４ｂ
は後述の起歪部３ｂ及び電極部Ｃｙ−と、矢印４ｃは後
述の起歪部３ｃ及び電極部Ｃｘ＋と、矢印４ｄは後述の
起歪部３ｄ及び電極部Ｃｘ−と、それぞれ対応する位置
に設定してある（図３、４、５参照）。 〔押え板５の構成〕 押え板５は、図１や図２に示すように、平面視の外郭が
上記基板２と同形状の環状に形成されており、センサー
組立状態においては、この押え板５と上記起歪板３とに
より弾性板４の周縁部のみが挟持されるようにしてあ
る。つまり、この実施例のものでは、上記弾性板４の押
え板５から露出した部分が受力体となり、この受力体と
なる部分を押し込むことにより起歪部３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄを押し込み得るようにしてある。
【００１７】また、この押え板５についても上記部品と
同様にビス挿通用の貫通孔を形成している。 〔スペーサ６の構成〕スペーサ６は、図１や図２示すよ
うに、上記押え板５とほぼ同様の導電性の薄板により構
成されており、このスペーサ６の存在により、センサー
組立状態における起歪板３と基板２相互間の小間隙を確
保するようにしている。
同様にビス挿通用の貫通孔を形成している。 〔スペーサ６の構成〕スペーサ６は、図１や図２示すよ
うに、上記押え板５とほぼ同様の導電性の薄板により構
成されており、このスペーサ６の存在により、センサー
組立状態における起歪板３と基板２相互間の小間隙を確
保するようにしている。
【００１８】また、このスペーサ６についても上記部品
と同様にビス挿通用の貫通孔を形成している。 〔電子装置７の機能〕電子装置７は、起歪板３と電極部
Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間の距離と対応す
る各静電容量をそれぞれ電圧Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，
Ｖｙ−に変換できるものとしてあり、更に、Ｖｘ＝（Ｖ
ｘ＋）−（Ｖｘ−）、Ｖｙ＝（Ｖｙ＋）−（Ｖｙ−）の
演算を行なわせしめることにより、弾性板４を押した位
置と強さに応じて出力電圧Ｖｘ，Ｖｙが得られるように
してある。つまり、図６に示す如く矢印４ｃが押される
と起歪部３ｃと電極部Ｃｘ＋とが接近して出力電圧Ｖｘ
が大きくなり、矢印４ｄが押されると起歪部３ｄと電極
部Ｃｘ−とが接近して出力電圧Ｖｘが小さくなる。電極
部Ｃｙ＋，Ｃｙ−についても同様の構成である。
と同様にビス挿通用の貫通孔を形成している。 〔電子装置７の機能〕電子装置７は、起歪板３と電極部
Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相互間の距離と対応す
る各静電容量をそれぞれ電圧Ｖｘ＋，Ｖｘ−，Ｖｙ＋，
Ｖｙ−に変換できるものとしてあり、更に、Ｖｘ＝（Ｖ
ｘ＋）−（Ｖｘ−）、Ｖｙ＝（Ｖｙ＋）−（Ｖｙ−）の
演算を行なわせしめることにより、弾性板４を押した位
置と強さに応じて出力電圧Ｖｘ，Ｖｙが得られるように
してある。つまり、図６に示す如く矢印４ｃが押される
と起歪部３ｃと電極部Ｃｘ＋とが接近して出力電圧Ｖｘ
が大きくなり、矢印４ｄが押されると起歪部３ｄと電極
部Ｃｘ−とが接近して出力電圧Ｖｘが小さくなる。電極
部Ｃｙ＋，Ｃｙ−についても同様の構成である。
【００１９】そして、隣合う二つの矢印同時に押せば、
出力電圧Ｖｘ，Ｖｙはそれぞれ押した位置によって変化
し、例えば、矢印４ｃ，４ａ上を押せば出力電圧Ｖｘ，
Ｖｙは共に大きくなり、また、矢印４ｃ，４ｂを同時に
押せば出力電圧Ｖｘは大きく、出力電圧Ｖｙは小さくな
る。尚、この出力信号の増減は先に説明した変化と逆で
あってもよい。
出力電圧Ｖｘ，Ｖｙはそれぞれ押した位置によって変化
し、例えば、矢印４ｃ，４ａ上を押せば出力電圧Ｖｘ，
Ｖｙは共に大きくなり、また、矢印４ｃ，４ｂを同時に
押せば出力電圧Ｖｘは大きく、出力電圧Ｖｙは小さくな
る。尚、この出力信号の増減は先に説明した変化と逆で
あってもよい。
【００２０】このセンサーは上記構成を採用している、
即ち、弾性部１０の矢印４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの押し
込みにより一方の電極部となる起歪部３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄと各電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相
互間距離が変化する構成としてあるから、従来のセンサ
ーの如き長い軸状の受力部を必要とせず、その結果、嵩
が低いものとなる。
即ち、弾性部１０の矢印４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄの押し
込みにより一方の電極部となる起歪部３ａ，３ｂ，３
ｃ，３ｄと各電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−相
互間距離が変化する構成としてあるから、従来のセンサ
ーの如き長い軸状の受力部を必要とせず、その結果、嵩
が低いものとなる。
【００２１】尚、上記実施例の起歪板３にかえて、図７
に示すように、４つの独立した起歪板３を９０°間隔で
配置するようにしてもよく、この場合には、基板２に形
