JPH0866871A - 板状体の吸着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【構成】 吸着アダプタ１０２を吸着ベース８６に装着
すると、スライダ９６が開口位置まで移動して真空ポン
プと吸込空間１１０とが連通される。この状態で、真空
ポンプを作動して吸込空間１１０からエアを吸い込ん
で、吸着アダプタ１０２の頂部に載置されたガラス板３
４を吸着する。一方、吸着アダプタ１０２を吸着ベース
８６から外すとスライダ９６でエアー通路８９が閉塞さ
れて真空ポンプと吸込空間１１０とが遮蔽される。 【効果】 吸着アダプタを吸着ベースから外す場合に吸
着ベースのエアー通路をメクラ蓋で閉塞する必要がな
く、また、吸着アダプタを吸着ベースに取り付ける場合
にメクラ蓋を除去して吸着ベースのエアー通路を開口す
る必要がない。これにより、吸着パッドを短時間で着脱
することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は板状体の周縁研削装置に
用いられ、ガラス板等の板状体をテーブルに吸着する板
状体の吸着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ガラス板等の板状体の面取砥石
は円盤状に形成され、その周面部に研削部が形成されて
いる。研削部はボンド剤にダイヤモンド砥粒が埋設され
て形成され、ボンド剤から突出しているダイヤモンド砥
粒でガラス板等の周縁を研削する。この場合、ガラス板
等の板状体は、テーブルに取り付けられた複数の吸着パ
ッドに真空吸着されてテーブルに固定される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ガラス
板等の板状体は複数の吸着パッドで略中央が吸着される
ので、ガラス板等の板状体に反りが発生してガラス板等
の板状体の周縁の高さレベルを均一に維持することがで
きないという問題がある。また、ガラス板の品種を交換
する場合に、ガラス板の外形サイズが異なると、新たな
品種の外形サイズに合わせて吸着パッドの取付け位置を
変える必要がある。ところで、テーブルに形成された吸
着パッドの取付け位置にはエアー通路が開口されてい
る。従って、取付け位置から吸着パッドを取り外した場
合、吸着パッドが取り外された取付け位置のエアー通路
を止栓で閉塞する必要がある。一方、取付け位置に吸着
パッドを取り付ける場合、吸着パッドが取り付けられる
取付け位置から止栓を除去してエアー通路を開口する必
要がある。従って、吸着パッドの着脱時間が長くなり作
業効率が低下するという問題がある。

【０００４】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、板状体の周縁の高さレベルを均一に維持するこ
とができ、かつ、吸着パッドを短時間で着脱することが
できる板状体の吸着装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、真空ポンプに連通する第１のエアー通路
が形成されたテーブルと、テーブルの所定位置に取り付
けられ、前記第１のエアー通路に連通した第２のエアー
通路が形成された吸着ベースと、前記第２のエアー通路
を開口する開口位置と前記第２のエアー通路を閉塞する
閉塞位置との間で移動可能に前記吸着ベースに支持され
たスライダと、前記スライダを前記閉塞位置に向けて付
勢する弾性部材と、その頂部に開口された吸込空間が形
成されて前記吸着ベースに着脱自在に装着され、前記吸
着ベースの装着時には前記弾性部材の付勢力に抗して前
記開口位置まで前記スライダを移動し、前記第２のエア
ー通路を介して前記第１のエアー通路と前記吸込空間と
を連通する吸着アダプタと、を備え、前記吸着アダプタ
を前記吸着ベースに装着した時に前記真空ポンプの作動
で前記吸込空間からエアを吸い込んで前記吸着アダプタ
の頂部に載置された前記板状体を吸着して前記板状体を
前記テーブルに固定し、前記吸着アダプタを前記吸着ベ
ースから取り外した時に前記弾性部材の付勢力で前記ス
ライダを前記閉塞位置まで移動して前記第２のエアー通
路を閉塞することを特徴としている。

【０００６】

【作用】本発明によれば、吸着アダプタを吸着ベースに
装着すると、スライダが弾性部材の付勢力に抗して開口
位置まで移動して、真空ポンプと吸込空間とが吸着ベー
スの第２のエアー通路を介して連通される。この状態
で、真空ポンプを作動して吸込空間からエアを吸い込ん
で、吸着アダプタの頂部に載置された板状体を吸着す
る。一方、吸着アダプタを吸着ベースから外すとスライ
ダで第２のエアー通路が閉塞されて真空ポンプと吸込空
間とが遮蔽される。

【０００７】これにより、吸着アダプタを吸着ベースか
ら外す場合に吸着ベースの第２のエアー通路を止栓で閉
塞する必要がなく、また、吸着アダプタを吸着ベースに
取り付ける場合に止栓を除去して吸着ベースの第２のエ
アー通路を開口する必要がない。

【０００８】

【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る板状体の
吸着装置について詳説する。図１は本発明に係る板状体
の吸着装置が使用されている板状体の周縁研削装置の斜
視図である。同図に示すように板状体の周縁研削装置１
０は砥石回転手段１２、オートツールチェンジャ１４、
ガラス板吸着手段（板状体吸着装置）１６、ガラス板移
動手段１８及びドレッシング手段２０を備えている。砥
石回転手段１２は支持枠２１に固定され、支持枠２１は
基台２３に取り付けられている。

