CN117420144B - 一种高可靠碳化硅mos器件缺陷检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，属于检测设备技术领域，主要包括导向框板，在导向框板的内部转动连接有双向联动螺杆，双向联动螺杆的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块，且螺纹套接支块的外壁一侧安装有联动翻转机构；联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块外壁一侧的圆环块。本发明采用联动翻转机构使双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，联动转杆带动L形联动夹板使高可靠碳化硅MOS器件能够旋转，多个高可靠碳化硅MOS器件能够同步实现旋转多向检测缺陷，检测效率大幅度提高。

Description

一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备。

背景技术

高可靠碳化硅MOS器件是一种基于碳化硅材料的电力电子器件，具有高可靠性、高开关速度、宽输出频率等优点，而高可靠碳化硅MOS器件在加工过程中需要用到缺陷检测设备对其存在的缺陷进行检测，从而保证高可靠碳化硅MOS器件能够按照指定质量要求进行生产加工。

公开的技术文献中，中国专利公开号CN115446733A的专利公开了一种碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法，该专利主要通过筛选出合格的MOS管配件，同时能够对MOS管配件打磨，使MOS管配件表面平整，方便在MOS管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅MOS高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量；但是该检测装置还存在如下缺陷；

上述检测装置在对碳化硅MOS器件进行检测时，由于碳化硅MOS器件在加工过程中极易导致磕碰产生缺陷损坏点，而碳化硅MOS器件检测时只能进行单面对单个碳化硅MOS器件实现缺陷检测，检测完后还需要切换其他面再次检测，因此难以对多个碳化硅MOS器件实现同步多向联动检测，导致检测效率大幅度降低，为此需提供一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备。

发明内容

为此，本发明提供一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，以解决现有技术中存在的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，包括导向框板，所述导向框板的内部转动连接有双向联动螺杆，所述双向联动螺杆的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块，所述螺纹套接支块的外壁一侧安装有联动翻转机构；

所述联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块外壁一侧的圆环块，所述圆环块的外壁呈圆环等距分布连接有多个铰接凹块，每个所述铰接凹块的内部均安装有倾斜铰接套杆，所述倾斜铰接套杆的外壁且靠近其顶端位置处安装有凹形铰接联动块，在所述凹形铰接联动块的一侧焊接有凹形联动架，所述凹形联动架的两端部均焊接有联动齿条，所述联动齿条的上方啮合传动连接有联动旋转齿轮，所述联动旋转齿轮的内壁固定连接有转动套筒，所述转动套筒内壁滑动连接联动转杆，所述联动转杆的一端部焊接有L形联动夹板。

优选地，所述铰接凹块和螺纹套接支块均与圆环块之间固定连接，所述圆环块和螺纹套接支块均与导向框板之间竖向滑动连接，所述铰接凹块和凹形铰接联动块均与倾斜铰接套杆之间转动连接，所述双向联动螺杆的外壁两螺纹相反且对称设置。

优选地，所述转动套筒的外壁且位于联动旋转齿轮一侧位置处转动连接有套轴支架，所述套轴支架的一侧设有与转动套筒固定连接的联动套接框板，所述凹形联动架的顶端焊接有套接滑块，且所述套接滑块的内部滑动连接有导向滑杆，所述双向联动螺杆的底端延伸至导向框板下方并同轴传动连接有伺服减速电机，所述伺服减速电机的顶端且位于双向联动螺杆一侧位置处固定连接有支撑块，所述导向框板的外壁且靠近其底端位置处固定连接有套接支底盘，在所述套接支底盘的一侧焊接有支撑套架，所述支撑套架的内部固定连接有控制器，且所述控制器的底端安装有用于储存数据的储存器。

依据上述技术方案，双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，螺纹套接支块带动圆环块使铰接凹块上移，铰接凹块带动倾斜铰接套杆使凹形铰接联动块移动，凹形铰接联动块带动凹形联动架移动，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，联动旋转齿轮带动转动套筒在使联动转杆旋转，同时转动套筒在套轴支架内部稳定旋转，L形联动夹板使联动套接框板同步旋转，L形联动夹板带动高可靠碳化硅MOS器件旋转。

优选地，所述双向联动螺杆的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块，所述螺纹套接联动块的一侧安装有联动检测组件；

