CN101142469A - 静电电容式传感器 - Google Patents

静电电容式传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN101142469A
CN101142469A CNA2005800491619A CN200580049161A CN101142469A CN 101142469 A CN101142469 A CN 101142469A CN A2005800491619 A CNA2005800491619 A CN A2005800491619A CN 200580049161 A CN200580049161 A CN 200580049161A CN 101142469 A CN101142469 A CN 101142469A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
axis
switch
capacity cell
detection means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CNA2005800491619A
Other languages
English (en)
Inventor
森本英夫
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nitta Corp
Original Assignee
Nitta Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitta Corp filed Critical Nitta Corp
Publication of CN101142469A publication Critical patent/CN101142469A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F3/00—Input arrangements for transferring data to be processed into a form capable of being handled by the computer; Output arrangements for transferring data from processing unit to output unit, e.g. interface arrangements
    • G06F3/01—Input arrangements or combined input and output arrangements for interaction between user and computer
    • G06F3/03—Arrangements for converting the position or the displacement of a member into a coded form
    • G06F3/033—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor
    • G06F3/0338—Pointing devices displaced or positioned by the user, e.g. mice, trackballs, pens or joysticks; Accessories therefor with detection of limited linear or angular displacement of an operating part of the device from a neutral position, e.g. isotonic or isometric joysticks
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/24—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance
    • G01D5/241—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes
    • G01D5/2417—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage by varying capacitance by relative movement of capacitor electrodes by varying separation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/165—Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in capacitance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Position Input By Displaying (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

提供一种操作性较好、误操作较少的静电电容式传感器。在变位电极(40)和保持为预定电位的开关用电极(E11)～(E14)以及接地的开关用电极(E15)～(E18)之间形成开关(SW1)～(SW4)。此外，在与变位电极(40)之间构成电容元件的电容元件用电极(E1)～(E4)上分别连接开关(SW11)～(SW14)。在判定电路中，判定开关(SW1)～(SW4)的状态。在开关(SW1)～(SW4)的至少一个为断开状态的情况下，可基于电容元件(C1)、(C2)的静电电容值算出X轴输出，可基于电容元件(C3)、(C4)的静电电容值算出Y轴输出。另一方面，在开关(SW1)～(SW4)全部为接通状态的情况下，可基于电容元件(C1)～(C4)的静电电容值的总和算出Z轴输出。

Description

静电电容式传感器
技术领域
本发明涉及用于检测从外部所施加的力的优选的静电电容式传感器。
背景技术
静电电容式传感器一般用作将操作者所施加的力的大小以及方向转换为电信号的装置。例如，作为计算机的输入装置，将进行多维方向的操作输入用的静电电容式传感器作为所谓操纵杆控制器(joystick)而组装后的装置来利用。