【０００９】砥石回転手段１２はスピンドルモータ２２
を有し、スピンドルモータ２２は、ケーシング２４内の
チャック（図示せず）に回転力を伝達可能に連結されて
いる。このチャックは回転軸を介してケーシング２４内
の支持部材に回動自在に支持されている。図２に示すよ
うに、このチャックにはツール２６のシャンク２６Ａが
着脱自在に支持されている。シャンク２６Ａの下端部に
は面取ホイール（砥石）２６Ｂが同軸上に固定されてい
る。面取ホイール２６Ｂはホイールカバー２８内に収納
されている。ホイールカバー２８はケーシング２４の下
端部に取り付けられている。

【００１０】ホイールカバー２８は周囲に開口部２８Ａ
が形成され、開口部２８Ａの上縁及び下縁にはそれぞれ
ブラシ３０が取り付けられている。また、面取ホイール
２６Ｂの研削面２６Ｃは開口部２８Ａの中央に位置する
ように支持されている。従って、ガラス板３４がブラシ
３０、３０に接触しながら開口部２８Ａを経てホイール
カバー２８内に侵入すると、ガラス板３４の周縁が面取
ホイール２６Ｂの研削面２６Ｃに接触する。これによ
り、ガラス板３４の周縁が面取ホイール２６Ｂの研削面
２６Ｃで研削される。

【００１１】この場合、ツール２６は移動しないで所定
位置に回動自在に固定されているので、ツール２６の支
持部材の剛性を高めることができる。従って、ツール２
６の回転により生じる振動を抑制することができる。こ
れにより、研削面２６Ｃでガラス板３４の周縁を研削す
る際に、ガラス板３４の周縁にチッピングが生じないよ
うにすることができる。

【００１２】また、面取ホイール２６Ｂの上方及び下方
にはそれぞれ散水管３２、３２が設けられ、散水管３
２、３２の端部にはそれぞれノズル３２Ａ、３２Ａが形
成されている。ノズル３２Ａ、３２Ａは、面取ホイール
２６Ｂの研削位置（すなわち、ガラス板３４の周縁と研
削面２６Ｃとの接触位置）に研削液を散水するように位
置している。従って、ガラス板３４の周縁が面取ホイー
ル２６Ｂの研削面２６Ｃで研削される際に、研削位置に
研削液を供給することができる。この場合、開口部２８
Ａはブラシ３０、３０で略閉塞されているので、研削位
置に供給された研削液は開口部２８Ａを介してケーシン
グ２４の外部に飛び散らない。

【００１３】図１上でオートツールチェンジャ（以下、
「ＡＴＣ」と称す）１４は、砥石回転手段１２の右側部
に取り付けられている。図３、図４に示すように、ＡＴ
Ｃ１４は、保管部３６及び交換部３８を備えている。保
管部３６はシャフト４０を有し、シャフト４０はベアリ
ング４２を介してケーシング４４Ａに回動自在に支持さ
れている。ケーシング４４Ａは支持プレート４５を介し
て支持枠２１に固定されている。

【００１４】シャフト４０は鉛直状態に支持され、上端
部はギアボックス４６Ａ、４６Ｂ内のウォームギア等
（図示せず）を介してプーリ４８Ａ（図４参照）に回転
力を伝達可能に連結されている。プーリ４８Ａとプーリ
４８Ｂにはベルト５０が無端状に張設され、プーリ４８
Ｂは駆動モータ５２の駆動シャフト（図示せず）に同軸
上に固定されている。

【００１５】図３に示すように、シャフト４０の下端部
には円板５４が同軸上に固定されている。円板５４には
９０°の間隔をおいてチャック５６、５６、５６、５６
が固定されている。チャック５６にはツール２６のシャ
ンク２６Ａが嵌入され、これにより、ツール２６はチャ
ック５６に保管される。この保管部３６は、駆動モータ
５２を駆動するとプーリ４８Ａ、４８Ｂ等を介してシャ
フト４０が回転する。これにより、円板５４がシャフト
４０と一体となって回動するので、チャック５６、５
６、５６、５６がシャフト４０を中心にして回動する。

【００１６】尚、円板５４を回動した場合、チャック５
６、５６、５６、５６の中の１つが、図４に示すＰ₁ 位
置に停止するように設定され、Ｐ₁ 位置のチャック５６
に保管されたツールが砥石回転手段１２のツール２６と
交換される。交換部３８はシャフト５８を有し、シャフ
ト５８は鉛直状態に支持されている。シャフト５８には
同軸上にキー溝５８Ａ、スプライン５８Ｂが形成されて
いる。シャフト５８の略中央部にギア６０が嵌入され、
シャフト５８の下端部にリング６２が嵌入されている。
ギア６０及びリング６２はそれぞれキー溝５８Ａ、スプ
ライン５８Ｂに噛合している。従って、ギア６０及びリ
ング６２はシャフト５８の軸線方向に移動することがで
きる。シャフト５８は、ギア６０及びリング６２、ベア
リング６４Ａ、ベアリング６４Ｂを介してケーシング４
４Ｂに回動自在に支持されている。ケーシング４４Ｂは
支持プレート４５を介して支持枠２１に固定されてい
る。