所述联动检测组件包括安装在螺纹套接联动块一侧的圆环联动架，且所述圆环联动架的外壁连接有多个联动铰接块，所述联动铰接块的内部转动连接有倾斜套接支架，在所述倾斜套接支架的外壁且靠近其底端位置处转动连接有铰接联动滑块，所述铰接联动滑块的一侧焊接有联动支架，所述联动支架的一端部固定连接有用于检测碳化硅MOS器件的视觉检测传感器，所述联动支架的底端焊接有套接滑架，所述套接滑架的内部且靠近其底端位置处滑动连接有导向支杆，多个所述联动铰接块呈圆环等距分布排列设置，多个所述联动铰接块均与圆环联动架之间焊接。

依据上述技术方案，螺纹套接联动块带动圆环联动架向下移动，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，铰接联动滑块的底端带动联动支架水平移动，联动支架带动套接滑架在导向支杆的外壁导向滑动，视觉检测传感器能够同步沿着高可靠碳化硅MOS器件上方移动，视觉检测传感器能够对高可靠碳化硅MOS器件翻转的多向位置图像进行采集，采集后的图像数据通过控制器输送到储存器上经过储存器内部储存的图像进行比对判断是否存在缺陷。

优选地，所述导向框板的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台，所述套接平台的下方设有联动锁紧组件；

所述联动锁紧组件包括设置在套接平台下方的嵌入转环，且所述嵌入转环的底端焊接有联动齿轮，所述联动齿轮的外壁一侧啮合传动连接有传动齿轮，在所述传动齿轮底端嵌入插接有减速驱动电机，所述减速驱动电机与导向框板之间固定连接有固定支架，所述嵌入转环的外壁焊接有多个套接滑槽条，每个所述套接滑槽条的内部均滑动连接有限位联动杆，所述限位联动杆的顶端焊接有联动轴环，所述联动轴环的内壁与联动转杆外壁之间嵌入转动连接，所述联动齿轮和嵌入转环均与导向框板之间转动连接，多个所述套接滑槽条呈圆环等距分布排列设置。

依据上述技术方案，高可靠碳化硅MOS器件放置在两个L形联动夹板的内壁位置处，减速驱动电机带动传动齿轮旋转，传动齿轮带动联动齿轮旋转，联动齿轮带动嵌入转环在导向框板的外壁旋转，套接滑槽条带动限位联动杆滑动的同时移动，同时限位联动杆带动联动轴环向左移动，联动轴环带动联动转杆沿着转动套筒内部滑动，联动转杆带动L形联动夹板挤压高可靠碳化硅MOS器件进行锁紧固定。

本发明具有如下优点：

1、本发明采用联动翻转机构使双向联动螺杆带动螺纹套接支块在螺纹的作用下上移，圆环块使铰接凹块上移，铰接凹块带动倾斜铰接套杆使凹形铰接联动块移动，凹形联动架带动两个联动齿条移动，联动齿条带动联动旋转齿轮啮合旋转，转动套筒在套轴支架内部稳定旋转，联动转杆带动L形联动夹板使高可靠碳化硅MOS器件能够旋转，多个高可靠碳化硅MOS器件能够同步实现旋转多向检测缺陷，检测效率大幅度提高。

2、本发明通过联动检测组件使双向联动螺杆带动螺纹套接联动块在螺纹的作用下沿着导向框板内部导向下移，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，联动铰接块带动倾斜套接支架使铰接联动滑块移动，视觉检测传感器能够对高可靠碳化硅MOS器件翻转时进行多向位置图像采集，多个视觉检测传感器形成联动检测，检测效率有效提高。

3、本发明利用联动锁紧组件启动减速驱动电机带动传动齿轮旋转，传动齿轮带动联动齿轮旋转，联动齿轮带动嵌入转环在导向框板的外壁旋转，套接滑槽条带动限位联动杆滑动，限位联动杆带动联动轴环向左移动，联动转杆带动L形联动夹板挤压高可靠碳化硅MOS器件，对多个高可靠碳化硅MOS器件同步进行锁紧固定，提高高可靠碳化硅MOS器件的检测效率。

通过上述多个作用的相互影响，首先对多个高可靠碳化硅MOS器件同步进行锁紧固定，再对多个高可靠碳化硅MOS器件同步旋转进行多向检测缺陷，同时多个视觉检测传感器形成联动多点位检测，综上能够对多个碳化硅MOS器件实现同步多向联动检测，无需一个个检测，一个个切换方位检测，提高检测效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。

