CN115446733A - 一种碳化硅mos快速检测装置及其检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于检测设备技术领域，具体涉及一种碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法，本碳化硅MOS快速检测装置包括：转盘机构、打磨机构、送料机构、抓取机构和平整度检测机构；当MOS管配件为第一规格配件时，打磨机构将该MOS管配件卡在转盘机构与打磨机构之间，且MOS管配件在转盘机构相对打磨机构转动时被打磨；当MOS管配件为第二规格配件时，打磨机构将该MOS管配件从转盘机构与打磨机构之间弹出；本发明能够筛选出合格的MOS管配件，同时能够对MOS管配件打磨，使MOS管配件表面平整，方便在MOS管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅MOS高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量。

Description

一种碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法

技术领域

本发明属于检测设备技术领域，具体涉及一种碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法。

背景技术

碳化硅功率器件因其高耐压、低损耗、高效率等特性，一直被视为“理想器件”而备受期待。然而，相对于以往的硅材质器件，碳化硅功率器件在性能与成本间的平衡以及其对高工艺的需求，将成为碳化硅功率器件能否真正普及的关键。

由于碳化硅功率器件高耐压特性，碳化硅功率器件在工作时必然会造成温度升高，因此碳化硅功率器件的MOS管配件必须由MOS管本体和散热片组成，MOS管本体、散热片都开有螺钉孔，通过螺钉将MOS管本体与散热片固定，并且MOS管本体与散热片之间需要均匀涂抹散热硅脂，不少人安装散热片的时候忘记涂抹散热硅脂或者涂抹不正确，结果造成MOS管本体运行不稳定，甚至烧毁MOS管本体的严重后果，若MOS管本体、散热片表面不平整，易造成MOS管本体与散热片之间散热硅脂涂抹不均匀。

因此，亟需开发一种新的碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法，以解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是提供一种碳化硅MOS快速检测装置及其检测方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种碳化硅MOS快速检测装置，其包括：转盘机构、打磨机构、送料机构、抓取机构和平整度检测机构；其中所述打磨机构活动设置在转盘机构上，所述送料机构、抓取机构、平整度检测机构分别位于转盘机构的外侧；所述抓取机构抓取送料机构上MOS管配件，以送入所述转盘机构与打磨机构之间；当MOS管配件为第一规格配件时，所述打磨机构将该MOS管配件卡在转盘机构与打磨机构之间，且MOS管配件在所述转盘机构相对打磨机构转动时被打磨；所述转盘机构带动打磨机构转动，以带动MOS管配件移至所述平整度检测机构处，所述平整度检测机构从转盘机构与打磨机构之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及当MOS管配件为第二规格配件时，所述打磨机构将该MOS管配件从转盘机构与打磨机构之间弹出。

进一步，所述转盘机构包括：转动电机和转动盘；所述转动电机的输出轴连接转动盘；所述转动电机驱动转动盘转动。

进一步，所述打磨机构包括：砂带环、安装环、定环组件和若干限位组件；所述转动盘的外圈设置环状活动台阶，所述砂带环贴设在环状活动台阶的台阶面上，所述安装环活动卡装在环状活动台阶上；所述定环组件活动设置在转动盘的一侧；所述安装环上外侧开设环布若干间隔设置的限位缺口，以用于分别安装对应的限位组件；MOS管配件被送入所述限位缺口内，当MOS管配件为第一规格配件时，所述限位组件将该MOS管配件卡在限位组件与砂带环之间，所述定环组件下压将安装环定住，所述转动盘带动砂带环相对安装环转动，以使所述砂带环打磨MOS管配件；直至MOS管配件打磨结束，所述定环组件上抬将安装环松开，所述转动盘带动安装环转动至平整度检测机构处；当MOS管配件为第二规格配件时，所述限位组件将该MOS管配件从限位组件与砂带环之间弹出。

进一步，所述定环组件包括：位于安装环上方的定环气缸、吸盘；所述定环气缸的活动部连接吸盘；所述定环气缸驱动吸盘朝向安装环下压，直至所述吸盘抵着安装环，以将所述安装环吸住；所述吸盘解除负压以松开安装环，且所述吸盘在定环气缸带动下上抬以远离安装环。