【００１７】ギア６０にはラック６６が噛合し、ラック
６６の右端部はエアシリンダ６８のロッド端部に連結さ
れ、エアシリンダ６８のシリンダ部は支持プレート４５
に取り付けられている。従って、エアシリンダ６８が伸
縮すると、ラック６６が左右方向（矢印Ａ−Ｂ方向）に
移動してギア６０が回動する。これにより、シャフト５
８が軸を中心にして回動する。また、シャフト５８の上
端部には同軸上にエアシリンダ６９のロッド端部が連結
され、エアシリンダ６９のシリンダ部がケーシング４４
Ｂに固定されている。

【００１８】そして、エアシリンダ６８が収縮すると、
シャフト５８が上昇して図３の位置（ツール２６の取付
け、取外し位置）に位置決めされる。一方、エアシリン
ダのエアシリンダ６８を伸長すると、シャフト５８が図
３の位置からツール２６の移動位置まで下降する。シャ
フト５８の下端部にはアーム７０の後端部が固定され、
アーム７０の先端部にはツール２６を受け入れる凹部７
０Ａが形成されている（図４参照）。また、図５に示す
ようにアーム７０の先端部には穴７０Ｂが形成され、穴
７０Ｂ内にはストッパ７２がアーム７０の軸線方向に移
動自在に嵌入されている。穴７０Ｂ内にはばね７４が設
けられ、ばね７４はストッパ７２を突出させる方向に付
勢する。

【００１９】また、ストッパ７２には長穴７２Ａが形成
され、長穴７２Ａにはピン７５が嵌入されている。ピン
７５の下端部には受板７６が固定され、受板７６はスト
ッパ７２に形成された凹部７２Ｂに嵌入するようにばね
７７で付勢されている。ばね７７は穴７０Ｃ内に嵌入さ
れ、穴７０Ｃは穴７０Ｂに直交するように形成されてい
る。

【００２０】これにより、ストッパ７２は図４、図５に
示す位置に保持され、凹部７０Ａの開口部を狭くして凹
部７０Ａ内に受け入れたツール２６を凹部７０Ａ内に保
持する。そして、アーム７０が図４のＰ₂ 位置から１８
０°回転してＰ₁ 位置まで移動した後、エアシリンダ６
９を収縮してシャフト５８を上昇すると、ピン７５の上
端部が押圧部材７８（図４参照）に当接して、下方に押
しつけられる。

【００２１】これにより、受板７６がストッパ７２に形
成された凹部７２Ｂから下方に退避する。この状態で、
アーム７０をＰ₁ 位置からＰ₃ の待機位置の方向に時計
回り方向に回動すると、ストッパ７２はツール２６のチ
ャック部２６Ｄに押圧され、ばね７４の付勢力に抗して
穴７０Ｂ内に押し込められる。これにより、ツール２６
が凹部７０Ａから除去される。

【００２２】図１上でガラス板吸着手段１６は、砥石回
転手段１２の前方に設けられている。ガラス板吸着手段
１６はＹ−Θテーブル８０を有し、Ｙ−Θテーブル８０
は後述するガラス板移動手段１８にＹ方向に移動自在
に、かつΘ方向に回動自在に支持されている。Ｙ−Θテ
ーブル８０は上テーブル８０Ａ及び下テーブル８０Ｂを
有し（図７、図８参照）、上テーブル８０Ａ及び下テー
ブル８０Ｂは二重に重ね合わされている。下テーブル８
０Ｂの表面には枡目状の溝８２（図６参照）が形成さ
れ、枡目状の溝８２は上テーブル８０Ａで覆われる。こ
れにより、Ｙ−Θテーブル８０には枡目状のエアー通路
（第１のエアー通路）８２Ａが形成される。エアー通路
８２Ａは連結通路８３（図６参照）を介して真空ポンプ
（図示せず）に連結されている。

【００２３】Ｙ−Θテーブル８０の枡目状のエアー通路
８２Ａ毎に開口穴８４が形成されている。開口穴８４に
は、吸着ベース８６のガイド８８が嵌入され、ガイド８
８は円筒状に形成され、吸着ベース８６の中央から上方
に突出している。吸着ベース８６は下テーブル８０Ｂに
固定されている。吸着ベース８６にはエアー通路（第２
のエアー通路）８９が略Ｌ字型に形成され、エアー通路
８９の両端部はそれぞれプラグ９０、９０で閉塞されて
いる。エアー通路８９は通路９２を介して枡目状のエア
ー通路８２Ａに連通されている。また、ガイド８８の上
端部には雄ねじ８８Ａが形成され、雄ねじ８８Ａには後
述する、吸着アダプタ１０２のねじ穴１０２Ａが螺合さ
れる。

【００２４】ガイド８８の周面にはスライダ９６が摺動
自在に支持されている。スライダ９６は略筒状に形成さ
れ、スライダ９６の内周はＯリング８８Ｂ、８８Ｂで密
閉されている。Ｏリング８８Ｂ、８８Ｂはガイド８８の
外周に設けられている。また、スライダ９６の外周には
Ｏリング９６Ａが設けられ、Ｏリング９６Ａは開口穴８
４の内周に密閉している。

【００２５】スライダ９６と吸着ベース８６との間には
コイルばね９８が設けられ、スライダ９６はコイルばね
９８で上方に付勢されている。スライダ９６にはガイド
ピン１１２が固定され、ガイドピン１１２はガイド穴１
１４に摺動自在に支持されている。ガイド穴１１４は吸
着ベース８６に形成されている。これにより、スライダ
９６はガイド８８に沿って上下方向に移動する。