图1为本发明的一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备整体结构示意图；

图2为本发明的一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备竖截面结构示意图；

图3为本发明的导向框板竖截面截断局部结构示意图；

图4为本发明的图2中A处放大结构示意图；

图5为本发明的图3中B处放大结构示意图；

图6为本发明的中联动转杆与转动套筒连接处竖截面局部结构示意图；

图7为本发明的一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备仰视结构示意图；

图8为本发明的中套接平台与套轴支架连接处截断局部结构示意图；

图中：1、导向框板；2、双向联动螺杆；3、螺纹套接支块；4、圆环块；5、铰接凹块；6、倾斜铰接套杆；7、凹形铰接联动块；8、凹形联动架；9、联动齿条；10、联动旋转齿轮；11、转动套筒；12、联动转杆；13、L形联动夹板；14、联动套接框板；15、套轴支架；16、套接滑块；17、导向滑杆；18、支撑块；19、伺服减速电机；20、套接支底盘；21、支撑套架；22、控制器；23、储存器；24、螺纹套接联动块；25、圆环联动架；26、联动铰接块；27、倾斜套接支架；28、铰接联动滑块；29、联动支架；30、视觉检测传感器；31、套接滑架；32、导向支杆；33、套接平台；34、嵌入转环；35、联动齿轮；36、传动齿轮；37、减速驱动电机；38、固定支架；39、套接滑槽条；40、限位联动杆；41、联动轴环。

具体实施方式

以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如附图1-8所示的一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，该粉末冶金颗粒震荡分级装置上设置有联动翻转机构、联动检测组件、联动锁紧组件，各个机构和组件的设置能够对多个碳化硅MOS器件实现同步多向联动检测，无需一个个检测，一个个切换方位检测，提高检测效率，各机构和组件的具体结构设置如下。

在一些实施例中，如附图1-6所示，联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块3外壁一侧的圆环块4，圆环块4的外壁呈圆环等距分布连接有多个铰接凹块5，每个铰接凹块5的内部均安装有倾斜铰接套杆6，倾斜铰接套杆6的外壁且靠近其顶端位置处安装有凹形铰接联动块7，在凹形铰接联动块7的一侧焊接有凹形联动架8，凹形联动架8的两端部均焊接有联动齿条9，联动齿条9的上方啮合传动连接有联动旋转齿轮10，联动旋转齿轮10的内壁固定连接有转动套筒11，转动套筒11内壁滑动连接联动转杆12，联动转杆12的一端部焊接有L形联动夹板13。

在一些实施例中，如附图1-6所示，转动套筒11的外壁且位于联动旋转齿轮10一侧位置处转动连接有套轴支架15，套轴支架15的一侧设有与转动套筒11固定连接的联动套接框板14，以便于联动转杆12带动L形联动夹板13使联动套接框板14同步旋转，而套轴支架15能够保证转动套筒11在其内部稳定旋转，凹形联动架8的顶端焊接有套接滑块16，且套接滑块16的内部滑动连接有导向滑杆17，双向联动螺杆2的底端延伸至导向框板1下方并同轴传动连接有伺服减速电机19，伺服减速电机19的顶端且位于双向联动螺杆2一侧位置处固定连接有支撑块18，以便于凹形铰接联动块7带动套接滑块16沿着导向滑杆17外壁导向滑动，支撑块18对伺服减速电机19起到稳定支撑，伺服减速电机19带动双向联动螺杆2实现旋转驱动，导向框板1的外壁且靠近其底端位置处固定连接有套接支底盘20，在套接支底盘20的一侧焊接有支撑套架21，支撑套架21的内部固定连接有控制器22，且控制器22的底端安装有用于储存数据的储存器23，以便于通过套接支底盘20对支撑套架21起到支撑作用，支撑套架21对控制器22起到支撑作用，视觉检测传感器30能够同步沿着高可靠碳化硅MOS器件上方移动采集外部图像数据，采集后的图像数据通过控制器22输送到储存器23上经过储存器23内部储存的图像进行比对依次判断是否存在缺陷。

在一些实施例中，如附图3所示，双向联动螺杆2的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块24，螺纹套接联动块24的一侧安装有联动检测组件，联动检测组件包括安装在螺纹套接联动块24一侧的圆环联动架25，且圆环联动架25的外壁连接有多个联动铰接块26，联动铰接块26的内部转动连接有倾斜套接支架27，在倾斜套接支架27的外壁且靠近其底端位置处转动连接有铰接联动滑块28，铰接联动滑块28的一侧焊接有联动支架29，联动支架29的一端部固定连接有用于检测碳化硅MOS器件的视觉检测传感器30，联动支架29的底端焊接有套接滑架31，套接滑架31的内部且靠近其底端位置处滑动连接有导向支杆32，多个联动铰接块26呈圆环等距分布排列设置，多个联动铰接块26均与圆环联动架25之间焊接。