在静电电容式传感器中，作为由操作者施加的力的大小，可输入具有预定的动态范围(dynamic range)的操作量。此外，也被用作可按各方向成分划分对所施加的力进行检测的二维或者三维的传感器。特别是，由两枚电极形成静电电容元件、根据电极间隔的变化引起的静电电容值的变化进行力的检测的静电电容式力觉传感器具有使结构简化、可谋求降低成本的优点，所以，被应用在各种领域。
此处，在静电电容式传感器中，X轴上的固定电极、Y轴上的固定电极以及被它们包围的Z轴上的固定电极与可动电极板部之间形成有可变电容元件(例如，参照专利文献1)。在该静电电容式传感器中，例如，若在操作部上施加X轴方向的力Fx，则X轴上的固定电极与可动电极板部之间的间隔变小，由它们构成的电容元件的静电电容值变大。因此，检测该电容元件的静电电容值的变化，由此，可输出对应于X轴方向的力Fx的X轴输出。
专利文献1特开2001-91382号公报
但是，在该静电电容式传感器中，即使对操作部施加何种力，都始终输出对应于X轴方向的力Fx的X轴输出、对应于Y轴方向的力Fy的Y轴输出以及对应于Z轴方向的力Fz的Z轴输出。因此，即使在仅改变X轴输出或Y轴输出的情况下，也存在Z轴输出变化的情况。另一方面，即使在仅改变Z轴输出的情况下，也存在X轴输出或Y轴输出改变的情况。
例如，在将该静电电容式传感器应用于基于X轴输出以及Y轴输出使指针(cursor)移动并根据Z轴输出执行点击等预定操作的操纵杆控制器的情况下，通过改变X轴输出以及Y轴输出而使指针的位置移动到预定位置(例如图标上)之后，通过改变Z轴输出来进行预定操作。此处，在施加使指针移动的力的情况下，不仅X轴输出以及Y轴输出改变，Z轴输出也改变，由此，存在错误地进行预定操作的情况。另一方面，在施加进行预定操作的力的情况下，不仅Z轴输出改变，X轴输出以及Y轴输出也改变，因此，指针移动，所以，不能使指针的位置从预定的位置移动，存在难以进行预定操作的情况。
发明内容
本发明的目的在于提供一种操作性较好、误操作少的静电电容式传感器。
本发明的静电电容式传感器具有：规定XY平面的衬底；与所述衬底对置的检测构件；导电性构件，位于所述衬底与所述检测构件之间，与所述检测构件在与所述衬底的垂直的Z轴方向进行变位相伴，能够在与其相同方向变位，维持为绝缘状态；X轴用电极，配置在所述衬底上的X轴上，并且，在与所述导电性构件之间构成第一电容元件；Y轴用电极，配置在所述衬底上的Y轴上，并且，在与所述导电性构件之间构成第二电容元件；多个第一开关用电极，以与所述导电性构件隔离的方式配置并接地；多个第二开关用电极，以与所述导电性构件隔离并且与所述第一开关用电极成对的方式配置，保持为与接地电位不同的电位，其中，与所述检测构件进行变位相伴，所述导电性构件在朝向所述第一以及第二电容元件用电极的方向变位，并且，能够与所述多对第一以及第二开关用电极接触，在所述导电性构件不与所述多对第一以及第二开关用电极的至少一对接触的情况下，只利用对所述X轴用电极输入的信号，根据检测因所述导电性构件与所述X轴用电极的间隔的变化引起的所述第一电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与X轴方向对应的部分的变位，只利用对所述Y轴用电极输入的信号，根据检测因所述导电性构件与所述Y轴用电极的间隔的变化引起的所述第二电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与Y轴方向对应的部分的变位，并且，在所述导电性构件与所述多对第一以及第二开关用电极的全部接触的情况下，利用对所述X轴用电极输入的信号以及对所述Y轴用电极输入的信号这二者，根据检测因所述导电性构件与所述X轴用电极以及所述Y轴用电极的间隔的变化引起的所述第一以及第二电容元件各自的静电电容值的总的变化，能够识别所述检测构件的变位。
根据该结构，在导电性构件不与多对第一以及第二开关用电极的至少一对接触的情况下，能够只利用对X轴用电极输入的信号识别检测构件的与X方向对应的部分的变位，能够只利用对Y轴用电极输入的信号识别检测构件的与Y方向对应的部分的变位，与此相对，在导电性构件与多对第一以及第二开关用电极的全部接触的情况下，利用对X轴用电极输入的信号以及对Y轴用电极输入的信号这二者，识别检测构件的变位。即，可根据导电性构件与多对第一以及第二开关用电极的接触状态，识别检测构件的不同部分的变位。因此，互斥地输出分别基于X轴用电极以及Y轴用电极的输出、基于X轴用电极以及Y轴用电极这二者的输出。其结果是，操作性提高，并且，无操作少。
在本发明的静电电容式传感器中，所述X轴用电极具有在X轴方向隔离并关于Y轴线对称地配置的一对电极，所述Y轴用电极具有在Y轴方向隔离并关于X轴线对称地配置的一对电极。
根据这样的结构，能够以良好的精度检测出X轴方向的力以及Y轴方向的力。
在本发明的静电电容式传感器中，所述多对第一以及第二开关用电极设置在分别与所述X轴用电极以及所述Y轴用电极对应的位置。
根据这样的结构，因为由多对第一以及第二开关用电极构成的开关的位置与操作方向一致，所以，操作性进一步提高。
附图说明
图1是本发明的第一实施方式的静电电容式传感器的示意性的剖面图。
图2是从图1的静电电容式传感器的变位电极的上面的透视图。
图3是表示形成在图1的静电电容式传感器的衬底上的多个电极的配置的图。
图4是表示图1所示的静电电容式传感器的结构的图。
图5是表示判定电路的结构的图。
图6是对图1所示的静电电容式传感器的检测构件的X轴正方向的部分施加力的情况的剖面图。
图7是对图1所示的静电电容式传感器的中央部分施加力的情况的剖面图。
图8是表示图1所示的静电电容式传感器的信号处理电路的一例的电路图。
图9是表示图8所示的信号处理电路的各端子以及各节点的周期信号的波形的图。
图10是表示本发明的第二实施方式的静电电容式传感器的示意性的剖面图。
图11是表示本发明的第二实施方式的静电电容式传感器的示意性的剖面图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。并且，以下所说明的实施方式将本发明的静电电容式传感器应用于使在计算机的显示画面上所显示的指针移动并进行利用了指针的操作的操纵杆控制器(指示器)中。
图1是本发明的第一实施方式的静电电容式传感器的示意性的剖面图。图2是从图1的静电电容式传感器的变位电极的上面的透视图。图3是表示形成在图1的静电电容式传感器的衬底上的多个电极的配置的图。
静电电容式传感器10具有：衬底20；操作用的检测构件30，通过由人等的操作从外部施加力；变位电极40；形成在衬底20上的电容元件用电极E1～E4(图1中只示出E1、E2)；开关用电极E11～E18(图1中只示出E11、E12)；绝缘膜50，与多个电极紧密接触，以覆盖衬底20上的方式形成；支持构件60，相对衬底20支持检测构件30以及变位电极40；固定构件70，以覆盖支持构件60周围的方式配置，相对衬底20固定支持构件60。