【００２６】この場合、スライダ９６はストッパ１００
に当接して閉塞位置に停止する。ストッパ１００はリン
グ状に形成され、ガイド８８の外周に形成された溝内に
嵌入されている。これにより、スライダ９６がエアー通
路８９の開口部８９Ａ、８９Ａ…を閉塞し、エアー通路
８９が閉塞される。従って、後述する吸着アダプタ１０
２に相当する吸着パッドを外した後に、従来必要とされ
た止栓を使用しないでエアー通路８９を閉塞することが
できる。

【００２７】ガラス板吸着手段１６は吸着アダプタ１０
２（図７参照）を有し、吸着アダプタ１０２は略円筒状
に形成されている。吸着アダプタ１０２の上端部にはゴ
ム等の弾性部材１０４が設けられ、弾性部材１０４の周
囲には上リップシール１０６が設けられている。上リッ
プシール１０６は、リップ部の上端部が弾性部材１０４
の表面と略面一になるように設定されている。

【００２８】また、吸着アダプタ１０２の下端部には下
リップシール１０８が設けられている。下リップシール
１０８は、リップ部の下端部が吸着アダプタ１０２の下
端部と略面一になるように設定されている。さらに、吸
着アダプタ１０２の内部にねじ穴１０２Ａが形成され、
ねじ穴１０２Ａは雄ねじ８８Ａに螺合してガイド８８の
上端部に固定される。これにより、吸着アダプタ１０２
はワンタッチ的に容易に吸着ベース８６に固定される。

【００２９】この場合、吸着アダプタ１０２の下端部に
形成されたリング部１０２Ｂがスライダ９６の上面に当
接して、スライダ９６をコイルばね９８の付勢力に抗し
て下方に押し下げる。これにより、スライダ９６がエア
ー通路８９の開口部８９Ａ、８９Ａ…の下方に移動する
ので、エアー通路８９の開口部８９Ａ、８９Ａ…が開放
する。従って、吸着アダプタ１０２内の吸込空間１１０
は開口部８９Ａ、エアー通路８９、エアー通路８２Ａ、
連結通路８３等を介して真空ポンプに連結される。

【００３０】この状態で、吸着アダプタ１０２の弾性部
材１０４にガラス板３４を載置して、真空ポンプを作動
すると吸込空間１１０が真空状態になるのでガラス板３
４が弾性部材１０４に吸着される（図６、図８参照）。
この場合、ガラス板３６の形状に対応するように吸着ア
ダプタ１０２…を吸着ベース８６…に固定することによ
り、ガラス板３４の略全域が吸着アダプタ１０２…に吸
着されるので、ガラス板３４の周縁の高さレベルを均一
に維持することができる。そして、ガラス板３４は吸着
アダプタ１０２…を介してＹ−Θテーブル８０に取り付
けられる。

【００３１】図１に示すガラス板移動手段１８は回転モ
ータ（ＡＣサーボモータ）及び直動モータ（双方図示せ
ず）を有し、回転モータはケース１２０内に収納されて
いる。ケース１２０はＹ−Θテーブル８０の近傍に設け
られ、回転モータはＹ−Θテーブル８０に回転力を伝達
可能に連結されている。従って、回転モータが作動する
とＹ−Θテーブル８０がΘ方向に回動する。また、直動
モータはケース１２２内に収納され、ケース１２２はケ
ース１２０の下方に設けられている。

【００３２】そして、直動モータを作動するとＹ−Θテ
ーブル８０がＹ方向に移動する。このように、直動モー
タを作動してＹ−Θテーブル８０をＹ方向に移動する
と、吸着アダプタ１０２…を介してＹ−Θテーブル８０
に取り付けられたガラス板３４がブラシ３０、３０に接
触しながら開口部２８Ａを経てホイールカバー２８内に
侵入する（図２参照）。ホイールカバー２８内に侵入し
たガラス板３４は、周縁が面取ホイール２６Ｂの研削面
２６Ｃに接触する。

【００３３】これにより、ガラス板３４の周縁が面取ホ
イール２６Ｂの研削面２６Ｃで研削される。この場合、
回転モータが作動してＹ−Θテーブル８０をΘ方向に回
動することにより、ガラス板３４がΘ方向に回動するの
でガラス板３４の周縁全周が面取ホイール２６Ｂの研削
面２６Ｃで研削される。尚、図１上で１２４、１２４…
はテレスコカバーであり、テレスコカバー１２４、１２
４…はガイド１２６に沿って伸縮自在に支持されてい
る。

【００３４】図１に示すように、ドレッシング手段２０
は砥石回転手段１２の左側部に設けられている。以下、
図９〜図１７においてドレッシング手段２０について説
明する。図９に示すドレッシング手段２０はベース１３
０を有し、ベース１３０は支持枠２１（図１参照）に固
定されている。ベース１３０は略矩形状に形成され、ベ
ース１３０には昇降体１３２が上下方向に移動自在に支
持されている。ベース１３０の上端部には上下動シリン
ダ１３４のシリンダ部が設けられ、昇降体１３２には上
下動シリンダ１３４のロッド部が設けられている。

【００３５】これにより、上下動シリンダ１３４が伸縮
すると昇降体１３２が上下方向に移動する。また、昇降
体１３２にはケーシング１３６が設けられ、ケーシング
１３６内には左右動シリンダ１３８が収納されている。
左右動シリンダ１３８のロッド部（図示せず）は移動体
１４０に連結されている。従って、左右動シリンダ１３
８が伸長すると移動体１４０が左右方向に移動する。

