JP3303079B2 - 静電容量式センサー - Google Patents
静電容量式センサーInfo
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- JP3303079B2 JP3303079B2 JP19345993A JP19345993A JP3303079B2 JP 3303079 B2 JP3303079 B2 JP 3303079B2 JP 19345993 A JP19345993 A JP 19345993A JP 19345993 A JP19345993 A JP 19345993A JP 3303079 B2 JP3303079 B2 JP 3303079B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はセンサー、特に、静電
容量式センサーに関するものである。
容量式センサーに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】静電容量式センサーとしては、既に、図
１４に示すような形式のものを開発し、出願（特願平５
−１５０３６５号）している。このセンサーは、同図に
示すように、操作軸９０を有する電極板９１と、これと
対向配置された電極板９２と、電極板９１，９２との間
に介在させた薄い弾性体９３と、電極板９１の外周部に
９０°間隔で垂設された複数の支持軸９４とを有し、こ
の支持軸９４の下端を電極板９２側に設けた貫通孔９５
に抜止め状態に遊挿すると共に、前記支持軸９４が電極
板９２に対して抜止め位置にあるときには弾性体９３が
電極板９１，９２と密着するようにしている。
１４に示すような形式のものを開発し、出願（特願平５
−１５０３６５号）している。このセンサーは、同図に
示すように、操作軸９０を有する電極板９１と、これと
対向配置された電極板９２と、電極板９１，９２との間
に介在させた薄い弾性体９３と、電極板９１の外周部に
９０°間隔で垂設された複数の支持軸９４とを有し、こ
の支持軸９４の下端を電極板９２側に設けた貫通孔９５
に抜止め状態に遊挿すると共に、前記支持軸９４が電極
板９２に対して抜止め位置にあるときには弾性体９３が
電極板９１，９２と密着するようにしている。
【０００３】上記電極板９１と電極板９２との対向面に
はそれぞれ電極部を設けてあり、具体的には、図１５に
示す如く電極板９１側に電極部Ｃを、図１６に示す如く
電極板９２側に電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−Ｃｙ＋，Ｃｙ−，
Ｃｚを、それぞれ設けてある。また、このセンサーで
は、電極板９１，９２相互間のギャップｄの変化に伴う
電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電極部
Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，電
極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｚ
相互間における静電容量の変化を電圧の変化に変換する
電子装置を具備させてある。
はそれぞれ電極部を設けてあり、具体的には、図１５に
示す如く電極板９１側に電極部Ｃを、図１６に示す如く
電極板９２側に電極部Ｃｘ＋，Ｃｘ−Ｃｙ＋，Ｃｙ−，
Ｃｚを、それぞれ設けてある。また、このセンサーで
は、電極板９１，９２相互間のギャップｄの変化に伴う
電極部Ｃと電極部Ｃｘ＋相互間，電極部Ｃと電極部
Ｃｘ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｙ＋相互間，電
極部Ｃと電極部Ｃｙ−相互間，電極部Ｃと電極部Ｃｚ
相互間における静電容量の変化を電圧の変化に変換する
電子装置を具備させてある。
【０００４】したがって、このセンサーではその構成上
比較的小型化でき、従来の操作軸９０に作用する力の大
きさ及び方向を電圧として検出できる。しかしながら、
この形式のセンサーでは、電極板９１，９２を直径１０
mm以下、即ち、蓄電面積を小さくすると、配線による浮
遊容量によって外乱の影響を受ける割合が大きくなり、
その結果感度が悪くなってしまう。
比較的小型化でき、従来の操作軸９０に作用する力の大