此处，为使说明方便，如图所示，定义XYZ三维坐标系，参照该坐标系说明各部件的配置。即，在图1中，在衬底20上的电容元件用电极E1～E4的中心位置定义原点0，右水平方向定义为X轴，垂直向上的方向定义为Z轴，垂直于纸面向内方向定义为Y轴。因此，衬底20的表面规定XY平面，Z轴通过衬底20上的电容元件用电极E1～E4、检测构件30以及变位电极40的各自的中心位置。
衬底20是一般的电子电路用的印刷电路衬底，在本例中，使用玻璃环氧树脂(glass epoxy)衬底。此外，作为衬底20，可使用聚酰亚胺膜等的膜状的衬底，但是，因为膜状的衬底的情况下具有可弯曲性，所以，优选配置在具有充分的刚性的支持衬底上来使用。
检测构件30固定在支持构件60的上表面。检测构件30由成为受力部的小直径的上级部分31和延伸到上级部分31的下端部的大直径的下级部分32构成，作为整体形成为圆盘状。此处，上级部分31的直径与连接电容元件用电极E1～E4各自的外侧的曲线形成的圆的直径大致相同，下级部分32的直径比连接电容元件用电极E1～E4各自的外侧的曲线形成的圆的直径大。此外，在检测构件30的上级部分31的上表面上，以对应于X轴以及Y轴的各自的正方向以及负方向的方式，即，以对应于电容元件用电极E1～E4的方式，形成对应于操作方向(指针的移动方向)的箭头。
变位电极40是具有大致与连接电容元件用电极E1～E4各自的外侧的曲线而成的圆的直径相同的圆盘状。此外，在变位电极40的下表面形成四个圆形的突起部41～44。在变位电极40的下表面的外周部附近，在分别对应于X轴正方向以及X轴负方向、Y轴正方向以及Y轴负方向的位置上形成四个突起部41～44。此外，四个突起部41～44是与一对开关用电极(参照图3)相同的直径的圆形。即，例如，突起部41的直径与连接开关用电极E11、E15各自外侧的曲线而成的圆相同。并且，以具有导电性的硅橡胶形成变位电极40，付着在以具有弹性的硅橡胶形成的支持构件60的下表面。因此，在对检测构件30施加Z轴负方向的力的情况下，变位电极40与检测构件30一起向Z轴负方向变位。
此外，如图3所示，在衬底20上形成：电容元件用电极E1～E4，以原点O为中心、大致为扇形并且在各自的外周部附近具有大致圆形的缺口H1～H4；半圆形的开关用电极E11～E18，在缺口H1～H4的内侧，直径比缺口H1～H4的直径小。电容元件用电极E1～E4以及开关用电极E11～E18利用通孔等分别与端子T1～T4、T11～T18(参照图4)连接，这些端子能够与电子电路连接。
一对电容元件用电极E1以及E2以在X轴方向上隔离并关于Y轴线对称的方式配置。此外，一对电容元件用电极E3以及E4以在Y轴方向上隔离并关于X轴线对称的方式配置。此处，电容元件用电极E1以对应于X轴的正方向的方式配置，另一方面，电容元件用电E2以对应于X轴的负方向的方式配置，用于检测来自外部的力的X轴方向成分。此外，电容元件用电极E3以对应于Y轴的正方向的方式配置，另一方面，电容元件用电E4以对应于Y轴的负方向的方式配置，用于检测来自外部的力的Y轴方向成分。
开关用电极E11～E14保持为与接地电位不同的预定电位，开关用电极E15～E18接地。并且，开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18以分别成对的方式配置。例如，开关用电极E11与开关用电极E15为一对，以在X轴正方向关于X轴对称的方式配置。并且，其他的开关用电极也相同。
此外，绝缘膜(绝缘性的抗蚀剂膜)50与衬底20上的电容元件用电极E1～E4紧密接触，以覆盖衬底20上的电容元件用电极E1～E4的方式形成。因此，不会使由铜箔等形成的电容元件用电极E1～E4暴露在空气中，具有防止它们被氧化的作用。此外，因为形成有绝缘膜50，所以，变位电极40不与电容元件用电极E1～E4直接接触。并且，作为防锈或防氧化对策，对于开关用电极E11～E18来说，可以在其表面镀金，也可以用焊锡等导电性膜覆盖。
并且，在将静电电容式传感器10应用于操纵杆控制器的情况下，变位电极40的大小、材质、硬度、或者检测构件30的形状、或者电容元件用电极E1～E5的大小会影响操作感，所以，可设定为最佳的条件。
然后，参照图4对如上所述构成的本实施方式的静电电容式传感器10的电路结构进行说明。图4是表示图1所示的静电电容式传感器的电路结构的图。在图4中，对应于如上所述构成的部分被虚线包围，虚线的外侧部分对应于电子电路。此处，端子T1～T4、T11～T18是利用通孔等与电容元件用电极E1～E4以及开关用电极E11～E18连接的端子。
因为以大致与电容元件用电极E1～E4平行地对置并隔离的状态来保持变位电极40，所以，在变位电极40与电容元件用电极E1～E4之间形成电容元件C1～C4。电容元件C1～C4是以静电电容值因变位电极40的变位而分别变化的方式构成的可变电容元件。
此外，变位电极40选择性地取得与开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18接触的位置或者不接触的位置。因此，在变位电极40与开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18之间分别形成开关SW1～SW4。此处，开关用电极E11～E14通过上拉(pull up)电阻元件R保持为电源电压Vcc，并且，与判定电路的输入端子连接。开关用电极E15～E18接地。变位电极40根据开关SW1～SW4的状态，在绝缘状态和非绝缘状态之间切换。
因此，在变位电极40与开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18接触的情况下(开关SW1～SW4的至少一个为接通状态的情况)，变位电极40为接地电位，变位电极40与电容元件用电极E1～E4之间产生电位差，在电容元件C1～C4中蓄积对应于电位差的电荷。另一方面，在变位电极40不与开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18接触的情况下(开关SW1～SW4全部断开状态的情况)，变位电极40是被绝缘的状态，所以，电容元件C1～C4中不蓄积电荷。
并且，若变位电极40只与开关用电极E11～E14接触，则变位电极40变为电源电压的电位，但是，若考虑变位电极40是以导电性硅橡胶为材料的柔软的弹性体或者变位电极40的形状，则难以考虑变位电极40不与开关用电极E15～E18接触而只与开关用电极E11～E14接触。因此，变位电极40几乎同时与开关用电极E11～E14以及开关用电极E15～E18接触，所以，认为变位电极40变位接地电位。