在一些实施例中，如附图7-8所示，导向框板1的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台33，套接平台33的下方设有联动锁紧组件，联动锁紧组件包括设置在套接平台33下方的嵌入转环34，且嵌入转环34的底端焊接有联动齿轮35，联动齿轮35的外壁一侧啮合传动连接有传动齿轮36，在传动齿轮36底端嵌入插接有减速驱动电机37，减速驱动电机37与导向框板1之间固定连接有固定支架38，嵌入转环34的外壁焊接有多个套接滑槽条39，每个套接滑槽条39的内部均滑动连接有限位联动杆40，限位联动杆40的顶端焊接有联动轴环41，联动轴环41的内壁与联动转杆12外壁之间嵌入转动连接，联动齿轮35和嵌入转环34均与导向框板1之间转动连接，多个套接滑槽条39呈圆环等距分布排列设置。

本发明的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备的使用过程如下。

本发明首先在进行联动锁紧时，通过套接支底盘20对支撑套架21起到支撑作用，支撑套架21对控制器22起到支撑作用，增加控制器22的稳定性，再将高可靠碳化硅MOS器件放置在两个L形联动夹板13的内壁位置处，通过控制器22启动减速驱动电机37带动传动齿轮36旋转，同时固定支架38对减速驱动电机37提供牢牢的竖向支撑力，传动齿轮36带动联动齿轮35旋转，联动齿轮35带动嵌入转环34在导向框板1的外壁旋转，嵌入转环34带动多个套接滑槽条39旋转，套接滑槽条39带动限位联动杆40滑动的同时移动，这样限位联动杆40在套接滑槽条39内部滑动，同时限位联动杆40带动联动轴环41向左移动，联动轴环41带动联动转杆12沿着转动套筒11内部滑动，联动转杆12带动L形联动夹板13挤压高可靠碳化硅MOS器件，高可靠碳化硅MOS器件能够夹持在两个L形联动夹板13之间位置处，多个高可靠碳化硅MOS器件能够同步进行锁紧固定。

其次联动翻转时，控制器22启动伺服减速电机19带动双向联动螺杆2在导向框板1内部旋转，双向联动螺杆2带动螺纹套接支块3在螺纹的作用下上移，螺纹套接支块3带动圆环块4使铰接凹块5上移，铰接凹块5带动倾斜铰接套杆6使凹形铰接联动块7移动，凹形铰接联动块7带动套接滑块16沿着导向滑杆17外壁导向滑动，同时凹形铰接联动块7带动凹形联动架8移动，凹形联动架8带动两个联动齿条9移动，联动齿条9带动联动旋转齿轮10啮合旋转，联动旋转齿轮10带动转动套筒11在使联动转杆12旋转，同时转动套筒11在套轴支架15内部稳定旋转，套接平台33对套轴支架15提供牢牢支撑力，联动转杆12带动L形联动夹板13使联动套接框板14同步旋转。

本发明同时在进行检测时，通过双向联动螺杆2带动螺纹套接联动块24在螺纹的作用下沿着导向框板1内部导向下移，螺纹套接联动块24带动圆环联动架25向下移动，圆环联动架25带动多个联动铰接块26向下移动，联动铰接块26带动倾斜套接支架27使铰接联动滑块28移动，铰接联动滑块28的底端带动联动支架29水平移动，联动支架29带动套接滑架31在导向支杆32的外壁导向滑动，同时联动支架29带动视觉检测传感器30移动，视觉检测传感器30能够同步沿着高可靠碳化硅MOS器件上方移动，同时高可靠碳化硅MOS器件旋转实现多方向切换，视觉检测传感器30能够对高可靠碳化硅MOS器件翻转的多向位置图像进行采集，采集后的图像数据通过控制器22输送到储存器23上经过储存器23内部储存的图像进行比对，如比对相同则高可靠碳化硅MOS器件外部无缺陷，如存在差异则通过控制器22上的显示屏显示存在缺陷，能够对多个高可靠碳化硅MOS器件同步移动检测以及同步多向检测，检测效率有效提高。

说明书中未作详细描述的内容均属于本领域技术人员公知的现有技术，且各电器的型号参数不作具体限定，使用常规设备即可定，本技术方案中，未提及到的电器控制元件由于属于现有技术，因而图中未进行示出，在此也不再进行叙述。

虽然，上文中已经用一般性说明及具体实施例对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (6)