【００３６】移動体１４０には自動ドレッシングユニッ
ト１４２が設けられている。従って、上下動シリンダ１
３４を伸縮すると自動ドレッシングユニット１４２が上
下方向に移動し、左右動シリンダ１３８を伸縮すると自
動ドレッシングユニット１４２が左右方向に移動する。
図１０に示すように、自動ドレッシングユニット１４２
はケーシング１４４を備え、ケーシング１４４内の略中
央には平行プレート１４５が固定されている。平行プレ
ート１４５の表面には案内プレート１４６が固定されて
いる。図１２に示すように、平行プレート１４５及び案
内プレート１４６には案内溝１４６Ａが形成され、平行
プレート１４５及び案内プレート１４６の中央には開口
部１４６Ｂが形成されている。

【００３７】案内溝１４６Ａ内には押出しブロック１４
８が摺動自在に設けられ、押出しブロック１４８の上端
部にはガイドプレート１５０の右端部が固定されてい
る。ガイドプレート１５０の右端部にはばねクランプ１
５２が取り付けられている。ばねクランプ１５２はＧＣ
砥石１５４の左端部の両側を挟持してＧＣ砥石１５４を
把持する。ＧＣ砥石１５４は矩形状に形成され研削面２
６Ｃの目立てに使用される。また、案内プレート１４６
の左端部にはストッパ１５８がカバーされている（図１
１参照）。ストッパ１５８は底面に溝が形成され、この
溝内にガイドプレート１５０が摺動自在に嵌入されてい
る。

【００３８】さらに、案内プレート１４６の右端部には
ガイドカバー１６０がカバーされている（図１１参
照）。図１２に示すようにガイドカバー１６０の底面に
は溝１６０Ａが形成され、この溝１６０Ａはガイドプレ
ート１５０及びばねクランプ１５２が嵌入自在に形成さ
れている。また、ガイドカバー１６０の右端部の底面に
は溝１６０Ｂが形成され、この溝１６０ＢはＧＣ砥石１
５４が嵌入自在に形成されている。一方、図１０に示す
ように押出しブロック１４８の左端部にはシリンダ１５
６のロッド部１５６Ａが連結されている。シリンダ１５
６のシリンダ部１５６Ｂはケーシング１３６の左端部に
固定されている。

【００３９】従って、シリンダ１５６を伸長すると押出
しブロック１４８とともにガイドプレート１５０が右方
向に押し出される。これにより、ガイドプレート１５０
の右端部のばねクランプ１５２が右方向に押し出され
て、ＧＣ砥石１５４の左端部の両側を挟持してＧＣ砥石
１５４を把持する。この状態からさらにシリンダ１５６
を伸長するとＧＣ砥石１５４が右方向に押し出されて、
ＧＣ砥石１５４の右端部が面取ホイール２６Ｂの研削面
２６Ｃに当接する。これにより、面取ホイール２６Ｂの
研削面２６ＣはＧＣ砥石１５４でドレッシングされる。
この場合、ドレッシングに使用されたＧＣ砥石１５４
は、図１２の右端部に示すように案内プレート１４６の
開口部１４６Ｂの長さより短くなる。

【００４０】一方、ＧＣ砥石１５４の右端部が面取ホイ
ール２６Ｂの研削面２６Ｃに当接した位置から、シリン
ダ１５６を縮小するとＧＣ砥石１５４が左方向に移動し
てストッパ１５８の右端部１５８Ａに当接する。この状
態からシリンダ１５６をさらに縮小するとばねクランプ
１５２がＧＣ砥石１５４の左端部から引き出されて、ば
ねクランプ１５２によるＧＣ砥石１５４の把持が解除さ
れる。従って、ばねクランプ１５２の保持が解除された
ＧＣ砥石１５４は案内プレート１４６の開口部１４６Ｂ
から下方に落下する（図１１参照）。

【００４１】図１３に示すように、平行プレート１４５
には枠体１６２が立設され、枠体１６２はケーシング１
４４内に収納されている。枠体１６２の上端部には昇降
板１６４がガイド棒１６６、１６６を介して昇降自在に
支持されている。昇降板１６４にはシリンダ１６８のロ
ッド部１６８Ａが連結され、シリンダ１６８のシリンダ
部１６８Ｂはブロック１７０に固定されている。ブロッ
ク１７０はねじ１７２、支持板１７４を介して枠体１６
２に支持されている。そして、ねじ１７２を回動するこ
とにより、シリンダ１６８の上下方向の位置決め調整が
おこなわれる。また、シリンダ１６８を伸縮すると昇降
板１６４がガイド棒１６６、１６６に沿って昇降する。

【００４２】図１４に示すように、昇降板１６４の両側
部にはピン１９０、１９０を介してレバー１９２、１９
２の上端部が回動自在に支持されている。レバー１９
２、１９２の下端部には、それぞれ内側に向くように爪
１８０、１８０が固定されている。また、シリンダ１８
２のロッド部１８２Ｂの下端部には調整部材１９３が連
結され、調整部材１９３にはピン１９４Ａ、１９４Ａを
介してリンク１９６、１９６の内端部が回動自在に支持
されている。