此外，开关SW11～SW14分别与连接在电容元件用电极E1～E4上的端子T1～T4连接，开关SW51～SW54分别与连接在电容元件用电极E1～E4上的端子T51～T54连接。并且，开关SW11、SW13、SW51～SW54的一个端子(从端子T1～T4离开的一侧的端子)与端子T100连接，开关SW12、SW14的一个端子(从端子T2、T4离开的一侧的端子)与端子T101连接。因此，在向端子T100输入周期信号S1的情况下，在开关SW11、SW13接通时，分别向构成电容元件C1、C3的电容元件用电极E1、E3输入周期信号S1。此外，在向端子T100输入周期信号S1的情况下，在开关SW51～SW54变为接通状态时，向构成电容元件C1～C4的电容元件用电极E1～E4分别输入周期信号S1。此外，在向端子T101输入周期信号S2的情况下，在开关SW12、SW14接通时，分别向构成电容元件C2、C4的电容元件用电极E2、E4输入周期信号S2。
判定电路为图5所示的结构，在通过“非”电路(反转电路)之后，进行逻辑积(AND)运算，根据其结果，从两个输出端子SL1、SL2对输出信号进行输出。此处，在判定电路中，在所有的“非”电路的输入为Lo的情况下，从输出端子SL2输出Hi的信号，并且，从输出端子SL1输出作为从输出端子SL2输出的Hi信号的反转信号的Lo信号。
即，在开关SW1～SW4全部是接通状态的情况下，从输出端子SL1输出Lo的信号，并且，从输出端子SL2输出Hi的信号。另一方面，在开关SW1～SW4的至少一个是断开状态的情况下，从输出端子SL1输出Hi的信号，并且，从输出端子SL2输出Lo的信号。
并且，根据从判定电路输出的信号，大致同时控制开关SW11～SW14以及SW51～SW54的状态。根据从输出端子SL1输出的信号控制开关SW11～SW14，在从输出端子SL1输出Lo的信号的情况下为断开状态，在从输出端子SL1输出Hi的信号的情况下为接通状态。此外，根据从输出端子SL2输出的信号控制开关SW51～SW54，在从输出端子SL2输出Hi的信号的情况下为接通状态，在从输出端子SL2输出Lo的信号的情况下为断开状态。
这样，对开关SW11～SW14进行控制，以成为相同的状态，并且，对开关SW51～SW54进行控制，以成为相同的状态。
此外，控制开关SW11～SW14与开关SW51～SW54，以使彼此成为相反的状态。即，开关SW11～SW14全部为接通状态的情况下，开关SW51～SW54为断开状态，开关SW11～SW14全部为断开状态时，开关SW51～SW54为接通状态。因此，开关SW11～SW14以及SW51～SW54的全部不能同时成为接通状态。
然后，考虑施加将检测构件30的X轴正方向的部分按下的力的情况。图6是对图1所示的静电电容式传感器的检测构件的X轴正方向的部分施加力的情况。
如图6所示，在对应于检测构件30的X轴正方向的部分被按下的情况下，对应于变位电极40的X轴正方向的突起部41向下方变位，突起部41与开关用电极E11、E15接触。由此，开关SW1变成接通状态，变位电极40变为接地电位。此时，因为开关SW3维持断开状态，所以，从判定电路的输出端子SL1输出Hi的信号，开关SW11～SW14变成接通状态，从判定电路的输出端子SL2输出Lo的信号，开关SW51～SW54变为断开状态。因此，向构成电容元件C1～C4的电容元件用电极E1～E4输入周期信号S1、S2，在电容元件C1～C4中蓄积电荷。
此处，若改变电容元件C1～C4的电极的间隔，则与其相伴，电容元件C1～C4的静电电容值也改变。此处，一般地说，电容元件的静电电容值与电容元件的电极的间隔成反比例。在与检测构件30的X轴正方向对应的部分被按下的情况下，构成电容元件C1的电容元件用电极E1与变位电极40的间隔变为最小，构成电容元件C2的电容元件用电极E2与变位电极40的间隔变为最大。此外，构成电容元件C3的电容元件用电极E3与变位电极40的间隔以及构成电容元件C4的电容元件用电极E4与变位电极40的间隔在其中间。因此，电容元件C1～C4的静电电容值为如下的关系式。
C2＜C3≈C4＜C1
另一方面，如上所述，从判定电路的输出端子SL2输出Lo的信号，开关SW51～SW54为断开状态。
此处，实际上在向变位电极40的X轴正方向施加力的情况下，根据针对检测构件30的力的施加方法或力的强度、变位电极40的大小或者硬度等条件，与变位电极40的Y轴正方向以及Y轴负方向对应的突起部43、44向下方变位，与开关用电极E13、E17以及开关用电极E14、E18接触，开关SW3、SW4变为接通状态，但是，不存在工作原理上的问题。并且，在施加按下检测构件30的X轴负方向、Y轴正方向以及Y轴负方向的部分的力的情况下，也与施加按下检测构件30的X轴正方向的部分的力的情况相同，所以，省略说明。
然后，考虑施加按下检测构件30的中央部分的力的情况。图7是对图1所示的静电电容式传感器的检测构件的中央部分施加力的情况的剖面图。
如图7所示，在检测构件30的中央部分被按下的情况下，变位电极40的突起部41～44全部向下方变位，突起部41～44分别与开关用电极E11～E14、E15～E18接触。由此，开关SW1～SW4全部变为接通状态，变位电极40变为接地电位。此时，从判定电路的输出端子SL1输出Lo的信号，开关SW11～SW14变为断开状态，从判定电路的输出端子SL2输出Hi的信号，开关SW51～SW54变为接通状态。因此，对构成电容元件C1～C4的电容元件用电极E1～E4输入周期信号S1、S2，在电容元件C1～C4中蓄积电荷。
这样，总结施加按下检测构件30的力的情况下的开关SW1～SW4的状态、从判定电路的输出端子SL1、SL2输出的信号、开关SW11～SW14的状态、开关SW51～SW54的状态、电容元件C1～C4的静电电容值的大小，如表1所示。并且，在对检测构件30的X轴负方向以及Y轴负方向的部分施加力的情况下，与对检测构件30的X轴正方向以及Y轴正方向的部分施加力的情况相同，所以省略说明。
表1
  对检测构件的X轴正方向的部分施加力的情况   对检测构件的Y轴正方向的部分施加力的情况   对检测构件的中央部分施加力的情况   未进行操作的情况
  SW1   ○   ○   ○   ○   ×   ○   ×   ○   ○   ×
  SW2   ×   ×   ×   ×   ×   ×   ○   ○   ○   ×
  SW3   ×   ○   ×   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ×