1.一种高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，包括导向框板（1），所述导向框板（1）的内部转动连接有双向联动螺杆（2），所述双向联动螺杆（2）的外壁且靠近其底端位置处螺纹连接有螺纹套接支块（3），其特征在于：所述螺纹套接支块（3）的外壁一侧安装有联动翻转机构；

所述联动翻转机构包括安装在螺纹套接支块（3）外壁一侧的圆环块（4），所述圆环块（4）的外壁呈圆环等距分布连接有多个铰接凹块（5），每个所述铰接凹块（5）的内部均安装有倾斜铰接套杆（6），所述倾斜铰接套杆（6）的外壁且靠近其顶端位置处安装有凹形铰接联动块（7），在所述凹形铰接联动块（7）的一侧焊接有凹形联动架（8），所述凹形联动架（8）的两端部均焊接有联动齿条（9），所述联动齿条（9）的上方啮合传动连接有联动旋转齿轮（10），所述联动旋转齿轮（10）的内壁固定连接有转动套筒（11），所述转动套筒（11）内壁滑动连接联动转杆（12），所述联动转杆（12）的一端部焊接有L形联动夹板（13），所述双向联动螺杆（2）的外壁且靠近其顶端位置处螺纹连接有螺纹套接联动块（24），所述螺纹套接联动块（24）的一侧安装有联动检测组件；所述联动检测组件包括安装在螺纹套接联动块（24）一侧的圆环联动架（25），且所述圆环联动架（25）的外壁连接有多个联动铰接块（26），所述联动铰接块（26）的内部转动连接有倾斜套接支架（27），在所述倾斜套接支架（27）的外壁且靠近其底端位置处转动连接有铰接联动滑块（28），所述铰接联动滑块（28）的一侧焊接有联动支架（29），所述联动支架（29）的一端部固定连接有用于检测碳化硅MOS器件的视觉检测传感器（30），所述联动支架（29）的底端焊接有套接滑架（31），所述套接滑架（31）的内部且靠近其底端位置处滑动连接有导向支杆（32），多个所述联动铰接块（26）呈圆环等距分布排列设置，多个所述联动铰接块（26）均与圆环联动架（25）之间焊接，所述导向框板（1）的外壁且靠近其中部位置处焊接有套接平台（33），所述套接平台（33）的下方设有联动锁紧组件；所述联动锁紧组件包括设置在套接平台（33）下方的嵌入转环（34），且所述嵌入转环（34）的底端焊接有联动齿轮（35），所述联动齿轮（35）的外壁一侧啮合传动连接有传动齿轮（36），在所述传动齿轮（36）底端嵌入插接有减速驱动电机（37），所述减速驱动电机（37）与导向框板（1）之间固定连接有固定支架（38），所述嵌入转环（34）的外壁焊接有多个套接滑槽条（39），每个所述套接滑槽条（39）的内部均滑动连接有限位联动杆（40），所述限位联动杆（40）的顶端焊接有联动轴环（41），所述联动轴环（41）的内壁与联动转杆（12）外壁之间嵌入转动连接，所述联动齿轮（35）和嵌入转环（34）均与导向框板（1）之间转动连接，多个所述套接滑槽条（39）呈圆环等距分布排列设置。

2.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和螺纹套接支块（3）均与圆环块（4）之间固定连接，所述圆环块（4）和螺纹套接支块（3）均与导向框板（1）之间竖向滑动连接。

3.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述铰接凹块（5）和凹形铰接联动块（7）均与倾斜铰接套杆（6）之间转动连接，所述双向联动螺杆（2）的外壁两螺纹相反且对称设置。

4.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述转动套筒（11）的外壁且位于联动旋转齿轮（10）一侧位置处转动连接有套轴支架（15），所述套轴支架（15）的一侧设有与转动套筒（11）固定连接的联动套接框板（14）。

5.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述凹形联动架（8）的顶端焊接有套接滑块（16），且所述套接滑块（16）的内部滑动连接有导向滑杆（17），所述双向联动螺杆（2）的底端延伸至导向框板（1）下方并同轴传动连接有伺服减速电机（19），所述伺服减速电机（19）的顶端且位于双向联动螺杆（2）一侧位置处固定连接有支撑块（18）。

6.如权利要求1所述的高可靠碳化硅MOS器件缺陷检测设备，其特征在于：所述导向框板（1）的外壁且靠近其底端位置处固定连接有套接支底盘（20），在所述套接支底盘（20）的一侧焊接有支撑套架（21），所述支撑套架（21）的内部固定连接有控制器（22），且所述控制器（22）的底端安装有用于储存数据的储存器（23）。