【００４３】リンク１９６、１９６の外端部はピン１９
４Ｂ、１９４Ｂを介してレバー１９２、１９２に回動自
在に支持されている。従って、図１４に示すようにシリ
ンダ１８２が収縮すると、レバー１９２、１９２が互い
に内側方向に揺動してＧＣ砥石１５４が爪１８０、１８
０で把持される。一方、図１５に示すようにシリンダ１
８２が伸長すると、レバー１９２、１９２が互いに外側
方向に揺動して爪１８０、１８０によるＧＣ砥石１５４
の把持が解除される。

【００４４】前記実施例ではリンクモーションを利用し
てＧＣ砥石１５４の把持と把持解除の動作を行う場合に
ついて説明したが、これに限らず、図１６及び図１７に
示すように、板ばね１７８の付勢力を利用して爪１８
０、１８０でＧＣ砥石１５４を把持することも可能であ
る。以下、図１６及び図１７において他の実施例を説明
する。尚、前記実施例と同一類似部材については同一符
号を付し説明を省略する。昇降板１６４の両側部にはサ
イドプレート１７６、１７６の上端部が固定されてい
る。 これにより、昇降板１６４及びサイドプレート１
７６、１７６は略コ字型に形成される。サイドプレート
１７６、１７６の端部にはそれぞれ板ばね１７８、１７
８が固定されている。板ばね１７８には開口部１７８Ａ
が形成され、板ばね１７８の下端部には爪１８０が固定
されている。板ばね１７８は互いに対向する方向に付勢
力が生じるように形成され、これにより、爪１８０、１
８０間に配置されたＧＣ砥石１５４が爪１８０、１８０
で把持される（図１６参照）。

【００４５】昇降板１６４にはシリンダ１８２のシリン
ダ部１８２Ａが固定され、シリンダ１８２のロッド部１
８２Ｂは調整部材１８４が連結されている。調整部材１
８４は略コ字型に形成され、その両下端部に楔１８４
Ａ、１８４Ａが固定されている。図１６上で楔１８４Ａ
は板ばね１７８の開口部１７８Ａに嵌入され、この状態
で、爪１８０、１８０間に配置されたＧＣ砥石１５４が
爪１８０、１８０で把持される。

【００４６】一方、シリンダ１８２が伸長すると、調整
部材１８４と共に楔１８４Ａ、１８４Ａが下降して板ば
ね１７８、１７８のそれぞれの傾斜面１７８Ｂ、１７８
Ｂを押圧する。これにより、板ばね１７８、１７８が付
勢力に抗して互いに広がる方向に拡散され、爪１８０、
１８０によるＧＣ砥石１５４の把持が解除される（図１
７参照）。

【００４７】前記の如く構成された板状体の周縁研削装
置１０の作用について説明する。先ず、ＡＴＣ１４を構
成する保管部３６の駆動モータ５２を駆動してプーリ４
８Ａ、４８Ｂ等を介してシャフト４０を回転する。これ
により、円板５４がシャフト４０と一体となって回動し
て所望のチャック５６がＰ₁ 位置に位置決めされる（図
４参照）。次に、シリンダ６８を伸長してＰ₃ 位置に待
機しているアーム７０をＰ₁ 位置の方向に時計回り方向
に回動する。

【００４８】この場合、アーム７０がＰ₁ 位置に到達す
る前に、アーム７０の先端部に支持されているピン７５
の上端部が押圧部材７８（図４参照）に当接して下方に
押しつけられる。これにより、受板７６がストッパ７２
に形成された凹部７２Ｂから下方に退避する。この状態
で、アーム７０をＰ₁ 位置まで回動すると、ストッパ７
２はＰ₁ 位置に位置決めされたツール２６のチャック部
２６Ｄに押圧され、ばね７４の付勢力に抗して穴７０Ｂ
内に押し込められる。これにより、ツール２６が凹部７
０Ａに嵌入される。

【００４９】次いで、シリンダ６９を伸長してアーム７
０を下降し、ツール２６をチャック５６から抜き出す。
同時に、ピン７５の上端部と押圧部材７８との当接が解
除されて、受板７６がストッパ７２の凹部７２Ｂ内に嵌
入する。これにより、ストッパ７２がツール２６を保持
する位置にロックされる。そして、シリンダ６８を伸長
してアーム７０をＰ₂ 位置まで回動した後、シリンダ６
９を収縮してアーム７０を上昇する。これにより、ツー
ル２６が砥石回転手段１２のチャック内に保持される。

【００５０】そして、ツール２６が砥石回転手段１２の
チャック内に保持されると同時に、ピン７５の上端部が
押圧部材（図示せず）に当接して下方に押しつけられ
る。これにより、受板７６がストッパ７２に形成された
凹部７２Ｂから下方に退避する。この状態で、シリンダ
６８を収縮してアーム７０をＰ₂ 位置から反時計回り方
向に回動すると、ストッパ７２は、砥石回転手段１２の
チャック内に保持されたツール２６のチャック部２６Ｄ
に押圧され、ばね７４の付勢力に抗して穴７０Ｂ内に押
し込められる。これにより、アーム７０によるツール２
６の保持が解除される。次に、シリンダ６８を収縮して
アーム７０をＰ₃ 位置まで回動して、Ｐ₃位置に待機さ
せる。