  SW4   ×   ×   ○   ○   ×   ×   ×   ×   ○   ×
  SL1   H   H   H   H   H   H   H   H   L   H
  SL2   L   L   L   L   L   L   L   L   H   L
  SW11～SW14   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ○   ×   ○
  SW51～SW54   ×   ×   ×   ×   ×   ×   ×   ×   ○   ×
  C1   ◎   ◎   ◎   ◎   ○   ○   ○   ○   ◎   -
  C2   △   △   △   △   ○   ○   ○   ○   ◎   -
  C3   ○   ○   ○   ○   ◎   ◎   ◎   ◎   ◎   -
  C4   ○   ○   ○   ○   △   △   △   △   ◎   -
此处，在表1的开关SW1～SW4、开关SW11～SW14、开关SW51～SW54的栏中，○表示接通状态，×表示断开状态。此外，在电容元件C1～C4的静电电容值的栏中，对于静电电容值的大小来说，◎表示最大，以○、△的顺序变小，-表示基本不变。
并且，根据电容元件C1～C5的静电电容值，可检测出施加到检测构件30上的力。即，可基于电容元件C1、C2的静电电容值检测X轴方向的力(使X轴输出改变的力)Fx。因此，可根据下式算出与X轴方向的力Fx对应的X轴输出Vx。
Vx＝f(C1、C2)＝kx(C1-C2)(其中，kx是常数)
此外，可基于电容元件C3、C4的静电电容值检测Y轴方向的力(使Y轴输出改变的力)Fy。因此，可根据下式算出与X轴方向的力Fx对应的Y轴输出Vy。
Vy＝f(C3、C4)＝ky(C3-C4)(其中，ky是常数)
此外，可基于电容元件C1～C4的静电电容值的总和检测Z轴方向的力(使Z轴输出改变的力)Fz。此处，电容元件C1～C4的静电电容值的总和的变化量变得比电容元件C1～C4的各自的静电电容值的变化量大。因此，可根据下式算出与Z轴方向的力Fz对应的Z轴输出Vz。
Vz＝f(C1、C2、C3、C4)
＝kz(C1+C2+C3+C4)(其中，kz为常数)
此处，在算出Z轴输出Vz的情况下，在使用固定电容元件C6的情况下，根据下式算出与Z轴方向的力Fz对应的Z轴输出Vz。
Vz＝f(C1、C2、C3、C4、C6)
＝kz’(C1+C2+C3+C4-C6)(其中，kz’为常数)
此外，对于变位电极40在与电容元件用电极E1～E4相反侧设置固定电极，连接在与开关SW51～SW54同步地被控制的开关SW55上，将其他的开关端子连接在端子T101上，在变位电极40与固定电极之间构成可变电容元件C7，此时，根据下式算出与Z轴方向的力Fz对应的Z轴输出Vz。
Vz＝f(C1、C2、C3、C4、C7)
＝kz”(C1+C2+C3+C4-C7)(其中，kz”为常数)
然后，参照图8对导出X轴输出Vx、Y轴输出Vy以及Z轴输出Vz用的信号处理电路进行说明。图8是表示图1所示的静电电容式传感器的信号处理电路的一例的电路图。在图8中，示出设置固定电容元件C6并可基于电容元件C1～C4、C6的静电电容值检测Z轴输出Vz的情况。此外，在图8中，电阻元件R1～R6具有下式的关系。
R1＝R2、R3＝R4、R5＝R6
在图8所示的信号处理电路中，从未图示的交流信号振荡器向端子T100、T101输入预定频率的周期信号S1、S2。在端子T100上连接电阻元件R1、R3、R5，在端子T101上连接R2、R4、R6。此外，在电阻元件R1、R2的输出端、电阻元件R3、R4的输出端以及电阻元件R5、R6的输出端分别连接作为异或(exclusive-OR)电路的逻辑元件的EX-OR元件81、82、83，其输出端通过低通滤波器LF1～LF3与端子T91～T93连接。并且，电阻元件R1～R4的输出端分别与开关S11～S14的输入端连接。开关S11～S14的输出端分别与电容元件C1～C4连接。此外，电阻元件R5的输出端分别与开关S51～S54的输入端连接。开关S51～S54的输出端分别与电容元件C1～C4连接。电阻元件R6的输出端与电容元件C6连接。在图8中，示出作为各电容元件C1～C4的一个电极的变位电极40接地的状态。
因此，在图8的信号处理电路中，电容元件C1与电阻元件R1、电容元件C2与电阻元件R2、电容元件C3与电阻元件R3、电容元件C4与电阻元件R4、电容元件C1～C4与电阻元件R5、电容元件C6与电阻元件R6可分别构成CR延迟电路。此处，例如，在输出X轴输出的信号处理电路中，在开关SW11、SW12是接通状态的情况下，对于输入到端子T100、T101中的周期信号S1、S2来说，由于由电容元件C1与电阻元件R1构成的CR延迟电路或者由电容元件C2与电阻元件R2构成的CR延迟电路而分别产生预定的延迟，在EX-OR元件81中汇合。并且，输出Y轴输出Vy的信号处理电路也相同。此外，在输出Z轴输出Vz的信号处理电路中，在开关SW51～SW54是接通状态的情况下，对于输入到端子T100、T101的周期信号S1、S2来说，由于由电容元件C1～C4与电阻元件R5构成的CR延迟电路或者由电容元件C6与电阻R6构成的CR延迟电路而分别产生预定的延迟，在EX-OR元件83中汇合。
此处，在图8的信号处理电路中，在与电容元件C1～C4连接的开关SW11～SW14或开关SW51～SW54从接通状态变位断开状态或者从断开状态变位接通状态的情况下，若成对的电容元件的静电电容值的大小相同，则在变换为模拟电压后的输出中没有大的变化。
以下，详细地对其理由进行说明。此处，只对X轴输出Vx进行说明。图9是表示图8所示的信号处理电路的各端子以及各节点的周期信号的波形的图。
图9(a)、(b)示出输入到端子T100、T101的周期信号S1以及周期信号S2的波形。此处，输入到端子T100的周期信号S1是占空比D0为50％的周期信号，输入到端子T101的周期信号S2是周期与周期信号S1相同、并且相位错开1/4周期的周期信号。
在利用Z轴输出Vz的情况下，开关SW11、SW12是断开状态。因此，周期信号S1与周期信号S2几乎不延迟地输入到EX-OR元件81中。因此，节点X1、X2的周期信号的波形与输入到端子T100、T101的周期信号S1以及周期信号S2的波形(参照图9(a)、(b))相同。
并且，在EX-OR元件81中，在这些信号之间进行异或逻辑运算，将其结果输出到节点X3。图9(c)示出节点X3的周期信号的波形。该信号通过低通滤波器LF1，由此，变换为模拟电压，输出给端子T91。此处，如图9(d)所示，输出给端子T91的X轴输出Vx是电源电压Vcc的大致1/2。