进一步，所述限位组件包括：第一楔形块、第二楔形块和橡胶定位柱；所述第一楔形块、第二楔形块位于限位缺口的上方，所述第一楔形块上设置上斜面，所述上斜面上斜向开设有滑动槽，所述第二楔形块上设置下斜面，所述下斜面上斜向开设有滑动块；所述上斜面与下斜面贴合设置，且所述上斜面与下斜面的倾角互补；所述第一楔形块与第二楔形块通过滑动槽、滑动块滑动连接，且所述滑动块通过滑动弹簧活动连接在滑动槽内；所述橡胶定位柱位于第二楔形块的底部，所述橡胶定位柱的底部呈球状设置；所述抓取机构抓取MOS管配件朝向限位缺口送入，所述抓取机构推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动，即当所述抓取机构放开第二楔形块，所述第二楔形块在滑动弹簧反向推力作用下沿第一楔形块斜向上爬升，进而带动所述橡胶定位柱斜向上爬升，直至所述橡胶定位柱抵着MOS管配件变形且挤入MOS管配件与第二楔形块之间并朝向安装环外侧移动；当MOS管配件为第一规格配件时，所述橡胶定位柱卡入MOS管配件上螺钉孔中，以将该MOS管配件卡在所述第二楔形块与砂带环之间；当MOS管配件为第二规格配件时，所述橡胶定位柱通过摩擦力推动该MOS管配件从第二楔形块与砂带环之间弹出。

进一步，所述限位组件还包括：第一三角块、第二三角块；所述第一三角块、第二三角块分别活动设置在限位缺口的进口处两侧；所述第一三角块、第二三角块分别通过相应压缩弹簧活动连接在安装环内；所述第一三角块、第二三角块将送入限位缺口内的MOS管配件夹住；所述安装环上位于限位缺口处开设有收集孔，所述安装环内开设有连通收集孔的收集腔；所述转动盘带动砂带环相对安装环转动时，从MOS管配件上打磨下的碎屑从所述收集孔进入收集腔内。

进一步，所述送料机构包括：振动送料盘；所述振动送料盘朝向转盘机构逐个输送MOS管配件。

进一步，所述抓取机构包括：第一机械手和第一推动气缸；所述第一推动气缸位于第一机械手上；所述第一机械手抓取MOS管配件朝向限位缺口送入，以使所述第一推动气缸推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动。

进一步，所述平整度检测机构包括：第二机械手、第二推动气缸、处理器和视觉检测传感器；所述第二推动气缸、处理器、视觉检测传感器位于第二机械手上；所述第二机械手在限位缺口中夹住MOS管配件，以使所述第二推动气缸推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动，直至所述橡胶定位柱从MOS管配件上螺钉孔中脱离，即所述第二机械手从限位缺口中取出MOS管配件，以使所述处理器通过视觉检测传感器对MOS管配件的平整度进行检测。

另一方面，本发明提供一种采用如上述的碳化硅MOS快速检测装置的检测方法，其包括：通过抓取机构抓取送料机构上MOS管配件，以送入转盘机构与打磨机构之间；当MOS管配件为第一规格配件时，打磨机构将该MOS管配件卡在转盘机构与打磨机构之间，且MOS管配件在转盘机构相对打磨机构转动时被打磨；通过转盘机构带动打磨机构转动，以带动MOS管配件移至平整度检测机构处，平整度检测机构从转盘机构与打磨机构之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及当MOS管配件为第二规格配件时，打磨机构将该MOS管配件从转盘机构与打磨机构之间弹出。

本发明的有益效果是，本发明通过送料机构、抓取机构将MOS管配件送入转盘机构与打磨机构之间，筛选出合格的MOS管配件，同时转盘机构、打磨机构能够对MOS管配件打磨，使MOS管配件表面平整，方便在MOS管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅MOS高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明的碳化硅MOS快速检测装置的结构图；

图2是本发明的转盘机构的结构图；

图3是本发明的打磨机构的结构图；

图4是本发明的安装环的结构图；

图5是本发明的限位缺口的结构图；

图6是本发明的定环组件的结构图；

图7是本发明的限位组件的结构图；

图8是本发明的第一楔形块与第二楔形块装配的结构图；

图9是本发明的送料机构的结构图；

图10是本发明的抓取机构的结构图；

图中：

1、转盘机构；11、转动电机；12、转动盘；

2、打磨机构；21、砂带环；22、安装环；221、限位缺口；222、收集孔；23、定环组件；231、定环气缸；232、吸盘；24、限位组件；241、第一楔形块；2411、上斜面；2412、滑动槽；2413、滑动弹簧；242、第二楔形块；2421、下斜面；243、橡胶定位柱；244、第一三角块；245、第二三角块；