【００５１】次に、ガラス板３６の形状に対応するよう
に吸着アダプタ１０２…をＹ−Θテーブル８０の吸着ベ
ース８６…に取り付ける。そして、吸着アダプタ１０２
…上にガラス板３６を載置して真空ポンプを作動する。
これにより、吸着アダプタ１０２…のそれぞれの吸込空
間１１０…が真空状態になるので、ガラス板３４が吸着
アダプタ１０２…のそれぞれの弾性部材１０４…に吸着
される（図６、図８参照）。従って、ガラス板３４の周
縁の高さレベルが均一に保たれた状態で、ガラス板３４
が吸着アダプタ１０２…を介してＹ−Θテーブル８０に
取り付けられる。

【００５２】次いで、砥石回転手段１２のスピンドルモ
ータ２２を駆動して、ケーシング２４内のチャック（図
示せず）を回転する。従って、チャックに取り付けられ
たツール２６が回転する。続いて、ガラス板移動手段１
８の直動モータを作動してＹ−Θテーブル８０を砥石回
転手段１２に向かうＹ方向に移動する。Ｙ−Θテーブル
８０が砥石回転手段１２の方向に移動すると、吸着アダ
プタ１０２…を介してＹ−Θテーブル８０に取り付けら
れたガラス板３４がブラシ３０、３０に接触しながら開
口部２８Ａを経てホイールカバー２８内に侵入する（図
２参照）。

【００５３】そして、ホイールカバー２８内に侵入した
ガラス板３４の周縁が面取ホイール２６Ｂの研削面２６
Ｃに接触して研削される。この場合、ガラス板移動手段
１８の回転モータが作動してＹ−Θテーブル８０をΘ方
向に回動することにより、ガラス板３４が回動するので
ガラス板３４の周縁全周が面取ホイール２６Ｂの研削面
２６Ｃで研削される。

【００５４】一方、砥石回転手段１２の散水管３２、３
２の端部に形成されたノズル３２Ａ、３２Ａから研削液
を散水することにより、ガラス板３４の研削位置に研削
液を供給することができる。この場合、開口部２８Ａは
ブラシ３０、３０で略閉塞されているので、研削位置に
供給された研削液は開口部２８Ａを介してケーシング２
４の外部に飛び散らない。

【００５５】次に、面取ホイール２６Ｂの研削面２６Ｃ
のドレッシングを行う場合について説明する。自動ドレ
ッシングユニット１４２のケーシング１４４内に設けら
れた案内プレート１４６上にはＧＣ砥石１５４が載置さ
れている。このＧＣ砥石１５４の上方には複数枚のＧＣ
砥石１５４が積み重ねられ、複数枚に積み重ねられたＧ
Ｃ砥石１５４の最下位に位置するＧＣ砥石１５４は、シ
リンダ１８２を収縮することにより爪１８０、１８０で
把持される（図１４参照）。そして、シリンダ１６８を
収縮すると昇降板１６４と共に爪１８０、１８０が上昇
して、複数枚に積み重ねられたＧＣ砥石１５４と案内プ
レート１４６上のＧＣ砥石１５４との間に間隔が生じ
る。

【００５６】この状態で、シリンダ１５６を伸長すると
押出しブロック１４８等とともにばねクランプ１５２が
右方向に押し出されて、ＧＣ砥石１５４の左端部の両側
を挟持してＧＣ砥石１５４を把持する。続いて、シリン
ダ１５６をさらに伸長するとＧＣ砥石１５４が右方向に
押し出されて、ＧＣ砥石１５４の右端部が面取ホイール
２６Ｂの研削面２６Ｃに当接する。これにより、面取ホ
イール２６Ｂの研削面２６ＣはＧＣ砥石１５４でドレッ
シングされる。ドレッシングに使用されたＧＣ砥石１５
４は、図１２の右端部に示すように案内プレート１４６
の開口部１４６Ｂの長さより短くなる。

【００５７】一方、ＧＣ砥石１５４の右端部が面取ホイ
ール２６Ｂの研削面２６Ｃに当接した位置から、シリン
ダ１５６を縮小するとＧＣ砥石１５４が左方向に移動し
てストッパ１５８の右端部１５８Ａに当接する。次い
で、シリンダ１５６をさらに収縮するとばねクランプ１
５２がＧＣ砥石１５４の左端部から引き出されて、ばね
クランプ１５２によるＧＣ砥石１５４の把持が解除され
る。ばねクランプ１５２の保持が解除されたＧＣ砥石１
５４は案内プレート１４６の開口部１４６Ｂから下方に
落下する（図１１参照）。

【００５８】次に、シリンダ１６８を伸長して爪１８
０、１８０と共に複数枚に積み重ねられたＧＣ砥石１５
４を下降させ、図１５に示すようにシリンダ１８２を伸
長する。これにより、レバー１９２、１９２が互いに外
側方向に揺動して爪１８０、１８０によるＧＣ砥石１５
４の把持を解除し、複数枚に積み重ねられたＧＣ砥石１
５４が案内プレート１４６上に載置する。

【００５９】続いて、シリンダ１８２を収縮して、複数
枚に積み重ねられたＧＣ砥石１５４の中の下から２番目
のＧＣ砥石１５４を爪１８０、１８０で把持する。次
に、シリンダ１６８を収縮すると昇降板１６４と共に爪
１８０、１８０が上昇して、複数枚に積み重ねられたＧ
Ｃ砥石１５４の中の下から２番目以上のＧＣ砥石１５４
が上昇して、案内プレート１４６上に一枚のＧＣ砥石１
５４が載置される。以下、上述した工程を繰り返して必
要に応じて面取ホイール２６Ｂの研削面２６Ｃのドレッ
シングを行う。