然后，若不利用Z轴输出Vz，则开关SW11、SW12变为接通状态。因此，按照电容元件C1、C2的静电电容值，节点X1、X2的周期信号的波形成为图9(e)以及图9(f)所示的延迟波形。此时，在不施加X轴方向的力的情况下，电容元件C1的静电电容值与电容元件C2的静电电容值大致相同，延迟时间也大致相同。将这些延迟波形的周期信号输入到EX-OR元件81中。
并且，在EX-OR元件81中，在这些信号之间进行异或逻辑运算，将其结果输出给节点X3。图9(g)示出节点X3的周期信号的波形。该信号通过低通滤波器LF1，由此，变换为模拟电压，向端子T91输出。此处，如图9(h)所示，输出给端子T91的X轴输出Vx成为电源电压Vcc的大致1/2。
这样，不施加X轴方向的力，在只进行Z轴方向的操作的前后，X轴输出Vx几乎不变。Y轴输出以及Z轴输出也相同。因此，在将本实施方式的静电电容式传感器10应用到操纵杆控制器上的情况下，可确保输出信号的连续性，在进行利用了Z轴输出的操作的前后，指针的位置未变化，由此，可进行可靠的操作，可得到可靠性较高的操纵杆控制器。
如以上所说明的那样，在将本实施方式的静电电容式传感器10应用到操纵杆控制器(指示器)的情况下，若向使指针移动的方向压入检测构件30以使检测构件30倾斜，则X轴输出以及Y轴输出根据压入力的强度和方向来改变，指针移动。此时，因为Z轴输出几乎不变，所以，不能进行利用了Z轴输出的点击等操作。另一方面，将检测构件30在Z轴方向压入时，可进行利用了Z轴输出的点击等的操作。此时，因为X轴输出以及Y轴输出几乎不变，所以，指针不移动。这样，指针的移动和利用了Z轴输出的操作成为互斥的动作，它们不能同时进行。因此，因为指针的移动和利用了Z轴输出的操作可靠地分离，所以，可防止误操作。此外，使检测构件30的直径为手指的大小，则不使手指从检测构件30离开，只改变手指的倾斜度或者按压力，就能够可靠地进行指针的移动以及利用Z轴输出的操作，所以，可得到操作性优良的操纵杆控制器。
此外，在利用Z轴输出的情况下，开关SW51～SW54为导通状态，基于电容元件C1～C4的静电电容值的总和的变化，可以算出Z轴输出。即，Z轴输出用的电极可以兼用作X轴输出用的电极以及Y轴输出用的电极。因此，在使X轴输出用的电极以及Y轴输出用的电极较小的情况下，Z轴输出变化也很大，敏感度较高。此外，不需要与X轴输出用的电极以及Y轴输出用的电极独立地设置Z轴输出用的电极。因此，可以轻易实现传感器的小型化。
此外，检测开关SW1～SW4的状态，由此，判断是否进行针对检测构件30的操作。因此，在不进行针对检测构件30的操作的情况下，利用微机等，在省电模式下使系统待机，在进行针对检测构件30的操作的情况下，若开关SW1～SW4的至少一个从断开状态切换为接通状态，由微机等检测该信号变化，可进行使系统返回正常的使用状态(叫醒)等的控制。因此，在使用了静电电容式传感器10的系统中，在长时间不进行针对检测按钮30的操作的情况下，切换到睡眠模式，由此，可降低功耗。
并且，本发明的静电电容式传感器10除了如本实施方式所示那样应用在使指针在360度的方向移动的操纵杆控制器中之外，开关SW1～SW4也可配置在X轴以及Y轴上，所以，特别地，可用于使指针等在X轴方向以及Y轴方向移动的用途。因此，例如，图标、菜单、文字等选择对象在纵方向以及横方向排列的情况下，适于指示所希望的选择对象的用途。
然后，对本发明的第二实施方式的静电电容式传感器进行说明。第二实施方式的静电电容式传感器110与第一实施方式的静电电容式传感器10的不同点是检测构件的形状。并且，在静电电容式传感器110的结构中与静电电容式传感器10的结构相同的部分付以相同的符号，省略其详细说明。
检测构件130由成为受力部的小直径的上级部分131、延伸到上级部分131的下端部的大直径的下级部分132构成，作为整体，形成为圆盘状。此外，在上级部分131上形成棒状的突起体133。
在本实施方式中，检测构件130的突起体133在Z轴方向较长，所以，要改变X轴输出Vx以及Y轴输出Vy的情况下，可通过向水平方向(与衬底20平行的方向)施加力来操作检测构件130的突起体133。
然后，对本发明的第三实施方式的静电电容式传感器进行说明。第三实施方式的静电电容式传感器210与第一实施方式的静电电容式传感器10的不同点是变位电极的形状。并且，在静电电容式传感器210的结构中，与静电电容式传感器10的结构相同的部分付以相同的符号，省略其详细的说明。
在变位电极140的下表面上，在分别对应于X轴正方向以及X轴负方向、Z轴方向的位置上形成圆形的突起部141、142、145。并且，在分别对应于Y轴正方向以及Y轴负方向的位置上形成未图示的圆形的突起部。突起145比其他突起部更接近衬底，所以，将其作为支点，支持构件60变形，变位电极140变位。操作者可感触检测构件30的操作感的中心。
以上，对本发明的优选实施方式进行了说明，但是，本发明并不限于如上所述的实施方式，在技术方案中所记载的范围内，可进行各种设计变更。例如，在如上所述的实施方式中，变位电极40和支持构件60是单独的构件，但是，也可形成为一体。此外，作为变位电极40，除了硅橡胶之外，例如，可以在非导电性硅橡胶上涂敷导电性油墨或者导电性涂料，也可用蒸镀或溅射法在非导电性硅橡胶上形成导电性的金属膜，也可使用导电性热可塑性树脂(PPT、弹性材料)、导电性塑料。即，变位电极40是具有柔软性的导电性构件或者在非导电性的具有柔软性的构件上附有导电性构件的材料即可。此外，支持构件60可以不是硅橡胶而是树脂膜或者较薄的金属。
此外，在如上所述的实施方式中，变位电极40的突起部41～44为相同的高度，但是，可根据需要改变各突起部41～44的高度，也可以没有各突起部41～44。
此外，在如上所述的实施方式中，开关SW1～SW4的开关输出仅用于本发明的静电电容式传感器的控制中，但是，也可将开关SW1～SW4的开关输出用于其他的控制中。

Claims (3)

1.一种静电电容式传感器，其特征在于，
具有：规定XY平面的衬底；与所述衬底对置的检测构件；导电性构件，位于所述衬底与所述检测构件之间，与所述检测构件在与所述衬底的垂直的Z轴方向进行变位相伴，能够在与其相同方向变位，维持为绝缘状态；X轴用电极，配置在所述衬底上的X轴上，并且，在与所述导电性构件之间构成第一电容元件；Y轴用电极，配置在所述衬底上的Y轴上，并且，在与所述导电性构件之间构成第二电容元件；多个第一开关用电极，以与所述导电性构件隔离的方式配置并接地；多个第二开关用电极，以与所述导电性构件隔离并且与所述第一开关用电极成对的方式配置，保持为与接地电位不同的电位，