きさ及び方向を電圧として検出できる。しかしながら、
この形式のセンサーでは、電極板９１，９２を直径１０
mm以下、即ち、蓄電面積を小さくすると、配線による浮
遊容量によって外乱の影響を受ける割合が大きくなり、
その結果感度が悪くなってしまう。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】そこで、この発明で
は、小型で且つ優れた感度を有する静電容量式センサー
を提供することを課題とする。
は、小型で且つ優れた感度を有する静電容量式センサー
を提供することを課題とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】この発明の静電容量式セン
サーは、固定配設された中間電極板３と、前記中間電極
板３の一面側に設けられている電極板１と、前記中間電
極板３の他面側に設けられている電極板２と、前記電極
板１，２のうち少なくとも一方に設けられた入力部１１
と、前記電極板１と中間電極板３相互間及び、電極板２
と中間電極板３相互間に、それぞれ介在させた薄い弾性
体４とを有し、前記電極板１の外周部に等角度間隔で立
設した支持軸５を、中間電極板３に設けた貫通孔３０に
遊挿すると共に電極板２に設けた貫通孔２０に抜止め状
態に遊挿し、前記支持軸５が電極板２に対して抜止め位
置にあるときには上記弾性体４が電極板１，２及び中間
電極板３と密着している。
サーは、固定配設された中間電極板３と、前記中間電極
板３の一面側に設けられている電極板１と、前記中間電
極板３の他面側に設けられている電極板２と、前記電極
板１，２のうち少なくとも一方に設けられた入力部１１
と、前記電極板１と中間電極板３相互間及び、電極板２
と中間電極板３相互間に、それぞれ介在させた薄い弾性
体４とを有し、前記電極板１の外周部に等角度間隔で立
設した支持軸５を、中間電極板３に設けた貫通孔３０に
遊挿すると共に電極板２に設けた貫通孔２０に抜止め状
態に遊挿し、前記支持軸５が電極板２に対して抜止め位
置にあるときには上記弾性体４が電極板１，２及び中間
電極板３と密着している。
【０００７】また、この発明の静電容量式センサーは、
固定配設された中間電極板３と、前記中間電極板３の一
面側に設けられている電極板１と、前記中間電極板３の
他面側に設けられている電極板２と、前記電極板１，２
のうち少なくとも一方に設けられた入力部１１と、前記
電極板１と中間電極板３相互間及び、電極板２と中間電
極板３相互間に、それぞれ介在させた薄い弾性体４と、
前記電極板１，２相互をこれらの外周部で繋ぐ支持軸５
とを有し、前記支持軸５が、中間電極板３に設けた貫通
孔３０に遊挿されていると共に、その一端が電極板１に
抜止め状態に、他端が電極板２に抜止め状態に、それぞ
れ遊挿されており、支持軸５が電極１，２に対して抜止
め位置にあるときには上記弾性体４が電極板１，２及び
中間電極板３と密着している。
固定配設された中間電極板３と、前記中間電極板３の一
面側に設けられている電極板１と、前記中間電極板３の
他面側に設けられている電極板２と、前記電極板１，２
のうち少なくとも一方に設けられた入力部１１と、前記
電極板１と中間電極板３相互間及び、電極板２と中間電
極板３相互間に、それぞれ介在させた薄い弾性体４と、
前記電極板１，２相互をこれらの外周部で繋ぐ支持軸５
とを有し、前記支持軸５が、中間電極板３に設けた貫通
孔３０に遊挿されていると共に、その一端が電極板１に
抜止め状態に、他端が電極板２に抜止め状態に、それぞ
れ遊挿されており、支持軸５が電極１，２に対して抜止
め位置にあるときには上記弾性体４が電極板１，２及び
中間電極板３と密着している。
【０００８】
【作用】この発明は次のように作用する。電極板１と中
間電極板３により、電極板２と中間電極板３により、そ
れぞれコンデンサが形成されるから、全体の蓄電面積が
先行技術のものと比較すると大きくなり、このため配線
による浮遊容量によって外乱の影響を受ける割合が小さ
くなる。したがって、小型のものでもセンサーとしての
感度は良好になる。
間電極板３により、電極板２と中間電極板３により、そ
れぞれコンデンサが形成されるから、全体の蓄電面積が
先行技術のものと比較すると大きくなり、このため配線
による浮遊容量によって外乱の影響を受ける割合が小さ
くなる。したがって、小型のものでもセンサーとしての
感度は良好になる。
【０００９】
【実施例】この発明の構成を実施例として示した図面に
従って説明する。この実施例では中間電極板３をプリン
ト基板で形成させてあり、センサーは基本的には、図１
や図２に示すように、プリント基板３’と、前記プリン
ト基板３’の上方に設けられた電極板１と、前記プリン
ト基板３’の下方に設けられた電極板２と、前記電極板
１とプリント基板３’相互間及び、電極板２とプリント
基板３’相互間に、介在させた薄い弾性体４ａ，４ｂ
と、前記プリント基板３’に設けられた電子装置（図示
せず）とから構成されている。
従って説明する。この実施例では中間電極板３をプリン
ト基板で形成させてあり、センサーは基本的には、図１
や図２に示すように、プリント基板３’と、前記プリン
ト基板３’の上方に設けられた電極板１と、前記プリン
ト基板３’の下方に設けられた電極板２と、前記電極板
１とプリント基板３’相互間及び、電極板２とプリント
基板３’相互間に、介在させた薄い弾性体４ａ，４ｂ
と、前記プリント基板３’に設けられた電子装置（図示
せず）とから構成されている。
【００１０】電極板１は円形状板により構成されてお
り、図１や図２に示すように、その上面中央部に入力軸
１１’を設けると共に、エッチングによりその下面に、
図２や図３に示すような円形状の電極部Ｃ1 を形成させ
てある。また、この電極板１の外周部分には９０°角度
間隔でビス５０を螺合してあり、これにより手段の欄の
支持軸５を構成させてある。
り、図１や図２に示すように、その上面中央部に入力軸
１１’を設けると共に、エッチングによりその下面に、
図２や図３に示すような円形状の電極部Ｃ1 を形成させ
てある。また、この電極板１の外周部分には９０°角度
間隔でビス５０を螺合してあり、これにより手段の欄の
支持軸５を構成させてある。
【００１１】プリント基板３’は、図２や図４に示すよ
うに、上記したそれぞれのビス５０と対応する位置にこ
れの軸体部よりも少し大径の貫通孔３０を設けてあり、
前記貫通孔３０が囲む上面部分に図４に示すような電極
部群Ｃ1'（電極部Ｃ1x＋、電極部Ｃ1x−、電極部Ｃ1y
＋、電極部Ｃ1y−、電極部Ｃ1z＋から成る）をエッチン
グにより形成すると共に前記貫通孔３０が囲む下面部分
に図５に示すような電極部群Ｃ2'（電極部Ｃ2x＋、電極
部Ｃ2x−、電極部Ｃ2y＋、電極部Ｃ2y−、電極部Ｃ2z−
から成る）をエッチングにより形成してある。
うに、上記したそれぞれのビス５０と対応する位置にこ
れの軸体部よりも少し大径の貫通孔３０を設けてあり、
前記貫通孔３０が囲む上面部分に図４に示すような電極
部群Ｃ1'（電極部Ｃ1x＋、電極部Ｃ1x−、電極部Ｃ1y
＋、電極部Ｃ1y−、電極部Ｃ1z＋から成る）をエッチン
グにより形成すると共に前記貫通孔３０が囲む下面部分
に図５に示すような電極部群Ｃ2'（電極部Ｃ2x＋、電極
部Ｃ2x−、電極部Ｃ2y＋、電極部Ｃ2y−、電極部Ｃ2z−
から成る）をエッチングにより形成してある。
【００１２】電極板２は、図１や図２に示すように、電
極板１と同径の円形状板により構成されており、同図や
図６に示すように上記したそれぞれのビス５０と対応す
る位置にこれの軸体部よりも少し大径の貫通孔２０を設
けると共に、前記貫通孔２０が囲む上面部分にエッチン
グにより円形状の電極部Ｃ2 を形成させてある。 弾性
体４ａ，４ｂは、平面視円形状のゴム板（0.2mm 〜1.0m
m 程度）により構成されており、その外径は図１に示す
ように、電極部Ｃ1 ，Ｃ2 等と同径としている。
極板１と同径の円形状板により構成されており、同図や
図６に示すように上記したそれぞれのビス５０と対応す
る位置にこれの軸体部よりも少し大径の貫通孔２０を設
けると共に、前記貫通孔２０が囲む上面部分にエッチン
グにより円形状の電極部Ｃ2 を形成させてある。 弾性
体４ａ，４ｂは、平面視円形状のゴム板（0.2mm 〜1.0m
m 程度）により構成されており、その外径は図１に示す
ように、電極部Ｃ1 ，Ｃ2 等と同径としている。
【００１３】電子装置は、(1)電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1x
＋相互間，(2)電極部Ｃ1 と電極部Ｃ 1x−相互間，(3)電
極Ｃ1 と電極部Ｃ1y＋相互間，(4)電極部Ｃ1 と電極部
Ｃ1y−相互間，(5)電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1z＋相互間,
(6)電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2x＋相互間，(7)電極部Ｃ2 と
電極部Ｃ2x−相互間，(8)電極Ｃ2 と電極部Ｃ2y＋相互
間，(9)電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2y−相互間，(10)電極部
Ｃ2 と電極部Ｃ2z−相互間における静電容量の変化をそ
れぞれ電圧Ｖ1x＋，Ｖ1x−，Ｖ1y＋，Ｖ1y−，Ｖ1z＋，
Ｖ2x＋，Ｖ2x−，Ｖ2y＋，Ｖ2y−，Ｖ2z−に変換するも
のとしてある。
＋相互間，(2)電極部Ｃ1 と電極部Ｃ 1x−相互間，(3)電
極Ｃ1 と電極部Ｃ1y＋相互間，(4)電極部Ｃ1 と電極部
Ｃ1y−相互間，(5)電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1z＋相互間,
(6)電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2x＋相互間，(7)電極部Ｃ2 と
電極部Ｃ2x−相互間，(8)電極Ｃ2 と電極部Ｃ2y＋相互
間，(9)電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2y−相互間，(10)電極部
Ｃ2 と電極部Ｃ2z−相互間における静電容量の変化をそ
れぞれ電圧Ｖ1x＋，Ｖ1x−，Ｖ1y＋，Ｖ1y−，Ｖ1z＋，
Ｖ2x＋，Ｖ2x−，Ｖ2y＋，Ｖ2y−，Ｖ2z−に変換するも
のとしてある。
【００１４】そして、このセンサーでは、図１に示す組
立状態では、ビス５０の軸体部をプリント基板３’に設
けた貫通孔３０及び電極部２に設けた貫通孔２０に挿入
し、貫通孔３０から貫通突出したビス５０部分を電極部
１に螺合するようにして、弾性体４ａが電極板１の下面
及びプリント基板３’の上面と、弾性体４ｂが電極板２
の上面とプリント基板３’の下面と、それぞれ密着する
ようにしてある。尚、この実施例では、上記ビス５０の
頭部の存在により、プリント基板３’及び基板２がビス
５０から抜けない構造になっている。
立状態では、ビス５０の軸体部をプリント基板３’に設
けた貫通孔３０及び電極部２に設けた貫通孔２０に挿入
し、貫通孔３０から貫通突出したビス５０部分を電極部
１に螺合するようにして、弾性体４ａが電極板１の下面
及びプリント基板３’の上面と、弾性体４ｂが電極板２
の上面とプリント基板３’の下面と、それぞれ密着する
ようにしてある。尚、この実施例では、上記ビス５０の
頭部の存在により、プリント基板３’及び基板２がビス
５０から抜けない構造になっている。
【００１５】この実施例の静電容量デンサーは上記のよ
うな構成としてあるから、以下に示すような働きをす
る。〔入力軸１１’がＸ−Ｘ方向の外力Ｆを受けた場合〕 例
えば、図７に示すように、弾性体４ａ，４ｂが変形（双
方の厚みが部分的にｄ−Δｄに変形）すべく電極板１，
２がプリント基板３’に対して移動せしめられると、図
３〜図６に示すような、電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1x＋相互
間及び電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2x＋相互間における静電容
量は増加し、電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1x−相互間及び電極
部Ｃ2 と電極部Ｃ2x−相互間における静電容量は減少す
る。
うな構成としてあるから、以下に示すような働きをす
る。〔入力軸１１’がＸ−Ｘ方向の外力Ｆを受けた場合〕 例
えば、図７に示すように、弾性体４ａ，４ｂが変形（双
方の厚みが部分的にｄ−Δｄに変形）すべく電極板１，
２がプリント基板３’に対して移動せしめられると、図
３〜図６に示すような、電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1x＋相互