成される電極部を上記した４つの電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ
−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とすることも、また、先行技術の説
明に示した図９に示す電極部Ｃとすることもできる。
に示すように、４つの独立した起歪板３を９０°間隔で
配置するようにしてもよく、この場合には、基板２に形
成される電極部を上記した４つの電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ
−，Ｃｙ＋，Ｃｙ−とすることも、また、先行技術の説
明に示した図９に示す電極部Ｃとすることもできる。
【００２２】他方、上記出力電圧Ｖｘ，Ｖｙを適切な信
号に変換すれば、ＯＡ機器やパソコン等のポインティン
グデバイスとして使用できる。例えば、出力電圧をワン
チップマイコン等を用いて、パソコンのマウスドライバ
ーソフトに対応した出力フォーマットに変換すれば、カ
ーソルを制御するポインティングデバイスとして使用で
きる。なお、マウスの種類としては、バスマウス、シリ
アルマウス、ＰＳ／２マウス等があるが、それぞれのマ
ウスを動作させるには各マウスに対応したドライバーソ
フトが必要である。
号に変換すれば、ＯＡ機器やパソコン等のポインティン
グデバイスとして使用できる。例えば、出力電圧をワン
チップマイコン等を用いて、パソコンのマウスドライバ
ーソフトに対応した出力フォーマットに変換すれば、カ
ーソルを制御するポインティングデバイスとして使用で
きる。なお、マウスの種類としては、バスマウス、シリ
アルマウス、ＰＳ／２マウス等があるが、それぞれのマ
ウスを動作させるには各マウスに対応したドライバーソ
フトが必要である。
【００２３】
【発明の効果】作用の欄に記載した内容から、受力部に
作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩
が低い静電容量式センサーを提供できた。
作用する外力の大きさ及び方向を良好に検出でき且つ嵩
が低い静電容量式センサーを提供できた。
【図１】この発明の実施例の静電容量式センサーの断面
図。
図。
【図２】前記静電容量式センサーの一部切欠斜視図。
【図３】前記静電容量式センサーの平面図。
【図４】前記静電容量式センサーの起歪板の平面図。
【図５】前記静電容量式センサーの基板の平面図。
【図６】前記静電容量式センサー弾性板を指で押さえた
状態の断面図。
状態の断面図。
【図７】この発明の他の実施例における起歪板を示す平
面図。
面図。
【図８】先行技術の静電容量式センサーの断面図。
【図９】前記静電容量式センサーの電極部の平面図。
【図１０】前記静電容量式センサーの電極部の平面図。
Ｃ 電極部
Ｃｘ＋ 電極部
Ｃｘ− 電極部
Ｃｙ＋ 電極部
Ｃｙ− 電極部
２ 基板
３ 起歪板
フロントページの続き
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G06F 3/02 - 3/033
G01D 5/24
G01L 1/14,9/12
G01B 7/00 - 7/34
G01P 15/125
H01H 13/00 - 13/76,36/00
Claims (2)
- 【請求項１】 上面に９０°間隔で配置された電極部
（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ−）を有した基
板（２）と、この基板（２）の上方に、外側部を固定端
とする金属製の起歪板（３）とを具備しており、前記起
歪板（３）の中央部に×印形状のスリットを形成して各
電極部（Ｃｘ＋）（Ｃｘ−）（Ｃｙ＋）（Ｃｙ−）と対
向する部分に、起歪部（３ａ）（３ｂ）（３ｃ）（３
ｄ）を構成させ、前記起歪部（３ａ）（３ｂ）（３ｃ）
（３ｄ）が弾性力に抗してそれぞれ独立して押し込める
ようにし、前記起歪部（３ａ）（３ｂ）（３ｃ）（３
ｄ）の押し込みにより、当該起歪部とこれと対向する電
極部相互間距離が変化するようにしたことを特徴とする
静電容量式センサー。 - 【請求項２】 上面に配置された電極部（Ｃ）を有した
基板（２）と、この基板（２）の上方に、外側部側を固
定端と、中央部側を自由端として９０°間隔で配置され
た四個の金属製の起歪板（３）とを具備しており、四個
の起歪板（３）の自由端部側を電極部（Ｃ）と対向させ
ると共に、四個の起歪板（３）の自由端部側が弾性力に
抗してそれぞれ独立して押し込めるようにしてあり、前
記起歪板（３）の中央部側の押し込みにより、当該起歪
板（３）の中央部とこれと対向する電極部（Ｃ）相互間
距離が変化するようにしたことを特徴とする静電容量式
センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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-
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|---|---|---|---|---|
| JP2011100212A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Omron Corp | 情報入力装置 |
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