与所述检测构件进行变位相伴，所述导电性构件在朝向所述第一以及第二电容元件用电极的方向变位，并且，能够与所述多对第一以及第二开关用电极接触，
在所述导电性构件不与所述多对第一以及第二开关用电极的至少一对接触的情况下，只利用对所述X轴用电极输入的信号，基于检测因所述导电性构件与所述X轴用电极的间隔的变化引起的所述第一电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与X轴方向对应的部分的变位，只利用对所述Y轴用电极输入的信号，基于检测因所述导电性构件与所述Y轴用电极的间隔的变化引起的所述第二电容元件的静电电容值的变化，能够识别所述检测构件的与Y轴方向对应的部分的变位，并且，
在所述导电性构件与所述多对第一以及第二开关用电极的全部接触的情况下，利用对所述X轴用电极输入的信号以及对所述Y轴用电极输入的信号这二者，基于检测因所述导电性构件与所述X轴用电极以及所述Y轴用电极的间隔的变化引起的所述第一以及第二电容元件各自的静电电容值的合和的变化，能够识别所述检测构件的变位。
2.如权利要求1的静电电容式传感器，其特征在于，
所述X轴用电极具有在X轴方向隔离并关于Y轴线对称地配置的一对电极，
所述Y轴用电极具有在Y轴方向隔离并关于X轴线对称地配置的一对电极。
3.如权利要求1或2的静电电容式传感器，其特征在于，
所述多对第一以及第二开关用电极设置在分别与所述X轴用电极以及所述Y轴用电极对应的位置。
CNA2005800491619A 2005-03-18 2005-03-18 静电电容式传感器 Pending CN101142469A (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2005/004985 WO2006100725A1 (ja) 2005-03-18 2005-03-18 静電容量式センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN101142469A true CN101142469A (zh) 2008-03-12

Family

ID=37023422

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005800491619A Pending CN101142469A (zh) 2005-03-18 2005-03-18 静电电容式传感器

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7710126B2 (zh)
EP (1) EP1870686A1 (zh)
JP (1) JPWO2006100725A1 (zh)
CN (1) CN101142469A (zh)
WO (1) WO2006100725A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101949749A (zh) * 2009-07-08 2011-01-19 株式会社和广 力检测装置
CN114450560A (zh) * 2019-10-03 2022-05-06 本田技研工业株式会社 静电电容型检知传感器、静电电容型检知传感器模块以及使用静电电容型检知传感器的状态判定方法
CN112219090B (zh) * 2018-05-08 2024-02-06 比特朗股份公司 电容式位置传感器和相关的操纵杆装置及控制方法

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100244860A1 (en) * 2007-08-30 2010-09-30 Karl Wisspeintner Capacitive anti-pinch means and method for operating an anti-pinch means
US8440920B2 (en) * 2009-08-07 2013-05-14 Synaptics Incorporated Circular single-layer touch sensors
JP5328611B2 (ja) * 2009-11-05 2013-10-30 シャープ株式会社 携帯情報端末
WO2011130755A2 (en) 2010-04-14 2011-10-20 Frederick Johannes Bruwer Pressure dependent capacitive sensing circuit switch construction
JP2014163815A (ja) * 2013-02-26 2014-09-08 Seiko Epson Corp 力検出装置およびロボット
EP3074763A1 (en) 2013-11-25 2016-10-05 Oil States Industries, Inc. Method and system for health monitoring of composite elastomeric flexible elements
US9910531B2 (en) * 2015-01-12 2018-03-06 Synaptics Incorporated Circular outline single layer pattern
WO2016125216A1 (ja) * 2015-02-04 2016-08-11 パナソニックＩｐマネジメント株式会社 入力装置と、これを用いた電子機器
US9990096B2 (en) 2015-12-30 2018-06-05 Synaptics Incorporated Elliptical capacitive sensor electrode pattern and sensing therewith
US10190928B1 (en) * 2016-11-17 2019-01-29 X Development Llc Flexible sensor for measuring flex or torque
US10372155B2 (en) * 2017-08-20 2019-08-06 Pixart Imaging Inc. Joystick and related control method
US10969878B2 (en) 2017-08-20 2021-04-06 Pixart Imaging Inc. Joystick with light emitter and optical sensor within internal chamber