間及び電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2x＋相互間における静電容
量は増加し、電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1x−相互間及び電極
部Ｃ2 と電極部Ｃ2x−相互間における静電容量は減少す
る。
【００１６】そして、プラス側の静電容量とマイナス側
の静電容量をＣ／Ｖ変換し、その差を求めれば、外力Ｆ
の大きさ及び方向を示す電圧として得ることができる。〔入力軸１１’がＹ−Ｙ方向の外力Ｆを受けた場合〕 こ
の場合も上記と同様であり、Ｘ−Ｘ方向の外力Ｆと同様
に電圧として得ることができる。〔入力軸１１’がＺ方向の外力Ｆを受けた場合〕 例え
ば、入力軸１１’に押込み力が作用し、図８に示すよう
に、弾性体４ａの弾性力に抗して電極板１，２がプリン
ト基板３’に対して移動せしめられると、電極部Ｃ1 と
電極部Ｃ1z＋相互間の静電容量は増加し、電極部Ｃ2 と
電極部Ｃ2z−相互間の静電容量の減少する。
の静電容量をＣ／Ｖ変換し、その差を求めれば、外力Ｆ
の大きさ及び方向を示す電圧として得ることができる。〔入力軸１１’がＹ−Ｙ方向の外力Ｆを受けた場合〕 こ
の場合も上記と同様であり、Ｘ−Ｘ方向の外力Ｆと同様
に電圧として得ることができる。〔入力軸１１’がＺ方向の外力Ｆを受けた場合〕 例え
ば、入力軸１１’に押込み力が作用し、図８に示すよう
に、弾性体４ａの弾性力に抗して電極板１，２がプリン
ト基板３’に対して移動せしめられると、電極部Ｃ1 と
電極部Ｃ1z＋相互間の静電容量は増加し、電極部Ｃ2 と
電極部Ｃ2z−相互間の静電容量の減少する。
【００１７】そして、これらの静電容量の差がＣ／Ｖ変
換され、外力Ｆの大きさ及び方向をこれと対応する電圧
として得ることができる。また、入力軸１１’に引張り
力が作用した場合には電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1z＋相互間
の静電容量は減少し、電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2z−相互間
の静電容量は増加し、両電極部間の静電容量は増減は逆
になる。したがって、上記した得られる電圧は入力軸１
１’に押込み力が作用した場合と逆に変化し、その結
果、外力Ｆの引張り力であると判断できる。
換され、外力Ｆの大きさ及び方向をこれと対応する電圧
として得ることができる。また、入力軸１１’に引張り
力が作用した場合には電極部Ｃ1 と電極部Ｃ1z＋相互間
の静電容量は減少し、電極部Ｃ2 と電極部Ｃ2z−相互間
の静電容量は増加し、両電極部間の静電容量は増減は逆
になる。したがって、上記した得られる電圧は入力軸１
１’に押込み力が作用した場合と逆に変化し、その結
果、外力Ｆの引張り力であると判断できる。
【００１８】即ち、このセンサーでは、入力軸１１’に
作用するＺ方向の押込み力及び引張りの力が検出でき
る。このように、この実施例の静電容量のセンサーで
は、小型で且つ優れた感度を有し、更に、入力部である
入力軸１１’に作用するＺ方向の押込み力及び引張りの
力が検出できる。
作用するＺ方向の押込み力及び引張りの力が検出でき
る。このように、この実施例の静電容量のセンサーで
は、小型で且つ優れた感度を有し、更に、入力部である
入力軸１１’に作用するＺ方向の押込み力及び引張りの
力が検出できる。
【００１９】尚、上記実施例の構成態様を以下のように
かえることもできる。 〔支持軸５関連の他の態様について〕 支持軸５を樹脂で構成させ、図９に示すように、その
下端部を溶融させて拡げるようにした構成を採用するこ
ともできる。 図１０に示すように、電極板１に貫通孔１０を設け、
この貫通孔１０に支持軸５の上端部を遊挿する構成とし
てもよく、また、図１１に示すように、電極板１，２に
それぞれ、貫通孔１０，２０を設け、支持軸５の上端部
を貫通孔１０に、下端部を貫通孔２０に、それぞれ遊挿
する構成としてもよい。 〔電極板１，２関連の他の態様〕 電極部Ｃ1,Ｃ2 を導電性を有する薄い金属板で構成さ
せてもよい。 電極板１，２側に電極部群Ｃ1'，Ｃ2'を設け、プリン
ト基板３’側に電極部Ｃ 1 ，Ｃ2 を設ける構成としても
よく、更に、前記電極部群Ｃ1'，Ｃ2'が電極部Ｃ 1z＋や
電極部Ｃ2z−を有さない構成としてもよい。 電極部群Ｃ1'，Ｃ2'を図１２、図１３に示すような構
成としてもよい。
かえることもできる。 〔支持軸５関連の他の態様について〕 支持軸５を樹脂で構成させ、図９に示すように、その
下端部を溶融させて拡げるようにした構成を採用するこ
ともできる。 図１０に示すように、電極板１に貫通孔１０を設け、
この貫通孔１０に支持軸５の上端部を遊挿する構成とし
てもよく、また、図１１に示すように、電極板１，２に
それぞれ、貫通孔１０，２０を設け、支持軸５の上端部
を貫通孔１０に、下端部を貫通孔２０に、それぞれ遊挿
する構成としてもよい。 〔電極板１，２関連の他の態様〕 電極部Ｃ1,Ｃ2 を導電性を有する薄い金属板で構成さ
せてもよい。 電極板１，２側に電極部群Ｃ1'，Ｃ2'を設け、プリン
ト基板３’側に電極部Ｃ 1 ，Ｃ2 を設ける構成としても
よく、更に、前記電極部群Ｃ1'，Ｃ2'が電極部Ｃ 1z＋や
電極部Ｃ2z−を有さない構成としてもよい。 電極部群Ｃ1'，Ｃ2'を図１２、図１３に示すような構
成としてもよい。
【００２０】
【発明の効果】作用の欄に記載した内容から、小型で且
つ優れた感度を有する静電容量式センサーを提供でき
た。
つ優れた感度を有する静電容量式センサーを提供でき
た。
【図１】この発明の実施例の静電容量式センサーの外観
斜視図。
斜視図。
【図２】前記静電容量式センサーの断面図。
【図３】前記静電容量式センサーの平面図。
【図４】前記静電容量式センサーにおけるプリント基板
の上面側電極部と貫通孔とを示す平面図。
の上面側電極部と貫通孔とを示す平面図。
【図５】前記静電容量式センサーにおけるプリント基板
の下面側電極部と貫通孔とを示す平面図。
の下面側電極部と貫通孔とを示す平面図。
【図６】前記静電容量式センサーの下側電極板の平面
図。
図。
【図７】前記静電容量式センサーの軸部にＸ−Ｘ方向に
外力が作用したときの状態を示す正面図。
外力が作用したときの状態を示す正面図。
【図８】前記静電容量式センサーの軸部にＺ−Ｚ方向に
外力が作用したときの状態を示す正面図。
外力が作用したときの状態を示す正面図。
【図９】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図１０】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図１１】この発明の他の実施例の要部断面図。
【図１２】この発明の他の実施例におけるＸ方向の外力
を検知するための電極部の平面図。
を検知するための電極部の平面図。
【図１３】この発明の他の実施例におけるＹ方向の外力
を検知するための電極部の平面図。
を検知するための電極部の平面図。
【図１４】先行技術の静電容量式センサーの部分断面
図。
図。
【図１５】前記静電容量式センサーにおける上側電極板
の平面図。
の平面図。
【図１６】前記静電容量式センサーにおける下側電極板
の平面図。
の平面図。
Ｃ1 電極部 Ｃ2 電極部 Ｃ1' 電極部群 Ｃ2' 電極部群 １ 電極板 ２ 電極板 ３ 中間電極板 ４ 弾性体 ５ 支持軸 １０ 貫通孔 １１ 入力部 ２０ 貫通孔 ３０ 貫通孔 ５０ ビス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平６−201491（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−123814（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−164129（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−226030（ＪＰ，Ａ) 実開 昭58−24044（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭61−115941（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭52−12646（ＪＰ，Ｕ) 米国特許4719538（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01L 1/14 G01L 5/16 G06F 3/033 330 G01N 27/22 G01L 9/12 G01L 13/06 G01D 5/24 G01P 15/125
Claims (2)
- 【請求項１】 固定配設された中間電極板（３）と、前
記中間電極板（３）の一面側に設けられている電極板
（１）と、前記中間電極板（３）の他面側に設けられて
いる電極板（２）と、前記電極板（１）（２）のうち少
なくとも一方に設けられた入力部（１１）と、前記電極
板（１）と中間電極板（３）相互間及び、電極板（２）
と中間電極板（３）相互間に、それぞれ介在させた薄い
弾性体（４）とを有し、前記電極板（１）の外周部に等
角度間隔で立設した支持軸（５）を、中間電極板（３）
に設けた貫通孔（３０）に遊挿すると共に電極板（２）
に設けた貫通孔（２０）に抜止め状態に遊挿し、前記支
持軸（５）が電極板（２）に対して抜止め位置にあると
きには上記弾性体（４）が電極板（１）（２）及び中間
電極板（３）と密着していることを特徴とする静電容量
式センサー。 - 【請求項２】 固定配設された中間電極板（３）と、前
記中間電極板（３）の一面側に設けられている電極板
（１）と、前記中間電極板（３）の他面側に設けられて
いる電極板（２）と、前記電極板（１）（２）のうち少
なくとも一方に設けられた入力部（１１）と、前記電極
板（１）と中間電極板（３）相互間及び、電極板（２）
と中間電極板（３）相互間に、それぞれ介在させた薄い
弾性体（４）と、前記電極板（１）（２）相互をこれら
の外周部で繋ぐ支持軸（５）とを有し、前記支持軸
（５）が、中間電極板（３）に設けた貫通孔（３０）に
遊挿されていると共に、その一端が電極板（１）に抜止
め状態に、他端が電極板（２）に抜止め状態に、それぞ
れ遊挿されており、支持軸（５）が電極（１）（２）に
対して抜止め位置にあるときには上記弾性体（４）が電
極板（１）（２）及び中間電極板（３）と密着している
ことを特徴とする静電容量式センサー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19345993A JP3303079B2 (ja) | 1993-08-04 | 1993-08-04 | 静電容量式センサー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19345993A JP3303079B2 (ja) | 1993-08-04 | 1993-08-04 | 静電容量式センサー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0749326A JPH0749326A (ja) | 1995-02-21 |
| JP3303079B2 true JP3303079B2 (ja) | 2002-07-15 |
Family
ID=16308361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19345993A Expired - Fee Related JP3303079B2 (ja) | 1993-08-04 | 1993-08-04 | 静電容量式センサー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3303079B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4722252B2 (ja) * | 1999-09-22 | 2011-07-13 | 富士通コンポーネント株式会社 | 座標入力装置 |
| CN102607747A (zh) * | 2012-03-04 | 2012-07-25 | 江南大学 | 一种圆盘靶击打传感器 |
| JP2019074425A (ja) * | 2017-10-17 | 2019-05-16 | 株式会社東海理化電機製作所 | 検出装置及び入力装置 |
-
1993
- 1993-08-04 JP JP19345993A patent/JP3303079B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749326A (ja) | 1995-02-21 |
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