【００６０】前記実施例においては板状体としてガラス
板３４の周縁を研削する場合について説明したが、これ
に限らず、セラミック、シリコン等の硬脆材料やアルミ
板、金属板、プラスチック板等に使用することもでき
る。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る板状体
の吸着装置によれば、吸着アダプタを吸着ベースに装着
すると、スライダが開口位置まで移動して真空ポンプと
吸込空間とが吸着ベースの第２のエアー通路を介して連
通される。この状態で、真空ポンプを作動して吸込空間
からエアを吸い込んで、吸着アダプタの頂部に載置され
た板状体を吸着する。一方、吸着アダプタを吸着ベース
から外すとスライダで第２のエアー通路が閉塞されて真
空ポンプと吸込空間とが遮蔽される。

【００６２】従って、吸着アダプタを吸着ベースから外
す場合に吸着ベースの第２のエアー通路を止栓で閉塞す
る必要がなく、また、吸着アダプタを吸着ベースに取り
付ける場合に止栓を除去して吸着ベースの第２のエアー
通路を開口する必要がない。これにより、吸着パッドを
短時間で着脱することができる。また、吸着パッドを短
時間で着脱できるので、多数の吸着パッドの着脱を容易
に行うことができる。従って、ガラス板等の板状体の外
形に合わせて多数の吸着パッドをテーブルに取り付ける
ことができるので、ガラス板等の板状体を吸着パッドで
吸着したとき、ガラス板等の板状体に反りが発生しな
い。これにより、ガラス板等の板状体の周縁の高さレベ
ルを均一に維持することができるので板状体の周縁の研
削を精度よく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る板状体の吸着装置が使用された板
状体の周縁研削装置の全体を示す斜視図

【図２】本発明に係る板状体の周縁研削装置の砥石回転
手段を示した断面図

【図３】本発明に係る板状体の周縁研削装置のＡＴＣを
示した断面図

【図４】本発明に係る板状体の周縁研削装置のＡＴＣを
示した平面図

【図５】本発明に係る板状体の周縁研削装置のＡＴＣの
要部を拡大して示した要部拡大図

【図６】本発明に係る板状体の吸着装置を示した平面図

【図７】本発明に係る板状体の吸着装置の要部を拡大し
て示した要部拡大図

【図８】本発明に係る板状体の吸着装置の動作を説明し
た断面図

【図９】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス手
段２０の全体を示した斜視図

【図１０】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス
手段２０の一部を断面で示した斜視図

【図１１】図１０のＡ−Ａ線に沿った断面を示したＡ−
Ａ断面図

【図１２】図１１のＢ−Ｂ線に沿った断面を示したＢ−
Ｂ断面図

【図１３】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス
手段２０の縦断面図

【図１４】図１３のＣ−Ｃ線に沿った断面を示したＣ−
Ｃ断面図

【図１５】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス
手段２０の砥石の把持を解除した状態を示した断面図

【図１６】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス
手段２０の他の実施例を示した断面図

【図１７】本発明に係る板状体の周縁研削装置のドレス
手段２０の他の実施例の動作を説明した説明図

【符号の説明】

１０…板状体の周縁研削装置 １６…ガラス板吸着手段（板状体吸着装置） ３４…ガラス板（板状体） ３４Ａ…周縁 ８０…Ｙ−Θテーブル（テーブル） ８２Ａ…エアー通路（第１のエアー通路） ８６…吸着ベース ８９…エアー通路（第２のエアー通路） ９６…スライダ ９８…コイルばね（弾性部材） １０２…吸着アダプタ １１０…吸込空間

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 市村 勝 神奈川県川崎市川崎区田町２丁目４番１号 旭硝子株式会社京浜工場内

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空ポンプに連通する第１のエアー通路
   が形成されたテーブルと、 テーブルの所定位置に取り付けられ、前記第１のエアー
   通路に連通した第２のエアー通路が形成された吸着ベー
   スと、 前記第２のエアー通路を開口する開口位置と前記第２の
   エアー通路を閉塞する閉塞位置との間で移動可能に前記
   吸着ベースに支持されたスライダと、 前記スライダを前記閉塞位置に向けて付勢する弾性部材
   と、 その頂部に開口された吸込空間が形成されて前記吸着ベ
   ースに着脱自在に装着され、前記吸着ベースの装着時に
   は前記弾性部材の付勢力に抗して前記開口位置まで前記
   スライダを移動し、前記第２のエアー通路を介して前記
   第１のエアー通路と前記吸込空間とを連通する吸着アダ
   プタと、 を備え、前記吸着アダプタを前記吸着ベースに装着した
   時に前記真空ポンプの作動で前記吸込空間からエアを吸
   い込んで前記吸着アダプタの頂部に載置された前記板状
   体を吸着して前記板状体を前記テーブルに固定し、前記
   吸着アダプタを前記吸着ベースから取り外した時に前記
   弾性部材の付勢力で前記スライダを前記閉塞位置まで移
   動して前記第２のエアー通路を閉塞することを特徴とす
   る板状体の吸着装置。