3、送料机构；31、振动送料盘；

4、抓取机构；41、第一机械手；42、第一推动气缸；

5、平整度检测机构。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

在本实施例中，如图1至图10所示，本实施例提供了一种碳化硅MOS快速检测装置，其包括：转盘机构1、打磨机构2、送料机构3、抓取机构4和平整度检测机构5；其中所述打磨机构2活动设置在转盘机构1上，所述送料机构3、抓取机构4、平整度检测机构5分别位于转盘机构1的外侧；所述抓取机构4抓取送料机构3上MOS管配件，以送入所述转盘机构1与打磨机构2之间；当MOS管配件为第一规格配件时，所述打磨机构2将该MOS管配件卡在转盘机构1与打磨机构2之间，且MOS管配件在所述转盘机构1相对打磨机构2转动时被打磨；所述转盘机构1带动打磨机构2转动，以带动MOS管配件移至所述平整度检测机构5处，所述平整度检测机构5从转盘机构1与打磨机构2之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及当MOS管配件为第二规格配件时，所述打磨机构2将该MOS管配件从转盘机构1与打磨机构2之间弹出。

在本实施例中，MOS管配件指的是MOS管本体和散热片，第一规格配件指的是MOS管本体、散热片上在指定位置处开设有螺钉孔，第二规格配件指的是MOS管本体、散热片上在指定位置处未设有螺钉孔。

在本实施例中，本实施例通过送料机构3、抓取机构4将MOS管配件送入转盘机构1与打磨机构2之间，筛选出合格的MOS管配件，同时转盘机构1、打磨机构2能够对MOS管配件打磨，使MOS管配件表面平整，方便在MOS管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅MOS高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量。

在本实施例中，所述转盘机构1包括：转动电机11和转动盘12；所述转动电机11的输出轴连接转动盘12；所述转动电机11驱动转动盘12转动。

在本实施例中，转动电机11提供转动盘12主动旋转的作用力，能够起到带动转动盘12转动的作用。

在本实施例中，所述打磨机构2包括：砂带环21、安装环22、定环组件23和若干限位组件24；所述转动盘12的外圈设置环状活动台阶，所述砂带环21贴设在环状活动台阶的台阶面上，所述安装环22活动卡装在环状活动台阶上；所述定环组件23活动设置在转动盘12的一侧；所述安装环22上外侧开设环布若干间隔设置的限位缺口221，以用于分别安装对应的限位组件24；MOS管配件被送入所述限位缺口221内，当MOS管配件为第一规格配件时，所述限位组件24将该MOS管配件卡在限位组件24与砂带环21之间，所述定环组件23下压将安装环22定住，所述转动盘12带动砂带环21相对安装环22转动，以使所述砂带环21打磨MOS管配件；直至MOS管配件打磨结束，所述定环组件23上抬将安装环22松开，所述转动盘12带动安装环22转动至平整度检测机构5处；当MOS管配件为第二规格配件时，所述限位组件24将该MOS管配件从限位组件24与砂带环21之间弹出。

在本实施例中，砂带环21指的是使用粘结剂将磨料粘结在纸、布等可挠性材料上制成的可以进行磨削和抛光的一种带状工具，它是涂附磨具的一种主要形式，其基本组成是：基材、磨料和粘结剂，合称为砂带构成的三要素。

在本实施例中，由于定环组件23能够将安装环22定住，并且限位组件24能够卡住MOS管配件，就相当于MOS管配件与砂带环21发生相对转动，从而实现砂带环21能够打磨MOS管配件。

在本实施例中，由于转动盘12的外圈设置有环状活动台阶，同时安装环22卡装在环状活动台阶上，环状活动台阶能够起到限位安装环22的作用，保证安装环22稳定转动。

在本实施例中，定环组件23解除对安装环22限位后，安装环22能够随着转动盘12一起转动，从而实现转换工位在平整度检测机构5处对MOS管配件进行检测。

在本实施例中，所述定环组件23包括：位于安装环22上方的定环气缸231、吸盘232；所述定环气缸231的活动部连接吸盘232；所述定环气缸231驱动吸盘232朝向安装环22下压，直至所述吸盘232抵着安装环22，以将所述安装环22吸住；所述吸盘232解除负压以松开安装环22，且所述吸盘232在定环气缸231带动下上抬以远离安装环22。

在本实施例中，定环气缸231起到带动吸盘232纵向移动的作用，能够使得吸盘232吸住安装环22或吸盘232与安装环22分开，当吸盘232吸住安装环22时，转动盘12转动而安装环22不随之转动，当吸盘232与安装环22分开时，转动盘12转动且安装环22随之转动。

在本实施例中，所述限位组件24包括：第一楔形块241、第二楔形块242和橡胶定位柱243；所述第一楔形块241、第二楔形块242位于限位缺口221的上方，所述第一楔形块241上设置上斜面2411，所述上斜面2411上斜向开设有滑动槽2412，所述第二楔形块242上设置下斜面2421，所述下斜面2421上斜向开设有滑动块；所述上斜面2411与下斜面2421贴合设置，且所述上斜面2411与下斜面2421的倾角互补；所述第一楔形块241与第二楔形块242通过滑动槽2412、滑动块滑动连接，且所述滑动块通过滑动弹簧2413活动连接在滑动槽2412内；所述橡胶定位柱243位于第二楔形块242的底部，所述橡胶定位柱243的底部呈球状设置；所述抓取机构4抓取MOS管配件朝向限位缺口221送入，所述抓取机构4推动第二楔形块242相对第一楔形块241向下滑动，即当所述抓取机构4放开第二楔形块242，所述第二楔形块242在滑动弹簧2413反向推力作用下沿第一楔形块241斜向上爬升，进而带动所述橡胶定位柱243斜向上爬升，直至所述橡胶定位柱243抵着MOS管配件变形且挤入MOS管配件与第二楔形块242之间并朝向安装环22外侧移动；当MOS管配件为第一规格配件时，所述橡胶定位柱243卡入MOS管配件上螺钉孔中，以将该MOS管配件卡在所述第二楔形块242与砂带环21之间；当MOS管配件为第二规格配件时，所述橡胶定位柱243通过摩擦力推动该MOS管配件从第二楔形块242与砂带环21之间弹出。

在本实施例中，所述橡胶定位柱243的顶部通过伸缩弹簧嵌装在第二楔形块242的底部，并且橡胶定位柱243的底部采用软质材料。

在本实施例中，首先由抓取机构4抓取MOS管配件朝向限位缺口221移动，在MOS管配件进入限位缺口221的过程中，抓取机构4推动第二楔形块242相对第一楔形块241斜向下滑动，直至第二楔形块242的底面略高于MOS管配件的顶面或第二楔形块242的底面与MOS管配件的顶面齐平，此时抓取机构4松开第二楔形块242，第二楔形块242在滑动弹簧2413反向推力作用下沿第一楔形块241斜向上爬升，同时橡胶定位柱243变形并挤压伸缩弹簧压入第二楔形块242中，且当橡胶定位柱243移动至MOS管配件上指定开设螺钉孔处，抓取机构4松开MOS管配件，此时若MOS管配件为第一规格配件时，橡胶定位柱243直接插入MOS管配件上螺钉孔中，并带动MOS管配件在限位缺口221内位移一小段距离，若MOS管配件为第二规格配件时，橡胶定位柱243无法插入MOS管配件中，由于撤去了对MOS管配件的推力，此时MOS管配件受到橡胶定位柱243的底部变形处的推力和滑动弹簧2413复位产生的推力，在抓取机构4松开MOS管配件的瞬时会使MOS管配件从限位缺口221中弹出。

在本实施例中，还存在另一种将MOS管配件装入限位缺口221中的方法，抓取机构4抓取MOS管配件抵推橡胶定位柱243，进而推动第二楔形块242相对第一楔形块241向下滑动，当橡胶定位柱243压入第二楔形块242中且存在一定程度变形后下挤入MOS管配件与第二楔形块242之间，此时抓取机构4松开MOS管配件，橡胶定位柱243变形且在滑动弹簧2413反向推力作用下挤入MOS管配件与第二楔形块242之间并朝向安装环22外侧移动，若MOS管配件为第一规格配件时，橡胶定位柱243直接插入MOS管配件上螺钉孔中，并带动MOS管配件在限位缺口221内位移一小段距离，若MOS管配件为第二规格配件时，橡胶定位柱243无法插入MOS管配件中，由于撤去了对MOS管配件的推力，此时MOS管配件受到橡胶定位柱243的底部变形处的推力和滑动弹簧2413复位产生的推力， MOS管配件会被推橡胶定位柱243从限位缺口221中弹出。

在本实施例中，所述限位组件24还包括：第一三角块244、第二三角块245；所述第一三角块244、第二三角块245分别活动设置在限位缺口221的进口处两侧；所述第一三角块244、第二三角块245分别通过相应压缩弹簧活动连接在安装环22内；所述第一三角块244、第二三角块245将送入限位缺口221内的MOS管配件夹住；所述安装环22上位于限位缺口221处开设有收集孔222，所述安装环22内开设有连通收集孔222的收集腔；所述转动盘12带动砂带环21相对安装环22转动时，从MOS管配件上打磨下的碎屑从所述收集孔222进入收集腔内。

在本实施例中，设置第一三角块244、第二三角块245能够适配不同宽度的MOS管配件，并且由于第一三角块244、第二三角块245与MOS管配件线接触，不会将MOS管配件夹得很紧，但会很好限制MOS管配件的姿态。

在本实施例中，所述送料机构3包括：振动送料盘31；所述振动送料盘31朝向转盘机构1逐个输送MOS管配件。

在本实施例中，振动送料盘31起到送料的作用。

在本实施例中，所述抓取机构4包括：第一机械手41和第一推动气缸42；所述第一推动气缸42位于第一机械手41上；所述第一机械手41抓取MOS管配件朝向限位缺口221送入，以使所述第一推动气缸42推动第二楔形块242相对第一楔形块241向下滑动。

在本实施例中，所述平整度检测机构5包括：第二机械手、第二推动气缸、处理器和视觉检测传感器；所述第二推动气缸、处理器、视觉检测传感器位于第二机械手上；所述第二机械手在限位缺口221中夹住MOS管配件，以使所述第二推动气缸推动第二楔形块242相对第一楔形块241向下滑动，直至所述橡胶定位柱243从MOS管配件上螺钉孔中脱离，即所述第二机械手从限位缺口221中取出MOS管配件，以使所述处理器通过视觉检测传感器对MOS管配件的平整度进行检测。

实施例2

在实施例1的基础上，本实施例提供一种采用如实施例1所提供的碳化硅MOS快速检测装置的检测方法，其包括：通过抓取机构4抓取送料机构3上MOS管配件，以送入转盘机构1与打磨机构2之间；当MOS管配件为第一规格配件时，打磨机构2将该MOS管配件卡在转盘机构1与打磨机构2之间，且MOS管配件在转盘机构1相对打磨机构2转动时被打磨；通过转盘机构1带动打磨机构2转动，以带动MOS管配件移至平整度检测机构5处，平整度检测机构5从转盘机构1与打磨机构2之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及当MOS管配件为第二规格配件时，打磨机构2将该MOS管配件从转盘机构1与打磨机构2之间弹出。

综上所述，本发明通过送料机构、抓取机构将MOS管配件送入转盘机构与打磨机构之间，筛选出合格的MOS管配件，同时转盘机构、打磨机构能够对MOS管配件打磨，使MOS管配件表面平整，方便在MOS管配件上均匀涂抹散热硅脂，满足碳化硅MOS高耐压特性需要散热的需求，有利于提高碳化硅功率器件质量。

本申请中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，包括：

转盘机构、打磨机构、送料机构、抓取机构和平整度检测机构；其中

所述打磨机构活动设置在转盘机构上，所述送料机构、抓取机构、平整度检测机构分别位于转盘机构的外侧；

所述抓取机构抓取送料机构上MOS管配件，以送入所述转盘机构与打磨机构之间；

当MOS管配件为第一规格配件时，所述打磨机构将该MOS管配件卡在转盘机构与打磨机构之间，且MOS管配件在所述转盘机构相对打磨机构转动时被打磨；

所述转盘机构带动打磨机构转动，以带动MOS管配件移至所述平整度检测机构处，所述平整度检测机构从转盘机构与打磨机构之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及

当MOS管配件为第二规格配件时，所述打磨机构将该MOS管配件从转盘机构与打磨机构之间弹出。

2.如权利要求1所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述转盘机构包括：转动电机和转动盘；

所述转动电机的输出轴连接转动盘；

所述转动电机驱动转动盘转动。

3.如权利要求2所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述打磨机构包括：砂带环、安装环、定环组件和若干限位组件；

所述转动盘的外圈设置环状活动台阶，所述砂带环贴设在环状活动台阶的台阶面上，所述安装环活动卡装在环状活动台阶上；

所述定环组件活动设置在转动盘的一侧；

所述安装环上外侧开设环布若干间隔设置的限位缺口，以用于分别安装对应的限位组件；

MOS管配件被送入所述限位缺口内，当MOS管配件为第一规格配件时，所述限位组件将该MOS管配件卡在限位组件与砂带环之间，所述定环组件下压将安装环定住，所述转动盘带动砂带环相对安装环转动，以使所述砂带环打磨MOS管配件；

直至MOS管配件打磨结束，所述定环组件上抬将安装环松开，所述转动盘带动安装环转动至平整度检测机构处；

当MOS管配件为第二规格配件时，所述限位组件将该MOS管配件从限位组件与砂带环之间弹出。

4.如权利要求3所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述定环组件包括：位于安装环上方的定环气缸、吸盘；

所述定环气缸的活动部连接吸盘；

所述定环气缸驱动吸盘朝向安装环下压，直至所述吸盘抵着安装环，以将所述安装环吸住；

所述吸盘解除负压以松开安装环，且所述吸盘在定环气缸带动下上抬以远离安装环。

5.如权利要求3所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述限位组件包括：第一楔形块、第二楔形块和橡胶定位柱；

所述第一楔形块、第二楔形块位于限位缺口的上方，所述第一楔形块上设置上斜面，所述上斜面上斜向开设有滑动槽，所述第二楔形块上设置下斜面，所述下斜面上斜向开设有滑动块；

所述上斜面与下斜面贴合设置，且所述上斜面与下斜面的倾角互补；

所述第一楔形块与第二楔形块通过滑动槽、滑动块滑动连接，且所述滑动块通过滑动弹簧活动连接在滑动槽内；

所述橡胶定位柱位于第二楔形块的底部，所述橡胶定位柱的底部呈球状设置；

所述抓取机构抓取MOS管配件朝向限位缺口送入，所述抓取机构推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动，即

当所述抓取机构放开第二楔形块，所述第二楔形块在滑动弹簧反向推力作用下沿第一楔形块斜向上爬升，进而带动所述橡胶定位柱斜向上爬升，直至所述橡胶定位柱抵着MOS管配件变形且挤入MOS管配件与第二楔形块之间并朝向安装环外侧移动；

当MOS管配件为第一规格配件时，所述橡胶定位柱卡入MOS管配件上螺钉孔中，以将该MOS管配件卡在所述第二楔形块与砂带环之间；

当MOS管配件为第二规格配件时，所述橡胶定位柱通过摩擦力推动该MOS管配件从第二楔形块与砂带环之间弹出。

6.如权利要求5所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述限位组件还包括：第一三角块、第二三角块；

所述第一三角块、第二三角块分别活动设置在限位缺口的进口处两侧；

所述第一三角块、第二三角块分别通过相应压缩弹簧活动连接在安装环内；

所述第一三角块、第二三角块将送入限位缺口内的MOS管配件夹住；

所述安装环上位于限位缺口处开设有收集孔，所述安装环内开设有连通收集孔的收集腔；

所述转动盘带动砂带环相对安装环转动时，从MOS管配件上打磨下的碎屑从所述收集孔进入收集腔内。

7.如权利要求1所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述送料机构包括：振动送料盘；

所述振动送料盘朝向转盘机构逐个输送MOS管配件。

8.如权利要求5所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述抓取机构包括：第一机械手和第一推动气缸；

所述第一推动气缸位于第一机械手上；

所述第一机械手抓取MOS管配件朝向限位缺口送入，以使所述第一推动气缸推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动。

9.如权利要求5所述的碳化硅MOS快速检测装置，其特征在于，

所述平整度检测机构包括：第二机械手、第二推动气缸、处理器和视觉检测传感器；

所述第二推动气缸、处理器、视觉检测传感器位于第二机械手上；

所述第二机械手在限位缺口中夹住MOS管配件，以使所述第二推动气缸推动第二楔形块相对第一楔形块向下滑动，直至所述橡胶定位柱从MOS管配件上螺钉孔中脱离，即

所述第二机械手从限位缺口中取出MOS管配件，以使所述处理器通过视觉检测传感器对MOS管配件的平整度进行检测。

10.一种采用如权利要求1-9任一项所述的碳化硅MOS快速检测装置的检测方法，其特征在于，包括：

通过抓取机构抓取送料机构上MOS管配件，以送入转盘机构与打磨机构之间；

当MOS管配件为第一规格配件时，打磨机构将该MOS管配件卡在转盘机构与打磨机构之间，且MOS管配件在转盘机构相对打磨机构转动时被打磨；

通过转盘机构带动打磨机构转动，以带动MOS管配件移至平整度检测机构处，平整度检测机构从转盘机构与打磨机构之间取出MOS管配件，以对MOS管配件的平整度进行检测；以及

当MOS管配件为第二规格配件时，打磨机构将该MOS管配件从转盘机构与打磨机构之间弹出。

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