US20210285835A1 (en) * 2020-03-16 2021-09-16 New York University Apparatus for Determining Shear Forces in Regard to a Pressure Imaging Array, Single Point Sensor for Shear Forces, and Method
JP2022111489A (ja) * 2021-01-20 2022-08-01 本田技研工業株式会社 ３軸力センサ
JP2022187868A (ja) * 2021-06-08 2022-12-20 本田技研工業株式会社 力検出装置

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2841240B2 (ja) * 1990-10-12 1998-12-24 株式会社ワコー 力・加速度・磁気の検出装置
JP3380997B2 (ja) 1999-09-17 2003-02-24 ニッタ株式会社 静電容量式センサ
JP4295883B2 (ja) * 1999-12-13 2009-07-15 株式会社ワコー 力検出装置
JP2002107245A (ja) 2000-09-29 2002-04-10 Nitta Ind Corp 力検出装置
JP4136655B2 (ja) * 2000-11-30 2008-08-20 ニッタ株式会社 静電容量式センサ
WO2002073148A1 (fr) * 2001-03-14 2002-09-19 Nitta Corporation Capteur capacitif electrique
JP3628972B2 (ja) 2001-03-14 2005-03-16 ニッタ株式会社 静電容量式センサ
JP4591941B2 (ja) * 2001-08-10 2010-12-01 株式会社ワコー 容量素子を用いた力検出装置
JP4090939B2 (ja) * 2002-05-29 2008-05-28 ニッタ株式会社 静電容量式センサおよびその製造方法
JP2004037350A (ja) * 2002-07-05 2004-02-05 Nitta Ind Corp 抵抗型センサ
JP3848901B2 (ja) * 2002-07-12 2006-11-22 ニッタ株式会社 静電容量式センサ
JP2006337070A (ja) * 2005-05-31 2006-12-14 Nitta Ind Corp 静電容量式センサ

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101949749A (zh) * 2009-07-08 2011-01-19 株式会社和广 力检测装置
CN101949749B (zh) * 2009-07-08 2015-05-13 株式会社和广 力检测装置
CN112219090B (zh) * 2018-05-08 2024-02-06 比特朗股份公司 电容式位置传感器和相关的操纵杆装置及控制方法
CN114450560A (zh) * 2019-10-03 2022-05-06 本田技研工业株式会社 静电电容型检知传感器、静电电容型检知传感器模块以及使用静电电容型检知传感器的状态判定方法
CN114450560B (zh) * 2019-10-03 2024-04-30 本田技研工业株式会社 静电电容型检知传感器、静电电容型检知传感器模块以及使用静电电容型检知传感器的状态判定方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20090201031A1 (en) 2009-08-13
JPWO2006100725A1 (ja) 2008-08-28
EP1870686A1 (en) 2007-12-26
US7710126B2 (en) 2010-05-04
WO2006100725A1 (ja) 2006-09-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101142469A (zh) 静电电容式传感器
CN101142470A (zh) 静电电容式传感器
US10725583B2 (en) Input device receiver with delta-sigma modulator
US7372281B2 (en) Capacitance type sensor
CN100371694C (zh) 力检测器
JP5526761B2 (ja) センサ装置及び情報処理装置
US5670755A (en) Information input apparatus having functions of both touch panel and digitizer, and driving method thereof
KR101735715B1 (ko) 입력 감지 소자 및 이를 구비한 터치 패널
US10156949B2 (en) Force-touch sensor with multilayered electrodes
WO2004061400A1 (ja) 静電容量式センサ
CN102193699A (zh) 传感设备和显示设备
CN103838446A (zh) 触控面板传感器中的双模电容感测
WO2009001193A1 (en) Uniform threshold for capacitive sensing
US9471173B2 (en) Capacitive input sensing in the presence of a uniform conductor
CN1472520A (zh) 静电电容式传感器
CN103777828A (zh) 可重组感测点的触控面板装置及感测方法
US5898426A (en) Touch panel input device
JPH08171449A (ja) 感触式座標入力装置
KR20140029118A (ko) 터치 검출 장치 및 방법
KR101553604B1 (ko) 터치 검출 장치 및 방법
CN106293136B (zh) 低轮廓电容指点杆
JP2019074425A (ja) 検出装置及び入力装置
CN111857425A (zh) 输入装置及力传感器
JP3451362B2 (ja) 静電容量式センサー
JPH1011184A (ja) 座標入力装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication